KR101823141B1 - The needle assembly for the probe card - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 탐침 니들 및 플레이트의 내구성을 개선한 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것이다. The present invention relates to a needle assembly for a probe card, and more particularly to a needle assembly for a probe card that improves the durability of probe needles and plates.
도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)를 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)는 플레이트(2)와 니들(6)을 포함한다. 플레이트(2)는 홈(4)과 니들 삽입공(3)을 가질 수 있다. 홈(4)은 플레이트(2)에 니들 삽입공(3)을 형성하기 위한 공간이다. 니들(6)은 절곡된 단부가 니들 삽입공(3)에 삽입된다. 또한, 니들(6)은 지지부(5)에 지지된다. 이 경우, 긴 길이를 가지는 니들(6)은 지지부(5)에 의해 안정적으로 지지되지 못하는 문제점이 있다.Referring to FIG. 1, a
또한, 도 1의 니들(6)은 편의상 선으로 도시하였다. 니들(6)은 일정한 단면을 가지기 때문에 니들 삽입공(3)의 내주면에 직접 접촉된다. 그러므로, 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)의 하면에 품질 등의 검사가 필요한 반도체 등이 장착 및 탈착을 반복하면서 니들(6)은 니들 삽입공(3)의 내부에서 마찰을 일으킨다. 이는, 플레이트(2) 또는 니들(6)의 내구성을 저하시키는 문제점이 있다. 상술한 바와 같이, 니들(6)의 반복적인 운동으로 종래 기술에 따른 지지부(5)는 니들(6)을 안정적으로 지지할 수 없는 문제점이 있다.Also, the
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리는 탐침 니들과 니들 삽입공의 접촉면적으로 최소화하기 위한 마찰 방지공을 제공할 수 있다.In order to solve the above problems, the probe assembly for a probe card according to an embodiment of the present invention may provide a friction prevention hole for minimizing the contact area between the probe needle and the needle insertion hole.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리는 탐침 니들을 안정적으로 지지할 수 있는 계단식 돌출부를 제공할 수 있다.Also, the needle assembly for a probe card according to an embodiment of the present invention can provide a stepped protrusion capable of stably supporting the probe needles.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어세블리는, 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트, 상기 니들 삽입공에 삽입되는 다수의 탐침 니들을 포함하며, 상기 플레이트는, 평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈, 및 상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 가지고, 상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되며, 상기 다수의 탐침 니들은 상기 계단식 돌출부에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치되며, 상기 다수의 탐침 니들의 단부는 절곡되어 상기 니들 삽입공에 삽입되며, 상기 플레이트는 상기 다수의 니들 삽입공 각각의 내주면을 따라 연장되어 상기 니들 삽입공의 내경 보다 더 큰 내경을 가지며, 상기 홈의 최하면에서 상기 플레이트의 타면을 향하여 함몰된 마찰 방지공을 더 가지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a needle assembly for a probe card, comprising: a plate disposed on a probe card and having a plurality of needle insertion holes; Wherein the plate has a pair of grooves disposed on one side of the plate, the grooves being opposed to each other with respect to a first axis transverse to the plate in plan view, and a pair of grooves disposed in the grooves, And a plurality of needle insertion holes are disposed on the lowermost surface of the groove, and the plurality of probe needles are arranged on the lower surface of the groove, Wherein at least a part of the stepped protrusion is disposed in an inclined relation with the end of the plurality of probe needles being bent, Wherein the plate has an inner diameter larger than an inner diameter of the needle insertion hole and extending along an inner circumferential surface of each of the plurality of needle insertion holes, And further has a prevention ball.
또한, 상기 탐침 니들은 일정한 길이를 가지는 니들 봉과 상기 니들 봉으로부터 절곡되어 둔각을 이루는 절곡 단부를 포함하며, 상기 니들 삽입공의 중심축은 상기 둔각에 대응하여 경사지고, 상기 둔각은 실질적으로 91도 이상 121도 이하인 것을 특징으로 한다.The probe needle includes a needle bar having a predetermined length and a bent end bent at an obtuse angle from the needle bar. The central axis of the needle insertion hole is inclined corresponding to the obtuse angle, and the obtuse angle is substantially 91 degrees or more 121 degrees or less.
또한, 상기 마찰 방지공은 상기 둔각에 대응하여 경사지는 것을 특징으로 한다.Further, the friction preventing hole is inclined corresponding to the obtuse angle.
