KR101864806B1

KR101864806B1 - 다이어프램 진공 펌프

Info

Publication number: KR101864806B1
Application number: KR1020137006153A
Authority: KR
Inventors: 아르민 펠버; 베다 웨버; 롤랑 코흐; 에티엔 푸러
Original assignee: 메델라 홀딩 아게
Priority date: 2010-09-17
Filing date: 2011-07-21
Publication date: 2018-06-05
Also published as: TW201217648A; SG188249A1; US20120070323A1; RU2572746C2; JP2013545002A; BR112013005644A2; MY166812A; TWI580866B; CH703813A1; JP5860467B2; EP2616116A1; AU2011301698A1; HK1184399A1; CN103118718B; CN103118718A; KR20130140633A; WO2012034238A1; PL2616116T3; US8790094B2; AU2011301698C1

Abstract

본 발명은 전기 작동식 구동 유닛 및 진공 다이어프램(94")을 갖는 다이어프램 진공 펌프에 관한 것으로, 이 진공 다이어프램은 펌프 챔버(96")를 구동부측 부분과 비구동부측 부분으로 분할하고 또한 구동 유닛의 가동부(92")에 의해 편향될 수 있다. 구동 유닛은 전자기 구동 유닛이고, 진공 다이어프램(94")은 구동 유닛에서 전자기적으로 발생되는 선형 운동의 방향으로 편향된다. 배출 밸브(903)가 바람직하게는 가동부(92")에 의해 또한 작동된다. 본 진공 펌프는 비교적 작고 컴팩트하며 적은 소음으로 작동된다. 본 진공 펌프는 유축기를 핸즈 프리로 사용할 때 특히 적합하다.

Description

다이어프램 진공 펌프{MEMBRANE VACUUM PUMP}

본 발명은 다이어프램 진공 펌프에 관한 것이다.

이러한 종류의 다이어프램 진공 펌프는 다양한 의료용, 특히 상처 배출 또는 흉부 배출과 같은 배출용으로 사용된다. 상기 다이어프램 진공 펌프는 또한 사람의 모유를 짜내기 위한 유축기(breastpump)로서도 알려져 있다. 이러한 유축기의 예들은 WO 96/22116, US 2009/0099511, US 2008/0287037, US 7 094 217 및 US 2008/0039781 를 포함한다.

구동부는 보통 전기 모터로 이루어지는데, 이 모터는 그의 회전 운동을 편심체, 연결 로드 또는 다른 힘전달 유닛을 통해 다이어프램에 전달하여 그 다이어프램을 주기적으로 편향시키게 된다. 많은 이러한 펌프의 일 단점은 이들 펌프가 비교적 크고 또한 시끄럽다는 것이다. 그러나, 특히 "핸즈 프리"로 사용될 때는, 펌프는 가능한 한 독립적으로 또한 그래서 가능한 한 작고 조용하게 설계되어야 한다. 이와 관련하여, "핸즈 프리"는 스위치 온 후에 전체 장치가 손 없이 작동하는 것, 즉 펌프 또는 가슴 가리개를 손으로 잡을 필요가 없는 것을 의미한다.

WO 02/102437 및 WO 2008/137678에는 "핸즈 프리" 착유기의 예가 나타나 있다. 여기서 각 경우 가슴 가리개는 펌프 하우징에 결합되어 있고 동시에 부압 발생용 다이어프램으로서의 역할도 하게 된다. 각 경우 스텝퍼 모터가 상기 구동부로서 사용된다.

본 발명의 목적은 가능한 한 작은 진공 펌프를 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 다이어프램 진공 펌프는 전기 작동식 구동 유닛 및 다이어프램을 가지며, 이 다이어프램은 펌프 챔버를 구동부측 부분과 구동부로부터 먼쪽의 부분으로 분할하고 또한 구동 유닛에 의해 편향될 수 있다. 본 발명에 따르면, 상기 구동 유닛은 전자기 구동 유닛이고, 상기 다이어프램은 구동 유닛에서 전자기적으로 발생되는 선형 운동의 방향으로 편향된다. 구동 유닛의 가동부는 환기 밸브에 작동식으로 연결되고, 따라서 가동 유닛의 가동부의 선형 운동은 또한 환기 밸브를 작동시키기 위하여 동시에 사용된다. 환기 밸브는 이러한 목적으로 진공 다이어프램의 반대편에 있는 가동 유닛부의 단부에 배치된다. 적절한 스트로크 시, 가동 유닛부는 환기 밸브를 개방시킨다. 이러한 목적을 위하여, 가동 유닛는 바람직하게는 적어도 하나의 밸브 플랩에 작용하는 적어도 하나의 핀을 가져서, 밸브 플랩이 환기 구멍을 개방한다. 밸브 플랩은 바람직하게는 가동 유닛부에 체결되는 환기 다이어프램의 일부분이다.

삭제

이러한 종류의 구동 유닛은 매우 작을 수 있다. 다이어프램에 직접 연결되고 또한 이 다이어프램이 상기 유닛의 전기적 가동부와 동일한 방향으로 편향되므로, 복잡하고 공간 소비적인 힘전달 요소들이 또한 필요 없게 된다.

또한 유리하게도, 다이어프램 진공 펌프의 다른 통상적인 회전 구동부와 비교하여, 상기 선형 운동은 더 조용하고 진공 및 구조적 소음이 덜 발생된다. 추가로, 공지된 다이어프램 진공 펌프와는 대조적으로, 스트로크 길이가 변할 수 있다. 이 스트로크 길이는 특히 전자적으로 제어될 수 있다. 이리하여, 높은 진공 레벨에서도 정확한 제어가 가능하게 된다.

바람직한 실시 형태에서, 상기 구동 유닛은 적어도 하나의 영구 자석 및 코일을 갖는 코일 형성부를 가지며, 상기 코일은 코일 형성부에 배치되며, 코일과 함께 그 코일 형성부는 길이 방향 축선을 따라 상기 자석에 대해 선형 변위가능하게 유지되며, 상기 코일 형성부는 상기 다이어프램에 연결되고 또한 상기 코일 형성부는 그의 변위 방향으로 변위하는 중에 다이어프램을 편향시키게 된다.

상기 코일 형성부는 바람직하게는 그의 폭 보다 훨씬 더 큰 길이를 갖는다. 코일 형성부는 단일체 또는 복수의 부분으로 형성될 수 있다. 다이어프램은 바람직하게는 피스톤 보다 훨씬 더 큰 직경을 갖는다. 다이어프램은 바람직하게는 실질적으로 원형이고 얇은 재료, 특히 실리콘으로 만들어진다.

상기 코일 형성부는 바람직하게는 다이어프램을 편향시키기 위한 피스톤으로서 역할한다. 이 피스톤은 다이어프램이 배치되는 제 1 단부를 갖는다. 그러므로, 힘이 매우 직접적으로 또한 정확하게 전달된다. 다이어프램의 편향은 특정 방식으로 제어될 수 있으며 진공 펌프는 매우 좁은 공차 한도 내에서 작동한다. 다이어프램이 그의 중앙에서 피스톤의 제 1 단부에 체결되면 정확도가 더욱 증가될 수 있다.

