KR101885236B1 - 수지도포장치 - Google Patents

수지도포장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101885236B1
KR101885236B1 KR1020120032937A KR20120032937A KR101885236B1 KR 101885236 B1 KR101885236 B1 KR 101885236B1 KR 1020120032937 A KR1020120032937 A KR 1020120032937A KR 20120032937 A KR20120032937 A KR 20120032937A KR 101885236 B1 KR101885236 B1 KR 101885236B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
resin
exhaust pressure
cylinder
needle
gas
Prior art date
Application number
KR1020120032937A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130110740A (ko
Inventor
배철오
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020120032937A priority Critical patent/KR101885236B1/ko
Publication of KR20130110740A publication Critical patent/KR20130110740A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101885236B1 publication Critical patent/KR101885236B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B12/00—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
    • B05B12/004—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area comprising sensors for monitoring the delivery, e.g. by displaying the sensed value or generating an alarm
    • B05B12/006—Pressure or flow rate sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
    • B05C11/1007—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to condition of liquid or other fluent material
    • B05C11/1013—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to condition of liquid or other fluent material responsive to flow or pressure of liquid or other fluent material

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 수지도포장치는, 노즐로부터 토출되는 수지의 실제의 토출량과 토출량이 일정한 수지의 이상적인 토출량 사이의 편차를 최소화하여, 리드프레임상에 최적의 범위내의 도포량으로 수지를 도포할 수 있는 구성에 대하여 제시한다.

Description

수지도포장치 {RESIN APPLYING APPARATUS}
본 발명은 반도체패키지의 제조공정에서 리드프레임상에 수지를 도포하는 수지도포장치에 관한 것이다.
일반적으로, 발광다이오드(light emitting diode) 등의 반도체는 제품에 장착되기 이전에 리드프레임(lead frame)상에 반도체칩이 실장된 패키지의 형태로 제조된다. 반도체패키지는, 와이어를 이용하여 리드프레임에 반도체칩을 연결하는 방식으로 리드프레임상에 반도체칩을 실장하는 공정과, 반도체칩이 실장된 리드프레임상의 도포영역에 형광체가 포함된 수지를 도포하는 공정과, 리드프레임상의 도포영역에 도포된 수지를 경화하는 공정을 통하여 제조된다.
리드프레임상의 도포영역에 수지를 도포하기 위하여, 내부에 수지가 수용되는 시린지와, 시린지와 연결되는 노즐과, 노즐에 대하여 왕복적으로 이동되면서 노즐을 개폐하는 니들과, 노즐을 이동시키는 이동유닛이 구비되는 수지도포장치가 이용된다. 이러한 수지도포장치는, 노즐에 대하여 니들을 왕복적으로 이동시켜 노즐이 개폐되도록 하고, 노즐이 개방될 때 시린지의 내부에 작용되는 압력에 의하여 수지가 노즐을 통하여 토출되도록 하면서 리드프레임상의 도포영역에 수지를 도포한다.
수지를 리드프레임상에 도포하는 공정이 계속적으로 수행되는 과정에서, 수지도포장치 내의 부품의 마모나 수지도포장치 내의 부품들의 마찰에 의하여 발생되는 열 등의 다양한 원인에 의하여, 니들에 작용되는 힘이 변화될 수 있다. 또한, 노즐 내의 유로의 일부의 폐색 또는 수지의 누설과 같은 작동오류가 발생하는 경우에도, 니들에 작용되는 힘이 변화될 수 있다. 이와 같이, 니들에 작용되는 힘이 변화하는 경우에는, 니들의 왕복이동속도가 변화되면서 노즐이 개폐되는 시간이 변동되며, 이에 따라, 노즐로부터 토출되는 수지의 토출량이 변동될 수 있다.
종래의 경우에는 상기와 같은 수지의 토출량의 변동을 일으키는 원인을 찾고 이에 대응하여 수지의 토출량을 일정하게 유지시킬 수 있는 도포조건을 변경하기 위하여, 리드프레임상에 수지를 도포하는 공정 중 미리 설정된 주기적인 시간간격마다 또는 미리 설정된 개수의 리드프레임상에 수지를 도포하는 공정을 완료한 후, 노즐로부터 토출된 실제의 수지의 토출량과 미리 설정된 최적의 토출량을 비교하고, 실제의 수지의 토출량이 미리 설정된 최적범위를 벗어난 경우에는, 실제의 토출량이 미리 설정된 최적의 토출량과 일치하도록 도포조건을 조절하는 과정을 수행한다. 이때, 실제의 수지의 토출량을 측정하기 위하여 노즐로부터 토출된 수지의 무게를 전자저울로 측정하고, 측정된 수지의 무게를 이용하여 수지의 토출량을 산출하는 방식이 이용된다.
종래의 경우에는 실제의 수지의 토출량과 미리 설정된 최적의 토출량을 비교하여 도포조건을 조절하는 과정이 미리 설정된 주기적인 시간간격마다 또는 미리 설정된 개수의 리드프레임상에 수지를 도포하는 공정을 완료한 후에 수행되었기 때문에, 리드프레임상에 수지를 도포하는 과정이 진행됨에 따라, 실제의 수지의 토출량과 시간에 따라 일정한 수지의 이상적인 토출량 사이에는 편차가 발생하며, 이러한 편차는 도포조건을 조절하는 주기적인 동작이 수행되기 직전에 최대가 된다. 따라서, 실제의 토출량과 이상적인 토출량 사이의 편차로 인하여 리드프레임상에 정량의 수지가 도포되지 못하는 문제가 발생하며, 특히, 실제의 토출량과 이상적인 토출량 사이의 편차가 최대가 되는 시점에서는 리드프레임상에 정량의 수지가 도포되지 못하는 문제가 크게 발생한다.
