KR101815587B1 - 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치 - Google Patents

소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치에 관한 것으로, 본 발명은 서로 대면되게 위치하는 한 쌍의 수직베이스부재들; 상기 수직베이스부재들에서 아래위로 반복적으로 움직이면서 캐리어플레이트를 집어 아래로 이동시키는 플레이트이동유닛; 상기 수직베이스부재들에 각각 수평 방향으로 왕복 운동하면서 상기 이동유닛이 위로 움직이는 동안 캐리어플레이트를 집어 고정하는 플레이트고정유닛;을 포함하며, 상기 플레이트이동유닛은 상기 수직베이스부재들에 각각 상하 움직임 가능하게 결합되는 베이스프레임들과, 상기 베이스프레임들을 동시에 상하로 움직이는 프레임구동유닛과, 상기 베이스프레임들에 각각 구비되어 수평 방향으로 각회전하면서 캐리어플레이트를 지지하거나 그 지지를 해제하는 플레이트지지유닛을 포함한다. 본 발명에 따르면, 캐리어플레이트들을 견고하게 지지하고, 캐리어플레이트들을 효율적으로 냉각시킨다.

Description

소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치{BUFFER APPARATUS FOR DEVICE EXTERNAL ELECTRODE FORMING SYSTEM}
본 발명은 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치에 관한 것이다.
다층세라믹 칩콘덴서(Multi Layer Ceramic Condenser: MLCC)는 얇은 세라믹 유전체층과 내부 전극을 상호교대로 적층시킨 구조로, 정전용량을 높이면서 소형화한 것이다. 다층세라믹 칩콘덴서의 크기는 가로 0.6mm×세로 0.3mm×높이 0.2mm이며 그보다 더 작은 크기도 제작되고 있다. 다층세라믹 칩콘덴서는 컴퓨터, 이동통신단말기 등에 사용되고 있다. 다층세라믹 칩콘덴서를 제조하는 공정의 일예로, 다층 세라믹스커패시터 제조공정은 그린시트를 성형하고 그린시트를 다수 개의 단위그린시트로 절단하고 단위그린시트에 배선을 프린팅하고 그 배선이 프린팅된 단위그린시트들을 적층하고 단위그린시트 적층체를 절단하고 그 절단된 적층체인 소자에 외부 전극을 형성하는 과정을 포함한다.
다층세라믹 칩콘덴서의 제조 공정 중 소자의 양단부에 형성되는 외부 전극은 적층체인 소자의 내부전극과 전기적으로 연결될 수 있도록 도전성 페이스트를 도포하고 그 소자의 양단에 도포된 도전성 페이스트를 건조시켜 형성한다. 이와 같은 방법은 레지스터, 인덕터 등의 전자부품에 적용되기도 한다.
소자의 양단부에 외부전극을 형성하는 공정은, 내부에 다수 개의 관통홀들이 배열된 캐리어플레이트의 관통홀들에 소자들을 각각 삽입하되 외부로 돌출되도록 삽입한 상태에서 소자의 단부에 도전성 페이스트를 도포하고 그 소자들에 도포된 도전성 페이스트를 건조시키는 과정을 포함한다. 소자들에 각각 도포된 페이스트의 건조가 완료된 후 소자들이 배열된 캐리어플레이트는 버퍼장치를 거치면서 냉각됨과 아울러 다음 공정을 위하여 보관 대기시키게 된다.
대한민국등록특허 제10-1050674호(2011. 07. 14. 등록일)(이하, 선행기술이라 함)에는 캐리어플레이트들을 보관 대기시키는 버퍼유닛이 개시되어 있다. 선행기술에 개시된 버퍼장치는 두 개의 체인벨트들이 서로 대면되게 위치하고 그 두 개의 체인벨트들에 각각 지지핀들이 간격을 두고 구비되어 그 두 개의 체인벨트의 지지핀들에 캐리어플레이트의 양단이 지지됨에 의해 캐리어플레이트가 두 개의 체인벨트 사이에 위치하게 된다. 그러나 선행기술은 지지핀들이 체인벨트에 결합되므로 지지핀들에 지지되는 캐리어플레이트가 견고하게 지지되지 못하는 단점이 있다.