진공 펌프는 통상적으로 0 ∼ 300 mmHg의 부압까지 작동한다. 다이어프램은 5 ∼ 120 사이클/분의 진동수로 구동될 수 있다.

피스톤은 제 2 단부를 가지며, 바람직한 제 1 실시 형태에서 그 제 2 단부는 선형 변위가능하게 유지된다.

상기 가동 유닛부는 또한 환기 밸브를 작동시키는데도 사용될 수 있기 때문에, 상기 유닛의 구성이 단순화되며 또한 비교적은 적은 수의 개별 부품이 요구된다. 유리하게도, 환기 밸브를 작동시키기 위한 별도의 모터 및 별도의 제어기는 필요 없다. 이리하여, 신뢰성이 증가되고 또한 비용이 낮아지게 된다.

삭제

또한 유리하게도, 두 다이어프램, 즉 진공 다이어프램 및 환기 다이어프램은 상기 유닛의 가동부를 위한 장착부로서 역할하며, 그리하여 마찰을 피할 수 있다. 그래서 상기 펌프 유닛은 유지 보수 없이 비교적 긴 시간 동안 사용될 수 있다.

바람직한 전형적인 실시 형태에서, 특히 전술한 실시예에서, 코일은 평 코일이고 이 코일과 코일 형성부의 각 측에 배치되는 적어도 두개의 영구 자석이 있다. 바람직하게는 각기 코일의 각 측에 있는 한쌍의 영구 자석이 있다.

다른 바람직한 전형적인 실시 형태에서, 상기 피스톤의 제 2 단부는 변위가능하게 철심과 자석 사이에 장착된다.

상기 코일은 가동 코일일 수 있으며, 이 가동 코일과 영구 자석은 회전 대칭이며, 철심이 그 가동 코일을 통과한다.

바람직하게는, 영구 자석에 대한 코일 형성부의 상대 위치를 결정하기 위한 위치 검출기가 있다. 그 결과, 다이어프램의 특정 편향을 또한 명확하게 결정할 수 있다. 위치 검출기는 바람직하게는 광학 센서이다. 예컨대, 이 광학 센서로 모니터링되는 위치 스케일이 코일 형성부에 배치될 수 있다. 위치 스케일은 예컨대 하나, 두개 또는 그 이상의 그레이스케일 밴드로 이루어질 수 있으며, 이 밴드는 코일 형성부와 함께 상기 센서에 대해 움직이게 된다.

상기 위치 검출기가 상기 코일 형성부의 상대 위치에 따라 신호를 발생시키면(이 신호는 펌프를 제어하는데 사용됨), 다이어프램의 편향이 매우 정확하게 제어될 수 있다. 진공 펌프는 진동수 및 진폭에 대해, 즉 얻어진 진공에 대해 매우 좁은 공차 범위내에서 작동한다.

상기 진공 펌프는 매우 다양한 적용 분야에 적합한데, 특히 의료용으로 적합하다. 다른 바람직한 적용 분야는 사람의 모유를 짜내는 것인데, 즉 유축기의 분야이다. 바람직한 적용 분야는 흉부 배출 및 상처 배출이다.

본 발명에 따른 유닛을 갖는 바람직한 유축기에서, 상기 펌프 챔버에 있어서 구동부측으로부터 먼쪽의 부분에는 출구가 있으며, 이 출구는 제 2 챔버의 입구에 연결되어 있고, 그 제 2 챔버는 제 2 다이어프램을 갖고 있으며, 이 다이어프램은 상기 제 2 챔버를 두 부분으로 분할한다. 이 다이어프램은 매체를 분리하고 또한 발생된 진공을 외부로 전달하기 위한 수단으로 역할한다. 상기 제 2 다이어프램에 의해, 가슴에 지탱되는 가슴 가리개내의 초기의 공압적 부압에서 유압적 부압으로 변하게 되는 시스템을 얻을 수 있다. 이 경우, 이미 짜내지고 있는 모유는 가슴 밖으로 다른 모유를 짜내는 유압 시스템의 유체로서 작용하게 된다.

그러나, 본 발명에 따른 진공 펌프는, 가슴 가리개에 주기적인 진공을 가하는 유축기용으로도 사용될 수 있는데, 이러한 유축기에서는 모유가 공기 라인과는 별개인 경로를 통해 모유 수집 용기 안으로 들어가게 된다.

다른 유리한 실시 형태는 종속 청구항들에 명시되어 있다.

이제, 청구된 발명 및 다른 실시예의 바람직한 실시 형태들을 도면을 참조하여 설명할 것인데, 이 도면은 단지 설명을 위한 역할을 하며 제한적인 것으로 해석되어서는 아니 된다.

도 1 은 제 1 실시 형태에 따른 진공 펌프의 종단면도를 나타낸다.
도 2 는 제 2 실시 형태에 따른 진공 펌프의 종단면도를 나타낸다.
도 3 은 도 1 에 따른 진공 펌프로 모유를 짜내기 위한 장치의 분해도를 나타낸다.
도 4 는 제 2 실시 형태에 있어서 모유를 짜내는 장치를 나타낸다.
도 5 는 제 1 실시 형태의 진공 펌프의 분해도로, 도 3 에 따른 장치의 일 부분도 나타나 있다.
도 6 은 도 5 에 따른 장치의 일 부분의 종단면도를 나타낸다.
도 7 은 제어 유닛을 포함하는 본 발명의 진공 펌프의 개략도를 나타낸다.
도 8 은 도 7 에 따른 진공 펌프의 분해도를 나타낸다.
도 9 는 부분적으로 조립된 상태에 있는 도 7 에 따른 진공 펌프의 측면도를나타낸다.
도 10 은 진공 발생 중에 제 1 위치에 있는 도 7 에 따른 진공 펌프의 종단면도를 나타낸다.
도 11 은 도 10 의 A 부분의 확대 상세도를 나타내는 것으로, 환기 플랩은 닫혀 있다.
도 12 는 도 10 의 E 부분의 확대 상세도를 나타내는 것으로, 배출 플랩이 열려 있고 진공 플랩은 닫혀 있다.
도 13 은 진공 발생 중에 제 2 위치에 있는 도 7 에 따른 진공 펌프의 종단면도를 나타낸다.
도 14 는
는 은 환기 플랩이 닫혀 있는 도 10 의 A 부분의 확대 상세도를 나타낸다.
도 14 는 도 13 의 D 부분의 확대 상세도를 나타내는 것으로, 배출 플랩이 닫혀 있고 진공 플랩은 열려 있다.
도 15 는 환기 중에 있는 도 7 에 따른 진공 펌프의 종단면도를 나타낸다.
도 16 은 도 15 의 B 부분의 확대 상세도를 나타내는 것으로, 환기 플랩은 열려 있다.
도 17 은 도 15 의 C 부분의 확대 상세도를 나타낸다.
도면에서 동일한 부분에는 동일한 참조 번호가 주어져 있다.

