KR101184424B1

KR101184424B1 - 고니오 스테이지

Info

Publication number: KR101184424B1
Application number: KR1020110103737A
Authority: KR
Inventors: 신정욱
Original assignee: 주식회사 재원
Priority date: 2011-10-11
Filing date: 2011-10-11
Publication date: 2012-09-20

Abstract

본 발명은 고니오 스테이지에 관한 것으로, 이동 스테이지에 동력을 전달하는 동력 전달 구조를 상호 선접촉하는 걸림핀과 핀홀더 브래킷으로 구성하고 이들의 선접촉 구조에 따라 상대적으로 높은 하중을 지지할 수 있도록 함으로써, 내구성이 향상될 뿐만 아니라 이동 스테이지에 장착되는 광학 부품의 허용 하중 값을 더 높게 설정할 수 있으며, 이에 따라 더욱 다양한 광학 부품을 장착하여 사용할 수 있고, 안정적이고 정확한 이동을 가능하게 하며, 벽면에 부착하여 사용할 수도 있는 등 다양한 장착 구조로 사용할 수 있는 고니오 스테이지를 제공한다.

Description

고니오 스테이지{Goniostage}

본 발명은 고니오 스테이지에 관한 것이다. 보다 상세하게는 이동 스테이지에 동력을 전달하는 동력 전달 구조를 상호 선접촉하는 걸림핀과 핀홀더 브래킷으로 구성하고 이들의 선접촉 구조에 따라 상대적으로 높은 하중을 지지할 수 있도록 함으로써, 내구성이 향상될 뿐만 아니라 이동 스테이지에 장착되는 광학 부품의 허용 하중 값을 더 높게 설정할 수 있으며, 이에 따라 더욱 다양한 광학 부품을 장착하여 사용할 수 있고, 안정적이고 정확한 이동을 가능하게 하며, 벽면에 부착하여 사용할 수도 있는 등 다양한 장착 구조로 사용할 수 있는 고니오 스테이지에 관한 것이다.

근래 들어 반도체 장치 등 모든 분야에서의 연구는 보다 많은 데이터를 단시간 내에 처리하기 위하여 반도체 기판의 고집적화 및 고성능화를 추구하는 방향으로 진행되고 있고, 이러한 고직접화 및 고성능화에 따라 미세 구조물의 치수나 미세 구조물들 사이의 간격은 계속 줄어들고 있으며, 반도체 기판상에 정확한 치수로 패턴을 포함하는 미세 구조물을 형성하지 못하게 될 경우에는, 미세 구조물 자체의 불량뿐만 아니라 후속 공정에 영향을 미쳐 반도체 장치의 전체 불량률을 높이는 문제가 발생되기 때문에 반도체 기판에 정확한 치수로 미세 구조물을 형성하는 것이 매우 중요하게 대두되고 있다.

이러한 이유로 인하여 각 미세 구조물을 형성하기 위한 공정 전후에 정확한 치수로 미세 구조물이 형성되는 지를 판별하는 미세 구조물의 측정 공정도 반드시 필요하게 되었고, 이에 따라 미세 구조물의 측정 공정을 판별하기 위한 고니오 스테이지가 개발되어 사용되고 있다.

고니오 스테이지는 카메라 또는 레이저와 같은 광학 부품을 상부에 장착하여 정밀하게 이동시켜 카메라의 시야각 또는 레이저의 진행 방향 등을 미세하게 조절하는 정밀 측정 기기이다.

이러한 고니오 스테이지는 베이스 스테이지와 이동 스테이지로 분리 형성되며, 이동 스테이지는 베이스 스테이지의 상면에 안착되어 원호를 이루는 곡선 이동을 하도록 구성된다. 이동 스테이지의 상면에 카메라 또는 레이저와 같은 광학 부품이 장착되며 곡선 경로를 따라 정밀하게 이동된다.

