KR101823141B1 - The needle assembly for the probe card - Google Patents

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(주)이큐이엔지
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Abstract

The present invention relates to a needle assembly for a probe card. According to the present invention, the needle assembly for a probe card comprises: a plate placed on the probe card to have a plurality of needle insertion holes; and a plurality of probe needles inserted into the needle insertion holes. The plate comprises: a pair of grooves placed on one surface of the plate to face each other on both sides of a first axis, which crosses the plate, in a plane view; and a terraced protruding unit placed on the grooves to protrude from the other surface of the plate towards the one surface of the plate and to protrude in the shape of a terrace from the first axis. The plurality of needle insertion holes are placed on the lowest surface of the grooves. The plurality of probe needles are placed to be inclined by coming in contact at least partially with the terraced protruding unit. An end unit of the plurality of probe needles is bent to be inserted into the needle insertion holes. The needle assembly for a probe card is able to provide a friction prevention hole to minimize a contact surface between the probe needles and the needle insertion holes.

Description

프로브 카드용 니들 어셈블리{THE NEEDLE ASSEMBLY FOR THE PROBE CARD}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a needle assembly for a probe card,

본 발명은 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 탐침 니들 및 플레이트의 내구성을 개선한 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것이다. The present invention relates to a needle assembly for a probe card, and more particularly to a needle assembly for a probe card that improves the durability of probe needles and plates.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)를 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a needle assembly 1 for a probe card according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)는 플레이트(2)와 니들(6)을 포함한다. 플레이트(2)는 홈(4)과 니들 삽입공(3)을 가질 수 있다. 홈(4)은 플레이트(2)에 니들 삽입공(3)을 형성하기 위한 공간이다. 니들(6)은 절곡된 단부가 니들 삽입공(3)에 삽입된다. 또한, 니들(6)은 지지부(5)에 지지된다. 이 경우, 긴 길이를 가지는 니들(6)은 지지부(5)에 의해 안정적으로 지지되지 못하는 문제점이 있다.Referring to FIG. 1, a needle assembly 1 for a probe card according to the prior art includes a plate 2 and a needle 6. The plate (2) may have a groove (4) and a needle insertion hole (3). The groove 4 is a space for forming the needle insertion hole 3 in the plate 2. The bent end of the needle 6 is inserted into the needle insertion hole 3. Further, the needles 6 are supported by the supporting portions 5. [ In this case, there is a problem that the needle 6 having a long length can not be stably supported by the support portion 5. [

또한, 도 1의 니들(6)은 편의상 선으로 도시하였다. 니들(6)은 일정한 단면을 가지기 때문에 니들 삽입공(3)의 내주면에 직접 접촉된다. 그러므로, 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)의 하면에 품질 등의 검사가 필요한 반도체 등이 장착 및 탈착을 반복하면서 니들(6)은 니들 삽입공(3)의 내부에서 마찰을 일으킨다. 이는, 플레이트(2) 또는 니들(6)의 내구성을 저하시키는 문제점이 있다. 상술한 바와 같이, 니들(6)의 반복적인 운동으로 종래 기술에 따른 지지부(5)는 니들(6)을 안정적으로 지지할 수 없는 문제점이 있다.Also, the needles 6 of FIG. 1 are shown as lines for convenience. The needle 6 is in direct contact with the inner peripheral surface of the needle insertion hole 3 since it has a constant cross section. Therefore, the needle 6 causes friction in the needle insertion hole 3 while repeating the mounting and detachment of semiconductors, etc., which need to be inspected for quality, etc., on the lower surface of the probe card needle assembly 1. This has a problem that the durability of the plate 2 or the needle 6 is lowered. As described above, with the repetitive motion of the needle 6, the support 5 according to the prior art can not stably support the needle 6.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리는 탐침 니들과 니들 삽입공의 접촉면적으로 최소화하기 위한 마찰 방지공을 제공할 수 있다.In order to solve the above problems, the probe assembly for a probe card according to an embodiment of the present invention may provide a friction prevention hole for minimizing the contact area between the probe needle and the needle insertion hole.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리는 탐침 니들을 안정적으로 지지할 수 있는 계단식 돌출부를 제공할 수 있다.Also, the needle assembly for a probe card according to an embodiment of the present invention can provide a stepped protrusion capable of stably supporting the probe needles.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어세블리는, 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트, 상기 니들 삽입공에 삽입되는 다수의 탐침 니들을 포함하며, 상기 플레이트는, 평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈, 및 상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 가지고, 상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되며, 상기 다수의 탐침 니들은 상기 계단식 돌출부에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치되며, 상기 다수의 탐침 니들의 단부는 절곡되어 상기 니들 삽입공에 삽입되며, 상기 플레이트는 상기 다수의 니들 삽입공 각각의 내주면을 따라 연장되어 상기 니들 삽입공의 내경 보다 더 큰 내경을 가지며, 상기 홈의 최하면에서 상기 플레이트의 타면을 향하여 함몰된 마찰 방지공을 더 가지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a needle assembly for a probe card, comprising: a plate disposed on a probe card and having a plurality of needle insertion holes; Wherein the plate has a pair of grooves disposed on one side of the plate, the grooves being opposed to each other with respect to a first axis transverse to the plate in plan view, and a pair of grooves disposed in the grooves, And a plurality of needle insertion holes are disposed on the lowermost surface of the groove, and the plurality of probe needles are arranged on the lower surface of the groove, Wherein at least a part of the stepped protrusion is disposed in an inclined relation with the end of the plurality of probe needles being bent, Wherein the plate has an inner diameter larger than an inner diameter of the needle insertion hole and extending along an inner circumferential surface of each of the plurality of needle insertion holes, And further has a prevention ball.