또한, 상기 계단식 돌출부 상에 배치된 상기 탐침 니들은 상기 플레이트의 일면과 실질적으로 6도 이상 15도 이하의 각도를 이루며, 상기 계단식 돌출부는 계단식으로 점차 높아지는 다수의 계단형 단턱과 상기 다수의 계단형 단턱 중 적어도 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기를 포함하는 것을 특징으로 한다.Also, the probe needle disposed on the stepped protrusion forms an angle of substantially 6 to 15 degrees with one surface of the plate, and the stepped protrusion has a plurality of stepped steps that gradually increase stepwise, and a plurality of stepped steps And an independent projection disposed on at least one of the upper and lower surfaces.
본 발명에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리에 의하면, 마찰 방지공을 통해 탐침 니들과 니들 삽입공의 접촉면적으로 최소화하여 마찰을 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 플레이트와 탐침 니들의 내구성을 개선시킬 수 있다.According to the needle assembly for a probe card according to the present invention, friction can be reduced by minimizing the contact area between the probe needle and the needle insertion hole through the friction preventing hole. Thereby, the durability of the plate and the probe needle can be improved.
또한, 한 쌍의 홈에 배치된 계단식 돌출부에 의해 탐침 니들은 안정적으로 지지될 수 있다.Further, the probe needles can be stably supported by the stepped protrusions arranged in the pair of grooves.
도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 프로브 카드에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 저면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 플레이트의 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 플레이트의 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 플레이트의 측면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 플레이트에 배치된 탐침 니들을 도시한 도면이다.
도 9는 도 7에 도시된 플레이트의 배면에 노출된 탐침 니들을 도시한 도면이다.
도 10은 도 7에 도시된 니들 삽입공 및 마찰 방지공의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a needle assembly for a probe card according to the prior art.
2 is a plan view of a probe card needle assembly according to an embodiment of the present invention disposed on a probe card.
3 is a plan view of the needle assembly for the probe card shown in Fig.
4 is a bottom view of the needle assembly for the probe card shown in Fig.
Figure 5 is a perspective view of the plate shown in Figure 2;
6 is a plan view of the plate shown in Fig.
Figure 7 is a side view of the plate shown in Figure 6;
8 is a view showing probe needles disposed on the plate shown in FIG.
FIG. 9 is a view showing probe needles exposed on the back surface of the plate shown in FIG. 7; FIG.
Fig. 10 is a view showing another embodiment of the needle insertion hole and the friction preventing hole shown in Fig. 7;
이하 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a
도 2는 프로브 카드(110)에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 도시한 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 평면도이며, 도 4는 도 3에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 저면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 플레이트(100)의 사시도이며, 도 6은 도 5에 도시된 플레이트(100)의 평면도이다.FIG. 2 is a plan view showing a
도 2 내지 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)는 플레이트(100)와 탐침 니들(200)을 포함할 수 있다.2 through 6, the probe
플레이트(100)는 프로브 카드(110) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼(미도시), COF(chip on film, 미도시), FPC(flexible printed circuit, 미도시) 등이 플레이트(100)에 배치되어, 품질 검사가 이루어질 수 있다. 플레이트(100)는 한 쌍의 홈(130), 니들 삽입공(150), 계단식 돌출부(155) 및 마찰 방지공(170)을 가질 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 사각 판 형상을 가질 수 있다.The
한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일측과 타측을 가로지르는 제 1 축(131)을 기준으로 마주보게 배치될 수 있다. 예컨대, 제 1 축(131)은 평면상 플레이트(100)의 중심을 지나는 좌우 중심축을 포함할 수 있다. 한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일면에 배치될 수 있다. 즉, 플레이트(100)는 그 일면에서 타면을 향하여 평면상 사각 형상으로 함몰된 한 쌍의 홈(130)을 가질 수 있다. 또한, 한 쌍의 홈(130) 각각은 제 1 축(131)으로부터 이격되고, 플레이트(100)의 가장자리에 인접하게 배치될 수 있다.The pair of
도 7은 도 6에 도시된 플레이트(100)의 측면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 플레이트(100)에 배치된 탐침 니들(200)을 도시한 도면이며, 도 9는 도 7에 도시된 플레이트의 배면에 노출된 탐침 니들을 도시한 도면이다.7 is a side view of the
