KR101854958B1 - 청정한 유리-제조 환경을 제공하기 위한 다운-드로우 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 인클로저(12), 이 인클로저 내에 배치된 성형체(30), 상기 성형체로 용융 유리를 전달하도록 배치된 입구 파이프(36), 및 가압될 인클로저로 유체를 전달하도록 배치된 출구를 갖춘 도관(40)을 포함하는, 청정한 유리 제조 환경을 제공하기 위한 다운-드로우 유리 제조 장치(10)에 관한 것이다. 상기 도관은 온클루젼 형성을 야기하는 입자들을 생성하지 않는 재료로 이루어지며, 상기 성형체와 동일한 높이에 위치된다. 상기 인클로저는 하부에 머플 도어(20)를 포함하고 성형체에 의해 형성된 유리를 배출하는 머플 챔버이며, 상기 도관의 출구는 상기 머플 챔버 내측에 그리고 상기 머플 도어 외측에 위치한다. 또한, 상기 장치는 상기 도관에 연결되고, 대기중 부유 입자 청정도 등급 100의 가스 또는 클리너를 전달하도록 구성된 가스의 소스(44)를 포함한다.

Description

청정한 유리-제조 환경을 제공하기 위한 다운-드로우 장치 및 방법{DOWN-DRAW APPARATUS AND METHODS FOR PROVIDING A CLEAN GLASS-MAKING ENVIRONMENT}

본 출원은 2011년 11월 28일자 출원된 미국 가출원 제61/563,927호를 우선권 주장하고 있으며, 상기 특허 문헌의 내용은 참조를 위해 본 발명에 모두 포함된다.

본 발명은 유리를 제조하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 다운 드로우 공정에 의해 소정 길이의 유리를 제조하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.

시트 유리 제조의 퓨전 공정은 특히 뛰어난 유리 표면 품질을 생성하는 능력으로 인해 유리를 형성하는 바람직한 방법이 되고 있다. 퓨전 공정에 있어서, 유리가 성형체를 넘쳐 흘러 2개의 각각의 분리된 용융 스트림이 하나의 유리 리본으로 융합되고, 이렇게 함으로써 바깥 표면들 모두의 표면 품질을 보호한다. 그러한 유리표면 품질은 디스플레이들, 예컨대 평판 패널 디스플레이, 액정 디스플레이(LCD), OLED 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 및 전계 방출 디스플레이를 제조하기 위해 그러한 유리를 이용하는 고객들에게 있어 가장 중요하다. 심지어 작은 표면 결함들은 지연차 또는 최종 사용자(예컨대 TV 시청자)가 화면 상에서 결함이나, 또는 어둡거나 밝은 점들로서 볼 수 있는 다른 문제들을 야기할 것이다. 통상 액정 셀 갭(gap)은 ＜5㎛의 범위가 되며, 그래서 심지어 1㎛의 표면 결점은 주위 영역들로부터 20%의 광 경로 길이 변화를 야기한다. 극단적인 경우, 표면 결함들이 셀 갭을 완전히 메울 정도로 커져 단락을 야기한다. 고품질의 LCD 패널은 그러한 유리에 특히 뛰어난 표면 품질을 필요로 한다. 그러한 표면 결함의 영향은 심지어 하나의 결함이 전체 시트를 사용할 수 없게 만드는 큰 Gen 사이즈 패널(예컨대 Gen 8 및 Gen 10)에 극히 중요하다. 그와 같은 유리 결함의 한 타입이 "온클루젼(onclusion)"으로 기술된다.

온클루젼은 리본 형성 동안 용융 유리의 표면에 부착되는 입자 타입 결함이며, 부분적으로 그 유리 내에 매립될 수 있다. 온클루젼은 그러한 결함의 성질을 위한 일반적인 용어이며, 많은 발단 근원이 있을 수 있다. 유리를 제조하기 위한 퓨전 드로우 머신(FDM; fusion draw machine)은 하부가 개방되어 자유롭게 공기를 끌어들여 순환시킨다. 이러한 공기는 입자 물질을 위쪽으로 실어 보내 그 용융 유리 상으로 보낼 수 있다. 또한, 그러한 FDM 자체의 일반적인 내화성 성분들은 증기 또는 온도에 의해 부추겨져 FDM 내의 공기 흐름에 동반되거나 아니면 유리의 표면 상에 결함을 형성하는 입자 물질을 생성한다. 이들 모두는 상기 온클루젼 범주에 속하며, 유리 손실을 초래한다. 그러한 유리 표면 상의 그들의 존재는 상당한 결함 등급의 온클루젼을 생성한다.

소위 굴뚝 효과에 의해 FDM의 하부로부터의 공기의 부유량을 감소시키려는 시도에 의해 그러한 온클루젼의 양을 감소시키려는 노력이 이루어지고 있다. 일반적으로 이러한 시도는 FDM에서의 압력을 관리하는 것을 포함한다.

본 발명자들은 그러한 FDM 내의 압력을 관리하는 것만으로는 유리 표면 상에 낮은 레벨의 온클루젼을 유지하기에는 충분치 않다는 것을 알아냈다. 또한, 그러한 FDM 내의 압력을 관리하는 방식은 두께 조절, 즉 유리의 폭에 걸친 낮은 두께 변화를 유지하면서 온클루젼을 감소시키기 위해 압력을 가하는 능력에 악영향을 미친다. 특히, 본 발명자들은 온클루젼이 형성되기 쉬운 지점에서 FDM 내에 청정한 공기 환경을 확립하면서 가압하는 것이 온클루젼을 감소시키기 위한 확실하면서 지속 가능한 방식이라는 것을 알아냈다. FDM을 가압하기 위해 가스가 전달되는 장비, 그 안에 포함된 입자 물질이라 칭하는 양질의 가스, 및 FDM에 대한 가스 전달의 위치를 적절하게 선택함으로써 그 FDM 내에 청정한 공기 환경이 달성되며, 이들 각각은 온클루젼을 감소시키는 능력에 영향을 준다. 본 발명은 FDM 내에 압력을 적절히 증가시킴으로써(즉, 청정한 공기 환경을 확립하면서) 두께 조절을 유지하는 한편 온클루젼을 감소시키기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.

추가의 특징 및 장점들은 이하의 상세한 설명에 의해 기술되며, 그 일부는 당업자라면 그 설명으로부터 용이하게 알 수 있거나 기술된 상세한 설명 및 부가의 도면들로 예시된 바와 같은 다양한 형태를 실시함으로써 명확히 알 수 있을 것이다. 상술한 일반적인 설명 및 이하의 상세한 설명은 예시일 뿐이며, 청구항의 성질 및 특성을 이해하기 위한 개관 또는 기초를 제공하기 위한 것이다.

