KR101825513B1

KR101825513B1 - 곡면형 기판 합착장치 및 이를 이용한 합착방법

Info

Publication number: KR101825513B1
Application number: KR1020170071645A
Authority: KR
Inventors: 윤양수; 김주호; 조희국
Original assignee: (주)윤텍
Priority date: 2017-06-08
Filing date: 2017-06-08
Publication date: 2018-03-22

Abstract

본 발명은 곡면형 기판을 고정하도록 상기 기판에 대응되는 형상의 기판안착부를 구비한 기판지그부; 상기 기판지그부와 대향하도록 설치되고, 상기 기판에 부착되는 플렉서블 소재의 양측면을 고정시키도록 서로 이격되어 구비되는 한쌍의 제1 및 제2 고정부; 상기 제1 및 제2 고정부 사이에 구비되어 상기 기판지그부를 향하여 상하이동이 가능하도록 구비되는 리프팅부; 상기 리프팅부 상에 구비되어 상기 플렉서블 소재를 상기 기판지그부 측으로 가압하고, 기체의 유입에 의하여 가역적으로 팽창되는 압착패드부; 상기 압착패드부와 연결되어 상기 압착패드부로 기체를 주입하는 기체주입부; 및 상기 기체주입부의 온/오프를 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 압착패드부는 탄성변형되어 상기 플렉서블 소재가 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압한 후, 상기 기판의 사이드부로 제2 가압하는 곡면형 기판 합착장치에 대한 것이다.

Description

곡면형 기판 합착장치 및 이를 이용한 합착방법 {Bonding device for a curved substrate, bonding method using it}

본 발명은 곡면형 기판 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 형상에 대한 제약없이 곡면형 기판에 필름 등과 같인 플렉서블 소재를 용이하게 합착할 수 있는 곡면형 기판 합착장치 및 이를 이용한 합착방법에 관한 것이다.

컴퓨터, 휴대용 단말기 및 각종 정보기기의 모니터 등에는 유기 발광 표시장치 (Organic Light Emitting Display Device), 액정 표시장치 (Liquid Crystal Display Device) 등과 같은 다양한 종류의 표시장치가 사용되고 있다.

이러한 표시장치들은 영상을 표시하는 표시패널과 영상이 출사되는 방향 상에 이를 보호하기 위한 윈도우가 부착된다. 표시패널에 윈도우를 부착하기 위해 표시패널 상에 접착층을 액상으로 도포한 후, 상압 상태에서 표시패널과 윈도우를 합착하고, 접착층을 경화시킨다.

평판 표시장치의 경우, 이와 같이 상압 상태에서 접착층을 이용하여 표시패널과 윈도우를 합착하는 방법을 이용하더라도 접착층에 기포가 발생하거나, 접착이 불균일하게 된다는 문제가 발생하지 않는다. 그러나, 곡면 형상의 가요성 표시 장치의 경우, 접착 균일성, 접착층 내 기포 발생, 표시패널과 윈도우 사이의 정렬(alignment) 등에서 문제가 발생할 수 있다.

이를 해결하기 위하여, 종래에는 한국등록특허 제10-1048696호 및 한국등록특허 제10-1057038호 등을 통해 다양한 합착장치를 소개하고는 있지만, LOCA 필름이나 OCR 접착재와 같은 액상의 접착재를 패널에 도포한 후 그 위에 윈도우를 합착시키는 경우에도 합착면에 공기 방울 형상의 에어 갭이 생기는 문제점이 있어, 합착 공정을 별도의 진공챔버에서 진공하에 실시하고 있는 실정이다. 이에 따라, 진공챔버와 기타 진공설비에 소요되는 비용이 증가하고 장치 및 공정이 복잡하여 작업 효율이 저하되는 문제점이 존재한다.

본 발명의 목적은 다양한 곡률반경 및 곡면의 개수의 제한없이 2면 이상의 곡면을 갖는 곡면형 기판에 적용이 가능한 곡면형 기판 합착장치 및 합착방법을 제공하기 위한 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 신규한 구조를 이용하여 곡면부분의 들뜸현상 및 기포층 발생이 발생하지 않는 곡면형 기판 합착장치 및 합착방법을 제공하기 위함이다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 곡면형 기판의 형상 및 이러한 곡면형 기판에 구비되는 플렉서블 소재의 특성 및 두께 등에 제한없이 효율적으로 고정을 수행할 수 있는 곡면형 기판 합착장치 및 합착방법을 제공하기 위함이다.

본 발명의 일측면에 따르면, 본 발명의 실시예들은 곡면형 기판을 고정하도록 상기 기판에 대응되는 형상의 기판안착부를 구비한 기판지그부; 상기 기판지그부와 대향하도록 설치되고, 상기 기판에 부착되는 플렉서블 소재의 양측면을 고정시키도록 서로 이격되어 구비되는 한쌍의 제1 및 제2 고정부; 상기 제1 및 제2 고정부 사이에 구비되어 상기 기판지그부를 향하여 상하이동이 가능하도록 구비되는 리프팅부; 상기 리프팅부 상에 구비되어 상기 플렉서블 소재를 상기 기판지그부 측으로 가압하고, 기체의 유입에 의하여 가역적으로 팽창되는 압착패드부; 상기 압착패드부와 연결되어 상기 압착패드부로 기체를 주입하는 기체주입부; 및 상기 기체주입부의 온/오프를 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 압착패드부는 탄성변형되어 상기 플렉서블 소재가 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압한 후, 상기 기판의 사이드부로 제2 가압하는 곡면형 기판 합착장치를 포함한다.

상기 압착패드부는 외부 압력 또는 기체의 가압에 의하여 탄성변형되어 상기 플렉서블 소재와 상기 기판의 사이드부분인 곡면부분을 밀착시키고, 상기 곡면형 기판은 제2 내지 제4 면의 곡면을 갖는 글라스 중 어느 하나이며, 상기 플렉서블 소재는 상기 곡면형 기판의 외면을 덮도록 구비되는 보호필름이며, 상기 압착패드부는 고분자 실리콘 또는 우레탄 고무패드 형태로 기체의 가압에 의하여 팽창되는 구조를 갖을 수 있다.

상기 기판지그부는 상기 압착패드부와 대향하는 면에 내측으로 오목한 기판안착부를 구비하고, 상기 기판안착부는 상기 곡면형 기판에 형합된 형태로 구비될 수 있다.

상기 기판지그부는 상기 곡면형 기판이 안착되도록 상기 곡면형 기판에 대응하는 형태로 내측으로 오목하게 구비되는 하나 이상의 기판안착부와 상기 기판안착부와 연결되어 상기 기판안착부를 지지하는 기판고정몸체를 포함하고, 상기 기판안착부는 상기 기판고정몸체의 일면 및 타면에 각각 구비되는 제1 및 제2 기판안착부로 이루어질 수 있다.

상기 기판고정몸체의 일면 및 타면을 연결하는 측면에는 상기 기판안착부와 체결되는 제1 체결부를 구비하고, 상기 제1 및 제2 기판안착부에는 상기 제1 체결부와 대응하도록 구비되는 제2 체결부를 구비하며, 상기 제1 및 제2 체결부는 ㄷ자형의 지그체결부재에 의하여 체결되며, 상기 제1 및 제2 체결부는 상기 지그체결부재의 형태에 대응하도록 내측으로 오목하게 구비되고, 상기 지그체결부재가 삽입체결된 제1 및 제2 체결부는 주변과 동일한 높이로 구비될 수 있다.

상기 기판지그부는 상기 기판안착부와 상기 기판안착부와 연결되어 내부에 상기 기판안착부를 가열하는 열선을 구비하는 기판고정몸체를 포함하고, 상기 기판안착부에는 상기 기판안착부의 온도를 측정하는 온도센서가 구비되며, 상기 온도센서는 제어부와 연결되어 측정된 기판안착부의 온도를 상기 제어부로 전달할 수 있다.

상기 기판지그부는 상기 기판안착부 내부에 구비되는 기판을 고정시키도록 외부에 구비되는 펌프와 연결되는 하나 이상의 감압홀을 더 포함하고, 상기 펌프는 상기 감압홀을 통하여 기체를 흡입하여 상기 기판을 고정시킬 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정부는 각각 상기 플렉서블 소재의 양측면을 고정시키는 그립부재, 상기 그립부재를 이동시키는 모터를 포함하고, 상기 제1 및 제2 고정부에 구비된 각각의 그립부재는 상기 모터에 의하여 서로 근접하도록 이동하여 상기 그립부재에 의하여 고정된 플렉서블 소재를 벤딩시킬 수 있다.

상기 리프팅부는 일면이 곡면을 갖는 블록을 포함하되, 상기 블록의 일면은 상기 기판지그부를 향하여 볼록한 곡면을 갖도록 구비되며, 상기 제1 및 제2 고정부는 서로 근접하도록 이동하여 상기 제1 및 제2 고정부에 고정된 플렉서블 소재를 벤딩시키되, 상기 플렉서블 소재는 상기 블록의 볼록한 곡면에 대응하는 형태로 벤딩될 수 있다.