도 7 내지 9를 참조하면, 계단식 돌출부(135)는 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 계단식 돌출부(135)는 플레이트(100)의 타면에서 일면을 향하여 돌출될 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(135)는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 계단식 돌출부(135)는 계단식으로 점차 돌출되어 플레이트(100)의 가장자리까지 연장될 수 있다. 7 to 9, the
일 실시 예로, 계단식 돌출부(135)는 다수의 계단형 단턱(134)과 적어도 하나의 독립형 돌기(136)를 포함할 수 있다. 다수의 계단형 단턱(134)들은 제 1 축(131)으로부터 플레이트(100)의 가장자리로 갈수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 즉, 다수의 계단형 단턱(134)들의 높이는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 홈(130)의 최하면(133)으로부터 높아질 수 있다.In one embodiment, the
독립형 돌기(136)는 다수의 계단형 단턱(134) 중 적어도 어느 하나의 상면으로부터 돌출될 수 있다. 또한, 다수의 계단형 단턱(134) 중 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기(136)는 다른 하나의 계단형 단턱(134)과 이격되게 배치될 수 있다. 한 쌍의 홈(130)의 내부에서 계단식으로 돌출되는 다수의 계단형 단턱(134)들을 소정의 높이로 가공하는 것은 어려움이 따를 수 있다. 따라서, 한 쌍의 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(134)은 다른 계단형 단턱(134)에 비해 넓은 폭을 갖게 가공될 수 있다. 이 경우, 독립형 돌기(136)가 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(134) 상에 배치될 수 있다. 독립형 돌기(136)는 후술하는 탐침 니들의 경사 각도를 조절하고, 탐침 니들을 안정적으로 지지할 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 금형(미도시)을 이용하여 사출 방식으로 제조될 수 있다.The stand-
도 5, 6, 7 및 8을 참조하면, 플레이트(100)는 다수의 니들 삽입공(150)을 가질 수 있다. 니들 삽입공(150)은 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 니들 삽입공(150)은 한 쌍의 홈(130)에 배치될 수 있다. 특히, 니들 삽입공(150)은 홈(130)의 최하면(133)에 배치될 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)은 제 1 축(131)과 계단식 돌출부(135)의 사이에 배치될 수 있다. 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 후술하는 탐침 니들(200)의 절곡 단부(230)에 대응하여 경사질 수 있다.5, 6, 7 and 8, the
한편, 플레이트(100)는 마찰 방지공(170)을 더 가질 수 있다. 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150) 마다 배치될 수 있다. 또한, 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150)을 사이에 두고 플레이트(100)의 타면과 이격되어 한 쌍의 홈(130)의 최하면(133)에 배치될 수 있다. 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150)의 내주면을 따라 연장될 수 있다. 여기서, 마찰 방지공(170)의 내경(D2)은 니들 삽입공(150)의 내경(D1) 보다 더 크다. 이에 의해, 니들 삽입공(150)에 삽입되어 유동하는 탐침 니들(200)의 접촉 면적을 줄여 마찰을 저감시킬 수 있다. 이는, 탐침 니들(200) 및 플레이트(100)의 내구성을 개선시킬 수 있다.On the other hand, the
탐침 니들(200)은 계단식 돌출부(135)에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치될 수 있다. 또한, 탐침 니들(200)의 단부는 니들 삽입공(150)에 삽입될 수 있다. 일 실시 예로, 탐침 니들(200)은 니들 봉(210)과 절곡 단부(230)를 가질 수 있다. 니들 봉(210)은 일정한 길이를 가질 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)의 단부에 배치될 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 둔각을 이룰 수 있다. 바람직하게, 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 91도 이상 121도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(135)에 배치된 니들 봉(210)은 플레이트(100)의 일면 또는 타면과 6도 이상 15도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 이에 의해, 절곡 단부(230)가 니들 삽입공(150)에 유동 가능하게 최적으로 삽입될 수 있다.The
도 10은 도 7에 도시된 니들 삽입공(150) 및 마찰 방지공(170)의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.10 is a view showing another embodiment of the
도 8 및 10을 참조하면, 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 경사지게 배치될 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 플레이트(100)의 일면과 타면을 수직으로 관통하는 수직축과 경사지게 배치될 수 있다. 일 실시 예로, 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 절곡 단부(230)와 평행할 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 절곡 단부(230)의 둔각에 대응하여 경사질 수 있다. 이에 의해, 니들 삽입공(150)에 삽입되어 유동하는 절곡 단부(230)의 마찰을 저감시킬 수 있다. 또한, 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150)의 중심축과 동일한 중심축을 가질 수 있다. 즉, 마찰 방지공(170)도 니들 삽입공과 동일하게 경사지게 배치될 수 있다.8 and 10, the
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.Although the invention made by the present inventors has been described concretely with reference to the above embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and it goes without saying that various changes can be made without departing from the gist of the present invention.
