KR101851546B1 - Suction head and sheet handling device - Google Patents

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KR101851546B1
KR101851546B1 KR1020167023306A KR20167023306A KR101851546B1 KR 101851546 B1 KR101851546 B1 KR 101851546B1 KR 1020167023306 A KR1020167023306 A KR 1020167023306A KR 20167023306 A KR20167023306 A KR 20167023306A KR 101851546 B1 KR101851546 B1 KR 101851546B1
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야스히토 데미즈
카즈히로 타바타
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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

흡인에 의한 시트 데미지를 억제하면서 세라믹 그린시트를 캐리어 필름으로부터 확실하고 용이하게 박리할 수 있는 흡인 헤드 및 시트 취급 장치를 제공한다. 세라믹 그린시트(20)를 유지하기 위한 흡인면을 갖는 흡인 헤드(14)이며, 흡인면은 복수의 흡인 구멍(HL, HL, …) 및 복수의 홈(GR, GR, …)을 갖고, 복수의 홈(GR, GR, …)은 흡인면 내의 단부 영역의 적어도 한 변에 흡인면의 외주를 따르는 방향으로 형성되고, 복수의 흡인 구멍(HL, HL, …) 중 흡인면 내의 단부 영역에 배치되는 흡인 구멍(HL)은 홈(GR)을 통과하도록 형성되어 있다. A suction head and a sheet handling apparatus capable of surely and easily separating a ceramic green sheet from a carrier film while suppressing sheet damage by suction. The suction surface 14 having a suction surface for holding the ceramic green sheet 20 and the suction surface has a plurality of suction holes HL, HL, ... and a plurality of grooves GR, GR, Are formed in at least one side of the end region in the suction surface in the direction along the outer periphery of the suction surface and are arranged in the end regions within the suction surface of the plurality of suction holes HL, HL, The suction hole HL is formed so as to pass through the groove GR.

Description

흡인 헤드 및 시트 취급 장치{SUCTION HEAD AND SHEET HANDLING DEVICE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a suction head,

본 발명은 흡인 헤드에 관한 것이며, 특히 세라믹 그린시트를 유지하기 위한 흡인면을 갖는 흡인 헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a suction head, and more particularly to a suction head having a suction surface for holding a ceramic green sheet.

본 발명은 또한 시트 취급 장치에 관한 것이며, 특히 세라믹 그린시트를 유지한 캐리어 시트(캐리어 필름)이 재치되는 재치면을 갖는 기반과, 재치면에 대향하는 흡인면을 가져서 세라믹 그린시트를 흡인하는 흡인 헤드를 구비하는 시트 취급 장치에 관한 것이다.The present invention relates also to a sheet handling apparatus, and more particularly to a sheet handling apparatus having a base having a placement surface on which a carrier sheet (carrier film) holding a ceramic green sheet is placed and a suction surface The present invention relates to a sheet handling apparatus having a head.

적층 세라믹 콘덴서 등의 적층 세라믹 전자부품을 제조하는 경우, 캐리어 시트 형상으로 형성된 세라믹 그린시트를 준비하고, 소정의 치수를 갖는 세라믹 그린시트를 잘라낸 후에 캐리어 시트로부터 박리한다. 그리고, 캐리어 시트로부터 박리한 세라믹 그린시트를 적층한다. 이 공정에서 사용할 수 있는 흡인 헤드 및 시트 취급 장치의 일례가 특허문헌 1에 개시되어 있다. 특허문헌 1에 의하면 캐리어 시트의 박리성을 향상시키기 위해서 흡인 헤드에는 흡인 구멍의 특정한 것에 연통되고, 또한 흡인 구멍의 지름보다 큰 개구를 흡착면 상에 위치시키고 있는 흡인 홈이 세라믹 그린시트의 가장자리 둘레부에 대응하는 부분에 단속적으로 분포되도록 형성되어 있다. 이러한 흡인 홈을 형성함으로써 세라믹 그린시트를 캐리어 필름으로부터 확실하고 용이하게 박리할 수 있다고 되어 있다.In the case of producing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor, a ceramic green sheet formed in a carrier sheet shape is prepared, a ceramic green sheet having a predetermined dimension is cut out, and then the ceramic green sheet is peeled from the carrier sheet. Then, the ceramic green sheet peeled off from the carrier sheet is laminated. An example of a suction head and sheet handling apparatus that can be used in this process is disclosed in Patent Document 1. [ According to Patent Document 1, in order to improve the peelability of the carrier sheet, the suction head is provided with suction grooves communicating with specific suction holes and having an opening larger than the diameter of the suction holes on the suction surface, So as to be distributed intermittently at a portion corresponding to the portion of the substrate. By forming such a suction groove, the ceramic green sheet can be reliably and easily peeled off from the carrier film.

일본특허공개 2002-254421호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-254421

그러나, 세라믹 그린시트가 얇아진 경우, 흡인 홈의 개구가 흡인 구멍의 지름보다 큰 것이면, 세라믹 그린시트가 변형되어 버리는 등의 데미지를 입어버린다는 문제가 있다. However, when the ceramic green sheet is thinned, if the opening of the suction groove is larger than the diameter of the suction hole, there is a problem that the ceramic green sheet is damaged.

그러므로, 본 발명의 주된 목적은 흡인에 의한 시트 데미지를 억제하면서 세라믹 그린시트를 캐리어 필름으로부터 확실하고 용이하게 박리할 수 있는 흡인 헤드 및 시트 취급 장치를 제공하는 것이다.Therefore, a main object of the present invention is to provide a suction head and a sheet handling apparatus which can surely and easily peel off a ceramic green sheet from a carrier film while suppressing sheet damage by suction.