상기 블록의 볼록한 곡면 상에는 상기 압착패드부의 압력을 측정하는 압력센서가 더 구비되고, 상기 압력센서는 압착패드부의 측정된 압력을 상기 리프트부 및 상기 제어부 중 어느 하나 이상으로 전달하고, 상기 리프트부는 상기 압착패드부의 측정된 압력을 전달받아 상기 리프트부의 상하 이동정도를 제어하여 상기 압착패드부가 상기 플렉서블 소재를 가압하는 정도를 제어하고, 상기 제어부는 상기 압착패드부의 측정된 압력을 전달받아 상기 기체주입부에서 상기 압착패드부로의 기체의 주입정도를 제어하여 상기 압착패드부가 상기 플렉서블 소재를 가압하는 정도를 제어할 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정부는 상기 플렉서블 소재의 양측면을 고정시키는 그립부재, 상기 그립부재가 슬라이딩 이동되도록 상기 그립부재와 연결되는 슬라이딩홈을 구비한 이동지지부재를 포함하고, 상기 그립부재는 상기 플렉서블 소재와 접촉하는 부분에 탄성체를 구비한 헤드부, 상기 헤드부에서 상기 이동지지부재 측으로 연장되는 막대형의 바디부, 상기 바디부의 말단에 구비되어 상기 슬라이딩홈으로 삽입되는 바텀부로 이루어지고, 상기 이동지지부재는 상기 슬라이딩홈이 구비되는 판상형의 플레이트를 포함하며, 상기 슬라이딩홈은 제1 방향으로 연장되는 한 개의 메인홈부와, 상기 메인홈부에서 수직하게 연장되되 상기 메인홈부보다 짧은 길이로 연장되는 복수개의 가이드홈부를 포함할 수 있다.

상기 압착패드부는 상기 리프팅부 상에서 곡면으로 구비되고, 상기 곡면을 갖는 압착패드부는 상기 리프팅부의 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재를 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압하고, 상기 압착패드부는 상기 리프팅부의 추가 이동에 의하여 상기 기판의 사이드부분의 일부를 가압한 후 이어서 상기 기체주입부를 통하여 기체에 의하여 상기 기판에 대응하는 형태로 팽창되어 상기 기판의 사이드부분을 전체적으로 가압하는 두단계로 이루어지는 제2 가압할 수 있다.

상기 압착패드부에는 상기 기판과 상기 플렉서블 소재와의 컨택 레벨를 측정하는 센서부가 구비되고, 상기 센서부는 측정된 컨택 레벨를 상기 제어부로 전달하여 상기 기체주입부의 온/오프를 제어할 수 있다.

상기 기판지그부는 상부에 구비되어 상기 곡면형 기판이 하부를 향하도록 구비되고, 상기 제1 및 제2 고정부, 상기 압착패드부는 상기 기판지그부와 대향하도록 설치되어 상기 곡면형 기판을 대면하며, 상기 제1 및 제2 고정부의 양측면에 고정된 플렉서블 소재는 상기 제1 및 제2 고정부의 서로 대면하는 방향으로의 이동에 의하여 상기 기판을 향하는 방향으로 볼록하도록 벤딩되고, 상기 기판지그부는 상기 플렉서블 소재를 향하여 하강하고, 상기 압착패드부는 상기 기판을 향하여 1차 상승하여 상기 플렉서블 소재가 기판의 센터부와 라인컨택으로 접촉하며, 상기 압착패드부는 상기 기판을 향하여 2차 상승하여 상기 플렉서블 소재의 일부가 기판의 사이드부분과 접촉하고, 상기 압착패드부는 상기 압착패드부의 내부로 기체가 유입되어 팽창된 후 상기 플렉서블 소재가 상기 기판에 전체적으로 접촉할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명은 전술한 곡면형 기판 합착장치를 곡면형 기판 상에 플렉서블 소재를 합착시키는 방법을 더 포함할 수 있다. 곡면형 기판 합착방법은 상부에 구비되는 기판지그부에 곡면형 기판을 고정시키고, 상기 기판지그부의 하부에 구비되는 제1 및 제2 고정부에 플렉서블 소재의 양측면을 고정시켜 상기 곡면형 기판과 상기 플렉서블 소재가 서로 대향하도록 구비시키는 단계; 상기 제1 및 제2 고정부의 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재가 상기 기판을 향하여 볼록하도록 벤딩시키는 단계; 상기 기판지그부를 벤딩된 플렉서블 소재에 인접하도록 하강시키는 단계; 상기 플렉서블 소재의 하부에 구비되어 탄성변형되는 압착패드부를 구비한 리프트부를 1차 상승시킴으로써 상기 플렉서블 소재를 제1 가압하여 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 접촉시키는 단계; 및 상기 압착패드부를 탄성변형시킴으로써 상기 플렉서블 소재를 제2 가압하여 상기 기판의 사이드부와 접촉시키는 단계;를 포함할 수 있다.

상기 플렉서블 소재의 일부와 상기 기판의 사이드부를 접촉사키는 단계는, 상기 리프트부에 의하여 상기 압착패드부를 2차 상승시킴으로써 상기 압착패드부에 의하여 상기 플렉서블 소재를 가압하여 상기 플렉서블 소재가 상기 기판의 사이드부측과 접촉시키는 단계; 및 상기 압착패드부의 내부로 기체를 유입시켜 상기 압착패드부를 팽창시키고, 팽창된 압착패드부에 의하여 상기 플렉서블 소재를 상기 기판에 전체적으로 접촉시키는 단계;를 포함할 수 있다.

상기 기판과 상기 플렉서블 소재가 서로 대향하도록 구비시키는 단계에서, 상기 기판지그부는 상기 곡면형 기판이 안착되도록 상기 곡면형 기판의 형상에 대응하는 형태로 오목하게 구비되는 기판안착부와, 상기 기판안착부와 체결되어 내부에 상기 기판안착부를 가열하는 열선과 상기 기판고정몸체에는 상기 기판안착부의 온도를 측정하는 온도센서를 구비하는 기판고정몸체를 포함하고, 상기 열선에 의하여 상기 기판을 가열하고 상기 온도센서에 의하여 상기 기판안착부의 온도를 측정하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 리프팅부 상에는 일면이 곡면을 갖고 상기 곡면 상에 압착패드부가 안착되는 블록이 구비되고, 상기 블록의 일면에는 상기 기판지그부를 향하여 볼록한 곡면과, 상기 곡면의 양말단에서 상기 압착패드부의 측면에 대면하도록 돌출되어 구비되는 한쌍의 사이드리브를 구비하며, 상기 제1 및 제2 고정부는 서로 근접하도록 이동하여 상기 제1 및 제2 고정부에 고정된 플렉서블 소재를 상기 블록의 볼록한 곡면에 대응하는 형태로 벤딩시킬 수 있다.

상기 블록은 상기 압착패드부가 구비되는 면이 곡면으로 구비되고, 상기 압착패드부는 상기 플렉서블 소재와 대면하는 면이 상기 블록의 곡면에 대응하도록 구비되며, 상기 압착패드부는 상기 기판지그부측으로 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재를 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압하고, 상기 압착패드부는 상기 리프팅부의 추가 이동에 의하여 상기 기판의 사이드부를 가압한 후 이어서 상기 기체주입부로 주입되는 기체에 의하여 상기 기판에 대응하는 형태로 팽창되어 상기 기판의 사이드부를 전체적으로 가압하는 두단계로 이루어지는 제2 가압할 수 있다.

상기 압착패드부에는 상기 기판과 상기 플렉서블 소재와의 컨택 레벨를 측정하는 센서부가 구비되고, 상기 센서부는 측정된 컨택 레벨를 상기 제어부로 전달하고, 상기 제어부는 기입력된 데이터를 기준으로 상기 센서부에 의하여 전달된 컨택 레벨에 따라서 상기 기체주입부의 온/오프의 정도를 제어하여 상기 기판의 사이드부를 제2 가압할 수 있다.

이상 살펴본 바와 같은 본 발명에 따르면, 다양한 곡률반경 및 곡면의 개수의 제한없이 2면 이상의 곡면을 갖는 곡면형 기판에 적용이 가능한 곡면형 기판 합착장치 및 합착방법을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 신규한 구조를 이용하여 곡면부분의 들뜸현상 및 기포층 발생이 발생하지 않는 곡면형 기판 합착장치 및 합착방법을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 곡면형 기판의 형상 및 이러한 곡면형 기판에 구비되는 플렉서블 소재의 특성 및 두께 등에 제한없이 효율적으로 고정을 수행할 수 있는 곡면형 기판 합착장치 및 합착방법을 제공할 수 있다.

도 1a은 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판 상에 플렉서블 소재가 구비된 모습을 나타낸 도면이다.
도 1b는 도 1a의 분해도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판의 합착장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판의 합착장치를 이용하여 곡면형 기판에 플렉서블 소재를 합착하는 단계를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3b의 A부분의 확대도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판지그부를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5의 분해도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판지그부를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 기타의 실시예에 따른 기판지그부를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 그 외의 실시예에 따른 제1 및 제2 고정부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 10은 도 9의 그립부재를 나타낸 도면이다.
도 11은 도 9의 이동지지부재를 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판의 합착방법을 나타낸 흐름도이다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 이하의 설명에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 매체를 사이에 두고 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 도면에서 본 발명과 관계없는 부분은 본 발명의 설명을 명확하게 하기 위하여 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.