또한, 상기 탐침 니들은 일정한 길이를 가지는 니들 봉과 상기 니들 봉으로부터 절곡되어 둔각을 이루는 절곡 단부를 포함하며, 상기 니들 삽입공의 중심축은 상기 둔각에 대응하여 경사지고, 상기 둔각은 실질적으로 91도 이상 121도 이하인 것을 특징으로 한다.The probe needle includes a needle bar having a predetermined length and a bent end bent at an obtuse angle from the needle bar. The central axis of the needle insertion hole is inclined corresponding to the obtuse angle, and the obtuse angle is substantially 91 degrees or more 121 degrees or less.

또한, 상기 마찰 방지공은 상기 둔각에 대응하여 경사지는 것을 특징으로 한다.Further, the friction preventing hole is inclined corresponding to the obtuse angle.

또한, 상기 계단식 돌출부 상에 배치된 상기 탐침 니들은 상기 플레이트의 일면과 실질적으로 6도 이상 15도 이하의 각도를 이루며, 상기 계단식 돌출부는 계단식으로 점차 높아지는 다수의 계단형 단턱과 상기 다수의 계단형 단턱 중 적어도 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기를 포함하는 것을 특징으로 한다.Also, the probe needle disposed on the stepped protrusion forms an angle of substantially 6 to 15 degrees with one surface of the plate, and the stepped protrusion has a plurality of stepped steps that gradually increase stepwise, and a plurality of stepped steps And an independent projection disposed on at least one of the upper and lower surfaces.

본 발명에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리에 의하면, 마찰 방지공을 통해 탐침 니들과 니들 삽입공의 접촉면적으로 최소화하여 마찰을 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 플레이트와 탐침 니들의 내구성을 개선시킬 수 있다.According to the needle assembly for a probe card according to the present invention, friction can be reduced by minimizing the contact area between the probe needle and the needle insertion hole through the friction preventing hole. Thereby, the durability of the plate and the probe needle can be improved.

또한, 한 쌍의 홈에 배치된 계단식 돌출부에 의해 탐침 니들은 안정적으로 지지될 수 있다.Further, the probe needles can be stably supported by the stepped protrusions arranged in the pair of grooves.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 프로브 카드에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 저면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 플레이트의 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 플레이트의 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 플레이트의 측면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 플레이트에 배치된 탐침 니들을 도시한 도면이다.
도 9는 도 7에 도시된 플레이트의 배면에 노출된 탐침 니들을 도시한 도면이다.
도 10은 도 7에 도시된 니들 삽입공 및 마찰 방지공의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a needle assembly for a probe card according to the prior art.
2 is a plan view of a probe card needle assembly according to an embodiment of the present invention disposed on a probe card.
3 is a plan view of the needle assembly for the probe card shown in Fig.
4 is a bottom view of the needle assembly for the probe card shown in Fig.
Figure 5 is a perspective view of the plate shown in Figure 2;
6 is a plan view of the plate shown in Fig.
Figure 7 is a side view of the plate shown in Figure 6;
8 is a view showing probe needles disposed on the plate shown in FIG.
FIG. 9 is a view showing probe needles exposed on the back surface of the plate shown in FIG. 7; FIG.
Fig. 10 is a view showing another embodiment of the needle insertion hole and the friction preventing hole shown in Fig. 7;

