KR101815415B1 - Object processing apparatus - Google Patents

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KR101815415B1 KR1020170018461A KR20170018461A KR101815415B1 KR 101815415 B1 KR101815415 B1 KR 101815415B1 KR 1020170018461 A KR1020170018461 A KR 1020170018461A KR 20170018461 A KR20170018461 A KR 20170018461A KR 101815415 B1 KR101815415 B1 KR 101815415B1
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Abstract

An object processing apparatus according to the present invention coats a thin film with an object made of a curved surface portion and a flat surface portion by plasma, wherein the object processing apparatus comprises a first plasma generating unit comprising: a seating member on which the object is seated; a body member spaced from the seating member; a plasma generating member coupled to the body member to generate plasma; a rotation module rotating the plasma generating member in multiple directions so that the plasma generating member can be positioned at various angles with respect to the object; and a moving module allowing relative movement of at least one of the body member and the seating member.

Description

대상물 처리 장치{Object processing apparatus}[0001] The present invention relates to an object processing apparatus,

본 발명은 대상물 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대상물에 필름을 용이하게 부착할 수 있도록 대상물의 표면을 처리하는데 사용할 수 있는 대상물 처리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an object processing apparatus, and more particularly to an object processing apparatus that can be used to process a surface of an object so that a film can be easily attached to the object.

최근에는 스마트폰의 성능이 점차 상향 평준화되고 있다. 제조사는 다른 스마트폰의 성능과 비교하여 자사의 스마트폰이 차별화할 수 있도록 외관을 미려하게 하여 출시하고 있다. 예컨대, 제조사는 스마트폰의 후면에 강화 유리 소재 등의 하우징을 적용하여 출시하고 있다.In recent years, the performance of smartphones has been gradually upgraded. Compared to the performance of other smartphones, manufacturers are launching their smartphones to look differentiated. For example, a manufacturer has introduced a housing such as tempered glass on the back of a smart phone.

다만, 유리 소재는 플라스틱과 비교하여 표면에 색상을 적용하기가 용이하지 않으므로, 특정 색상으로 이루어진 필름을 유리 기판의 일면에 부착하는 방법을 사용하는 것이 일반적이다. 여기서, 유리 기판과 필름의 부착이 용이하도록 유리 기판의 표면에 플라즈마를 사용하여 박막을 코팅하는 공정이 실시될 수 있다.However, since it is not easy to apply a color to a surface of a glass material as compared with a plastic material, a method of attaching a film of a specific color to one surface of the glass substrate is generally used. Here, a process of coating a thin film on the surface of a glass substrate using plasma may be performed to facilitate adhesion of the glass substrate and the film.

한편, 최근에 스마트폰의 파지감이 향상될 수 있도록 하우징의 양측면에 곡면을 적용한다. 그러나, 종래의 유리 기판 처리 장치는 하우징을 구성하는 유리 기판의 곡면 부분에 박막을 균일하게 코팅하지 못하는 경우가 발생되어 필름이 유기 기판에 강하게 부착되지 않을 수 있다.Meanwhile, in recent years, a curved surface is applied to both sides of the housing to improve the feeling of gripping of the smartphone. However, in the conventional glass substrate processing apparatus, the thin film can not be uniformly coated on the curved surface portion of the glass substrate constituting the housing, so that the film may not strongly adhere to the organic substrate.

한국공개특허 제2016-0049635호Korean Patent Publication No. 2016-0049635

본 발명의 목적은 대상물에 플라즈마를 균일하게 조사할 수 있는 대상물 처리 장치를 제공하는 것에 있다. An object of the present invention is to provide an object processing apparatus capable of uniformly irradiating an object with plasma.

특히 대상물에 형성된 곡면에도 플라즈마 처리가 용이하게 이루어지도록 하여 대상물에 필름을 보다 안정적으로 부착시킬 수 있도록 하기 위한 대상물 처리 장치를 제공하는 것에 있다.And more particularly, to provide an object processing apparatus capable of more easily attaching a film to an object by making plasma processing easy even on a curved surface formed on the object.

