KR101825052B1 - 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템 - Google Patents
다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템에 관한 것이다. 본 발명은, 노즐 체결부(110)의 하부 면에는 제1 내지 제 m 행 노즐 그룹(180L-1 내지 180L-m, m은 2 이상의 자연수), 그리고 제1 내지 제 n 열 노즐 그룹(180C-1 내지 180C-n, n은 2 이상으로 m과 같거나 다른 자연수)으로 이루어진 복수의 노즐(180)이 돌출될 수 있는 홀이 형성되어, 각 홀로 노즐(180)이 위치한 상태에서 장치 본체(120)와 체결될 수 있는 구조를 갖는 세정 장치(100); 및 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a); 를 포함하며, 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)는, 외부에 위치한 제1 기체공급 펌프(10a), 세정액 공급 펌프(20a), 제2 기체공급 펌프(30a), 카메라(200), 제1 승하강 유닛(160a), 제2 승하강 유닛(170a)에 대한 제어신호 및 데이터 송수신을 수행하는 I/O 인터페이스(110a); 및 입출력부(150a)를 통해 입력된 디스플레이 패널 종류에 따른 선택 모드를 수신하여, 세정 장치(100)의 제1 기체 공급부(130)로 공급되는 제1 기체, 세정 장치(100)의 세정액 공급부(140)로 공급되는 세정액, 세정 장치(100)의 제2 기체 공급부(150)로 공급되는 제2 기체 중 적어도 하나 이상에 대해서 각각 제1 기체 저장탱크(10), 세정액 탱크(20), 제2 기체 저장탱크(30)로부터 공급되도록 I/O 인터페이스(110a)를 통한 제1 기체공급 펌프(10a), 세정액 공급 펌프(20a), 제2 기체공급 펌프(30a)로 각각 제어 명령을 전송하는 설정 모듈(141a); 을 포함하며, 고압 세정, 플라즈마 방전을 이용한 세정 등과 같이 디스플레이 패널의 특성에 따라 다르게 제공되는 세정 방식을 통합적으로 제공하는 세정 장치에 대한 제어를 수행할 수 있다.
Description
본 발명은 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 액정 디스플레이로 대표되는 평판 패널 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)에 대해서 각 액정 디스플레이 별로 달리 제공 가능한 세정 방식을 선택적으로 제공하고, 이러한 과정에 대한 제어 가능한 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템에 관한 것이다.
액정 디스플레이로 대표되는 평판 패널 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)는, 반도체 디바이스와 같이, 성막, 노광, 배선 에칭 등의 공정을 거쳐 제품이 제조되지만, 이러한 공정에 의해서, 기판 표면에 각종의 유기물이나 무기물 등의 크기가 1㎛이하의 매우 작은 파티클(Particle)의 부착 오염이 발생한다. 이러한 오염물이 부착된 채로, 이후의 공정을 처리한 경우, 막의 핀홀이나 피트, 배선의 단선이나 브릿지(Bridge)가 발생하여, 제품의 제조 수율이 저하된다. 따라서 소자의 특성의 향상을 위하여 필수적인 세정이 각 공정 간에 행해지고 있고, 이를 위한 세정액에 대해서도 많은 제안이 나와 있다. 그러나 각 디스플레이 패널에 따른 세정 방식이 다르므로, 각 디스플레이 패널 특성별로 개별적인 세정 장치가 제시되고 있는 상황이다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 고압 세정, 플라즈마 방전을 이용한 세정 등과 같이 디스플레이 패널의 특성에 따라 다르게 제공되는 세정 방식을 통합적으로 제공하는 세정 장치에 대해 제어를 수행하는 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 제1 내지 제 m 행 노즐 그룹(m은 2 이상의 자연수), 제1 내지 제 n 열 노즐 그룹(n은 2 이상으로 m과 같거나 다른 자연수)으로 구분된 복수의 노즐에 대해서 그룹별로 구분한 뒤 이웃하는 노즐과의 높낮이 조절이 가능할 뿐만 아니라, 그룹별 노즐 분사에 대한 제어도 가능하여 디스플레이 패널로 분사되는 분사 면에 대한 다양한 변형이 가능할 뿐만 아니라, 디스플레이 패널 상으로 세정액, 기체, 그 밖의 복합 세정액의 분사 면 사각지대를 없애서 세정의 효율성을 향상시키도록 하는 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 세정 방식에 따라 각기 달리 제공되는 기체와 액체 간의 혼합율에 대한 제어 및 피드백을 통한 조정이 실시간으로 가능한 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템을 제공하기 위한 것이다.
