KR101901824B1 - 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치 - Google Patents

검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치는, 검사 스테이지와 연결되며, 중심점을 기준으로 회전 가능하게 형성된 회전플레이트를 포함하는 회전유닛, 회전 구동력을 발생시키는 구동유닛 및 상기 회전플레이트의 편심된 위치에 형성된 연결부에 연결되고, 상기 구동유닛의 회전 구동력을 상기 회전플레이트의 회전 운동으로 전환시키는 구동력 변환유닛을 포함하며, 상기 구동력 변환유닛은, 상기 구동유닛의 회전 구동력을 제1방향의 직선 운동으로 전환시키도록 형성되어 상기 회전플레이트의 회전 운동을 유도하는 제1운동변환모듈 및 상기 제1운동변환모듈과 연결되되 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 이동 가능하게 형성되어, 상기 회전플레이트의 회전 운동에 따라 상기 연결부에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상하는 제2운동변환모듈을 포함한다.

Description

검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치{Apparatus for Precision Controlling Rotating Angle of Test Stage}
본 발명은 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사 스테이지의 회전을 매우 정밀하게 제어할 수 있도록 하는 동시에 백래시를 최소화할 수 있도록 하는 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치에 관한 것이다.
일반적으로 다양한 광학제품, 전자제품 등과 같이 정밀도가 높은 기계장치들은 제조가 완료된 후 정상품인지를 확인하기 위해 별도의 검사 스테이지에서 검사를 수행하게 되는 경우가 많다.
그리고 상기 검사 스테이지는 제품을 정밀하게 검사하기 위해 상기 제품을 x축, y축, z축으로 이동시키며 검사를 수행하는 것은 물론, 제품의 각도를 변화시킬 수 있도록 회전시키며 검사를 수행하는 과정도 함께 수행된다.
종래의 검사 스테이지를 회전 구동시키기 위한 구동계의 경우, 검사 스테이지의 회전을 구현하기 위해 웜기어를 사용하는 것이 일반적이다.
다만, 이와 같은 형태의 구동계는 제어 시 정밀성이 떨어지기 때문에 의도대로 정확한 검사를 수행하는 것이 쉽지 않으며, 또한 웜기어의 특성 상 큰 백래시(Backlash)가 발생하게 되는 문제가 있다.
따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
한국등록특허 제 10-0837729호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 검사 스테이지의 회전 구동을 위한 구동계의 구조를 합리적으로 설계하고, 백래시를 최소화하여 정밀한 검사를 수행할 수 있도록 하기 위한 목적을 가진다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치는, 검사 스테이지와 연결되며, 중심점을 기준으로 회전 가능하게 형성된 회전플레이트를 포함하는 회전유닛, 회전 구동력을 발생시키는 구동유닛 및 상기 회전플레이트의 편심된 위치에 형성된 연결부에 연결되고, 상기 구동유닛의 회전 구동력을 상기 회전플레이트의 회전 운동으로 전환시키는 구동력 변환유닛을 포함하며, 상기 구동력 변환유닛은, 상기 구동유닛의 회전 구동력을 제1방향의 직선 운동으로 전환시키도록 형성되어 상기 회전플레이트의 회전 운동을 유도하는 제1운동변환모듈 및 상기 제1운동변환모듈과 연결되되 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 이동 가능하게 형성되어, 상기 회전플레이트의 회전 운동에 따라 상기 연결부에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상하는 제2운동변환모듈을 포함한다.
그리고 상기 제1운동변환모듈은, 일단부가 상기 구동유닛에 연결되어 상기 구동유닛의 회전 구동력에 의해 회전되도록 형성되고, 타단부 둘레에는 나사산이 형성된 회전바 및 내주면에 상기 회전바의 타단부에 형성된 나사산과 치합되는 나사산이 형성된 삽입홀이 형성되고, 상기 회전바의 정방향 또는 역방향 회전을 제1방향의 직선 운동으로 전환시키는 제1변환블록을 포함할 수 있다.
또한 상기 제1운동변환모듈은, 상기 제1변환블록에 구비되어 상기 제1변환블록의 이동과 함께 이동되는 제1이동가이드와, 상기 제1이동가이드의 이동을 가이드하도록 고정된 상태로 구비되는 제1고정가이드를 포함하는 제1가이드부를 더 포함할 수 있다.