이때, 이동 스테이지의 곡선 이동을 위한 작동 구조는 기어의 맞물림 구조 또는 스크류와 V홈 등의 동력 전달 구조를 통해 이루어지는데, 이러한 구조는 이동 스테이지의 곡선 이동 경로의 특성상 2개의 동력 전달 요소가 상호 점접촉하는 방식으로 구성되고, 이에 따라 부하에 대한 허용 하중 값이 매우 낮아 사용 범위에 제한이 많다는 문제가 있었다. 또한, 각 부품에 대한 공차 등의 이유로 유격이 발생하여 이동 스테이지의 위치 이동에 대한 정밀도가 저하되거나 내구성이 저하되는 등의 문제가 있었다.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 이동 스테이지에 동력을 전달하는 동력 전달 구조를 상호 선접촉하는 걸림핀과 핀홀더 브래킷으로 구성하고 이들의 선접촉 구조에 따라 상대적으로 높은 하중을 지지할 수 있도록 함으로써, 내구성이 향상될 뿐만 아니라 이동 스테이지에 장착되는 광학 부품의 허용 하중 값을 더 높게 설정할 수 있으며, 이에 따라 더욱 다양한 광학 부품을 장착하여 사용할 수 있고, 안정적이고 정확한 이동을 가능하게 하며, 벽면에 부착하여 사용할 수도 있는 등 다양한 장착 구조로 사용할 수 있는 고니오 스테이지를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 탄성 스프링의 탄성력에 의해 이동 블록과 작동 로드와의 나사 결합력을 강화시킴으로써, 제작 공차 등의 이유로 이동 블록과 작동 로드의 나사 결합 상태에 미세한 유격이 발생하더라도, 탄성력에 의해 이를 보완할 수 있고, 이에 따라 작동 로드의 회전에 따른 이동 블록의 정밀한 위치 이동이 가능하여 이동 스테이지의 이동에 대한 정밀도가 더욱 향상되는 고니오 스테이지를 제공하는 것이다.

본 발명은, 상면에 오목한 곡선 경로를 갖도록 베이스 레일부가 형성되는 베이스 스테이지; 상기 베이스 스테이지에 직선 이동 가능하게 결합되며 이동 방향에 대한 직각 방향으로 배치되도록 걸림핀이 장착되는 이동 블록; 상기 베이스 레일부를 따라 곡선 이동하도록 상기 베이스 스테이지의 상면에 안착 결합되며 하면에는 상기 걸림핀에 맞물림되는 핀홀더 브래킷이 장착되는 이동 스테이지; 및 상기 베이스 스테이지에 결합되어 상기 이동 블록을 직선 이동시키도록 작동하는 작동 수단을 포함하고, 상기 이동 스테이지는 상기 걸림핀 및 핀홀더 브래킷을 통해 상기 이동 블록에 연동하여 곡선 이동하는 것을 특징으로 하는 고니오 스테이지를 제공한다.

이때, 상기 걸림핀은 원통 형상으로 형성되고, 상기 핀홀더 브래킷은 상하 방향으로 길게 형성된 가이드 슬롯홀을 통해 상기 걸림핀에 선접촉하며 맞물림되도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 작동 수단은 상기 이동 블록의 이동 방향을 따라 배치되고, 외주면에 나사산이 형성되어 상기 이동 블록을 관통하며 상기 이동 블록과 나사 결합되는 작동 로드를 포함하고, 상기 베이스 스테이지에는 상기 이동 블록의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일부가 형성되고, 상기 이동 블록은 상기 작동 로드의 회전에 의해 직선 이동하도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 작동 로드의 회전에 의해 상기 이동 블록과 함께 직선 이동하도록 상기 작동 로드에 관통되어 나사 결합되는 별도의 보조 블록을 더 포함하고, 상기 이동 블록과 보조 블록 사이에는 상기 이동 블록과 보조 블록이 서로 멀어지는 방향으로 탄성력이 작용하도록 탄성 스프링이 삽입 개재될 수 있다.

또한, 상기 이동 블록의 일측에는 가이드 홈이 형성되고, 상기 보조 블록은 상기 가이드 홈에 삽입되어 위치 가이드된 상태로 상기 작동 로드에 관통 결합될 수 있다.

본 발명에 의하면, 이동 스테이지에 동력을 전달하는 동력 전달 구조를 상호 선접촉하는 걸림핀과 핀홀더 브래킷으로 구성하고 이들의 선접촉 구조에 따라 상대적으로 높은 하중을 지지할 수 있도록 함으로써, 내구성이 향상될 뿐만 아니라 이동 스테이지에 장착되는 광학 부품의 허용 하중 값을 더 높게 설정할 수 있으며, 이에 따라 더욱 다양한 광학 부품을 장착하여 사용할 수 있고, 안정적이고 정확한 이동을 가능하게 하며, 벽면에 부착하여 사용할 수도 있는 등 다양한 장착 구조로 적용할 수 있는 효과가 있다.

