KR101873433B1 - Revolver deposition system for revolver cell position repeatability - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 리볼버 타입의 증착 장치에 있어 다수의 리볼버 셀의 증발 위치로의 회전시에 레이저 포인터 장치를 이용하여 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하여 이를 확인함으로써, 보다 정확한 리볼버 셀의 증발 정위치 구현이 가능한 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility, and more particularly, to a revolver type evaporation system for a revolver type deposition apparatus, in which a laser pointer device is used for rotating a plurality of revolver cells to an evaporation position, And more particularly, to a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility capable of realizing a more accurate and accurate evaporator position of a revolver cell by irradiating the upper side of the revolver cell assembly.

Description

리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템{Revolver deposition system for revolver cell position repeatability}Technical Field [0001] The present invention relates to a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility,

본 발명은 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 리볼버 타입의 증착 장치에 있어 다수의 리볼버 셀의 증발 위치로의 회전시에 레이저 포인터 장치를 이용하여 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하여 이를 확인함으로써, 보다 정확한 리볼버 셀의 증발 정위치 구현이 가능한 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility, and more particularly, to a revolver type evaporation system for a revolver type deposition apparatus, in which a laser pointer device is used for rotating a plurality of revolver cells to an evaporation position, And more particularly, to a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility capable of realizing a more accurate and accurate evaporator position of a revolver cell by irradiating the upper side of the revolver cell assembly.

일반적으로, 유기 소자(OLED: Organic Light Emitted Device)를 제작하는데 있어서, 가장 중요한 공정은 유기 박막을 형성하는 공정이며, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.Generally, in manufacturing an organic light emitting device (OLED), the most important process is a process of forming an organic thin film. In order to form such an organic thin film, vacuum deposition is mainly used.

한편, 이러한 진공 증착은 챔버 내에 글라스(glass)와 같은 기판과 파우더(powder) 형태의 원료 물질이 담긴 증착원을 대향 배치하고, 증착원 내에 담긴 파우더 형태의 원료 물질을 증발시켜 증발된 원료 물질을 분사함으로써 기판의 일면에 유기 박막을 형성한다.In this vacuum deposition, a substrate such as a glass substrate and a powder source material-containing evaporation source are disposed in the chamber so as to face each other, and the powdery raw material contained in the evaporation source is evaporated to evaporate the evaporated raw material Thereby forming an organic thin film on one surface of the substrate.

일반적으로, 증착 재료를 수용하는 용기인 증착원(deposition source)은 전류가 벽들을 통과할 때 온도가 증가되는 전기적 저항 재료로 만들어진다. 이때, 증착원에 전류가 인가되면 내부의 증착 재료가 증착원의 벽으로부터 발생하는 방사열과 벽과의 접촉으로부터 발생하는 전도열에 의하여 가열된다.In general, a deposition source, which is a vessel for receiving an evaporation material, is made of an electrically resistive material whose temperature is increased as the current passes through the walls. At this time, when an electric current is applied to the evaporation source, the evaporation material inside is heated by the conductive heat generated from the contact between the wall and the radiant heat generated from the wall of the evaporation source.

이러한 증착원은 외형의 형상에 따라 포인트 증착원(point deposition source)과 선형 증착원(lineardeposition source)으로 구분된다. 여기서, 포인트 증착원과 선형 증착원은 증착 공정의 조건, 기판의 조건 또는 형성될 증착막의 형태등을 고려하여 그 사용이 결정된다.Such an evaporation source is classified into a point deposition source and a line deposition source according to the shape of the outer shape. Herein, the use of the point evaporation source and the linear evaporation source is determined in consideration of the conditions of the deposition process, the conditions of the substrate, the form of the deposition film to be formed, and the like.

증착 공정이 진행됨에 따라 증착원 내부의 증착 재료의 양이 적정량 이하로 줄어들면, 새로운 증착원으로 교체해야 하는데, 증착원을 교체할 때마다 챔버 내의 진공 상태를 해제한 후, 새로운 증착원을 장착하고 다시 챔버 내부를 진공 상태로 조성하여야 하므로 증착원의 교체 및 충진에 의한 증착 설비의 가동 중지가 불가피하다.When the amount of the evaporation material in the evaporation source is reduced to less than the proper amount as the evaporation process proceeds, it is necessary to replace the evaporation source with a new evaporation source. After replacing the evaporation source, the vacuum state in the chamber is released, And the inside of the chamber must be formed in a vacuum state. Therefore, it is inevitable to stop the deposition equipment by replacing and filling the evaporation source.

따라서, 증착원의 교체 및 충진에 의한 증착 설비의 가동 중지를 최대한 줄이기 위해 다수개의 증착원을 내부에 배치한 리볼버(revolver)가 사용된 리볼버 타입 증착 장치가 제안하고 있다. Therefore, a revolver type deposition apparatus using a revolver in which a plurality of evaporation sources are arranged inside is proposed in order to minimize the stoppage of the evaporation facility due to replacement and filling of the evaporation source.

이러한 리볼버 타입 증착 장치에서는 리볼버가 내부에 다수개의 리볼버 셀을 배치하고, 하나의 리볼버 셀이 증발 위치로에 증발원이 소진된 경우, 리볼버가 회전하여 대기 상태에 있는 리볼버 셀을 상기 증발 위치로 회전시켜 해당 리볼버 셀의 증발 작업을 수행하게 된다.In the case of such a revolver type deposition apparatus, when a plurality of revolver cells are disposed inside the revolver, and one evaporator is exhausted to the evaporation position, the revolver rotates to rotate the revolver cell in the standby state to the evaporation position And the evaporator of the revolver cell is performed.

그러나, 상기와 같은 종래의 리볼버 타입 증착 장치의 경우, 상기 증발 위치로의 해당 리볼버 셀의 회전 이동 후에, 리볼버 셀의 증발 정위치 확인을 위해서는 해당 위치를 일일이 치수로 확인하여 정확하게 증발 정위치에 배치되어 있는 지를 확인해야 하므로 매우 번거로운 점이 있었다.However, in the conventional revolver type evaporator as described above, after the revolving movement of the corresponding revolver cell to the evaporation position, the evaporator position of the revolver cell is checked by the position of each position, It is very troublesome to check whether it is.

