KR101873904B1 - 진공 펌프 - Google Patents

진공 펌프 Download PDF

Info

Publication number
KR101873904B1
KR101873904B1 KR1020137017948A KR20137017948A KR101873904B1 KR 101873904 B1 KR101873904 B1 KR 101873904B1 KR 1020137017948 A KR1020137017948 A KR 1020137017948A KR 20137017948 A KR20137017948 A KR 20137017948A KR 101873904 B1 KR101873904 B1 KR 101873904B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
displacement
tubular body
vacuum pump
shafts
displacement body
Prior art date
Application number
KR1020137017948A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140029370A (ko
Inventor
루돌프 바넨
우베 드레베스
클라우스 로팔
마르쿠스 뢰벨
Original Assignee
게브르. 베커 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 게브르. 베커 게엠베하 filed Critical 게브르. 베커 게엠베하
Publication of KR20140029370A publication Critical patent/KR20140029370A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101873904B1 publication Critical patent/KR101873904B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • F04C18/04—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents of internal-axis type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
    • F04C18/084—Toothed wheels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/356—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the outer member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/24—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves
    • F04C28/26—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves using bypass channels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/20—Rotors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Details Of Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

본 발명은 컴프레셔 본체(12, 13)들을 구동시키는, 바람직하게는 2 개의 변위 본체 샤프트(2, 3)들을 갖는 진공 펌프, 특히 스크류 펌프에 관한 것으로, 압축기 본체들은 변위 본체 샤프트(2, 3)의 기하학적 축선(A)의 방향으로 연장하는 내부 리세스(14)를 갖고, 그 안에 관형 본체(20)가 냉각 유체를 공급하기 위해, 그리고 리세스의 내부 표면과 본체(20)의 외부 표면 사이에 자유 공간을 남기기 위해 연장한다. 본 발명에 따르면, 냉각력에 관하여 효과적이고 간단한 디자인의 실시예를 포함하는 진공 펌프를 기재하기 위해, 본체(20)는 변위 본체(12, 13)의 흡입 측 단부 상에 설치되는 별개의 커버 부품(15) 내에 추가로 장착되고, 자유 공간이 변위 본체(12, 13)의 내부 표면과 본체(20) 사이에 적어도 부분적으로는 직접적으로 이행되고 커버 부품(15)으로부터 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 본체(20)의 부착 구역으로, 변위 본체 샤프트(2, 3)의 모터/기어 박스 하우징(4)과 연관된 변위 본체 샤프트(2, 3)의 구역으로 계속하여 연장한다.