그리고 상기 제2운동변환모듈은, 상기 연결부에 의해 고정되도록 연결되어 상기 회전플레이트의 회전 운동에 따라 상기 연결부에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상하도록 상기 제2방향으로 직선 운동 가능하게 형성되는 제2변환블록을 포함할 수 있다.
또한 상기 제2운동변환모듈은, 상기 제2변환블록에 구비되어 상기 제2변환블록의 이동과 함께 이동되는 제2이동가이드와, 상기 제2이동가이드의 이동을 가이드하도록 상기 제1운동변환모듈에 고정된 상태로 구비되는 제2고정가이드를 포함하는 제2가이드부를 더 포함할 수 있다.
그리고 상기 회전유닛은, 상기 연결부를 관통한 상태로 상기 회전플레이트에 대해 상대 회전 가능하게 구비되며, 적어도 일부가 상기 제2변환블록에 고정되는 회전베어링을 더 포함할 수 있다.
또한 상기 제2운동변환모듈은, 상기 제2변환블록 내에 구비되어 상기 회전베어링을 가압 고정시키는 고정부재를 더 포함할 수 있다.
그리고 상기 고정부재는 상기 회전베어링에 대한 가압력을 조절 가능하도록 직선 이동 가능하게 형성될 수 있다.
또한 상기 연결부는, 상기 회전베어링의 위치를 중심으로 하여 서로 갈라져 이격되도록 형성된 제1이격부 및 제2이격부 및 상기 제1이격부 및 상기 제2이격부를 관통하도록 형성되고, 내주면에 나사산이 형성된 고정홀을 포함하여, 별도의 체결부재에 의해 상기 고정홀이 상호 체결됨에 따라 상기 제1이격부 및 상기 제2이격부의 이격 거리를 조절하도록 형성될 수 있다.
그리고 상기 회전플레이트의 회전 각도를 검출하는 검출유닛을 더 포함할 수 있다.
또한 상기 회전유닛은,
상기 회전플레이트에 고정되어 상기 회전플레이트의 회전과 함께 회전되되, 적어도 일부가 상기 회전플레이트의 외측으로 돌출된 검출부재를 더 포함하고,
상기 검출유닛은, 상기 검출부재의 회전 범위 일측부에 구비되어 상기 검출부재를 검출하는 제1검출모듈 및 상기 검출부재의 회전 범위 타측부에 구비되어 상기 검출부재를 검출하는 제2검출모듈을 포함할 수 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 검사 스테이지와 연결되는 회전플레이트의 회전 운동을 구현하기 위한 구동력 변환유닛이 서로 수직 방향으로 직선 이동하도록 형성되어, 구동유닛의 회전 구동력을 상기 회전플레이트의 회전 운동으로 전환시키도록 형성되므로 매우 정밀한 구동 제어를 수행할 수 있는 장점이 있다.
둘째, 회전베어링이 회전플레이트의 편심된 위치에 구비되어 상기 회전플레이트에 대해 상대 회전되며, 동시에 변위가 가변되지 않는 상태로 설치됨에 따라 구동계에서 발생하는 백래시를 최소화할 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치의 외부 모습을 나타낸 도면;
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치의 내부 구조를 나타낸 도면;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치에 있어서, 제1변환블록의 모습을 나타낸 도면;
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치의 구동 과정을 나타낸 도면;
도 7 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치에 있어서, 회전플레이트의 회전 상태에 따른 모습을 나타낸 도면; 및
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치에 있어서, 검출유닛의 모습을 나타낸 도면이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치의 외부 모습을 나타낸 도면이며, 도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치의 내부 구조를 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치는 구동유닛(100)과, 회전유닛(200)과, 구동력 변환유닛(300)과, 검출유닛(400)을 포함한다.
상기 구동유닛(100)은 회전 구동력을 발생시키는 구성요소로서, 본 실시예에서 상기 구동유닛(100)은 회전 구동력을 발생시키는 구동모터(110)와, 상기 구동모터(110)에 의해 회전되는 중심축(112)을 포함한다.