등록특허번호 제10-1562275호(2015년10월15일 등록)Registration No. 10-1562275 (registered on October 15, 2015)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 리볼버 타입의 증착 장치에 있어 다수의 리볼버 셀의 증발 위치로의 회전시에 레이저 포인터 장치를 이용하여 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하여 이를 확인함으로써, 정확하면서도 편리하게 리볼버 셀의 증발 정위치를 구현할 수 있는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a vapor deposition apparatus of a revolver type in which a plurality of revolver cells are rotated to an evaporation position, The present invention provides a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility capable of precisely and conveniently embodying an evaporated and fixed position of a revolver cell by irradiating the upper side of the cell assembly.

본 발명의 다른 목적은 증발 위치에 이동한 해당 리볼버 조립체 상에는 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인을 갖는 증발 정위치 확인용 캡이 구비되고, 이에 대응되는 리볼버 커버 쉴드의 원형의 증발 위치 재현 홀에는 직각을 이루며 방사상으로 연장 형성된 4 개의 가이드 홈이 형성되어, 리볼버 셀의 증발 위치 이동시에는 위치 확인 가이드 라인과 4 개의 가이드 홈이 전체적으로 십(十) 자 형태를 이루어 더욱 더 리볼버 셀 위치 재현성을 높인 리볼버 셀 증착 시스템을 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide an evaporation position correcting cap having a ten-position positioning guideline on the revolver assembly moved to the evaporation position, and to reproduce the circular evaporation position of the corresponding revolver cover shield In the hole, four guide grooves formed at right angles and radially extending are formed. When the evaporator position of the revolver cell is moved, the position confirmation guide and the four guide grooves are formed in the shape of ten (10) And to provide an improved revolver cell deposition system.

본 발명의 또 다른 목적은 레이저 광을 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하는 레이저 포인터 장치를 수평 길이 조절과 수평 회전 조절이 가능하여 증발 위치가 수시로 변경되는 경우에도 적절히 대처할 수 있는 리볼버 셀 위치 재현성을 높인 리볼버 셀 증착 시스템을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a laser pointer device for irradiating a laser beam on an upper side of a revolver cell assembly, which can adjust the horizontal length and the horizontal rotation of the laser pointer device, thereby improving the reproducibility of the position of the revolver cell, And to provide a cell deposition system.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템은, 증발원으로서 증착 재료를 수용하도록 형성된 리볼버 셀이 구비된 다수의 리볼버 셀 조립체; 상기 다수의 리볼버 셀 조립체가 설치되어지되, 상기 다수의 리볼버 셀 조립체가 증발 위치로 위치 변경되도록 일정 각도 회전 가능하도록 된 리볼버 본체; 상기 리볼버 본체에 설치된 다수의 리볼버 셀 조립체를 커버하며, 상기 증발 위치에 대응되는 증발 위치 재현 홀을 구비하는 리볼버 커버 쉴드; 및 상기 리볼버 커버 쉴드 상측에 설치되며, 상기 증발 위치에 대응되는 상기 증발 위치 재현 홀에 해당 리볼버 셀 조립체가 위치된 경우에, 증발 정위치 확인을 위한 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하는 레이저 포인터 장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility, comprising: a plurality of revolver cell assemblies including a revolver cell configured to receive an evaporation material as an evaporation source; A revolver body having the plurality of revolver cell assemblies installed therein, the revolver body being rotatable by a predetermined angle so that the plurality of revolver cell assemblies are repositioned to the evaporation position; A revolver cover shield covering a plurality of revolver cell assemblies provided in the revolver body and having an evaporation position reproduction hole corresponding to the evaporation position; And a laser beam irradiating means for irradiating a laser beam for confirming the evaporation positive position to the upper side of the revolver cell assembly when the revolver cell assembly is disposed in the evaporation position reproduction hole corresponding to the evaporation position, And a pointer device.

여기서, 상기 리볼버 셀 조립체의 상부에는 증발 정위치 확인을 위한 증발 정위치 확인용 캡이 안착되어, 상기 증발 위치에 대응되는 상기 증발 위치 재현 홀에 해당 리볼버 셀 조립체가 위치된 경우에, 상기 레이저 포인터 장치로부터 조사된 레이저 광이 상기 증발 정위치 확인용 캡의 정중앙 부분에 조사되어 해당 리볼버 셀 조립체의 증발 정위치를 확인함이 바람직하다.Here, when a revolver cell assembly is positioned above the revolving cell assembly, a cap for confirming the evaporation positive position for confirming the positive evaporation position is seated and the revolver cell assembly is positioned in the evaporation position reproduction hole corresponding to the evaporation position, It is preferable that the laser light irradiated from the apparatus is irradiated to the central part of the evaporation positive positioning cap to confirm the evaporation positive position of the corresponding revolver cell assembly.

또한, 상기 증발 정위치 확인용 캡의 정중앙에는 레이저 광 수신 홀이 형성되어 상기 레이저 포인터 장치로부터 조사(照射)된 레이저 광이 그 내측으로 수신됨이 바람직하다.Preferably, a laser light reception hole is formed in the center of the evaporation positive positioning cap so that the laser light irradiated from the laser pointer device is received inside.

또한, 상기 증발 정위치 확인용 캡의 상면에는 정중앙을 중심으로 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인이 형성되고, 상기 리볼버 커버 쉴드의 증발 위치 재현 홀에는 직각을 이루며 방사상으로 연장 형성된 4 개의 가이드 홈이 형성되어, 상기 증발 위치에 대응되는 상기 증발 위치 재현 홀에 해당 리볼버 셀 조립체가 위치된 경우에 상기 증발 정위치 확인용 캡의 상면에 형성된 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인과 상기 4 개의 가이드 홈은 일직선 형태로 연결되어 평면상 십(十) 자 형태를 이루도록 함이 바람직하다.In addition, ten (10) shape positioning guiding lines are formed on the upper surface of the evaporation positive position confirming cap, four (4) pieces of radially extending rectangular shape are formed in the evaporation position reproducing holes of the revolver cover shield Shaped positioning guide line formed on the upper surface of the evaporation position correcting cap when the revolver cell assembly is positioned in the evaporation position reproducing hole corresponding to the evaporation position, It is preferable that the four guide grooves are connected in a straight line to form a ten-sided shape in a plan view.