도 1 은 진공 펌프 및 전자기 구동부를 갖는 펌프 유닛의 제 1 실시 형태를 도시한다.

상기 펌프 유닛은 하우징(90)을 가지며, 이 하우징은 바람직하게는 금속이나 플라스틱으로 제조된다. 하우징(90)은 바람직하게는 입방형으로 되어 있다. 평 철심과 철판(911) 및 이 철판에 부착되는 영구 자석(91)이 하우징(90)의 일 측에 배치되어 있다. 철판(911)은 영구 자석(91)이 하우징(90)의 홈 안에 있도록 그 하우징에 배치된다. 영구 자석(91)은 두 부분으로 이루어져 있는데, 이들 두 부분은 그들 사이에 홈(910)이 있도록 서로 떨어져 있다.

동일한 구성이 하우징의 반대 측에도 존재한다. 철판(911) 및 이에 부착되어 있는 2-부분 영구 자석(91) 또한 반대 측에도 배치되어 있다.

평 코일 형성부(92)(이 코일 형성부(92)에 코일(921)이 삽입되어 있음)가 서로 반대쪽에 있는 쌍들의 영구 자석(91) 사이에 있다.

상기 코일 형성부(92)는 실질적으로 로드형이거나 판형으로 되어 있다. 일단부에서 그 코일 형성부는 고정 위치에서 안내 베어링(93)에 유지된다. 이 안내 베어링(93)은 코일(921)을 포함하는 코일 형성부(92)와 함께 하우징(90)에 대해 변위가능하며 그래서 그 하우징(90)의 길이 방향 축선을 따라 영구 자석(91)에 대해변위가능하다. 이러한 목적으로, 하우징(90)은 평 베어링(900)을 갖는다. 코일 형성부(92)의 운동은 도 1 에서 이중 화살표로 표시되어 있다.

코일 형성부(92)의 다른 단부는 다이어프램(여기서 진공 다이어프램(94)이라고 함)에 고정 연결되어 있다. 진공 다이어프램(94)은 그의 단부측에서 하우징(90)에 지탱되며, 그 하우징(90)과 밸브판(95) 사이에 단단히 죄여진다. 다이어프램(94)은 펌프 챔버(96)를 코일 형성부(92)로부터 분리시킨다. 진공 다이어프램(94)은 바람직하게는 원형의 윤곽을 가지며, 바람직하게는 다이어프램 진공 펌프의 다이어프램에 대해 통상적인 형상을 갖는다. 밸브판(95)은 하우징(90)과 덮개(99) 사이에 유지된다. 상기 세 부분은 탈착가능하게 또는 비탈착식으로 바람직하게 서로에 단단히 연결되는데, 예컨대 나사 결합된다. 덮개(99)에 있는 대응 구멍에는 참조 번호 "991"가 주어져 있다. 덮개(99)는 펌프 챔버(96)에 연결되어 있는 진공 라인(12')을 위한 포트 개구(990)를 갖고 있다. 덮개(99)에 있는 공기 유입구(992)가 마찬가지로 주변 환경을 밸브판(95)을 통해 펌프 챔버(96)에 연결한다. 밸브판(95)은 다이어프램 진공 펌프에 대해 통상적인 밸브, 입구 및 출구를 갖는다. 이들은 여기서 자세히 설명하지 않을 것이다.

교류가 코일(921)에 흐르면, 전자기장이 변하게 되고 코일 형성부(92)가 영구 자석(91)에 대해 움직이게 된다. 코일 형성부(92)는 피스톤 또는 램(ram) 처럼 작용하게 되고 진공 다이어프램(94)을 주기적으로 앞뒤로 움직이게 한다. 이 경우, 진공 다이어프램(94)에 작용하는 힘은 코일에 인가되는 전류에 비례한다. 진공 다이어프램(94)의 움직임에 의해, 주기적으로 변하는 진공이 펌프 챔버(96)에 형성되며 출력부(990)에 나타나게 된다.

그러므로, 펌프 유닛(9)의 진공 다이어프램(94)은 전자기적으로 발생되는 선형 운동을 통해 구동되며, 이때 코일 형성부(92)는 피스톤으로 작용하게 된다. 다른 통상적인 회전 구동부와 비교하여 움직임이 더 조용하고 또한 진동 및 구조적 소음이 덜 발생되는 이점이 있다. 종래 기술과는 대조적으로, 스트로크 길이가 변할 수 있다. 이 스트로크 길이는 전자적으로 제어될 수 있다. 이러면 낮은 진공레벨에서도 정확한 제어가 가능하게 된다.

스트로크 길이를 특정 방식으로 제어할 수 있기 위해, 코일 형성부(92)의 변위 및 위치가 각각 모니터링된다. 이러한 목적으로 위치 및/또는 운동 센서가 사용된다. 이 실시예에서, 이는 위치 스케일을 검출하는 광학 센서로 일어난다. 위치 스케일(920)은 바람작하게는 코일 형성부(92)에 제공된다. 광원(97)이 코일 형성부(92)의 길이 방향에 수직하게 빛을 반대쪽 검출기(98)에 보내며, 그 빛은 위치 스케일(920)을 통과하게 된다. 상기 영역내의 코일 형성부(92)는 투명하게 되어 있다.

상기 위치 스케일은 예컨대 하나, 두개 또는 그 이상의 그레이스케일 바아로 형성될 수 있으며, 이 바아는 코일 형성부와 함께 센서를 지나게 된다. 서로 평행한 두개의 그레이스케일 바아가 있고(하나는 상향 눈금을 가지며 다른 하나는 하향 눈금을 가짐) 두개의 센서가 사용되면, 상기 두 신호 사이의 차는 매우 정확한 위치 결정을 위해 사용될 수 있다.

광원(97) 및 검출기(98)는 바람직하게는 영구 자석(91)의 홈(910)에 배치된다. 다른 종류의 위치 측정도 가능하다. 측정된 신호는 진공 펌프의 전자 제어기에 보내지며 전류가 상기 신호에 따라 코일에 인가된다. 결과적으로, 위치, 편향 진폭 및 진동수가 서로 독립적으로 제어될 수 있다. 보통 0 ∼ 300 mmHg 의 긴공값이 얻어진다. 진동수는 보통 0 ∼ 150 사이클/분이다.

대안적으로, 안내 베어링(93) 대신에, 진공 다이어프램(94)과 유사하거나 동일한 설계의 제 2 다이어프램이 있을 수 있다. 이 결과, 대칭적인 구성이 얻어지는데, 이 역시 마찬가지로 하우징(90) 내에서의 코일 형성부(92)의 안내 및 따라서 선형 운동을 보장한다. 추가로, 제 2 다이어프램도 마찬가지로 유량이 증가될 수 있도록 진공을 형성하는데 사용될 수 있다.