이 발명에 따라 흡인 헤드(14: 실시예에서 상당하는 참조 부호. 이하 동일)는 세라믹 그린시트(20)를 유지하기 위한 흡인면을 갖는 흡인 헤드(14)이며, 흡인면은 복수의 흡인 구멍(HL, HL, …) 및 복수의 홈(GR, GR, …)을 갖고, 상기 복수의 홈은 상기 흡인면 내의 단부 영역의 적어도 한 변에 상기 흡인면의 외주를 따르는 방향으로 형성되고, 상기 복수의 흡인 구멍 중 상기 흡인면 내의 단부 영역에 배치되는 흡인 구멍은 상기 홈을 통과하도록 형성되어 있다. According to the present invention, the suction head 14 (corresponding to the corresponding reference numerals in the embodiment, hereinafter the same) is a suction head 14 having a suction surface for holding the ceramic green sheet 20, and the suction surface has a plurality of suction holes Wherein the plurality of grooves are formed in at least one side of an end region in the suction surface in a direction along the outer periphery of the suction surface, and the plurality of grooves A suction hole disposed in an end region within the suction surface is formed to pass through the groove.

바람직하게는 상기 홈의 홈 폭은 상기 흡인면 내의 단부 영역에 배치되는 흡인 구멍의 직경보다 작다.Preferably, the groove width of the groove is smaller than the diameter of the suction hole disposed in the end region within the suction surface.

바람직하게는 상기 복수의 홈 중 상기 흡인면의 최외주에 형성되는 홈은 상기 복수의 흡인 구멍 중 가장 외측 부근에 배치되는 최외 흡인 구멍보다 더 외측에 형성되고, 또한 상기 최외 흡인 구멍의 외주에 접하도록 형성되어 있다. Preferably, the grooves formed in the outermost periphery of the suction surface of the plurality of grooves are formed on the outer side of the outermost suction holes arranged nearest out of the plurality of suction holes, and the grooves formed on the outer periphery of the outermost suction holes .

바람직하게는 상기 복수의 홈 중 상기 흡인면의 최외주에 형성되는 홈과, 상기 흡인면의 단부의 거리는 상기 최외주에 형성되는 홈의 홈 폭을 조정함으로써 조정되고 있다.Preferably, the distance between the groove formed at the outermost periphery of the suction surface and the end of the suction surface among the plurality of grooves is adjusted by adjusting the groove width of the groove formed at the outermost periphery.

바람직하게는 상기 복수의 홈끼리를 연결하는 연결 홈이 더 형성되어 있다. Preferably, a connection groove is formed to connect the plurality of grooves.

바람직하게는 상기 복수의 홈은 모따기 가공이 실시된 폭방향 단부를 각각이 갖고 있다. Preferably, the plurality of grooves have respective widthwise end portions subjected to chamfering.

바람직하게는 상기 복수의 흡인 구멍 각각의 가장자리는 모따기 가공이 실시되어 있다.Preferably, the edges of each of the plurality of suction holes are chamfered.

본 발명을 따르는 시트 취급 장치(10)는,The sheet handling apparatus 10 according to the present invention,

세라믹 그린시트(20)를 유지한 캐리어 시트(18)가 재치되는 재치면을 갖는 기반(12), 및A base 12 having a placement surface on which the carrier sheet 18 holding the ceramic green sheet 20 is placed,

상기 재치면에 대향하는 흡인면을 가져서 상기 세라믹 그린시트를 흡인하는 흡인 헤드(14)를 구비하는 시트 취급 장치로서,And a suction head (14) having a suction surface facing the placement surface and sucking the ceramic green sheet,

상기 흡인면은 복수의 흡인 구멍(HL, HL, …) 및 복수의 홈(GR, GR, …)을 갖고,The suction surface has a plurality of suction holes (HL, HL, ...) and a plurality of grooves (GR, GR, ...)

상기 복수의 홈은 상기 흡인면 내의 단부 영역의 적어도 한 변에 상기 흡인면의 외주를 따르는 방향으로 형성되고,Wherein the plurality of grooves are formed in at least one side of an end region within the suction surface in a direction along an outer periphery of the suction surface,

상기 복수의 흡인 구멍 중 상기 흡인면 내의 단부 영역에 배치되는 흡인 구멍은 상기 홈을 통과하도록 형성되어 있다. And a suction hole disposed in an end region of the suction surface of the plurality of suction holes is formed to pass through the groove.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명에 의하면 흡인에 의한 시트 데미지를 억제하면서 세라믹 그린시트를 캐리어 필름으로부터 확실하고 용이하게 박리할 수 있는 흡인 헤드 및 시트 취급 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a suction head and a sheet handling apparatus capable of reliably and easily separating a ceramic green sheet from a carrier film while suppressing sheet damage caused by suction.