이하, 첨부된 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.

도 1a은 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판 상에 플렉서블 소재가 구비된 모습을 나타낸 도면이고, 도 1b는 도 1a의 분해도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판의 합착장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판의 합착장치를 이용하여 곡면형 기판에 플렉서블 소재를 합착하는 단계를 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 4는 도 3b의 A부분의 확대도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판 합착장치 (100)는 곡면형 기판 (1)에 편명형으로 구비되되 플렉서블한 소재 (2)를 상기 곡면형 기판 (1)의 형태에 대응하도록 합착시키기 위한 것으로, 곡면형 기판 (1)을 고정하도록 상기 기판 (1)에 대응되는 형상의 기판안착부 (111)를 구비한 기판지그부 (110); 상기 기판지그부 (110)와 대향하도록 설치되고, 상기 기판 (1)에 부착되는 플렉서블 소재 (2)의 양측면을 고정시키도록 서로 이격되어 구비되는 한쌍의 제1 및 제2 고정부 (120); 상기 제1 및 제2 고정부 (120)사이에 구비되어 상기 기판지그부 (110)를 향하여 상하이동이 가능하도록 구비되는 리프팅부 (130); 상기 리프팅부 (130) 상에 구비되어 상기 플렉서블 소재 (2)를 상기 기판지그부 (110) 측으로 가압하고, 기체의 유입에 의하여 가역적으로 팽창되는 압착패드부 (140); 상기 압착패드부 (140)와 연결되어 상기 압착패드부 (140)로 기체를 주입하는 기체주입부 (150); 및 상기 기체주입부 (150)의 온/오프를 제어하는 제어부 (160);를 포함한다. 상기 압착패드부 (140)는 가압 또는 기체의 유입에 의하여 탄성변형될 수 있으며, 상기 압착패드부 (140)는 상기 플렉서블 소재 (2)가 상기 기판 (1)의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압한 후, 상기 기판의 사이드부로 제2 가압할 수 있다.

통상, 곡면형 기판 (1)에 보호필름 등과 같은 플렉서블 소재 (2)를 합착하는 경우, 상기 곡면형 기판 (1)에 형성된 에지의 경계부 (벤딩되는 부분)에 가압력이 전달되지 못하여 상기 기판 (1)의 경계부측에 플렉서블 소재 (2)가 밀접하게 합착되지 못하고 들뜸현상, 기포층 등에 의한 불량이 발생하여 문제되어 왔다. 또한, 상기 곡면형 기판 (1)의 에지의 경계부의 불량을 방지하기 위하여 다양한 장치 등이 사용되어 왔으나, 이에 의하여 공정의 전체 시간이 증가하여 효율이 감소하거나, 혹은 신규한 장치에 의해서도 다수의 공정이 진행하는 과정에서 간혈적으로 불량이 발생하여 전체적인 생산공정의 신뢰성을 저하시켜 문제되었다.

반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판 합착장치 (100)는 다양한 곡률반경을 갖는 경계부를 구비한 곡면형 기판 (1)에 적용이 가능하며, 각각의 경계부측 형상에 대응하여 상기 경계부측을 가압하여 플렉서블 소재 (2)를 부착시킬 수 있으므로 곡면형 기판 (1)의 에지의 경계부의 불량이 발생하지 않는다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판 합착장치 (100)는 상기 곡면형 기판 (1)에 플렉서블 소재 (2)를 부착하는 과정에서 하기와 같이 다양한 구성을 이용하므로, 다수의 공정이 진행하는 과정에서도 전체적으로 균일한 결과물을 확보할 수 있으므로 곡면형 기판 합착에서 높은 신뢰성을 구비한 생성공정을 제공할 수 있다.

본 실시예에 따른 곡면형 기판 합착장치 (100)에 의한 곡면형 기판 (1) 상에 플렉서블 소재 (2)를 개략적으로 설명하면, 상기 곡면형 기판 (1)이 구비된 상부의 기판지그부 (110)를 제1 및 제2 고정부 (120)에 의하여 고정된 플렉서블 소재 (2)측으로 하강시킨 후, 상기 플렉서블 소재 (2)를 벤딩시킬 수 있다. 이어서, 벤딩된 플렉서블 소재 (2) 상으로 리프팅부 (130)가 상승하여 압착패드부 (140)에 의하여 상기 플렉서블 소재 (2)를 가압할 수 있으며, 상기 압착패드부 (140)의 단계적 가압에 의하여 상기 플렉서블 (2)를 상기 곡면형 기판 (1)에 균일하게 합착시킬 수 있다. 이하에서는, 상기 곡면형 기판 합착장치 (100)의 각 구성에 대해서 설명한다.

상기 곡면형 기판 합착장치 (100)는 상부에 구비되어 상기 곡면형 기판 (1)을 고정시키는 기판지그부 (110), 하부에 구비되어 상기 플렉서블 소재 (2)를 상기 곡면형 기판 (1)측으로 가압하는 리프팅부 (130)와 압착패드부 (140) 및 상기 플렉서블 소재 (2)의 위치를 고정시키고 벤딩시키는 제1 및 제2 고정부 (120)로 이루어질 수 있다.

상기 기판지그부 (110)는 상기 압착패드부 (140)와 대향하는 면에 내측으로 오목한 기판안착부 (111)를 구비하고, 상기 기판안착부 (111)는 상기 곡면형 기판 (1)에 형합된 형태로 구비될 수 있다. 예컨대, 상기 기판지그부 (110)에서 상기 기판안착부 (111)는 일체형으로 구비될 수도 있고, 상기 기판지그부 (110)와 분리가능하도록 구비될 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정부 (120)는 한쌍으로 서로 이격되어 마주보도록 구비될 수 있다. 상기 제1 및 제2 고정부 (120)는 상기 기판지그부 (110)의 하부측에 구비되어 상기 곡면형 기판 (1)의 곡면의 형상에 대응하도록 상기 플렉서블 소재 (2)를 벤딩시킬 수 있으며, 상기 플렉서블 소재 (2)의 위치를 고정시켜 기판 (1)과의 합착공정이 효율적으로 수행되도록 할 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정부 (120)는 각각 상기 플렉서블 소재 (2)의 양측면을 고정시키는 그립부재 (121)와, 상기 그립부재 (121)를 이동시키는 모터 (122)를 더 포함할 수 있다. 상기 그립부재 (121)는 플렉서블 소재 (2)의 중심부가 하부측으로 늘어지지 않도록 소정의 텐션을 가하여 상기 플렉서블 소재 (2)가 평평하도록 고정시킬 수 있다.

또한, 상기 제1 및 제2 고정부 (120)에 구비된 각각의 그립부재 (121)는 상기 모터 (122)의 작용에 의하여 서로 근접하도록 이동하여 상기 그립부재 (121)에 의하여 고정된 플렉서블 소재 (2)를 벤딩시킬 수 있다.

상기 리프팅부 (130)는 상기 기판지그부 (110)가 상기 플렉서블 소재 (2)에 인접하게 구비된 후, 벤딩된 플렉서블 소재 (2)를 상기 곡면형 기판 (1)에 접촉하도록 상기 기판지그부 (110)측으로 상승할 수 있다. 반면, 상기 플렉서블 소재 (2)의 벤딩은 상기 기판지그부 (110)가 하강한 후 혹은 상기 기판지그부 (110)가 하강하기 전 수행될 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다.

상기 리프팅부 (130)는 일면이 곡면을 갖는 블록 (132)과, 상기 블록 (132)의 하부에 구비되어 상기 블록 (132)을 상하이동시키는 실린더 (131) 및 상기 블록 (132)의 곡면의 양말단에서 상기 압착패드부 (140)의 측면에 대면하도록 돌출되어 구비되는 한쌍의 사이드리브 (133)를 구비할 수 있다.

상기 블록 (132)의 일면은 상기 기판지그부 (110)를 향하여 볼록한 곡면 (S3)을 갖도록 구비되고, 상기 블록 (132)의 볼록한 곡면 (S3)에는 압착패드부 (140)가 안착될 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정부 (120)는 서로 근접하도록 이동하여 상기 제1 및 제2 고정부 (120)에 고정된 플렉서블 소재 (2)를 벤딩시킬 때, 상기 플렉서블 소재 (2)는 상기 블록 (132)의 볼록한 곡면 (S3)에 대응하는 형태의 곡면 (S1)을 갖도록 벤딩될 수 있고, 상기 압착패드부 (140)에서 상기 플렉서블 소재 (2)의 곡면 (S1)과 접촉하는 외면 (S2)은 상기 곡면에 대응하는 형태로 라운드되도록 구비될 수 있다. 예컨대, 상기 플렉서블 소재 (2)의 벤딩된 곡면 (S1)은 하부에 구비되는 압착패드부 (140)의 외면 (S2)과, 블록 (132)의 볼록한 곡면 (S3)이 서로 대응되는 곡률반경을 갖도록 구비될 수 있다.