그러나 본 발명의 목적들은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정 시스템은, 노즐 체결부(110)의 하부 면에는 제1 내지 제 m 행 노즐 그룹(180L-1 내지 180L-m, m은 2 이상의 자연수), 그리고 제1 내지 제 n 열 노즐 그룹(180C-1 내지 180C-n, n은 2 이상으로 m과 같거나 다른 자연수)으로 이루어진 복수의 노즐(180)이 돌출될 수 있는 홀이 형성되어 각 홀로 노즐(180)이 위치한 상태에서 장치 본체(120)와 체결될 수 있는 구조를 갖는 세정 장치(100); 및 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a); 를 포함하며, 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)는, 외부에 위치한 제1 기체공급 펌프(10a), 세정액 공급 펌프(20a), 제2 기체공급 펌프(30a), 카메라(200), 제1 승하강 유닛(160a), 제2 승하강 유닛(170a)에 대한 제어신호 및 데이터 송수신을 수행하는 I/O 인터페이스(110a); 및 입출력부(150a)를 통해 입력된 디스플레이 패널 종류에 따른 선택 모드를 수신하여, 세정 장치(100)의 제1 기체 공급부(130)로 공급되는 제1 기체, 세정 장치(100)의 세정액 공급부(140)로 공급되는 세정액, 세정 장치(100)의 제2 기체 공급부(150)로 공급되는 제2 기체 중 적어도 하나 이상에 대해서 각각 제1 기체 저장탱크(10), 세정액 탱크(20), 또는 제2 기체 저장탱크(30)로부터 공급되도록 I/O 인터페이스(110a)를 통해서 제1 기체공급 펌프(10a), 세정액 공급 펌프(20a), 또는 제2 기체공급 펌프(30a)로 각각 제어 명령을 전송하는 설정 모듈(141a); 을 포함하며, 제1 기체 및 제2 기체는 동종 또는 이종의 기체인 것을 특징으로 한다.
이때, 설정 모듈(141a)은, 디스플레이 패널(1)이 이동 공급되는 컨베이어벨트와 같은 이동 수단 중 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)로 유입되는 전단의 상부에서 하방을 촬영하는 카메라(200)에 대한 객체 인식 기반의 촬영 개시 명령을 전송하도록 I/O 인터페이스(110a)를 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한, 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)는, 카메라(200)에 의한 객체 인식 기반으로 순차적으로 이동 수단 상부 면을 통해 제공되는 디스플레이 패널(1) 촬영 수행에 따라 생성된 디스플레이 패널 상부 영상을 수신하도록 I/O 인터페이스(110a)를 제어하는 정보 수집 모듈(142a); 을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 정보 수집 모듈(142a)은, 카메라(200)에 의해 촬영된 디스플레이 패널 상부 영상 중 파티클(Particle)의 부착 오염 영역에 대한 분석을 수행하는 것을 특징으로 한다.
또한, 정보 수집 모듈(142a)은, 디스플레이 패널 상부 영상을 분석 시 이미지 정보의 각 픽셀들의 명암값에 따라 히스토그램을 생성한 뒤, 히스토그램을 이용하여 디스플레이 패널(1)에 대한 오염도를 미리 구분된 좌표별로 생성하는 것을 특징으로 한다.
또한, 정보 수집 모듈(142a)은, 좌표별 오염도에 대한 평균값을 연산한 뒤, 연산된 평균값에 따라 오염도정보를 단계별로 구분하는 것을 특징으로 한다.
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또한, 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)는, 정보 수집 모듈(142a)에 의해 분석된 오염도정보에 따라서 제1 기체 저장탱크(10)에서 제1 기체 공급부(130)로 제1 기체 공급을 담당하는 DC 모터에 해당하는 제1 기체공급 펌프(10a)의 단계별 출력을 조절하도록 제1 기체공급 펌프(10a)에 대한 제어신호를 I/O 인터페이스(110a)를 통해 전송하는 구동 모듈(144a); 을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템은, 고압 세정, 플라즈마 방전을 이용한 세정 등과 같이 디스플레이 패널의 특성에 따라 다르게 제공되는 세정 방식을 통합적으로 제공하는 세정 장치에 대한 제어를 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템은, 제1 내지 제 m 행 노즐 그룹(m은 2 이상의 자연수), 제1 내지 제 n 열 노즐 그룹(n은 2 이상으로 m과 같거나 다른 자연수)으로 구분된 복수의 노즐에 대해서 그룹별로 구분한 뒤 이웃하는 노즐과의 높낮이 조절이 가능할 뿐만 아니라, 그룹별 노즐 분사에 대한 제어도 가능하여 디스플레이 패널로 분사되는 분사 면에 대한 다양한 변형이 가능할 뿐만 아니라, 디스플레이 패널 상으로 세정액, 기체, 그 밖의 복합 세정액의 분사 면 사각지대를 없애서 세정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
이뿐만 아니라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템은, 세정 방식에 따라 각기 달리 제공되는 기체와 액체 간의 혼합율에 대한 제어 및 피드백을 통한 조정이 실시간으로 가능한 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)에 기반한 다종 디스플레이 패널 세정 시스템을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)에 기반한 다종 디스플레이 패널 세정 시스템을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)가 설치되는 세정 장치(100)의 노즐 체결부(110)를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)의 구성요소를 나타내는 블록도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 다른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)가 설치되는 세정 장치(100)의 구성을 구체적으로 나타내기 위해 세정 장치(100)에 대한 도 1의 A-A'의 단면도이다.