수반되는 도면들은 이해를 좀더 돕기 위해 제공된 것이며, 본 명세서에 통합되어 일부를 구성한다. 그러한 도면들은 하나 이상의 실시예(들)를 기술하며, 상세한 설명과 함께 다양한 실시예들의 원리 및 동작을 설명하기 위해 제공된다. 본 명세서 및 도면에 개시된 다양한 특징들이 소정의 어느 하나 그리고 그 모든 조합들에 사용될 수 있다는 것을 알아야 한다. 예로서 한정하지 않으며, 그러한 다양한 특징들이 이하의 형태들로서 서로 조합될 것이다:

제1형태에 따르면, 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 이 다운-드로우 유리 제조 장치는:

인클로저;

상기 인클로저 내에 배치된 성형체;

상기 성형체로 용융 유리를 전달하도록 배치된 입구 파이프; 및

가압될 상기 인클로저에 유체를 전달하도록 배치된 출구를 갖춘 도관을 포함하며,

상기 도관은 질소 또는 산소 풍부 유체 소스와 접촉할 때, 900-1300℃ 범위의 온도에서 반응, 저하, 또는 부식되지 않는 재료로 이루어진다.

제2형태에 따르면, 상기 제1형태에 따른 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 상기 도관은 세라믹, 유리-세라믹, 유리, 플래티넘, 이리듐, 로듐, 팔라듐, 또는 니켈로 이루어진다.

제3형태에 따르면, 상기 제1 또는 제2형태에 따른 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 도관에 연결된 가스 소스를 더 포함하며, 상기 가스 소스는 대기중 부유 입자 등급 100의 가스 또는 클리너를 전달하도록 구성된다.

제4형태에 따르면, 상기 제1 내지 제3형태 중 어느 한 형태에 따른 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 도관은 성형체와 동일한 높이에 위치된다.

제5형태에 따르면, 상기 제1 내지 제4형태 중 어느 한 형태에 따른 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 인클로저는 하부에 머플 도어를 포함하고 성형체에 의해 형성된 가스를 배출하는 머플 챔버이며, 도관의 출구는 상기 머플 챔버 내측에 그리고 상기 머플 도어 외측에 위치된다.

제6형태에 따르면, 상기 제5형태에 따른 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 상기 머플 도어는 루트에 면하고 높은 열 전도율을 갖는 재료로 이루어진 전면 플레이트를 포함하고, 루트에 대향하는 전면 플레이트의 측면 상에 배치된 머플 도어 챔버를 더 포함한다.

제7형태에 따르면, 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 이 소정 길이의 유리 제조 방법은:

리본의 형태로 하향 유동시키기 위해, 용융 유리를 인클로저 내에 배치된 성형체를 넘쳐 흐르게 하는 단계;

상기 인클로저를 가압하기 위해, 성형체의 근처까지 FDM 내에 온도에서 반응, 저하, 또는 부식되지 않는 재료로 이루어진 도관을 통해 상기 인클로저로 유체를 전달하는 단계;

상기 인클로저 밖으로 리본을 유동시키는 단계; 및

소정 길이의 유리를 형성하기 위해 상기 리본을 절단하는 단계를 포함한다.

제8형태에 따르면, 상기 제7형태에 따른 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 상기 도관은 세라믹, 유리-세라믹, 유리, 플래티넘, 이리듐, 팔라듐, 로듐, 또는 니켈로 이루어진다.

제9형태에 따르면, 상기 제7 또는 제8형태에 따른 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 유체는 대기중 부유 입자 청정도 등급 100의 가스 또는 클리너이다.

제10형태에 따르면, 상기 제7 내지 제9형태에 따른 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 성형체의 높이로 유체를 전달하는 단계를 더 포함한다.

제11형태에 따르면, 상기 제7 내지 제10형태에 따른 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 인클로저는 리본이 머플 챔버를 빠져나가는 머플 도어를 갖춘 머플 챔버이고, 상기 머플 챔버 내에 그리고 상기 머플 도어 외측에 유체를 전달하는 단계를 더 포함한다.

제12형태에 따르면, 상기 제11형태에 따른 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 상기 머플 도어는 루트에 면하고 높은 열 전도율을 갖는 재료로 이루어진 전면 플레이트를 포함하며, 루트에 대향하는 전면 플레이트의 측면 상에 배치된 머플 도어 챔버를 더 포함한다.

제13형태에 따르면, 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 이 다운-드로우 유리 제조 장치는:

인클로저;

상기 인클로저 내에 배치된 성형체;

상기 성형체로 용융 유리를 전달하도록 배치된 입구 파이프;

가압될 상기 인클로저에 유체를 전달하도록 배치된 출구를 갖춘 도관; 및

상기 도관에 연결되고, 대기중 부유 입자 청정도 등급 100의 가스 또는 클리너를 전달하도록 구성된 가스의 소스를 포함한다.

제14형태에 따르면, 제13형태에 따른 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 상기 도관은 성형체와 동일한 높이에 위치된다.

제15형태에 따르면, 제13 또는 제14형태에 따른 다운-드로우 유리 제조 장치를 제공하며, 인클로저는 하부에 머플 도어를 포함하고 성형체에 의해 형성된 가스를 배출하는 머플 챔버이며, 도관의 출구는 상기 머플 챔버 내측에 그리고 상기 머플 도어 외측에 위치된다.

제16형태에 따르면, 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 이 소정 길이의 유리 제조 방법은:

리본의 형태로 하향 유동시키기 위해, 용융 유리를 인클로저 내에 배치된 성형체를 넘쳐 흐르게 하는 단계;

상기 인클로저를 가압하기 위해, 도관을 통해 상기 인클로저로 대기중 부유 입자 청정도 등급 100의 가스 또는 클리너인 유체를 전달하는 단계;

상기 인클로저 밖으로 리본을 유동시키는 단계; 및

소정 길이의 유리를 형성하기 위해 상기 리본을 절단하는 단계를 포함한다.

제17형태에 따르면, 제16형태에 따른 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 성형체의 높이로 유체를 전달하는 단계를 더 포함한다.

제18형태에 따르면, 제16 또는 제17형태에 따른 소정 길이의 유리 제조 방법을 제공하며, 인클로저는 리본이 머플 챔버를 빠져나가는 머플 도어를 갖춘 머플 챔버이고, 상기 머플 챔버 내측으로 그리고 상기 머플 도어 외측으로 유체를 전달하는 단계를 더 포함한다.