Description

진공 펌프 {VACUUM PUMP}
본 발명은 기어 장치를 통하여 커플링되며, 변위 본체들을 구동시키는, 바람직하게는 2 개의 변위 본체 샤프트들을 갖는 진공 펌프, 특히 스크류 펌프에 관한 것이며, 변위 본체는 흡입 측 단부 및 압력 측 단부를 갖고 내측 상에서 냉각되며, 진공 펌프는 모터/기어 장치 챔버 및 작업 챔버로 나누어지는 하우징을 가지며, 게다가 변위 본체는 변위 본체 샤프트의 기하학적 축선의 방향으로 연장하는 내부 리세스를 가지며, 상기 리세스 안에서 관형 본체가 본체의 외부 표면과 리세스의 내부 표면 사이에 자유 공간을 남기면서 냉각 유체를 안내하기 위해 연장하며, 냉각 유체는 본체로부터 자유 공간으로 들어갈 수 있고, 본체는 변위 본체 샤프트 내에 고착된다.
이러한 타입들의 진공 펌프들이 이미 공지되어 있다. 직접 변위 본체 냉각을 갖는 진공 펌프들과 이에 관하여 직접적으로 냉각되지 않는 진공 펌프들 사이에 차이가 생길 수 있다. 직접 변위 본체 냉각을 갖는 진공 펌프들에 대한 종래 기술에 대하여, 특히 EP 1 242 742 B1 및 US 2005/0069446 A1 이 참조된다. DE 10 2010 060 199 가 또한 참조된다. 변위 본체들의 직접 냉각을 갖는 진공 펌프들은 작동 동안 펌프 하우징과 변위 본체들 또는 변위 본체 샤프트들 사이에 상당한 온도 차이들을 초래하지 않는다는 이점을 갖는다. 게다가, 전달되는 가스 흐름과 관계없이, 심지어 압력 측 상의 고압 하의 작동 동안에, 변위 본체들로부터의 열의 제거가 보장될 수 있다. 제 1 인용 공보로부터 공지된, 예컨대 이 공보의 도 3 이 참조되는, 진공 펌프의 실시예에서, 변위 본체 샤프트 내측에서 연장하는 관형 본체가 제공된다. 이러한 구역에서 관형 형상을 갖는 변위 본체 샤프트의 벽이 본체의 외부 표면과 변위 본체의 내부 표면 사이에서 연장한다. 관형 본체로부터 빠져나가는 냉각 유체는 최초에 변위 본체 샤프트 내의 공동 안으로 흐르고, 그로부터 변위 본체 내의 리세스 안으로 흐르며, 그 리세스를 통해 변위 본체 샤프트가 통과한다.
이를 기본으로 하여, 본 발명의 기술적인 목적은 간단한 구조를 갖는 구성을 갖고 냉각력에 대하여 효과적인 진공 펌프를 제공하는 것이다.
이 목적을 달성하기 위한 하나의 가능한 접근법이 제 1 진보적인 컨셉에 따라 제공되며, 여기서 그 요지는 본체가 변위 본체의 흡입 측 단부 상에 장착되는 별개의 커버 부품 내에 추가로 고착되고, 자유 공간이 적어도 부분적으로는 본체와 변위 본체의 내부 표면 사이에 직접적으로 형성된다는 점이다. 관형 본체가 그 위에 장착되는 별개의 커버 부품에 의해 한편으로는 변위 본체 샤프트에 고착되지만 다른 한편으로는 변위 본체 자체에 고착되는 결과로써, 변위 본체 샤프트 자체는 유리하게는 짧은 디자인을 가질 수 있다. 변위 본체 샤프트는, 적어도 상당한 정도가 아닌 정도로, 이러한 리세스를 반드시 통과할 필요가 없다. 게다가, 본체는 커버가 제거된 후에 직접적으로 접근 가능하다. 적어도 부분적으로 본체와 변위 본체의 내부 공간 사이에 직접적으로 형성된 자유 공간 때문에, 본체로부터 빠져나가는 냉각 유체는 쉽게 변위 본체에 도달할 수 있고 열을 제거할 수 있다. 냉각 유체에 대한 바람직한 흐름 조건들, 특히 또한 낮은 흐름 압력 손실들이 보장된다.