별법으로, 상기 블록 (132)의 볼록한 곡면 상에는 상기 압착패드부 (140)의 압력을 측정하는 압력센서 (미도시)가 더 구비될 수 있다. 상기 압력센서는 압착패드부 (140)의 측정된 압력을 상기 리프트부 (130) 및 상기 제어부 (160) 중 어느 하나 이상으로 전달할 수 있다.

상기 리프트부 (130)는 상기 압착패드부 (140)의 측정된 압력을 전달받아 상기 리프트부 (130)의 상하 이동정도를 제어하여 상기 압착패드부 (140)가 상기 플렉서블 소재 (2)를 가압하는 정도를 제어할 수 있다. 또한, 상기 제어부 (160)는 상기 압착패드부 (140)의 측정된 압력을 전달받아 상기 기체주입부 (150)에서 상기 압착패드부 (140)로의 기체의 주입정도를 제어하여 상기 압착패드부 (140)가 상기 플렉서블 소재 (2)를 가압하는 정도를 제어할 수 있다.

예컨대, 상기 압착패드부 (140)는 상기 블록 (132) 상에 구비되고, 상기 블록 (132)에서 상기 압착패드부 (140)와 접촉하는 부분 혹은 상기 압착패드부 (140)가 탄성변형된 후 접촉하는 부분에는 상기 압착패드부 (140)의 압력을 측정하는 압력센서가 구비될 수 있다.

상기 리프트부 (130)의 상승에 의하여 상기 압착패드부 (140)는 가압되어 탄성변형되고, 탄성변형된 압착패드부 (140)는 플렉서블 소재 (2)를 가압하여 상기 플렉서블 소재 (2)를 곡면형 기판 (1)에 합착시킬 수 있다. 이때, 상기 압착패드부 (140)는 상기 압력센서에 의하여 압력이 측정되고, 상기 압력센서는 리프트부 (130)로 압착패드부 (140)의 압력을 전달할 수 있다. 상기 리프트부 (130)는, 예컨대, 상기 리프트부 (130)에 기입력된 압착패드부 (140)의 압력범위에 따라 상기 리프트부 (130)의 상하 이동정도를 제어할 수 있고, 이에 의하여 상기 압착패드부 (140)가 상기 플렉서블 소재 (2)를 가압하는 정도를 제어할 수 있다.

또한, 상기 리프트부 (130)는 기체주입부 (150)에 의하여 기체가 주입되어 가압되어 탄성변형되고, 탄성변형된 압착패드부 (140)는 상기 플렉서블 소재 (2)를 상기 곡면형 기판 (1)의 형태에 대응하도록 전체적으로 균일한 힘을 가할 수 있다. 이때, 상기 블록 (132)에 구비된 압력센서는 상기 압착패드부 (140)의 압력을 측정하고, 상기 압력센서는 압착패드부 (140)의 압력을 상기 제어부 (160)로 전달할 수 있다. 상기 제어부 (160)는 상기 제어부 (160)에 기입력된 압착패드부 (140)의 압력범위에 따라 상기 기체주입부 (150)를 통하여 상기 압착패드부 (140)로 주입된 기체의 압력을 제어할 수 있고, 이에 상기 압착패드부 (140)는 상기 플렉서블 소재 (2)가 상기 곡면형 기판 (1)에 전체적으로 균일하게 합착되도록 가압하는 정도를 제어할 수 있다.

즉, 본 실시예에 따라 블록 (132)에 구비된 압력센서는 상기 압착패드부 (140)의 변화되는 압력을 측정하여 리프트부 (130) 또는 제어부 (160)로 전달함으로써 상기 압착패드부 (140)가 상기 플렉서블 소재 (2)를 가압하는 정도를 미세하게 제어할 수 있고, 이에 의하여 다양한 표면형상을 갖는 곡면형 기판 (1)에 상기 곡면형 기판 (1)의 표면형상에 제약없이 상기 프렉서블 소재 (2)를 효율적으로 합착시킬 수 있다.

상기 압착패드부 (140)는 외부 압력 또는 기체의 가압에 의하여 탄성변형되어 상기 플렉서블 소재 (2)와 상기 기판 (1)의 사이드부분인 곡면부분을 밀착시킬 수 있다. 예컨대, 상기 곡면형 기판 (1)은 제2 내지 제4 면의 곡면을 갖는 글라스 중 어느 하나이며, 상기 플렉서블 소재 (2)는 상기 곡면형 기판 (1)의 외면을 덮도록 구비되는 보호필름일 수 있다. 또한, 상기 압착패드부 (140)는 고분자 실리콘 또는 우레탄 고무패드 형태로 기체의 가압에 의하여 팽창되는 구조를 갖을 수 있다.

상기 압착패드부 (140)는 외부 압력 또는 기체의 가압에 의하여 탄성변형되어 상기 기판 (1)의 곡면 부분의 들뜸현상을 막고 기포층이 없이 흡착되도록 할 수 있다. 상기 압착패드부 (140)는 상기 리프팅부 (130)의 상승에 의하여 외부 압력을 받아서 탄성변형될 수 있고, 또한 상기 압착패드부 (140)와 연결되는 기체주입부 (150)를 통하여 기체가 주입되어 기체의 가압에 의하여 탄성변형될 수 있다.

상기 기체주입부 (150)는 상기 압착패드부 (140)와 연결되어 상기 압착패드부 (140)를 팽창시키도록 기체를 주입할 수 있다. 상기 기체주입부 (150)는 제어부 (160)와 연결될 수 있으며, 상기 제어부 (160)에 의하여 상기 기체주입부 (150)를 온/오프 및 상기 기체주입부 (150)를 통하여 배출되는 기체의 유량을 제어할 수 있다. 상기 제어부 (160)는 상기 곡면형 기판 (1)의 형태와, 상기 플렉서블 소재 (2)의 기계적 성질, 및 압착패드부 (140)의 기체의 가압에 대한 탄성변형의 정도 (시간, 팽창률 등)를 고려하여 상기 기체주입부 (150)를 제어함으로써, 상기 압착패드부 (140)가 상기 플렉서블 소재 (2)를 가압하여 들뜸현상, 기포층이 형성되지 않도록 상기 압착패드부 (140)를 팽창시킬 수 있다.

상기 압착패드부 (140)를 지지하는 블록 (132)는 상기 압착패드부 (140)의 양측면과 대면하는 한쌍의 사이드리브 (133)가 더 구비될 수 있다. 상기 사이드리브 (133)는 상기 압착패드부 (140)와 소정 간격 이격되어 구비될 수 있는데, 상기 압착패드부 (140)로 기체가 유입되어 상기 압착패드부 (140)의 부피가 팽창하는 경우에는, 상기 압착패드부 (140)의 측면은 사이드리브 (133)와 접촉할 수 있다. 이때, 상기 사이드리브 (133)는 상기 압착패드부 (140)의 측면을 지지함으로써 상기 압착패드부 (140)에 의하여 상기 플렉서블 소재 (2)로 가해지는 힘이 외부로 분산되지 않도록 하여, 상기 플렉서블 소재 (2)를 균일하게 가압할 수 있다.

상기 압착패드부 (140)는 상기 리프팅부 (130) 상에서 곡면 (S2)으로 구비되고, 상기 곡면 (S2)을 갖는 압착패드부 (140)는 상기 리프팅부 (130)의 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재 (2)를 상기 기판 (1)의 센터부 (C)와 라인컨택되도록 제1 가압할 수 있다. 상기 압착패드부 (140)는 상기 리프팅부 (130)의 추가 이동에 의하여 상기 기판 (1)의 사이드부분의 일부를 가압한 후 이어서 상기 기체주입부 (150)를 통하여 주입되는 기체에 의하여 상기 기판 (1)에 대응하는 형태로 팽창되어 상기 기판 (1)의 사이드부분을 전체적으로 가압하는 두단계로 이루어지는 제2 가압할 수 있다.
예컨대, 상기 압착패드부 (140)는 내부에 기체가 유입되는 공간을 구비하여 상기 기체주입부 (150)를 통하여 상기 압착패드부 (140)의 내부 공간으로 기체가 유입되어 상기 압착패드부 (140)의 부피가 증가할 수 있다. 상기 압착패드부 (140)는 상기 블록의 일면에 구비되되 상기 블록의 양말단에서 내측으로 이격되어 구비되고, 상기 블록의 양말단에는 상기 압착패드부 (140)의 측면에서 이격되어 상기 압착패드부 (140)와 대면하도록 구비되는 한쌍의 사이드리브 (133)가 구비되며, 상기 제1 가압하는 경우에는 상기 압착패드부 (140)는 상기 한쌍의 사이드리브 (133)와 이격되되 상기 제2 가압하는 경우에는 상기 압착패드부 (140)의 측면은 상기 한쌍의 사이드리브 (133)와 접촉하여 상기 한쌍의 사이드리브 (133)에 의하여 상기 압착패드부 (140)의 측면을 지지하여 상기 압착패드부 (140)에 의하여 상기 플렉서블 소재 (2)에 가해지는 힘이 외부로 분산되지 않도록 하여 상기 플렉서블 소재 (2)를 균일하게 가압할 수 있다.