이하 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a needle assembly 10 for a probe card according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 프로브 카드(110)에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 도시한 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 평면도이며, 도 4는 도 3에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 저면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 플레이트(100)의 사시도이며, 도 6은 도 5에 도시된 플레이트(100)의 평면도이다.FIG. 2 is a plan view showing a needle assembly 10 for a probe card according to an embodiment of the present invention disposed on a probe card 110, FIG. 3 is a cross- Fig. 5 is a perspective view of the plate 100 shown in Fig. 2, and Fig. 6 is a plan view of the plate shown in Fig. 5 100).

도 2 내지 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)는 플레이트(100)와 탐침 니들(200)을 포함할 수 있다.2 through 6, the probe card needle assembly 10 according to an embodiment of the present invention may include a plate 100 and a probe needle 200.

플레이트(100)는 프로브 카드(110) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼(미도시), COF(chip on film, 미도시), FPC(flexible printed circuit, 미도시) 등이 플레이트(100)에 배치되어, 품질 검사가 이루어질 수 있다. 플레이트(100)는 한 쌍의 홈(130), 니들 삽입공(150), 계단식 돌출부(155) 및 마찰 방지공(170)을 가질 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 사각 판 형상을 가질 수 있다.The plate 100 may be disposed on the probe card 110. Therefore, a semiconductor wafer (not shown), a chip on film (not shown), a flexible printed circuit (FPC) (not shown), and the like can be disposed on the plate 100 to perform quality inspection. The plate 100 may have a pair of grooves 130, a needle insertion hole 150, a stepped protrusion 155, and a friction prevention hole 170. Meanwhile, the plate 100 may have a rectangular plate shape.

한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일측과 타측을 가로지르는 제 1 축(131)을 기준으로 마주보게 배치될 수 있다. 예컨대, 제 1 축(131)은 평면상 플레이트(100)의 중심을 지나는 좌우 중심축을 포함할 수 있다. 한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일면에 배치될 수 있다. 즉, 플레이트(100)는 그 일면에서 타면을 향하여 평면상 사각 형상으로 함몰된 한 쌍의 홈(130)을 가질 수 있다. 또한, 한 쌍의 홈(130) 각각은 제 1 축(131)으로부터 이격되고, 플레이트(100)의 가장자리에 인접하게 배치될 수 있다.The pair of grooves 130 may be disposed to face each other with respect to the first axis 131 which crosses one side of the plate 100 and the other side. For example, the first axis 131 may include left and right center axes passing through the center of the planar plate 100. The pair of grooves 130 may be disposed on one side of the plate 100. That is, the plate 100 may have a pair of grooves 130 that are depressed in a rectangular shape in a plan view from the one surface toward the other surface. Further, each of the pair of grooves 130 may be spaced from the first axis 131 and disposed adjacent to the edge of the plate 100.

도 7은 도 6에 도시된 플레이트(100)의 측면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 플레이트(100)에 배치된 탐침 니들(200)을 도시한 도면이며, 도 9는 도 7에 도시된 플레이트의 배면에 노출된 탐침 니들을 도시한 도면이다.7 is a side view of the plate 100 shown in Fig. 6, Fig. 8 is a view showing the probe needle 200 disposed on the plate 100 shown in Fig. 7, and Fig. 9 is a cross- Lt; RTI ID = 0.0 > needle < / RTI >

도 7 내지 9를 참조하면, 계단식 돌출부(135)는 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 계단식 돌출부(135)는 플레이트(100)의 타면에서 일면을 향하여 돌출될 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(135)는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 계단식 돌출부(135)는 계단식으로 점차 돌출되어 플레이트(100)의 가장자리까지 연장될 수 있다. 7 to 9, the stepped protrusion 135 may be disposed in each of the pair of grooves 130. [ The stepped protrusion 135 may project from one surface of the plate 100 toward the other surface. In addition, the stepped protrusion 135 may protrude in a stepwise manner as the distance from the first axis 131 increases. The stepped protrusion 135 may gradually protrude stepwise and extend to the edge of the plate 100.