도 6은 도 5의 세정 장치(100) 중 혼합배출관(190)의 구조를 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)에 기반한 다종 디스플레이 패널 세정 시스템을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)가 설치되는 세정 장치(100)의 노즐 체결부(110)를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)의 구성요소를 나타내는 블록도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 다른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)가 설치되는 세정 장치(100)의 구성을 구체적으로 나타내기 위해 세정 장치(100)에 대한 도 1의 A-A'의 단면도이다.
도 6은 도 5의 세정 장치(100) 중 혼합배출관(190)의 구조를 구체적으로 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예의 상세한 설명은 첨부된 도면들을 참조하여 설명할 것이다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)에 기반한 다종 디스플레이 패널 세정 시스템을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 다종 디스플레이 패널 세정 시스템은 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)가 설치되는 세정 장치(100), 그리고 세정 장치(100)와 신호 및 데이터 송수신을 수행하는 카메라(200) 및 제어 서버(300)로 이루어질 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)에 기반한 다종 디스플레이 패널 세정 시스템을 나타내는 도면이다. 도 2를 참조하면, 세정 장치(100), 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a), 카메라(200)를 하나의 디스플레이 세정 유닛(1)으로 하여 복수의 디스플레이 세정 유닛(1)이 네트워크(400)를 통해 제어 서버(300)와 신호 및 데이터 송수신을 수행할 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)가 설치되는 세정 장치(100)의 노즐 체결부(110)를 나타내는 도면이다. 도 3을 참조하면, 노즐 체결부(110)의 하부 면에는 도 3a와 같이 제1 내지 제 m 행 노즐 그룹(180L-1 내지 180L-m, m은 2 이상의 자연수), 그리고 제1 내지 제 n 열 노즐 그룹(180C-1 내지 180C-n, n은 2 이상으로 m과 같거나 다른 자연수)으로 이루어진 복수의 노즐(180)이 돌출될 수 있는 홀이 형성될 수 있다.
즉, 세정 장치(100) 중 장치 본체(120)의 하부로 체결되는 노즐 체결부(110)는 각 노즐(180)을 수용하기 위한 홀을 제공함으로써, 각 홀에 노즐(180)이 위치한 상태에서 장치 본체(120)와 체결될 수 있는 구조를 갖는다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)의 구성요소를 나타내는 블록도이다. 도 4를 참조하면, 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)는 I/O 인터페이스(110a), 송수신부(120a), 저장부(130a), 제어부(140a), 그리고 입출력부(150a)를 포함할 수 있다.
I/O 인터페이스(110a)는 외부에 형성된 제1 기체공급 펌프(10a), 세정액 공급 펌프(20a), 제2 기체공급 펌프(30a), 카메라(200), 제1 승하강 유닛(160a), 제2 승하강 유닛(170a)에 대한 제어신호 및 데이터에 대한 송수신을 수행할 수 있다.
송수신부(120a)는 네트워크(400)를 통해 무선 또는 유선 통신방식으로 제어 서버(300)와 신호 및 데이터 송수신을 수행할 수 있다.
저장부(130a)는 비휘발성 메모리(Non-volatile memory, NVM)로써 전원이 공급되지 않아도 저장된 데이터를 계속 유지하며 삭제되지 않으며, 플래시 메모리(Flash Memory), MRAM(Magnetic Random Access Memory), PRAM(Phase-change Random Access memory: 상변화 램), FRAM(Ferroelectric RAM: 강유전체 램) 등으로 구성될 수 있다.
제어부(140a)는 설정 모듈(141a), 정보 수집 모듈(142a), 노즐 위치 제어 모듈(143a) 및 구동 모듈(144a)로 구분될 수 있다.
설정 모듈(141a)은 입출력부(150a)를 통해 입력된 디스플레이 패널 종류에 따른 선택 모드를 수신하여, 제1 기체 공급부(130)로 공급되는 제1 기체, 세정액 공급부(140)로 공급되는 세정액, 제2 기체 공급부(150)로 공급되는 제2 기체 중 적어도 하나 이상에 대해서 각각 제1 기체 저장탱크(10), 세정액 탱크(20), 제2 기체 저장탱크(30)로부터 공급되도록 I/O 인터페이스(110a)를 통해서 제1 기체공급 펌프(10a), 세정액 공급 펌프(20a), 제2 기체공급 펌프(30a)로 각각 제어 명령을 전송할 수 있다.