그리고 상기 회전유닛(200)은 검사 스테이지와 연결되며, 중심점을 기준으로 회전 가능하게 형성된 회전플레이트(210)를 포함한다. 본 실시예에서 상기 회전플레이트(210)의 중심점에는 삽입홀(212)이 형성되어 별도의 회전축이 삽입될 수 있는 구조를 가진다.
또한 상기 회전플레이트(210)의 편심된 위치에는 연결부(214)가 형성되며, 상기 구동력 변환유닛(300)은 상기 연결부(214)와 연결된 상태로 상기 구동유닛(100)의 회전 구동력을 상기 회전플레이트(210)의 회전 운동으로 전환시키는 역할을 수행한다.
특히 본 실시예에서 상기 구동력 변환유닛(300)은 프레임(305)의 내부에 형성되는 수용공간(307)에 구비된 형태를 가진다.
한편 상기 검출유닛(400)은 상기 회전플레이트(210)의 회전 각도를 검출하는 구성요소이며, 이하에서는 먼저 상기 회전유닛(200) 및 상기 구동력 변환유닛(300)의 구조에 대해 자세히 서술하도록 하고, 상기 검출유닛(400)에 대해서는 후술하도록 한다.
본 실시예에서 상기 구동력 변환유닛(300)은, 상기 구동유닛(100)의 회전 구동력을 제1방향의 직선 운동으로 전환시키도록 형성되어 상기 회전플레이트(210)의 회전 운동을 유도하는 제1운동변환모듈(310)과, 상기 제1운동변환모듈(310)과 연결되되 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 이동 가능하게 형성되어, 상기 회전플레이트(210)의 회전 운동에 따라 상기 연결부(214)에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상하는 제2운동변환모듈(350)을 포함한다.
즉 상기 구동유닛(100)의 회전 구동력은 상기 제1운동변환모듈(315)에 의해 1차적으로 제1방향의 직선 운동으로 전환되며, 이때 상기 회전플레이트(210)의 상기 연결부(214)는 상기 구동력 변환유닛(300)에 연결된 상태이므로 상기 제1운동변환모듈(310)의 직선 운동에 의해 상기 회전플레이트(210)의 회전 운동이 시작된다.
이때 상기 회전플레이트(210)는 회전 운동을 수행하기 때문에, 제1방향과 수직인 제2방향으로의 변위가 추가적으로 발생하게 된다. 따라서 상기 제2운동변환모듈(350)은, 상기 회전플레이트(210)의 회전에 종속되어 제2방향으로 직선 운동을 수행하게 되어 상기 연결부(214)에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상할 수 있도록 한다.
상기와 같은 본원발명의 구동 메커니즘은 도 6을 참조하여 확인할 수 있다.
본 실시예에서 상기 제1운동변환모듈(310)은, 회전바(315), 제1변환블록(320) 및 제1가이드부(330)를 포함한다.
상기 회전바(315)는 일단부가 상기 구동유닛(100)의 중심축(112)과 연결되어 상기 구동유닛(100)의 회전 구동력에 의해 회전되도록 형성되고, 타단부 둘레에는 나사산이 형성된다.
이때 본 실시예의 경우 상기 회전바(315)와 상기 중심축(112)은 제1커플링부재(120a) 및 제2커플링부재(120b)를 포함하는 커플러(120)에 의해 연결될 수 있다.
상기 제1변환블록(320)은 내주면에 상기 회전바(315)의 타단부에 형성된 나사산과 치합되는 나사산이 형성된 삽입홀(322)이 형성되고, 이에 따라 상기 구동유닛(100)에 의한 상기 회전바(315)의 정방향 또는 역방향 회전을 제1방향의 직선 운동으로 전환시키게 된다.
그리고 상기 제1가이드부(330)는 상기 제1변환블록(320)에 구비되어 상기 제1변환블록(320)의 직선 이동과 함께 이동되는 제1이동가이드(330a)와, 상기 제1이동가이드(330a)의 이동을 가이드하도록 고정된 상태로 구비되는 제1고정가이드(330b)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 제1고정가이드(330b)는 프레임(305)의 내측에 형성된 재1단차부(308)에 고정된 상태로 구비되며, 상기 제1이동가이드(330a)는 상기 제1변환블록(320)에 형성된 제2단차부(324)에 고정된 상태로 구비된다.