도 1은 퓨전 드로우 머신의 개략도이다.
도 2는 온클루젼의 수와 머플 인클로저(muffle enclosure)에서의 압력의 양간 관계의 개략도이다.
도 3은 머플 도어에서의 압력과 두께간 관계의 개략도이다.
도 4는 유리 제조 장치의 개략도이다.

제한하지 않으면서 설명의 목적을 위한 이하의 상세한 설명에 있어서, 특정 상세 설명을 개시하는 예시의 실시예들이 본 발명의 다양한 원리들에 대한 전체적인 이해를 제공하기 위해 기술된다. 그러나, 이들이 본 발명의 이점을 갖는다는 것에 대해 통상의 기술자에게는 자명하며, 본 발명이 본원에 개시된 특정 상세한 설명으로부터 출발한 다른 실시예들로 실시될 수 있다는 것 또한 자명할 것이다. 더욱이, 공지의 장치, 방법 및 재료들의 설명은 본 발명의 다양한 원리의 설명을 불명료하게 하지 않기 위해 생략될 것이다. 마지막으로, 적용가능한 어디에서든 유사한 참조부호가 유사한 요소에 붙여질 것이다.

본원에 사용된 바와 같은 직접적인 용어들, 예컨대 위, 아래, 우측, 좌측, 정면, 후면, 상부, 하부는 단지 도시한 바와 같이 도면에서 참조를 위한 것일 뿐이며 절대적인 방위를 나타내기 위한 것은 아니다.

달리 표현하지 않는 한, 본원에 기술된 소정 방법의 단계들이 특정 순서로 실시되는 것으로 구성되는 것을 의도하려는 것은 아니다. 따라서, 방법 청구항이 사실상 그 단계들이 이어지는 순서를 열거하지 않거나 또는 그 단계들이 특정 순서로 한정되는 청구항 또는 상세한 설명에서 달리 구체적으로 진술하지 않는 것과 같이, 어떠한 점에서도 순서를 암시하려는 것은 절대 아니다. 이는 해석을 위한 소정 가능한 비표현의 근거를 위해 유지하는데, 즉 단계 또는 동작 흐름의 배열에 대한 논리의 문제, 문법상의 구성 또는 구두점으로부터 이끌어진 명백한 의미, 명세서에 기술된 실시예들의 수 또는 유형을 포함한다.

본원에 사용된 바와 같이, 단일의 형태 "하나(a)", "한(an)" 및 "그(the)"는 문맥이 달리 명확하게 기술하지 않는 한 복수의 관계를 포함한다. 따라서, 예컨대 하나의 "요소"라는 관계 대상은 문맥이 달리 명확하게 기술하지 않는 한 요소들과 같이 2개 또는 그 이상을 같는 형태들을 포함한다.

본 발명은 온클루젼이 형성되기 쉬운 지점에서 퓨전 드로우 머신(FDM) 내에 청정한 공기 환경을 확립하면서 가압하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이며, 이는 온클루젼을 감소시키기 위한 확실하면서 지속 가능한 방식을 제공한다.

그러한 FDM 내에 청정한 공기 환경을 확립하는 하나의 방식은 온클루젼을 형성하는 입자를 생성하지 않는 장비를 통한 가스의 전달을 포함한다. 이는 상기 FDM의 영역을 가압하기 위해 가스가 상기 FDM으로 전달되는 도관에 대한 적절한 재료의 선택에 의해 이루어질 것이다. 그러한 전체 도관이 그와 같은 재료로 이루어질 필요는 없으며, 유체-전달 루멘(lumen)을 따라 그와 같은 재료로 이루어진다. 본 발명자들은 질소 또는 산소가 풍부한 유체 소스와 접촉할 때 반응하지 않고, 저하(쇠퇴)되거나 부식되지 않는 고용융점 재료로 이루어진 도관이 온클루젼을 유발하는 자체 생성 입자없이 가스를 전달하는데 매우 적합하다는 것을 알아냈다. 한편, 상기 반응, 저하 또는 부식은 성형체의 근처에서 FDM 내에 통상 나타나는 온도, 예컨대 900-1300℃에서 입자 생성을 유발한다. 예컨대, 상기 도관은 세라믹, 유리-세라믹, 또는 유리로 이루어질 것이다. 또한, 상기 도관은 예컨대, 플래티넘, 이리듐, 팔라듐 또는 니켈과 같은 금속으로 이루어질 것이다.

상기 FDM 내에 청정한 공기 환경을 확립하는 두번째 방식은 온클루젼을 야기하는 대량의 파티클을 포함하지 않는 가스의 사용을 포함한다. 본 발명자들은 "Airborne Particulate Cleanliness Classes"로 명칭된 미연방 표준 209E에 의해 측정한 바와 같은 100(M3.5)의 대기중 입자 청정도 등급을 만족시키는 가스 또는 클리너(미국, 60056, 일리노이즈, 마운트 프로스펙트, 이스트 노스웨스트 하이웨이 940의 Institute of Environmental Sciences and Technology로부터 이용가능한)가 온클루젼을 야기하는 입자의 소스가 되지 않으면서 그러한 FDM 내에 압력을 증가시키는데 적절하다는 것을 알아냈다.

상기 FDM 내에 청정한 공기 환경을 확립하는 세번째 방식은 가스가 FDM으로전달되는 위치를 포함한다. 특히, 본 발명자들은 머플 도어의 외측이 아닌 머플 챔버 내측에 상기 성형체의 레벨에서 상기 FDM으로 가스를 절달하는 것이 낮은 레벨의 온클루젼을 이끈다는 것을 알아냈다.

청정한 공기 환경을 포함하는 퓨전 드로우 머신(FDM)의 일 실시예가 도 1을 참조하여 설명될 것이다. FDM(10)은 유리 리본(4)이 형성되는 상부 인클로저 또는 머플 챔버(12), 및 하부 개구(16)에서 FDM(10)을 빠져나갈 때까지 상기 유리 리본(4)이 끌어당겨져 열적으로 조절되는 하부 인클로저(14)를 포함한다. 다음에, 공지의 종래기술을 이용하여 상기 유리 리본(4)으로부터 유리 시트(8)가 분리된다. 유리 시트(8)가 유리 리본(4)으로부터 분리되어 있는 것으로 나타나 있을 지라도, 그 대신 상기 유리 리본(4)의 소정 길이는 예컨대 유리가 롤될 때와 같이 유리 리본(4)의 나머지로부터 분리되기 전에 형성될 것이다. 따라서, "유리 시트"가 편리성을 위해 명세서에 걸쳐 참조로만 사용되며, 그와 같은 용어는 또한 롤되는 소정 길이의 유리를 포함할 수 있다는 것을 알아야 한다.