또한, 탄성 스프링의 탄성력에 의해 이동 블록과 작동 로드와의 나사 결합력을 강화시킴으로써, 제작 공차 등의 이유로 이동 블록과 작동 로드의 나사 결합 상태에 미세한 유격이 발생하더라도, 탄성력에 의해 이를 보완할 수 있고, 이에 따라 작동 로드의 회전에 따른 이동 블록의 정밀한 위치 이동이 가능하여 이동 스테이지의 이동에 대한 정밀도가 더욱 향상되는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 외형을 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 내부 구성을 개략적으로 도시한 분해 사시도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 작동 상태를 개략적으로 도시한 작동 상태도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 이동 블록에 대한 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 외형을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 내부 구성을 개략적으로 도시한 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 작동 상태를 개략적으로 도시한 작동 상태도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지는 베이스 스테이지(100)와, 이동 블록(300)과, 이동 스테이지(200)와, 작동 수단(400)을 포함하여 구성된다.

베이스 스테이지(100)는 고니오 스테이지 전체 장치를 지지하는 구성으로, 상면에 오목한 곡면 형태의 곡선 레일부(110)가 형성된다. 이러한 곡선 레일부(110)는 원호를 이루는 곡선 경로를 이루도록 형성되며, 이를 통해 이동 스테이지(200)가 베이스 스테이지(100)의 상부에서 곡선 경로를 따라 곡선 이동하게 된다. 이러한 베이스 스테이지(100)는 내부가 꽉 찬 사각 블록 형태로 형성될 수 있으나, 후술하는 이동 블록(300) 등이 내부 공간에 배치될 수 있도록 상면이 개방된 사각 박스 형태로 형성되고, 상면의 양측단부에 곡선 레일부(110)가 형성되도록 구성될 수 있다.

이동 블록(300)은 베이스 스테이지(100)에 직선 이동 가능하게 결합되는데, 이동 블록(300)의 직선 이동 방향은 곡선 레일부(110)의 길이 방향으로 형성된다. 즉, 곡선 레일부(110)가 그리는 원호의 중심축에 대한 직각 방향으로 직선 이동하도록 결합된다. 이러한 이동 블록(300)에는 이동 블록(300)의 직선 이동 방향에 대한 직각 방향으로 배치되는 별도의 걸림핀(320)이 장착된다. 즉, 걸림핀(320)은 곡선 레일부(110)가 그리는 원호의 중심축과 평행한 방향으로 배치된다.

이때, 걸림핀(320)은 이동 블록(300)의 일측단에 별도로 장착될 수도 있으나, 도 2에 도시된 바와 같이 이동 블록(300)의 중앙부에 상하 방향으로 관통홀(310)이 형성되고, 이러한 관통홀(310)에 걸림핀(320)이 장착되는 형태로 구성되는 것이 바람직하다. 이러한 걸림핀(320)은 걸림핀(320)의 길이 방향으로 일정 간격 이격되게 2개 배치될 수 있으며, 후술하는 이동 스테이지(200)의 핀홀더 브래킷(220)은 이러한 걸림핀(320)에 각각 맞물림되도록 2개 장착될 수 있다.

이동 스테이지(200)는 베이스 스테이지(100)의 곡선 레일부(110)를 따라 곡선 이동하도록 베이스 스테이지(100)의 상면에 안착 결합된다. 이러한 이동 스테이지(200)의 상면은 카메라 또는 레이저와 같은 광학 부품이 장착될 수 있도록 평판형으로 형성되고, 하면은 도 2에 도시된 바와 같이 곡선 레일부(110)와 동일한 원호 곡선을 그리는 원주면으로 형성된다. 이때, 이동 스테이지(200)의 하면 양측단부에는 하향 돌출된 형태의 이동 레일부(210)가 형성될 수 있으며, 이동 레일부(210)는 곡선 레일부(110)와 동일한 반경의 원호 곡선을 그리는 곡선 경로를 갖도록 형성된다. 이동 스테이지(200)는 이러한 이동 레일부(210)가 베이스 스테이지(100)의 곡선 레일부(110)에 슬라이딩 가능하게 결합됨으로써, 곡선 레일부(110)의 곡선 경로를 따라 곡선 이동하게 된다.