본 발명의 목적은 캐리어플레이트들을 견고하게 지지하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 캐리어플레이트들을 효율적으로 냉각시키는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 서로 대면되게 위치하는 한 쌍의 수직베이스부재들; 상기 수직베이스부재들에서 아래위로 반복적으로 움직이면서 캐리어플레이트를 집어 아래로 이동시키는 플레이트이동유닛; 상기 수직베이스부재들에 각각 수평 방향으로 왕복 운동하면서 상기 플레이트이동유닛이 위로 움직이는 동안 캐리어플레이트를 지지 고정하는 플레이트고정유닛;을 포함하며, 상기 플레이트이동유닛은 상기 수직베이스부재들에 각각 상하 움직임 가능하게 결합되는 베이스프레임들과, 상기 베이스프레임들을 동시에 상하로 움직이는 프레임구동유닛과, 상기 베이스프레임들에 각각 구비되어 수평 방향으로 왕복으로 각회전하면서 캐리어플레이트를 지지하거나 그 지지를 해제하는 플레이트지지유닛들을 포함하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치가 제공된다.
상기 플레이트고정유닛은 상기 수직베이스부재들에 각각 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되며 상기 캐리어플레이트를 고정하는 고정부재들과, 상기 고정부재를 수평 왕복 운동시키는 수평구동유닛을 포함하며, 상기 고정부재는 상기 수직베이스부재와 평행하게 수직 방향으로 위치하는 수직베이스판과, 상기 수직베이스판에 수직 방향으로 간격을 두고 결합되는 다수 개의 지지바들을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 프레임구동유닛은 베이스프레임들에 각각 구비되는 랙부재들과, 상기 랙부재들에 각각 결합되는 피니언기어들과, 상기 피니언기어들에 관통 결합되는 회전축과, 상기 회전축을 회전시키는 회전유닛을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 플레이트지지유닛은 상기 베이스프레임의 수평 방향으로 양쪽에 각각 회전 가능하게 결합되며 수직 방향으로 간격들 두고 다수 개의 지지판들이 구비되어 회전에 따라 캐리어플레이트를 지지하거나 지지를 해제하는 지지부재들과, 상기 지지부재들을 회전시키는 지지부재회전유닛을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 지지부재회전유닛은 지지부재들의 각 하단부에 결합되는 피니언기어들과, 상기 피니언기어들이 맞물리는 랙부재와, 상기 랙부재를 왕복구동시키는 랙구동유닛을 포함하며, 상기 랙부재의 왕복 구동에 따라 피니언기어들은 서로 반대 방향으로 회전하는 것이 바람직하다.
상기 지지부재들은 상기 플레이트고정유닛의 양쪽 옆에 위치하는 것이 바람직하다.
상기 플레이트이동유닛의 아래쪽에 상기 플레이트이동유닛을 통해 아래로 이동된 캐리어플레이트가 놓여지는 테이블이 설치될 수 있다.
상기 한 쌍의 수직베이스부재들 옆에 공기의 유동을 발생시키는 송풍유닛이 더 설치될 수 있다.
본 발명은 플레이트고정유닛에 의해 캐리어플레이트(들)이 고정되므로 캐리어플레이트(들)를 견고하게 안정적으로 지지하게 된다. 플레이트고정유닛의 고정부재에 지지바들이 구비되어 그 지지바들에 의해 캐리어플레이트(들)이 고정되는 경우 캐리어플레이트의 고정이 더욱 견고하게 된다.
또한, 본 발명은 플레이트고정유닛이 수평 방향으로 왕복 운동하면서 캐리어플레이트(들)을 지지 고정하고 베이스프레임이 상하로 이동함과 함께 플레이트지지유닛이 왕복으로 각회전하면서 캐리어플레이트(들)를 지지 고정하여 아래로 조금씩 이동하게 되므로 캐리어플레이트 및 그 캐리어플레이트에 배열된 소자들을 효율적으로 냉각시키게 된다. 특히, 수직베이스부재들의 옆에 송풍유닛을 설치하게 될 경우 캐리어플레이트 및 그 캐리어플레이트에 배열된 소자들의 냉각 효율을 더 높이게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예를 도시한 정면도,
도 2는 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예를 도시한 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예를 도시한 한쪽 측면도,
도 4는 캐리어플레이트를 도시한 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예를 구성하는 플레이트지지유닛의 작동상태를 도시한 평면도.