이후, 설정 모듈(141a)은 디스플레이 패널(1)이 이동 공급되는 컨베이어벨트와 같은 이동 수단 중 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)로 유입되는 전단의 상부에서 하방을 촬영하는 카메라(200)에 대한 객체 인식 기반의 촬영 개시 명령을 전송하도록 I/O 인터페이스(110a)를 제어한다.
정보 수집 모듈(142a)은 카메라(200)에 의한 객체 인식 기반으로 순차적으로 이동 수단 상부 면을 통해 제공되는 디스플레이 패널(1) 촬영 수행에 따라 생성된 디스플레이 패널 상부 영상을 수신하도록 I/O 인터페이스(110a)를 제어한다.
정보 수집 모듈(142a)은 카메라(200)에 의해 촬영된 디스플레이 패널 상부 영상 중 파티클(Particle)의 부착 오염 영역에 대한 분석을 수행한다.
보다 구체적으로 정보 수집 모듈(142a)은 디스플레이 패널 상부 영상을 분석시 이미지 정보의 각 픽셀들의 명암값에 따라 히스토그램을 생성한 뒤, 히스토그램을 이용하여 디스플레이 패널(1)에 대한 오염도를 미리 구분된 좌표별로 생성할 수 있다.
또한, 정보 수집 모듈(142a)은 좌표별 오염도에 대한 평균값을 연산한 뒤, 연산된 평균값에 따라 오염도정보를 단계별(예, 상, 중, 하)로 구분할 수 있다.
노즐 위치 제어 모듈(143a)은 복수의 노즐(180)에 대해서 제1 내지 제 m 행 노즐 그룹(180L-1 내지 180L-m, m은 2 이상의 자연수), 그리고 제1 내지 제 n 열 노즐 그룹(180C-1 내지 180C-n, n은 2 이상으로 m과 같거나 다른 자연수)으로 구분하여 제어하도록 제1 승하강 유닛(160a) 및 제2 승하강 유닛(170a)에 대한 제어를 수행한다.
즉, 각 노즐(180)은 도 3b와 같이 행 및/또는 열 방향에 교대로 높낮이 차이를 두고 형성됨으로써, 디스플레이 패널(1) 상으로 세정액, 기체, 그 밖의 복합 세정액의 분사 면의 사각지대를 없애서 세정의 효율성을 향상시킬 수 있다. 이를 위해, 도 5와 같이 각 노즐(180)의 상부와 연결된 연장관(196)은 높낮이에 따라 2단으로 구분되는 제1 노즐 그룹 구동부(160)의 제1 고정패널(160b), 또는 제2 노즐 그룹 구동부(170)의 제2 고정패널(170b)에 집단적으로 고정될 수 있는 구조를 갖는다.
한편, 노즐 위치 제어 모듈(143a)은 정보 수집 모듈(142a)의 분석결과 오염도정보에 따라 도 3과 같이 2단으로 구분된 높이로 위치된 복수의 노즐(80)의 전체적인 높이에 대해서 오염도정보가 상인 경우 제1 높이, 중인 경우 제2 높이, 하인 경우 제3 높이(제1 높이 < 제2 높이, 제3 높이)로 조절하도록 제1 승하강 유닛(160a) 및 제2 승하강 유닛(170a)에 대한 제어를 I/O 인터페이스(110a)를 통해 수행할 수 있다.
이후, 구동 모듈(144a)은 정보 수집 모듈(142a)에 의해 분석된 오염도정보에 따라서 제1 기체 저장탱크(10)에서 제1 기체 공급부(130)로 제1 기체 공급을 담당하는 DC 모터에 해당하는 제1 기체공급 펌프(10a)의 단계별 출력을 조절하도록 제1 기체공급 펌프(10a)에 대한 제어신호를 I/O 인터페이스(110a)를 통해 전송한다.
이뿐만 아니라, 구동 모듈(144a)은 입출력부(150a)를 통해 입력된 디스플레이 패널 종류에 따른 선택 모드와 분석된 운영도 정보별로 매칭하여 미리 저장부(130a)에 저장된 세정액 공급량 및 제2 기체 공급량을 추출한 뒤, 추출된 세정액 공급량에 대해서는 세정액 탱크(20)에서 세정액 공급부(140)로 세정액 공급을 담당하는 DC 모터에 해당하는 세정액 공급 펌프(20a)에 대한 제어를 통해 세정액 공급을 조절할 수 있다. 또한, 구동 모듈(144a)은 추출된 제2 기체 공급량에 대해서는 제2 기체 저장탱크(30)에서 제2 기체 공급부(150)로 제2 기체 공급을 담당하는 DC 모터에 해당하는 제2 기체공급 펌프(30a)에 대한 제어를 통해 제2 기체 공급을 조절할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시 예로, 세정 장치(100), 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a), 카메라(200)를 하나의 단위로 하는 디스플레이 세정 유닛(1)을 컨베이어 벨트에 연속적으로 2개를 형성한 뒤, 한번 더 세정을 수행할 수 있다.