본 발명의 다른 특징들이 종종 상기 설명된 컨셉과 이들의 바람직한 관계로 이하에서, 또한 도들의 설명 및 도면들에서, 설명되고 도시되지만, 여기서 설명된 또는 도면들에서 도시된 단지 하나 또는 둘 이상의 개별 특징들과 관련하여, 또는 독립적인 또는 어떠한 다른 전체적인 컨셉에서 또한 중요할 수 있다.
자유 공간은 커버 부품으로부터 변위 본체 샤프트 내의 본체의 고착 구역으로 바람직하게는 계속하여 연장하고, 특히 바람직하게는 내장 구성요소들이 없이 연장한다. 게다가, 고착 구역은 바람직하게는 변위 본체 샤프트의 모터/기어 장치 하우징과 연관된 변위 본체 샤프트의 구역 내에 제공된다. 통로 구역의 전체 길이에 걸쳐 실제적으로 내장 구성 요소들이 없이 형성되는 자유 공간은 본체로부터 빠져나가는 냉각 유체가 안으로 흐를 수 있는 간단하고 효과적인 공간의 구성을 초래한다. 이는 또한 설치에 대하여 바람직한 구성을 초래한다.
리세스가 원통형인 것이 더 바람직하다.
냉각 유체가 자유 공간의 내부를 마주하는 커버 부품의 단부면의 구역 내에서 빠져나가는 것이 또한 바람직하다. 냉각 유체가 단지 이러한 위치에서만 관형 본체로부터 빠져나가는 것이 더 바람직하다. 따라서, 냉각 유체는 변위 본체의 흡입 측 단부에서 빠져나가고, 이로부터, 바람직하게는 모터/기어 장치 챔버 안으로 다시 흘러들어올 수 있다. 최저 온도들이 변위 본체의 흡입 측 단부에 쫙 퍼져있다. 따라서, 냉각 유체는 변위 본체의 냉각 단부에서 빠져나가고, 온도 프로파일에 관한 역류 원리에 의해 그 후 변위 본체로부터 열을 제거할 수 있다.
관형 본체는 변위 본체 샤프트 내의 대응하는 수용 리세스 내에 수납된다. 이에 관하여, 수용 리세스는 바람직하게는 고착 부분, 및 더 큰 횡단면을 갖는 통로 부분을 갖는다. 통로 부분은 더 바람직하게는 고착 부분의 변위 본체 측 상에 형성된다.
냉각 유체가, 고착 부분의 축방향으로 개방되는, 본체 안으로의 입장을 위해 고착 부분 안으로 분사 가능한 것이 더 바람직하다. 본체는 특히 전체 길이에 걸쳐 균일한 벽 두께를 갖는 종래의 관형 본체로서 형성될 수 있다. 언급된 것과 같이 바람직하게는 원통형인, 변위 본체 내의 리세스와 함께, 이는 냉각 유체를 위해 이용될 수 있는, 자유 통로의 이러한 구역 내에 비교적 큰 원형 링 형상을 초래하고, 상기 리세스를 통해서, 적어도 변위 본체와 연관된 관형 본체의 길이의 상당한 부분에 걸쳐 관형 본체가 자유롭게 통과한다.
바람직하게는 오일인, 냉각 유체를 복귀시키기 위해, 반경 방향의 보어들이 바람직하게는 변위 본체 샤프트의 통로 부분, 모터/기어 장치 챔버와 연관된 변위 본체 샤프트의 구역 내에 형성된다. 고온에서의 오일 또는 냉각 유체는 따라서 모터/기어 장치 챔버 안으로 다시 흘러들어갈 수 있다. 냉각 유체의 회로는 실제적으로 오로지 관형 본체 안으로의 냉각 유체의 분사에 의해 결정된다.
변위 본체 샤프트는 변위 본체에 의해, 특히 바람직하게는 커버 부품에 의해 흡입 측 상에 또한 지지될 수 있다. 그의 구조적 구성에 대하여, 관형 본체는 오로지 냉각 유체를 안내하도록 디자인될 수 있다. 특히, 관형 본체는, 강 재료가 바람직한 변위 본체 또는 변위 본체 샤프트와 상이한 재료, 예컨대 알루미늄과 같은 경금속으로 또한 만들어질 수 있다. 변위 본체들 및 변위 본체 샤프트들의 2-부(two-part) 디자인에 대하여, 변위 본체들은, 변위 본체 샤프트들과 상이한 재료, 예컨대 또한 알루미늄으로 만들어질 수 있다.