한편, 이동 스테이지(200)의 하면에는 이동 레일부(210)의 사이 공간에 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 이동 블록(300)의 걸림핀(320)에 맞물림되는 핀홀더 브래킷(220)이 장착된다. 이때, 걸림핀(320)은 원통 형상으로 형성되고, 핀홀더 브래킷(220)은 상하 방향으로 길게 형성된 가이드 슬롯홀(221)을 통해 걸림핀(320)에 선접촉하며 맞물림되도록 형성될 수 있다. 가이드 슬롯홀(221)은 걸림핀(320)과의 조립성을 위해 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 하향 개방된 형태로 형성될 수 있다.

작동 수단(400)은 베이스 스테이지(100)에 결합되어 이동 블록(300)을 직선 이동시키도록 구성되는데, 이러한 구성은 다양한 기계 요소를 이용하여 다양하게 구성할 수 있다. 예를 들면, 작동 수단(400)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 외주면에 나사산이 형성된 작동 로드(410)와, 작동 로드(410)의 일측단부에 사용자에 의해 조작되는 작동 손잡이(420)를 포함하여 구성될 수 있다.

즉, 작동 로드(410)는 이동 블록(300)의 이동 방향을 따라 길게 배치되며, 일측단이 베이스 스테이지(100)의 내측면에 회전 가능하게 장착되고 타측단부는 베이스 스테이지(100)를 관통하며 외부로 돌출되게 장착된다. 작동 로드(410)의 외측단에는 사용자가 회전 조작할 수 있도록 다이얼 방식의 작동 손잡이(420)가 장착될 수 있다. 이러한 작동 로드(410)의 외주면에는 나사산이 형성되며, 이동 블록(300)의 중심부를 관통하며 이동 블록(300)과 나사 결합되도록 구성된다.

따라서, 사용자가 작동 손잡이(420)를 회전 조작하면, 작동 로드(410)가 회전하게 되고, 이러한 작동 로드(410)에 나사 결합되는 이동 블록(300)은 작동 로드(410)의 회전 방향에 따라 서로 다른 방향으로 직선 이동하게 된다. 이때, 베이스 스테이지(100)에는 이동 블록(300)이 작동 로드(410)와 함께 회전하지 않고 작동 로드(410)의 길이 방향으로 직선 이동하도록 이동 블록(300)의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일부(120)가 형성되며, 이를 통해 이동 블록(300)이 작동 로드(410)의 회전에 의해 직선 이동하게 된다.

이와 같이 작동 로드(410)의 회전에 의해 이동 블록(300)이 직선 이동하게 되면, 이동 블록(300)에 장착된 걸림핀(320) 또한 직선 이동하게 되는데, 이때, 걸림핀(320)에 맞물림되는 핀홀더 브래킷(220)이 걸림핀(320)에 의해 이동력을 받게 되므로, 핀홀더 브래킷(220)이 장착된 이동 스테이지(200)가 곡선 레일부(110)를 따라 곡선 이동하게 된다.

좀 더 자세히 살펴보면, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이 이동 스테이지(200)의 상면이 수평면을 이루며 이동 스테이지(200)가 베이스 스테이지(100)에 대해 완전히 겹쳐진 상태를 기준 상태라고 할 때, 이러한 기준 상태에서, 작동 로드(410)를 양방향으로 회전시킴에 따라 도 4의 (b) 및 (c)에 도시된 바와 같이 이동 스테이지(200)가 좌측 또는 우측 방향으로 곡선 이동하게 된다.