또한, 상기 리볼버 커버 쉴드는 중앙에 중심 홀이 형성됨이 바람직하다.Preferably, the revolver cover shield is formed with a center hole at the center thereof.

또한, 상기 레이저 포인터 장치는, 상기 리볼버 커버 쉴드의 중심 홀에 수직된 형태로 체결되는 수직 지지대; 상기 수직 지지대 상측에 체결되며 상기 리볼버 본체의 증발 위치로 수평 연장되는 수평 지지대; 및 상기 수평 지지대의 단부에 위치하며 상기 증발 위치로 회전 이동한 해당 리볼버 셀 조립체의 상측으로 레이저 광을 조사하는 레이저 포인터를 포함하여 이루어짐이 바람직하다.The laser pointer device may further include: a vertical support member vertically fastened to the center hole of the revolver cover shield; A horizontal support which is fastened on the upper side of the vertical support and horizontally extended to the evaporation position of the revolver body; And a laser pointer positioned at an end of the horizontal support and irradiating a laser beam to an upper side of the revolver cell assembly rotated to the evaporation position.

또한, 상기 수직 지지대는 상기 리볼버 커버 쉴드의 중앙을 중심으로 수평 회전 가능하도록 체결됨이 바람직하다.Preferably, the vertical support is coupled to the revolver cover so as to be horizontally rotatable around a center of the revolver cover shield.

또한, 상기 수평 지지대는 상기 수직 지지대 상측에서 수평 길이 조절이 가능하도록 체결됨이 바람직하다.The horizontal support may be coupled to the vertical support so that the horizontal length can be adjusted.

또한, 상기 리볼버 본체는 예비 가열 위치를 더 포함하고, 상기 리볼버 커버 쉴드는 상기 예비 가열 위치에 대응되는 예비 가열 위치 재현 홀을 더 포함하여, 상기 레이저 포인터 장치는, 상기 예비 가열 위치에 대응되는 상기 예비 가열 위치 재현 홀에 해당 리볼버 셀 조립체가 위치된 경우에, 위치 확인을 위한 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사함이 바람직하다.Further, the revolver body further includes a preheating position, and the revolver cover shield further includes a preheated position reproduction hole corresponding to the preheated position, wherein the laser pointer device has a preheating position corresponding to the preheated position When the revolver cell assembly is positioned in the preheated position reproduction hole, it is preferable to irradiate the position of the revolver cell assembly with laser light for position confirmation.

또한, 상기 리볼버 본체가 일정 각도로 회전 가능하도록 구동력을 전달하는 구동부를 더 포함하여 이루어짐이 바람직하다.Preferably, the revolver body further includes a driving unit for transmitting driving force to rotate the revolver body at a predetermined angle.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 리볼버 셀 위치 재현을 위한 리볼버 셀 증착 시스템에 의하면, 리볼버 타입의 증착 장치에 있어 다수의 리볼버 셀의 증발 위치, 대기 위치, 또는 예비 가열 위치로의 회전시에 레이저 포인터 장치를 이용하여 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하여 이를 확인함으로써, 정확하면서도 용이하게 리볼버 셀의 증발 정위치를 구현할 수 있는 효과가 있다.According to the revolver cell depositing system for revolving the position of the revolver cell according to the present invention configured as described above, in the evaporator of the revolver type, when the evaporator, the atmospheric position, or the preheating position of the plurality of revolver cells, The laser beam is irradiated to the upper side of the corresponding revolver cell assembly by using the pointer device to confirm the position of the revolver cell, thereby realizing an accurate and easy evaporation position of the revolver cell.

또한, 증발 위치, 대기 위치, 또는 예비 가열 위치로 이동한 해당 리볼버 조립체 상에는 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인을 갖는 증발 정위치 확인용 캡이 구비되고, 이에 대응되는 리볼버 커버 쉴드의 원형의 증발 위치 재현 홀에는 직각을 이루며 방사상으로 연장 형성된 4 개의 가이드 홈이 형성되어, 리볼버 셀의 증발 위치 이동시에는 위치 확인 가이드 라인과 4 개의 가이드 홈이 전체적으로 십(十) 자 형태를 이루어져 리볼버 셀의 위치 재현성을 더욱 제고(提高)할 수 있는 효과가 있다.Further, on the revolver assembly moved to the evaporation position, the atmospheric position, or the preliminary heating position, an evaporation position correcting cap having a positional confirmation guideline of ten (ten) shape is provided, and the prototype of the revolver cover shield And the guide groove and the four guide grooves are formed in the shape of a ten-character in total when the evaporation position of the revolver cell is moved. It is possible to further improve the position reproducibility.

아울러, 레이저 광을 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하는 레이저 포인터 장치를 수평 길이 조절과 수평 회전 조절이 가능하여 증발 위치가 수시로 변경되는 경우에도 적절히 대처할 수 있는 효과가 있다.In addition, the laser pointer device for irradiating the laser light to the upper side of the revolver cell assembly can adjust the horizontal length and the horizontal rotation so that the laser pointer device can appropriately cope even when the evaporation position is changed frequently.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템의 리볼버 커버 쉴드의 평면 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템의 레이저 포인터 장치가 설치된 상태를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템의 리볼버 셀 조립체의 사시도이다.1 is a schematic diagram of a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility in accordance with one embodiment of the present invention.
2 is a plan view of a revolver cover shield of a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a state where a laser pointer device of a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility according to an embodiment of the present invention is installed.
4 is a perspective view of a revolver cell assembly of a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility in accordance with an embodiment of the present invention.