이하, 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예를 도시한 정면도이다. 도 2는 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예를 도시한 평면도이다. 도 3은 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예를 도시한 한쪽 측면도이다.
도 1, 2, 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 실시예는, 수직베이스부재(100)들, 플레이트이동유닛(200), 플레이트고정유닛(300)을 포함한다.
수직베이스부재(100)들은 두 개인 것이 바람직하다. 수직베이스부재(100)는 설정된 높이를 가지며 그 두 개의 수직베이스부재(100)들은 서로 간격을 두고 대면되게 위치한다. 수직베이스부재(100)들은 각각 서로 마주보는 면의 가운데 부분에 상하로 두 개의 돌기부(110)가 구비된다.
플레이트이동유닛(200)은 수직베이스부재(100)들에서 아래위로 반복적으로 움직이면서 캐리어플레이트를 집어 아래로 이동시킨다. 플레이트이동유닛(200)의 일예로, 플레이트이동유닛(200)은 수직베이스부재(100)들에 각각 상하 움직임 가능하게 결합되는 베이스프레임(210)들과, 그 베이스프레임(210)들을 동시에 상하로 움직이는 프레임구동유닛(220)과, 그 베이스프레임(210)들에 각각 구비되어 수평 방향으로 각회전하면서 캐리어플레이트를 지지하거나 그 지지를 해제하는 플레이트지지유닛(230)을 포함한다. 캐리어플레이트(10)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 균일한 두께를 갖는 사각판 형상으로 내측 영역에 다수 개의 관통홀(12)들이 형성된다. 관통홀(12)들은 내측 사각 영역에 걸쳐 바둑판 형태와 같이 정방 행렬로 배열된다.
베이스프레임(210)은 내부에 수직베이스부재(100)의 돌기부(110)들이 관통되도록 두 개의 관통구멍(211)들이 구비되며 수직베이스부재(100)에 평행하게 수직으로 위치하는 베이스판부(212)와, 베이스판부(212)의 양측 상하부에 각각 돌출되게 구비되는 지지돌출부(213)들을 포함한다. 베이스프레임(210)과 수직베이스부재(100) 사이에 엘엘가이드(G)가 구비됨이 바람직하다.
프레임구동유닛(220)은 베이스프레임(210)들에 각각 구비되는 랙부재(221)들과, 그 랙부재(221)들에 각각 결합되는 피니언기어(222)들과, 그 피니언기어(222)들에 관통 결합되는 회전축(223)과, 그 회전축(223)을 회전시키는 회전유닛(224)을 포함한다. 회전유닛(224)의 작동에 의해 피니언기어(222)들이 시계방향으로 회전하게 되면 랙부재(221)들이 아래로 움직이면서 베이스프레임(210)이 아래로 이동하고 피니언기어(222)들이 반시계방향으로 회전하게 되면 랙부재(221)들이 위로 움직이면서 베이스프레임(210)이 위로 이동하게 된다. 즉, 회전유닛(224)의 정회전과 역회전에 따라 베이스프레임(210)이 상하로 왕복움직임하게 된다.
플레이트지지유닛(230)은 베이스프레임(210)의 수평 방향으로 양쪽에 각각 회전 가능하게 결합되며 수직 방향으로 간격들 두고 다수 개의 지지판들이 구비되어 회전에 따라 캐리어플레이트를 지지하거나 지지를 해제하는 지지부재(231)들과, 그 지지부재(231)들을 회전시키는 지지부재회전유닛(232)을 포함한다. 지지부재(231)들은 베이스프레임(210)의 상하로 위치하는 지지돌출부(213)들 사이에 회전 가능하게 결합된다. 즉, 지지부재(231)들은 플레이트고정유닛(300)의 양쪽 옆에 위치한다. 지지부재(231)는 단면 형상이 사각형인 막대부(231a)와, 막대부(231a)의 한쪽 면에 수직 방향으로 간격을 두고 구비되는 지지판(231b)들과, 막대부(231a)의 수직 방향 양단부에 각각 연장 형성된 핀부(231c)를 포함하며, 위쪽 핀부(231c)는 위쪽 지지돌출부(213)에 삽입되고 아래쪽 핀부(231c)는 아래쪽 지지돌출부(213)에 관통 삽입된다. 지지부재회전유닛(232)은 지지부재(231)들의 각 하단부에 결합되는 피니언기어(232a)들과, 그 피니언기어(232a)들이 맞물리는 랙부재(232b)와, 그 랙부재(232b)를 왕복구동시키는 랙구동유닛(미도시)을 포함한다. 랙부재(232b)의 왕복 구동에 따라 피니언기어(232a)들은 서로 반대 방향으로 회전한다.
플레이트이동유닛(200)은, 랙구동유닛의 구동에 의해 랙부재(232b)가 수평 방향으로 왕복으로 움직이게 되면 랙부재(232b)에 맞물린 피니언기어(232a)들이 움직이면서 피니언기어(232a)들에 각각 연결된 지지부재(231)들이 서로 다른 방향으로 각회전하게 된다. 즉, 수직베이스부재(100)들이 서로 대면되는 방향을 대면방향(A)이라 하고 수직베이스부재(100)들이 서로 평행한 방향을 비대면방향(B)이라 하면, 랙부재(232b)가 한쪽 방향으로 설정된 거리로 움직이게 되면 지지부재(231)들의 지지판(231b)들이 대면방향(A)으로 위치하도록 지지부재(231)들이 각각 각회전하고, 랙부재(232b)가 그 반대 방향으로 설정된 거리로 움직이게 되면 지지부재(231)들의 지지판(231b)들이 비대면방향(B)으로 위치하도록 지지부재(231)들이 각각 각회전하게 된다. 도 5에 도시한 바와 같이, 한 쌍인 수직베이스부재(100)들에 각각 위치한 랙구동유닛의 작동에 의해 한 쌍인 수직베이스부재(100)들에 각각 위치한 지지부재(231)들의 지지판(231b)들이 대면방향(A)으로 위치하게 되면 캐리어플레이트를 지지하는 위치가 되고 한 쌍인 수직베이스부재(100)들에 각각 위치한 지지부재(231)들의 지지판(231b)들이 비대면방향(B)으로 위치하게 되면 캐리어플레이트의 지지를 해제하는 위치가 된다. 수직베이스부재(100)들에 각각 구비된 두 개의 지지부재(231)가 대면방향(A)으로 위치하게 되면 한 개 수직베이스부재(100)의 지지부재(231)들의 한 개 지지판(231b)에 캐리어플레이트의 한쪽이 지지되고 다른 한 개의 수직베이스부재(100)의 지지부재(231)들의 한 개 지지판(231b)에 캐리어플레이트의 다른 한쪽이 지지됨에 의해 캐리어플레이트가 지지부재(231)들에 의해 지지 고정된다. 다수 개의 캐리어플레이트들이 지지부재(231)들에 의해 지지 고정될 경우 지지부재(231)들의 지지판(231b)들에 각각 캐리어플레이트들이 지지 고정된다.
플레이트고정유닛(300)은 수직베이스부재(100)들에 각각 수평 방향으로 왕복 운동하면서 플레이트이동유닛(200)이 위로 움직이는 동안 캐리어플레이트를 지지 고정한다. 플레이트고정유닛(300)의 일예로, 플레이트고정유닛(300)은 수직베이스부재(100)들에 각각 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되며 캐리어플레이트를 고정하는 고정부재(310)들과, 그 고정부재(310)를 수평 왕복 운동시키는 수평구동유닛(320)을 포함한다. 고정부재(310)는 수직베이스부재(100)와 평행하게 수직 방향으로 위치하는 수직베이스판(311)과, 그 수직베이스판(311)에 간격을 두고 결합되되 수직 방향으로 배열되는 다수 개의 지지바(312)들을 포함한다. 고정부재(310)는 수직베이스부재(100)의 돌기부(110)들에 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합된다. 한 쌍의 수직베이스부재(100)들에 각각 위치한 고정부재(310)는 서로 대면되며 평행하게 위치한다. 서로 대면되는 고정부재(310)들의 지지바(312)들은 각각 서로 동일 선상에 위치한다.
플레이트고정유닛(300)은, 한 쌍의 수직베이스부재(100)들에 각각 구비된 수평구동유닛(320)이 작동하여 수직베이스부재(100)들에 각각 위치한 고정부재를 수평 방향으로 밀거나 당기게 된다. 수평구동유닛(320)이 고정부재(310)를 밀게 되면 수직베이스부재(100)들에 각각 위치한 고정부재(310)들의 간격이 작아지면서 캐리어플레이트를 지지 고정하게 되고 고정부재(310)를 당기게 되면 고정부재(310)들의 간격이 커지면서 캐리어플레이트의 고정이 해제된다. 고정부재(310)들이 간격이 작아진 상태에서 서로 대응되는 고정부재(310)들의 지지바(312)에 놓여져 고정된다. 고정부재(310)들에 다수 개의 캐리어플레이트들이 고정될 경우 고정부재(310)들의 지지바(312)들에 각각 캐리어플레이트들이 놓여져 고정된다.
플레이트고정유닛(300)의 아래쪽에 플레이트이동유닛(200)을 통해 아래로 이동된 캐리어플레이트가 놓여지는 테이블(400)이 위치할 수 있다. 테이블(400)은 수평 방향으로 이동이 가능한 것이 바람직하다.
한 쌍의 수직베이스부재(100)들 옆에 공기의 유동을 발생시키는 송풍유닛(미도시)이 더 설치되는 것이 바람직하다. 송풍유닛의 작동에 의해 공기의 유동을 발생시켜 수직베이스부재(100)들 사이에 위치하는 캐리어플레이트들을 냉각시킨다.
이하, 본 발명에 따른 본 발명에 따른 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치의 작용과 효과를 설명한다.
먼저, 캐리어플레이트가 플레이트고정유닛(300)의 상측으로부터 플레이트고정유닛(300)에 공급되면 플레이트고정유닛(300)이 캐리어플레이트를 지지 고정하게 된다. 플레이트이동유닛(200)의 프레임구동유닛(220)이 작동하여 한 쌍의 수직베이스부재(100)들에 각각 위치한 베이스프레임(210)들을 상측으로 이동시키고 플레이트지지유닛(230)들이 각회전하여 플레이트고정유닛(300)에 지지된 캐리어플레이트를 지지한다. 플레이트지지유닛(230)이 캐리어플레이트를 지지한 상태에서 플레이트고정유닛(300)이 수평방향으로 이동하여 캐리어플레이트의 고정을 해제하고 프레임구동유닛(220)이 베이스프레임(210)들을 아래로 이동시킨다. 베이스프레임(210)들이 아래로 이동함에 따라 플레이트지지유닛(230)들에 지지된 캐리어플레이트가 아래로 이동하게 된다. 그리고 플레이트고정유닛(300)이 수평방향으로 이동하여 아래로 이동한 캐리어플레이트를 지지 고정하게 된다. 이어, 플레이트지지유닛(230)들이 각회전하여 캐리어플레이트의 고정을 해제하고 프레임구동유닛(220)이 작동하여 한 쌍의 수직베이스부재(100)들에 각각 위치한 베이스프레임(210)들을 상측으로 이동시킨다. 그리고 플레이트지지유닛(230)들이 각회전하여 플레이트고정유닛(300)에 지지된 캐리어플레이트를 지지 고정한다. 플레이트지지유닛(230)들이 캐리어플레이트를 지지한 상태에서 플레이트고정유닛(300)이 캐리어플레이트의 고정을 해제하고 프레임구동유닛(220)이 베이스프레임(210)들을 아래로 이동시킨다. 베이스프레임(210)들이 아래로 이동함에 따라 플레이트지지유닛(230)들에 지지된 캐리어플레이트가 아래로 이동하게 된다. 이와 같은 동작을 반복하면서 캐리어플레이트는 플레이트고정유닛(300)을 따라 아래로 이동하게 된다. 또한, 캐리어플레이트들이 플레이트고정유닛(300)의 위쪽으로부터 연속적으로 공급되면 그 공급되는 캐리어플레이트들이 위의 작동이 반복되면서 플레이트고정유닛(300)을 따라 순차적으로 조금씩 아래로 이동하게 된다.
이와 같이, 본 발명은 플레이트고정유닛(300)에 의해 캐리어플레이트(들)이 고정되므로 캐리어플레이트(들)를 견고하게 안정적으로 지지하게 된다. 플레이트고정유닛(300)의 고정부재(310)에 지지바(312)들이 구비되어 그 지지바(312)들에 의해 캐리어플레이트(들)이 고정되는 경우 캐리어플레이트의 고정이 더욱 견고하게 된다.
또한, 본 발명은 플레이트고정유닛(300)이 수평 방향으로 왕복 운동하면서 캐리어플레이트(들)을 지지 고정하고 베이스프레임(210)이 상하로 이동함과 함께 플레이트지지유닛(230)이 각회전하면서 캐리어플레이트(들)를 지지 고정하여 아래로 조금씩 이동하게 되므로 캐리어플레이트 및 그 캐리어플레이트에 배열된 소자들을 효율적으로 냉각시키게 된다. 특히, 수직베이스부재(100)들의 옆에 송풍유닛을 설치하게 될 경우 캐리어플레이트 및 그 캐리어플레이트에 배열된 소자들의 냉각 효율을 더 높이게 된다.
100; 수직베이스부재(100) 200; 플레이트이동유닛
300; 플레이트고정유닛 210; 베이스프레임
220; 프레임구동유닛 230; 플레이트지지유닛

Claims (7)

  1. 서로 대면되게 위치하는 한 쌍의 수직베이스부재들;
    상기 수직베이스부재들에서 아래위로 반복적으로 움직이면서 캐리어플레이트를 집어 아래로 이동시키는 플레이트이동유닛;
    상기 수직베이스부재들에 각각 수평 방향으로 왕복 운동하면서 상기 플레이트이동유닛이 위로 움직이는 동안 캐리어플레이트를 지지 고정하는 플레이트고정유닛;을 포함하며,
    상기 플레이트이동유닛은 상기 수직베이스부재들에 각각 상하 움직임 가능하게 결합되는 베이스프레임들과, 상기 베이스프레임들을 동시에 상하로 움직이는 프레임구동유닛과, 상기 베이스프레임들에 각각 구비되어 수평 방향으로 왕복으로 각회전하면서 캐리어플레이트를 지지하거나 그 지지를 해제하는 플레이트지지유닛들을 포함하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 플레이트고정유닛은 상기 수직베이스부재들에 각각 수평 방향으로 움직임 가능하게 결합되며 상기 캐리어플레이트를 고정하는 고정부재들과, 상기 고정부재를 수평 왕복 운동시키는 수평구동유닛을 포함하며, 상기 고정부재는 상기 수직베이스부재와 평행하게 수직 방향으로 위치하는 수직베이스판과, 상기 수직베이스판에 서로 간격을 두고 결합되되 수직방향으로 배열되게 결합되는 다수 개의 지지바들을 포함하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 프레임구동유닛은 베이스프레임들에 각각 구비되는 랙부재들과, 상기 랙부재들에 각각 결합되는 피니언기어들과, 상기 피니언기어들에 관통 결합되는 회전축과, 상기 회전축을 회전시키는 회전유닛을 포함하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 플레이트지지유닛은 상기 베이스프레임의 수평 방향으로 양쪽에 각각 회전 가능하게 결합되며, 수직 방향으로 간격들 두고 다수 개의 지지판들이 구비되어 회전에 따라 캐리어플레이트를 지지하거나 지지를 해제하는 지지부재들; 상기 지지부재들을 회전시키는 지지부재회전유닛;을 포함하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 지지부재회전유닛은 지지부재들의 각 하단부에 결합되는 피니언기어들과, 상기 피니언기어들이 맞물리는 랙부재와, 상기 랙부재를 왕복구동시키는 랙구동유닛을 포함하며, 상기 랙부재의 왕복 구동에 따라 피니언기어들은 서로 반대 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 플레이트이동유닛의 아래쪽에 상기 플레이트이동유닛을 통해 아래로 이동된 캐리어플레이트가 놓여지는 테이블이 위치하는 것을 특징으로 하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 한 쌍의 수직베이스부재들 옆에 공기의 유동을 발생시키는 송풍유닛이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 소자의 외부전극 형성시스템의 버퍼장치.
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