한편, 실제의 토출량과 이상적인 토출량 사이의 최대편차를 줄이기 위하여, 실제의 수지의 토출량과 미리 설정된 최적의 토출량을 비교하여 도포조건을 조절하는 과정이 수행되는 주기를 줄이는 방안을 고려할 수 있으나, 노즐로부터 토출된 실제의 수지의 토출량을 측정하는 데에 전자저울만을 이용하는 종래기술의 특성상, 이러한 방안은 복수의 리드프레임상에 수지를 도포하는 데에 소요되는 시간을 크게 증가시키는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 노즐로부터 토출되는 수지의 실제의 토출량과, 토출량이 일정한 수지의 이상적인 토출량 사이의 편차를 최소화하여, 리드프레임상에 최적의 범위내의 도포량으로 수지를 도포할 수 있는 수지도포장치를 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 수지도포장치는, 수지가 수용되는 시린지와, 상기 시린지로부터 공급된 수지가 수용되는 수용공간이 형성되는 챔버부재와, 상기 챔버부재의 수용공간과 연통되며 수지가 토출되는 토출구를 가지는 노즐과, 상기 수용공간의 내부에서 일단이 왕복으로 이동이 가능하게 설치되는 니들과, 상기 니들에 결합되는 피스톤과, 상기 피스톤이 이동이 가능한 내부공간이 형성되고, 상기 내부공간으로 기체가 유입되고 상기 내부공간으로부터 기체가 배출되는 유출입통로가 형성되는 실린더와, 상기 실린더의 유출입통로를 통하여 상기 실린더의 내부공간으로 기체를 공급하는 기체공급장치와, 상기 실린더의 유출입통로를 통하여 배출되는 기체의 배기압력을 측정하는 배기압력측정장치를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 수지도포장치는, 실린더의 내부공간으로부터 배출되는 기체의 배기압력을 배기압력측정장치를 이용하여 실시간으로 측정하고, 측정된 배기압력을 근거로 하여 니들이 정상적인 왕복이동속도로 동작하는지 여부를 검사할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 수지도포장치는, 니들이 정상적인 왕복이동속도로 동작하지 않는다고 판단되는 경우에는, 시린지의 내부로 공급되는 기체의 압력을 실시간으로 조절하거나 실린더의 내부공간으로 공급되는 기체의 압력을 실시간으로 조절하거나 니들의 스트로크를 실시간으로 조절하는 것을 통하여 니들의 비정상적인 왕복이동속도에 따른 수지의 토출량의 증감을 보상할 수 있으므로, 노즐의 토출구로부터 토출되는 수지의 토출량을 일정하게 유지시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 수지도포장치가 도시된 개략도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 수지도포장치에서 챔버부재 및 노즐이 확대되어 도시된 개략도이다.
도 4는 도 1의 수지도포장치의 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 5는 본 발명에 따른 수지도포장치의 제어블럭도이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 수지도포장치의 동작이 순차적으로 도시된 순서도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 수지도포장치의 동작이 순차적으로 도시된 순서도이다.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 수지도포장치의 동작이 순차적으로 도시된 순서도이다.
도 9는 본 발명의 제4실시예에 따른 수지도포장치가 도시된 개략도이다.
도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 수지도포장치의 제어블럭도이다.
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 수지도포장치의 동작이 순차적으로 도시된 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 수지도포장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 수지도포장치는, 반도체칩이 실장된 리드프레임의 도포영역상에 수지를 도포하는 장치로, 수지를 공급하는 수지공급유닛(10)과, 수지공급유닛(10)으로부터 공급되는 수지를 외부로 토출시키는 수지토출유닛(20)과, 수지토출유닛(20)에서 토출되는 수지의 토출량을 조절하는 토출량조절유닛(30)과, 수지공급유닛(10), 수치토출유닛(20) 및 토출량조절유닛(30)을 제어하는 제어유닛(40)을 포함하여 구성될 수 있다.
수지공급유닛(10)은, 내부에 수지가 수용되는 시린지(11)와, 시린지(11)의 내부로 기체를 공급하는 기체공급기(12)을 포함하여 구성될 수 있다. 시린지(11)의 내부에는 소정의 양의 수지가 수용된다. 반도체칩이 발광다이오드가 되는 경우, 시린지(11)에 수용되는 수지에는 형광체가 포함될 수 있다. 이러한 구성에 따라, 기체공급기(12)으로부터 시린지(11)의 내부로 공급되는 기체의 공급압력에 의하여 시린지(11)의 내부에 수용된 수지가 시린지(11)로부터 배출될 수 있다. 기체공급기(12)와 시린지(11) 사이에는 정압레귤레이터(13)가 구비되어 기체공급기(12)에서 공급되는 기체의 압력이 일정하게 조절될 수 있다.
수지토출유닛(20)은, 수지가 공급되는 공급통로(211) 및 공급통로(211)와 연통되며 미리 설정된 양의 수지가 수용될 수 있는 체적을 가지는 수용공간(212)이 형성되는 챔버부재(21)와, 챔버부재(21)의 수용공간(212)과 연통되도록 챔버부재(21)에 장착되는 노즐(22)과, 챔버부재(21)의 수용공간(212)의 내부에서 노즐(22)과 인접하게 배치되는 제1단부(231) 및 제1단부(231)의 반대측에 형성되는 제2단부(232)를 가지는 니들(23)과, 니들(23)과 결합되는 피스톤(24)과, 피스톤(24)이 이동이 가능하게 수용되는 내부공간(251)이 마련되고 내부공간(251)으로 기체가 유출입되는 유출입통로(252)가 형성되는 실린더(25)와, 니들(23)의 제2단부(232)와 연결되어 니들(23)을 탄성적으로 지지하는 탄성부재(26)와, 탄성부재(26)와 연결되며 니들(23)의 이동거리(스트로크)를 제한하는 제한부재(27)와, 실린더(25)와 결합되며 제한부재(27)를 지지하는 지지부재(28)를 포함하여 구성될 수 있다.
챔버부재(21)의 공급통로(211)는 연결통로(111)를 통하여 시린지(11)와 연결될 수 있으며, 이에 따라, 시린지(11)의 내부의 수지는 연결통로(111) 및 공급통로(211)를 통하여 챔버부재(21)의 수용공간(212)의 내부로 공급될 수 있다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 수용공간(212)의 내부에 니들(23)의 제1단부(231)가 위치될 수 있도록 챔버부재(21)에는 니들(23)이 삽입되는 삽입홀(213)이 형성될 수 있다. 니들(23)의 제1단부(231)의 직경은 챔버부재(21)의 수용공간(212)의 내경과 거의 일치되도록 설정하는 것이 수용공간(212)의 내부로 유입된 수지가 미리 설정된 압력과 동일한 크기의 압력에 의하여 미리 설정된 양과 동일한 양으로 토출되는 데에 있어 바람직하다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐(22)에는 챔버부재(21)의 수용공간(212)으로부터 수지가 유입되는 유입구(221) 및 유입구(221)와 연통되며 수지가 토출되는 토출구(222)가 형성된다. 노즐(22)의 유입구(221)의 형상은 니들(23)의 제1단부(231)의 형상과 일치하도록 형성되는 것이 수지의 누설을 차단하는 데에 있어 바람직하다. 노즐(22)은 예를 들면 나사 또는 브래킷과 같은 체결부재(223)에 의하여 챔버부재(21)의 수용공간(212)의 내부로 삽입되는 형태로 챔버부재(21)에 장착될 수 있다. 다만, 본 발명은 챔버부재(21)와 노즐(22)이 별도의 부재로 제작되어 서로 체결되는 구성에 한정되지 아니하며, 챔버부재(21)와 노즐(22)이 일체로 형성되는 구성이 이용될 수 있다.