상기 제1 가압은 상기 리프팅부 (130)의 상부측으로 이동에 의한 상기 압착패드부 (140)의 탄성수축에 의한 가압이고, 상기 제2 가압은 상기 리프팅부 (130)의 상부측으로 이동에 의한 압착패드부 (140)의 탄성수축에 의한 가압 (제1 단계)과 함께, 상기 기체주입부 (150)를 통한 기체의 유입에 의하여 상기 압착패드부 (140)의 부피증가에 의하여 발생하는 가압 (제2 단계)일 수 있다. 상기 제2 가압은 시간에 따른 기체의 유입되는 양의 변화에 따라 상기 압착패드부 (140)의 부피가 증가하고 이에 의하여 시간에 따라 점차 증가하도록 수행될 수 있다.

전술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판 합착장치 (100)에서, 상기 기판지그부 (110)는 상부에 구비되어 상기 곡면형 기판 (1)이 하부를 향하도록 구비되고, 상기 제1 및 제2 고정부 (120), 상기 압착패드부 (140)는 상기 기판지그부 (110)와 대향하도록 설치되어 상기 곡면형 기판 (1)을 대면할 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정부 (120)의 양측면에 고정된 플렉서블 소재 (2)는 상기 제1 및 제2 고정부 (120)의 서로 대면하는 방향으로의 이동에 의하여 상기 기판 (1)을 향하는 방향으로 볼록하도록 벤딩되고, 상기 기판지그부 (110)는 상기 플렉서블 소재 (2)를 향하여 하강할 수 있다. 상기 플렉서블 소재 (2)의 벤딩과 상기 기판지그부 (110)의 하강은 선후에 관계없이 순차적으로 수행되거나 또는 동시에 이루어질 수 있다.

상기 압착패드부 (140)는 상기 기판 (1)을 향하여 1차 상승하여 상기 플렉서블 소재 (2)가 기판 (1)의 센터부 (C)와 라인컨택으로 접촉할 수 있다. 이어서, 상기 압착패드부 (140)는 상기 기판 (1)을 향하여 2차 상승하여 상기 플렉서블 소재 (2)의 일부가 기판 (1)의 사이드부분과 접촉하고, 상기 압착패드부 (140)는 상기 압착패드부 (140)의 내부로 기체가 유입되어 팽창된 후 상기 플렉서블 소재 (2)가 상기 기판에 전체적으로 접촉할 수 있다.

별법으로, 상기 압착패드부 (140)에는 상기 기판 (1)과 상기 플렉서블 소재 (2)와의 컨택 레벨를 측정하는 센서부 (미도시)가 더 구비될 수 있다. 상기 센서부는 기판 (1)과 플렉서블 소재 (2)의 접촉되는 위치 및 접촉되는 압력에 대한 컨택 레벨을 측정하고, 측정된 컨택 레벨를 상기 제어부 (160)로 전달하여 상기 기체주입부 (150)의 온/오프를 제어할 수 있다. 예컨대, 본 실시예에 따른 곡면형 기판 합착장치는 상기 압착패드부 (140)에 센서부를 더 구비함으로써 상기 기판 (1)과 플렉서블 소재 (2)와의 접촉을 보다 정교하게 수행할 수 있다.

이하에서, 도 5 및 도 12를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 대하여 설명한다. 후술할 내용을 제외하고는, 도 1 내지 도 4에서 설명한 실시예에 기재된 내용과 유사하므로 이에 대한 자세한 내용은 생략한다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판지그부를 나타낸 도면이고, 도 6은 도 5의 분해도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 곡면형 기판 합착장치에서, 상기 기판지그부 (210)는 상기 곡면형 기판이 안착되도록 상기 곡면형 기판에 대응하는 형태로 내측으로 오목하게 구비되는 하나 이상의 기판안착부 (211)와 상기 기판안착부 (211)와 연결되어 상기 기판안착부 (211)를 지지하는 기판고정몸체 (212)를 포함할 수 있다. 상기 기판안착부 (211)는 상기 기판지그부 (210)에서 하나 이상으로 구비될 수 있으며, 바람직하게는 상기 기판안착부 (211a, 211b)는 상기 기판고정몸체 (212)의 일면 및 타면에 각각 구비될 수 있다. 또한, 상기 기판지그부 (210)의 일면 및 타면에 각각 구비되는 제1 및 제2 기판안착부 (211a, 211b)는 서로 다른 곡률반경을 갖도록 구비될 수 있다.

본 실시예에 따른 상기 기판지그부 (210)에서 하나 이상의 곡면형 기판을 구비시킴으로써, 한번에 2개 이상의 곡면형 기판에 플렉서블 소재를 구비시킬 수 있으므로, 전체 공정의 택타임 (tack time)를 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 기판고정몸체 (212)의 일면 및 타면에 각각 구비되는 제1 및 제2 기판안착부 (211a, 211b)의 곡률반경이 서로 다르므로 다양한 형태의 곡면형 기판에 일괄하여 처리할 수 있으므로 공정효율을 향상시킬 수 있다.

상기 기판지그부 (210)에서 상기 기판고정몸체 (212) 및 기판안착부 (211)는 일체형으로 구비되거나 혹은 분리형으로 구비될 수 있으며, 예컨대 분리형인 경우 하기와 같이 체결될 수 있다.

상기 기판고정몸체 (212)의 일면 및 타면을 연결하는 측면에는 상기 제1 및 제2 기판안착부 (211a, 211b)와 체결되는 제1 체결부 (213a)를 구비하고, 상기 제1 및 제2 기판안착부 (211a, 211b)에는 상기 제1 체결부 (213a)와 대응하도록 구비되는 제2 체결부 (213b)를 구비할 수 있다.

상기 제1 및 제2 체결부 (213a, 213b)는 ㄷ자형의 지그체결부재 (215)에 의하여 체결될 수 있다. 상기 제1 및 제2 체결부 (213a, 213b)는 상기 지그체결부재 (215)의 형태에 대응하도록 내측으로 오목하게 구비되고, 상기 지그체결부재 (215)가 삽입체결된 제1 및 제2 체결부 (213a, 213b)는 주변과 동일한 높이로 구비될 수 있다.

상기 지그체결부재 (215)는 서로 나란하게 돌출되어 상기 기판고정몸체 (212) 및 기판안착부 (211)의 측면에 각각 삽입되는 한쌍의 수평부와 상기 수평부의 일단을 수직하게 연결하는 수직부로 이루어질 수 있다. 예컨대, 상기 제1 및 제2 체결부 (213a, 213b)는 지그체결부재 (215)의 수평부가 삽입되어 체결되도록 내측으로 오목한 삽입홈과, 상기 수직부가 안착되도록 상기 기판고정몸체 (212) 및 기판안착부 (211)의 측면에 대해서 단착지도록 구비된 단차홈으로 이루어질 수 있다. 상기 지그체결부재 (215)에 의하여 체결된 후, 상기 기판고정몸체 (212) 및 기판안착부 (211)의 측면은 상기 지그체결부재 (215)의 수직부에 의하여 단차홈이 상쇄됨으로써, 상기 단차홈은 주변과 동일한 높이로 평평하게 구비될 수 있다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판지그부를 나타낸 도면이다.

도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 곡면형 기판 합착장치에서, 상기 기판지그부 (310)는 상기 기판안착부 (311)와 상기 기판안착부 (311)와 연결되어 내부에 상기 기판안착부 (311)를 가열하는 열선 (313)을 구비하는 기판고정몸체 (312)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판안착부 (311)에는 상기 기판안착부 (311)의 온도를 측정하는 온도센서 (314)가 구비되며, 상기 온도센서 (314)는 제어부 (360)와 연결되어 측정된 기판안착부 (311)의 온도를 상기 제어부 (360)로 전달할 수 있다.

상기 기판안착부 (311)에 안착된 곡면형 기판에 부착되는 플렉서블 소재는 고분자소재로 이루어질 수 있고, 상기 고분자소재는 열에 의하여 분자구조가 일부 변형되어 형상변형이 용이하게 구현될 수 있다. 이때, 상기 기판지그부 (310)를 통하여 기판을 가열함으로써 기판의 온도를 상승시킬 수 있고, 상기 기판에 부착되는 플렉서블 소재로 열이 전달되어 상기 플렉서블 소재의 형상변형이 용이하게 하므로, 상기 플렉서블 소재가 상기 곡면형 기판의 벤딩된 부분에 보다 효율적으로 합착되도록 할 수 있다.

또한, 상기 열선 (313) 및 온도센서 (314)는 제어부 (360)와 연결될 수 있는데, 상기 플렉서블 소재, 혹은 기판으로 과도한 열이 공급되는 경우에는 기판의 물성을 저하시키거나 혹은 플렉서블 소재에 주름이 생기는 등의 문제가 발생할 수 있다. 반면, 본 실시예에 있어서, 상기 제어부 (360)는 열선 (313) 및 온도센서 (314)와 연결됨으로써, 상기 온도센서 (314)에 의하여 상기 열선 (313)에 의하여 공급되는 열이 소정의 범위 내로 유지되도록 제어할 수 있다.

도 8은 본 발명의 기타의 실시예에 따른 기판지그부를 나타낸 도면이다.