도 2 는 다이어프램의 선형 구동 운동이 전자기적으로 발생되는 진공 펌프의 제 2 실시 형태를 나타낸다. 전술한 평 코일과는 대조적으로 여기서는 가동 코일이 사용된다. 자석 및 코일은 회전 대칭이고 특히 각각 환형 및 원통형이다. 여기서는 하우징(90')이 또한 존재한다. 영구 자석(91')이 가슴 가리개로부터 먼쪽에 있는 가동 코일의 후단부에 배치된다. 상기 영구 자석에는 철심(911')이 통과해 있으며, 이 철심은 영구 자석(91')의 제 1 단부 측에서 그 영구 자석과 접촉한다. 이 영구 자석의 반대 단부 측에는 철링(912')이 지탱된다. 코일 형성부(92')는 철심(911')의 주위에 결합하고 이 철심에 의해 축방향으로 안내된다. 코일 형성부(92')는 철심(911')과 영구 자석(91') 및 철링(912') 사이에 있다. 코일 형성부는 영구 자석(91')과 철링(912') 안에서 비접촉으로 안내된다. 이 경우, 감긴 코일(921')은 이 영역에서 코일 형성부(92')를 둘러싼다.

코일 형성부(92')는 또한 진공 다이어프램(94')에 고정 연결되고, 그 진공 다이어프램(94')의 선형 구동을 위한 피스톤으로 작용하게 된다. 펌프 챔버에는 참조 번호 96'이 주어져 있고, 벨브판에는 참조 번호 95'이 주어고 있고 또한 덮개에는 참조 번호 99'이 주어져 있다. 포트 개구는 참조 번호 990'를 가지며, 공기 유입구는 참조 번호 992'를 갖고 있다. 또한 여기서도, 진공을 제어하기 위해 자석(91')에 대한 코일 형성부(92')의 위치 및 그래서 진공 다이어프램(94')의 움직임과 위치를 제어기에 각각 알려주는 위치 센서가 있다. 여기서 광원은 참조 번호 97'으로, 검출기는 참조 번호 98'로 또한 위치 스케일은 참조 번호 920'로 나타나 있다. 위치 스케일은 바람직하게는 투명하게 되어 있다. 앞의 실시예와는 대조적으로, 여기서 상기 센서는 영구 자석(91') 영역의 외부에 배치된다.

이 실시 형태에서, 보통 0 ∼ 300 mmHg의 긴공값이 얻어진다. 진동수는 보통 0 ∼ 150 사이클/분이다.

도 7 내지 17 은 다이어프램의 선형 구동 운동이 전자기적으로 발생되는 청구된 발명에 따른 진공 펌프의 제 3 실시 형태를 나타낸다. 이 실시 형태는 본질적으로 도 1 에 따른 펌프 유닛을 개량한 것이다.

도 7 은 제 3 실시 형태에 따른 펌프 유닛(99")을 나타내며, 이 펌프 유닛은 전류 공급 및 데이타 전달을 위한 라인(16)을 통해 제어 유닛(15)에 연결된다. 이 제어 유닛(15)는 유축기를 작동시키기 위한 작동 요소(150)를 갖는다.

도 9 는 상기 펌프 유닛(9")의 부분 분해도를 나타낸다. 펌프 유닛(9")의 개별적인 부분들은 도 8 에서 쉽게 볼 수 있다. 여기서도 펌프 유닛(9")은 하우징(90")을 가지며, 이 하우징은 바람직하게는 금속 또는 플라스틱으로 제조된다. 두개의 측면 부분(90")으로 형성된 하우징(90")은 양쪽에서 편평한 덮개(99", 902)로 폐쇄된다. 하우징(90") 및 덮개(99", 902)에 있는 대응 체결 구멍(908)들은 도 8 에서 쉽게 볼 수 있다. 관련 스크류는 도시되어 있지 않다.

평 코일(921")이 체결되는 코일 캐리어 또는 코일 형성부(92")가 하우징 안에 배치된다. 코일(921")의 단부 권선(922)이 코일 형성부(92")의 로드형 단부를 둘러싼다. 이 로드형 단부는 바람직하게는 둥근 단면을 갖는다.

코일(921")은 중앙 홈을 갖는데, 이 홈에는 위치 스케일(920")이 배치된다. 하우징에 대한 코일 형성부(92")의 위치는 상기 위치 스케일(920")에 근거하여 반대쪽의 송수신기 또는 검출기(98")에 의해 확인될 수 있다. 송수신기(98")는 바람직하게는 발광 다이오드 및 광다이오드를 포함한다. 위치 스케일(920")은 예컨대 그레이스케일 스케일 수 있다. 관련된 측정 보드를 위한 포트는 도면에서 참조 번호 "980"으로 나타나 있다. 다른 위치 결정 수단도 가능하다.

철판(911")이 코일 형성부(92")의 일측에 배치된다. 다른 측에는 영구 자석(91") 및 철판(911")이 있으며, 이 철판은 그 영구 자석에 연결되어 영구 자석(91")들을 서로 연결한다. 이 실시 형태에서, 영구 자석(91")은 바람직하게는 입방형으로 되어 있다. 영구 자석은 또한 도 1 에서 처럼 코일(921")의 양측에 배치될 수 있다. 유사하게, 도 1 에 따른 실시 형태의 자석(91)이 또한 코일의 일측에만 존재할 수 있다.

진공 다이어프램(94")이 기다란 코일 형성부(92")의 일측에 배치되고 그 코일 형성부에 고정 연결된다. 진공 다이어프램(94')은 공지된 형상, 바람직하게는 둥근 형상으로 되어 있고 홈 또는 비드를 갖는다. 그러므로, 그 진공 다이어프램은 바람직하게는 실질적으로 판형이다. 진공 다이어프램은 바람직하게는 탄성 재료, 특히 실리콘으로 제조된다. 코일 형성부(92")에의 체결을 위해, 도 12 에서 보는 바와 같이 다이어프램에는 중앙 구멍이 제공되어 있다.

진공 다이어프램(94")은 바람직하게는 서로 정반대 쪽에서 다이어프램(94")의 나머지 부분과 일체적으로 형성되어 있는 두개의 날개부를 갖는다. 이들 두 날개부는 입구 밸브 플랩 또는 진공 플랩(942) 및 출구 밸브 플랩(943)을 형성한다.

상기 진공 다이어프램(94")은 클램핑 수단으로 코일 형성부(92")의 제 1 단부에 체결된다. 이러한 목적으로, 도 8 및 12 에서 보는 바와 같이 제 1 스페이서(940) 및 상대부(941)가 있다. 이러한 목적으로, 상대부(941)는 플레이트 및 이 플레이트에 일체적으로 형성된 스터드를 갖고 있다. 제 1 스페이서(940)는 입방형으로 되어 있고 스터드 수용 구멍을 갖는다. 상대부(941)는 다이어프램(94")의 하측에 배치되며, 상기 스터드가 다이어프램(94") 및 제 1 스페이서(940)를 관통하여 코일 홀더(92")의 하단부에 있는 개구에 결합하게 된다. 스터드와 상기 개구는 바람직하게는 각각 나사산을 갖는다.