니들(23)은 그 길이방향으로 이동이 가능하게 설치된다. 니들(23)의 제1단부(231)는 챔버부재(21)의 삽입홀(213)을 관통하여 수용공간(212)의 내부에 위치된다. 이때, 챔버부재(21)의 삽입홀(213)은 니들(23)의 길이방향으로의 이동을 안내하는 역할을 수행할 수 있다. 니들(23)의 제1단부(231)가 노즐(22)의 유입구(221)와 밀착된 때에는 노즐(22)이 폐쇄되면서 수지의 토출이 차단되며, 니들(23)의 제1단부(231)가 노즐(22)의 유입구(221)로부터 이격되는 때에는 노즐(22)이 개방되면서 시린지(11)로부터 공급되는 수지의 압력 또는 수용공간(212) 내의 수지의 압력에 의하여 수지가 노즐(22)의 토출구(222)를 통하여 외부로 토출될 수 있다. 이와 같이, 니들(23)은 그 길이방향으로 이동되면서 노즐(22)을 개폐하는 역할을 수행한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 니들(23)의 제1단부(231)의 왕복이동거리, 즉, 니들(23)의 스트로크(S)는, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 결정한다. 예를 들어, 니들(23)의 제1단부(231)와 노즐(22)의 유입구(221) 사이가 이격된 상태에서의 니들(23)의 제1단부(231)의 최대 상승위치를 제1위치(P1)라고 하고, 니들(23)의 제1단부(231)와 노즐(22)의 유입구(221) 사이가 밀착된 상태에서의 니들(23)의 제1단부(231)의 최대 하강위치를 제2위치(P2)라고 할 때, 니들의 스트로크(S)가 클수록 제1위치(P1)와 제2위치(P2) 사이의 거리(행정거리)가 커지게 된다. 제1위치(P1)와 제2위치(P2) 사이의 거리가 클수록 수지가 노즐(22)을 통하여 외부로 토출되는 시간이 증가한다. 따라서, 니들(23)의 스트로크(S)가 클수록 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량이 크고, 반대로 니들(23)의 스트로크(S)가 작을수록 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량이 작다. 이와 같이, 니들(23)의 스트로크(S)를 조절하는 것을 통하여 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절할 수 있다.
또한, 니들(23)의 제1단부(231)의 왕복이동속도는 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 결정한다. 니들(23)의 제1단부(231)는 제1위치(P1) 및 제2위치(P2) 사이에서 왕복적으로 이동하면서 노즐(22)을 개폐하는데, 예를 들어, 니들(23)의 왕복이동속도가 커지는 경우에는 노즐(22)이 개방되는 시간이 감소하므로 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량이 감소하며, 니들(23)의 왕복이동속도가 작아지는 경우에는 노즐(22)이 개방되는 시간이 증가하므로 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량이 증가한다. 따라서, 니들(23)의 왕복이동속도를 조절하는 것을 통하여 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절할 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 실린더(25)는 챔버부재(21)와 지지부재(28)의 사이에 위치된다. 실린더(25)는 예를 들면 나사 또는 브래킷과 같은 체결수단(미도시)을 통하여 챔버부재(21) 및 지지부재(28)에 각각 결합될 수 있다. 실린더(25)의 내부공간(251)은, 실린더(25)의 내면과 피스톤(24) 사이에 존재하는 공간으로 규정된다. 유출입통로(252)는 내부공간(251)과 연통된다. 실린더(25)에는 니들(23)이 관통하는 관통홀(253)이 형성되며, 관통홀(253)의 내부에는 니들(23)의 외주면과 밀착되는 예를 들면 부싱과 같은 실링부재(254)가 삽입되게 설치될 수 있다. 실링부재(254)는 실린더(25)의 내부공간(251)을 밀폐하는 역할과 함께 니들(23)의 길이방향으로의 이동을 안내하는 역할을 수행한다.
한편, 도 1에서는 실린더(25)에 하나의 유출입통로(252)가 형성되는 구성에 대하여 설명하였으나, 도 4에 도시된 바와 같이, 실린더(25)에, 내부공간(251)으로 기체가 공급되는 유입통로(255)와, 내부공간(251)로부터 기체가 배출되는 배출통로(256)가 각각 실린더(25)에 별개로 형성되는 구성이 채용될 수 있다.
탄성부재(26)는 예를 들면 코일스프링으로 구성될 수 있다. 탄성부재(26)는 니들(23)의 제2단부(232)와 연결되는 스프링시트부재(29)와 제한부재(27) 사이에 개재될 수 있다. 스프링시트부재(29)는 탄성부재(26)가 코일스프링인 경우에 마련될 수 있는 구성으로, 코일스프링이 변형되지 않도록 지지하는 역할을 수행한다. 이러한 스프링시트부재(29)는, 조립이 용이하게 수행될 수 있도록, 니들(23)과 별개의 부재로 마련될 수 있으나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 스프링시트부재(29)와 니들(23)이 일체로 형성될 수 있다. 스프링시트부재(29)와 니들(23)이 별개의 부재로 마련된 경우에는, 스프링시트부재(29)의 하단부(291)는 탄성부재(29)의 탄성력에 의하여 니들(23)의 제2단부(232)와 밀착된 상태를 유지한다.
니들(23)의 제1단부(231)가 노즐(22)의 유입구(221)에 밀착된 상태에서, 즉, 니들(23)의 제1단부(231)의 위치가 제2위치(P2)에 있는 상태에서는, 스프링시트부재(29)의 상단부(292)는 제한부재(27)와 소정의 간격(G)을 유지한다.
그리고, 니들(23)이 상승하여 니들(23)의 제1단부(231)가 노즐(22)의 유입구(221)로부터 이격된 상태에서, 즉, 니들(23)의 제1단부(231)의 위치가 제1위치(P1)에 있는 상태에서는, 스프링시트부재(29)의 상단부(292)는 제한부재(27)에 밀착된다. 이와 같이, 스프링시트부재(29)의 상단부(292)가 제한부재(27)에 밀착됨에 따라, 스프링시트부재(29) 및 니들(23)의 상승이동이 제한된다.
이와 같이, 니들(23)의 하강이동은 노즐(22)에 의하여 제한되며, 니들(23)의 상승이동은 제한부재(27)에 의하여 제한되므로, 니들(23)의 스트로크(S)는 노즐(22)에 대한 제한부재(27)의 위치에 따라 결정된다. 따라서, 니들(23)의 제1단부(231)가 노즐(22)에 밀착된 상태에서, 즉, 니들(23)의 제1단부(231)의 위치가 제2위치(P2)에 있는 상태에서, 스프링시트부재(29)의 상단부(292)와 제한부재(27) 사이의 간격(G)을 조절하는 것에 의하여 니들(23)의 스트로크(S)를 조절할 수 있고, 이와 같은 니들(23)의 스트로크(S)의 조절을 통하여 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출될 수 있는 수지의 토출량을 조절할 수 있다.
제한부재(27)는, 스프링시트부재(29)의 상단부(292)와 제한부재(27) 사이의 간격(G)이 조절될 수 있도록, 지지부재(28)에 니들(23)의 이동방향(상하방향)으로의 위치가 변경이 가능하도록 설치될 수 있다. 예를 들면, 제한부재(27)는 지지부재(28)의 내부에 나사결합이 될 수 있으며, 이와 같은 경우, 제한부재(27)가 지지부재(28)의 내부로 회전되면서 삽입되는 정도에 따라 제한부재(27)의 상하방향으로의 위치가 결정될 수 있다.