10 : 프로브 카드용 니들 어셈블리
100 : 플레이트
110 : 프로브 카드
130 : 한 쌍의 홈
131 : 제 1 축
133 : 한 쌍의 홈의 최하면
135 : 계단식 돌출부
150 : 니들 삽입공
170 : 마찰 방지공
200 : 탐침 니들
210 : 니들 봉
230 : 절곡 단부10: Needle assembly for probe card
100: Plate
110: Probe card
130: a pair of grooves
131: 1st axis
133: The bottom of a pair of grooves
135: stepped protrusion
150: Needle insertion ball
170: Friction prevention ball
200: Probe needle
210: needle bar
230: Bending end
Claims (4)
상기 니들 삽입공에 삽입되는 다수의 탐침 니들을 포함하며,
상기 플레이트는,
평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈; 및
상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 가지고,
상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되며,
상기 다수의 탐침 니들은 상기 계단식 돌출부에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치되며, 상기 다수의 탐침 니들의 단부는 절곡되어 상기 니들 삽입공에 삽입되며,
상기 플레이트는 상기 다수의 니들 삽입공 각각의 내주면을 따라 연장되어 상기 니들 삽입공의 내경 보다 더 큰 내경을 가지며, 상기 홈의 최하면에서 상기 플레이트의 타면을 향하여 함몰된 마찰 방지공을 더 가지는 프로브 카드용 니들 어셈블리.A plate disposed on the probe card and having a plurality of needle insertion holes;
And a plurality of probe needles inserted into the needle insertion hole,
The plate may comprise:
A pair of grooves disposed on one side of the plate, the grooves being opposed to each other with respect to a first axis crossing the plate in a plan view; And
A stepped protrusion disposed in the groove and protruding from the other surface of the plate toward one surface of the plate and protruding in a stepwise manner as being further away from the first axis,
Wherein the plurality of needle insertion holes are disposed on the lowermost surface of the groove,
Wherein the plurality of probe needles are at least partly in contact with the stepped protrusion and are inclined, the end portions of the plurality of probe needles are bent and inserted into the needle insertion hole,
Wherein the plate has a plurality of needle insertion holes each having an inner diameter larger than an inner diameter of the needle insertion hole and extending along an inner circumferential surface of the needle insertion hole and having a friction preventing hole recessed toward the other surface of the plate, Needle assembly for card.
상기 탐침 니들은 일정한 길이를 가지는 니들 봉과 상기 니들 봉으로부터 절곡되어 둔각을 이루는 절곡 단부를 포함하며,
상기 니들 삽입공의 중심축은 상기 둔각에 대응하여 경사지고,
상기 둔각은 91도 이상 121도 이하인 프로브 카드용 니들 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the probe needle includes a needle bar having a predetermined length and a bent end bent at an obtuse angle from the needle bar,
The center axis of the needle insertion hole is inclined corresponding to the obtuse angle,
Wherein the obtuse angle is greater than or equal to 91 degrees and less than or equal to 121 degrees.
상기 마찰 방지공은 상기 둔각에 대응하여 경사지는 프로브 카드용 니들 어셈블리.3. The method of claim 2,
Wherein the friction barrier is inclined corresponding to the obtuse angle.
상기 계단식 돌출부 상에 배치된 상기 탐침 니들은 상기 플레이트의 일면과 6도 이상 15도 이하의 각도를 이루며,
상기 계단식 돌출부는 계단식으로 점차 높아지는 다수의 계단형 단턱과 상기 다수의 계단형 단턱 중 적어도 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기를 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the probe needle disposed on the stepped protrusion forms an angle of not less than 6 degrees and not more than 15 degrees with one surface of the plate,
Wherein the stepped protrusion comprises a plurality of stepped steps that gradually increase stepwise and stand-alone protrusions disposed on an upper surface of at least one of the plurality of stepped steps.
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KR (1) | KR101823141B1 (en) |
Citations (4)
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KR100632485B1 (en) | 2006-03-14 | 2006-10-09 | 주식회사 맥퀸트로닉 | Probe card of buffering type |
KR100876940B1 (en) | 2007-06-19 | 2009-01-07 | 주식회사 새한마이크로텍 | Probe card using isolinear needle |
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2016
- 2016-10-05 KR KR1020160128475A patent/KR101823141B1/en active IP Right Grant
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