본 발명의 상술의 목적, 그 외의 목적, 특징 및 이점은 도면을 참조하여 행하는 이하의 실시예의 상세한 설명으로부터 한층 더 분명해질 것이다. The above and other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 시트 취급 장치의 일부를 잘라내어 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 시트 취급 장치를 Y축 방향으로 보았을 때의 도면이며, 세라믹 그린시트가 상면에 형성된 캐리어 시트를 흡인 헤드 밑에 배치한 상태의 일례를 나타내는 도해도이다.
도 3은 캐리어 시트 상의 세라믹 그린시트를 컷팅날로 컷팅한 상태의 일례를 나타내는 도해도이다.
도 4는 컷팅된 시트편을 흡인 헤드에 의해 흡인하고, 캐리어 시트로부터 박리한 상태의 일례를 나타내는 도해도이다.
도 5(a)는 흡인 헤드의 형상의 일례의 일부를 나타내는 확대 사시도, 도 5(b)는 흡인 헤드의 흡인면에 형성된 홈 및 흡인 구멍의 일부를 나타내는 확대도이다.
도 6(a)는 상기 흡인 헤드의 흡인면의 일부를 나타내는 확대 평면도이다. 도 6(b)는 도 6(a)에 있어서의 A-A 화살선 단면도이며, 도 6(c)는 도 6(a)에 있어서의 B-B 화살선 단면도이다.
도 7(a) 및 도 7(b)는 홈 형상의 변형례의 도 6(a)에 있어서의 B-B에 대응하는 위치의 화살선 단면도이다.
도 8은 홈 형상의 변형례의 단면도이다. 도 8(a)는 도 6(a)에 있어서의 A-A에 대응하는 위치의 화살선 단면도이며, 도 8(b)는 도 6(a)에 있어서의 B-B에 대응하는 위치의 화살선 단면도이다.
도 9(a) 및 도 9(b)는 다른 예의 흡인 헤드의 흡인면의 일부를 나타내는 확대 평면도이다.
도 10(a)는 그 외의 예의 흡인 헤드의 흡인면에 형성된 홈 및 흡인 구멍의 일부를 나타내는 확대도이다. 도 10(b)는 상기 흡인 헤드의 흡인면의 일부를 나타내는 확대 평면도이다.
도 11은 또 다른 예의 흡인 헤드의 흡인면의 일부를 나타내는 확대 평면도이다.1 is a perspective view showing a part of a sheet handling apparatus of the present invention cut out.
Fig. 2 is a view showing the sheet handling apparatus shown in Fig. 1 viewed in the Y-axis direction, and is a view showing an example of a state in which a carrier sheet on which a ceramic green sheet is formed is arranged below a suction head.
Fig. 3 is a diagram showing an example of a state in which a ceramic green sheet on a carrier sheet is cut with a cutting edge. Fig.
Fig. 4 is an illustrative view showing an example of a state in which a cut sheet piece is sucked by a suction head and separated from a carrier sheet. Fig.
Fig. 5 (a) is an enlarged perspective view showing a part of an example of the shape of a suction head, and Fig. 5 (b) is an enlarged view showing a part of a groove and a suction hole formed on a suction surface of a suction head.
6 (a) is an enlarged plan view showing a part of a suction surface of the suction head. 6 (b) is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 6 (a), and FIG. 6 (c) is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 6 (a).
Figs. 7 (a) and 7 (b) are sectional views of arrows at positions corresponding to BB in Fig. 6 (a) in a modification of the groove shape.
8 is a cross-sectional view of a modification of the groove shape. Fig. 8A is a sectional view of an arrow in a position corresponding to AA in Fig. 6A, and Fig. 8B is a sectional view of an arrow in a position corresponding to BB in Fig. 6A.
9 (a) and 9 (b) are enlarged plan views showing a part of a suction surface of a suction head of another example.
10 (a) is an enlarged view showing a part of a groove and a suction hole formed in a suction surface of a suction head of another example. 10 (b) is an enlarged plan view showing a part of the suction surface of the suction head.
11 is an enlarged plan view showing a part of a suction surface of a suction head of still another example.

도 1을 참조하여 이 실시예의 시트 취급 장치(10)는 직육면체 형상의 기반(12)을 포함한다. 이하에서는 기반(12)을 이루는 직육면체의 길이방향, 폭방향 및 높이방향으로 X축, Y축 및 Z축을 할당한다.Referring to Fig. 1, the sheet handling apparatus 10 of this embodiment includes a base 12 in the form of a rectangular parallelepiped. Hereinafter, the X axis, the Y axis, and the Z axis are assigned in the longitudinal direction, the width direction, and the height direction of the rectangular parallelepiped forming the base 12.

기반(12)의 상면(=Z축 방향의 정측(正側)을 향하는 면: 이하에서는 「재치면」이라고 부른다)에는 캐리어 시트(18)가 재치(적재)된다. 캐리어 시트(18)는 기반(12)의 폭에 상당하는 폭과 임의의 길이를 갖고, 도시하지 않은 반송 롤러에 의해 X축 방향에 있어서의 부측(負側)으로부터 정측으로 간헐적으로 반송된다. 또한, 캐리어 시트(18)의 상면에는 세라믹 그린시트(20)가 전면적으로 형성된다. 이하, 세라믹 그린시트(20)를 「그린시트(20)」라고 부른다.The carrier sheet 18 is placed (loaded) on the upper surface of the base 12 (= surface facing the positive side in the Z-axis direction: hereinafter referred to as the " placement surface "). The carrier sheet 18 has a width and an arbitrary length corresponding to the width of the base 12 and is intermittently conveyed from the negative side to the positive side in the X axis direction by a conveying roller not shown. On the upper surface of the carrier sheet 18, a ceramic green sheet 20 is formed entirely. Hereinafter, the ceramic green sheet 20 is referred to as " green sheet 20 ".