도 8을 참조하면, 상기 기판지그부 (310)는 상기 기판안착부 (311) 내부에 구비되는 기판을 고정시키도록 외부에 구비되는 펌프 (370)와 연결되는 하나 이상의 감압홀 (313)을 더 포함할 수 있다. 상기 펌프 (370)는 상기 감압홀 (313)을 통하여 기체를 흡입하여 상기 기판을 고정시킬 수 있다.

상기 감압홀 (313)은 상기 기판지그부 (310)을 관통하도록 구비되어, 상기 기판안착부 (311)와 기판 사이를 감압시키는 감압홀 (313)이 구비될 수 있다. 상기 감압홀 (313)은 기체의 흐름을 제어하는 밸브 (371)가 구비된 파이프 (372)와 연결될 수 있으며, 상기 파이프 (372)는 펌프 (370)와 연결되어 감압시킬 수 있다.

도 9는 본 발명의 그 외의 실시예에 따른 제1 및 제2 고정부를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 10은 도 9의 그립부재를 나타낸 도면이며, 도 11은 도 9의 이동지지부재를 나타낸 도면이다.

도 9 내지 도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1 및 제2 고정부 (420)는 상기 플렉서블 소재 (2)의 양측면을 고정시키는 그립부재 (421), 상기 그립부재 (421)가 슬라이딩 이동되도록 상기 그립부재 (421)와 연결되는 슬라이딩홈 (482)을 구비한 이동지지부재 (480)를 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 고정부 (420)는 전술한 실시예와 같이 펌프에 의하여 자동으로 상기 제1 및 제2 고정부 (420) 사이의 간격을 제어할 수 있으며, 본 실시예와 같이 수동으로 상기 제1 및 제2 고정부 (420) 사이의 간격을 제어할 수도 있다.

상기 그립부재 (421)는 상기 플렉서블 소재 (2)와 접촉하는 부분에 탄성체 (424)를 구비한 헤드부 (421), 상기 헤드부 (421)에서 상기 이동지지부재 (480) 측으로 연장되는 막대형의 바디부 (422), 상기 바디부 (422)의 말단에 구비되어 상기 슬라이딩홈 (482)으로 삽입되는 바텀부 (423)로 이루어질 수 있다. 상기 이동지지부재 (480)는 상기 슬라이딩홈 (482)이 구비되는 판상형의 플레이트 (481)를 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 플레이트 (481)의 하부에는 상기 플레이트 (481)의 높이를 제어하고 상기 플레이트 (481)를 지지하는 플레이트고정부 (미도시)를 더 포함할 수 있다.

상기 그립부재 (421)는 상기 플렉서블 소재 (2)의 양측면을 고정시키는 것으로, 상기 플렉서블 소재 (2)와 접촉하는 부분에 탄성체 (424)를 구비할 수 있다. 상기 탄성체 (424)는 상기 플렉서블 소재 (2)에 마찰력을 부여하여 상기 플렉서블 소재 (2)가 슬립 (slip)되지 않도록 안정적으로 고정시킬 수 있으며, 또한 상기 탄성체 (424)의 탄성력에 의하여 플렉서블 소재 (2)를 가압하여 고정시켜도 상기 플렉서블 소재 (2)를 손상시키지 않고 고정시킬 수 있다.

또한, 상기 그립부재 (421)에는 상기 그립부재 (421)의 플렉서블 소재 (2)를 그립하는 압력을 제어하는 압력제어부 (421a)가 더 구비될 수 있다. 상기 압력제어부 (421a)는 상기 그립부재 (421)에 상기 플렉서블 소재 (2)를 구비시킨 후, 상기 그립부재 (421)의 그립하는 압력을 제어함으로써 상기 플렉서블 소재 (2)가 손상되지 않되 상기 플렉서블 소재 (2)를 안정적으로 고정시키도록 할 수 있다.

상기 이동지지부재 (480)은 판상형의 플레이트 (481)와 상기 플레이트 (481)의 내측으로 오목하게 구비된 슬라이딩홈 (482)을 포함할 수 있다. 상기 슬라이딩홈 (482)은 제1 방향으로 연장되는 한 개의 메인홈부 (482a)와, 상기 메인홈부 (482a)에서 수직하게 연장되되 상기 메인홈부 (482a)보다 짧은 길이로 연장되는 복수개의 가이드홈부 (482b)를 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정부 (420)의 바텀부 (423)은 바디부 (422)에서 연결되되 상기 바디부 (422)보다 좁은 폭으로 연결된 후 상기 바디부 (422)에 대응하는 폭으로 구비될 수 있다. 또한, 상기 슬라이딩홈 (482)은 상기 바텀부 (423)에 대응하는 형태로 구비될 수 있는데, 상기 슬라이딩홈 (482)은 플레이트 (481)의 외면에서는 좁은 폭의 개구부로 구비되되 상기 플레이트 (480)의 내측에는 상기 외면에 구비되는 개구부보다 넓은 폭으로 구비될 수 있다.

상기 제1 및 제2 고정부 (420)의 바텀부 (423)는 상기 플레이트 (481)에 구비된 메임홈부 (482a)의 말단을 통하여 삽입된 후 상기 가이드홈부 (482b)측으로 이동됨으로써 상기 이동지지부재 (480) 상에서의 위치가 고정될 수 있고, 이에 의하여 서로 이웃하는 제1 및 제2 고정부 (420) 사이의 간격을 제어할 수 있다. 또한, 상기 가이드홈부 (482b)는 복수개가 구비됨으로써 플렉서블 소재 (2)의 종류에 따라, 또는 상기 플렉서블 소재 (2)의 벤딩정도에 따라 상기 제1 및 제2 고정부 (420)의 간격을 다양하게 제어할 수 있다.

도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면형 기판 합착방법을 나타낸 흐름도이다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명은 전술한 곡면형 기판 합착장치를 이용하여 곡면형 기판 상에 플렉서블 소재를 합착시키는 곡면한 기판 합착방법을 제공할 수 있다.

도 12를 참조하면, 곡면형 기판 합착방법은 상부에 구비되는 기판지그부에 곡면형 기판을 고정시키고, 상기 기판지그부의 하부에 구비되는 제1 및 제2 고정부에 플렉서블 소재의 양측면을 고정시켜 상기 곡면형 기판과 상기 플렉서블 소재가 서로 대향하도록 구비시키는 단계; 상기 제1 및 제2 고정부의 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재가 상기 기판을 향하여 볼록하도록 벤딩시키는 단계; 상기 기판지그부를 벤딩된 플렉서블 소재에 인접하도록 하강시키는 단계; 상기 플렉서블 소재의 하부에 구비되어 탄성변형되는 압착패드부를 구비한 리프트부를 1차 상승시킴으로써 상기 플렉서블 소재를 제1 가압하여 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 접촉시키는 단계; 및 상기 압착패드부를 탄성변형시킴으로써 상기 플렉서블 소재를 제2 가압하여 상기 기판의 사이드부와 접촉시키는 단계;를 포함한다.

본 실시예에 따른 곡면형 기판 합착방법은 상기 플렉서블 소재와 상기 기판을 일괄하여 합착시키는 것이 아닌, 단계별로 합착시킬 수 있으며 외부 압력 또는 기체의 압력에 의하여 자유롭게 탄성변형되는 압착패드부를 이용함으로써 상기 곡면형 기판의 형상에 대응하는 압력을 상기 플렉서블 소재에 균일하게 제공할 수 있다. 따라서, 상기 플렉서블 소재는 상기 곡면형 기판의 형태, 곡률반경, 곡면의 개수에 제한되지 않고 다양한 형상을 갖는 곡면형 기판에 플렉서블 소재를 합착시킬 수 있다.

또한, 상기 기판과 상기 플렉서블 소재가 서로 대향하도록 구비시키는 단계에서, 상기 기판지그부는 상기 곡면형 기판이 안착되도록 상기 곡면형 기판의 형상에 대응하는 형태로 오목하게 구비되는 기판안착부와, 상기 기판안착부와 체결되어 내부에 상기 기판안착부를 가열하는 열선과 상기 기판고정몸체에는 상기 기판안착부의 온도를 측정하는 온도센서를 구비하는 기판고정몸체를 포함할 수 있는데, 상기 열선에 의하여 상기 기판을 가열하고 상기 온도센서에 의하여 상기 기판안착부의 온도를 측정하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 열선은 상기 기판고정몸체를 통하여 기판안착부로 열을 전달함으로써, 플렉서블 소재에 유연성을 제공하여 상기 기판과의 접촉이 보다 용이하게 수행되도록 할 수 있다. 또한, 상기 기판안착부에는 온도센서가 더 구비됨으로써, 상기 기판안착부의 온도를 측정하여 제어부로 전달하고, 상기 제어부를 통하여 열선의 가동을 제어할 수 있다. 상기 기판안착부로 전달되는 열은 상기 제어부에 의하여 소정 범위 내로 제어됨으로써 상기 플렉서블 소재가 유연성을 구비하되 물성의 변형이 없도록 할 수 있다.