본 발명은 전적으로 예로서 예시적인 실시예를 도시하는, 첨부된 도면들을 참조하여 이하에 더 상세하게 설명된다.
도면들은 이하를 나타낸다 :
도 1 은 내부적으로 냉각된 변위 본체들을 갖는 진공 펌프의 개략적인 횡단면도를 나타내는 도면이고; 및
도 2 는 파선에 의해 범위가 정해지는 도 1 의 도시의 구역의 확대도를 나타내는 도면이다.
도 1 에 횡단면도로 나타낸 진공 펌프(1)가 도시되고 설명되며, 이 진공 펌프는 예시적인 실시예에서 스크류 펌프로서 형성된다. 진공 펌프(1)는 제 1 변위 본체 샤프트(2) 및 제 2 변위 본체 샤프트(3)를 갖는다. 변위 본체 샤프트(2, 3)는 기하학적(길이방향) 축선(A)을 갖는다.
펌프는 바람직하게는 드라이-러닝(dry running) 펌프이다.
진공 펌프(1)는 작업 챔버(5)와 관련되는 하우징 부품(4), 및 모터/기어 장치 챔버(7)를 형성하는 하우징 부품(6)으로 나누어지는 펌프 하우징을 또한 갖는다. 하우징 부품(4, 6)들, 특히 하우징 부품(6)은 변위 본체 샤프트(2, 3)들에 관하여 반경 방향으로 폐쇄되는, 그리고 바람직하게는 이에 대하여 일체형으로 형성되는 하우징 부품들이다. 하우징 부품들은 예컨대 (강 또는 알루미늄)주조 부품들일 수 있다.
하우징 부품(6)은 변위 본체 샤프트(2, 3)들이 단부에서 장착되는 폐쇄 플레이트(8)에 의해 후방에서 폐쇄된다. 본 경우에, 변위 본체 샤프트(2)를 위한 오일 펌프(9)(단지 개략적으로 나타내어짐)가 또한 폐쇄 부품(8)의 외측 상에 위치되고, 또한 변위 본체 샤프트(2)에 의해 구동된다. 오일 펌프(9)는 모터/기어 장치 챔버(7)에 오일 공급을 또한 제공하고, 액체 오일로서의 이행 때문에, 이하에 더 상세하게 설명되는 것과 같이 또한 냉각 유체 및 그의 전달 및 순환을 제공한다.
파티션 벽(10)이 모터/기어 장치 챔버(7)와 작업 챔버(5) 사이에 형성된다. 변위 본체 샤프트(2, 3)는 베어링(11)들에 의해 파티션 벽(10) 내에 지지된다.
각각 변위 본체(12, 13)들과 함께 변위 본체 샤프트(2, 3)들은 작업 챔버 측 상에 제공된다. 예시적인 실시예에서, 변위 본체 샤프트들 및 변위 본체들은 관례적인 방식으로, 스크류와 같은 방식으로 하지만 닿지 않으면서 상호 작용한다. 원리적으로, 변위 본체(12, 13)들은 각각 변위 본체 샤프트(2, 3)와 함께 하나의 부품으로 형성될 수 있다. 하지만, 예시적인 실시예 및 바람직한 경우에서, 이들은 별개로 형성되고, 예컨대 포지티브 끼움(positive-fit) 및/또는 스크류 연결에 의해 변위 본체 샤프트들에 결합된다.
이들의 흡입 측 단부 구역과 연관되어, 각각의 경우 원통형 리세스(14)를 가지고 형성되는 변위 본체(12, 13)들이, 리세스(14)를 커버하는 커버 부품(15)에 의해 하우징(4) 내에, 베어링(16)을 통하여 장착된다. 커버 부품(15)은 변위 본체(12, 13)에 직접적으로 고착되고, 변위 본체들과 함께 회전한다. 커버 부품(15)은 O 링(29)에 의해 변위 본체 샤프트에 관하여 또는 각각의 변위 본체에 관하여 쉽게 밀봉될 수 있다.