상기 머플 챔버(12)는 유리 리본(4)을 형성하는 성형체(30)를 둘러싼다. 그러한 성형체(30)는 입구 파이프(36)로부터 용융 유리를 받아들인다. 그러한 용융 유리는 두께(6)를 갖는 유리 리본(4)을 형성하기 위해 성형체(30)의 루트(34)에서 재결합되는 2개의 분리된 유동으로 상기 성형체(30)의 대향하는 수렴 측면(32)들을 따라 유동한다.

한 쌍의 머플 도어 하우징(20)들이 상기 머플 챔버(12)의 하부에 위치되며, 도 1의 상기 유리 리본(4)을 가로지르는 두께(6)의 변화를 콘트롤하는데 사용된다. 하나의 머플 도어 하우징(20)이 상기 유리 리본(4)의 각각의 측면 상에 배치되며, 이에 따라 그러한 머플 도어 하우징(20)들은 유리 리본(4)이 상기 하부 인클로저(14)로 확장되는 개구를 형성한다. 상기 머플 도어 하우징(20)들은 동일한 구성이기 때문에, 단지 하나만을 상세히 기술한다. 유사하게, 다양한 원리들이 그러한 나타낸 머플 도어 하우징(20)들의 어느 하나와 연결지어 설명되며, 이들 동일한 원리가 또 다른 머플 도어 하우징(20)에 동일하게 적용된다는 것을 이해해야 한다. 상기 머플 도어 하우징(20)은 유리 리본(4)이 연화점 이상의 점도를 가질 때 상기 성형체(30), 및 유리 리본(4)에 면하도록 배치된다. 상기 머플 도어 하우징(20)은 전면 플레이트(22), 머플 도어 챔버(24), 및 다수의 튜브(26)를 포함한다. 각각의 튜브(26)는 상기 머플 도어 챔버(24) 내에 출구를 포함한다.

상기 전면 플레이트(22)는 높은 전도율, 낮은 열팽창률, 및 시간과 온도에 따른 높은 방사 계수를 갖는 재료로 이루어진다. 바람직하게, 상기 전면 플레이트(22)는 실리콘 카바이드 슬래브(silicon carbide slab)로 형성되며, 바운딩 경계(bounding border) 외에, 그 후면은 상기 슬래브의 페이스(face)를 가로질러 열적 불연속성을 야기하는 소정의 지지 구조와 접촉하지 않는다.

유체 소스(28)는 유체를 전달하도록 튜브(26)에 연결된다. 단지 하나의 튜브(26)가 성형체(30)의 양측에 나타나 있을 지라도, 통상 거기에는 유리 리본(4)의 폭 방향을 따라 배치된 다수의 튜브(26)들이 있으며, 소정 적절한 수의 튜브(26)가 상기 성형체(30)의 각각의 측면에 채용되며, 그 수는 일반적으로 유리 리본(4)의 폭에 좌우된다. 유체는 예컨대 공기, 압축 공기, 소정의 다른 적절한 가스가 될 것이다. 본 명세서에 걸쳐, 용어 "공기" 또는 "공기 유동"이 편리를 위해 사용되었으나, 모든 적절한 타입의 가스 또는 다른 유체를 포함하는 것을 의미한다. 그러한 유체는 전면 플레이트(22) 상에 충돌하여 그 전면 플레이트(22)의 온도를 국소적으로 콘트롤하도록 상기 유체 소스(28)로부터 상기 튜브(26)를 거쳐 상기 머플 도어 챔버(24) 내로 전달된다. 그러면 상기 전면 플레이트(22) 상의 어느 한 지점 상의 국소 온도는 상기 유리 리본(4)의 인접한 부분의 온도, 그에 따른 점도 및 두께에 영향을 미친다. 각각의 튜브(26)를 통한 그러한 유체의 유동은 상기 유리 리본(4)에 걸친 두께 구배를 콘트롤하기 위해 종래의 공지된 방식으로 각각 개별적으로 조절될 것이다.

상기 하부 인클로저(14) 내에는, 설명의 간략화의 목적으로 그러한 구조를 나타내진 않았지만, 상기 유리 리본(4)을 이동 및/또는 안내하기 위해 사용된 다양한 구조들이 있다. 또한, 거기에는 상기 유리 리본(4)을 열적으로 조정하거나, 그 유리 리본이 인클로저(14)를 통해 이동됨에 따라 그 유리 리본(4)으로부터의 열 손실을 조절하기 위한 인클로저(14) 내에 제공된 다양한 다른 구조들이 있을 것이다.

상기 머플 챔버(12) 및 하부 인클로저(14) 내에는 상기 FDM(10)으로부터 공기를 누설시키게 하는 여러 개구들이 있다. 이들 개구는 예컨대 전기적 연결을 위한, 유체적 연결을 위한, 상기 FDM(10) 내의 장비에 대한 통로 및/또는 접속을 위한, 물 냉각 포트를 위한, 저항 히터를 위한, 열전대를 위한 코일 권선을 위한, 그리고/또 튜브(26)를 위한 의도된 개구들을 포함하거나, 그리고/또 의도치 않은 크랙 또는 구멍들을 포함할 것이다. 심지어 상기 의도된 개구들을 통해 삽입된 장치에 대한 밀봉이 제공될 경우에도, 상기 FDM(10)의 밖으로 유동을 허용하는 그 밀봉에서의 누설이 여전히 존재할 것이다. 상기 FDM(10) 자체 내의 열 구배 뿐만 아니라, 그러한 FDM(10)으로부터의 공기 누설로 인해, 화살표 13의 위쪽 방향으로 기류가 존재한다. 이러한 기류는 상기 하부 개구(16)를 통해 공기를 끌어당기며, 상기 FDM(10)의 외측 영역으로부터, 또는 상기 하부 인클로저(14) 내의 입자 생성 소스로부터 입자들을 수반할 것이다. 만약 그러한 입자들이 상기 FDM(10)을 통해 머플 도어 하우징(20)의 영역까지 이동되면, 그 입자들은 상기 유리 리본(4)에 고착되거나 아니면 그 유리 리본 내에 매립됨으로써, 상술한 바와 같이 온클루젼을 형성한다. 따라서, 상기 FDM(10)에서의 상향 기류, 특히 상기 머플 도어 하우징(20)의 영역에서의 상향 기류를 최소화시키는 것이 바람직하다.

상기 FDM(10)에서, 특히 상기 머플 도어 하우징(20)의 영역에서 그러한 기류를 최소화하는 하나의 방식은 상기 머플 챔버(12)를 가압하는 것이다. 그러나, 온클루젼을 감소시키기 위해, 머플 챔버(12)를 가압하는 것만으로는 불충분하다. 추가적으로, 청정한 공기 환경이 확립되어야 한다. 머플 챔버(12)를 가압하기 위해 가스가 전달되는 장비; 자체의 양질의 가스; 및 가스 전달의 위치를 적절하게 선택함으로써 머플 챔버(12) 내에 가압된 청정한 공기 환경이 확립되며, 이들 각각은 온클루젼을 감소시키는 능력에 영향을 준다.