기반(12)의 상방에는 직육면체 형상의 흡인 헤드(14)가 배치된다. 흡인 헤드(14)를 이루는 직육면체의 길이방향, 폭방향 및 높이방향은 각각 X축, Y축 및 Z축을 따른다.A rectangular parallelepiped suction head 14 is disposed above the base 12. The longitudinal direction, the width direction and the height direction of the rectangular parallelepiped constituting the suction head 14 are along the X axis, the Y axis and the Z axis, respectively.

흡인 헤드(14)에는 4개의 측면이 있고, 각각의 측면에는 컷팅날(16)이 설치된다. 컷팅날(16)의 칼날 길이는 흡인 헤드(14)의 길이방향 또는 폭방향의 치수와 일치한다. 도 1에 있어서는 설명을 용이하게 행하기 위해서 흡인 헤드(14)의 X축 방향에 있어서의 부측의 측면에 설치되는 컷팅날(16)만을 도시하고 있다.The suction head 14 has four side surfaces, and a cutting edge 16 is provided on each side surface. The blade length of the cutting blade 16 corresponds to the dimension in the longitudinal direction or the width direction of the suction head 14. 1, only the cutting edge 16 provided on the side surface of the suction head 14 on the side in the X-axis direction is shown for easy explanation.

X축 방향에 있어서의 부측으로부터 바라보았을 때, 컷팅날(16)의 선단 부분은 흡인 헤드(14)의 하면(=Z축 방향의 부측을 향하는 면: 이하에서는 「흡인면」이라고 부른다)보다 Z축 방향의 부측으로 돌출된다. Y축 방향으로부터 바라보았을 때, 컷팅날(16)의 선단 부분은 예각을 이룬다.The front end portion of the cutting blade 16 is positioned at a position closer to the lower side of the suction head 14 (= a surface facing the side in the Z-axis direction: hereinafter referred to as a "suction surface") as viewed from the side in the X- And protrudes to the negative side in the axial direction. When viewed from the Y-axis direction, the tip portion of the cutting blade 16 forms an acute angle.

상술한 바와 같이, 캐리어 시트(18)는 X축 방향에 있어서의 부측으로부터 정측으로 간헐적으로 반송된다. 1회의 반송이 완료되면 기반(12)의 재치면에 하향의 흡인력이 발생하고, 이어서 흡인 헤드(14)가 강하한다. 캐리어 시트(18)의 상면에 형성된 그린시트(20)는 흡인 헤드(14)가 강하했을 때에 컷팅날에 의해 절단된다 (도 2~도 3 참조). 절단에 의해 얻어진 시트편(22)의 주면의 크기는 흡인 헤드(14)의 흡인면의 크기와 일치한다.As described above, the carrier sheet 18 is intermittently conveyed from the negative side to the positive side in the X-axis direction. When the conveyance is completed once, a downward suction force is generated on the placement surface of the base 12, and then the suction head 14 descends. The green sheet 20 formed on the upper surface of the carrier sheet 18 is cut by a cutting edge when the suction head 14 descends (see Figs. 2 to 3). The size of the main surface of the sheet piece 22 obtained by cutting corresponds to the size of the suction surface of the suction head 14.

그린시트(20)의 절단이 완료되면, 시트편(22)은 흡인 헤드(14)에 발생한 흡인력에 의해 흡인면에 유지된다. 기반(12)의 재치면에 발생한 하향의 흡인력은 시트편(22)이 흡인면에 유지된 후에 해제된다.When the cutting of the green sheet 20 is completed, the sheet piece 22 is held on the suction surface by the suction force generated in the suction head 14. The downward suction force generated on the placement surface of the base 12 is released after the sheet piece 22 is held on the suction surface.

흡인 헤드(14)는 그 후, 강하 전의 원래의 위치까지 상승한다. 흡인면에 유지된 시트편(22)은 캐리어 시트(18)로부터 박리되어 흡인 헤드(14)의 상승에 따라 상승한다(도 4 참조). 이렇게 해서 박리된 시트편(22)은 다른 공정(=적층 공정)으로 옮겨진다. 흡인 헤드(14)에 발생한 흡인력은 시트편(22)을 다른 공정으로 옮길 때에 해제된다.The suction head 14 then rises to its original position before the descent. The sheet piece 22 held on the suction surface is peeled off from the carrier sheet 18 and rises as the suction head 14 rises (see Fig. 4). The peeled sheet piece 22 is transferred to another step (= lamination step). The suction force generated in the suction head 14 is released when the sheet piece 22 is transferred to another process.

도 5를 참조하여 흡인 헤드(14)의 흡인면에는 복수의 흡인 구멍(HL) 및 복수의 홈(GR)이 형성된다. 복수의 흡인 구멍(HL)은 진공원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 복수의 홈(GR)은 흡인면 내의 단부 영역에 흡인면의 외주를 따르는 방향으로 형성되어 있다. 동 도면에 있어서는 홈(GR)은 흡인면 내의 각 변의 외주를 따라 형성되고, 네 코너에 있어서 연결되어 있지만 적어도 한 변에 형성되어 있으면 좋다. 복수의 흡인 구멍(HL) 중 흡인면 내의 단부 영역에 배치되는 흡인 구멍은 홈(GR)을 통과하도록 형성되어 있다. 즉, 상기 흡인 구멍(HL)이 상기 홈(GR)의 폭 방향 전부 또는 일부에서 겹쳐, 상기 흡인 구멍(HL)과 상기 홈(GR)이 서로 통하도록 형성될 수 있다(도 6, 도 9 참고).Referring to FIG. 5, a plurality of suction holes HL and a plurality of grooves GR are formed on the suction surface of the suction head 14. The plurality of suction holes HL are connected to a vacuum source (not shown). The plurality of grooves (GR) are formed in the end region in the suction surface in the direction along the outer periphery of the suction surface. In the figure, the grooves GR are formed along the outer periphery of each side in the suction surface and are connected at four corners but may be formed on at least one side. Among the plurality of suction holes HL, the suction holes disposed in the end regions within the suction surface are formed to pass through the grooves GR. That is, the suction hole HL may overlap the entire or a part of the width of the groove GR so that the suction hole HL and the groove GR communicate with each other (see FIGS. 6 and 9) ).