이 경우, 정보 수집 모듈(142a)은 연속된 디스플레이 세정 유닛(1)의 카메라(200)에 의해 촬영된 2차원 이미지와, 이전 디스플레이 세정 유닛(1)의 카메라(20)에 의해 촬영된 2차원 이미지에 대한 대비 분석을 통해, 각 좌표에 포함된 점 좌표의 오염도 비교를 통해 오염도가 임계치 이하로 떨어지지 않은 픽셀(pixel)이 있는지를 분석한다. 구동 모듈(144a)은 정보 수집 모듈(142a)로부터 분석된 픽셀에 해당하는 곳이 진행하는 노즐(180)에 대한 전자밸브 개폐제어를 통해 핀셋식 오염 물질 제거를 수행할 수 있다. 한편 노즐(180) 제어를 위한 전자밸브는 노즐(180) 내부 또는 후술하는 혼합배출관(190)을 구성하는 구성요소 중 하나의 구성요소에 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 다른 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)가 설치되는 세정 장치(100)의 구성을 구체적으로 나타내기 위해 세정 장치(100)에 대한 도 1의 A-A'의 단면도이다. 도 6은 도 5의 세정 장치(100) 중 혼합배출관(190)의 구조를 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 세정 장치(100)는 노즐 체결부(110), 장치 본체(120), 제1 기체 공급부(130), 세정액 공급부(140), 제2 기체 공급부(150), 제1 노즐 그룹 구동부(160), 제2 노즐 그룹 구동부(170), 노즐(180), 그리고 혼합배출관(190)을 포함할 수 있다.
노즐 체결부(110)는 육면체로 형성되는 장치 본체(120) 중 개방된 하부 면에 체결되기 위해, 상부 면이 개방된 모양이며, 장치 본체(120)와의 접합 면은 도시되진 않았지만 단턱 구조 또는 체결홈 구조를 통해 장치 본체(120)와 결합 및 분리가 가능한 구조로 형성될 수 있다.
또한, 장치 본체(120)의 하부로 체결되는 노즐 체결부(110)는 각 노즐(180)을 수용하기 위한 홀을 제공함으로써, 각 홀에 노즐(180)이 위치한 상태에서 장치 본체(120)와 체결될 수 있는 구조를 갖는다.
장치 본체(120)는 상부로부터 하부로는 제1 기체 공급부(130), 세정액 공급부(140), 제2 기체 공급부(150)가 적층되며, 적층된 내부를 관통하는 혼합배출관(190)을 통해 노즐(180) m×n 개가 연결될 수 있는 장소를 제공한다. 제1 기체 공급부(130), 세정액 공급부(140), 제2 기체 공급부(150)는 모두 육면체로 상부에서 하부로 적층된 상태에서, 혼합배출관(190)을 통해 기체와 액체를 효율적으로 혼합할 수 있는 구조를 갖는다.