또한, 제한부재(27)의 상하방향으로의 위치에 따라 탄성부재(26)가 신장 또는 수축되면서 탄성부재(26)의 탄성력이 조절될 수 있다.
토출량조절유닛(30)은, 실린더(25)의 유출입통로(252)와 제1유로(301)를 통하여 연결되어 유출입통로(252)로 기체를 공급하는 기체공급장치(31)와, 유출입통로(252)와 기체공급장치(31) 사이에서 제1유로(301)상에 배치되어 기체공급장치(31)로부터 공급되는 기체의 압력을 조절하는 정압레귤레이터(32)와, 유출입통로(252)와 제2유로(302)를 통하여 연결되어 유출입통로(252)로부터 배출되는 기체의 배기압력을 측정하는 배기압력측정장치(33)와, 제1유로(301) 및 제2유로(302)를 선택적으로 개폐하는 개폐장치(34)를 포함하여 구성될 수 있다.
정압레귤레이터(32)는 기체공급장치(31)로부터 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 압력을 조절하는 역할을 수행한다. 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 압력이 커질수록, 피스톤(24)에 작용하는 힘이 커지게 되므로, 니들(23)의 왕복이동속도가 증가하게 되며, 이에 따라, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량이 감소한다. 또한, 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 압력이 작을수록, 피스톤(24)에 작용하는 힘이 작아지게 되므로, 니들(23)의 왕복이동속도가 감소하게 되며, 이에 따라, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량이 증가한다. 이와 같이, 정압레귤레이터(32)에 의한 공급압력의 조절을 통하여 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절할 수 있다.
배기압력측정장치(33)로는 기체의 압력을 검출하고, 검출된 기체의 압력을 전기신호로 변환하여 제어유닛(40)으로 전송하는 압력센서로 구성될 수 있다. 또한, 배기압력측정장치(33)로는 기체의 압력을 검출하고, 검출된 기체의 압력이 미리 설정된 범위를 초과하는지 여부 또는 미달하는지 여부를 판단하여, 검출된 기체의 압력이 미리 설정된 범위를 초과하거나 미달한 경우에 그 횟수를 전기신호로 변환하여 제어유닛(40)으로 전송하는 카운트센서로 구성될 수 있다.
예를 들어, 니들(23)의 왕복이동속도가 증가하는 경우에는, 피스톤(24)이 실린더(25)의 내부공간(251) 내의 기체에 가하는 힘이 증가하므로, 배기압력측정장치(33)에서 측정되는 배기압력이 증가하며, 니들(23)의 왕복이동속도가 감소하는 경우에는, 피스톤(24)이 실린더(25)의 내부공간(251) 내의 기체에 가하는 힘이 감소하므로, 배기압력측정장치(33)에서 측정되는 배기압력이 감소한다.
개폐장치(34)는, 제1유로(301)상에 배치되는 제1밸브(341)와, 제2유로(302)상에 배치되는 제2밸브(342)를 포함하여 구성될 수 있다. 제1밸브(341) 및 제2밸브(342)는 솔레노이드를 포함하는 전자밸브로 구성되는 것이 바람직하다. 제1밸브(341)가 개방되어 유출입통로(252)를 통하여 실린더(25)의 내부공간(251)으로 기체가 공급되는 경우에는 제2밸브(342)가 폐쇄되며, 제2밸브(342)가 개방되어 유출입통로(252)를 통하여 실린더(25)의 내부공간(251)의 기체가 외부로 배출되는 경우에는 제1밸브(341)가 폐쇄된다. 한편, 본 발명은 개폐장치(34)로 제1밸브(341)와 제2밸브(342)가 각각 독립적으로 구비되는 구성에 한정되지 아니하며, 개폐장치(34)로는, 제1유로(301) 및 유출입통로(252)와, 제2유로(302) 및 유출입통로(252)를 선택적으로 연통시키는 하나의 3방향밸브가 이용될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제어유닛(40)은, 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력을 근거로 하여 시린지(11)의 내부로 공급되는 기체의 압력을 조절하는 정압레귤레이터(13) 및 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 압력을 조절하는 정압레귤레이터(32)를 제어하는 역할을 수행한다.
이하, 도 6 및 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 수지도포장치의 동작에 대하여 설명한다. 먼저, 도 6을 참조하여, 제1실시예에 따른 수지도포장치의 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 수지를 토출시키기 위하여, 소정의 양의 수지가 수용된 시린지(11)가 챔버부재(21)와 연결되도록 설치되며, 이에 따라, 챔버부재(21)의 수용공간(212)은 공급통로(211) 및 연결통로(111)를 통하여 시린지(11)와 연통될 수 있다.
이와 같은 상태에서, 기체공급기(12)로부터 시린지(11)의 내부로 소정의 기체가 공급되며, 이에 따라, 시린지(11)의 내부에 수용된 수지가 연결통로(111) 및 공급통로(211)를 통하여 챔버부재(21)의 수용공간(212)의 내부로 유입될 수 있다. 이때, 니들(23)의 제1단부(231)는 노즐(22)의 유입구(221)에 밀착된 상태를 유지한다.
그리고, 제2밸브(342)가 폐쇄된 상태에서 제1밸브(341)가 개방되면서, 기체공급장치(31)로부터 실린더(25)의 내부공간(251)로 기체가 공급되면, 내부공간(251)으로 공급된 기체의 압력에 의하여 피스톤(24)에는 탄성부재(26)의 탄성력에 저항하는 방향(상측방향)으로의 힘이 작용하고, 이에 따라, 니들(23)이 상승한다. 이때, 니들(23)의 제1단부(231)는 노즐(22)의 유입구(221)로부터 이격된다. 이에 따라, 수용공간(212) 내의 수지는 시린지(11)로부터 공급되는 수지의 압력 또는 수용공간(212) 내의 수지의 압력에 의하여 노즐(22)의 토출구(222)를 통하여 외부로 토출될 수 있다.
그리고, 제1밸브(341)가 폐쇄되면서 제2밸브(342)가 개방되면, 피스톤(24)에는 탄성부재(26)의 탄성복원력이 작용하게 되며, 이에 따라, 실린더(25)의 내부공간(251) 내의 기체가 유출입통로(252)를 따라 외부로 배출되는 것과 동시에 니들(23)이 하강한다. 이때, 니들(23)의 제1단부(231)는 노즐(22)의 유입구(221)에 밀착된다. 이에 따라, 노즐(22)이 니들(23)의 제1단부(231)에 의하여 폐쇄되면서 수지의 토출동작이 중단된다.