상기 FDM 내에 청정한 공기 환경을 확립하는 하나의 방법은 온클루젼을 형성하는 입자를 생성하지 않는 장비를 통한 가스의 전달을 포함한다. 이는 상기 FDM의 영역을 가압하기 위해 가스가 상기 FDM으로 전달되는 도관에 대한 적절한 재료의 선택에 의해 이루어질 것이다. 그러한 전체 도관이 그와 같은 재료로 이루어질 필요는 없으며, 유체-전달 루멘(lumen)을 따라 그와 같은 재료로 이루어진다.

본 발명자들은 질소 또는 산소가 풍부한 유체 소스와 접촉할 때 반응하지 않고, 저하되거나 부식되지 않는 고용융점 재료로 이루어진 도관이 온클루젼을 유발하는 자체 생성 입자없이 가스를 전달하는데 매우 적합하다는 것을 알아냈다. 한편, 상기 반응, 저하 또는 부식은 성형체의 근처에서 FDM 내에 통상 나타나는 온도, 예컨대 900-1300℃에서 입자 생성을 유발한다. 예컨대, 상기 도관은 세라믹, 유리-세라믹, 또는 유리로 이루어질 것이다. 또한, 상기 도관은 예컨대, 플래티넘, 이리듐, 팔라듐 또는 니켈과 같은 금속으로 이루어질 것이다. 실제로, 그러한 재료의 용융점은 상기 FDM 내의 최고 예상 온도보다 높아지도록 선택될 수 있으나, 이러한 필요조건은 최소한이다. 또한, 상술한 바와 같이, 선택된 그러한 재료는 질소 또는 산소가 풍부한 유체 소스와 접촉할 때 반응하지 않고, 저하되거나 부식되지 않는 재료가 되며, 그와 같은 반응, 저하, 또는 부식은 온클루젼 형성을 야기하는 입자를 생성할 것이다. 온클루젼을 형성하는 입자를 생성하지 않는 도관을 이용함으로써, 전달될 유체(이 유체가 온클루젼 형성을 야기하는 입자를 포함하지 않는 것을 확실히 하기 위해)를 조절 및/또는 필터링하기 위한 장비가 상기 FDM의 고온 환경의 외측에 배치될 수 있다. 이는 장비의 수명을 길게 할 뿐만 아니라 그러한 장비의 유지관리 서비스를 좀더 쉽게 수행할 수 있게 한다.

일 실시예에 따른 도 1에 따른 출구(42)를 갖춘 도관(40)은 상기 머플 챔버(12) 내로 확장한다. 상기 도관(40)의 또 다른 단부는 상기 FDM 내의 고온 환경의 외측에 배치된다. 상기 출구(42)는 유체 소스(44)로부터 가스를 전달하기 위해 상기 머플 챔버(12) 내에 배치된다. 상기 도관(40)은 예컨대 세라믹, 유리-세라믹, 유리, 플래티넘, 이리듐, 로듐, 팔라듐, 또는 니켈로 이루어질 것이다. 비록 하나의 도관(40)이 상기 성형체(30)의 각각의 측면에 나타나 있을 지라도, 적절한 그와 같은 도관의 수가 상기 머플 챔버(12)의 원하는 가압을 달성하기 위해 사용될 것이다. 상기 도관(40)은 상기 머플 챔버(12)의 폭 방향(도 1의 평면에 수직 확장하는)을 따라 여러 지점에 배치될 것이다. 추가적으로, 상기 도관(40)은 즉 상기 머플 챔버(12)의 폭에 평행한 방향으로 확장하기 위해 상기 머플 챔버의 단부들에 배치될 것이다. 상기 머플 챔버(12) 내로 전달된 가스는 머플 챔버(12)를 가압하고, 이에 의해 화살표(13) 방향으로의 상승 기류의 영향을 감소시켜 그 상승 기류 속의 입자가 유리 리본(4) 상에 온클루젼을 형성할 기회를 감소시킨다. 더욱이, 가압의 공기를 전달하기 위해 사용된 장비, 즉 온클루젼을 형성하는 입자를 자체 생성하지 않는 재료로 이루어진 도관(40)으로 인해, 머플 챔버(12) 내에 청정한 공기 환경을 형성한다.

상기 FDM 내에 청정한 공기 환경을 확립하는 두번째 방식은 온클루젼을 야기하는 대량의 입자를 포함하지 않는 가스로 상기 FDM을 가압하는 것을 포함한다. 본 발명자들은 미연방 표준 209E에 의해 측정한 바와 같은 100(M3.5)의 대기중 입자 청정도 등급을 만족시키는 가스 또는 클리너가 온클루젼을 야기하는 입자의 소스가 되지 않으면서 그러한 FDM 내에 압력을 증가시키는데 적절하다는 것을 알아냈다. 유체 소스(44)는 도관(40)으로 상술한 청정성(즉, 100(M3.5)의 대기중 부유 입자 청정도 등급을 갖는)의 가스 또는 클리너를 전달하도록 구성된다. 유체 소스(44)는 예컨대 상술한 청정성의 공기를 전달하기 위해 출구측에 충분한 정도의 고효율의 입자 흡인(HEPA; high efficiency particle attraction) 여과를 갖는 공기 압축기, 펌프, 팬, 블로워(blower) 또는 다른 공기 핸들러(handler)가 될 것이다. 선택적으로, 적절한 청정성의 가스가 용이하게 이용가능할 경우, 그러한 유체 소스(44)는 그 출구 상에 여과를 포함할 필요가 없다. 비록 유체 소스(44)가 단지 하나의 도관(40)에 연결된 것으로 나타나 있을 지라도, 그와 같은 하나의 유체 소스(44)는 원하는 양의 가압된 가스를 상기 머플 챔버(12)로 전달하기 위해 실시할 수 있을 정도의 많은 도관(40)들에 연결될 수 있다. 예컨대, 하나의 유체 소스(44)가 상기 성형체(30)의 양 측면 상의 도관(40)들에 연결될 것이다. 더욱이, 비록 상기 유체 소스(44)가 유체 소스(28)로부터 분리되어 있는 것으로 나타나 있을 지라도, 그와 같은 경우일 필요는 없다. 즉, 상기 유체 소스(44)는 도관(40) 및 튜브(26) 모두에 연결될 수 있다.