여기서, 각 혼합배출관(190)은 제1 기체 공급부(130)로 공급된 제1 기체의 압력을 이용해 제1 기체 공급부(130)의 하부에 위치한 세정액 공급부(140) 내로 공급된 세정액과 혼합을 수행하거나, 제1 기체만을 디스플레이 패널(1)이 위치한 챔버로 공급하는 역할을 수행할 수 있다. 한편, 각 혼합배출관(190)은 제1 기체 공급부(130)로부터 제공된 제1 기체와 혼합된 세정액에 제2 기체를 추가로 혼합하거나, 제1 기체와는 상관없이 세정액 공급부(140)로부터 공급된 세정액과 제2 기체 공급부(150)로부터 제공된 제2 기체가 혼합된 세정액을 단독으로 디스플레이 패널(1)로 균일하게 분사할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예로, 제1 기체 공급부(130)로부터 공급된 제1 기체가 단순히 고압 기체인 경우, 디스플레이 패널(1)은 오염 민감성 디바이스에 해당하므로, 금속 오염물을 함유하지 않은 초고순도 기체가 사용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예로, 디스플레이 패널(1)이 챔버 내에 있는 경우, 제1 기체 공급부(130)로부터 공급된 제1 기체는, 세정액 공급부(140)에서 공급된 "세정액" 및 제2 기체 공급부(150)에서 공급된 "제2 기체"와 혼합되지 않고 단독적으로 노즐(180)을 통해 챔버 내로 공급되는 세정가스일 수 있다. 이에 따라, 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)는 제1 기체공급 펌프(10a)에 대한 제어에 의해 제1 기체 공급부(130)와 연결된 상부 기체 공급단(130a)을 통해 디스플레이 패널(1)이 있는 챔버 내로 제1 기체를 주입하도록 제어한 뒤, 챔버 내에 구비된 제1 전극 및 제2 전극에 전원을 인가하여 세정가스의 플라즈마 방전에 의해 디스플레이 패널(1)의 불순물이 제거되도록 할 수도 있다. 이때, 제1 가스는 방전 가스로 네온(Ne), 아르곤(Ar) 등일 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시 예로, 제1 기체가 고압 가스인 경우, 세정액 공급부(140)에서 제공되는 세정액은 H2O2 또는 탈이온수(DI: Deionized Water)일 수 있으며, 제 \2 기체는 디스플레이 패널 표면에 부착된 유기물질(organic matter)을 세정을 위한 질소 기체일 수 있다. 이에 따라, 제1 기체인 고압 가스에 의해 세정액 공급부(140) 상으로 제공된 세정액을 하방으로 이동시키며, 세정액 공급부(140) 상에서 제공된 세정액은 제2 기체 공급부(150)의 질소 기체와 함께 기체 주입단(193) 상에서 혼합된 뒤, 기체 주입단(193) 보다 직경이 점차적으로 작아지는 좁아진 유로에 해당하는 혼합배출관(190)의 고정관(195) 및 연장관(196)과 순차적으로 연결된 노즐(190)을 통해 혼합율이 향상될 뿐만 아니라, 고압상태로 분사될 수 있다.
이 경우, 추가로 챔버 내에 형성된 엑시머 램프로부터 UV(Ultraviolet)를 조사하여 H2O2 또는 탈이온수(DI: Deionized Water)로부터 수산화기(OH-)를 생성시켜, 생성된 수산화기로써 디스플레이 패널 표면에 부착된 유기물을 분해하여 제거할 수 있다.
한편, 도시된 제1 기체 공급부(130), 세정액 공급부(140), 제2 기체 공급부(150)에서 제공되는 제1 기체, 세정액, 제2 기체는, 디스플레이 패널(1)의 종류에 따라 다른 종류로 제공될 수 있으며, 세정액 공급부(140)에서 기체 또는 고체를 제공하거나, 제1 기체 공급부(130) 및 제2 기체 공급부(150)에서 액체 또는 고체를 제공하도록 변형될 수 있다. 그리고 제1 기체 공급부(130), 세정액 공급부(140), 제2 기체 공급부(150)와 각기 연결된 외부의 제1 기체 저장탱크(10), 세정액 탱크(20), 제2 기체 저장탱크(30)는 복수 개로 형성되어 각 복수 개의 탱크(10, 20, 30)에 대해서 분기된 유로 및 밸브에 대한 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)의 제어에 따라 이종의 제1 기체, 세정액, 제2 기체가 입출력부(150a)를 통해 입력된 디스플레이 패널 종류에 따른 선택 모드에 따라 공급될 수 있다.
그리고, 도 6을 참조하면, 각 혼합배출관(190)은 구체적인 구성으로 기체 유입단(191), 메쉬타입 세정액 혼합망(192), 기체 주입단(193), 주입관 연결홀(194), 고정관(195), 연장관(196)으로 이루어질 수 있다. 기체 유입단(191)은 제1 기체 공급부(130)의 상부 면에 형성된 4개의 상부 기체 공급단(130a)으로부터 유입된 제1 기체의 압력에 따라 제1 기체를 세정액 공급부(140)에 걸쳐 있는 메쉬타입 세정액 혼합망(192)으로 제공한다. 여기서 4개의 상부 기체 공급단(130a)은 제1 기체공급 펌프(10a)를 구비한 제1 기체 저장탱크(10)와 연통된 구조를 갖는다.
이에 따라, 메쉬타입 세정액 혼합망(192)은 원통형의 메쉬망 구조로 각 격자를 통해 세정액을 기체 유입단(191)으로 유입된 기체의 압력을 이용해 세정액과 혼합할 뿐만 아니라, 세정액과 넓은 표면적으로 접촉함으로써, 기체의 압력으로 인한 혼합배출관(190)의 폐쇄된 영역에 해당하는 기체 유입단(191), 기체 주입단(193), 주입관 연결홀(194), 고정관(195), 연장관(196)에 대한 기체 압력의 부하(Load)를 분산시키는 역할을 수행할 수 있다.