따라서, 이와 같은 실린더(25)의 내부공간(251)으로의 기체의 공급 및 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터의 기체의 배출에 따라, 니들(23)의 스트로크(S) 및 니들(23)의 왕복이동속도에 의하여 결정되는 토출량으로 수지가 노즐(22)로부터 토출될 수 있다.
그리고, 노즐(22)로부터 수지가 토출되는 과정에서, 배기압력측정장치(33)는 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 기체의 배기압력을 측정한다.
한편, 수지를 리드프레임상에 도포하는 공정이 계속적으로 수행되는 과정에서, 수지도포장치 내의 부품의 마모, 탄성부재(26)의 탄성력의 변화, 수지도포장치 내의 부품들의 마찰에 의하여 발생되는 열에 의한 부품의 변형 또는 수지의 점도의 변화 등에 의하여, 니들(23) 및/또는 피스톤(24)에 작용되는 힘이 변화될 수 있다. 또한, 노즐(22) 내의 유로의 일부의 폐색 또는 수지의 누설과 같은 작동오류가 발생하는 경우에도, 니들(23) 및/또는 피스톤(24)에 작용되는 힘이 변화될 수 있다. 이와 같이, 니들(23) 및/또는 피스톤(24)에 작용되는 힘이 변화되는 것에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 변화될 수 있으며, 이에 따라, 노즐(22)이 개폐되는 시간이 변동되면서, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량이 변동될 수 있다.
상기한 바와 같은 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 변화하는 경우에는 배기압력측정장치(33)에서 측정되는 배기압력이 변화되는데, 이때, 제어유닛(40)은 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하는지 여부를 판단하고, 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하지 않는다고 판단하는 경우에는, 정압레귤레이터(13)를 제어하여 시린지(11)의 내부로 공급되는 기체의 압력을 조정한다. 여기에서, 배기압력의 기준범위는, 배기압력의 변화에 따른 니들(23)의 왕복이동속도의 변화, 니들(23)의 왕복이동속도의 변화에 따른 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량의 변화 및/또는 배기압력의 변화에 따른 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량의 변화를 여러 번의 실험이나 시뮬레이션을 통하여 측정하고, 이를 데이터로 변환하는 것을 통하여 확보할 수 있다.
예를 들면, 상술한 바와 같은 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 증가함에 따라 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 초과하는 경우에는 수지의 토출량이 감소하게 되는데, 이때, 제어유닛(40)은 정압레귤레이터(13)를 제어하여 시린지(11)의 내부로 공급되는 기체의 압력을 증가시킨다. 따라서, 시린지(11)로부터 배출되는 수지의 압력이 증가하고, 챔버부재(21)의 수용공간(212) 내에 수용되는 수지의 압력이 증가하게 되면, 수지의 토출량이 증가되는데, 이에 따라, 니들(23)의 왕복이동속도의 증가에 따른 수지의 토출량의 감소가 시린지(11)의 내부로의 기체의 공급압력의 증가에 따른 수지의 토출량의 증가로 보상될 수 있다.
또한, 상술한 바와 같은 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 감소함에 따라 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 미달하는 경우에는 수지의 토출량이 증가하게 되는데, 이때, 제어유닛(40)은 정압레귤레이터(13)를 제어하여 시린지(11)의 내부로 공급되는 기체의 압력을 감소시킨다. 따라서, 시린지(11)로부터 배출되는 수지의 압력이 감소하고, 챔버부재(21)의 수용공간(212) 내에 수용되는 수지의 압력이 감소하게 되면, 수지의 토출량이 감소되는데, 이에 따라, 니들(23)의 왕복이동속도의 감소에 따른 수지의 토출량의 증가가 시린지(11)의 내부로의 기체의 공급압력의 감소에 따른 수지의 토출량의 감소로 보상될 수 있다.
이와 같이, 배기압력측정장치(33)를 이용하여 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 배기압력을 측정하고, 측정된 배기압력을 근거로 하여 시린지(11)의 내부로 공급되는 기체의 공급압력을 조정하는 것을 통하여, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 일정하게 유지시킬 수 있다. 여기에서, 배기압력을 근거로 시린지(11)의 내부로 공급되는 기체의 공급압력을 조정하는 과정에서는, 여러 번의 실험이나 시뮬레이션을 통하여 확보한 시린지(11)의 내부의 압력의 변화에 따른 니들(23)의 왕복이동속도의 변화에 관한 데이터, 시린지(11)의 내부의 압력의 변화에 따른 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량의 변화에 관한 데이터 및/또는 니들(23)의 왕복이동속도의 변화에 따른 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량의 변화에 관한 데이터가 활용될 수 있다.
도 7은 제2실시예에 따른 수지도포장치의 동작을 나타낸 순서도이다. 제2실시예에 따른 수지도포장치에서, 제어유닛(40)은 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하는지 여부를 판단하고, 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 벗어난 것으로 판단하는 경우에는, 정압레귤레이터(32)를 제어하여, 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력을 조정한다.
여기에서, 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 초과하는 경우에는, 즉, 상술한 바와 같은 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 증가하는 경우에는 수지의 토출량이 감소하게 되는데, 이때, 제어유닛(40)은, 정압레귤레이터(32)를 제어하여, 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력을 감소시킨다. 따라서, 실린더(25)의 내부공간(251) 내로 공급되는 기체의 공급압력이 감소하면서, 피스톤(24)에 가해지는 힘이 감소하며, 이에 따라, 니들(23)의 왕복이동속도가 감소하게 되는데, 이를 통하여, 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 증가하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 미달하는 경우에는, 즉, 상술한 바와 같은 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 감소하는 경우에는 수지의 토출량이 증가하게 되는데, 이때, 제어유닛(40)은, 정압레귤레이터(32)를 제어하여, 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력을 증가시킨다. 따라서, 실린더(25)의 내부공간(251) 내로 공급되는 기체의 공급압력이 증가하면서, 피스톤(24)에 가해지는 힘이 증가하며, 이에 따라, 니들(23)의 왕복이동속도가 증가하게 되는데, 이를 통하여, 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 감소하는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이, 배기압력측정장치(33)를 이용하여 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 배기압력을 측정하고, 측정된 배기압력을 근거로 하여 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력을 조정하는 것을 통하여, 니들(23)의 왕복이동속도를 조절할 수 있고, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절할 수 있다. 여기에서, 배기압력을 근거로 하여 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력을 조정하는 과정에서는, 여러 번의 실험이나 시뮬레이션을 통하여 확보한 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력의 변화에 따른 니들(23)의 왕복이동속도의 변화에 관한 데이터, 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력의 변화에 따른 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량의 변화에 관한 데이터 및/또는 니들(23)의 왕복이동속도의 변화에 따른 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량의 변화에 관한 데이터가 활용될 수 있다.
한편, 제1실시예에서는 제어유닛(40)이 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력을 근거로 하여 시린지(11) 내로 공급되는 기체의 공급압력을 조정하는 구성에 대하여 설명하였으며, 제2실시예에서는 제어유닛(40)이 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력을 근거로 하여 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력을 조정하는 구성에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 제어유닛(40)이 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력을 근거로 하여 시린지(11) 내로 공급되는 기체의 공급압력 및 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력을 함께 조정하는 구성이 적용될 수 있다.