예시적인 실시예에서, 변위 본체 샤프트(2, 3)들은 또한 변위 본체 샤프트(3)와 상호 작용하는 단일 모터(17)에 의해 구동되며, 기어 장치(18)를 통하여 서로 커플링 된다. 변위 본체(12 또는 13) 내에 형성되는 리세스(14)는, 변위 본체(12 또는 13)의 흡입 측 단부(19)에서 시작하여 변위 본체(12 또는 13)의 길이의 상당한 부분에 걸쳐서, 각각 변위 본체 샤프트(2, 3)의 또는 변위 본체(12, 13)의 길이방향 축선(A)에 관하여 동심으로 연장한다.
관형 본체(20)는 리세스(14) 내에서, 마찬가지로 축선(A)에 관하여 동심으로 연장한다. 관형 본체(20)는 한편으로는 커버 부품(15) 내에 그리고 다른 한편으로는 변위 본체 샤프트(2) 내에 고착된다. 따라서 관형 본체는 각각 변위 본체 샤프트(2 또는 3), 또는 변위 본체(12 또는 13)와 함께 회전한다.
관형 본체(20)(특히 또한 도 2 참조)는 냉각 유체를, 변위 본체(12, 13)의 흡입 측 단부까지 이르도록 안내하는데 사용되며, 이 냉각 유체는 예시적인 실시예에서 오일 펌프(9)에 의해 모터/기어 장치 챔버(7) 안으로 펌프되고 그 안에서 순환되는 액체 오일이다. 이 목적을 위해, 관형 본체(20)는 커버 부품(15)의 구역 내의 냉각 유체를 위한 출구 개구(21)들을 갖는다. 커버 부품(15)에서의 직접적인 냉각 유체의 빠져나감은 베어링(16)의 냉각에 관하여 또한 유리하다. 하지만, 특히(별개로 도시되지 않지만), 냉각 유체는, 변위 본체(12, 13)의 방향으로 볼 때 관형 본체(20)가 시작되기 전에, 변위 본체 샤프트(2, 3) 안으로, 구체적으로는 모터/기어 장치 챔버(7)와 연관된 구역 안으로 분사된다.
리세스(14)는 최초에, 변위 본체(12 또는 13)의 흡입 측 단부로부터 볼 때 더 큰 직경(D)을 갖고, 그 후 더 작은 직경(d)을 갖는다. 더 큰 직경(D)은 바람직하게는 관형 본체(20)의 외경(R)의 3 내지 7 배에 대응한다. 더 작은 직경(d)은 바람직하게는 관형 본체(20)의 외경(R)의 1.2 내지 2 배에 대응한다.
리세스(14)의 더 큰 직경(D)의 구역은 커버 부품(15)으로부터 볼 때, 길이(l) 전반에 걸쳐 변위 본체(12 또는 13) 내에서 또한 연장하고, 이는 바람직하게는 변위 본체(12 또는 13)의 전체 길이(L)의 1/2 내지 4/5 에 대응한다.
명백하듯이, 관형 본체(20)는 게다가 변위 본체 샤프트(2 또는 3) 내의 보어(22)를 통해 자유롭게 통과한다. 이러한 보어(22)는 바람직하게는 직경(d)을 갖는 변위 본체(12 또는 13) 내의 보어(23)와 동일한 직경을 갖고, 이 보어와 정렬된다. 변위 본체 샤프트(2 또는 3) 내의 보어(22)는 그 후 더 작은 직경을 갖는 변위 본체 샤프트(2 또는 3) 내의 보어(24)와 합쳐지고, 관형 본체가 계속해서 자유롭게 통과하도록 관형 본체(20)가 보어 안에 위치된다. 보어(22, 24)들은 함께 변위 본체 샤프트(2, 3)의 통로 부분을 나타낸다. 마지막으로, 고착 부분을 형성하기 위해, 보어(24)와 인접한, 더욱더 작은 직경을 갖는 장착 보어(25)가 변위 본체 샤프트(2 또는 3) 내에 형성되고, 관형 본체(20)의 단부(26)가 장착 보어 안에 장착된다. 단부(26)는 관형 본체(20)의 벽 두께에 관하여 외측 상에서 감소되는 구역이어서, 관형 본체(20) 상의 인접 숄더(27)를 초래하고, 이는 변위 본체 샤프트(2, 3)의 대응하는 베어링 숄더(28)에 대하여 접한다. 