일 실시 예로, 계단식 돌출부(135)는 다수의 계단형 단턱(134)과 적어도 하나의 독립형 돌기(136)를 포함할 수 있다. 다수의 계단형 단턱(134)들은 제 1 축(131)으로부터 플레이트(100)의 가장자리로 갈수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 즉, 다수의 계단형 단턱(134)들의 높이는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 홈(130)의 최하면(133)으로부터 높아질 수 있다.In one embodiment, the stepped protrusion 135 may include a plurality of stepped steps 134 and at least one independent protrusion 136. The plurality of stepped steps 134 may protrude stepwise from the first axis 131 toward the edge of the plate 100. That is, the height of the plurality of step-like steps 134 can be increased from the lowest surface 133 of the groove 130 as the distance from the first axis 131 increases.

독립형 돌기(136)는 다수의 계단형 단턱(134) 중 적어도 어느 하나의 상면으로부터 돌출될 수 있다. 또한, 다수의 계단형 단턱(134) 중 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기(136)는 다른 하나의 계단형 단턱(134)과 이격되게 배치될 수 있다. 한 쌍의 홈(130)의 내부에서 계단식으로 돌출되는 다수의 계단형 단턱(134)들을 소정의 높이로 가공하는 것은 어려움이 따를 수 있다. 따라서, 한 쌍의 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(134)은 다른 계단형 단턱(134)에 비해 넓은 폭을 갖게 가공될 수 있다. 이 경우, 독립형 돌기(136)가 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(134) 상에 배치될 수 있다. 독립형 돌기(136)는 후술하는 탐침 니들의 경사 각도를 조절하고, 탐침 니들을 안정적으로 지지할 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 금형(미도시)을 이용하여 사출 방식으로 제조될 수 있다.The stand-alone projection 136 may protrude from the upper surface of at least one of the plurality of step-like steps 134. Also, the stand-alone projections 136 disposed on the upper surface of one of the plurality of step-like projections 134 may be spaced apart from the other step-like projections 134. It may be difficult to process a plurality of stepped projections 134 step-wise in a pair of grooves 130 to a predetermined height. The stepped step 134 closest to the lowermost side 133 of the pair of grooves 130 can be processed to have a wider width than the other stepped steps 134. [ In this case, the stand-alone projection 136 may be disposed on the step-like step 134 nearest to the lowermost side 133 of the groove 130. The stand-alone projection 136 can adjust the inclination angle of the probe needle described later and stably support the probe needles. Meanwhile, the plate 100 may be manufactured by an injection method using a mold (not shown).

도 5, 6, 7 및 8을 참조하면, 플레이트(100)는 다수의 니들 삽입공(150)을 가질 수 있다. 니들 삽입공(150)은 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 니들 삽입공(150)은 한 쌍의 홈(130)에 배치될 수 있다. 특히, 니들 삽입공(150)은 홈(130)의 최하면(133)에 배치될 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)은 제 1 축(131)과 계단식 돌출부(135)의 사이에 배치될 수 있다. 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 후술하는 탐침 니들(200)의 절곡 단부(230)에 대응하여 경사질 수 있다.5, 6, 7 and 8, the plate 100 may have a plurality of needle insertion holes 150. The needle insertion hole 150 may be disposed in each of the pair of grooves 130. [ The needle insertion holes 150 may be disposed in the pair of grooves 130. [ In particular, the needle insertion hole 150 can be disposed on the lowermost side 133 of the groove 130. [ That is, the needle insertion hole 150 may be disposed between the first shaft 131 and the stepped protrusion 135. [ The center axis 151 of the needle insertion hole 150 may be inclined corresponding to the bent end 230 of the probe needle 200 described later.