상기 제1고정가이드(330b) 및 상기 제1이동가이드(330a)는 서로 레일 방식으로 상대 이동되도록 형성될 수 있으나, 이에 제한되지는 않고 다양한 구조를 가지도록 형성될 수 있을 것이다. 예컨대, 상기 제1가이드부(330)는 크로스롤러, LN가이드 등 상기 제1이동가이드(330a)의 직선 운동을 위한 다양한 방식으로 구현될 수 있다.
그리고 본 실시예에서 상기 제2운동변환모듈(350)은, 제2변환블록(370), 제2고정가이드(380) 및 고정부재(360)를 포함한다.
상기 제2변환블록(370)은 상기 회전플레이트(210)의 연결부(214)에 의해 고정되도록 연결되어 상기 회전플레이트(210)의 회전 운동에 따라 상기 연결부(214)에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상하도록 상기 제2방향으로 직선 운동 가능하게 형성된다.
또한 상기 제2가이드부(380)는 상기 제2변환블록(370)에 구비되어 상기 제2변환블록(370)의 이동과 함께 이동되는 제2이동가이드(380a)와, 상기 제2이동가이드(380a)의 이동을 가이드하도록 상기 제1운동변환모듈(310)에 고정된 상태로 구비되는 제2고정가이드(380b)를 포함한다.
상기 제2이동가이드(380a) 및 상기 제2고정가이드(380b)의 구조는 상기 제1고정가이드(330b) 및 상기 제1이동가이드(330a)와 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하도록 한다.
한편 상기 회전유닛(200)은, 상기 회전플레이트(210)의 연결부(214)를 관통한 상태로 상기 회전플레이트(210)에 대해 상대 회전 가능하게 구비되며, 적어도 일부가 상기 제2변환블록(370)에 고정되는 회전베어링(220)을 포함할 수 있다. 그리고 상기 회전베어링(220)은 상기 회전플레이트의 중심점과 일정한 거리를 이루도록 형성된다.
또한 상기 회전베어링(220)의 원활한 회전을 위해, 상기 회전베어링(220)의 둘레에는 상기 회전베어링(220)을 감싸는 환형부재(222)가 구비될 수 있으며, 이때 상기 환형부재(222)와 상기 회전베어링(220) 사이에는 볼 베어링 등이 구비되어 상기 회전베어링(220)의 회전에 따른 마찰을 최소화할 수 있다.
그리고 상기 고정부재(360)는 상기 제2변환블록(370) 내에 형성된 고정부재삽입홀(372)을 관통하도록 구비되며, 그 끝단은 상기 제2변환블록(370)으로 연장된 회전베어링(220)을 가압 고정시키게 된다. 이에 따라 상기 회전베어링(220)은 상기 회전플레이트(210)에 대해서는 상대 회전되나 상기 제2변환블록(370)에 대해서는 고정된 상태를 유지할 수 있다.
종래의 경우, 본원발명의 회전플레이트(210)에 해당하는 구성요소를 회전시키기 위한 축 자체가 수평 이동하는 방식을 가지고 있었으며, 이를 위해 축이 삽입되는 홀이 장홀 형태로 형성되기 때문에 큰 백래시가 발생하는 문제가 있었다.
이에 반해, 본원발명은 상기 회전베어링(220)이 상기 회전플레이트(210)의 편심된 위치에 구비되어 상기 회전플레이트(210)에 대해 상대 회전되나, 변위가 가변되지 않는 상태로 설치되어 있기 때문에 백래시를 최소화하는 효과를 얻을 수 있다.
한편 본 실시예의 경우, 상기 고정부재(260)의 둘레 및 상기 고정부재삽입홀(372)의 내주면에는 서로 치합되는 나사산이 형성되며, 따라서 상기 고정부재(260)는 상기 회전베어링(220)에 대한 가압력을 조절 가능하도록 직선 이동 가능하게 형성될 수 있다.