상기 FDM 내에 청정한 공기 환경을 확립하는 세번째 방식은 그러한 가압의 가스가 상기 FDM으로 전달되는 위치를 포함한다. 특히, 본 발명자들은 머플 도어 챔버의 외측이 아닌 머플 챔버 내측에서 성형체와 동일한 높이의 근처로 FDM으로 가스를 전달하는 것은 낮은 레벨의 온클루젼을 야기한다는 것을 알아냈다.

도 1과 관련된 청정한 공기 환경을 확립하는 세번째 방식의 한 형태에 따르면, 그러한 도관(40)은 출구(42)가 상기 FDM(10) 내의 성형체(30) 높이와 거의 동일한 높이에 위치되도록 배치된다. 즉, 상기 성형체(30)는 하부 개구(16) 위의 높이로 상기 FDM(10) 내에 배치된다. 그러한 성형체(30)의 높이로 공기를 공급하는 것은 루트(34) 및 측면(32)들 근처에 압력을 증가시켜, 입자가 유리 표면 상에 온클루젼을 형성하는 지점에서 유리에 도달되는 입자량을 최소화한다.

다시 도 1과 관련된 청정한 공기 환경을 확립하는 세번째 방식의 다른 형태에 따르면, 상기 출구(42)는 상기 머플 도어 챔버(24)의 외측이 아닌 상기 머플 챔버(12) 내측에 배치된다.

상기 머플 챔버(12)를 가압하기 위해 상기 머플 도어 챔버(24) 내에 공기를 공급하는 것은 바람직하지 않다. 특히, 공기의 총 부피가 상기 머플 도어 하우징(20) 내에서 증가됨에 따라, 상기 머플 챔버(12) 내의 압력이 증가되며, 이는 도 2에 개략적으로 나타낸 바와 같이 온클루젼 레벨을 감소시킨다. 그러나, 상기 머플 도어 하우징(20) 내에 공급된 추가의 공기는 상기 머플 도어 챔버(24)에서의 압력 증가를 야기하고, 이에 의해 도 3에 개략적으로 나타낸 바와 같이 국소의 두께 변화를 야기하는 조절불가 방식으로 인해 유리 리본(4) 쪽으로 공기를 누설한다. 즉, 그러한 두께 변화는 머플 도어 하우징(20) 내측, 즉 머플 도어 챔버(24) 내측 압력이 상기 머플 챔버(12) 내의 총 압력을 증가시키는데 사용될 경우 악영향을 미친다. 한편, 상기 머플 도어 챔버(24)가 유리 리본(4) 쪽으로 공기가 누설하는 것을 방지하기 위해 능동적으로 공기를 배출시킬 때, 온클루젼의 레벨의 증가가 관찰되었다. 그래서, 상기 머플 도어 하우징(20) 내측의 압력(바람직하지 않은 두께 변화를 야기하는)을 증가시키지 않고 상기 머플 챔버(12) 내의 압력을 증가시키기 위해(온클루젼을 감소시키기 위해), 상기 머플 도어 챔버(24) 외측이 아닌 상기 머플 챔버(12) 내측에 공기가 공급될 것이다. 추가적으로, 이러한 상기 머플 도어 하우징 외측이 아닌 상기 머플 챔버 내측의 위치는 머플 내에 다른 공기 유동 셀 상에 충격을 최소화 한다.

본원에 기술된 개념들을 실시하도록 기존의 FDM들을 개조하기 위해, 두께 조절에 필요치 않은 기존의 튜브(26)들이 상술한 개념들에 따른 온클루젼의 감소를 돕는데 사용될 것이다. 특히, 그러한 튜브(26)들은 이들 출구가 머플 도어 챔버(24) 외측에 있으나 여전히 머플 챔버(12) 내에 있도록 그들의 원래 위치로부터 수축될 것이다. 다음에, 안에 압력을 증가시키기 위해 그 머플 챔버(12)로 소스(28)로부터의 유체가 전달될 것이다. 추가적으로, 상기 소스(28)로부터의 유체를 이용하는 대신, 유체 소스(44; 즉, 100의 대기중 부유 입자 청정도 등급의 공기 또는 클리너를 전달하는 것)가 머플 도어 챔버(24)의 외측이나 여전히 머플 챔버(12) 내에 출구를 갖는 그와 같은 기존의 튜브(26)에 연결될 것이다. 그와 같은 배열에 있어서, 100의 대기중 부유 입자 청정도 등급을 갖는 공기 또는 클리너가 상기 머플 챔버(12)로 전달될 것이다. 따라서, 기존의 튜브(26)들은 상기 FDM(10) 내에 청정한 환경을 생성하는 것을 돕는데 사용될 것이다.

이제 본원에 기술된 개념들을 이용하여 유리 시트(8)를 제조하는 방법을 기술한다.

도 4는 퓨전 공정을 이용하고, 상술한 개념들이 유리 시트(8)를 제조하는데 사용되는 예시의 유리 제조 시스템(100)을 나타낸다. 상기 유리 제조 시스템은 용융 용기(110), 정제 용기(115; 예컨대 정제 튜브), 혼합 용기(120; 예컨대 교반 챔버), 전달 용기(125; 예컨대 보울(bowl)), 및 FDM(10)을 포함한다. 유리 재료가 용융 유리(126)를 형성하기 위해 화살표 112로 나타낸 바와 같이 용융 용기(110) 내로 도입되어 용융된다. 상기 정제 용기(115)는 상기 용융 용기(110)로부터 용융 유리(126; 이 지점에는 나타내지 않음)를 받아들이고 그 용융 유리(126)로부터 버블이 제거되는 고온 처리 영역을 포함한다. 상기 정제 용기(115)는 연결 튜브(122)에 의해 상기 혼합 용기(120)에 연결된다. 상기 혼합 용기(120)는 연결 튜브(127)에 의해 상기 전달 용기(125)에 연결된다. 상기 전달 용기(125)는 상기 용융 유리(126)를 다운-커머(130)를 통해 입구(36), 성형체(30), 및 풀 롤 어셈블리(140)를 포함하는 FDM(10)으로 전달한다. 상기 용융 유리는 상기 다운-커머(130)로부터 상기 성형체(30)로 이끄는 입구(36) 내로 유동한다. 상기 성형체(30)는 루트(34)에서 함께 융합되기 전에 성형체(30)를 넘쳐 흘러 그 성형체의 2개의 측면(32) 아래로 이동하는 용융 유리(126)를 받아들이는 트로프(trough)를 포함한다. 상기 루트(34)는 2개의 측면(32)이 함께 합류하여 결합되고 상기 풀 롤 어셈블리(140)에 의해 하향 드로우되는 유리 리본(4)을 형성하기 위해 2개의 오버플로우 또는 벽들이 재결합(예컨대, 재융합)되는 곳이다. 상기 FDM(10)의 상세한 설명은 도 1과 연결지어 상기 설명한 바와 같다. 예시의 유리 제조 시스템에 대한 소정의 상세한 설명이 기술되었지만, 성형체 및 유리 제조 시스템은 공지 기술로 알려져 있으며 통상의 기술자가 적절한 성형체 및/또는 유리 제조 시스템을 용이하게 선택할 수 있다는 것을 알아야 알 것이다.