본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안된다.The present invention may be embodied in many other forms without departing from its spirit or essential characteristics. Accordingly, the embodiments of the present invention are to be considered in all respects as merely illustrative and not restrictive.

제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms.

상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, .

반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "구비하다", "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present application, the terms "comprises", "having", "having", and the like are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, components, Steps, operations, elements, components, or combinations of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in order that the present invention may be easily understood by those skilled in the art. .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템의 리볼버 커버 쉴드의 평면 상태를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템의 레이저 포인터 장치가 설치된 상태를 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템의 리볼버 셀 조립체의 사시도이다.FIG. 1 is a schematic view of a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of a revolver cell deposition system for a revolver cell position reproducibility according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a view showing a state in which a laser pointer device of a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility according to an embodiment of the present invention is installed. FIG. 4 is a cross- FIG. 2 is a perspective view of a revolver cell assembly of a revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility according to the present invention; FIG.

먼저 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템(100)은, 증발원으로서 증착 재료를 수용하도록 형성된 리볼버 셀(11)이 구비된 다수의 리볼버 셀 조립체(10); 상기 다수의 리볼버 셀 조립체(10)가 설치되어지되, 상기 다수의 리볼버 셀 조립체(10)가 증발 위치(P1)로 위치 변경되도록 일정 각도 회전 가능하게 된 리볼버 본체(20); 상기 리볼버 본체(20)에 설치된 다수의 리볼버 셀 조립체(10)를 커버하며, 상기 증발 위치(P1)에 대응되는 증발 위치 재현 홀(31)을 구비하는 리볼버 커버 쉴드(30); 상기 리볼버 본체(20)가 일정 각도 회전 가능하도록 구동력을 전달하는 구동부(21); 및 상기 리볼버 본체(20) 상측에 설치되며, 상기 증발 위치(P1)에 대응되는 상기 증발 위치 재현 홀(31)을 통해 해당 리볼버 셀 조립체(10)가 위치된 경우에 증발 정위치 확인을 위한 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하는 레이저 포인터 장치(40)를 포함하여 이루어진다.1 to 3, a revolver cell deposition system 100 for revolver cell position reproducibility according to an embodiment of the present invention includes a revolver cell 11 formed to accommodate an evaporation material as an evaporation source A plurality of revolver cell assemblies (10); A revolver body 20 having the plurality of revolver cell assemblies 10 installed therein, the revolver body 20 being rotatable by a predetermined angle so that the plurality of revolver cell assemblies 10 are moved to the evaporation position P1; A revolver cover shield (30) covering a plurality of revolver cell assemblies (10) provided in the revolver body (20) and having an evaporation position reproduction hole (31) corresponding to the evaporation position (P1); A driving unit 21 for transmitting a driving force to rotate the revolver body 20 at a predetermined angle; And a laser for evaporation correcting position determination when the revolver cell assembly 10 is positioned through the evaporation position reproduction hole 31 corresponding to the evaporation position P1, And a laser pointer device (40) for irradiating light to the upper side of the revolver cell assembly.

상기 리볼버 셀 조립체(10)는 증착 재료를 증발시키기 위한 것으로, 본 발명에서는 포인트 증착원일 수 있다.The revolver cell assembly 10 is for evaporating the evaporation material, and may be a point evaporation source in the present invention.

상기 리볼버 셀 조립체(10)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 외형이 원통형이고, 리볼버 본체(20)의 내부 일부분에 위치되어 리볼버 셀(11)을 수용하도록 형성된다. The revolver cell assembly 10, as shown in Fig. 4, is cylindrical in shape and is formed in an internal portion of the revolver body 20 to accommodate the revolver cell 11. As shown in Fig.

여기서, 리볼버 셀(10)은 기판에 적층할 증착 재료가 수용된다. 이때, 증착 재료는 유기 전계 발광 소자용 증착 재료이다. 그러나 본 발명은 이에 한정하지 않고 화소 전극의 사이에 증착 재료가 내재되어 발광될 수 있는 디스플레이소자의 증착 재료이면 모두 가능하다.Here, the revolver cell 10 accommodates a deposition material to be laminated on the substrate. At this time, the evaporation material is an evaporation material for an organic electroluminescence device. However, the present invention is not limited thereto, and it is possible to use a deposition material for a display element in which an evaporation material is embedded between pixel electrodes to emit light.

상기 리볼버 셀 조립체(10)는 상기 리볼버 셀(11)의 외형을 감싸도록 설치된 히터(미도시)를 포함한다.The revolver cell assembly 10 includes a heater (not shown) installed to surround the outer shape of the revolver cell 11.

상기 히터는 리볼버 셀(11)의 외형을 감싸도록 설치된다. 이때, 히팅 장치(도시안함)에 의해서 소정의 전압으로 전원이 인가되면, 200℃ 내지 400℃로 가열된 히터에 의해서 리볼버 셀(11)에 수용된 증착 재료가 열을 공급받아 증발이 이루어진다.The heater is installed so as to surround the outer shape of the revolver cell 11. At this time, when power is applied at a predetermined voltage by a heating device (not shown), the evaporation material is supplied with the evaporation material accommodated in the revolver cell 11 by a heater heated to 200 to 400 ° C.

상기 리볼버 셀 조립체(10)의 하면에는 커넥터 조립체(12)가 더 설치되어 상기 리볼버 셀 조립체(10)에 전원을 연결하는 역할을 수행한다.A connector assembly 12 is further provided on a lower surface of the revolver cell assembly 10 to connect power to the revolver cell assembly 10.

이러한 리볼버 셀 조립체의 구조는 널리 알려져 있으므로 추가적인 부연 설명은 생략하기로 한다.Since the structure of such a revolver cell assembly is widely known, a further detailed description will be omitted.