또한 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 상기 연결부(214)는 상기 회전베어링(220)의 위치를 중심으로 하여 서로 갈라져 이격되도록 형성된 제1이격부(214a)와 제2이격부(214b), 그리고 상기 제1이격부(214a) 및 상기 제2이격부(214b)를 관통하도록 형성되고, 내주면에 나사산이 형성된 고정홀(216)을 포함할 수 있다.
즉 상기 연결부(214)는 별도의 체결부재에 의해 상기 고정홀(216)이 상호 체결됨에 따라 상기 제1이격부(214a) 및 상기 제2이격부(214b)의 이격 거리를 조절하도록 형성될 수 있으며, 이에 따라 상기 회전베어링(220)에 대한 가압력을 조절하여 상기 회전베어링(220)이 헛도는 현상을 방지할 수 있다.
한편 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치에 있어서, 제1변환블록(320)의 모습을 자세히 나타낸 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이 본 실시예에서 상기 제1변환블록(320)은 제1방향을 따라 내부를 관통하는 삽입홀(322)이 형성되며, 양측에는 전술한 제1이동가이드(330a)를 체결하기 위한 제1체결홀(324a)이 형성된 제2단차(324)가 형성된다.
또한 상기 제1변환블록(320)의 상부에는 제2고정가이드(380b)를 체결하기 위한 제2체결홀(326a)이 형성된 한 쌍의 제3단차(326)가 서로 이격되도록 형성되고, 그 사이에는 상기 제2변환블록(328)의 일부가 삽입될 수 있는 삽입홈(328)이 형성된다.
이상으로 본 발명의 각 구성요소에 대해 설명하였으며, 이들의 구동 메커니즘은 도 6을 통해 이해될 수 있다.
도 6을 참조하면 전술한 바와 같이, 상기 구동유닛(100)의 회전 구동력은 상기 제1운동변환모듈(315)에 의해 1차적으로 제1방향의 직선 운동으로 전환되며, 이때 상기 회전플레이트(210)의 상기 연결부(214)는 상기 구동력 변환유닛(300)에 연결된 상태이므로 상기 제1운동변환모듈(310)의 직선 운동에 의해 상기 회전플레이트(210)의 회전 운동이 시작된다.
이때 상기 회전플레이트(210)는 회전 운동을 수행하기 때문에, 제1방향과 수직인 제2방향으로의 변위가 추가적으로 발생하게 된다. 따라서 상기 제2운동변환모듈(350)은, 상기 회전플레이트(210)의 회전에 종속되어 제2방향으로 직선 운동을 수행하게 되어 상기 연결부(214)에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상할 수 있게 된다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치에 있어서, 회전플레이트(210)의 회전 상태에 따른 모습을 나타낸 도면들이다.
도 7은 상기 회전플레이트(210)가 회전되지 않은 중립 상태를 도시한 것이며, 이와 같은 경우 상기 제1운동변환모듈(310) 역시 중립 상태에 위치되며, 상기 제2운동변환모듈(320)은 제2방향의 전방 측으로 이동된 상태를 가진다.
여기서 제2방향의 전방이라 함은, 상기 제2운동변환모듈(320)이 상기 회전플레이트(210)로부터 멀어지는 방향을 설명의 편의성을 위해 임의로 정의한 것이다.
그리고 도 8은 상기 회전플레이트(210)가 일측 방향으로 소정 각도만큼 회전된 상태를 도시한 것이며, 이와 같은 경우 상기 제1운동변환모듈(310)이 제1방향의 전방 측으로 이동되고, 상기 제2운동변환모듈(320)이 제2방향의 후방 측으로 이동된 상태를 가진다.
여기서 제1방향의 전방이라 함은, 상기 제1운동변환모듈(310)이 상기 구동유닛(100)으로부터 멀어지는 방향을 설명의 편의성을 위해 임의로 정의한 것이다.
그리고 도 9는 상기 회전플레이트(210)가 타측 방향으로 소정 각도만큼 회전된 상태를 도시한 것이며, 이와 같은 경우 상기 제1운동변환모듈(310)이 제1방향의 후방 측으로 이동되고, 상기 제2운동변환모듈(320)이 제2방향의 후방 측으로 이동된 상태를 가진다.