도 8은 제3실시예에 따른 수지도포장치의 동작을 나타낸 순서도로, 제3실시예에 따른 수지도포장치에서, 제어유닛(40)은, 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 벗어난 것으로 판단하는 경우에는, 이를 작업자가 알 수 있도록 알림수단(미도시)의 동작을 제어할 수 있다. 알림수단으로는, 예를 들면, 경고등이나 모니터와 같은 디스플레이장치가 사용될 수 있다. 제어유닛(40)은 알림수단을 통하여 작업자에게 오류발생을 알리는 동작을 수행하는 것과 동시에 수지도포장치의 동작을 중단하여, 작업자로 하여금 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 벗어난 원인을 찾고 도포조건을 재설정하는 후속조치를 수행할 수 있도록 할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 수지도포장치는, 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 기체의 배기압력을 배기압력측정장치(33)를 이용하여 실시간으로 측정하고, 측정된 배기압력을 근거로 하여 니들(23)이 정상적인 왕복이동속도로 이동하는지 여부를 검사할 수 있다. 또한, 니들(23)이 정상적인 왕복이동속도로 이동하지 않는다고 판단되는 경우에는, 시린지(11)의 내부로 공급되는 기체의 공급압력을 조절하거나 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 기체의 공급압력을 실시간으로 조절하는 것을 통하여 니들(23)의 왕복이동속도를 일정하게 유지시킬 수 있고, 이에 따라, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서, 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 배기압력의 측정과, 측정된 배기압력을 근거로 한 시린지(11)의 내부로 공급되는 공급압력 및/또는 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 공급압력의 조절을 통하여, 실제의 토출량과 이상적인 토출량 사이의 최대편차를 줄일 수 있으며, 이에 따라, 리드프레임상에 최적의 범위내의 도포량으로 수지를 도포할 수 있다.
이하, 도 9 내지 도 11을 참조하여 제4실시예에 따른 수지도포장치에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제3실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 9에 도시된 바와 같이, 제4실시예에 따른 수지도포장치는, 제한부재(27)를 이동시키는 제한부재이동유닛(50)을 포함하여 구성될 수 있다.
제한부재이동유닛(50)은, 구동력을 발생시키는 구동장치(51)와, 구동장치(51)의 구동력을 제한부재(27)로 전달하는 전달부재(52)를 포함하여 구성될 수 있다. 예를 들면, 구동장치(51)로는 유압 또는 공압에 의하여 직선형의 구동력을 발생시키는 액추에이터가 될 수 있고, 이와 같은 경우, 전달부재(52)는 구동장치(51)의 직선형의 구동력을 전달부재(52)로 전달하는 연결로드가 될 수 있다. 또한, 예를 들면, 구동장치(51)로는 회전력을 발생시키는 회전모터가 될 수 있고, 이와 같은 경우, 전달부재(52)는 구동장치(51)의 회전력에 의하여 상하방향으로 이동하는 회전축이 될 수 있다. 또한, 본 발명은 상기한 구성에 한정되지 아니하며, 제한부재이동유닛(50)으로는, 볼스크류장치 또는 리니어모터와 같이 제한부재(27)와 연결되어 제한부재(27)를 직선형으로 이동시키는 다양한 기구가 이용될 수 있다.
이와 같은 구성에 따르면, 제한부재이동유닛(50)의 동작에 의하여, 제한부재(27)가 니들(23)의 이동방향(상하방향)으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 제한부재(27)의 위치가 조절될 수 있다. 그리고, 제한부재(27)의 위치의 조절에 의하여, 제한부재(27)와 스프링시트부재(29)의 상단부(292) 사이의 간격(G)이 조절될 수 있으며, 이에 따라, 니들(23)의 스트로크(S)가 조절될 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 제어유닛(40)은, 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력을 근거로 하여 제한부재이동유닛(50)의 동작을 제어하는 역할을 수행한다.
이하, 도 11을 참조하여, 제4실시예에 따른 수지도포장치의 동작에 대하여 설명한다.
전술한 바와 같이, 도포공정이 계속적으로 수행되는 과정에서, 부품의 마모, 탄성부재(26)의 탄성력의 변화, 수지도포장치 내의 부품들의 마찰에 의하여 발생되는 열에 의한 부품의 변형 또는 수지의 점도의 변화 등에 의하여, 니들(23) 및/또는 피스톤(24)에 작용되는 힘이 변화될 수 있다. 또한, 노즐(22) 내의 유로의 일부가 폐색되거나 수지의 누설과 같은 작동오류가 발생하는 경우에도, 니들(23) 및/또는 피스톤(24)에 작용되는 힘이 변화될 수 있다. 이와 같이, 니들(23) 및/또는 피스톤(24)에 작용되는 힘이 변화되는 경우에는, 니들(23)의 왕복이동속도가 변화될 수 있으며, 이에 따라, 노즐(22)이 개폐되는 시간이 변동되면서, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량이 변동될 수 있다.
상기한 바와 같은 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 변화하는 경우에는 배기압력측정장치(33)에서 측정되는 배기압력이 변화되는데, 이때, 제어유닛(40)은 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하는지 여부를 판단하고, 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하지 않는다고 판단하는 경우에는, 제한부재이동유닛(50)의 동작을 제어하여 제한부재(27)의 위치를 조절하면서 니들(23)의 스트로크(S)를 조절한다. 여기에서, 배기압력의 기준범위는, 배기압력의 변화에 따른 니들(23)의 왕복이동속도의 변화, 니들(23)의 왕복이동속도의 변화에 따른 수지의 토출량의 변화, 배기압력의 변화에 따른 수지의 토출량의 변화 및/또는 니들(23)의 스트로크(S)의 변화에 따른 수지의 토출량의 변화를 여러 번의 실험이나 시뮬레이션을 통하여 측정하고, 이를 데이터로 변환하는 것을 통하여 확보할 수 있다.
예를 들면, 상술한 바와 같은 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 증가함에 따라 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 초과하는 경우에는 수지의 토출량이 감소하게 되는데, 이때, 제어유닛(40)은 제한부재이동유닛(50)을 제어하여 제한부재(27)와 스프링시트부재(29) 사이의 간격(G)이 증가되도록 제한부재(27)를 이동시킨다. 제한부재(27)와 스프링시트부재(29) 사이의 간격(G)의 증가에 의하여, 니들(23)의 스트로크(S)가 증가되면, 수지의 토출량이 증가되는데, 이에 따라, 니들(23)의 왕복이동속도의 증가에 따른 수지의 토출량의 감소가 니들(23)의 스트로크(S)의 증가에 따른 수지의 토출량의 증가로 보상될 수 있다.