도 1~4에 나타내는 바와 같이 캐리어 시트(18)가 X축 방향으로 반송되는 경우, 홈(GR)은 Y축 방향으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 절단 후의 시트편(22)이 박리될 때, 캐리어 필름(18)에 대하여 시트편(22)은 외주 부근으로부터 중앙을 향해 서서히 박리된다. 이 때, 홈(GR)이 흡인면의 단부 영역의 적어도 한 변에 연속해서 형성되어 있는 것에 의해 시트편(22)의 일단부를 변 전체에서 고정하는 것이 가능해지고, 시트편(22)을 캐리어 시트(18)로부터 안정되게 박리할 수 있게 된다.When the carrier sheet 18 is transported in the X-axis direction as shown in Figs. 1 to 4, it is preferable that the grooves GR are formed in the Y-axis direction. When the sheet piece 22 after the cutting is peeled off, the sheet piece 22 is gradually peeled from the vicinity of the periphery toward the center with respect to the carrier film 18. At this time, since the groove GR is formed continuously on at least one side of the end surface region of the suction surface, it becomes possible to fix the one end of the sheet piece 22 at the side edge, And can be stably peeled off from the base 18.

흡인 구멍(HL)의 개구 형상은 원 형상이며, 홈(GR)의 홈 폭은 흡인면 내의 단부 영역에 배치되는 흡인 구멍(HL)의 직경보다 작은 것이 바람직하다. 상기 단부 영역에 배치되는 흡인 구멍의 직경은 0.1㎜~1㎜의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 상기 홈 폭은 0.05㎜~0.5㎜의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 흡인면에 있어서 홈(GR)은 같은 면적을 차지하는 것이면, 예를 들면 폭이 넓은 홈을 소수개 형성하는 것보다 폭이 좁은 홈을 다수개 형성하는 쪽이 흡인 시에 그린시트가 홈의 안까지 들어가기 어려워져 그린시트의 변형을 억제할 수 있으므로 바람직하다.It is preferable that the opening shape of the suction hole HL is circular and the groove width of the groove GR is smaller than the diameter of the suction hole HL disposed in the end area within the suction surface. The diameter of the suction hole disposed in the end region is preferably in the range of 0.1 mm to 1 mm. The groove width is preferably in the range of 0.05 mm to 0.5 mm. If the grooves GR on the suction surface occupy the same area, for example, if a plurality of narrow grooves are formed as compared with a case in which a small number of grooves having a wide width are formed, So that deformation of the green sheet can be suppressed.

도 6(a)는 도 5에 나타내는 흡인 헤드의 흡인면의 일부를 나타내는 확대 평면도이다. 도 6(b)는 도 6(a)에 있어서의 A-A 화살선 단면도이며, 도 6(c)는 도 6(a)에 있어서의 B-B 화살선 단면도이다. 홈(GR)의 깊이는 0.01㎜~0.5㎜의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 이러한 홈을 형성함으로써 흡인 헤드에 의한 그린시트의 유지를 넓은(긴) 영역에서 행할 수 있고, 그린시트의 캐리어 필름으로부터의 박리를 확실하고 용이하게 행할 수 있다. 또한, 흡인 헤드의 단부 영역에 흡인 구멍(HL)을 다수 형성하려고 하면, 가공이 어렵고 시간이 들지만 홈의 형성은 그것에 비해 매우 용이하게 행할 수 있다.Fig. 6 (a) is an enlarged plan view showing a part of a suction surface of the suction head shown in Fig. 5; 6 (b) is a cross-sectional view taken along the line A-A in FIG. 6 (a), and FIG. 6 (c) is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. The depth of the groove (GR) is preferably in the range of 0.01 mm to 0.5 mm. By forming such a groove, the green sheet can be held by the suction head in a wide area, and peeling from the carrier film of the green sheet can be reliably and easily performed. Further, if a large number of suction holes HL are formed in the end region of the suction head, it is difficult to process and time-consuming, but the formation of the grooves can be performed very easily.

본 실시형태에 있어서, 홈(GR)의 폭방향의 단면 형상은 직사각형 형상이지만, 도 7(a)에 나타내는 바와 같이 상기 단면 형상은 원호 형상의 형상(R 형상)이어도 좋고, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이 V자 형상이어도 좋다. 홈의 코너 부분이 R 형상이면 국소 박리 공정에 있어서 그린시트(20)가 홈(GR)의 내면에 밀착하도록 변형해도 그린시트(20)의 파손을 생기기 어렵게 할 수 있으므로 바람직하다.In this embodiment, the sectional shape of the groove GR in the width direction is a rectangular shape. However, the sectional shape may be an arc shape (R shape) as shown in Fig. 7 (a) May be V-shaped as shown in Fig. If the corner portion of the groove has an R shape, it is preferable that the green sheet 20 can be prevented from being damaged even if the green sheet 20 is deformed so as to come into close contact with the inner surface of the groove GR in the peeling process.