밸브판(95")이 덮개(99")에 배치된다. 이 밸브판은 덮개(99")의 대응 홈 안으로 삽입될 수 있으며, 또는 그 덮개에 일체적으로 형성될 수 있다. 밸브판(95")은 다이어프램 펌프에 대해 통상적인 밸브 개구 및 밸브 채널을 가지며, 이들 개구와 채널은 밸브 플랩(942, 943)에 연결된다.

펌프 유닛(또는 보다 정확하게 말하면 펌프 챔버(96'''))에서 발생된 진공이 외부에서 예컨대 유축기의 가슴 가리개에서 사용될 수 있도록 진공 포트(952)(도 8 및 12 에서 쉽게 볼 수 있음)가 밖으로 나와 있다. 상기 펌프 챔버(96") 및 진공 포트(952)는 진공 채널(953)을 통해 서로 연결된다. 진공 포트(952)(여기서는 노즐)를 밖으로 안내하기 위해 하우징(90")에는 대응하는 포트 개구(990)가 있다.

본 발명에 따르면, 제 2 다이어프램(903)이 진공 다이어프램(94")의 반대쪽에 있는 코일 형성부(92")의 단부에 배치된다. 그 다이어프램(903)은 후방측 덮개(902)와 함께 밸브를 형성하는데, 이 밸브는 상기 유닛(보다 정확하게 말하면 진공 채널(953)) 및 그래서 진공 포트(952)를 환기시키는 역할을 한다. 상기 환기 다이어프램(903)의 도움으로, 진공 채널(953)과 진공 포트(952)에 있는 압력이 환기 기간에 따라 대기압까지 증가되도록, 외부에서 가해지는 진공이 신속하게 특정 방식으로 감소될 수 있다. 환기용 공기는 하우징(90")의 내부에서 주어지며, 그 하우징은 진공 발생과 관련된 영역을 제외하고는 외부에 대해 기밀하게 폐쇄되어 있지 않다.

상기 진공 다이어프램(903)은 마찬가지로 코일 형성부(92")에 고정 연결된다. 이 다이어프램은 홈 또는 비드를 가지면서 바람직하게는 둥글게 되어 있는데, 즉 판형으로 되어 있으며, 또한 서로 정반대 쪽에 있는 두개의 날개부를 가지며, 이들 날개부 중의 적어도 하나, 바람직하게는 둘 모두는 환기 플랩(903')을 형성한다. 환기 다이어프램(903)은 환기 다이어프램(94")과 실질적으로 동일한 설계로 될 수 있다. 그러나, 그 환기 다이어프램은 다른 형상 및/또는 크기를 가질 수 있다.

환기 다이어프램(903)은 적절한 클램핑 수단으로 후방측 덮개(902)에 체결될수 있도록 중앙 구멍을 갖고 있다. 상기 클램핑 수단은 바람직하게는 제 2 스페이서(904) 및 상대부(909)로 되어 있다. 제 2 스페이서(904) 및 상대부(909)는 바람직하게는 진공 다이어프램(94")의 체결을 위한 대응 부분과 동일한 설계로 된다. 여기서도 상대부(909)의 스터드가 또한 코일 형성부(92")의 제 2 단부에 있는 대응 구멍에 수용된다.

적어도 하나(여기서는 두개)의 환기 액츄에이터(923)가 코일 형성부(92")의 제 2 단부를 넘어 돌출되어 있다. 이 실시예에서, 환기 액츄에이터(923)는 각 경우 핀으로 되어 있는데, 이 핀은 환기 플랩(903') 쪽을 향해 있고 또한 코일 형성부(92')의 축선 방향으로 있다. 핀(923)은 코일 형성부(92')에 배치되며 바람직하게는 그 코일 형성부와 일체적으로 형성된다. 상기 핀들은 서로 정반대 쪽에 배치된다. 코일 형성부(92')의 중심 축선으로부터 핀(923)까지의 거리의 크기는 이 핀이 환기 플랩(903')을 건드릴 수 있도록 되어 있다. 또한, 하나의 핀만 사용할 수도 있다. 그러나, 대칭의 이유로, 특히 코일 형성부(92")의 일정한 운동이 가능하도록, 두개 이상의 핀을 사용하는 것이 권장된다.

도 10 은 조립된 유닛의 단면도를 나타낸다. 이 유닛은 제 1 최대 스트로크 위치에 있는데, 이 위치에서 진공이 발생된다. 코일 형성부(92")는 진공 챔버(96")에 가까운 위치(여기서는 하부 위치라고 함)에 있다. 도 11 에서 볼 수 있는 바와 같이, 환기 다이어프램(903)이 하우징(90")에 배치되어 있고 환기 플랩(903')이 하우징(90")에 형성되어 있는 환기 채널(901)을 폐쇄하고 있다. 더 간단한 제조의 목적으로, 하우징(90")에 있는 대응 보어(907)를 폐쇄하기 위해 환기 채널(901)의 일 단부에는 폐쇄 스토퍼(906)가 제공되어 있다. 동일한 이유로, 환기 채널(901)의 타 단부에도 마찬가지로 폐쇄 스토퍼(994)가 제공되어 있다. 상기 폐쇄를 최적으로 보장하기 위해 바람직하게는 상기 환기 다이어프램(903)에 프리스트레(prestress)를 주게 된다.

도 12 는 진공 다이어프램(94")을 포함하는 하부 영역에서 동일한 시점에서의 상황을 나타낸다. 진공 다이어프램(94")은 그의 최하부 위치에 있는데, 이 위치에서 그 다이어프램은 덮개(99")에 가장 가까이 있다. 진공 밸브 플랩(942)은 닫혀 있고 펌프 챔버(96")와 진공 채널(953) 사이의 연결이 차단되어 있다. 이와는 대조적으로, 출구 밸브 플랩(943)은 열려 있다. 결과적으로, 여전히 펌프 챔버(96")의 덮개측 영역에 있는 공기가 밸브판(95') 및 덮개(99")에 각각 있는 출구 채널(993)을 통해 하우징(90") 안으로 또는 외부로 방출된다.

도 13 은 제 2 스트로크 위치에 있는 코일 형성부(92")를 나타낸다. 전과 같이, 환기 다이어프램(903)이 환기 채널(901)을 폐쇄하고 있어 공기가 외부에서 진공 채널(953) 안으로 들어올 수 없다. 환기 액츄에이터(923)가 환기 플랩(903')에 더 가까이 있지만, 그 플랩은 아직 상승되어 있지 않다.