즉, 도 4의 (a)에 도시된 기준 상태에서 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 예를 들어 작동 로드(410)를 반시계 방향으로 회전시키면, 이동 블록(300)은 작동 로드(410)와 나사 결합되어 있으므로, 가이드 레일부(120)를 따라 가이드되며 작동 로드(410)의 길이 방향을 따라 우측으로 직선 이동하게 된다. 이동 블록(300)이 우측으로 이동하게 되면, 걸림핀(320) 또한 동시에 우측으로 이동하게 되는데, 이때, 걸림핀(320)에 맞물림되는 핀홀더 브래킷(220)에 우측 방향으로의 이동력이 작용하게 된다. 따라서, 핀홀더 브래킷(220)은 걸림핀(320)과 선접촉 상태로 맞물림된 상태에서 가이드 슬롯홀(221)을 통해 걸림핀(320)과 상호 슬라이드 이동하게 되고, 이와 동시에 이동 스테이지(200)는 베이스 스테이지(100)의 곡선 레일부(110)를 따라 우측 방향으로 곡선 이동하게 된다.

마찬가지 방식으로, 도 4의 (a)에 도시된 기준 상태에서 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이 작동 로드(410)를 시계 방향으로 회전시키면, 이동 블록(300)이 좌측으로 이동하게 되고, 이에 따라 걸림핀(320) 및 핀홀더 브래킷(220)이 상호 슬라이드 이동하며 이동 스테이지(200)가 곡선 레일부(110)를 따라 좌측 방향으로 곡선 이동하게 된다.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지는 작동 수단(400)을 통해 이동 블록(300)을 직선 이동시킴으로써, 이동 블록(300)의 걸림핀(320)에 맞물림되는 이동 스테이지(200)를 좌우 방향으로 곡선 이동시키도록 구성된다. 이때, 이동 스테이지(200)가 곡선 이동하는 동안, 작동 수단(400)의 이동력을 이동 스테이지(200)에 전달하는 구성은 이동 블록(300)의 걸림핀(320)과, 이에 맞물림되는 이동 스테이지(200)의 핀홀더 브래킷(220)으로 구성된다.

걸림핀(320)과 핀홀더 브래킷(220)은 종래 기술과 달리 점접촉 방식이 아니라 선접촉 방식으로 서로 맞물림되며 슬라이드 이동하도록 구성되기 때문에, 상대적으로 높은 하중을 지지할 수 있으므로, 내구성이 향상되고 아울러 이동 스테이지(200)에 장착되는 광학 부품에 대한 허용 하중 값을 더 높게 설정할 수 있다. 따라서, 더욱 다양한 광학 부품을 장착하여 사용할 수 있고, 더욱 안정적이고 정확한 이동을 가능하게 한다. 또한, 허용 하중의 증가에 따라 구조적으로 더욱 안정적이므로, 베이스 스테이지(100)를 벽면에 부착하여 사용할 수도 있는 등 더욱 다양한 배치 상태로 활용할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지의 이동 블록에 대한 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 이동 블록(300)은 전술한 바와 같이 작동 로드(410)에 관통되며 나사 결합하도록 구성되고, 이러한 나사 결합에 따라 작동 로드(410)가 회전하면, 작동 로드(410)의 길이 방향으로 직선 이동하도록 구성된다.

이때, 작동 로드(410)와 이동 블록(300)의 나사 결합 상태는 제작 공차 등의 이유로 미세한 유격이 발생한 상태로 유지될 수 있는데, 이와 같이 나사 결합 구조에 미세한 유격 등이 발생하면, 동력 전달이 정밀하게 이루어지지 못하므로, 작동 로드(410)의 회전량과 이에 대응되는 이동 블록(300)의 직선 이동량에 차이가 발생하게 되는 등 위치 이동 상태에 대한 정밀도가 감소하게 된다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 고니오 스테이지는 이러한 현상을 방지할 수 있도록 작동 로드(410)와 이동 블록(300)의 나사 결합 상태를 더욱 정확하게 유지시키는 방식으로 구성되는데, 이를 위해 별도의 보조 블록(500)이 더 구비되고, 이동 블록(300)과 보조 블록(500) 사이에 별도의 탄성 스프링(600)이 삽입 개재된다.

보조 블록(500)은 도 5에 도시된 바와 같이 이동 블록(300)과 마찬가지로 작동 로드(410)의 회전에 의해 이동 블록(300)과 함께 직선 이동하도록 작동 로드(410)에 관통되어 작동 로드(410)와 나사 결합하도록 구성된다. 이러한 보조 블록(500)의 직선 이동 경로는 이동 블록(300)과 마찬가지로 베이스 스테이지(100)의 가이드 레일부(120)를 통해 가이드되는 방식으로 구성될 수 있는데, 좀더 컴팩트한 구성을 위해 도 5에 도시된 바와 같이 이동 블록(300)의 일측에 가이드 홈(330)이 형성되고, 이러한 가이드 홈(330)에 보조 블록(500)이 삽입되어 위치 가이드되도록 구성될 수 있다.