또한, 홈(GR)의 폭방향의 양단부는 모따기 가공이 실시되어 있는 것이 바람직하다. 모따기 가공에서는 단부를 이루는 각이 낮아지고, 또한 곡면 다듬질이 실시된다. 또한, 복수의 흡인 구멍(HL) 각각의 가장자리는 모따기 가공이 실시되어 있는 것이 바람직하다. 홈(GR) 및 흡인 구멍(HL)에 모따기 가공이 실시되면 도 6(a)에 있어서의 A-A에 대응하는 위치에 있어서의 화살선 단면도는 예를 들면 도 8(a)에, B-B에 대응하는 위치에 있어서의 화살선 단면도는 예를 들면 도 8(b)에 나타내는 바와 같이 홈(GR)의 폭방향 단부 및 흡인 구멍(HL)의 가장자리는 곡면을 이룬다. 홈(GR)의 폭방향 단부, 흡인 구멍(HL)의 가장자리가 모따기 가공이 실시되어 있는 것에 의해 그린시트를 흡인할 때에 그린시트에 가해지는 힘이 완화된다. 이것에 의해 흡인에 의한 시트 데미지를 억제할 수 있으므로 바람직하다.Both ends of the groove GR in the width direction are preferably chamfered. In the chamfering process, the angle forming the end portion is lowered and the surface finishing is performed. It is preferable that the edges of each of the plurality of suction holes HL be chamfered. When chamfering is performed on the groove GR and the suction hole HL, the cross-sectional view of the arrow in the position corresponding to AA in Fig. 6A corresponds to, for example, Fig. 8 (a) For example, as shown in Fig. 8 (b), the edge of the widthwise end of the groove GR and the edge of the suction hole HL form a curved surface. By chamfering the edge of the groove GR in the width direction and the edge of the suction hole HL, the force applied to the green sheet when suctioning the green sheet is relieved. This is preferable because sheet damage caused by suction can be suppressed.

흡인 헤드(14)에 있어서 그린시트(20)의 유지는 시트편(22)의 박리 개시점의 가능한 한 가까운 곳에서 행하면 박리 능력을 향상시킬 수 있다. 따라서, 흡인 헤드(14)의 단부에 가능한 한 가까운 위치에서 시트편을 흡인하는 것이 바람직하다. 그러나, 상술한 바와 같이 단부에 맞대고 흡인 구멍(HL)의 가공을 하는 것은 곤란하다. 그래서, 그린시트(20)(시트편(22))의 유지를 보다 흡인 헤드(14)의 흡인면의 단부 가까이에서 행하기 위해서 흡인 구멍(HL)의 위치는 바꾸지 않더라도 도 9(a)에 나타내는 바와 같이 최외주에 형성되는 홈(GRO)를 흡인면의 가장 외측 부근에 배치되는 최외 흡인 구멍(HLO)보다 더 외측에 형성하고, 최외 흡인 구멍(HLO)의 외주에 접하도록 형성할 수도 있다. 이렇게 최외주의 홈(GRO)을 형성하면 도 6(a)과 같은 흡인 구멍 배치임에도 불구하고 보다 단부에서 시트편(22)의 유지를 행할 수 있다. 흡인면의 최외주에 형성되는 홈(GRO)의 위치는 흡인면의 단부에 가까우면 가까운 쪽이 좋다. 상기 홈(GRO)이 흡인면의 단부의 근처에 있으면, 그린시트의 박리 개시점의 가능한 한 가까운 곳을 유지할 수 있고, 박리 능력을 향상시킬 수 있다.The holding of the green sheet 20 in the suction head 14 can be performed at a position as close as possible to the peeling start point of the sheet piece 22 to improve the peeling ability. Therefore, it is preferable to suck the sheet piece at a position as close as possible to the end of the suction head 14. However, it is difficult to process the suction hole HL against the end portion as described above. Therefore, even if the position of the suction hole HL is not changed in order to carry the green sheet 20 (the sheet piece 22) closer to the end of the suction surface of the suction head 14, The groove GRO formed at the outermost periphery may be formed on the outer side of the outermost suction hole HLO disposed nearest to the outer side of the suction surface and contact with the outer periphery of the outermost suction hole HLO. When the outermost grooves Gro are formed in this way, the sheet pieces 22 can be held at the end portions even in the arrangement of the suction holes as shown in Fig. 6 (a). It is preferable that the position of the groove GRO formed at the outermost periphery of the suction surface is closer to the end of the suction surface. When the groove GRO is located near the end of the suction surface, it is possible to keep as close as possible to the peeling start point of the green sheet, and the peeling ability can be improved.

또는, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이 최외주에 형성되는 홈(GRO)과 흡인면의 단부의 거리는 최외주에 형성되는 홈(GRO)의 홈 폭을 조정함으로써 조정할 수도 있다. 이 경우도, 도 9(a)의 경우와 마찬가지로 도 6(a)와 같은 흡인 구멍 배치임에도 불구하고 보다 단부에서 시트편(22)의 유지를 행할 수 있다.Alternatively, as shown in Fig. 9 (b), the distance between the groove GRO formed at the outermost periphery and the end of the suction surface may be adjusted by adjusting the groove width of the groove GRO formed at the outermost periphery. In this case as well, as in the case of Fig. 9 (a), it is possible to hold the sheet piece 22 at the end portion even though the suction hole arrangement is as shown in Fig. 6 (a).