한편, 플레이트(100)는 마찰 방지공(170)을 더 가질 수 있다. 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150) 마다 배치될 수 있다. 또한, 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150)을 사이에 두고 플레이트(100)의 타면과 이격되어 한 쌍의 홈(130)의 최하면(133)에 배치될 수 있다. 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150)의 내주면을 따라 연장될 수 있다. 여기서, 마찰 방지공(170)의 내경(D2)은 니들 삽입공(150)의 내경(D1) 보다 더 크다. 이에 의해, 니들 삽입공(150)에 삽입되어 유동하는 탐침 니들(200)의 접촉 면적을 줄여 마찰을 저감시킬 수 있다. 이는, 탐침 니들(200) 및 플레이트(100)의 내구성을 개선시킬 수 있다.On the other hand, the plate 100 may further have a friction preventing hole 170. The friction preventing holes 170 may be disposed for each of the needle insertion holes 150. The friction preventing hole 170 may be disposed on the lowermost surface 133 of the pair of grooves 130 so as to be spaced apart from the other surface of the plate 100 with the needle insertion hole 150 interposed therebetween. The friction preventing hole 170 may extend along the inner circumferential surface of the needle insertion hole 150. Here, the inner diameter D2 of the friction preventing hole 170 is larger than the inner diameter D1 of the needle insertion hole 150. [ As a result, the contact area of the probe needle 200 inserted into the needle insertion hole 150 and flowing therethrough can be reduced to reduce the friction. This can improve the durability of the probe needle 200 and the plate 100.

탐침 니들(200)은 계단식 돌출부(135)에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치될 수 있다. 또한, 탐침 니들(200)의 단부는 니들 삽입공(150)에 삽입될 수 있다. 일 실시 예로, 탐침 니들(200)은 니들 봉(210)과 절곡 단부(230)를 가질 수 있다. 니들 봉(210)은 일정한 길이를 가질 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)의 단부에 배치될 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 둔각을 이룰 수 있다. 바람직하게, 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 91도 이상 121도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(135)에 배치된 니들 봉(210)은 플레이트(100)의 일면 또는 타면과 6도 이상 15도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 이에 의해, 절곡 단부(230)가 니들 삽입공(150)에 유동 가능하게 최적으로 삽입될 수 있다.The probe needle 200 may be disposed at an angle to at least a portion of the stepped protrusion 135. Further, the end of the probe needle 200 can be inserted into the needle insertion hole 150. [ In one embodiment, the probe needle 200 may have a needle bar 210 and a bent end 230. The needle bar 210 may have a constant length. The bent end 230 may be disposed at the end of the needle bar 210. [ The folded end 230 may be at an obtuse angle with the needle bar 210. The bent end 230 preferably has an angle of not less than 91 degrees and not more than 121 degrees with the needle bar 210. [ In addition, the needle bar 210 disposed on the stepped protrusion 135 may form an angle of 6 degrees or more and 15 degrees or less with respect to one surface or the other surface of the plate 100. Thereby, the bent end 230 can be inserted optimally into the needle insertion hole 150 to be able to flow.

도 10은 도 7에 도시된 니들 삽입공(150) 및 마찰 방지공(170)의 다른 실시 예를 도시한 도면이다.10 is a view showing another embodiment of the needle insertion hole 150 and the friction preventing hole 170 shown in FIG.

도 8 및 10을 참조하면, 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 경사지게 배치될 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 플레이트(100)의 일면과 타면을 수직으로 관통하는 수직축과 경사지게 배치될 수 있다. 일 실시 예로, 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 절곡 단부(230)와 평행할 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)의 중심축(151)은 절곡 단부(230)의 둔각에 대응하여 경사질 수 있다. 이에 의해, 니들 삽입공(150)에 삽입되어 유동하는 절곡 단부(230)의 마찰을 저감시킬 수 있다. 또한, 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150)의 중심축과 동일한 중심축을 가질 수 있다. 즉, 마찰 방지공(170)도 니들 삽입공과 동일하게 경사지게 배치될 수 있다.8 and 10, the central axis 151 of the needle insertion hole 150 may be disposed at an inclination. That is, the central axis 151 of the needle insertion hole 150 may be inclined with respect to the vertical axis passing vertically through one surface of the plate 100 and the other surface. In one embodiment, the center axis 151 of the needle insertion hole 150 may be parallel to the folded end 230. That is, the central axis 151 of the needle insertion hole 150 may be inclined corresponding to the obtuse angle of the bent end portion 230. As a result, the friction of the bent end portion 230 inserted into the needle insertion hole 150 and flowing therethrough can be reduced. In addition, the friction preventing hole 170 may have the same central axis as the central axis of the needle insertion hole 150. [ In other words, the friction preventing holes 170 may also be arranged to be inclined in the same manner as the needle insertion holes.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.Although the invention made by the present inventors has been described concretely with reference to the above embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and it goes without saying that various changes can be made without departing from the gist of the present invention.