이러한 보조 블록(500)과 이동 블록(300) 사이에는 이동 블록(300)과 보조 블록(500)이 서로 멀어지는 방향으로 탄성력이 작용하도록 탄성 스프링(600)이 삽입 개재된다.

따라서, 보조 블록(500)과 이동 블록(300)은 각각 작동 로드(410)에 나사 결합된 상태에서, 도 5의 (b)에 화살표로 도시된 바와 같이 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 받으므로, 각각 작동 로드(410)와의 나사 결합력이 더욱 증가하게 된다.

즉, 탄성 스프링(600)에 의해 보조 블록(500)과 이동 블록(300)이 각각 작동 로드(410)의 길이 방향으로 탄성력을 받게 되므로, 보조 블록(500) 및 이동 블록(300)은 각각 작동 로드(410)에 대한 나사 결합력이 향상된다. 따라서, 제작 공차 등의 이유로 이동 블록(300)과 작동 로드(410) 사이에 미세한 유격이 발생하더라도, 탄성력에 의해 이동 블록(300)과 작동 로드(410)의 나사 결합 상태가 더욱 강하게 유지되므로, 작동 로드(410)의 회전에 따른 이동 블록(300)의 정밀한 위치 이동이 가능하다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100: 베이스 스테이지 110: 곡선 레일부
200: 이동 스테이지 210: 이동 레일부
220: 핀홀더 브래킷 221: 가이드 슬롯홀
300: 이동 블록 320: 걸림핀
400: 작동 수단 410: 작동 로드
500: 보조 블록 600: 탄성 스프링

Claims

상면에 오목한 곡선 경로를 갖도록 베이스 레일부가 형성되는 베이스 스테이지;
상기 베이스 스테이지에 직선 이동 가능하게 결합되며 이동 방향에 대한 직각 방향으로 배치되도록 걸림핀이 장착되는 이동 블록;
상기 베이스 레일부를 따라 곡선 이동하도록 상기 베이스 스테이지의 상면에 안착 결합되며 하면에는 상기 걸림핀에 맞물림되는 핀홀더 브래킷이 장착되는 이동 스테이지; 및
상기 베이스 스테이지에 결합되어 상기 이동 블록을 직선 이동시키도록 작동하는 작동 수단을 포함하고, 상기 이동 스테이지는 상기 걸림핀 및 핀홀더 브래킷을 통해 상기 이동 블록에 연동하여 곡선 이동하며,
상기 작동 수단은 상기 이동 블록의 이동 방향을 따라 배치되고, 외주면에 나사산이 형성되어 상기 이동 블록을 관통하며 상기 이동 블록과 나사 결합되는 작동 로드를 포함하고, 상기 베이스 스테이지에는 상기 이동 블록의 직선 이동 경로를 가이드하는 가이드 레일부가 형성되고, 상기 이동 블록은 상기 작동 로드의 회전에 의해 직선 이동하고,
상기 작동 로드의 회전에 의해 상기 이동 블록과 함께 직선 이동하도록 상기 작동 로드에 관통되어 나사 결합되는 별도의 보조 블록을 더 포함하고, 상기 이동 블록과 보조 블록 사이에는 상기 이동 블록과 보조 블록이 서로 멀어지는 방향으로 탄성력이 작용하도록 탄성 스프링이 삽입 개재되는 것을 특징으로 하는 고니오 스테이지.
제 1 항에 있어서,
상기 걸림핀은 원통 형상으로 형성되고, 상기 핀홀더 브래킷은 상하 방향으로 길게 형성된 가이드 슬롯홀을 통해 상기 걸림핀에 선접촉하며 맞물림되는 것을 특징으로 하는 고니오 스테이지.
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제 1 항에 있어서,
상기 이동 블록의 일측에는 가이드 홈이 형성되고,
상기 보조 블록은 상기 가이드 홈에 삽입되어 위치 가이드된 상태로 상기 작동 로드에 관통 결합되는 것을 특징으로 하는 고니오 스테이지.