도 14 는 진공 다이어프램(94")의 영역에서의 이 상황을 확대하여 나타낸 것이다. 상승된 진공 다이어프램(94")으로 인해, 진공 챔버(96')의 덮개측 영역이 팽창되어 있고 부압을 갖는다. 출구 밸브 플랩(943)이 닫혀 있고 이와는 대조적으로 진공 플랩(942)은 열려 있으며, 그래서 상기 부압이 진공 채널(953)을 통해 진공 포트(952)에 가해진다. 환기 채널(901)은 추가적인 무효(dead) 공간을 형성하는데, 이 무효 공간 역시 비워져야 한다. 그러나, 환기 채널은 비교적 작은 부피를 갖기 때문에 채널(901)은 펌프 유닛의 효율에 부정적인 영향을 거의 주지 않는다.

도 15 는 제 3 위치에 있는 코일 형성부(92")를 나타내는데, 이 위치에서 코일 형성부는 더욱더 상승되어 있다. 이 위치에서, 액츄에이터(923)는 환기 플랩(903')을 상승시켜 환기 채널(901)에 대한 연결을 연다. 공기가 하우징(90") 및 외부로부터 채널(901)을 통해 진공 포트(952)로 갈 수 있으며 그리하여 가해지는 진공을 감소시켜 압력을 대기압 또는 원하는 기준 진공까지 높일 수 있다. 이는 도 16 에서 쉽게 볼 수 있다. 화살표는 유입하는 공기의 경로를 나타낸다.

도 17 에서 볼 수 있는 바와 같이, 진공 다이어프램(94")은 이 상황에서 더욱더 상승되어 있고 그래서 다음 진공 발생 스트로크를 위한 준비가 된 상태이다. 진공 플랩(942) 및 출구 플랩(943) 모두가 상승되어 있고 그래서 대응하는 개구들이 열려 있다.

그러므로, 본 발명에 따른 상기 펌프 유닛에서, 솔레노이드의 코일 형성부(92")의 선형 운동이 진공 다이어프램의 평행 운동으로 전환되는 것만이 아니다. 그 코일 형성부(92")는 또한 환기 밸브를 여는데도 사용되며, 진공 스트로크와 동일한 방향으로 일어나는 상기 코일 형성부의 운동이 이러한 목적으로 사용된다. 영구 자석(91") 및 그래서 하우징(90")에 대한 코일 형성부(92")의 위치에 따라, 진공이 발생되거나 환기가 일어난다. 이를 위해, 코일 형성부(99")의 3개의 다른 스트로크 위치만 필요하다. 이 경우, 환기를 일으키는 제 3 스트로크는 다른 두 각각의 스트로크 보다 크게 되어 있거나 또는 적어도 진공 발생을 위한 동일한 방향의 스트로크 보다 크게 되어 있다. 상기 세 스트로크는 특히 그의 크기 면에서 제어 및 목표된 방식으로 전자 제어기(15)에 의해 발생될 수 있다.

다른 두 스트로크 처럼 상기 제 3 스트로크가 유닛(9")의 전자 제어기(15)에 의해 발생된다. 그러나, 제 3 스트로크는 각 사이클 마다 일어날 필요는 없다. 그 결과, 상이하고 가변적인 커브 과정 및 간격을 갖는 펌프 순서가 발생될 수 있다.

위치 스케일 때문에, 하우징(90")에 대한 코일 형성부(92")의 위치가 정확하게 확인될 수 있으며 또한 스트로크를 제어하는데 사용될 수 있다. 그러나, 코일 형성부(92")의 위치 및 스트로크의 크기를 정확하게 확인하는 다른 방법도 가능하다.

또한, 두 다이어프램, 즉 진공 다이어프램(94") 및 환기 다이어프램(903)이 코일 형성부(92")의 운동을 위한 베어링으로서 역할하고 그래서 마찰이 회피되는 것이 유리하다.

전술한 실시 형태에 따라 설명한 본 발명의 진공 펌프는 이제 예컨대 모유를 짜내는 장치에 사용될 수 있다. 이러한 종류의 장치의 예들이 도 3 ∼ 6 에 도시되어 있다.

도 3 은 이러한 종류의 장치의 제 1 실시 형태를 도시한다. 이 장치는 유축기(1), 제 1 라인(2), 연결부(3), 가슴 가리개(4), 비복귀 밸브(5), 제 2 라인(6) 및 모유 수집 용기(7)를 갖는다.

가슴 가리개(4)는 연결부(3) 및 제 1 가요성 라인(2)을 통해 유축기(1)에 연결된다. 제 2 가요성 라인(6)은 유축기(1)로부터 모유 수집 용기(7)까지 이어져 있고, 연결부에는 비복귀 밸브(5)가 제공되어 있다. 두 가요성 라인(2,6)은 바람직하게는 특히 실리콘으로 만들어진 관으로 되어 있다 .

도 4 에 도시되어 있는 바와 같이, 모유 수집 용기(7)는 대안적으로 유축기(1)에 직접 체결될 수도 있다. 이러한 목적으로, 바람직하게는 적절한 형상의 어댑터(70)가 모유 수집 용기(7)에 있으며, 이 어댑터는 유축기의 하우징(10)에 탈착가능하게 연결될 수 있다.

유축기(1)는 상기 하우징(10)을 가지며, 이 하우징 안에는 본 발명에 따른 진공 펌프(이하, 펌프 유닛이라고 함)가 제어기와 함께 배치되어 있다. 이들 펌프 유닛과 제어기는 주 전원으로 작동될 수 있고/있거나 배터리로 작동될 수 있다.

하우징(10)에는 제어 요소(여기서는 미도시)가 있다. 이 제어 요소는 스위치 온/오프 요소, 펌핑 진동수, 가해지는 진공 및 짜내기 작동의 기간을 선택하기 위한 키이 또는 버튼을 포함할 수 있다.

마찬가지로 펌프 챔버로서 작용하는 제 2 챔버(8)(도 6 참조)가 하우징(10)의 홈과 이 홈을 덮는 덮개(13) 사이에 형성된다. 덮개(13)는 바람직하게는 하우징(10)에 탈착가능하게 연결된다. 덮개(13)에 의해 제 위치에 유지되는 다이어프램(14)이 상기 제 2 챔버(8) 안에 배치된다. 다이어프램(14)은 상기 펌프 챔버(8)를 유닛측 부분(80) 및 그 유닛으로부터 먼쪽의 부분(81)으로 분할하며, 상기 다이어프램은 이들 두 부분을 서로에 대해 시일링한다.

도 5 에서 볼 수 있는 바와 같이, 여기서 도시된 다이어프램(14)은 바람직하게는 실질적으로 원형인 윤곽을 갖는다. 바람직하게는 옆으로 돌출된 날개부(140)가 있다. 여기서는 3개의 날개부(140)가 있다. 바람직하게는 하우징(10)의 일 부분인 기판은 측방 스탑(110)들을 가지며, 이들 스탑 사이에 상기 날개부(140)가 유지된다. 그 결과, 다이어프램(14)은 제 2 챔버(8) 안에서 명확한 위치에 유지될 수 있다. 이리하여, 조립이 용이하게 된다.