본 발명의 일 측면에 따른 대상물 처리 장치는 곡면 부분과 평면 부분으로 이루어진 대상물에 플라즈마로 박막을 코팅하는 대상물 처리 장치에 있어서, 대상물이 안착되는 안착 부재, 상기 안착 부재로부터 이격되게 위치된 몸체 부재, 상기 몸체 부재에 결합되어 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 부재, 상기 플라즈마 발생 부재가 상기 대상물에 대하여 다양한 각도로 위치될 수 있도록 상기 플라즈마 발생 부재를 다방향으로 회전시키는 회전 모듈 및 상기 몸체 부재와 상기 안착 부재 중 적어도 어느 하나가 상대 이동될 수 있게 하는 이동 모듈을 포함하는 제1 플라즈마 발생 유닛을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an object processing apparatus for coating a thin film with plasma on an object formed of a curved portion and a flat portion, the object processing apparatus including a positioning member on which an object is seated, a body member spaced from the seating member, A rotating module for rotating the plasma generating member in various directions so that the plasma generating member can be positioned at various angles with respect to the object, and a rotating module for rotating the plasma generating member in various directions, And a transfer module for allowing at least one of the first and second electrodes to move relative to each other.

한편, 상기 회전 모듈은, 상기 몸체 부재에 결합되어 제1 방향으로 회전되는 제1 회전 부재 및 일측에는 상기 제1 회전 부재가 결합되고, 타측에는 상기 플라즈마 발생 부재가 결합되어 상기 플라즈마 발생 부재가 상기 제1 회전 부재에 대하여 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 회전되게 하는 제2 회전 부재를 포함할 수 있다.The rotation module may include a first rotary member coupled to the body member and rotated in a first direction, a first rotary member coupled to the first rotary member, and a plasma generating member coupled to the other side of the rotary member, And a second rotating member for rotating the first rotating member in a second direction perpendicular to the first direction with respect to the first rotating member.

한편, 상기 이동 모듈은, 상기 몸체 부재 및 상기 안착 부재 중 선택된 어느 하나에 결합되어 상기 몸체 부재 및 상기 안착 부재 중 선택된 어느 하나를 승강시키는 승강 부재, 상기 승강 부재의 일측에 결합되어 상기 승강 부재를 제3 방향으로 이동시키는 제1 이동 부재 및 상기 제1 이동 부재의 일측에 결합되어 상기 제3 방향에 직교하는 제4 방향으로 상기 제1 이동 부재를 이동시키는 제2 이동 부재;를 포함할 수 있다. The moving module may include a lifting member coupled to any one selected from the body member and the seating member and lifting the selected one of the body member and the seating member, a lifting member coupled to one side of the lifting member, And a second moving member coupled to one side of the first moving member and moving the first moving member in a fourth direction orthogonal to the third direction, .

한편, 상기 제1 플라즈마 발생 유닛은, 상기 안착 부재의 내부에 설치되어 열을 발생시키는 발열 부재를 더 포함할 수 있다.The first plasma generating unit may further include a heating member installed inside the seating member to generate heat.

한편, 판형상으로 이루어지고, 상면이 복수의 구역으로 분획되고, 상기 복수의 구역에 상기 안착 부재가 각각 배치되며, 상기 제1 플라즈마 발생 유닛이 인접하게 위치되고, 좌우방향으로 회전되는 스테이지 유닛을 포함할 수 있다.On the other hand, a stage unit, which is formed in a plate shape and has an upper surface divided into a plurality of zones, the seating members are respectively disposed in the plurality of zones, the first plasma generating unit is positioned adjacent thereto, .

한편, 상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 대상물을 상기 안착 부재에 안착시키는 로딩 유닛, 상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재에 안착된 대상물에 열을 가하는 적어도 하나의 발열 유닛, 상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재로부터 대상물을 분리하여 외부로 이송하는 언로딩 유닛 및 상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 대상물의 평면 부분에 플라즈마로 박막을 코팅하는 제2 플라즈마 발생 유닛을 포함할 수 있다.A stage unit disposed adjacent to the stage unit for placing the object on the seat member; at least one heat generating unit positioned adjacent to the stage unit for applying heat to an object placed on the seat member; An unloading unit positioned adjacent to the stage unit for separating the object from the seating member and transferring the object to the outside, and a second plasma generating unit positioned adjacent to the stage unit for coating a thin film with plasma on the planar portion of the object have.

본 발명에 따른 대상물 처리 장치에 포함된 제1 플라즈마 발생 유닛은 회전 모듈과 플라즈마 발생 부재를 포함한다. 플라즈마 발생 부재는 회전 모듈에 의하여 대상물의 곡면 부분의 가상의 접선과 직교하도록 회전될 수 있다. 따라서, 대상물의 곡면 부분에 플라즈마가 골고루 조사될 수 있다. 그러므로, 대상물에 필름을 부착하는 공정에서 필름 부착 신뢰성이 현저하게 향상될 수 있다.The first plasma generation unit included in the object processing apparatus according to the present invention includes a rotation module and a plasma generation member. The plasma generating member can be rotated by the rotating module so as to be orthogonal to the imaginary tangent line of the curved portion of the object. Therefore, the plasma can be uniformly irradiated onto the curved surface portion of the object. Therefore, in the process of attaching the film to the object, the reliability of the film attachment can be remarkably improved.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치에 포함된 제1 플라즈마 발생 유닛을 도시한 사시도이다.
도 2는 이동 모듈이 안착 부재에 설치되는 경우를 도시한 도면이다.
도 3은 플라즈마 발생 부재가 회전 모듈에 의해 회전된 상태에서 대상물에 플라즈마를 조사하는 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치를 도시한 도면이다.1 is a perspective view showing a first plasma generating unit included in an object processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a view showing a case where a moving module is installed on a seating member.
3 is a diagram showing a state in which plasma is irradiated to an object in a state in which the plasma generating member is rotated by the rotation module.
4 is a view showing an object processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in the various embodiments, elements having the same configuration are denoted by the same reference numerals and only representative embodiments will be described. In other embodiments, only the configurations other than the representative embodiments will be described.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하는 것을 의미할 수 있다.Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it includes not only "directly connected" but also "indirectly connected" between other parts. Also, when a component is referred to as "comprising ", it may mean that it does not exclude other components as well as other components, unless specifically stated otherwise.

도 1는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치에 포함된 제1 플라즈마 발생 유닛을 도시한 사시도이고, 도 2는 이동 모듈이 안착 부재에 설치되는 경우를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a perspective view showing a first plasma generating unit included in an object processing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a case where a moving module is installed in a seating member.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000, 도 4 참조)는 곡면 부분(10b)과 평면 부분(10a)으로 이루어진 대상물(10)에 플라즈마로 박막을 코팅하는 대상물 처리 장치(1000, 도 4 참조)로써, 제1 플라즈마 발생 유닛(100)을 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2, an object processing apparatus 1000 (see FIG. 4) according to an embodiment of the present invention includes a curved portion 10b and a flat portion 10a. And includes a first plasma generating unit 100 as an object treating apparatus 1000 (see Fig. 4) for coating.

여기서, 대상물(10)은 일례로 평면 부분(10a)이 직사각형으로 형성될 수 있다. 그리고, 대상물(10)의 곡면 부분(10b)은 직사각형의 평면 부분(10a)의 양측 모서리 각각에 형성될 수 있다. 이와 다르게, 곡면 부분(10b)은 직사각형의 평면 부분(10a)의 3개의 모서리 또는 4개의 모서리 모두에 형성된 것도 가능할 수 있다. 다만, 대상물(10)의 형상이 이와 같은 것으로 한정하지는 않으며, 곡면을 포함하는 모든 대상물(10)에 적용될 수 있다.Here, as an example of the object 10, the planar portion 10a may be formed in a rectangular shape. The curved surface portion 10b of the object 10 may be formed on each of both side edges of the rectangular flat portion 10a. Alternatively, the curved portion 10b may be formed on all three or four corners of the rectangular flat portion 10a. However, the shape of the object 10 is not limited to this, and can be applied to all objects 10 including a curved surface.

대상물(10)의 소재는 일례로 유리 또는 플라스틱일 수 있으나, 다른 소재로 이루어진 것도 가능할 수 있다. 그리고, 상기 대상물(10)은 휴대기기의 후면을 구성하는 하우징에 적용될 수 있고, 플라즈마 처리된 대상물(10)에는 광학 투명 접착 테이프(OCA: Optically clear adhesive) 등에 의하여 필름이 부착될 수 있다. 또한 상기 필름은 데코레이션 기능과 비산 방지 기능 등이 부여된 필름일 수 있다.The material of the object 10 may be, for example, glass or plastic, but may be made of other materials. The object 10 may be applied to a housing constituting the rear surface of the portable device, and a film may be attached to the plasma-treated object 10 by an optical clear adhesive (OCA) or the like. The film may be a film imparted with a decoration function, a scattering prevention function, or the like.

제1 플라즈마 발생 유닛(100)은 일례로 안착 부재(110), 몸체 부재(120), 플라즈마 발생 부재(130), 회전 모듈(140) 및 이동 모듈(150)을 포함한다.The first plasma generating unit 100 includes a seating member 110, a body member 120, a plasma generating member 130, a rotating module 140, and a moving module 150, for example.

안착 부재(110)에는 대상물(10)이 안착될 수 있다. 안착 부재(110)는 일측에 안착홈(111)이 인입되도록 형성될 수 있다. 안착홈(111)에 안착된 대상물(10)은 자중이나 외력에 의해 안착 부재(110)로부터 분리되지 않을 수 있다.The object 10 may be seated on the seating member 110. [ The seating member 110 may be formed to receive the seating groove 111 at one side thereof. The object 10 seated in the seating groove 111 may not be separated from the seating member 110 due to its own weight or external force.

또한 안착 부재(110)는 대상물(10)을 일례로 진공 흡착으로 흡착할 수 있다. 이를 위하여 안착홈(111)의 바닥면에는 진공 흡착홀(미도시)이 형성될 수 있다. 진공 흡착홀들은 미도시된 진공 펌프와 연결될 수 있다. 상기 진공 펌프가 동작되면, 대상물(10)이 진공 흡착 방식에 의해 안착 부재(110)로부터 분리되는 것이 방지될 수 있다.In addition, the seating member 110 can adsorb the object 10 by, for example, vacuum adsorption. For this purpose, a vacuum suction hole (not shown) may be formed on the bottom surface of the seating groove 111. The vacuum suction holes may be connected to a vacuum pump not shown. When the vacuum pump is operated, the object 10 can be prevented from being separated from the seat member 110 by the vacuum suction method.

몸체 부재(120)에는 후술할 플라즈마 발생 부재(130)가 결합될 수 있다. 몸체 부재(120)는 일례로 스틱 형상으로 이루어져서 지면에 대해 상하방향으로 위치된 것일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.The body member 120 may be coupled with a plasma generating member 130 to be described later. For example, the body member 120 may be formed in a stick shape and positioned vertically with respect to the paper surface, but the present invention is not limited thereto.

몸체 부재(120)의 일측에는 브라켓(120a)이 형성될 수 있다. 후술할 회전 모듈(140)은 브라켓(120a)에 의해 몸체 부재(120)에 연결될 수 있다. 이러한 몸체 부재(120)는 지면에 고정될 수 있다. 이와 다르게, 몸체 부재(120)는 후술할 이동 모듈(150)에 의해 다방향으로 이동될 수 있다.A bracket 120a may be formed on one side of the body member 120. [ The rotation module 140 to be described later may be connected to the body member 120 by a bracket 120a. The body member 120 may be fixed to the ground. Alternatively, the body member 120 can be moved in multiple directions by a movement module 150, which will be described later.

플라즈마 발생 부재(130)는 대상물(10)에 플라즈마로 박막을 코팅할 수 있다. 예를 들어 플라즈마 발생 부재(130)는 플라즈마를 발생시켜서 대상물(10)에서 곡면 부분(10b)에 조사할 수 있다. The plasma generating member 130 may coat the object 10 with a plasma. For example, the plasma generating member 130 can irradiate the curved surface portion 10b of the object 10 by generating plasma.

회전 모듈(140)은 상기 플라즈마 발생 부재(130)가 상기 대상물(10)에 대하여 다양한 각도로 위치될 수 있도록 상기 플라즈마 발생 부재(130)를 다방향으로 회전시킬 수 있다.The rotation module 140 may rotate the plasma generating member 130 in multiple directions so that the plasma generating member 130 can be positioned at various angles with respect to the object 10. [

예를 들어, 회전 모듈(140)은 플라즈마 발생 부재(130)를 2축으로 회전시킬 수 있다. 이를 위한 회전 모듈(140)은 일례로, 제1 회전 부재(141), 제2 회전 부재(142)를 포함할 수 있다.For example, the rotation module 140 may rotate the plasma generating member 130 in two directions. The rotation module 140 for this purpose may include a first rotating member 141 and a second rotating member 142, for example.

제1 회전 부재(141)는 상기 몸체 부재(120)에 결합되어 제1 방향으로 회전될 수 있다.The first rotating member 141 may be coupled to the body member 120 and rotated in a first direction.

제2 회전 부재(142)는 일측에는 상기 제1 회전 부재(141)가 결합되고, 타측에는 상기 플라즈마 발생 부재(130)가 결합되어 상기 플라즈마 발생 부재(130)가 상기 제1 회전 부재(141)에 대하여 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 회전되게 할 수 있다. 이러한 제1 회전 부재(141)와 제2 회전 부재(142)는 일례로 서보 모터일 수 있으나, 이에 한정하지 않으며 회전력을 발생시키는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.The first rotating member 141 is coupled to one side of the second rotating member 142 and the plasma generating member 130 is coupled to the other side of the second rotating member 142 so that the plasma generating member 130 contacts the first rotating member 141, In a second direction orthogonal to the first direction. The first rotary member 141 and the second rotary member 142 may be servo motors, but the present invention is not limited thereto.

플라즈마 발생 부재(130)는 이와 같은 제1 회전 부재(141)와 제2 회전 부재(142)에 의하여 몸체 부재(120)에 대해 다방향으로 자유롭게 회전될 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 바와 같이 플라즈마 발생 부재(130)가 회전 모듈(140)에 의하여 대상물(10)의 곡면 부분(10b)의 가상의 접선과 직교하는 방향으로 플라즈마를 조사할 수 있다. 따라서, 대상물(10)의 곡면 부분(10b)에 플라즈마가 골고루 조사될 수 있다. 그러므로, 대상물(10)에 필름을 부착하는 공정에서 필름 부착 신뢰성이 현저하게 향상될 수 있다.The plasma generating member 130 can be freely rotated in various directions with respect to the body member 120 by the first rotating member 141 and the second rotating member 142. [ 3, the plasma generating member 130 can irradiate the plasma in the direction orthogonal to the imaginary tangent line of the curved surface portion 10b of the object 10 by the rotation module 140. [ Therefore, the plasma can be uniformly irradiated onto the curved surface portion 10b of the object 10. Therefore, in the process of attaching the film to the object 10, the reliability of the film attachment can be remarkably improved.

이동 모듈(150)은 상기 몸체 부재(120)와 상기 안착 부재(110) 중 적어도 어느 하나가 상대 이동될 수 있게 할 수 있다. 이러한 이동 모듈(150)은 일례로 승강 부재(153), 제1 이동 부재(151) 및 제2 이동 부재(152)를 포함할 수 있다.The movement module 150 may allow at least one of the body member 120 and the seating member 110 to be moved relative to each other. The moving module 150 may include an elevating member 153, a first moving member 151, and a second moving member 152, for example.

승강 부재(153)는 상기 몸체 부재(120) 및 상기 안착 부재(110) 중 선택된 어느 하나에 결합되어 상기 몸체 부재(120) 및 상기 안착 부재(110) 중 선택된 어느 하나를 승강시킬 수 있다. 예를 들어, 승강 부재(153)는 몸체 부재(120)의 하측에 승강 가능하도록 결합될 수 있다. 이와 다르게, 승강 부재(153)은 안착 부재(110)의 하측에 승강 가능하도록 결합될 수 있다.The elevating member 153 may be coupled to any one of the body member 120 and the seating member 110 to lift or lower one selected from the body member 120 and the seating member 110. For example, the elevating member 153 can be coupled to the lower side of the body member 120 so as to be able to ascend and descend. Alternatively, the elevating member 153 may be coupled to a lower side of the seating member 110 to be movable up and down.

이러한 승강 부재(153)는 일례로 유압 실린더, 공압 실린더 및 선형 모터 중 선택된 어느 하나일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.The elevating member 153 may be, for example, any one selected from a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder, and a linear motor, but is not limited thereto.

제1 이동 부재(151)는 상기 승강 부재(153)의 일측에 결합되어 상기 승강 부재(153)를 제3 방향으로 이동시킬 수 있다.The first moving member 151 may be coupled to one side of the elevating member 153 to move the elevating member 153 in the third direction.

제2 이동 부재(152)는 상기 제1 이동 부재(151)의 일측에 결합되어 상기 제3 방향에 직교하는 제4 방향으로 상기 제1 이동 부재(151)를 이동시킬 수 있다.The second moving member 152 may be coupled to one side of the first moving member 151 to move the first moving member 151 in a fourth direction perpendicular to the third direction.

여기서, 제1 이동 부재(151)와 제2 이동 부재(152)의 상대 이동을 위한 구조는 일례로 제2 이동 부재(152)의 상측에 레일홈을 형성하고 제1 이동 부재(151)의 하측에 레일홈에 삽입될 수 있는 레일을 형성한 것일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다. 그리고, 제2 이동 부재(152)는 일례로 스크류가 형성된 샤프트가 결합된 것일 수 있다. 예를 들어, 그리고, 스크류가 제1 이동 부재(151)를 관통하면서 나사결합될 수 있다. 미도시된 모터는 스크류에 결합되어 스크류를 회전시키고, 제2 이동 부재(152)가 스크류를 따라 직선 왕복 이동될 수 있다.Here, the structure for relative movement between the first moving member 151 and the second moving member 152 may be a structure in which a rail groove is formed on the upper side of the second moving member 152, However, the present invention is not limited thereto. The second moving member 152 may be a shaft having a screw formed therein. For example, and the screw can be screwed through the first moving member 151. An unillustrated motor is coupled to the screw to rotate the screw, and the second moving member 152 can be linearly reciprocated along the screw.

본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)는 발열 부재(112)를 더 포함할 수 있다. 발열 부재(112)는 상기 안착 부재(110)의 내부에 설치되어 열을 발생시킬 수 있다.The object processing apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention may further include a heating member 112. [ The heat generating member 112 may be installed inside the seating member 110 to generate heat.

이러한 발열 부재(112)는 일례로 발열 코일일 수 있다. 발열 코일은 전기 에너지를 열 에너지로 변환하여 안착 부재(110)를 가열할 수 있다. 일반적으로 플라즈마 처리 공정시 대상물(10)의 온도가 특정 온도이면 플라즈마 처리가 원활하게 실시될 수 있다.The heating member 112 may be a heating coil, for example. The heating coil can heat the seating member 110 by converting electrical energy into thermal energy. Generally, when the temperature of the object 10 is a specific temperature during plasma processing, the plasma processing can be performed smoothly.

이와 같이 안착 부재(110)가 발열 코일에 의해 가열되어 안착 부재(110)가 특정 온도가 될 수 있다. 이에 따라, 안착 부재(110)에 안착된 대상물(10)도 가열되어 플라즈마 처리 공정이 더욱 원활하게 진행될 수 있다.As described above, the seating member 110 is heated by the heating coil so that the seating member 110 can reach a specific temperature. Accordingly, the object 10 placed on the seating member 110 is also heated, and the plasma processing process can proceed more smoothly.

본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)는 스테이지 유닛(300)을 더 포함할 수 있다.The object processing apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention may further include a stage unit 300.

스테이지 유닛(300)은 판형상으로 이루어지고, 상면이 복수의 구역으로 분획될 수 있다. 상기 안착 부재(110)가 상기 복수의 구역에 각각 배치되며, 전술한 제1 플라즈마 발생 유닛(100)이 인접하게 위치될 수 있다. 스테이지 유닛(300)은 좌우방향으로 회전될 수 있다. 이러한 스테이지 유닛(300)의 하측에는 미도시된 회전 모터가 배치될 수 있다.The stage unit 300 is formed in a plate shape, and the upper surface thereof can be divided into a plurality of regions. The seating member 110 is disposed in each of the plurality of zones, and the first plasma generating unit 100 described above can be positioned adjacent to each other. The stage unit 300 can be rotated in the left-right direction. A rotation motor (not shown) may be disposed below the stage unit 300.

스테이지 유닛(300)의 각각의 구역들에서 다양한 공정들이 실시될 수 있다. 예를 들어, 대상물(10)이 안착 부재(110)로 공급되거나 분리될 수 있고, 대상물(10)이 가열될 수 있다. 이와 같이 다양한 공정이 스테이지 유닛(300) 상에서 구현됨으로써, 대상물(10)의 이동을 최소화하여 대상물(10) 처리 작업 시간이 단축될 수 있다. 그러므로, 단위 시간당 많은 개수의 대상물(10)을 처리할 수 있으므로, 생산성이 향상될 수 있다.Various processes may be performed in each of the zones of the stage unit 300. For example, the object 10 can be supplied to or separated from the seating member 110, and the object 10 can be heated. By implementing the various processes on the stage unit 300 as described above, movement of the object 10 can be minimized, and processing time of the object 10 can be shortened. Therefore, since a large number of objects 10 can be processed per unit time, the productivity can be improved.

이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)의 상세한 구조를 일례를 들어 설명하기로 한다.Hereinafter, a detailed structure of the object processing apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention will be described by way of example.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)를 도시한 도면이다.4 is a view showing an object processing apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)는 로딩 유닛(400), 발열 유닛(600), 언로딩 유닛(500) 및 제2 플라즈마 발생 유닛(200)을 포함할 수 있다.4, an object processing apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention includes a loading unit 400, a heat generating unit 600, an unloading unit 500, and a second plasma generating unit 200 can do.

로딩 유닛(400)은 상기 스테이지 유닛(300)에 인접하게 위치되어 상기 대상물(10)을 상기 안착 부재(110)에 안착시킬 수 있다.The loading unit 400 may be positioned adjacent to the stage unit 300 to seat the object 10 on the seating member 110.

발열 유닛(600)은 상기 스테이지 유닛(300)에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재(110)에 안착된 대상물(10)에 열을 가할 수 있다. 발열 유닛(600)은 일례로 일반적인 장치에서 가스, 전기 등을 열 에너지로 변환하여 대상물(10)을 향하여 열을 발생시키는 것일 수 있다.The heat generating unit 600 may be positioned adjacent to the stage unit 300 to apply heat to the object 10 seated on the seating member 110. The heat generating unit 600 may generate heat toward the object 10 by converting gas, electricity or the like into thermal energy in a typical apparatus.

언로딩 유닛(500)은 상기 스테이지 유닛(300)에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재(110)로부터 대상물(10)을 분리하여 외부로 이송할 수 있다. 언로딩 유닛(500) 및 로딩 유닛(400)은 일반적인 장치에서 대상물(10)을 파지하여 이동하는 장치일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.The unloading unit 500 may be positioned adjacent to the stage unit 300 to separate the object 10 from the seating member 110 and to transfer the object 10 to the outside. The unloading unit 500 and the loading unit 400 may be devices for holding and moving the object 10 in a general device, and therefore, a detailed description thereof will be omitted.

제2 플라즈마 발생 유닛(200)은 상기 스테이지 유닛(300)에 인접하게 위치되어 상기 대상물(10)의 평면 부분(10a, 도 3 참조)에 플라즈마로 박막을 코팅할 수 있다. 제2 플라즈마 발생 유닛(200)은 전술한 제1 플라즈마 발생 유닛(100)과 동일한 구조인 것도 가능할 수 있다. 이와 다르게, 제2 플라즈마 발생 유닛(200)은 다른 일례로 선형 노즐로 대상물(10)의 평면 부분(10a)에 플라즈마를 조사하는 일반적인 플라즈마 발생기인 것도 가능할 수 있다.The second plasma generating unit 200 may be positioned adjacent to the stage unit 300 to coat the thin film with plasma to the planar portion 10a of the object 10 (see FIG. 3). The second plasma generating unit 200 may be of the same structure as the first plasma generating unit 100 described above. Alternatively, the second plasma generating unit 200 may be a generic plasma generator that applies plasma to the planar portion 10a of the object 10 with a linear nozzle, for example.

전술한 바와 같이 대상물(10)이 스테이지 유닛(300)의 복수의 안착 부재(110)에 위치되고, 스테이지 유닛(300)이 회전함에 따라 로딩 유닛(400), 발열 유닛(600), 언로딩 유닛(500), 제1 플라즈마 발생 유닛(100) 및 제2 플라즈마 발생 유닛(200)에 의해 다양한 공정이 신속하게 실시될 수 있다.As described above, the object 10 is placed on the plurality of seating members 110 of the stage unit 300, and as the stage unit 300 rotates, the loading unit 400, the heat generating unit 600, Various processes can be rapidly performed by the first plasma generation unit 500, the first plasma generation unit 100, and the second plasma generation unit 200.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, And are not used to limit the scope of the present invention described in the scope. Therefore, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

1000: 대상물 처리 장치
100: 제1 플라즈마 발생 유닛 110: 안착 부재
111: 안착홈 112: 발열 부재
120: 몸체 부재 130: 플라즈마 발생 부재
140: 회전 모듈 141: 제1 회전 부재
142: 제2 회전 부재 150: 이동 모듈
151: 제1 이동 부재 152: 제2 이동 부재
153: 승강 부재 200: 제2 플라즈마 발생 유닛
300: 스테이지 유닛 400: 로딩 유닛
500: 언로딩 유닛 600: 발열 유닛1000: object processing device
100: first plasma generating unit 110:
111: seat groove 112: heating member
120: body member 130: plasma generating member
140: rotation module 141: first rotation member
142: second rotating member 150: moving module
151: first moving member 152: second moving member
153: lifting member 200: second plasma generating unit
300: stage unit 400: loading unit
500: Unloading unit 600: Heat generating unit

Claims (6)

곡면 부분과 평면 부분으로 이루어진 대상물에 플라즈마로 박막을 코팅하는 대상물 처리 장치에 있어서,
대상물이 안착되는 안착 부재; 상기 안착 부재로부터 이격되게 위치된 몸체 부재; 상기 몸체 부재에 결합되어 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 부재; 상기 플라즈마 발생 부재가 상기 대상물에 대하여 다양한 각도로 위치될 수 있도록 상기 플라즈마 발생 부재를 다방향으로 회전시키는 회전 모듈; 및 상기 몸체 부재와 상기 안착 부재 중 적어도 어느 하나가 상대 이동될 수 있게 하는 이동 모듈;을 포함하는 제1 플라즈마 발생 유닛을 포함하고,
상기 회전 모듈은, 상기 몸체 부재에 결합되어 제1 방향으로 회전되는 제1 회전 부재; 및 일측에는 상기 제1 회전 부재가 결합되고, 타측에는 상기 플라즈마 발생 부재가 결합되어 상기 플라즈마 발생 부재가 상기 제1 회전 부재에 대하여 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 회전되게 하는 제2 회전 부재;를 포함하며,
상기 이동 모듈은, 상기 몸체 부재 및 상기 안착 부재 중 선택된 어느 하나에 결합되어 상기 몸체 부재 및 상기 안착 부재 중 선택된 어느 하나를 승강시키는 승강 부재; 상기 승강 부재의 일측에 결합되어 상기 승강 부재를 제3 방향으로 이동시키는 제1 이동 부재; 및 상기 제1 이동 부재의 일측에 결합되어 상기 제3 방향에 직교하는 제4 방향으로 상기 제1 이동 부재를 이동시키는 제2 이동 부재;를 포함하는 대상물 처리 장치.1. An object processing apparatus for coating a thin film with an object made of a curved surface portion and a flat surface portion by plasma,
A seating member on which the object is seated; A body member spaced apart from the seating member; A plasma generating member coupled to the body member to generate a plasma; A rotation module for rotating the plasma generating member in multiple directions so that the plasma generating member can be positioned at various angles with respect to the object; And a movement module for allowing at least one of the body member and the seating member to be moved relative to each other,
The rotation module includes: a first rotary member coupled to the body member and rotated in a first direction; And a second rotating member for allowing the plasma generating member to rotate in a second direction orthogonal to the first direction with respect to the first rotating member is coupled to the first rotating member on one side and the plasma generating member is coupled on the other side, ≪ / RTI >
Wherein the moving module comprises: a lifting member coupled to any one selected from the body member and the seating member to lift or lift the selected one of the body member and the seating member; A first moving member coupled to one side of the elevating member to move the elevating member in a third direction; And a second moving member coupled to one side of the first moving member and moving the first moving member in a fourth direction orthogonal to the third direction. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 플라즈마 발생 유닛은,
상기 안착 부재의 내부에 설치되어 열을 발생시키는 발열 부재를 더 포함하는 대상물 처리 장치.The method according to claim 1,
The first plasma generating unit includes:
And a heat generating member installed inside the seating member to generate heat. 제1항에 있어서,
판형상으로 이루어지고, 상면이 복수의 구역으로 분획되고, 상기 복수의 구역에 상기 안착 부재가 각각 배치되며, 상기 제1 플라즈마 발생 유닛이 인접하게 위치되고, 좌우방향으로 회전되는 스테이지 유닛을 포함하는 대상물 처리 장치.The method according to claim 1,
And a stage unit which is formed in a plate shape and in which the upper surface is divided into a plurality of zones and the seating members are respectively disposed in the plurality of zones and the first plasma generating unit is positioned adjacent and rotated in the horizontal direction Object handling device. 제5항에 있어서,
상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 대상물을 상기 안착 부재에 안착시키는 로딩 유닛;
상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재에 안착된 대상물에 열을 가하는 적어도 하나의 발열 유닛;
상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재로부터 대상물을 분리하여 외부로 이송하는 언로딩 유닛; 및
상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 대상물의 평면 부분에 플라즈마로 박막을 코팅하는 제2 플라즈마 발생 유닛;을 포함하는 대상물 처리 장치.6. The method of claim 5,
A loading unit positioned adjacent to the stage unit to seat the object on the seating member;
At least one heat generating unit positioned adjacent to the stage unit and applying heat to an object placed on the seating member;
An unloading unit positioned adjacent to the stage unit for separating an object from the seating member and transferring the object to the outside; And
And a second plasma generation unit located adjacent to the stage unit for coating a thin film with plasma on a planar portion of the object.
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