도 10은 본 발명의 흡인 헤드의 그 밖의 예를 나타낸 도면이다. 도 10(a)는 본 예의 흡인 헤드의 흡인면에 형성된 홈 및 흡인 구멍의 일부를 나타내는 확대도이다. 도 10(b)는 상기 흡인 헤드의 흡인면의 일부를 나타내는 확대 평면도이다. 본 예의 흡인면의 단부 영역에는 복수의 홈(GL)끼리를 연결하는 연결 홈(GR)이 더 형성되어 있다. 도 10에 있어서 연결 홈(GR')은 홈(GR)에 직교하는 방향으로 형성되어 있지만 홈(GL)끼리를 연결하고 있으면 형상이나 방향은 이것에 한정되지 않는다. 이렇게 홈(GL)끼리를 연결하는 연결 홈(GR')을 형성함으로써 흡인 구멍을 통과하지 않지만 그린시트(20)(시트편(22))의 흡인 유지를 행할 수 있는 홈(GR1)을 형성하는 것이 가능해진다. 따라서, 연결 홈(GR')을 형성함으로써 흡인 구멍의 수나 위치에 관계없이 홈의 간격이나 개수를 조정하는 것이 가능해진다.10 is a view showing another example of the suction head of the present invention. 10 (a) is an enlarged view showing a part of a groove and a suction hole formed in a suction surface of a suction head of the present example. 10 (b) is an enlarged plan view showing a part of the suction surface of the suction head. In the end region of the suction surface of this embodiment, a connection groove GR for connecting the plurality of grooves GL is further formed. In Fig. 10, the connection groove GR 'is formed in a direction orthogonal to the groove GR. However, if the grooves GL are connected to each other, the shape and the direction are not limited thereto. By forming the connection grooves GR 'for connecting the grooves GL, grooves GR1 that do not pass through the suction holes but can be sucked and held by the green sheet 20 (sheet pieces 22) are formed Lt; / RTI > Therefore, by forming the connection groove GR ', it is possible to adjust the interval or the number of the grooves irrespective of the number or position of the suction holes.

도 11은 본 발명의 흡인 헤드의 또 다른 예의 흡인 헤드의 흡인면의 일부를 나타내는 확대 평면도이다. 도 11에 나타내는 바와 같이 연결 홈(GR')을 형성함으로써 흡인 구멍을 형성하는 것이 곤란한 흡인면의 최단부의 영역에도 그린시트(20)(시트편(22))의 흡인 유지를 행할 수 있는 홈(GR2)을 형성하는 것이 가능해진다.11 is an enlarged plan view showing a part of a suction surface of a suction head of still another example of the suction head of the present invention. As shown in Fig. 11, grooves (not shown) which can perform suction and holding of the green sheet 20 (sheet piece 22) are also formed in the endmost region of the suction surface where it is difficult to form the suction hole by forming the connection groove GR ' GR2 can be formed.

이렇게 흡인면에는 그 단부 영역의 적어도 한 변에 흡인면의 외주를 따르는 방향으로 복수의 홈(GR)이 형성되어 있으므로 흡인에 의한 시트 데미지를 억제하면서 세라믹 그린시트를 캐리어 필름으로부터 확실하고 용이하게 박리할 수 있다. 예를 들면, 흡인압을 -60kPa로 행했을 경우, 1~3㎛ 정도의 두께의 그린시트를 양호하게 박리할 수 있고, 흡인압 등의 조정에 의해 보다 얇은 그린시트이어도 취급하는 것이 가능하다. 이것에 의해 박층 대용량 콘덴서 등의 개발이 가능해지고, 또한 적층 공정보다 전의 공정에서의 가공 가능 범위를 넓힐 수 있기 때문에 시트 조성, 시트 제조 방법, 시트 특성, 인쇄 공법, 전극 조성 등의 베리에이션을 넓히는 것에 의한 완성품인 칩의 쇼트나 특성 개선도 가능해졌다.Since the plurality of grooves (GR) are formed on at least one side of the end surface area of the suction surface in the direction along the outer periphery of the suction surface, the ceramic green sheet can be reliably and easily peeled off from the carrier film while suppressing sheet damage by suction. can do. For example, when the suction pressure is -60 kPa, a green sheet having a thickness of about 1 to 3 탆 can be satisfactorily peeled off, and even a thinner green sheet can be handled by adjusting the suction pressure or the like. As a result, it is possible to develop a thin film capacitor, etc., and to widen the range of the sheet composition, the sheet production method, the sheet characteristics, the printing method, and the electrode composition, It is possible to shorten the chip and improve the characteristics of the finished product.

또한, 홈(GR)에서 흡인한 경우는 흡인 면적이 커지기 때문에 흡인 구멍(HL)의 수가 적어도 소망의 흡인력을 확보할 수 있다. 이것에 의해 흡인 헤드(14)의 가공에 드는 비용을 억제할 수 있다.Further, in the case of sucking in the groove (GR), since the suction area becomes large, the number of suction holes (HL) can secure at least a desired suction force. As a result, the cost of machining the suction head 14 can be reduced.

즉, 더 얇은 그린시트에 대응하기 위해서는 시트 데미지를 경감하기 위해서 미세한 흡인 구멍이 다수 필요해지는 바, 미세한 흡인 구멍을 다수 가공했을 경우 가공 시간이 걸려 비용이 상승할 뿐만 아니라 리드 타임도 길어져 생산성이 저하한다. 본 발명과 같이 홈을 형성함으로써 흡인 구멍의 수를 억제할 수 있고, 더 얇은 그린시트의 생산성을 높일 수 있다.In other words, in order to cope with a thinner green sheet, a number of fine suction holes are required in order to reduce sheet damage. When a large number of fine suction holes are machined, a long processing time is required to increase cost, do. By forming the grooves as in the present invention, the number of suction holes can be suppressed, and the productivity of a thinner green sheet can be increased.