상기 리프팅부 상에는 일면이 곡면을 갖고 상기 곡면 상에 압착패드부가 안착되는 블록이 구비되고, 상기 블록의 일면에는 상기 기판지그부를 향하여 볼록한 곡면과, 상기 곡면의 양말단에서 상기 압착패드부의 측면에 대면하도록 돌출되어 구비되는 한쌍의 사이드리브를 구비할 수 있다. 상기 제1 및 제2 고정부는 서로 근접하도록 이동하여 상기 제1 및 제2 고정부에 고정된 플렉서블 소재를 상기 블록의 볼록한 곡면에 대응하는 형태로 벤딩시킬 수 있다.

또한, 상기 블록의 볼록한 곡면 상에는 상기 플렉서블 소재와의 거리를 측정하는 거리센서가 더 구비될 수 있다. 상기 거리센서는 측정된 플렉서블 소재와 블록 사이의 거리를 상기 제1 및 제2 고정부에 구비된 모터로 전달하고, 상기 모터는 전달된 거리를 기반으로 상기 플렉서블 소재의 벤딩을 제어하되, 상기 플렉서블 소재의 벤딩된 정도가 상기 블록의 볼록한 곡면에 대응하는 형태가 되도록 상기 그립부재 사이의 간격을 제어할 수 있다.

상기 블록은 상기 압착패드부가 구비되는 면이 곡면으로 구비되고, 상기 압착패드부는 상기 플렉서블 소재와 대면하는 면이 상기 블록의 곡면에 대응하도록 구비될 수 있다. 상기 압착패드부는 상기 기판지그부측으로 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재를 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압할 수 있는데, 상기 압착패드부는 상기 리프팅부의 추가 이동에 의하여 상기 기판의 사이드부를 가압 (제1 단계)한 후 이어서 상기 기체주입부로 주입되는 기체에 의하여 상기 기판에 대응하는 형태로 팽창되어 상기 기판의 사이드부를 전체적으로 가압 (제2 단계)하는 두단계로 이루어지는 제2 가압을 포함할 수 있다.

상기 제1 가압은 상기 압착패드부에 의하여 상기 플렉서블 소재를 기판의 센터부에 라인컨택시킬 수 있고, 상기 제2 가압은 상기 기판과 라인컨택된 플렉서블 소재를 압착패드부를 통하여 가압하여 상기 기판의 사이드부분까지 개략적으로 컨택시키고 이어서 상기 압착패드부에 기체를 통하여 가압하여 상기 플렉서블 소재를 상기 기판에 전체적으로 합착되도록 할 수 있다.

또한, 상기 압착패드부에는 상기 기판과 상기 플렉서블 소재와의 컨택 레벨를 측정하는 센서부가 구비될 수 있는데, 상기 센서부는 측정된 컨택 레벨를 상기 제어부로 전달하고, 상기 제어부는 기입력된 데이터를 기준으로 상기 센서부에 의하여 전달된 컨택 레벨에 따라서 상기 기체주입부의 온/오프의 정도를 제어하여 상기 기판의 사이드부를 제2 가압할 수 있다.

본 실시예에 따른 곡면형 기판 합착방법에서는 상기 플렉서블 소재를 일괄하여 합착시키는 것이 아닌 상기 압착패드부를 통하여 단계별로 상이한 가압방법 등을 이용함으로써 상기 기판의 곡면 부분의 들뜸현상을 막고 기포층이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 압착패드부에는 상기 기판과 플렉서블 소재와의 컨택 레벨을 측정하고 이를 제어하는 제어부를 이용함으로써 기판의 표면이 불균일한 경우, 예컨대 상기 기판이 곡면 이외에 추가적으로 오목한 부분을 구비하는 경우에도 상기 플렉서블 소재를 상기 기판에 전체적으로 불량없이 합착되도록 할 수 있다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1 : 곡면형 기판 2 : 플렉서블 소재
100 : 곡면형 기판 합착장치 110, 210, 310 : 기판지그부
120, 420 : 제1 및 제2 고정부 130 : 리프팅부
140 : 압착패드부 150 : 기체주입부
160 : 제어부