기체 주입단(193)은 주입관 연결홀(194)이 형성되어 제2 기체 공급부(150)의 측부 기체 공급단(150a)으로부터 유입된 제2 기체와 세정액 간의 혼합을 수행할 수 있으며, 고정관(195)과 연장관(196)을 통해 노즐(180)로 제1 기체의 기체 압력을 통해 세정액 및 제2 기체가 혼합된 복합 세정액을 제공할 수 있다.
이에 따라 노즐(180)은 제1 기체, 세정액, 복합 세정액(제1 기체와 세정액의 복합 세정액, 세정액과 제2 기체의 복합 세정액, 그 밖의 제1 기체, 세정액, 제2 기체의 복합 세정액)을 분사함으로써, 디스플레이 패널(1)에 대한 세정을 수행할 수 있다. 한편, 고정관(195)은 상부로는 기체 주입단(193), 하부로는 연장관(196)과 연결된 구조로, 내부로 연장관(196)의 수직 방향 상하 운동에 따라 연장관(196)의 상측 일부를 수용하거나 배출하기 위해 연장관(196)의 외주 면이 고정관(195)의 내부 면과 접하도록 함으로써, 세정액 및 기체가 새지 않으면서도 수용될 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시 예로, 연장관(196)의 외주 면 직경이 15mm인 경우 연장관(196)과 고정관(195)이 최대로 펼쳐진 상태에서 겹쳐진 영역이 20㎛ 이상인 경우 액체 및 기체가 새지 않을 수 있다.
한편, 연장관(196)은 제1 노즐 그룹 구동부(160)의 제1 고정패널(160b), 또는 제2 노즐 그룹 구동부(170)의 제2 고정패널(170b)에 고정된 구조일 수 있다. 즉, 각 노즐(180)은 도 3a와 같이 행 및/또는 열 방향에 교대로 높낮이 차이를 두고 형성됨으로써, 디스플레이 패널(1) 상으로 세정액, 기체, 그 밖의 복합 세정액의 분사 면 사각지대를 없애서 세정의 효율성을 향상시킬 수 있다. 각 노즐(180)의 상부와 연결된 연장관(196)은 높낮이에 따라 2단으로 구분되는 제1 노즐 그룹 구동부(160)의 제1 고정패널(160b), 또는 제2 노즐 그룹 구동부(170)의 제2 고정패널(170b)에 집단적으로 고정될 수 있는 구조를 갖는다.
제1 노즐 그룹 구동부(160)의 제1 고정패널(160b)의 양 측면의 상부로는 제1 승하강 유닛(160a)이 연결되어, 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)의 제어에 따라 노즐(180)의 위치를 복수의 단계(예, 3단계)별로 조절할 수 있으며, 이를 위해 각 제1 승하강 유닛(160a)은 유압 방식으로 동작하는 유압 실린더 및 피스톤으로 구성될 수 있다.
또한, 제2 노즐 그룹 구동부(170)의 제2 고정패널(170b)의 양 측면의 상부로는 제2 승하강 유닛(170a)이 연결되어, 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)의 제어에 따라 노즐(180)의 위치를 복수의 단계(예, 3단계)별로 조절할 수 있으며, 이를 위해 각 제2 승하강 유닛(170a)도 유압 방식으로 동작하는 유압 실린더 및 피스톤으로 구성될 수 있다.
이상과 같이, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시 예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
10 : 제 1 기체 저장탱크
20 : 세정액 탱크
30 : 제 2 기체 저장탱크
10a : 제 1 기체공급 펌프
20a : 세정액 공급 펌프
30a : 제 2 기체공급 펌프
100a : 종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치
110a : I/O 인터페이스
120a : 송수신부
130a : 저장부
140a : 제어부
141a : 설정 모듈
142a : 정보 수집 모듈
143a : 노즐 위치 제어 모듈
144a : 구동 모듈
150a : 입출력부
190 : 혼합배출관
20 : 세정액 탱크
30 : 제 2 기체 저장탱크
10a : 제 1 기체공급 펌프
20a : 세정액 공급 펌프
30a : 제 2 기체공급 펌프
100a : 종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치
110a : I/O 인터페이스
120a : 송수신부
130a : 저장부
140a : 제어부
141a : 설정 모듈
142a : 정보 수집 모듈
143a : 노즐 위치 제어 모듈
144a : 구동 모듈
150a : 입출력부
190 : 혼합배출관
Claims (1)
- 노즐 체결부(110)의 하부 면에는 제1 내지 제 m 행 노즐 그룹(180L-1 내지 180L-m, m은 2 이상의 자연수), 그리고 제1 내지 제 n 열 노즐 그룹(180C-1 내지 180C-n, n은 2 이상으로 m과 같거나 다른 자연수)으로 이루어진 복수의 노즐(180)이 돌출될 수 있는 홀이 형성되어, 각 홀에 노즐(180)이 위치한 상태에서 장치 본체(120)와 체결될 수 있는 구조를 갖는 세정 장치(100); 및 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a); 를 포함하며,
다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치(100a)는,
외부에 위치한 제1 기체공급 펌프(10a), 세정액 공급 펌프(20a), 제2 기체공급 펌프(30a), 카메라(200), 제1 승하강 유닛(160a), 및 제2 승하강 유닛(170a)에 대해서, 제어신호 및 데이터 송수신을 수행하는 I/O 인터페이스(110a); 및
입출력부(150a)를 통해 입력된 디스플레이 패널 종류에 따른 선택 모드를 수신하여, 세정 장치(100)의 제1 기체 공급부(130)로 공급되는 제1 기체, 세정 장치(100)의 세정액 공급부(140)로 공급되는 세정액, 세정 장치(100)의 제2 기체 공급부(150)로 공급되는 제2 기체 중 적어도 하나 이상이, 각각 제1 기체 저장탱크(10), 세정액 탱크(20), 제2 기체 저장탱크(30)로부터 공급되도록, I/O 인터페이스(110a)를 통해서, 제1 기체공급 펌프(10a), 세정액 공급 펌프(20a), 제2 기체공급 펌프(30a)로 각각 제어 명령을 전송하는 설정 모듈(141a); 을 포함하며,
설정 모듈(141a)은,
디스플레이 패널(1)이 이동 공급되는 이동 수단에서, 디스플레이 패널(1)이 제어 장치(100a)로 유입되는 전단의 상부에서 하방을 촬영하는 카메라(200)에, 객체 인식 기반의 촬영 개시 명령을 전송하도록 I/O 인터페이스(110a)를 제어하는 것을 특징으로 하며,
제어 장치(100a)는,
카메라(200)에 의해 객체 인식 기반으로 이루어지는 디스플레이 패널(1) 촬영에 따라 생성된 디스플레이 패널 상부 영상을 수신하도록 I/O 인터페이스(110a)를 제어하는 정보 수집 모듈(142a); 을 더 포함하는 것을 특징으로 하고,
정보 수집 모듈(142a)은,
카메라(200)에 의해 촬영된 디스플레이 패널 상부 영상에 대해, 파티클(Particle)의 부착 오염 영역 분석을 수행하는 것을 특징으로 하며,
정보 수집 모듈(142a)은,
디스플레이 패널 상부 영상을 분석 시 이미지 정보의 각 픽셀들의 명암값에 따라 히스토그램을 생성한 뒤, 히스토그램을 이용하여 디스플레이 패널(1)에 대한 오염도를 미리 구분된 좌표별로 생성하며, 좌표별 오염도에 대한 평균값을 연산한 뒤, 연산된 평균값에 따라 오염도정보를 단계별로 구분하는 것을 특징으로 하고,
제어 장치(100a)는,
정보 수집 모듈(142a)에 의해 분석된 오염도정보에 따라서, 제1 기체 저장탱크(10)로부터 제1 기체 공급부(130)로 제1 기체를 공급하는 기능을 담당하는 제1 기체공급 펌프(10a)의 단계별 출력을 조절하도록, 제1 기체공급 펌프(10a)에 대한 제어신호를 I/O 인터페이스(110a)를 통해 전송하는 구동 모듈(144a); 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다종 디스플레이 패널 세정 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170111609A KR101825052B1 (ko) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170111609A KR101825052B1 (ko) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101825052B1 true KR101825052B1 (ko) | 2018-02-02 |
Family
ID=61223168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170111609A KR101825052B1 (ko) | 2017-09-01 | 2017-09-01 | 다종 디스플레이 패널 세정을 위한 제어 장치, 그리고 이를 기반한 디스플레이 패널 세정 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101825052B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102180093B1 (ko) * | 2020-03-11 | 2020-11-24 | (주)정석이앤씨 | 건축 가설재 후처리 시스템 |
| CN113625787A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-11-09 | 深圳市裕展精密科技有限公司 | 应用于清洁系统的控制装置、控制方法及清洁系统 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3057599B2 (ja) | 1994-07-06 | 2000-06-26 | キヤノン株式会社 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP2005185984A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置および基板処理システム |
| KR100903645B1 (ko) | 2008-10-14 | 2009-06-17 | 주식회사 에이유테크 | 국부 세정이 가능한 패널세정장치 및 패널세정방법 |
| KR101469549B1 (ko) | 2013-07-29 | 2014-12-05 | 주식회사 케이씨텍 | 노즐 유닛 및 이를 구비하는 기판세정장치 |
-
2017
- 2017-09-01 KR KR1020170111609A patent/KR101825052B1/ko active IP Right Grant
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