한편, 상기 리볼버 셀(11)의 상부에는 증발 정위치 확인을 위한 증발 정위치 확인용 캡(50)이 안착되어, 증발 위치(P1)에 해당 리볼버 셀 조립체(10)가 위치된 경우에 레이저 포인터 장치(40)로부터 조사된 레이저 광이 증발 정위치 확인용 캡(50)의 정중앙 부분에 조사됨으로써, 리볼버 셀 조립체(10)의 정위치를 확인할 수 있도록 되어 있다.When the revolver cell assembly 10 is positioned at the evaporation position P1 on the upper portion of the revolver cell 11 and the cap 50 for confirming the evaporation position of the evaporator is positioned on the upper portion of the revolver cell 11, The laser beam irradiated from the device 40 is irradiated to the center portion of the evaporation positive positioning cap 50 so that the correct position of the revolver cell assembly 10 can be confirmed.

상기 증발 정위치 확인용 캡(50)의 정중앙에는 레이저 광 수신 홀(51)이 형성되어 레이저 포인터 장치(40)로부터 조사(照射)된 레이저 광이 레이저 광 수신 홀(51) 내로 정확히 조사된 경우에 해당 리볼버 셀 조립체(10)가 증발 위치(P1)에 정확하게 위치하는 정위치를 확인하게 된다. When the laser light receiving hole 51 is formed in the center of the evaporation positive positioning cap 50 and the laser light irradiated from the laser pointer device 40 is irradiated accurately into the laser light receiving hole 51 To confirm that the revolver cell assembly 10 is correctly positioned at the evaporation position P1.

또한, 상기 증발 정위치 확인용 캡(50)의 상면에는 상기 레이저 광 수신 홀(51)을 중심으로 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인(52)이 형성되어 증발 위치(P1)에 대응되는 리볼버 커버 쉴드(30)가 증발 위치 재현 홀(31)을 통해 해당 리볼버 셀 조립체(10)가 위치된 경우에 원형의 증발 위치 재현 홀(31) 직각을 이루며 방사상으로 연장 형성된 4 개의 가이드 홈(32)에 대응되도록 하여 전체적으로 평면상 십(十) 자 형태가 되어 역시 리볼버 셀 조립체(10)의 정위치를 확인할 수 있게 된다. In addition, on the upper surface of the evaporation positive positioning cap 50, a ten-shape positioning guide line 52 is formed around the laser beam reception hole 51 to correspond to the evaporation position P1 The revolver cover shield 30 has four guide grooves formed radially extending at right angles to the circular evaporation position reproduction hole 31 when the revolver cell assembly 10 is positioned through the evaporation position creation hole 31 32 so that the full position of the revolver cell assembly 10 can be confirmed.

상기 리볼버 본체(20)는 도 1에 도시된 바와 같이 다수의 리볼버 셀 조립체(10)를 구비하도록 장착되며, 리볼버 본체(20)는 리볼버 셀 조립체(10)를 증발위치(P1)로 회전시켜 위치하도록 한다.The revolver body 20 is mounted with a plurality of revolver cell assemblies 10 as shown in FIG. 1 and the revolver body 20 rotates the revolver cell assembly 10 to the evaporation position P1, .

여기서, 리볼버 본체(20)는 도시된 바와 같이, 증착 챔버 내에 1개만 있을 수도 있겠으나 다수개의 리볼버가 하나의 챔버에 장착되는 형태일 수도 있다Here, the revolver body 20 may be of a type in which one revolver is mounted in one chamber, though there may be only one revolver in the deposition chamber, as shown in the figure

상기 리볼버 본체(20)는 증발 위치(P1)에서 해당 리볼버 셀 조립체(10)에 증착 재료가 소진되었을 때 대기 상태(예를 들면, 예비 가열 위치; P2)에 있는 인접 리볼버 셀 조립체(10)가 증발 위치(P1)로 이동하도록 일정 각도 회전시키게 된다.The revolver body 20 is configured such that the adjacent revolver cell assembly 10 in a standby state (for example, a preheating position P2) when the evaporation material is exhausted from the revolver cell assembly 10 at the evaporation position P1 And is rotated at a constant angle to move to the evaporation position P1.

한편, 상기 리볼버 본체(20)의 일측에는 구동부(21)는 설치되어 리볼버 본체(20)가 일정 각도 회전 가능하도록 구동력을 전달하도록 되어 있다. 이러한 구동 수단으로는 구동 모터가 바람직하나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다.On the other hand, a drive unit 21 is installed on one side of the revolver body 20 to transmit the driving force so that the revolver body 20 can rotate at a predetermined angle. The driving means is preferably a driving motor, but the present invention is not limited thereto.

상기 리볼버 커버 쉴드(30)는 상기 리볼버 본체(20)에 설치된 다수의 리볼버 셀 조립체(10)를 커버하는 역할을 수행하는 동시에, 증발 재료의 증착을 위한 해당 리볼버 셀 조립체(10)가 증발 위치(P1)에 정확하게 위치하는 지를 확인하기 위한 역할을 수행한다.The revolver cover shield 30 covers a plurality of revolver cell assemblies 10 installed on the revolver body 20 and the revolver shell assembly 10 for evaporating evaporation material is disposed at an evaporation position P1), as shown in FIG.

즉, 상기 리볼버 커버 쉴드(30)는 상측 중앙에 중심 홀(33)이 형성되고, 상면 일측 둘레면에 상기 증착 재료의 증발 위치(P1)에 대응되는 원형의 증발 위치 재현 홀(31)을 구비한다.That is, the revolver cover shield 30 has a center hole 33 at the center of the upper side, and a circular evaporation position reproduction hole 31 corresponding to the evaporation position P1 of the evaporation material is formed on one circumferential surface of the upper surface do.

물론, 리볼버 본체(20)의 대기 상태인 예비 가열 위치(P2)에 대응되는 예비 가열 위치 재현 홀(34)를 더 구비할 수 있다.Of course, the preheating position reproduction hole 34 corresponding to the preheating position P2, which is the stand-by state of the revolver main body 20, can be further provided.

상기 중심 홀(33)은 후술하는 바와 같이 레이저 포인터 장치(40)의 수직 지지대(41)가 체결고정되는 체결홀의 역할을 수행한다.The center hole 33 serves as a fastening hole through which the vertical support 41 of the laser pointer device 40 is fastened and fixed as described later.