10 시트 취급 장치 12 기반
14 흡인 헤드 16 컷팅날
18 캐리어 시트
20 세라믹 그린시트(그린시트)
22 시트편 GR, GR1, GR2 홈
HL 흡인 구멍 GRO 최외주 홈
HLO 최외 흡인 구멍
GR' 연결 홈10 Sheet handling system 12 base
14 Suction head 16 Cutting edge
18 Carrier Sheet
20 Ceramic Green Sheet (Green Sheet)
22 Sheet GR, GR1, GR2 groove
HL suction hole Gro outermost groove
HLO Extra suction hole
GR 'connection groove

Claims (8)

세라믹 그린시트를 유지하기 위한 흡인면을 갖는 흡인 헤드로서,
상기 흡인면은 복수의 흡인 구멍 및 복수의 홈을 갖고,
상기 복수의 홈은 상기 흡인면 내의 가장자리 영역의 적어도 한 변에 상기 흡인면의 외주를 따르는 방향으로 형성되고,
상기 복수의 흡인 구멍 중 상기 흡인면 내의 가장자리 영역에 배치되는 흡인 구멍은 상기 홈과 통하도록 형성되며,
상기 복수의 홈 중 상기 흡인면의 최외주에 형성되는 홈은 상기 복수의 흡인 구멍 중 가장 외측 부근에 배치되는 최외 흡인 구멍보다 더 외측에 형성되고, 또한 상기 최외 흡인 구멍의 외주에 접하도록 형성되어 있는 흡인 헤드.A suction head having a suction surface for holding a ceramic green sheet,
Wherein the suction surface has a plurality of suction holes and a plurality of grooves,
Wherein the plurality of grooves are formed in at least one side of an edge region in the suction surface in a direction along an outer periphery of the suction surface,
A suction hole disposed in an edge region of the suction surface of the plurality of suction holes is formed to communicate with the groove,
A groove formed in the outermost periphery of the suction surface of the plurality of grooves is formed on the outer side of the outermost suction holes arranged nearest out of the plurality of suction holes and is formed so as to be in contact with the outer periphery of the outermost suction hole With suction head. 제 1 항에 있어서,
상기 홈의 폭은 상기 흡인면 내의 가장자리 영역에 배치되는 흡인 구멍의 직경보다 작은 흡인 헤드.The method according to claim 1,
And the width of the groove is smaller than the diameter of the suction hole disposed in the edge region in the suction surface. 삭제delete 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 복수의 홈 중 상기 흡인면의 최외주에 형성되는 홈과, 상기 흡인면의 가장자리의 거리는 상기 최외주에 형성되는 홈의 폭을 조정함으로써 조정되어 있는 흡인 헤드.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein a distance between a groove formed at an outermost periphery of the suction surface and a periphery of the suction surface is adjusted by adjusting a width of a groove formed at the outermost periphery of the plurality of grooves. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 복수의 홈끼리를 연결하는 연결 홈이 더 형성되어 있는 흡인 헤드.3. The method according to claim 1 or 2,
And a connection groove for connecting the plurality of grooves is further formed. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 복수의 홈은 모따기 가공이 실시된 폭방향 가장자리를 각각이 갖고 있는 흡인 헤드.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the plurality of grooves each have a widthwise edge where chamfering is performed. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 복수의 흡인 구멍 각각의 가장자리는 모따기 가공이 실시되어 있는 흡인 헤드.3. The method according to claim 1 or 2,
And the edges of each of the plurality of suction holes are chamfered. 세라믹 그린시트를 유지한 캐리어 시트가 적재되는 재치면을 갖는 기반, 및
상기 재치면에 대향하는 흡인면을 가져서 상기 세라믹 그린시트를 흡인하는 흡인 헤드를 구비하는 시트 취급 장치로서,
상기 흡인면은 복수의 흡인 구멍 및 복수의 홈을 갖고,
상기 복수의 홈은 상기 흡인면 내의 가장자리 영역의 적어도 일부에 상기 흡인면의 외주를 따르는 방향으로 형성되고,
상기 복수의 흡인 구멍 중 상기 흡인면 내의 가장자리 영역에 배치되는 흡인 구멍은 상기 홈과 통하도록 형성되며,
상기 복수의 홈 중 상기 흡인면의 최외주에 형성되는 홈은 상기 복수의 흡인 구멍 중 가장 외측 부근에 배치되는 최외 흡인 구멍보다 더 외측에 형성되고, 또한 상기 최외 흡인 구멍의 외주에 접하도록 형성되어 있는 시트 취급 장치.A base having a placement surface on which a carrier sheet holding a ceramic green sheet is placed, and
And a suction head which has a suction surface facing the placement surface and sucks the ceramic green sheet,
Wherein the suction surface has a plurality of suction holes and a plurality of grooves,
Wherein the plurality of grooves are formed in at least a part of an edge region in the suction surface in a direction along an outer periphery of the suction surface,
A suction hole disposed in an edge region of the suction surface of the plurality of suction holes is formed to communicate with the groove,
A groove formed in the outermost periphery of the suction surface of the plurality of grooves is formed on the outer side of the outermost suction holes arranged nearest out of the plurality of suction holes and is formed so as to be in contact with the outer periphery of the outermost suction hole With a sheet handling device.
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