덮개(13)는 제 1, 2 라인(2, 6) 및 모유 수집 용기 각각을 위한 연결 포트를 갖는다. 이들 포트에는 참조 번호 "130" 및 "131"이 부여되어 있다. 제 2 포트(131)에는 바람직하게는 비복귀 밸브(5)가 제공되어 있다. 하우징(10)의 일 부분인 상대판에의 연결은 바람직하게는 스냅인 또는 스크류 연결로 이루어지며, 도 5 에서 대응 구멍에는 참조 번호 "132" 및 "111"이 부여되어 있다.

펌프 유닛에서 발생된 진공은 라인(12)을 거쳐 상기 제 2 챔버(8)에 전달된다. 라인(12)은 출력부(990)에 연결되어 있다. 압력 변화는 진공 라인(12)을 통해 제 2 챔버(8)에 전달되고, 이 챔버에서 다이어프램(4)이 다이어프램(94)과 유사하게 움직인다.

여기서 펌프는 일시적으로 일정한 사이클로 작동될 수 있으며, 또는 종래 기술에 알려져 있는 바와 같이, 빨기 곡선이 그의 형상, 빈도 및 세기에 있어서 아기의 빨기 거동 및/또는 엄마의 요구 사항에 맞게 될 수 있다.

제 2 챔버(8)는 입력부 및 출력부를 갖는다(이들 모두는 도면에서는 보이지 않음). 덮개(13)는 단일체 또는 복수의 부분으로 형성될 수 있다. 이 덮개는 타이트한 폐쇄체를 형성할 뿐만 아니라 상기 제 2 펌프 챔버(8)를 위한 밸프판으로서의 역할도 한다. 그러므로, 제 2 펌프 챔버에 있어서 유닛으로부터 먼쪽의 부분(즉, 가슴측 부분(81))에 진공이 형성되도록 해주는 통로 및 밸브(여기서는 자세히 도시되어 있지 않음)가 덮개(13)에 배치된다.

상기 덮개(13)에는 주변 환경을 펌프 챔버(8)의 덮개측 부분(81)에 연결하는 제 1 유출구(130)가 있다. 이 유출구(130)는 제 1 라인(2)을 위한 제 1 포트로서 역할한다. 마찬가지로 제 2 펌프 챔버(8)의 덮개측 및 가슴측 부분(81)을 주변에 각각 연결하는 제 2 유출구(131)가 제 2 포트로 설계되어 있다. 이 제 2 포트에는 비복귀 밸브(5)가 제공되어 있다. 여기서는 커넥터에 꽃히는 분출 밸브가 사용된다. 그러나, 다른 종류의 밸브도 사용될 수 있다.

이제 상기 장치를 사용하려고 한다면, 가슴 가리개(4)는 젖꼭지를 적어도 부분적으로 둘러싸도록 엄마의 가슴에 위치된다. 바람직하게는, 추가적으로 유륜을 가슴 가리개(4)로 최대한 둘러싼다. 전술한 방식으로 유축기(1)가 스위치 온되어 작동된다. 제 2 펌프 챔버(8)에 전달되는 진공에 의해 제 1 라인(2)이 비워지고, 그래서 가슴 가리개(4)에는 부압이 존재하게 된다. 그 결과, 모유가 엄마의 가슴에서 짜져 가슴 가리개(4)와 연결부(3)를 통과하여 제 1 라인(2) 안으로 들어가게 된다. 모유는 제 1 포트(130)를 통해 흘러 제 2 펌프 챔버의 덮개측 부분 안으로 들어간다. 짜여진 모유는 상기 실시 형태에 따라 제 2 포트(131) 및 비복귀 밸브(5)를 통해 제 2 펌프 챔버(8)를 떠나 직접 제 2 라인(6)(도 3 참조) 등을 통해 모유 수집 용기(7) 안으로 들어간다 (도 4 참조). 그러므로, 모유를 전달하기 위한 별도의 라인은 없다. 제 1 라인(2)은 흡입 라인 및 모유 전달 라인으로서의 역할을 동시에 하게 된다. 그러므로, 초기의 공압식 펌핑 후에 상기 장치는 유압식 펌핑으로 전환된다. 이는 아기의 자연적인 빨기에 더욱 가까운 것이다.

제 2 펌프 챔버에 있는 다이어프램(14)은 두개의 기능을 갖는다. 첫째, 이 다이어프램은 제 2 펌프 챔버의 펌프측 부분내의 공기와 제 2 펌프 챔버의 덮개측 부분내의 모유 사이의 격벽으로서 역할한다. 그러므로, 상기 다이어프램은 매체 분리 수단으로서 역할하게 된다. 그리하여, 그 다이어프램은 모유가 진공 라인(12) 안으로 들어가 펌프 유닛 안으로 들어가는 것을 방지한다. 그러나, 상기 다이어프램은 펌프의 오물질이 제 1, 2 라인(2, 6) 안으로 들어가는 것을 방지한다. 둘째, 제 2 펌프 챔버내에서 상기 다이어프램이 주기 운동을 함으로써, 그 다이어프램이 모유룰 전달 및 운반하게 된다. 이 제 2 기능 때문에, 짜내기 작동 중에, 모유 수집 용기(7), 가슴 가리개(4) 및 유축기(1)는 서로 독립적인 위치에 배치될 수 있다. 예컨대, 모유 수집 용기(7)는 유축기(1) 및/또는 가슴 가리개(4) 위쪽에 위치될 수 있다. 유축기(1) 또한 모유 수집 용기(7) 및/또는 가슴 가리개(4) 위쪽에 있을 수 있다. 이리하여, 엄마는 누워서도 모유를 짜낼 수 있으며 또는 앉아 있는 경우에는 모유 수집 용기(7)와 유축기(1)를 작은 어린이들이 미치지 못하는 선반이나 다른 높은 곳에 둘 수 있다.

상기 비복귀 밸브(5)는 충분한 압력에서, 즉 제 2 펌프 챔버(8)가 모유로 충분히 채워져 있을 때 바람직하게 먼저 열리게 된다. 이렇게 해서, 비워져야 하는 무효 공간이 최소로 유지될 수 있다.

추가로, 젖꼭지 및 나머지 가슴의 가능한 한 작은 부분만 둘러싸는 작은 가슴 가리개(4)를 사용하여 상기 무효 공간을 줄일 수 있다. 적절한 가슴 가리개 (4)가 도면에 도시되어 있다. 다른 형태의 가슴 가리개도 사용될 수 있다.

전술한 실시 형태의 요소들은 다른 실시 형태를 형성하기 위해 개별적으로 또는 그룹으로 서로 결합될 수 있다.