또한, 상술한 바와 같은 다양한 원인에 의하여 니들(23)의 왕복이동속도가 감소함에 따라 배기압력측정장치(33)에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위에 미달하는 경우에는 수지의 토출량이 증가하게 되는데, 이때, 제어유닛(40)은 제한부재이동유닛(50)을 제어하여 제한부재(27)와 스프링시트부재(29) 사이의 간격(G)이 감소되도록 제한부재(27)를 이동시킨다. 제한부재(27)와 스프링시트부재(29) 사이의 간격(G)의 감소에 의하여, 니들(23)의 스트로크(S)가 감소되면, 수지의 토출량이 감소되는데, 이에 따라, 니들(23)의 왕복이동속도의 감소에 따른 수지의 토출량의 증가가 니들(23)의 스트로크(S)의 감소에 따른 수지의 토출량의 감소로 보상될 수 있다.
이와 같이, 배기압력측정장치(33)를 이용하여 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 배기압력을 측정하고, 측정된 배기압력을 근거로 니들(23)의 스트로크(S)를 조절하는 것을 통하여, 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 일정하게 유지시킬 수 있다. 여기에서, 배기압력을 근거로 니들(23)의 스트로크(S)를 조절하는 과정에서는, 여러 번의 실험이나 시뮬레이션을 통하여 확보한 배기압력의 변화에 따른 니들(23)의 왕복이동속도의 변화에 관한 데이터, 니들(23)의 왕복이동속도의 변화에 따른 수지의 토출량의 변화에 관한 데이터 및/또는 니들(23)의 스트로크(S)의 변화에 따른 수지의 토출량의 변화에 관한 데이터가 활용될 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 수지도포장치는, 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 기체의 배기압력을 배기압력측정장치(33)를 이용하여 실시간으로 측정하고, 측정된 배기압력을 근거로 하여 니들(23)이 정상적인 왕복이동속도로 이동하는지 여부를 검사할 수 있다. 또한, 니들(23)이 정상적인 왕복이동속도로 이동하지 않는다고 판단되는 경우에는, 니들(23)의 스트로크(S)를 실시간으로 조절하는 것을 통하여 노즐(22)의 토출구(222)로부터 토출되는 수지의 토출량을 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서, 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 배기압력의 측정과, 측정된 배기압력을 근거로 한 니들(23)의 스트로크(S)의 조절을 통하여, 실제의 토출량과 이상적인 토출량 사이의 최대편차를 줄일 수 있으며, 이에 따라, 리드프레임상에 최적의 범위내의 도포량으로 수지를 도포할 수 있다.
본 발명의 각 실시예에서 설명한 구성들을 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 본 발명의 제1실시예 내지 제4실시예가 조합된 경우를 예로 들면, 실린더(25)의 내부공간(251)으로부터 배출되는 배기압력을 근거로 하여, 시린지(11)의 내부로 공급되는 공급압력의 조절, 실린더(25)의 내부공간(251)으로 공급되는 공급압력의 조절 및 니들(23)의 스트로크(S)의 조절이 함께 수행될 수 있으며, 이와 동시에, 작업자가 작동오류를 알 수 있도록 알림수단이 동작될 수 있다.
10: 수지공급유닛 11: 시린지
13: 정압레귤레이터 20: 수지토출유닛
22: 노즐 23: 니들
30: 토출량조절유닛 32: 정압레귤레이터
33: 배기압력측정장치 40: 제어유닛

Claims (8)

  1. 수지가 수용되는 시린지;
    상기 시린지로부터 공급된 수지가 수용되는 수용공간이 형성되는 챔버부재;
    상기 챔버부재의 수용공간과 연통되며 수지가 토출되는 토출구를 가지는 노즐;
    상기 수용공간의 내부에서 일단이 왕복으로 이동이 가능하게 설치되는 니들;
    상기 니들에 결합되는 피스톤;
    상기 피스톤이 이동이 가능한 내부공간이 형성되고, 상기 내부공간으로 기체가 유입되고 상기 내부공간으로부터 기체가 배출되는 유출입통로가 형성되는 실린더;
    상기 실린더의 유출입통로를 통하여 상기 실린더의 내부공간으로 기체를 공급하는 기체공급장치;
    상기 실린더의 유출입통로를 통하여 배출되는 기체의 배기압력을 측정하는 배기압력측정장치; 및
    상기 배기압력측정장치에서 측정된 배기압력을 근거로 하여 상기 시린지의 내부의 압력을 제어함으로써 상기 노즐의 토출구로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절하는 제어유닛을 포함하는 수지도포장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 배기압력측정장치에서 측정된 배기압력을 근거로 하여 상기 실린더의 내부공간으로 공급되는 기체의 공급압력을 제어함으로써 상기 노즐의 토출구로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절하는 것을 특징으로 하는 수지도포장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 배기압력측정장치에서 측정된 배기압력이 미리 설정된 기준범위를 벗어나는 경우 이를 작업자에게 알리는 알림수단의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 수지도포장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유출입통로는, 상기 실린더의 내부공간으로 기체가 공급되는 유입통로와, 상기 실린더의 내부공간으로부터 기체가 배출되는 배출통로로 구성되는 것을 특징으로 하는 수지도포장치.
  6. 수지가 수용되는 시린지;
    상기 시린지로부터 공급된 수지가 수용되는 수용공간이 형성되는 챔버부재;
    상기 챔버부재의 수용공간과 연통되며 수지가 토출되는 토출구를 가지는 노즐;
    상기 수용공간의 내부에서 일단이 왕복으로 이동이 가능하게 설치되는 니들;
    상기 니들에 결합되는 피스톤;
    상기 피스톤이 이동이 가능한 내부공간이 형성되고, 상기 내부공간으로 기체가 유입되고 상기 내부공간으로부터 기체가 배출되는 유출입통로가 형성되는 실린더;
    상기 실린더의 유출입통로를 통하여 상기 실린더의 내부공간으로 기체를 공급하는 기체공급장치;
    상기 실린더의 유출입통로를 통하여 배출되는 기체의 배기압력을 측정하는 배기압력측정장치;
    상기 니들의 스트로크를 제한하는 제한부재;
    상기 제한부재의 위치를 조절하는 제한부재이동유닛; 및
    상기 배기압력측정장치에서 측정된 배기압력을 근거로 상기 제한부재이동유닛의 동작을 제어하여 상기 니들의 스트로크를 조절함으로써 상기 노즐의 토출구로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절하는 제어유닛을 포함하는 수지도포장치.