도 1로 다시 되돌아 가서, 용융 유리가 성형체(30)로 전달됨에 따라, 입자들이 온클루젼을 형성하는 지점에서 유리에 그 입자들이 도달될 기회를 감소시키기 위해 FDM(10) 내의 영역을 적적하게 가압함으로써 그 FDM(10) 내에 청정한 공기 환경이 확립된다. 특히, 상기 FDM 내에 그와 같은 청정한 공기 환경을 형성하기 위해 이하와 같은 소정의 하나 또는 그 이상의 개념들이 사용될 것이다. 즉, 낮은 입자 방출 재료(즉, 질소 또는 산소 풍부 유체 소스와 접촉할 때, 성형체의 근처에서 FDM 내에 통상 나타나는 온도, 예컨대 900 내지 1300℃에서 반응, 저하, 또는 부식되지 않는 재료), 예컨대 세라믹, 유리-세라믹, 유리, 플래티넘, 이리듐, 팔라듐, 또는 니켈로 이루어진 도관(40)을 통해, 상기 FDM(10)을 가압하기 위해, 가스가 FDM(10)으로 전달되고; 상기 FDM(10)을 가압하기 위해, 가스가 상기 성형체(30)의 높이와 동일한 높이에서 상기 FDM(10)으로 전달되고; 상기 FDM(10)을 가압하기 위해, 가스가 머플 도어 인클로저(24)의 외측이 아닌 머플 챔버(12)로 전달되며; 상기 FMD(10)로 전달된 가스가 100의 대기중 부유 입자 청정도 등급의 가스 또는 클리너가 될 것이다.

본 발명의 상술한 실시예들, 특히 소정의 "바람직한" 실시예들은 단지 실시의 가능한 예들일 뿐이고, 단지 발명의 다양한 원리들의 완전한 이해를 위한 것일 뿐이라는 것을 강조한다. 많은 변형 및 변경들이 실질적으로 본 발명의 사상 및 다양한 원리로부터 벗어나지 않고 상술한 발명의 실시예들로 이루어질 것이다. 모든 그와 같은 변경 및 변형들은 이러한 개시 및 본 발명의 범주 내에서 본원에 포함시켜 하기 청구항들에 의해 보호된다.

예컨대, 비록 상기 설명이 퓨전 드로우와 연관지어 이루어졌을 지라도, 슬롯-드로우 성형체가 상기 성형체(30)로서 사용될 수 있다.

Claims (18)