이상과 같이, 본원발명은 검사 스테이지와 연결되는 회전플레이트(210)의 회전 운동을 구현하기 위한 구동력 변환유닛(300)이 서로 수직 방향으로 직선 이동하도록 형성되어, 구동유닛(100)의 회전 구동력을 상기 회전플레이트(210)의 회전 운동으로 전환시키도록 형성되므로 매우 정밀한 구동 제어를 수행할 수 있으며, 더불어 구동력 변환유닛(300)에서 발생하는 백래시를 최소화할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지의 회전각도 정밀조절장치에 있어서, 검출유닛(400)의 모습을 나타낸 도면이다.
전술한 바와 같이 상기 검출유닛(400)은, 상기 회전플레이트(210)의 회전 각도를 검출하는 구성요소이며, 더 나아가 상기 회전플레이트(210)의 회전 각도가 기 설정된 범위를 벗어나는 것으로 판단될 경우 상기 구동유닛(100)의 구동을 제어하도록 제어신호를 송신할 수 있다.
한편 본 실시예에서 상기 회전유닛(100)은, 상기 회전플레이트(210)에 고정되어 상기 회전플레이트(210)의 회전과 함께 회전되되, 적어도 일부가 상기 회전플레이트(210)의 외측으로 돌출된 검출부재(230)를 더 포함할 수 있다.
구체적으로 상기 검출부재(230)는 상기 회전플레이트(210)에 고정되는 체결고정부(232)와, 상기 회전플레이트(210)의 외측으로 돌출되어 상기 검출유닛(400) 방향으로 연장된 연장부(234)를 포함하는 형태를 가진다.
또한 상기 검출유닛(400)은, 상기 검출부재(230)의 회전 범위 일측부에 구비되어 상기 검출부재(230)를 검출하는 제1검출모듈(410a)과, 상기 검출부재(230)의 회전 범위 타측부에 구비되어 상기 검출부재(230)를 검출하는 제2검출모듈(410b)을 포함할 수 있다.
이에 따라 상기 검출유닛(400)은 상기 제1검출모듈(410a)과 상기 제2검출모듈(410b)의 이격 범위 내에서 상기 검출부재(230)가 벗어나는 것을 검출할 수 있으며, 이와 같은 경우 상기 구동유닛(100)의 구동을 제어하도록 제어신호를 송신할 수 있다.
또한 상기 제1검출모듈(410a)과 상기 제2검출모듈(410b)은 상기 검출부재(230)의 이동 궤적을 중심으로 상하 이격된 상부검출부(412) 및 하부검출부(414)를 포함할 수 있다.
그리고 상기 상부검출부(412) 및 상기 하부검출부(414) 중 어느 하나에는 빛을 송출하는 광 송출부(415a)가 형성될 수 있으며, 나머지 하나에는 상기 광 송출부(415a)로부터 송출된 빛을 수신하는 광 수신부(415b)가 형성될 수 있다.