한편, 상기 원형의 증발 위치 재현 홀(31)에는 직각을 이루며 방사상으로 연장 형성된 4 개의 가이드 홈(32)이 형성되어 증발 위치(P1)에 대응되는 원형의 증발 위치 재현 홀(31)에 해당 리볼버 셀 조립체(10)가 위치된 경우에 상기 증발 정위치 확인용 캡(50)의 상면에 형성된 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인(52)에 연장선을 이루어 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인(52)과 4 개의 가이드 홈(32)이 평면상 전체적으로 십(十) 자 형태를 이루어 리볼버 셀 조립체(10)의 정위치가 육안으로 확인이 가능해진다. Four circular guide grooves 32 formed at right angles and extending radially are formed in the circular evaporation position reproduction hole 31 so that the circular revolving position reproduction hole 31 corresponding to the evaporation position P1 is inserted into the circular revolving position reproduction hole 31, Shaped positioning guide line 52 formed on the upper surface of the evaporation positive positioning cap 50 when the cell assembly 10 is located, The confirmation guide line 52 and the four guide grooves 32 are formed in the shape of a dash (ten) as a whole on a plane so that the correct position of the revolver cell assembly 10 can be visually confirmed.

물론, 상기 원형의 예비 가열 위치 재현 홀(34)에도 직각을 이루며 방사상으로 연장 형성된 4 개의 가이드 홈(35)이 형성되어 예비 가열 위치(P2)에 대응되는원형의 예비 가열 위치 재현 홀(34)에 해당 리볼버 셀 조립체(10)가 위치된 경우에 상기 증발 정위치 확인용 캡(50)의 상면에 형성된 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인(52)에 연장선을 이루어 리볼버 셀 조립체(10)의 정위치를 확인할 수 있게 된다. Four guide grooves 35 are formed at right angles to the circular preheating position reproduction hole 34 so as to extend radially to form a circular preheated position reproduction hole 34 corresponding to the preheated position P2. Shaped positioning guide line 52 formed on the upper surface of the evaporation positive positioning cap 50 when the revolver cell assembly 10 is positioned in the revolver cell assembly 10 ) Can be confirmed.

본 발명의 특징인 레이저 포인터 장치(40)는 리볼버 본체(20)의 증발 위치(P1)로 회전 이동된 해당 리볼버 셀 조립체(10) 상에 안착된 증발 정위치 확인용 캡(50)의 레이저 광 수신 홀(51)로 레이저 광을 조사하여 리볼버 셀 조립체(10)의 정위치를 확인하는 역할을 수행한다.The laser pointer device 40 of the present invention is characterized in that the laser pointer device 40 of the evaporation position correcting cap 50 mounted on the revolver cell assembly 10 which has been rotated to the evaporation position P1 of the revolver body 20 And irradiates the receiving hole 51 with laser light to confirm the correct position of the revolver cell assembly 10. [

이를 좀 더 구체적으로 설명하면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 레이저 포인터 장치(40)는 리볼버 커버 쉴드(30)의 중심 홀(33)에 수직된 형태로 체결되는 수직 지지대(41); 상기 수직 지지대(41) 상측에 체결되며 상기 리볼버 본체(20)의 증발 위치(P1)로 수평 연장되는 수평 지지대(42); 및 상기 수평 지지대(42)의 단부에 위치하며 상기 증발 위치(P1)로 회전 이동한 해당 리볼버 셀 조립체(10)의 상단에 안착된 증발 정위치 확인용 캡(50)의 레이저 광 수신 홀(51)로 레이저 광을 조사하는 레이저 포인터(43)를 포함하여 이루어진다.3, the laser pointer device 40 includes a vertical support 41 that is vertically coupled to the center hole 33 of the revolver cover shield 30; A horizontal support 42 coupled to the vertical support 41 and horizontally extending to the evaporation position P1 of the revolver body 20; And a laser light receiving hole 51 of an evaporation position correcting cap 50 which is positioned at an end of the horizontal support 42 and is seated on the upper end of the revolver cell assembly 10 which is rotated to the evaporation position P1. And a laser pointer 43 for irradiating the laser beam with a laser beam.

상기 레이저 포인터(43)는 내부에 레이저 모듈(미도시)이 구비되어 레이저 모듈로부터 출광된 레이저 광이 하부의 상기 증발 위치(P1)로 이동되어 증발 위치 재현 홀(31)을 통해 개방되어 노출된 증발 정위치 확인용 캡(50)의 레이저 광 수신 홀(51) 내로 조사되고, 작업자는 레이저 포인터(43)로부터 조사된 레이저 광이 증발 정위치 확인용 캡(50)의 레이저 광 수신 홀(51) 내에 제대로 조사되었는 지를 육안으로 확인함으로써, 리볼버 셀 조립체(10)의 증발 정위치를 확인하게 되는 것이다.A laser module (not shown) is provided in the laser pointer 43 so that the laser light emitted from the laser module is moved to the evaporation position P1 at the bottom and opened through the evaporation position reproduction hole 31 to be exposed The worker irradiates the laser beam emitted from the laser pointer 43 to the laser beam receiving hole 51 of the evaporation positive positioning cap 50 ) Of the revolver cell assembly 10 by confirming visually whether it is properly irradiated in the revolver cell assembly 10.

여기서, 상기 레이저 포인터(43)의 동작은 레이저 포인터 장치(40)의 설치 후에 동작 버튼 등과 같은 동작 수단을 사용하여 레이저 광을 조사하고 리볼버 셀 조립체(10)의 증발 정위치를 확인 후에는 동작 수단을 오프함으로써 중지할 수 있도록 한다.Here, after the laser pointer device 40 is installed, the operation of the laser pointer 43 is performed by irradiating the laser pointer 43 with an operation means such as an operation button or the like, and after confirming the evaporation positive position of the revolver cell assembly 10, So that it can be stopped.

상기 레이저 포인터(43)는 상기 수평 지지대(42)의 단부에 볼트(60) 등과 같은 체결 수단을 통해 체결함이 바람직하다.The laser pointer 43 is preferably fastened to the end of the horizontal support 42 through fastening means such as a bolt 60.