본 발명에 따른 진공 펌프는 비교적 작고 컴팩트하며 또한 조용하게 작동한다. 본 진공 펌프는 "핸즈 프리"로 사용되는 유축기에 특히 적합하다.

1 유축기
10 하우징
110 측방 스탑
111 구멍
12 진공 라인
13 덮개
130 제 1 포트
131 제 2 포트
132 구멍
14 다이어프램
140 측방 날개부
15 제어 유닛
150 작동 요소
16 라인
2 제 1 라인
3 연결부
4 가슴 가리개
5 비복귀 밸브
6 제 2 라인
60 밸브 캡
7 모유 수집 용기
70 어댑터
8 펌프 챔버
80 구동부측 챔버부
81 가슴 가리개측 챔버부
9,9',9" 펌프 유닛
90,90',90" 하우징
900 평 베어링
901 환기 채널
902 후방측 덮개
903 환기 다이어프램
903' 환기 플랩
904 제 2 스페이서
906 폐쇄 스토퍼
907 보어
908 체결 구멍
909 제 2 상대부
91,91',91" 영구 자석
910 홈
911' 철심
911,911" 철판
912' 철링
92,92',92" 코일을 갖는 코일 형성부
920,920' 위치 스케일
920" 위치 스케일
921,921' 코일
921" 코일
922 권선 단부
923 환기 액츄에이터
93 안내 베어링
94,94',94" 진공 다이어프램
940 제 1 스페이서
941 제 1 상대부
942 진공 밸브 플랩(입구 밸브 플랩)
943 출구 밸브 플랩
95,95',95" 밸브판
952 진공 포트
953 진공 채널
96,96',96" 펌프 챔버
97,97' 광원
98,98',98" 검출기
980 측정 보드에 대한 포트
99,99',99" 덮개
990 포트 개구
991 구멍
992 공기 유입구
993 출구 채널
994 폐쇄 스토퍼

Claims

전기 작동식 구동 유닛 및 진공 다이어프램을 갖는 다이어프램 진공 펌프로서,
상기 진공 다이어프램은 펌프 챔버를 구동부측 부분 및 구동부로부터 이격된 부분으로 분할하고 또한 상기 구동 유닛의 가동부에 의해 편향될 수 있고,
상기 구동 유닛은 전자기 구동 유닛이고, 상기 가동부의 운동은 선형 운동이고, 상기 진공 다이어프램은 상기 구동 유닛에서 전자기적으로 발생되는 상기 선형 운동의 방향으로 편향되고,
상기 가동부는 상기 다이어프램 진공 펌프를 환기시키기 위한 환기 밸브에 작동 연결되어 있고, 상기 환기 밸브는 환기 다이어프램을 가지고,
상기 진공 다이어프램은 상기 가동부의 제 1 단부에 고정 연결되고, 상기 환기 다이어프램은 상기 가동부의 제 2 단부에 고정 연결되며, 상기 진공 다이어프램과 상기 환기 다이어프램은 상기 구동 유닛 내에 상기 가동부의 장착부를 형성하고,
상기 구동 유닛에 의해 발생되는 상기 선형 운동은 상기 환기 밸브를 작동시키고,
상기 가동부는 상기 펌프 챔버에 진공을 발생시키기 위해 제 1 및 제 2 스트로크로 제어기에 의해 움직일 수 있고, 또한 상기 환기 밸브를 작동시키기 위해 제 3 스트로크로 움직일 수 있으며, 상기 제 3 스트로크는 상기 제 2 스트로크의 방향으로 일어나고 상기 제 2 스트로크보다 더 큰, 다이어프램 진공 펌프.
제 1 항에 있어서,
상기 가동부의 제 1 단부는 상기 가동부의 제 2 단부의 반대편에 있는, 다이어프램 진공 펌프.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 구동 유닛은 적어도 하나의 영구 자석 및 코일을 갖는 코일 형성부를 가지며, 상기 코일은 상기 코일 형성부에 배치되며, 상기 코일과 함께 상기 코일 형성부는 길이 방향 축선을 따라 상기 자석에 대해 두 방향으로 선형 변위가능하게 유지되며, 상기 코일 형성부는 상기 가동부를 형성하며 상기 진공 다이어프램에 고정 연결되고 또한 코일 형성부의 변위의 두 방향으로 코일 형성부가 변위하는 동안 상기 진공 다이어프램을 편향시키는, 다이어프램 진공 펌프.
제 3 항에 있어서,
상기 가동부는 상기 코일 형성부에 의해 형성되는 피스톤을 포함하고, 상기 피스톤은 제 1 단부 및 제 2 단부를 포함하고, 상기 진공 다이어프램은 상기 피스톤의 제 1 단부에 배치되는, 다이어프램 진공 펌프.
제 4 항에 있어서,
상기 진공 다이어프램은 상기 피스톤보다 더 큰 직경을 가지는, 다이어프램 진공 펌프.
제 5 항에 있어서,
상기 진공 다이어프램은 상기 피스톤의 제 1 단부의 중앙에 체결되는, 다이어프램 진공 펌프.
제 4 항에 있어서,
상기 피스톤의 제 2 단부는 선형 변위가능하게 유지되는, 다이어프램 진공 펌프.
제 4 항에 있어서,
상기 환기 다이어프램은 상기 피스톤의 제 2 단부에 체결되는, 다이어프램 진공 펌프.
제 4 항에 있어서,
상기 코일은 평 코일이고, 상기 다이어프램 진공 펌프의 하우징 내의 고정 위치에 유지되는 적어도 하나의 영구 자석이 존재하는, 다이어프램 진공 펌프.
제 4 항에 있어서,
상기 피스톤의 제 2 단부는 철심과 자석 사이에서 변위가능하게 장착되는, 다이어프램 진공 펌프.
제 4 항에 있어서,
상기 코일은 가동 코일이고, 상기 가동 코일과 상기 영구 자석은 회전 대칭적이며, 철심이 상기 가동 코일을 통과하는, 다이어프램 진공 펌프.
제 3 항에 있어서,
고정 위치에 있는 구동 유닛의 나머지 부분에 대한 구동 유닛의 가동부의 상대 위치를 결정하기 위한 적어도 하나의 위치 검출기가 존재하는, 다이어프램 진공 펌프.
제 12 항에 있어서,
상기 위치 검출기는 상기 코일 형성부의 상대 위치에 따라 신호를 발생시키고, 상기 신호는 진공 펌프를 제어하는데 사용되는, 다이어프램 진공 펌프.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 펌프 챔버의 구동부로부터 이격된 부분에는 출구가 존재하고, 상기 출구는 제 2 챔버의 입구에 연결되어 있고, 상기 제 2 챔버는 제 3 다이어프램을 갖고 있으며, 상기 제 3 다이어프램은 상기 제 2 챔버를 두 부분으로 분할하고, 상기 제 3 다이어프램은 매체를 분리하고 또한 펌프 챔버에 발생된 진공을 전달하는, 다이어프램 진공 펌프.
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