한편으로 베어링 숄더(28)에 대하여 접하고, 다른 한편으로다른 단부에서 커버 부품(15) 내에 맞물리는 관형 본체(20)에 접하는 인접 숄더(27)의 결과로서, 변위 본체 및 변위 본체 샤프트의 조합으로 관형 본체(20)의 축방향 위치는 고정된다. 단부(26)는, 예컨대 샤프트들에 대하여 공지된 슬롯 및 키 연결에 대응하는, 스프링 요소에 의해, 반경 방향으로 고정된 스프링 하중에 의하여 변위 본체 샤프트(2, 3) 내에 유지될 수 있다.
특히, 커버(15)로부터 볼 때, 리세스(14)를 인접하게 하고, 변위 본체(12, 13)는 변위 본체 샤프트(2, 3)의 연결 부분(31)이 내부에 위치되는 끼움 보어 부분(30)을 갖는다. 디스크 요소(33)가 연결 부분(31)의 단부면(32) 상에 장착되며, 고착 스크류(34)들이 통과한다.
보어(23)와 연관되어, 보어 안으로의 천이를 위해, 디스크 요소(33)는 유입 측 상에 형성되는 챔퍼(35)를 갖는 대응하는 보어를 갖는다.
복수의 반경 방향 보어(36)들은 보어(24) 또는 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 보어(22)로부터 비롯되어서 관형 본체(20)의 외측 상의 이러한 보어들을 통하여 모터/기어 장치 챔버(7) 안으로 다시 흘러들어가도록 냉각 유체를 안내한다. 이러한 경우, 변위 본체 샤프트(2, 3)들의 공전에 의해 발생되는 반경 방향 힘들은 챔버 안으로의 냉각 유체의 실제적으로 자동 역류를 초래한다. 작업 챔버(5)로부터 볼 때, 도시된 것과 같이 몇몇의 보어(36)들은, 베어링(11)들의 전방에서, 변위 본체 샤프트(2, 3)를 둘러싸는 공간 안으로 또한 개방될 수 있다.
본 기재에 대하여, 상기 언급된 범위들 및 값 범위들은 또한, 한편으로는 미만 및/또는 초과로부터 언급된 범위 제한들을 정하기 위해, 하지만 대안적으로 또는 추가적으로, 또한 특별한 범위로부터의 하나 또는 둘 이상의 단일 값들의 기재에 관하여 그 사이의 모든 값들, 특히 특별한 비의 1/10 증분을 포함한다.
기재된 모든 특징들은 (이들 자체들로)본 발명에 적절하다. 연관된/동봉된 우선권 서류들(우선권 출원의 사본)의 기재 내용은 또한 여기서, 본 출원의 청구항들에서 이러한 서류들의 특징들을 병합할 목적을 포함하는, 출원의 기재 내에 완전히 포함된다. 이들의 선택적인 종속된 표현의 보조 청구항들은, 특히 이러한 청구항들을 기본으로 하는 분할 출원들을 진행하기 위해, 종래 기술의 독립적인 발명의 개량을 특징으로 한다.
1 진공 펌프 2 변위 본체 샤프트
3 변위 본체 샤프트 4 하우징
5 작업 챔버 6 하우징 부품
7 모터/기어 장치 챔버 8 폐쇄 부품
9 오일 펌프 10 파티션 벽
11 베어링 12 변위 본체
13 변위 본체 14 리세스
15 커버 16 베어링
17 모터 18 기어 장치
19 흡입 측 단부 20 관형 본체
21 출구 개구 22 보어
23 보어 24 보어
25 장착 보어 26 단부
27 인접 숄더 28 베어링 숄더
29 O 링 30 끼움 보어 부분
31 연결 부분 32 단부면
33 디스크 요소 34 고착 스크류
35 챔퍼 36 반경 방향 보어
D 직경 d 직경
R 외경 l 길이
L 전체 길이 A 기하학적 축선