Claims

곡면형 기판을 고정하도록 상기 기판에 대응되는 형상의 기판안착부를 구비한 기판지그부;
상기 기판지그부와 대향하도록 설치되고, 상기 기판에 부착되는 플렉서블 소재의 양측면을 고정시키도록 서로 이격되어 구비되는 한쌍의 제1 및 제2 고정부;
상기 제1 및 제2 고정부 사이에 구비되어 상기 기판지그부를 향하여 상하이동이 가능하도록 구비되는 리프팅부;
상기 리프팅부 상에 구비되어 상기 플렉서블 소재를 상기 기판지그부 측으로 가압하고, 기체의 유입에 의하여 가역적으로 팽창되는 압착패드부;
상기 압착패드부와 연결되어 상기 압착패드부로 기체를 주입하는 기체주입부; 및
상기 기체주입부의 온/오프를 제어하는 제어부;를 포함하고,
상기 압착패드부는 탄성변형되어 상기 플렉서블 소재가 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압한 후, 상기 기판의 사이드부로 제2 가압하고,
상기 압착패드부는 외부 압력 또는 기체의 가압에 의하여 탄성변형되어 상기 플렉서블 소재와 상기 기판의 사이드부분인 곡면부분을 밀착시키고,
상기 곡면형 기판은 제2 내지 제4 면의 곡면을 갖는 글라스 중 어느 하나이며,
상기 플렉서블 소재는 상기 곡면형 기판의 외면을 덮도록 구비되는 보호필름이며,
상기 압착패드부는 고분자 실리콘 또는 우레탄 고무패드 형태로 기체의 가압에 의하여 팽창되는 구조를 갖으며,
상기 제1 및 제2 고정부는 각각 상기 플렉서블 소재의 양측면을 고정시키는 그립부재, 상기 그립부재를 이동시키는 모터를 포함하고,
상기 제1 및 제2 고정부에 구비된 각각의 그립부재는 상기 모터에 의하여 서로 근접하도록 이동하여 상기 그립부재에 의하여 고정된 플렉서블 소재를 벤딩시키고,
상기 리프팅부는 일면이 곡면을 갖는 블록을 포함하되, 상기 블록의 일면은 상기 기판지그부를 향하여 볼록한 곡면을 갖도록 구비되며,
상기 제1 및 제2 고정부는 서로 근접하도록 이동하여 상기 제1 및 제2 고정부에 고정된 플렉서블 소재를 벤딩시키되, 상기 플렉서블 소재는 상기 블록의 볼록한 곡면에 대응하는 형태로 벤딩되며,
상기 블록의 볼록한 곡면 상에는 상기 압착패드부의 압력을 측정하는 압력센서가 더 구비되고,
상기 압력센서는 압착패드부의 측정된 압력을 상기 리프팅부 및 상기 제어부 중 어느 하나 이상으로 전달하고,
상기 리프팅부는 상기 압착패드부의 측정된 압력을 전달받아 상기 리프팅부의 상하 이동정도를 제어하여 상기 압착패드부가 상기 플렉서블 소재를 가압하는 정도를 제어하고,
상기 제어부는 상기 압착패드부의 측정된 압력을 전달받아 상기 기체주입부에서 상기 압착패드부로의 기체의 주입정도를 제어하여 상기 압착패드부가 상기 플렉서블 소재를 가압하는 정도를 제어하며,
상기 압착패드부에는 상기 기판과 상기 플렉서블 소재와의 컨택 레벨를 측정하는 센서부가 구비되고,
상기 센서부는 측정된 컨택 레벨를 상기 제어부로 전달하여 상기 기체주입부의 온/오프를 제어하고,
상기 압착패드부는 내부에 기체가 유입되는 공간을 구비하여 상기 기체주입부를 통하여 상기 압착패드부의 내부 공간으로 기체가 유입되어 상기 압착패드부의 부피가 증가하고,
상기 압착패드부는 상기 블록의 일면에 구비되되 상기 블록의 양말단에서 내측으로 이격되어 구비되고, 상기 블록의 양말단에는 상기 압착패드부의 측면에서 이격되어 상기 압착패드부와 대면하도록 구비되는 한쌍의 사이드리브가 구비되며, 상기 제1 가압하는 경우에는 상기 압착패드부는 상기 한쌍의 사이드리브와 이격되되 상기 제2 가압하는 경우에는 상기 압착패드부의 측면은 상기 한쌍의 사이드리브와 접촉하여 상기 한쌍의 사이드리브에 의하여 상기 압착패드부의 측면을 지지하여 상기 압착패드부에 의하여 상기 플렉서블 소재에 가해지는 힘이 외부로 분산되지 않도록 하여 상기 플렉서블 소재를 균일하게 가압하는 곡면형 기판 합착장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 기판지그부는 상기 압착패드부와 대향하는 면에 내측으로 오목한 기판안착부를 구비하고, 상기 기판안착부는 상기 곡면형 기판에 형합된 형태로 구비되는 곡면형 기판 합착장치.
제3항에 있어서,
상기 기판지그부는 상기 곡면형 기판이 안착되도록 상기 곡면형 기판에 대응하는 형태로 내측으로 오목하게 구비되는 하나 이상의 기판안착부와 상기 기판안착부와 연결되어 상기 기판안착부를 지지하는 기판고정몸체를 포함하고,
상기 기판안착부는 상기 기판고정몸체의 일면 및 타면에 각각 구비되는 제1 및 제2 기판안착부로 이루어지는 곡면형 기판 합착장치.
제4항에 있어서,
상기 기판고정몸체의 일면 및 타면을 연결하는 측면에는 상기 기판안착부와 체결되는 제1 체결부를 구비하고, 상기 제1 및 제2 기판안착부에는 상기 제1 체결부와 대응하도록 구비되는 제2 체결부를 구비하며,
상기 제1 및 제2 체결부는 ㄷ자형의 지그체결부재에 의하여 체결되며,
상기 제1 및 제2 체결부는 상기 지그체결부재의 형태에 대응하도록 내측으로 오목하게 구비되고, 상기 지그체결부재가 삽입체결된 제1 및 제2 체결부는 주변과 동일한 높이로 구비되는 곡면형 기판 합착장치.
제1항에 있어서,
상기 기판지그부는 상기 기판안착부와 상기 기판안착부와 연결되어 내부에 상기 기판안착부를 가열하는 열선을 구비하는 기판고정몸체를 포함하고,
상기 기판안착부에는 상기 기판안착부의 온도를 측정하는 온도센서가 구비되며,
상기 온도센서는 제어부와 연결되어 측정된 기판안착부의 온도를 상기 제어부로 전달하는 곡면형 기판 합착장치.
제1항에 있어서,
상기 기판지그부는 상기 기판안착부 내부에 구비되는 기판을 고정시키도록 외부에 구비되는 펌프와 연결되는 하나 이상의 감압홀을 더 포함하고,
상기 펌프는 상기 감압홀을 통하여 기체를 흡입하여 상기 기판을 고정시키는 곡면형 기판 합착장치.
삭제
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 고정부는 상기 플렉서블 소재의 양측면을 고정시키는 그립부재, 상기 그립부재가 슬라이딩 이동되도록 상기 그립부재와 연결되는 슬라이딩홈을 구비한 이동지지부재를 포함하고,
상기 그립부재는 상기 플렉서블 소재와 접촉하는 부분에 탄성체를 구비한 헤드부, 상기 헤드부에서 상기 이동지지부재 측으로 연장되는 막대형의 바디부, 상기 바디부의 말단에 구비되어 상기 슬라이딩홈으로 삽입되는 바텀부로 이루어지고,
상기 이동지지부재는 상기 슬라이딩홈이 구비되는 판상형의 플레이트를 포함하며,
상기 슬라이딩홈은 제1 방향으로 연장되는 한 개의 메인홈부와, 상기 메인홈부에서 수직하게 연장되되 상기 메인홈부보다 짧은 길이로 연장되는 복수개의 가이드홈부를 포함하는 곡면형 기판 합착장치.
제1항에 있어서,
상기 압착패드부는 상기 리프팅부 상에서 곡면으로 구비되고, 상기 곡면을 갖는 압착패드부는 상기 리프팅부의 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재를 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압하고,
상기 압착패드부는 상기 리프팅부의 추가 이동에 의하여 상기 기판의 사이드부분의 일부를 가압한 후 이어서 상기 기체주입부를 통하여 기체에 의하여 상기 기판에 대응하는 형태로 팽창되어 상기 기판의 사이드부분을 전체적으로 가압하는 두단계로 이루어지는 제2 가압하는 곡면형 기판 합착장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 기판지그부는 상부에 구비되어 상기 곡면형 기판이 하부를 향하도록 구비되고, 상기 제1 및 제2 고정부, 상기 압착패드부는 상기 기판지그부와 대향하도록 설치되어 상기 곡면형 기판을 대면하며,
상기 제1 및 제2 고정부의 양측면에 고정된 플렉서블 소재는 상기 제1 및 제2 고정부의 서로 대면하는 방향으로의 이동에 의하여 상기 기판을 향하는 방향으로 볼록하도록 벤딩되고,
상기 기판지그부는 상기 플렉서블 소재를 향하여 하강하고, 상기 압착패드부는 상기 기판을 향하여 1차 상승하여 상기 플렉서블 소재가 기판의 센터부와 라인컨택으로 접촉하며,
상기 압착패드부는 상기 기판을 향하여 2차 상승하여 상기 플렉서블 소재의 일부가 기판의 사이드부분과 접촉하고,
상기 압착패드부는 상기 압착패드부의 내부로 기체가 유입되어 팽창된 후 상기 플렉서블 소재가 상기 기판에 전체적으로 접촉하는 곡면형 기판 합착장치.
제1항, 제3항 내지 제7항, 제11항, 제12항 및 제14항 중 어느 한 항에 따른 곡면형 기판 합착장치를 이용하여 곡면형 기판 상에 플렉서블 소재를 합착시키는 방법으로,
상부에 구비되는 기판지그부에 곡면형 기판을 고정시키고, 상기 기판지그부의 하부에 구비되는 제1 및 제2 고정부에 플렉서블 소재의 양측면을 고정시켜 상기 곡면형 기판과 상기 플렉서블 소재가 서로 대향하도록 구비시키는 단계;
상기 제1 및 제2 고정부의 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재가 상기 기판을 향하여 볼록하도록 벤딩시키는 단계;
상기 기판지그부를 벤딩된 플렉서블 소재에 인접하도록 하강시키는 단계;
상기 플렉서블 소재의 하부에 구비되어 탄성변형되는 압착패드부를 구비한 리프트부를 1차 상승시킴으로써 상기 플렉서블 소재를 제1 가압하여 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 접촉시키는 단계; 및
상기 압착패드부를 탄성변형시킴으로써 상기 플렉서블 소재를 제2 가압하여 상기 기판의 사이드부와 접촉시키는 단계;를 포함하는 곡면형 기판 합착방법.
제15항에 있어서,
상기 플렉서블 소재의 일부와 상기 기판의 사이드부를 접촉사키는 단계는,
상기 리프트부에 의하여 상기 압착패드부를 2차 상승시킴으로써 상기 압착패드부에 의하여 상기 플렉서블 소재를 가압하여 상기 플렉서블 소재가 상기 기판의 사이드부측과 접촉시키는 단계; 및
상기 압착패드부의 내부로 기체를 유입시켜 상기 압착패드부를 팽창시키고, 팽창된 압착패드부에 의하여 상기 플렉서블 소재를 상기 기판에 전체적으로 접촉시키는 단계;를 포함하는 곡면형 기판 합착방법.
제15항에 있어서,
상기 기판과 상기 플렉서블 소재가 서로 대향하도록 구비시키는 단계에서,
상기 기판지그부는 상기 곡면형 기판이 안착되도록 상기 곡면형 기판의 형상에 대응하는 형태로 오목하게 구비되는 기판안착부와, 상기 기판안착부와 체결되어 내부에 상기 기판안착부를 가열하는 열선과 상기 기판고정몸체에는 상기 기판안착부의 온도를 측정하는 온도센서를 구비하는 기판고정몸체를 포함하고,
상기 열선에 의하여 상기 기판을 가열하고 상기 온도센서에 의하여 상기 기판안착부의 온도를 측정하는 단계를 포함하는 곡면형 기판 합착방법.
제15항에 있어서,
상기 리프팅부 상에는 일면이 곡면을 갖고 상기 곡면 상에 압착패드부가 안착되는 블록이 구비되고, 상기 블록의 일면에는 상기 기판지그부를 향하여 볼록한 곡면과, 상기 곡면의 양말단에서 상기 압착패드부의 측면에 대면하도록 돌출되어 구비되는 한쌍의 사이드리브를 구비하며,
상기 제1 및 제2 고정부는 서로 근접하도록 이동하여 상기 제1 및 제2 고정부에 고정된 플렉서블 소재를 상기 블록의 볼록한 곡면에 대응하는 형태로 벤딩시키는 곡면형 기판 합착방법.
제18항에 있어서,
상기 블록은 상기 압착패드부가 구비되는 면이 곡면으로 구비되고, 상기 압착패드부는 상기 플렉서블 소재와 대면하는 면이 상기 블록의 곡면에 대응하도록 구비되며,
상기 압착패드부는 상기 기판지그부측으로 이동에 의하여 상기 플렉서블 소재를 상기 기판의 센터부와 라인컨택되도록 제1 가압하고,
상기 압착패드부는 상기 리프팅부의 추가 이동에 의하여 상기 기판의 사이드부를 가압한 후 이어서 상기 기체주입부로 주입되는 기체에 의하여 상기 기판에 대응하는 형태로 팽창되어 상기 기판의 사이드부를 전체적으로 가압하는 두단계로 이루어지는 제2 가압하는 곡면형 기판 합착방법.
제16항에 있어서,
상기 압착패드부에는 상기 기판과 상기 플렉서블 소재와의 컨택 레벨를 측정하는 센서부가 구비되고,
상기 센서부는 측정된 컨택 레벨를 상기 제어부로 전달하고,
상기 제어부는 기입력된 데이터를 기준으로 상기 센서부에 의하여 전달된 컨택 레벨에 따라서 상기 기체주입부의 온/오프의 정도를 제어하여 상기 기판의 사이드부를 제2 가압하는 곡면형 기판 합착방법.