한편, 상기 수직 지지대(41)는 레이저 포인터 장치(40)를 리볼버 커버 쉴드(30) 상에 전체적으로 지지하는 역할을 수행하는 것으로, 리볼버 커버 쉴드(30)의 중심 홀(33)에 볼트(60) 등과 같은 결합 수단을 통해 체결할 수 있도록 되어 있다.The vertical support 41 serves to support the laser pointer device 40 on the revolver cover shield 30. The bolt 60 is inserted into the center hole 33 of the revolver cover shield 30, And the like.

이때, 상기 수직 지지대(41)는 리볼버 커버 쉴드(30)의 중심 홀(33)에 대해 수평 회전 가능하도록 체결되어 증발 위치(P1) 및 이에 대응되는 증발 위치 재현 홀(31)에 대해 회전각을 기준으로 정확하게 배치되도록 조정이 가능하도록 함이 바람직하다.The vertical support 41 is coupled to the center hole 33 of the revolver cover 30 so as to be horizontally rotatable and rotates about the evaporation position P1 and the corresponding evaporation position reproduction hole 31 It is preferable that adjustment can be made so as to be accurately placed on the basis of the reference.

상기 수평 지지대(42)는 상기 수직 지지대(41) 상측에 볼트(60) 등과 같은 결합 수단을 통해 체결되어 상기 리볼버 본체(20)의 증발 위치(P1)(증발 위치 재현 홀(31))로 수평 연장되어 지지하는 역할을 수행한다.The horizontal support table 42 is coupled to the vertical support table 41 through a coupling means such as a bolt 60 so as to be horizontally supported by the evaporation position reproduction hole 31 of the revolver body 20 It plays a role of extending and supporting.

이때, 상기 수평 지지대(42)는 상기 수직 지지대(41) 상측에서 수평 길이 (리볼버 커버 쉴드(30)의 지름 방향) 조절이 가능하도록 예를 들면, 길이 조절 슬릿을 통해 레이저 포인터(43)의 수평 길이 조절이 가능하도록 체결되어 증발 위치(P1) 및 이에 대응되는 증발 위치 재현 홀(31)의 위치가 수시로 변경되는 경우에도 수평 길이 조절(상기 수직 지지대(41)의 수평 회전각 조절 포함)을 통해 적절히 대처할 수 있게 된다.At this time, the horizontal support table 42 is fixed to the horizontal support table 41 so that the horizontal length (the diameter direction of the revolver cover shield 30) can be adjusted on the vertical support table 41, Even when the position of the evaporation position P1 and the position of the evaporation position reproduction hole 31 corresponding to the evaporation position P1 are changed from time to time by tightening to adjust the length, the adjustment of the horizontal length (including the adjustment of the horizontal rotation angle of the vertical support 41) So that it can cope appropriately.

물론, 상술한 설명에서는 증발 위치(P1) 및 이에 대응되는 증발 위치 재현 홀(31)에 대해 본 발명에 따른 레이저 포인터 장치(40)의 설치 및 동작을 나타내고 있으나, 리볼버 본체(20)의 대기 상태인 예비 가열 위치(P2)에 대응되는 예비 가열 위치 재현 홀(34)에 대해서도 본 발명에 따른 레이저 포인터 장치(40)가 동일하게 설치되고 동작되어진다.Although the installation and operation of the laser pointer device 40 according to the present invention are described with respect to the evaporation position P1 and the evaporation position reproduction hole 31 corresponding thereto in the above description, The laser pointer device 40 according to the present invention is also installed and operated for the preheated position reproduction hole 34 corresponding to the preheated position P2.

이상으로 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 일실시예를 기재한 것이므로, 상기 실시예의 기재에 의하여 본 발명의 기술적 사상이 제한적으로 해석되어서는 아니 된다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. The technical idea of the present invention should not be construed as being limited.

100: 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템
10: 리볼버 셀 조립체 11: 리볼버 셀
12: 커넥터 조립체
20: 리볼버 본체 21: 구동부
P1: 증발 위치 P2: 대기 위치
30: 리볼버 커버 쉴드 31: 증발 위치 재현 홀
32, 35: 4 개의 가이드 홈 33: 중심 홀
34: 예비 가열 위치 재현 홀
40: 레이저 포인터 장치 41: 수직 지지대
42: 수평 지지대 43: 레이저 포인터
50:증발 정위치 확인용 캡 51: 레이저 광 수신 홀
52: 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인
60: 볼트100: Revolver cell deposition system for revolver cell position reproducibility
10: revolver cell assembly 11: revolver cell
12: connector assembly
20: revolver body 21:
P1: Evaporation position P2: Standby position
30: revolver cover shield 31: evaporation position reproduction hole
32, 35: four guide grooves 33: center hole
34: Preheating position reproduction hole
40: laser pointer device 41: vertical support
42: horizontal support 43: laser pointer
50: Capillary position confirmation for evaporation position 51: Laser light receiving hole
52: Ten-Ten Positioning Guidelines
60: Bolt

Claims (10)