Claims (12)

  1. 기어 장치(gearing)를 통하여 커플링되며, 변위 본체(12, 13)들을 구동시키는, 2 개의 변위 본체 샤프트(2, 3)들을 갖는, 진공 펌프(1)로서,
    상기 변위 본체(12, 13)는 흡입 측 단부 및 압력 측 단부를 갖고 내측 상에서 냉각되며, 상기 진공 펌프(1)는 모터/기어 장치 챔버(7) 및 작업 챔버(5)로 나누어지는 하우징(4, 6)을 가지며, 추가로 변위 본체(12, 13)는 변위 본체 샤프트(2, 3)의 기하학적 축선(A)의 방향으로 연장하는 내부 리세스(14)를 가지며,
    상기 내부 리세스(14) 안에서 관형 본체(20)가 관형 본체(20)의 외부 표면과 내부 리세스(14)의 내부 표면 사이에 자유 공간을 남기면서 냉각 유체를 안내하기 위해 연장하며, 냉각 유체는 관형 본체(20)로부터 상기 자유 공간으로 들어갈 수 있고, 상기 관형 본체(20)는 변위 본체 샤프트 (2, 3) 내에 고착되고, 추가로 상기 관형 본체(20)는 변위 본체(12, 13)의 상기 흡입 측 단부 상에 장착되는 별개의 커버 부품(15) 내에 고착되고, 상기 자유 공간은 적어도 부분적으로는 관형 본체(20)와 변위 본체(12, 13)의 내부 표면 사이에 직접적으로 형성되고, 상기 자유 공간은 커버 부품(15)으로부터 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 관형 본체(20)의 고착 구역으로 계속하여 연장하는, 진공 펌프(1)에 있어서,
    상기 관형 본체(20)의 고착 구역은 하우징(4, 6)의 모터/기어 장치 챔버(7) 내에 제공되고, 관형 본체(20)의 외부 표면과 변위 본체(12, 13)의 내부 표면 사이의 공간에는 내장 구성요소들이 없으며,
    상기 변위 본체(12, 13)들은, 베어링(16) 및 상기 커버 부품(15)을 통하여, 상기 진공 펌프(1)의 하우징(4) 내에 장착되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  2. 기어 장치를 통하여 커플링되며, 변위 본체(12, 13)들을 구동시키는, 2 개의 변위 본체 샤프트(2, 3)들을 갖는, 진공 펌프(1)로서,
    상기 변위 본체(12, 13)는 흡입 측 단부 및 압력 측 단부를 갖고 내측 상에서 냉각되며, 상기 진공 펌프(1)는 모터/기어 장치 챔버(7) 및 작업 챔버(5)로 나누어지는 하우징(4, 6)을 가지며, 추가로 변위 본체(12, 13)는 변위 본체 샤프트(2, 3)의 기하학적 축선(A)의 방향으로 연장하는 내부 리세스(14)를 가지며,
    내부 리세스(14) 안에서 관형 본체(20)가 관형 본체(20)의 외부 표면과 내부 리세스(14)의 내부 표면 사이에 자유 공간을 남기면서 냉각 유체를 안내하기 위해 연장하며, 냉각 유체는 관형 본체(20)로부터 상기 자유 공간으로 들어갈 수 있고, 상기 관형 본체(20)는 변위 본체 샤프트 (2, 3) 내에 고착되고, 상기 관형 본체(20)는 변위 본체(12, 13)의 흡입 측 단부 상에 장착되는 별개의 커버 부품(15) 내에 고착되고, 상기 자유 공간은 적어도 부분적으로는 관형 본체(20)와 변위 본체(12, 13)의 내부 표면 사이에 직접적으로 형성되고 커버 부품(15)으로부터 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 관형 본체(20)의 고착 구역으로 계속하여 연장하고, 상기 관형 본체(20)는 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 보어(22)를 자유롭게 통과하는, 진공 펌프(1)에 있어서,
    상기 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 보어(22)는 그 후 더 작은 직경을 갖는 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 보어(24)와 합쳐지고, 관형 본체(20)가 상기 보어(24) 안에 위치되어 상기 관형 본체는 계속해서 자유롭게 통과하고, 고착 부분을 형성하기 위해, 보어(24)에 인접한, 더욱더 작은 직경을 갖는 장착 보어(25)가 변위 본체 샤프트(2, 3) 내에 형성되고, 관형 본체(20)의 단부(26)가 그 안에 장착되고,
    상기 변위 본체(12, 13)들은, 베어링(16) 및 상기 커버 부품(15)을 통하여, 상기 진공 펌프(1)의 하우징(4) 내에 장착되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 냉각 유체는 변위 본체(12, 13)의 단부면의 구역 내에서 빠져나가는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 관형 본체(20)는 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 대응하는 수용 리세스 내에 수납되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 관형 본체(20)는 변위 본체 샤프트(2, 3) 내의 대응하는 수용 리세스 내에 수납되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 수용 리세스는 고착 부분, 및 더 큰 개구 횡단면이 제공되는 보어들에 의해 형성되는 통로 부분을 갖는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 관형 본체(20)는 냉각 유체의 통로를 위해 반경 방향으로 연장하는 하나 또는 둘 이상의 보어(36)들을 갖는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 관형 본체(20)는 냉각 유체의 통로를 위해 반경 방향으로 연장하는 하나 또는 둘 이상의 보어(36)들을 갖는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 냉각 유체는 고착 부분의 축방향으로 개방되는, 관형 본체(20) 안으로의 입장을 위해 변위 본체 샤프트(2, 3) 안으로 분사 가능한 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  10. 제 3 항에 있어서,
    상기 냉각 유체는 고착 부분의 축방향으로 개방되는, 관형 본체(20) 안으로의 입장을 위해 변위 본체 샤프트(2, 3) 안으로 분사 가능한 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
  11. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 진공 펌프(1)는 스크류 펌프인,
    진공 펌프.
  12. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 관형 본체(20)는 관형 본체(20)의 전체 길이에 걸쳐 균일한 벽 두께를 갖도록 형성되고, 상기 자유 공간은 관형 본체(20)의 외부 표면과 변위 본체(12, 13)의 내부 표면 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는,
    진공 펌프.
KR1020137017948A 2010-12-14 2011-12-06 진공 펌프 KR101873904B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010061202A DE102010061202A1 (de) 2010-12-14 2010-12-14 Vakuumpumpe
DE102010061202.2 2010-12-14
PCT/EP2011/071882 WO2012080034A2 (de) 2010-12-14 2011-12-06 Vakuumpumpe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140029370A KR20140029370A (ko) 2014-03-10
KR101873904B1 true KR101873904B1 (ko) 2018-07-03