1. 다운-드로우 유리 제조 장치로서,
   인클로저;
   상기 인클로저 내에 배치된 성형체;
   상기 성형체로 용융 유리를 전달하도록 배치된 입구 파이프; 및
   상기 인클로저에 제1유체를 전달하여 상기 인클로저를 가압하도록 배치된 출구를 갖춘 도관을 포함하며,
   상기 도관은 질소 또는 산소 풍부 유체 소스와 접촉할 때, 900-1300℃ 범위의 온도에서 반응, 저하, 또는 부식되지 않는 세라믹, 유리-세라믹, 유리, 플래티넘, 이리듐, 팔라듐, 로듐, 또는 니켈로 이루어지고,
   상기 인클로저인 머플 챔버는, 상기 성형체로부터 상기 용융 유리를 리본의 형태로 하향 유동하여 형성한 유리 리본이 상기 머플 챔버를 빠져나가는 경우에 통과하는 머플 도어를, 상기 머플 챔버의 하부에 포함하고,
   상기 도관은, 상기 도관의 상기 출구가 상기 머플 챔버 내측에 그리고 상기 머플 도어 외측에 위치되고, 상기 다운-드로우 유리 제조 장치에서 형성되는 유리의 입자 결함으로 이어지는 입자로서, 상기 다운-드로우 유리 제조 장치 내의 열 구배에 의해 상기 머플 도어의 영역을 향해 상기 다운-드로우 유리 제조 장치 내를 상승하는 공기가 실어 보내는 상기 입자의 양이 상기 머플 도어의 영역에서 감소됨과 더불어, 상기 머플 도어 내의 압력을 증가시키지 않고 상기 머플 챔버 내의 압력을 증가시키도록, 청정한 가스인 상기 제1유체를 전달하는 것이며,
   다수의 튜브를 더 구비하되, 각각의 튜브는 상기 머플 도어 내에 출구를 포함하고,
   상기 다수의 튜브는, 상기 형성되는 유리 두께의 변화를 콘트롤하기 위한 것이고, 상기 다수의 튜브를 통해 상기 출구로부터 상기 머플 도어의 내부로 전달되는 제2유체가 상기 유리 리본에 면하는 상기 머플 도어의 전면 플레이트에 충돌하여 상기 전면 플레이트의 온도를 국소적으로 콘트롤하도록, 상기 다수의 튜브의 상기 출구가 상기 유리 리본의 폭 방향을 따라 배치되는, 다운-드로우 유리 제조 장치.
2. 다운-드로우 유리 제조 장치로서,
   인클로저;
   상기 인클로저 내에 배치된 성형체;
   상기 성형체로 용융 유리를 전달하도록 배치된 입구 파이프; 및
   상기 인클로저에 제1유체를 전달하여 상기 인클로저를 가압하도록 배치된 출구를 갖춘 도관; 및
   상기 도관에 연결되고, 대기중 부유 입자 청정도 등급이 100 또는 보다 청정한 가스를 전달하도록 구성된 가스 소스를 포함하며,
   상기 인클로저인 머플 챔버는, 상기 성형체로부터 상기 용융 유리를 리본의 형태로 하향 유동하여 형성한 유리 리본이 상기 머플 챔버를 빠져나가는 경우에 통과하는 머플 도어를, 상기 머플 챔버의 하부에 포함하고,
   상기 도관은, 상기 도관의 상기 출구가 상기 머플 챔버 내측에 그리고 상기 머플 도어 외측에 위치되고, 상기 다운-드로우 유리 제조 장치에서 형성되는 유리의 입자 결함으로 이어지는 입자로서, 상기 다운-드로우 유리 제조 장치 내의 열 구배에 의해 상기 머플 도어의 영역을 향해 상기 다운-드로우 유리 제조 장치 내를 상승하는 공기가 실어 보내는 상기 입자의 양이 상기 머플 도어의 영역에서 감소됨과 더불어, 상기 머플 도어 내의 압력을 증가시키지 않고 상기 머플 챔버 내의 압력을 증가시키도록, 청정한 가스인 상기 제1유체를 전달하는 것이며,
   다수의 튜브를 더 구비하되, 각각의 튜브는 상기 머플 도어 내에 출구를 포함하고,
   상기 다수의 튜브는, 상기 형성되는 유리 두께의 변화를 콘트롤하기 위한 것이고, 상기 다수의 튜브를 통해 상기 출구로부터 상기 머플 도어의 내부로 전달되는 제2유체가 상기 유리 리본에 면하는 상기 머플 도어의 전면 플레이트에 충돌하여 상기 전면 플레이트의 온도를 국소적으로 콘트롤하도록, 상기 다수의 튜브의 상기 출구가 상기 유리 리본의 폭 방향을 따라 배치되는, 다운-드로우 유리 제조 장치.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 도관에 연결된 가스 소스를 더 포함하며, 상기 가스 소스가, 대기중 부유 입자 청정도 등급이 100 또는 보다 청정한 가스를 전달하도록 구성되는, 다운-드로우 유리 제조 장치.
4. 청구항 2에 있어서,
   상기 도관은 세라믹, 유리-세라믹, 유리, 플래티넘, 이리듐, 로듐, 팔라듐, 또는 니켈로 이루어지는, 다운-드로우 유리 제조 장치.
5. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 도관은 성형체와 동일한 높이에 위치되는, 다운-드로우 유리 제조 장치.
6. 소정 길이의 유리 제조 방법으로서,
   리본의 형태로 하향 유동시키기 위해, 용융 유리를 인클로저 내에 배치된 성형체를 넘쳐 흐르게 하는 단계;
   상기 인클로저를 가압하기 위해, 질소 또는 산소 풍부 유체 소스와 접촉할 때 900-1300℃ 범위의 온도에서 반응, 저하, 또는 부식되지 않는 세라믹, 유리-세라믹, 유리, 플래티넘, 이리듐, 팔라듐, 로듐, 또는 니켈로 이루어진 도관을 통해 상기 인클로저로 제1유체를 전달하는 경우에, 상기 인클로저인 머플 챔버는, 상기 리본의 형태로 하향 유동하는 유리 리본이 상기 머플 챔버를 빠져나가는 경우에 통과하는 머플 도어를 포함하고, 상기 제조되는 유리의 입자 결함으로 이어지는 입자로서, 상기 유리의 제조 장치 내의 열 구배에 의해 상기 머플 도어의 영역을 향해 상기 제조 장치 내를 상승하는 공기가 실어 보내는 상기 입자의 양이 상기 머플 도어의 영역에서 감소됨과 더불어, 상기 머플 도어 내의 압력을 증가시키지 않고 상기 머플 챔버 내의 압력을 증가시키도록, 청정한 가스인 상기 제1유체를 상기 머플 챔버 내측에 그리고 상기 머플 도어 외측의 위치로 전달하는 단계;
   다수의 튜브를 구비하되, 각각의 튜브는 상기 머플 도어 내에 출구를 포함하며, 제2유체를 상기 유리 리본에 면하는 상기 머플 도어의 전면 플레이트에 충돌하게 함으로써 상기 전면 플레이트의 온도를 국소적으로 콘트롤하도록, 상기 제2유체를 상기 다수의 튜브를 통해 상기 유리 리본의 폭 방향을 따라 배치된 상기 다수의 튜브의 상기 출구로부터 전달하여, 상기 제조되는 유리 두께의 변화를 콘트롤하는 단계;
   상기 인클로저 밖으로 상기 유리 리본을 유동시키는 단계; 및
   소정 길이의 유리를 형성하기 위해 상기 리본을 절단하는 단계를 포함하는, 유리 제조 방법.
7. 소정 길이의 유리 제조 방법으로서,
   리본의 형태로 하향 유동시키기 위해, 용융 유리를 인클로저 내에 배치된 성형체를 넘쳐 흐르게 하는 단계;
   상기 인클로저를 가압하기 위해, 대기중 부유 입자 청정도 등급이 100 또는 보다 청정한 가스인 제1유체를, 도관을 통해 상기 인클로저로 전달하는 경우에, 상기 인클로저인 머플 챔버는, 상기 리본의 형태로 하향 유동하는 유리 리본이 상기 머플 챔버를 빠져나가는 경우에 통과하는 머플 도어를 포함하고, 상기 제조되는 유리의 입자 결함으로 이어지는 입자로서, 상기 유리의 제조 장치 내의 열 구배에 의해 상기 머플 도어의 영역을 향해 상기 제조 장치 내를 상승하는 공기가 실어 보내는 상기 입자의 양이 상기 머플 도어의 영역에서 감소됨과 더불어, 상기 머플 도어 내의 압력을 증가시키지 않고 상기 머플 챔버 내의 압력을 증가시키도록, 청정한 가스인 상기 제1유체를 상기 머플 챔버 내측에 그리고 상기 머플 도어 외측의 위치로 전달하는 단계;
   다수의 튜브를 구비하되, 각각의 튜브는 상기 머플 도어 내에 출구를 포함하며, 제2유체를 상기 유리 리본에 면하는 상기 머플 도어의 전면 플레이트에 충돌하게 함으로써 상기 전면 플레이트의 온도를 국소적으로 콘트롤하도록, 상기 제2유체를 상기 다수의 튜브를 통해 상기 유리 리본의 폭 방향을 따라 배치된 상기 다수의 튜브의 상기 출구로부터 전달하여, 상기 제조되는 유리 두께의 변화를 콘트롤하는 단계;
   상기 인클로저 밖으로 상기 유리 리본을 유동시키는 단계; 및
   소정 길이의 유리를 형성하기 위해 상기 리본을 절단하는 단계를 포함하는, 유리 제조 방법.
8. 청구항 6에 있어서,
   상기 제1유체가, 대기중 부유 입자 청정도 등급이 100 또는 보다 청정한 가스인, 유리 제조 방법.
9. 청구항 7에 있어서,
   상기 도관은 세라믹, 유리-세라믹, 유리, 플래티넘, 이리듐, 팔라듐, 로듐, 또는 니켈로 이루어지는, 유리 제조 방법.
10. 청구항 6 내지 8 중 어느 한 항에 있어서,
    제1유체를 성형체의 높이로 전달하는 단계를 더 포함하는, 유리 제조 방법.
    
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