  7. 수지가 수용되는 시린지; 상기 시린지로부터 공급된 수지가 수용되는 수용공간이 형성되는 챔버부재; 상기 챔버부재의 수용공간과 연통되며 수지가 토출되는 토출구를 가지는 노즐; 상기 수용공간의 내부에서 일단이 왕복으로 이동이 가능하게 설치되는 니들; 상기 니들에 결합되는 피스톤; 상기 피스톤이 이동이 가능한 내부공간이 형성되고, 상기 내부공간으로 기체가 유입되고 상기 내부공간으로부터 기체가 배출되는 유출입통로가 형성되는 실린더; 상기 실린더의 유출입통로를 통하여 상기 실린더의 내부공간으로 기체를 공급하는 기체공급장치; 및 상기 실린더의 유출입통로를 통하여 배출되는 기체의 배기압력을 측정하는 배기압력측정장치를 포함하는 수지도포장치를 제어하는 방법에 있어서,
    상기 배기압력측정장치를 사용하여 상기 실린더의 내부공간으로부터 배출되는 기체의 배기압력을 측정하는 단계;
    상기 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하지 않은 경우 상기 시린지 내부의 압력을 조정하여 상기 노즐의 토출구로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절하는 단계를 포함하는, 수지도포장치를 제어하는 방법.
  8. 수지가 수용되는 시린지; 상기 시린지로부터 공급된 수지가 수용되는 수용공간이 형성되는 챔버부재; 상기 챔버부재의 수용공간과 연통되며 수지가 토출되는 토출구를 가지는 노즐; 상기 수용공간의 내부에서 일단이 왕복으로 이동이 가능하게 설치되는 니들; 상기 니들에 결합되는 피스톤; 상기 피스톤이 이동이 가능한 내부공간이 형성되고, 상기 내부공간으로 기체가 유입되고 상기 내부공간으로부터 기체가 배출되는 유출입통로가 형성되는 실린더; 상기 실린더의 유출입통로를 통하여 상기 실린더의 내부공간으로 기체를 공급하는 기체공급장치; 상기 실린더의 유출입통로를 통하여 배출되는 기체의 배기압력을 측정하는 배기압력측정장치; 상기 니들의 스트로크를 제한하는 제한부재; 및 상기 제한부재의 위치를 조절하는 제한부재이동유닛을 포함하는 수지도포장치를 제어하는 방법에 있어서,
    상기 배기압력측정장치를 사용하여 상기 실린더의 내부공간으로부터 배출되는 기체의 배기압력을 측정하는 단계;
    상기 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 배기압력이 미리 설정된 기준범위 내에 존재하지 않은 경우 상기 제한부재이동유닛의 동작을 제어하여 상기 니들의 스트로크를 조절함으로써 상기 노즐의 토출구로부터 토출되는 수지의 토출량을 조절하는 단계를 포함하는, 수지도포장치를 제어하는 방법.
KR1020120032937A 2012-03-30 2012-03-30 수지도포장치 KR101885236B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120032937A KR101885236B1 (ko) 2012-03-30 2012-03-30 수지도포장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120032937A KR101885236B1 (ko) 2012-03-30 2012-03-30 수지도포장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130110740A KR20130110740A (ko) 2013-10-10
KR101885236B1 true KR101885236B1 (ko) 2018-08-06

Family

ID=49632512

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120032937A KR101885236B1 (ko) 2012-03-30 2012-03-30 수지도포장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101885236B1 (ko)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103736628B (zh) * 2014-01-09 2016-10-05 无锡威孚力达催化净化器有限责任公司 涂胶装置
KR101503724B1 (ko) * 2014-01-17 2015-03-19 (주)대명티에스 제진재의 정량 토출 및 초기 도포압 조절용 부스터
CN104549901A (zh) * 2015-02-04 2015-04-29 常熟康尼格科技有限公司 内置式低压注胶专用注胶枪
CN105710003B (zh) * 2016-01-22 2018-09-11 京东方科技集团股份有限公司 一种物料涂布设备及其控制方法
CN106733467A (zh) * 2017-01-09 2017-05-31 广东捷威电子有限公司 一种电容点胶枪
CN113000294A (zh) * 2021-03-04 2021-06-22 华霆（合肥）动力技术有限公司 电池模组灌胶工装
CN113289851B (zh) * 2021-06-01 2022-10-14 厦门鑫奥格自动化设备有限公司 一种胶枪装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2608851B2 (ja) * 1993-06-28 1997-05-14 サンスター技研株式会社 塗布システムにおけるポンプの動作監視方法
KR20010089337A (ko) 1998-10-23 2001-10-06 추후제출 액체정량 토출방법 및 장치
JP2010022881A (ja) * 2007-03-30 2010-02-04 Musashi Eng Co Ltd 液材吐出装置および液材吐出方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200264984Y1 (ko) * 2001-11-15 2002-02-20 주식회사 프로텍 업다운 및 회전의 정밀제어가 가능한 고속정량토출형디스펜서 헤드
KR100597779B1 (ko) * 2004-10-27 2006-07-06 보임테크놀러지 주식회사 정밀정량토출형 점 도포 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2608851B2 (ja) * 1993-06-28 1997-05-14 サンスター技研株式会社 塗布システムにおけるポンプの動作監視方法
KR20010089337A (ko) 1998-10-23 2001-10-06 추후제출 액체정량 토출방법 및 장치
JP2010022881A (ja) * 2007-03-30 2010-02-04 Musashi Eng Co Ltd 液材吐出装置および液材吐出方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130110740A (ko) 2013-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101885236B1 (ko) 수지도포장치
TWI583868B (zh) 壓電氣動閥驅動型分配泵及用所述泵分配黏性液體的方法
US20160136661A1 (en) Piezoelectric dispenser and method of calibrating stroke of the same
US20080302427A1 (en) Vacuum pressure control system
US20040164091A1 (en) Liquid material supply system
KR20160140923A (ko) 자동차 공학에서 특히 공통 레일 분사 시스템을 위한 압력 저장소를 동작시키기 위한 방법 및 디바이스
US8662097B2 (en) Flow control valve with damping chamber
US6685444B2 (en) Fluid discharging device with a reciprocating pump member defining an outlet valve, and a valve member defining an outlet and suction valve
KR101915926B1 (ko) 유량 및 압력 조절용 감압밸브
KR102186889B1 (ko) 액적 토출 장치
CN201815443U (zh) 容积式定量喷射阀
CN113165005B (zh) 计量系统和控制计量系统的方法
KR102304548B1 (ko) 밸브장치 및 그 제어장치를 사용한 제어방법, 유체 제어장치 및 반도체 제조장치
KR20090002639A (ko) 밸브, 그리고 이를 구비하는 기판 처리 장치 및 방법
KR101763121B1 (ko) 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치
KR101178699B1 (ko) 압력조절모듈
KR100940941B1 (ko) 실러 도포용 정유량 공급장치
KR101497471B1 (ko) 다공질 부싱이 구비된 스테이지용 에어실린더
KR101961464B1 (ko) 레귤레이터
CN102510822A (zh) 用于运行液压的或气动的系统的方法
RU2531072C1 (ru) Регулятор малых расходов жидкости
CN111883465B (zh) 工艺腔室压力控制装置
KR20200098896A (ko) 압전 디스펜서
US20230204028A1 (en) Low hysteresis piezo-electric pump
KR102559604B1 (ko) 유압 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant