KR101841219B1 - 페이스트 디스펜서 - Google Patents

Abstract

본 발명은, Z축방향으로 이동 가능한 제1가동부재; 상기 제1가동부재를 이동시키는 제1구동유닛; 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착되고 상기 제1가동부재에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동 가능한 제2가동부재; 상기 제1가동부재에 장착된 제2구동유닛; 상기 제2구동유닛에 의하여 Z축방향으로 이동되며 Y축방향으로 배치된 제1단속부재와, 상기 제2가동부재에 연결되고 상기 제1단속부재와 접촉 가능하도록 상기 제1단속부재의 상측에 Y축방향으로 배치된 제2단속부재로 구성되어 상기 제2구동유닛에서 상기 제2가동부재로의 동력전달을 단속하는 단속유닛; 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재가 접촉되도록 서로 결합시키거나 결합을 해제시키는 탈착유닛을 포함하기 때문에, 보정된 노즐과 기판 사이의 간격이 의도하지 않게 변경됨에 따른 페이스트 패턴 불량을 방지할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공한다.

Description

페이스트 디스펜서{PASTE DISPENSER}

본 발명은 기판 상에 페이스트를 도포하는 디스펜서에 관한 것이다.

평판디스플레이(Flat Panel Display ; FPD)는 브라운관이 적용된 텔레비전이나 모니터에 비하여 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display ; LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel ; PDP), 전계방출 디스플레이(Field Emission Display ; FED), 유기발광 다이오드(Organic Light Emitting Diodes ; OLED) 등이 개발되어 사용하고 있다. 이들 중에서, 액정 디스플레이는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급, 액정 셀들의 광투과율을 조절하여 원하는 화상을 표시할 수 있게 한 장치이다. 이러한 액정 디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 상부기판에 컬러필터와 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대향하는 하부기판에 박막트랜지스터(ThinFilm Transistor; TFT)와 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후, 이들 사이에 형성할 액정층 내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위하여 배향막을 러빙(rubbing)한다. 그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편, 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.

이와 같은 액정패널의 제조과정에 있어서, 기판에의 페이스트 패턴 형성에는 페이스트 디스펜서(paste dispenser)가 사용된다. 이 페이스트 디스펜서가 국내 공개특허공보 제2006-0109205호와 제2011-0029305호(이하, 특허문헌이라 한다.)에 게재되어 있다. 특허문헌 상의 페이스트 디스펜서는 기판이 탑재되는 스테이지, 페이스트가 토출되는 노즐을 갖춘 헤드 어셈블리, 헤드 어셈블리를 지지하는 헤드 지지대 등으로 이루어진다.

이하에서는 도 1을 참조하여 특허문헌 상의 페이스트 디스펜서를 살펴보기로 한다.

페이스트 디스펜서는 노즐(1)과 기판(S)의 상대위치를 변화시켜 가면서 기판(S)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다.)에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 제1가동부재(4)를 상하로 이동시켜 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)을 일정하게 제어하면서 노즐(1) 및/또는 기판을 수평(전후와 좌우)으로 이동시키고, 노즐(1)로부터 페이스트를 토출시켜 기판에 페이스트 패턴을 형성한다.

제1가동부재(4)는 제1구동유닛(6)에 의하여 이동된다. 제1가동부재(4) 측에는 제2가동부재(5)가 상하이동 가능하게 배치되고, 노즐(1)은 제2가동부재(5)에 장착된다. 제2가동부재(5)는 제2구동유닛(7)과 단속유닛에 의하여 이동되는데, 제2구동유닛(7)은 제1가동부재(4)에 장착되고, 단속유닛은 서로 대향하도록 수평으로 배치된 제1단속부재(8)와 제2단속부재(9)로 구성된다. 제1단속부재(8)는 제2구동유닛(7)에 의하여 상하로 이동된다. 제2단속부재(9)는 제1단속부재(8)의 상측에 위치하도록 제2가동부재(5)에 연결되어, 제2가동부재(5)는 제2단속부재(9)를 매개로 하여 제1단속부재(9)에 매달려 있게 된다. 이 같이 매달린 상태의 제2가동부재(5)는, 상측방향 이동은 제1단속부재(8)가 상측으로 이동됨에 따라 제1단속부재(8)와 접촉하는 제2단속부재(9)가 들어 올려지면서 이루어지고, 하측방향 이동은 하측으로 이동되는 제1단속부재(8)를 따라 제2단속부재(9)가 자중에 의하여 제1단속부재(8)와 접촉된 상태로 내려가면서 이루어진다. 제2가동부재(5)를 하측으로 이동 시, 노즐(1)이 기판에 접촉되면서 제2가동부재(5)를 더 이상 하측으로 이동시킬 수 없으면, 제1단속부재(8)만이 하측으로 이동되면서, 두 단속부재(8,9)는 접촉이 해제된다.

이와 같은 특허문헌 상의 페이스트 디스펜서는 제1단속부재(8) 상에 제2단속부재(9)가 단순히 얹히어져 제2가동부재(5)가 매달려 있기 때문에, 스테이지 및 헤드 어셈블리의 구동 시 발생하는 진동과 같은 각종의 외력, 두 단속부재(8,9) 사이로의 이물질 개입 등의 요인으로 인하여 두 단속부재(8,9)의 접촉이 순간적으로 해제되거나 하면서 제2가동부재(5)가 기존의 위치에서 벗어날 수 있고, 이에 따라 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)에 변동이 발생할 수 있다. 즉, 형성할 페이스트 패턴의 단면적(두께)이 요구하는 단면적에 해당되도록 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)을 보정한 상태에서 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)이 변할 수 있는 것이다. 물론, 이처럼 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)이 변하면, 형성된 페이스트 패턴의 단면적이 설정범위(요구하는 단면적)를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 야기될 수 있다.

본 발명의 목적은, 노즐과 기판 사이의 간격이 의도하지 않게 변경되는 방지할 수 있는 페이스트 디스펜서를 제공하는 데 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, Z축방향으로 이동 가능한 제1가동부재; 상기 제1가동부재를 이동시키는 제1구동유닛; 기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착되고 상기 제1가동부재에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동 가능한 제2가동부재; 상기 제1가동부재에 장착된 제2구동유닛; 상기 제2구동유닛에 의하여 Z축방향으로 이동되며 Y축방향으로 배치된 제1단속부재와, 상기 제2가동부재에 연결되고 상기 제1단속부재와 접촉 가능하도록 상기 제1단속부재의 상측에 Y축방향으로 배치된 제2단속부재로 구성되어 상기 제2구동유닛에서 상기 제2가동부재로의 동력전달을 단속하는 단속유닛; 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재가 접촉되도록 서로 결합시키거나 결합을 해제시키는 탈착유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서가 제공된다.

참고로, 본 발명의 실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 상기 기판으로부터 상기 노즐의 간격을 조절하는 페이스트 패턴 단면적 보정 시 상기 제1단속부재와 제2단속부재의 결합이 해제되고 상기 페이스트 패턴 단면적 보정 완료 시 상기 제1단속부재와 제2단속부재가 결합되도록 상기 탈착유닛의 작동을 컨트롤하는 제어유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 탈착유닛은, 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재 중 어느 하나에 구비되고 전원을 공급하면 자화되는 전자석; 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재 중 다른 하나에 구비되며 상기 전자석의 자력에 의하여 상기 전자석에 부착되는 자성체를 포함할 수 있다.

또는, 상기 탈착유닛은 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재를 가압하여 밀착시키는 가압식 밀착수단으로 구성될 수 있다. 이 때, 상기 가압식 밀착수단은, 상기 제1단속부재에 대하여 상기 제2단속부재를 가압하기 위한 가압부재; 상기 제2구동유닛에 의하여 상기 제1단속부재와 함께 이동되고 상기 제2단속부재를 Z축방향으로 이동시키는 제3구동유닛을 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면, 두 단속부재가 탈착유닛에 의하여 탈착되기 때문에, 외부로부터의 충격 등으로 인하여 두 단속부재의 접촉이 순간적으로 해제되거나 하면서 노즐과 기판 사이 간격이 변경되는 것을 방지할 수 있고, 이로 인한 페이스트 패턴 불량률을 최소화할 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 페이스트 디스펜서의 일부를 나타내는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 헤드 어셈블리를 나타내는 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 탈착유닛을 나타내는 확대도이다.
도 5는 도 3에 도시된 위치측정장치를 나타내는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 주요부를 나타내는 구성도이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

도 2 내지 도 5에 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서가 도시되어 있다. 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 프레임(10), 프레임(10)의 상부에 X축방향 또는 Y축방향으로 이동 가능하도록 배치된 테이블(20), 테이블(20) 상에 설치되고 기판(S)이 탑재되는 스테이지(30), 프레임(10)의 양측에 설치되며 Y축으로 연장된 한 쌍의 지지대 가이드(40), 스테이지(30)의 상측에서 한 쌍의 지지대 가이드(40)에 양단이 각각 지지되되고 X축방향으로 연장된 헤드 지지대(50), 헤드 지지대(50)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되며 페이스트를 토출하는 헤드 어셈블리(60), 페이스트 도포동작을 제어하는 제어유닛(도시되지 않음)을 포함한다. 헤드 지지대(50)는 복수 개가 구비될 수 있는 한편, 지지대 가이드(40)에 Y축방향이 아닌, X축방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 헤드 어셈블리(60)에는 레이저 변위센서(71), 페이스트가 저장되는 시린지(72) 및 시린지(72)와 연통되어 페이스트가 토출되는 노즐(73)이 구비된다. 헤드 어셈블리(60)는 하나의 헤드 지지대(50)에 복수 개가 장착될 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 헤드 어셈블리(60)는 지지부재(61), 지지부재(61)에 대하여 Z축방향(도 3에서 볼 때, 상하방향)으로 이동 가능하게 설치된 제1가동부재(62), 제1가동부재(62)에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동 가능하게 지지된 제2가동부재(63)를 포함한다.

제1가동부재(62)에는 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)을 측정하는 레이저 변위센서(71)가 구비된다. 레이저 변위센서(71)는 레이저를 발광하는 발광부 및 기판(S)에서 반사된 레이저를 수광하는 수광부로 구성되고, 기판(S)에서 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어유닛으로 출력한다. 노즐(73)과 기판(S) 중 적어도 하나를 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시켜 가면서 페이스트 패턴을 형성하는 과정에서, 기판(S)의 면이 고르지 않거나 하여 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)이 변하게 되면, 형성된 페이스트 패턴이 설정범위를 벗어나는 페이스트 패턴 불량이 발생할 수 있는바, 이러한 문제를 방지하고자 레이저 변위센서(71)를 구비하는 것이다.

제2가동부재(63)에는 시린지(72), 노즐(73), 시린지(72)와 노즐(73)을 연통시키는 연통관(74)이 구비되는데, 노즐(73)은 레이저 변위센서(71)와 인접한 위치에 배치된다.

지지부재(61)와 제1가동부재(62) 사이에는 제1가동부재(62)를 Z축방향으로 이동시키기 위한 제1구동유닛(81)이 구비되고, 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63) 사이에는 제2가동부재(63)를 제1가동부재(62)에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동시키기 위한 제2구동유닛(82)이 구비된다.

제1구동유닛(81)은 지지부재(61)에 장착된 제1구동모터(811) 및 제1구동모터(811)를 제1가동부재(62)와 연결하는 제1구동축(812)을 포함할 수 있고, 제1구동축(812)은 제1구동모터(811)에 의한 회전방향에 따라 한쪽과 다른 쪽으로 왕복이동을 하는 나사축일 수 있다. 다른 예로, 제1구동유닛(81)으로는 리니어 모터, 공압식이나 유압식 실린더 등이 적용될 수 있다. 이 같은 제1구동유닛(81)에 의하면, 제1가동부재(62)는 지지부재(61)에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동될 수 있다.

제2구동유닛(82)은 단속유닛(64)을 매개로 하여 제2가동부재(63)로의 동력전달을 이룬다. 제2구동유닛(82)은 제1가동부재(62)에 장착된 제2구동모터(821), 제2구동모터(821)를 단속유닛(64)과 연결하는 제2구동축(822)을 포함할 수 있다. 여기서, 제2구동축(822)은 제2구동모터(821)에 의한 회전방향에 따라 한쪽과 다른 쪽으로 왕복이동을 하는 나사축일 수 있다. 다른 예로, 제2구동유닛(82)으로는 리니어 모터, 공압식이나 유압식 실린더 등이 적용될 수 있다. 이 같은 제2구동유닛(82)에 의하면, 제2가동부재(63)는 제1가동부재(62)에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동될 수 있다. 물론, 제2구동유닛(82)이 제1가동부재(62)에 고정되어 있으므로, 제1가동부재(62)를 이동시키면, 제2가동부재(63)가 제1가동부재(62)와 함께 이동된다. 도시하지는 않았으나, 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63)는 각각 가이드의 안내작용에 따라 Z축방향으로 정확히 이동될 수 있다.

단속유닛(64)은 서로 대향하도록 Y축방향으로 배치된 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 포함한다. 제1단속부재(641)는 제2구동유닛(82)에 의하여 Z축방향으로 이동하도록 제2구동유닛(82)과 연결된다. 즉, 제1단속부재(641)는 제2구동축(822)에 연결될 수 있다. 제2단속부재(642)는 제2가동부재(63)에 연결되고 제1단속부재(641)와 접촉 가능하도록 제1단속부재(641)의 상측에 배치되어, 제2가동부재(63)는 제1단속부재(641)와 접촉된 제2단속부재(642)를 통하여 제1단속부재(641)에 자중에 의하여 매달려 있게 된다.

도 3, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)는 탈착유닛(65)에 의하여 서로 접촉하고 있도록 결합되거나 이렇게 결합된 상태가 해제된다. 이러한 탈착유닛(65)은 전원을 공급하면 자기화되는 전자석(651) 및 이 전자석(651)의 자력에 의하여 전자석에 부착되는 자성체(652)를 포함한다. 전자석(651)과 자성체(652)는 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 대향하는 부분에 각각 구비된다. 도 4에는 전자석(651)이 제1단속부재(641)에 구비되고 자성체(652)가 제2단속부재(642)에 구비되는 것으로 도시되어 있으나, 전자석(651)과 자성체(652)의 구비위치는 서로 바뀔 수 있다. 자성체(652)는 전자석(651)의 자력에 의하여 전자석(651)에 부착 가능한 금속부재일 수도 있고, 전자석일 수도 있다. 또는, 제2단속부재(642)의 일부 또는 전체를 전자석(651)의 자력에 의하여 전자석(651)에 부착되는 금속으로 이루어, 제2단속부재(642)의 일부 또는 전체를 자성체(652)로 할 수도 있다.

이와 같은 탈착유닛(65)에 의하면, 전자석(651)에 전원 공급 시 전자석(651)에 자성체(652)가 부착되고, 이에 따라 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)가 서로 결합되므로, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 접촉이 외부로부터의 힘에 의하여 순간적으로 해제되는 등 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 접촉상태가 의도하지 않게 달라지면서 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)이 변경되는 것을 방지할 수 있다. 물론, 전자석(651)으로의 전원공급을 차단하면, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)은 전자석(651)과 자성체(652)에 의한 결합이 해제된다.

탈착유닛(65)에 의한 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합을 해제시킨 상태에서, 제1구동유닛(81)만을 작동시켜 제1가동부재(62)를 하측방향으로 이동시키면, 제2가동부재(63)는 자중으로 인하여 제1단속부재(641)에 제2단속부재(642)를 통하여 매달린 상태로 제1가동부재(62)와 함께 하측방향으로 이동된다. 그리고, 이렇게 이동되다가 노즐(73)이 기판(S)에 접촉되면, 제2가동부재(63)는 더 이상 하측으로 이동될 수 없으므로, 제2가동부재(63)는 정지되고, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)가 이격되면서, 제1가동부재(62)만이 하측으로 이동된다. 이처럼, 노즐(73)이 기판(S)에 접촉되고 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)가 이격된 상태에서는 제1구동유닛(81)에 의하여 제1가동부재(62)를 상측방향으로 이동시키면, 제1단속부재(641)가 제2단속부재(642)와 접촉되기 이전까지는 제2가동부재(63)가 정지된 상태에서 제1가동부재(62)만 상측방향으로 이동되고, 제1단속부재(641)가 제2단속부재(642)와 접촉된 시점부터는 제1가동부재(62)와 함께 제2가동부재(63)가 상측방향으로 이동된다.

따라서, 노즐(73)이 기판(S)에 접촉되지 않은 경우에는 탈착유닛(65)에 의한 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합 여부에 관계 없이 노즐(73)을 레이저 변위센서(71)와 함께 상측방향이나 하측방향으로 이동시킬 수 있고, 레이저 변위센서(71)를 정지시킨 상태에서 노즐(73)만을 상측방향이나 하측방향으로 이동시킬 수 있다. 그리고, 탈착유닛(65)에 의한 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합을 해제시킨 상태에서, 노즐(73)이 기판(S)에 접촉된 상태와 같이 제2가동부재(63)의 하측방향 이동이 제한된 경우에는 노즐(73)을 정지시킨 상태에서 레이저 변위센서(71)만을 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 이격범위 이내에서 상측방향이나 하측방향으로 이동시킬 수 있다. 이와는 다른 예로, 노즐(73)이 기판(S)에 접촉되지 않는 범위에서 제1구동유닛(81)과 제2구동유닛(82)을 동시에 작동시킴으로써, 노즐(73)을 정지시킨 상태로 레이저 변위센서(71)만을 상측방향이나 하측방향으로 이동시킬 수 있고, 또는 레이저 변위센서(71)와 노즐(73)을 서로 반대방향으로 동시에 이동시킬 수 있다.

도 5를 참조하면, 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63) 사이에는 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63)의 Z축방향으로의 상대위치를 측정하는 위치측정장치(90)가 구비된다. 위치측정장치(90)는 제1가동부재(62)에 구비된 기준부(91), 제2가동부재(63)에 구비되어 기준부(91)의 Z축방향 위치를 감지하는 감지부(92)를 포함한다. 이러한 위치측정장치(90)는 기준부(91)와 감지부(92)의 상호작용에 의하여 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63)의 Z축방향으로의 상대위치를 측정한다. 일례로, 기준부(91)는 소정의 눈금을 가지는 스케일로 구성될 수 있고, 감지부(92)는 스케일을 촬상하는 카메라로 구성될 수 있는데, 이 경우에는 카메라에 의하여 촬상된 스케일의 이미지로부터 기준부(91) 및 감지부(92)의 상대위치를 측정할 수 있다. 다른 예로, 기준부(91)는 위치에 따라 반사각도가 달라지는 반사면으로 구성될 수 있고, 감지부(92)는 반사면에서 반사되는 광을 수광하는 수광센서로 구성될 수 있는데, 이 경우에는 별도의 광원에서 발광되어 반사면으로부터 반사되는 광을 수광센서가 측정함으로써 기준부(91) 및 감지부(92)의 상대위치를 측정할 수 있다. 참고로, 도 3과 도 5에는 제1가동부재(62)에 기준부(91)가 구비되고 제2가동부재(63)에 감지부(92)가 구비되는 것으로 도시하였으나, 기준부(91)와 감지부(92)의 위치는 서로 바뀔 수 있다.

기준부(91)와 감지부(92)의 상대위치는 제1가동부재(62)와 제2가동부재(63)의 상대위치에 따라 변하게 된다. 노즐(73)의 토출구와 레이저 변위센서(71)의 Z축방향 간격을 A라 하고, 레이저 변위센서(71)와 기판(S) 사이의 간격을 B라 하며, 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격을 G라 할 때, G = B - A의 식 1을 만족하게 된다. 도 5를 참조하면, 기준부(91)의 임의위치를 영점(O)으로 하고, 영점(O)에서의 노즐(73)의 토출구와 레이저 변위센서(71)의 간격을 AO라 할 때, 제2가동부재(63)가 제1가동부재(62)에 대하여 상측방향으로 거리 C만큼 이동하면, 위의 식 1에서 A = AO - C가 되므로, 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)은 G = B - (AO - C)의 식을 만족하게 된다. 또한, 제2가동부재(63)가 제1가동부재(62)에 대하여 하측방향으로 거리 C만큼 이동하면, 위의 식 1에서 A = AO + C가 되므로, 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)은 G = B - (AO + C)의 식을 만족하게 된다. 이렇게 레이저 변위센서(71)와 노즐(73)의 상대위치를 변화시키는 경우, 위치측정장치(90)의 영점(O)에서의 노즐(73)의 토출구와 레이저 변위센서(71)의 간격(AO)을 미리 측정한 상태에서, 위치측정장치(90)를 이용하여 측정된 레이저 변위센서(71)에 대한 노즐(73)의 위치(C)와 레이저 변위센서(71)를 이용하여 노즐(73)의 토출구와 기판(S) 사이의 간격(G)을 측정할 수 있다.

기판(S)에 페이스트 패턴을 형성한 다음에는 페이스트 패턴의 단면적이 미리 설정한 단면적범위 이내에 있는지를 확인하기 위하여 페이스트 패턴의 단면적을 측정한다. 이 때, 페이스트 패턴의 단면적이 미리 설정한 단면적범위 이내에 있지 않은 경우에는 기판(S)과 노즐(73) 사이의 간격(G)을 조절하는 페이스트 패턴 단면적 보정작업을 행하는데, 페이스트 패턴의 단면적이 미리 설정한 단면적범위보다 작은 경우에는 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)을 크게 하는 보정을 하고, 반대로 페이스트 패턴의 단면적이 미리 설정한 단면적범위보다 큰 경우에는 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)을 작게 하는 보정을 한다. 이러한 보정작업을 위하여, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)는 탈착유닛(65)에 의한 결합을 해제시키고, 제1구동유닛(81)은 정지시켜 레이저 변위센서(71)의 기판(S)으로부터의 상하방향으로의 위치를 고정한 상태에서, 제2구동유닛(82)은 작동시켜 노즐(73)을 상하방향으로 이동시키면서 노즐(73)의 기판(S)으로부터의 상하방향으로의 위치를 조절한다.

이와 같은 노즐(73)과 기판(S) 사이의 간격(G)에 대한 보정작업이 완료되면, 탈착유닛(65)에 의하여 보정작업 완료시점에 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 서로 결합시킴으로써, 노즐(1)과 기판 사이 간격(G)을 보정한 상태로 유지한다.

참고로, 탈착유닛(65)에 의한 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합 및 그 해제를 비롯하여 페이스트 패턴 단면적 보정작업은 제어유닛에 의하여 자동적으로 이루어질 수 있다.

도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 주요부를 나타내는 구성도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서는 제1실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 그 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 결합시키거나 결합을 해제시키기 위한 탈착유닛(65A)의 구성만이 상이하다. 즉, 제2실시예의 탈착유닛(65A)은 제1단속부재(641)에 제2단속부재(642)가 밀착되도록 제2단속부재(642)를 상측에서 가압하는 가압식 밀착수단으로 구성된다. 이를 설명하면 다음과 같다.

탈착유닛(65A)은 제1단속부재(641)에 대하여 상기 제2단속부재(642)를 가압하기 위한 가압부재(653) 및 가압부재(653)를 Z축방향으로 이동시키는 제3구동유닛(654)를 포함한다. 이에, 제3구동유닛(654)에 의하여 가압부재(653)를 하측으로 일정한 거리 이동시켜 제1단속부재(641)의 상측에 위치한 제2단속부재(642)를 가압부재(653)로 가압하면, 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)는 서로 밀착되면서 결합된다.

제3구동유닛(654)은 제2구동유닛(도면부호 821, 822 참조)에 의하여 제1단속부재(641)와 함께 Z축방향으로 이동되도록 제2구동유닛과 연결된다. 즉, 제3구동유닛(654)은 제2구동축(822)에 연결될 수 있다. 이러한 제3구동유닛(654)은 공압식이나 유압식 실린더일 수 있고, 가압부재(653)는 제3구동유닛(654)을 구성하는 실린더의 실린더 로드의 선단에 장착될 수 있다. 가압부재(653)로는 제2구동유닛을 구성하는 제2구동모터(821)와 제2구동축(822)을 포함하는 타입, 리니어 모터 등이 적용될 수 있다.

도 6에서, (A)는 제3구동유닛(654)에 의하여 가압부재(653)를 하측으로 이동시켜 제2단속부재(642)를 가압함으로써 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 결합시킨 상태를 나타내고, 이와 반대로, (B)는 제3구동유닛(654)에 의하여 가압부재(653)를 상측으로 이동시켜 제2단속부재(642)에 대한 가압을 제거함으로써 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)의 결합을 해제시킨 상태를 나타낸다.

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.

예를 들면, 위에서는 탈착유닛(65,65A)이 전자석(651)의 자력을 이용하는 것이거나 가압식 밀착수단으로 구성되는 것으로 설명하였으나, 탈착유닛은 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 클램핑하여 결합시키는 클램프로 구성될 수도 있다. 일례로, 클램프는 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642) 중 적어도 하나에 회전 가능하게 장착되어 회전방향에 따라 제1단속부재(641)와 제2단속부재(642)를 클램핑하거나 클램핑을 해제하는 단수 또는 복수의 클램핑 암 및 이러한 클램핑 암을 회전시키는 구동유닛을 포함할 수 있다.

61 : 지지부재 62 : 제1가동부재
63 : 제2가동부재 64 : 단속유닛
641 : 제1단속부재 642 : 제2단속부재
65, 65A : 탈착유닛 651 : 전자석
652 : 자성체 653 : 가압부재
654 : 제3구동유닛 73 : 노즐
81 : 제1구동유닛 82 : 제2구동유닛

Claims (4)

1. Z축방향으로 이동 가능한 제1가동부재;
   상기 제1가동부재에 구비되는 레이저 변위센서;
   상기 제1가동부재를 이동시키는 제1구동유닛;
   기판에 페이스트를 토출하는 노즐이 장착되고 상기 제1가동부재에 대하여 단독으로 Z축방향으로 이동 가능한 제2가동부재;
   상기 제1가동부재에 연결되어 상기 제2가동부재를 Z축방향으로 이동시키는 제2구동유닛;
   상기 제2구동유닛에 의하여 Z축방향으로 이동되며 Y축방향으로 배치된 제1단속부재와, 상기 제2가동부재에 연결되고 상기 제1단속부재와 접촉 가능하도록 상기 제1단속부재의 상측에 Y축방향으로 배치된 제2단속부재로 구성되어 상기 제2구동유닛에서 상기 제2가동부재로의 동력전달을 단속하는 단속유닛;
   상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재를 결합 해제하여 상기 레이저 변위센서에 대한 상기 노즐의 위치가 조절되도록 하고, 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재를 결합시켜 상기 레이저 변위센서에 대한 상기 노즐의 위치를 고정하는 탈착유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 탈착유닛은,
   상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재 중 어느 하나에 구비되고 전원을 공급하면 자화되는 전자석;
   상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재 중 다른 하나에 구비되며 상기 전자석의 자력에 의하여 상기 전자석에 부착되는 자성체를 포함하는 페이스트 디스펜서.
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 탈착유닛은 상기 제1단속부재와 상기 제2단속부재를 가압하여 밀착시키는 가압식 밀착수단으로 구성된 페이스트 디스펜서.
4. 청구항 3에 있어서, 상기 가압식 밀착수단은,
   상기 제1단속부재에 대하여 상기 제2단속부재를 가압하기 위한 가압부재;
   상기 제2구동유닛에 의하여 상기 제1단속부재와 함께 이동되고 상기 제2단속부재를 Z축방향으로 이동시키는 제3구동유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서.

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