10 : 프로브 카드용 니들 어셈블리
100 : 플레이트
110 : 프로브 카드
130 : 한 쌍의 홈
131 : 제 1 축
133 : 한 쌍의 홈의 최하면
135 : 계단식 돌출부
150 : 니들 삽입공
170 : 마찰 방지공
200 : 탐침 니들
210 : 니들 봉
230 : 절곡 단부10: Needle assembly for probe card
100: Plate
110: Probe card
130: a pair of grooves
131: 1st axis
133: The bottom of a pair of grooves
135: stepped protrusion
150: Needle insertion ball
170: Friction prevention ball
200: Probe needle
210: needle bar
230: Bending end

Claims (4)

프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트;
상기 니들 삽입공에 삽입되는 다수의 탐침 니들을 포함하며,
상기 플레이트는,
평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈; 및
상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 가지고,
상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되며,
상기 다수의 탐침 니들은 상기 계단식 돌출부에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치되며, 상기 다수의 탐침 니들의 단부는 절곡되어 상기 니들 삽입공에 삽입되며,
상기 플레이트는 상기 다수의 니들 삽입공 각각의 내주면을 따라 연장되어 상기 니들 삽입공의 내경 보다 더 큰 내경을 가지며, 상기 홈의 최하면에서 상기 플레이트의 타면을 향하여 함몰된 마찰 방지공을 더 가지는 프로브 카드용 니들 어셈블리.A plate disposed on the probe card and having a plurality of needle insertion holes;
And a plurality of probe needles inserted into the needle insertion hole,
The plate may comprise:
A pair of grooves disposed on one side of the plate, the grooves being opposed to each other with respect to a first axis crossing the plate in a plan view; And
A stepped protrusion disposed in the groove and protruding from the other surface of the plate toward one surface of the plate and protruding in a stepwise manner as being further away from the first axis,
Wherein the plurality of needle insertion holes are disposed on the lowermost surface of the groove,
Wherein the plurality of probe needles are at least partly in contact with the stepped protrusion and are inclined, the end portions of the plurality of probe needles are bent and inserted into the needle insertion hole,
Wherein the plate has a plurality of needle insertion holes each having an inner diameter larger than an inner diameter of the needle insertion hole and extending along an inner circumferential surface of the needle insertion hole and having a friction preventing hole recessed toward the other surface of the plate, Needle assembly for card. 제 1 항에 있어서,
상기 탐침 니들은 일정한 길이를 가지는 니들 봉과 상기 니들 봉으로부터 절곡되어 둔각을 이루는 절곡 단부를 포함하며,
상기 니들 삽입공의 중심축은 상기 둔각에 대응하여 경사지고,
상기 둔각은 91도 이상 121도 이하인 프로브 카드용 니들 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the probe needle includes a needle bar having a predetermined length and a bent end bent at an obtuse angle from the needle bar,
The center axis of the needle insertion hole is inclined corresponding to the obtuse angle,
Wherein the obtuse angle is greater than or equal to 91 degrees and less than or equal to 121 degrees. 제 2 항에 있어서,
상기 마찰 방지공은 상기 둔각에 대응하여 경사지는 프로브 카드용 니들 어셈블리.3. The method of claim 2,
Wherein the friction barrier is inclined corresponding to the obtuse angle. 제 1 항에 있어서,
상기 계단식 돌출부 상에 배치된 상기 탐침 니들은 상기 플레이트의 일면과 6도 이상 15도 이하의 각도를 이루며,
상기 계단식 돌출부는 계단식으로 점차 높아지는 다수의 계단형 단턱과 상기 다수의 계단형 단턱 중 적어도 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기를 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.The method according to claim 1,
Wherein the probe needle disposed on the stepped protrusion forms an angle of not less than 6 degrees and not more than 15 degrees with one surface of the plate,
Wherein the stepped protrusion comprises a plurality of stepped steps that gradually increase stepwise and stand-alone protrusions disposed on an upper surface of at least one of the plurality of stepped steps.
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