증발원으로서 증착 재료를 수용하도록 형성된 리볼버 셀이 구비된 다수의 리볼버 셀 조립체;
상기 다수의 리볼버 셀 조립체가 설치되어지되, 상기 다수의 리볼버 셀 조립체가 증발 위치로 위치 변경되도록 일정 각도 회전 가능하도록 된 리볼버 본체;
상기 리볼버 본체에 설치된 다수의 리볼버 셀 조립체를 커버하며, 상기 증발 위치에 대응되는 증발 위치 재현 홀을 구비하는 리볼버 커버 쉴드; 및
상기 리볼버 커버 쉴드 상측에 설치되며, 상기 증발 위치에 대응되는 상기 증발 위치 재현 홀에 해당 리볼버 셀 조립체가 위치된 경우에, 증발 정위치 확인을 위한 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하는 레이저 포인터 장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
A plurality of revolver cell assemblies provided with a revolver cell configured to receive an evaporation material as an evaporation source;
A revolver body having the plurality of revolver cell assemblies installed therein, the revolver body being rotatable by a predetermined angle so that the plurality of revolver cell assemblies are repositioned to the evaporation position;
A revolver cover shield covering a plurality of revolver cell assemblies provided in the revolver body and having an evaporation position reproduction hole corresponding to the evaporation position; And
And a laser pointer for irradiating the upper portion of the revolver cell assembly with laser light for confirming the evaporation position when the revolver cell assembly is located in the evaporation position reproduction hole corresponding to the evaporation position, Wherein the revolver cell is located at a predetermined position in the revolver cell.
제 1 항에 있어서,
상기 리볼버 셀 조립체의 상부에는 증발 정위치 확인을 위한 증발 정위치 확인용 캡이 안착되어, 상기 증발 위치에 대응되는 상기 증발 위치 재현 홀에 해당 리볼버 셀 조립체가 위치된 경우에, 상기 레이저 포인터 장치로부터 조사된 레이저 광이 상기 증발 정위치 확인용 캡의 정중앙 부분에 조사되어 해당 리볼버 셀 조립체의 증발 정위치를 확인하는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
The method according to claim 1,
Wherein when the revolver cell assembly is positioned in the evaporation position reproduction hole corresponding to the evaporation position, the cap is positioned on the upper portion of the revolver cell assembly, And the irradiated laser beam is irradiated to the central portion of the evaporation positive positioning cap to confirm the evaporation positive position of the corresponding revolver cell assembly.
제 2 항에 있어서,
상기 증발 정위치 확인용 캡의 정중앙에는 레이저 광 수신 홀이 형성되어 상기 레이저 포인터 장치로부터 조사(照射)된 레이저 광이 수신되는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
3. The method of claim 2,
Wherein a laser beam receiving hole is formed in the center of the evaporation positive positioning cap to receive the laser beam irradiated from the laser pointer device.
제 2 항에 있어서,
상기 증발 정위치 확인용 캡의 상면에는 정중앙을 중심으로 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인이 형성되고,
상기 리볼버 커버 쉴드의 증발 위치 재현 홀에는 직각을 이루며 방사상으로 연장 형성된 4 개의 가이드 홈이 형성되어,
상기 증발 위치에 대응되는 상기 증발 위치 재현 홀에 해당 리볼버 셀 조립체가 위치된 경우에 상기 증발 정위치 확인용 캡의 상면에 형성된 십(十) 자 형태의 위치 확인 가이드 라인과 상기 4 개의 가이드 홈은 일직선 형태로 연결되어 평면상 십(十) 자 형태를 이루는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
3. The method of claim 2,
A ten-sided positioning guide line is formed on the upper surface of the evaporation positive positioning cap,
The evaporation position reproduction hole of the revolver cover shield is formed with four guide grooves formed at right angles and extending radially,
Shaped positioning guide line formed on the upper surface of the evaporative positive positioning cap when the corresponding revolver cell assembly is positioned in the evaporation position reproduction hole corresponding to the evaporation position and the four guide grooves Wherein the first and second electrodes are connected in a straight line to form a ten-sided shape in a plan view.
제 1 항에 있어서,
상기 리볼버 커버 쉴드는 중앙에 중심 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the revolver cover shield is formed with a center hole at the center thereof.
제 5 항에 있어서,
상기 레이저 포인터 장치는,
상기 리볼버 커버 쉴드의 중심 홀에 수직된 형태로 체결되는 수직 지지대;
상기 수직 지지대 상측에 체결되며 상기 리볼버 본체의 증발 위치로 수평 연장되는 수평 지지대; 및
상기 수평 지지대의 단부에 위치하며 상기 증발 위치로 회전 이동한 해당 리볼버 셀 조립체의 상측으로 레이저 광을 조사하는 레이저 포인터를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
6. The method of claim 5,
Wherein the laser pointer device comprises:
A vertical support coupled to the revolver cover shield in a vertical direction;
A horizontal support which is fastened on the upper side of the vertical support and horizontally extended to the evaporation position of the revolver body; And
And a laser pointer positioned at an end of the horizontal support and irradiating a laser beam to an upper side of the revolver cell assembly rotated to the evaporation position.
제 6 항에 있어서,
상기 수직 지지대는 상기 리볼버 커버 쉴드의 중앙을 중심으로 수평 회전 가능하도록 체결되는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
The method according to claim 6,
Wherein the vertical support is fastened horizontally about a center of the revolver cover shield.
제 6 항에 있어서,
상기 수평 지지대는 상기 수직 지지대 상측에서 수평 길이 조절이 가능하도록 체결되는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
The method according to claim 6,
Wherein the horizontal support is fastened on the upper side of the vertical support so as to adjust the horizontal length.
제 1 항에 있어서,
상기 리볼버 본체는 예비 가열 위치를 더 포함하고,
상기 리볼버 커버 쉴드는 상기 예비 가열 위치에 대응되는 예비 가열 위치 재현 홀을 더 포함하여,
상기 레이저 포인터 장치는, 상기 예비 가열 위치에 대응되는 상기 예비 가열 위치 재현 홀에 해당 리볼버 셀 조립체가 위치된 경우에, 위치 확인을 위한 레이저 광을 해당 리볼버 셀 조립체 상측으로 조사하는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the revolver body further comprises a preheating position,
Wherein the revolver cover shield further includes a preheated position reproduction hole corresponding to the preheated position,
Wherein the laser pointer device irradiates laser light for position confirmation on the upper side of the revolver cell assembly when the revolver cell assembly is positioned in the preheated position reproduction hole corresponding to the preheated position. A Revolver Cell Deposition System for Cell Position Reproducibility.
제 1 항에 있어서,
상기 리볼버 본체가 일정 각도로 회전 가능하도록 구동력을 전달하는 구동부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 리볼버 셀 위치 재현성을 위한 리볼버 셀 증착 시스템.

The method according to claim 1,
Further comprising a driving unit for transmitting the driving force so that the revolver body can rotate at a predetermined angle.

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