즉 상기 상부검출부(412) 및 상기 하부검출부(414)는 상기 검출부재(230)가 상기 광 송출부(415a)와 상기 광 수신부(415b) 사이에 위치되어 빛의 이동 경로를 차단하게 됨에 따라 상기 검출부재(230)의 위치를 파악할 수 있게 되며, 이를 통해 상기 회전플레이트(210)의 회전 각도를 검출할 수 있게 된다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
100: 구동유닛
110: 구동모터
112: 중심축
120: 커플러
200: 회전유닛
210: 회전플레이트
214: 연결부
220: 회전베어링
230: 검출부재
300: 구동력 변환유닛
310: 제1운동변환모듈
315: 회전바
320: 제1변환블록
330: 제1가이드부
350: 제2운동변환모듈
360: 고정부재
370: 제2변환블록
380: 제2가이드부
400: 검출유닛
410a: 제1검출모듈
410a: 제2검출모듈

Claims (11)

  1. 검사 스테이지와 연결되며, 중심점을 기준으로 회전 가능하게 형성된 회전플레이트를 포함하는 회전유닛;
    회전 구동력을 발생시키는 구동유닛; 및
    상기 회전플레이트의 편심된 위치에 형성된 연결부에 연결되고, 상기 구동유닛의 회전 구동력을 상기 회전플레이트의 회전 운동으로 전환시키는 구동력 변환유닛;
    을 포함하며,
    상기 구동력 변환유닛은,
    상기 구동유닛의 회전 구동력을 제1방향의 직선 운동으로 전환시키도록 형성되어 상기 회전플레이트의 회전 운동을 유도하는 제1운동변환모듈; 및
    상기 제1운동변환모듈과 연결되되 상기 제1방향과 수직인 제2방향으로 이동 가능하게 형성되어, 상기 회전플레이트의 회전 운동에 따라 상기 연결부에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상하는 제2운동변환모듈;
    을 포함하고,
    상기 회전유닛은,
    상기 연결부를 관통한 상태로 상기 회전플레이트에 대해 상대 회전 가능하게 구비되고 적어도 일부가 상기 제2운동변환모듈에 고정되되, 상기 회전플레이트의 중심점과 일정한 거리를 이루도록 형성되어, 상기 구동유닛에 의해 상기 회전플레이트가 회전될 경우 상기 회전플레이트와 함께 회전되어 상기 제2운동변환모듈의 제2방향 이동을 유도하는 회전베어링을 더 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1운동변환모듈은,
    일단부가 상기 구동유닛에 연결되어 상기 구동유닛의 회전 구동력에 의해 회전되도록 형성되고, 타단부 둘레에는 나사산이 형성된 회전바; 및
    내주면에 상기 회전바의 타단부에 형성된 나사산과 치합되는 나사산이 형성된 삽입홀이 형성되고, 상기 회전바의 정방향 또는 역방향 회전을 제1방향의 직선 운동으로 전환시키는 제1변환블록;
    을 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1운동변환모듈은,
    상기 제1변환블록에 구비되어 상기 제1변환블록의 이동과 함께 이동되는 제1이동가이드와, 상기 제1이동가이드의 이동을 가이드하도록 고정된 상태로 구비되는 제1고정가이드를 포함하는 제1가이드부를 더 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2운동변환모듈은,
    상기 연결부에 의해 고정되도록 연결되어 상기 회전플레이트의 회전 운동에 따라 상기 연결부에서 발생하는 제2방향의 변위를 보상하도록 상기 제2방향으로 직선 운동 가능하게 형성되는 제2변환블록을 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2운동변환모듈은,
    상기 제2변환블록에 구비되어 상기 제2변환블록의 이동과 함께 이동되는 제2이동가이드와, 상기 제2이동가이드의 이동을 가이드하도록 상기 제1운동변환모듈에 고정된 상태로 구비되는 제2고정가이드를 포함하는 제2가이드부를 더 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  6. 삭제
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제2운동변환모듈은,
    상기 제2변환블록 내에 구비되어 상기 회전베어링을 가압 고정시키는 고정부재를 더 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 고정부재는 상기 회전베어링에 대한 가압력을 조절 가능하도록 직선 이동 가능하게 형성된 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 연결부는,
    상기 회전베어링의 위치를 중심으로 하여 서로 갈라져 이격되도록 형성된 제1이격부 및 제2이격부; 및
    상기 제1이격부 및 상기 제2이격부를 관통하도록 형성되고, 내주면에 나사산이 형성된 고정홀;
    을 포함하여,
    별도의 체결부재에 의해 상기 고정홀이 상호 체결됨에 따라 상기 제1이격부 및 상기 제2이격부의 이격 거리를 조절하도록 형성되는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 회전플레이트의 회전 각도를 검출하는 검출유닛을 더 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 회전유닛은,
    상기 회전플레이트에 고정되어 상기 회전플레이트의 회전과 함께 회전되되, 적어도 일부가 상기 회전플레이트의 외측으로 돌출된 검출부재를 더 포함하고,
    상기 검출유닛은,
    상기 검출부재의 회전 범위 일측부에 구비되어 상기 검출부재를 검출하는 제1검출모듈; 및
    상기 검출부재의 회전 범위 타측부에 구비되어 상기 검출부재를 검출하는 제2검출모듈;
    을 포함하는 검사 스테이지의 회전 각도 정밀조절장치.
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