Family

ID=45390073

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020137017948A KR101873904B1 (ko) 2010-12-14 2011-12-06 진공 펌프

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9624927B2 (ko)
EP (1) EP2652332B1 (ko)
JP (1) JP5886867B2 (ko)
KR (1) KR101873904B1 (ko)
CN (1) CN103261694B (ko)
DE (1) DE102010061202A1 (ko)
WO (1) WO2012080034A2 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11359632B2 (en) 2014-10-31 2022-06-14 Ingersoll-Rand Industrial U.S., Inc. Rotary screw compressor rotor having work extraction mechanism
CN106401956A (zh) * 2016-11-30 2017-02-15 南京妙策传媒有限公司 基于内部冷却处理的有油螺杆压缩机
EP3499039B1 (de) * 2017-12-15 2021-03-31 Pfeiffer Vacuum Gmbh Schraubenvakuumpumpe

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070048223A (ko) 2004-09-02 2007-05-08 더 비오씨 그룹 피엘씨 진공 펌프용 로터
KR100948988B1 (ko) * 2000-08-10 2010-03-23 욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하 2축 진공 펌프

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2410172A (en) * 1941-05-31 1946-10-29 Jarvis C Marble Rotary screw wheel apparatus
JPH10281089A (ja) * 1997-04-03 1998-10-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 真空ポンプ
DE19745616A1 (de) * 1997-10-10 1999-04-15 Leybold Vakuum Gmbh Gekühlte Schraubenvakuumpumpe
DE19963172A1 (de) * 1999-12-27 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Schraubenpumpe mit einem Kühlmittelkreislauf
DE19963171A1 (de) 1999-12-27 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Gekühlte Schraubenvakuumpumpe
DE102005012040A1 (de) 2005-03-16 2006-09-21 Gebr. Becker Gmbh & Co Kg Rotor und Schraubenvakuumpumpe
JP2007126993A (ja) * 2005-11-01 2007-05-24 Toyota Industries Corp 真空ポンプ
DE102010064388A1 (de) 2010-02-18 2011-08-18 Steffens, Ralf, Dr. Ing., 73728 Spindel-Kompressor
JP2013541669A (ja) 2010-10-27 2013-11-14 ゲーエーベーエル．ベッケル・ゲーエムベーハー 真空ポンプ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100948988B1 (ko) * 2000-08-10 2010-03-23 욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하 2축 진공 펌프
KR20070048223A (ko) 2004-09-02 2007-05-08 더 비오씨 그룹 피엘씨 진공 펌프용 로터

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140029370A (ko) 2014-03-10
DE102010061202A1 (de) 2012-06-14
CN103261694B (zh) 2016-01-20
WO2012080034A2 (de) 2012-06-21
JP5886867B2 (ja) 2016-03-16
EP2652332B1 (de) 2015-01-28
US9624927B2 (en) 2017-04-18
CN103261694A (zh) 2013-08-21
JP2013545932A (ja) 2013-12-26
WO2012080034A3 (de) 2012-08-09
EP2652332A2 (de) 2013-10-23
US20130224055A1 (en) 2013-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101326503B1 (ko) 캔드 모터 타입의 전동식 워터펌프
US7316208B2 (en) Generator cooling system of engine
RU2679070C2 (ru) Насосное устройство
CN109113954B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
JP2001520352A (ja) 冷却式のねじ型真空ポンプ
KR101074633B1 (ko) 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프
KR101873904B1 (ko) 진공 펌프
JP2009515082A (ja) 円筒形の冷却ブシュを備えたポンプ
JP5352552B2 (ja) オイルポンプ構造
CN109113953B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
US8839811B2 (en) Drain system of water pump for vehicle
CN109113958B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113952B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113946B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113948B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113962B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113957B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113951B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
KR101065288B1 (ko) 냉각식 진공펌프
CN109113961B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113949B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113950B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113988B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113955B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统
CN109113960B (zh) 电动油泵总成、转向系统和润滑系统

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant