KR101802462B1

KR101802462B1 - 각도의존성 광발광 측정장치

Info

Publication number: KR101802462B1
Application number: KR1020160048961A
Authority: KR
Inventors: 김장주; 문창기
Original assignee: 서울대학교산학협력단
Priority date: 2016-04-21
Filing date: 2016-04-21
Publication date: 2017-11-28
Also published as: CN109073552B; KR20170120445A; CN109073552A; WO2017183755A1

Abstract

본 발명은 각도의존성 광발광 측정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 렌즈부에 대해 샘플이 밀착하고, 샘플에서 생성된 여기광이 렌즈부에 의해서 넓게 확산되며, 상기 확산된 여기광을 특정 각도에 따라서 선택적으로 포착하여 분석 가능함에 따라서, 샘플의 투입이 간단하게 이루어지며, 샘플의 검사가 매우 간단하면서 신뢰성 있게 이루어질 수 있는 각도의존성 광발광 측정장치에 관한 것이다.

Description

각도의존성 광발광 측정장치{ APPARATUS FOR TESTING }

본 발명은 각도의존성 광발광 측정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 렌즈부에 대해 샘플이 밀착하고, 샘플에 광을 조사하고, 샘플에서 생성된 여기광이 렌즈부에 의해서 넓게 확산되며, 상기 확산된 여기광을 특정 각도에 따라서 선택적으로 포착하는 분석방법에서, 샘플의 투입이 간단하게 이루어지며, 샘플의 검사가 매우 간단하면서 신뢰성 있게 이루어질 수 있는 각도의존성 광발광 측정장치에 관한 것이다.

소정의 검사 시료, 박막, 미생물 등을 포함한 샘플을 검사할 때, 소정의 광원을 이용하여 샘플에 대해 자외선(UV 광) 등의 광선을 조사하고, 해당 샘플이 여기됨으로써 생성된 여기광의 세기 또는 분포를 분석함으로써, 샘플에 대한 검사를 수행하는 경우가 있다.

이러한 샘플 검사 장치 및 방법의 경우, 상기 광원의 조사광을 소정의 분석 샘플에 대해 정확히 입사시킬 필요가 있다. 만일, 불필요한 외부 광, 반사 광, 해당 광원이 아닌 다른 조사광이 분석샘플에 불필요하게 입사할 경우, 또는 샘플에 조사되는 광의 면적이 너무 큰 경우에 샘플의 검사 정확도가 매우 떨어질 수 있다.측정을 진행하는 중 외에는 조사광의 외부누출을 막아 인체에 유해하지 않은 장치가 필요하다.

또한, 샘플에서 생성된 여기광은 부착된 렌즈를 통해 확산되어 퍼지게 되므로, 이와 같이 확산된 여기광의 분포를 용이하게 포착하여 분석을 수행할 수 있는 장치 또한 필요하게 된다.

공개특허 2001-0110293

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 렌즈부에 대해 샘플이 밀착하고, 샘플에서 생성된 여기광이 렌즈부에 의해서 넓게 확산되며, 상기 확산된 여기광을 특정 각도에 따라서 선택적으로 포착하여 분석 가능함에 따라서, 샘플의 투입이 간단하게 이루어지며, 샘플의 검사가 매우 간단하면서 신뢰성 있게 이루어질 수 있는 각도의존성 광발광 측정장치를 제공하는 데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 각도의존성 광발광 측정장치는, 회전력을 제공하는 동력부; 소정의 면적을 갖고 상기 동력부와 연결되어 Z 축 방향으로 연장되는 소정의 회전 중심축을 중심으로 XY 평면 상에서 회전 가능하게 구성되는 회전 스테이지; 상기 회전 스테이지 상에 배치되어 상기 회전 중심축을 중심으로 상기 회전 스테이지와 함께 회전 가능하게 구성되되, 상기 회전 스테이지 상의 일 측에 배치되는 렌즈부; 상기 회전 스테이지 상에 배치되어 상기 회전 중심축을 중심으로 상기 회전 스테이지와 함께 회전 가능하게 구성되되, 상기 회전 중심축을 사이에 두고 상기 렌즈부의 반대측에 배치되며 상기 회전 스테이지에 대해서 회동 가능하게 연결되는 시료 홀더; 및

상기 회전 스테이지 상에 배치되며 상기 시료 홀더의 각도를 위치 고정시킬 수 있게 구성된 각도 고정부;를 포함하며, 상기 렌즈부는, 상기 시료 홀더와 마주보는 측에 소정의 평면으로 구성되는 입사면을 가지며, 상기 시료 홀더는, Y 축 방향으로 연장되며 상기 회전 스테이지에 연결되는 회동축, 상기 회동축을 통해 일 단이 상기 회전 스테이지에 연결되되 상기 회동축을 중심으로 XZ 평면 상에서 회동 가능하게 연결되는 회동 바디, 및 상기 회동 바디 내에 배치되는 광원부를 포함하고, 상기 회동 바디는 상기 렌즈부와 마주보는 위치에 소정의 샘플이 놓일 수 있는 탑재면을 갖되, 상기 회동 바디가 상기 회동축을 중심으로 회동함에 따라서 상기 탑재면과 상기 입사면 사이의 사이각이 가변하도록 구성되며, 상기 각도 고정부는 상기 시료 홀더를 위치 고정시켜서 상기 탑재면과 상기 입사면 사이의 사이각이 소정 각도를 유지하도록 하고, 상기 탑재면과 상기 입사면 사이의 사이각이 소정 각도로 고정된 상태에서 상기 광원부에서 생성된 조사광이 상기 샘플에 조사되면, 상기 샘플이 여기되어 생성된 여기광이 상기 렌즈부를 통과하여 방출된다.

바람직하게는, 상기 렌즈부는, Z 축 방향으로 소정의 두께를 갖고, X 축 방향 전면에 상기 입사면이 직립하게 형성되며, X 축 방향 후면에 반원형 곡면이 형성되는 반원형 렌즈로 구성된다.

바람직하게는, 상기 회동 바디는, 일 단이 상기 회동축에 연결되는 회동 빔, 상기 회동 빔의 타단에 연결되되 상기 광원부가 내부에 실장되도록 내부에 공간을 갖는 하우징을 포함하되, 상기 탑재면은 상기 하우징의 X 축 방향 후방에 상기 렌즈부와 마주보는 위치에 형성된다.

바람직하게는, 상기 회동 빔이 직립하면 상기 탑재면과 상기 입사면 사이의 사이각이 0° 가 되며 상기 탑재면 상에 안착된 샘플과 상기 렌즈부의 상기 입사면이 서로 밀착하게 구성된다.

바람직하게는, 상기 회동 빔과 상기 하우징은 서로 소정의 사이각을 갖고 절곡되어, 상기 광원부는 상기 회동 빔이 직립한 상태에서 대각선 하방향으로 상기 샘플에 대해 광을 조사한다.

바람직하게는, 상기 회동 바디는, 상기 탑재면 상에 놓인 샘플을 위치 고정시키도록 하는 고정 수단을 포함하며, 상기 고정 수단은 상기 탑재면의 상부에 배치되되, Y 축 방향으로 연장되는 회동 소축, 상기 회동 소축을 중심으로 XZ 평면 상에서 회동하는 회동 고정핀을 포함하여, 상기 탑재면 상에 상기 샘플이 놓이면 상기 회동 고정핀이 상기 샘플의 상단을 일부 덮어 위치 고정시키게 구성된다.

바람직하게는, 상기 각도 고정부는 X 축 방향으로 상기 시료 홀더의 전방에 배치되며, 상기 회전 스테이지 상에 고정되는 베이스 지그, 및 상기 베이스 지그에 대해서 회동 가능하게 구성되어, 상기 시료 홀더를 위치 고정시키는 회동 지그를 포함한다.

바람직하게는, 상기 회동 지그는, Y 축 방향으로 상기 베이스의 양 측에 배치되며 X 축 방향으로 연장되는 지지축을 중심으로 회동하며, 상기 시료 홀더가 직립한 상태에서 상기 회동 지그가 상기 지지축을 중심으로 상방향으로 회동하면 상기 회동 지그가 상기 시료 홀더의 X 축 방향 전면을 지지하여 상기 시료 홀더를 위치 고정시키게 구성된다.

바람직하게는, 상기 회전 스테이지는, 상기 동력부와 연결되는 베이스 스테이지, 상기 렌즈부의 상면을 커버하는 상부 커버, 및 Y 축 방향으로 상기 시료 홀더의 양 측에 마련되어 상기 베이스 스테이지 상에 직립하고 상기 베이스 스테이지와 상기 상부 커버를 연결하며 후면이 상기 렌즈부의 입사면과 맞닿는 연결부를 갖는다.

바람직하게는, 상기 베이스 스테이지는 원형 형상을 갖되, 상기 베이스 스테이지의 상면은, 서로 상이한 높이를 갖는 반원 형상의 렌즈면, 및 베이스면으로 구분되며, 상기 렌즈면은 상기 베이스면보다 낮은 높이를 가져서 상기 렌즈면과 상기 베이스면 사이에 단차면이 형성되며, 상기 렌즈면 상에는 상기 렌즈부가 배치되고, 상기 베이스면 상에는 상기 시료 홀더, 및 각도 고정부가 배치된다.

바람직하게는, 상기 단차면과 상기 렌즈부의 입사면은 서로 동일면상에 위치하여 일 면을 구성한다.

바람직하게는, 상기 베이스면 상에는, 상기 각도 고정부의 외측에 형성되며 소정의 깊이를 가져서 소정의 액상 물질이 내부에 충진되도록 하는 유체 홈이 형성된다.

바람직하게는, 상기 샘플은, 소정의 검사 시료가 놓이도록 소정의 면적을 가지며 광투과성을 갖는 재질로 구성되는 투과부를 갖되, 상기 투과부의 굴절율은 상기 렌즈부의 굴절율과 동일하게 구성된다.

바람직하게는, 상기 샘플은, 상기 투과부 상에 놓인 검사 시료 상에 도포되어 상기 검사 시료 및 투과부와 상기 렌즈부의 입사면 사이를 밀착시키는 액상 용제를 포함하되, 상기 액상 용제의 굴절율은 상기 렌즈부의 굴절율과 동일하게 구성된다.

바람직하게는, X 축 방향으로 상기 렌즈부의 후방에 배치되며 상기 렌즈부를 통해 투과된 광이 통과할 수 있도록 소정의 슬릿을 갖는 광 통과부; 및 상기 통과부를 통과한 광이 입사되어 분석을 수행하는 분석 장치; 를 더 포함한다.

바람직하게는, 상기 회전 스테이지의 회전 각도, 및 초기 각도를 조정할 수 있는 각도 조절부;를 더 포함한다.

본 발명에 따른 각도의존성 광발광 측정장치에 의하면, 샘플의 검사가 매우 간단하면서 신뢰성 있게 이루어질 수 있다. 특히, 렌즈부에 대해 샘플이 밀착하고, 샘플에서 생성된 여기광이 렌즈부에 의해서 넓게 확산되며, 상기 확산된 여기광을 특정 각도에 따라서 선택적으로 포착하여 분석 가능함에 따라서, 정확한 분석이 이루어질 수 있다.

또한, 장치 전체가 케이싱에 의해 커버되므로, 광원부에서 조사되는 조사광, 및 여기광이 외부로 유출되지 아니하여 사용자가 유해광에 노출되는 것을 방지할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 각도의존성 광발광 측정장치의 외형을 나타낸 도면이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 각도의존성 광발광 측정장치의 케이싱의 도어를 개방한 형상을 나타낸 도면이다.
도 3 은 본 발명에 따른 각도의존성 광발광 측정장치의 내부 장치의 구조를 나타낸 도면이다.
도 4 는 도 3 의 내부 장치를 Z 축 방향 상방향에서 바라본 도면이다.
도 5 는 도 3 의 내부 장치를 Y 축 방향 측방향에서 바라본 도면이다.
도 6 은 도 2 의 내부 장치를 X 축 방향 전방향에서 바라본 도면이다.
도 7 은 본 발명의 각도의존성 광발광 측정장치의 시료 홀더가 오픈 모드일 때 시료 홀더 내에 샘플이 탑재되는 것을 나타낸 도면이다.
도 8 내지 10 은 본 발명에 따른 각도의존성 광발광 측정장치의 작동을 나타낸 도면이다.
도 11 은 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플 검사 방식을 나타낸 도면이다.
도 12 는 검사 결과의 일 예를 나타낸 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다. 본 실시예는 제한적인 것으로 의도된 것이 아니다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 부재는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 부재의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 각도의존성 광발광 측정장치(1)의 외형을 나타낸 도면이고, 도 2 는 본 발명의 일 실시예에 따른 각도의존성 광발광 측정장치(1)의 케이싱(20)의 도어(30)를 개방한 형상을 나타낸 도면이며, 도 3 은 본 발명에 따른 각도의존성 광발광 측정장치(1)의 내부의 장치의 구조를 나타낸 도면이고, 도 4 내지 도 6 은 각각 도 3 의 내부 장치를 Z 축 방향 상방향, Y 축 방향 측방향, 및 X 축 방향 전방향에서 바라본 도면이다.

여기서, X 축 방향, Y 축 방향, 및 Z 축 방향은 각각 도 3 에 도시된 방향을 기준으로 설명하기로 한다.

본 발명에 따른 각도의존성 광발광 측정장치(1)는, 동력부(100), 회전 스테이지(200), 렌즈부(300), 시료 홀더(400), 각도 고정부(500), 광 통과부(600), 각도 조절부(700) 및 분석 장치(800)를 포함하여 구성될 수 있다. 한편, 상기 장치들은 소정의 베이스판(10) 상에 배치되며, 소정의 케이싱(20)으로 덮일 수 있다. 아울러, 상기 케이싱(20)은 도어(30)가 개폐되는 구조를 가질 수 있다.

먼저 동력부(100)에 대해서 설명한다.

동력부(100)는 소정의 전력을 인가받아 회전력을 제공한다. 이에 따라서, 동력부(100)는 상기 베이스판(10) 상에 고정되어 배치되며, 소정의 전력을 인가받을 수 있도록 소정의 전원 장치와 연결될 수 있다.

동력부(100)는 모터와 같은 소정의 동력장치(110), 동력장치(110)의 외측을 커버하는 측부 케이싱(120), 및 동력장치(110)의 상부에 배치되어 동력장치(110)를 커버하는 상부 케이싱(130)을 가질 수 있다. 동력장치(110)는 회전 스테이지(200)를 회전시킬 수 있도록 소정의 샤프트를 가질 수 있다.

다음으로 회전 스테이지(200)에 대해서 설명한다.

회전 스테이지(200)는 XY 평면 상으로 소정의 면적을 갖는 부재로서, Z 축 방향으로 연장되는 소정의 회전 중심축을 중심으로 하여 XY 평면 상에서 회전할 수 있도록 구성된다.

구체적으로는, 회전 스테이지(200)는 베이스 스테이지(210), 상부 커버(220), 및 연결부(230)를 갖는다.

베이스 스테이지(210)는 상기 동력부(100)와 연결되어 회전 가능하게 구성되는 소정의 원반 형태의 부재로 구성될 수 있다. 구체적으로는, 상기 동력부(100)의 샤프트와 연결되어 회전할 수 있다.

베이스 스테이지(210)의 상면은 렌즈면(214), 및 베이스면(212)으로 구분된다. 렌즈면(214)과 베이스면(212)은 각각 베이스 스테이지(210)의 상면의 면적을 대략 1/2 씩 분할하는 반원 형태를 갖는다. 이때, 렌즈면(214)의 높이가 베이스면(212)의 높이보다 높아서, 상기 렌즈면(214)과 베이스면(212)은 소정의 단차면(216)을 중심으로 하여 구분된다. 따라서, 상기 단차면(216)은 상기 원반 형태의 베이스 스테이지(210)의 중심점을 통과하는 직경과 일치하거나, 또는 나란하게 형성된다.

한편, 상기 베이스면(212) 상에는 소정의 깊이를 가지며 함몰되는 함몰 홈(213)이 형성될 수 있다. 상기 함몰 홈(213)은 후술하는 각도 고정부(500)의 Y 축 방향 양 측에 각각 형성되어, 후술하는 샘플에서 유출된 액상의 물질이 외부로 퍼지지 않고 모여 적절히 처리되도록 할 수 있다.

상부 커버(220)는 상기 렌즈면(214) 상부에 위치하며, 렌즈면(214)의 형상과 같이 전체적으로 반원 형상을 가질 수 있다. 상부 커버(220)와 상기 베이스면(212) 사이에 후술하는 렌즈부(300)가 배치된다.

연결부(230)는 베이스 스테이지(210)와 상부 커버(220)를 상하 방향으로 서로 연결한다. 구체적으로는, 연결부(230)의 하단은 상기 베이스 스테이지(210)와 연결되며, 상단은 상기 상부 커버(220)와 연결된다. 연결부(230)는 2 개 마련되며, 각각의 연결부(230)의 구체적인 배치는 후술하기로 한다.

이어서 렌즈부(300)에 대해서 설명한다.

렌즈부(300)는 상기 회전 스테이지(200) 상에 배치되어 회전 스테이지(200)와 함께 회전 가능하게 구성된다.

구체적으로는, 렌즈부(300)는 소정의 두께를 갖는 반원형 형태를 가질 수 있다. 즉, Z 축 방향으로 소정의 두께를 갖고, X 축 방향 전방에는 평면으로 구성된 입사면(310)이 직립하게 형성되며, X 축 방향 후방에는 반원형의 렌즈 곡면이 형성되어 소정의 두께를 갖는 반원형의 렌즈로 구성될 수 있다.

렌즈부(300)는 상기 베이스 스테이지(210) 상의 렌즈면(214) 상에 배치된다. 이때, 상기 입사면(310)이 상기 단차면(216)과 나란하도록 배치된다. 즉, 도 4 에 도시된 바와 같이, 입사면(310)은 단차면(216) 상에 위치하며, 나란하게 일 면을 구성할 수 있다. 따라서, 렌즈부(300)는 베이스 스테이지(210)와 동심으로 배치된다. 한편, 렌즈부(300)가 그리는 반원의 직경은 렌즈면(214)이 그리는 반원의 직경보다 작을 수 있다.

렌즈부(300)의 상면은 상부 커버(220)의 하면과 맞닿게 배치된다. 따라서, 렌즈부(300)는 상기 베이스 스테이지(210)와 상부 커버(220) 사이에 위치한다. 아울러, 상기 입사면(310)의 양 측부 부분은 상기 연결부(230)와 각각 맞닿는다. 이에 따라서, 상기 연결부(230)는 상기 단차면(216)이면 및 입사면(310)에 동시에 접하여 고정된다.

따라서, 렌즈부(300)의 하면은 상기 베이스면(212)에 의해서 커버되며, 렌즈부(300)의 상면은 상부 커버(220)에 의해서 커버되고, 상기 입사면(310)의 양 측부 부분은 상기 연결부(230)에 의해서 커버된다. 상기 베이스 스테이지(210), 상부 커버(220), 및 연결부(230)는 상기 렌즈부(300)를 고정시키며, 상기 렌즈부(300)는 X 축 방향으로 전방에 위치하는 입사면(310)의 중심 부분, 및 X 축 방향으로 후방에 위치하는 렌즈 곡면(320)이 노출될 수 있다.

다음으로 시료 홀더(400)에 대해서 설명한다.

시료 홀더(400)는 소정의 샘플이 탑재되고, 상기 샘플에 광을 조사하는 장치이다.

시료 홀더(400)는 회전 스테이지(200) 상에 배치되되 상기 베이스면(212) 상에 배치될 수 있다. 즉, 상기 단차면(216)이 베이스 스테이지(210)를 1/2 로 분할한다고 하면, 상기 단차면(216)을 사이에 두고 일 측에는 렌즈부(300)가 배치되며, 반대측에는 시료 홀더(400)가 배치될 수 있다.

시료 홀더(400)는 회동 축(410), 회동 바디(420), 및 광원부(430)를 포함하여 구성된다.

회동 축(410)은 Y 축 방향으로 연장되는 축으로 구성되며, 상기 회전 스테이지(200)에 연결된다. 구체적으로는 상기 2 개의 연결부(230) 사이를 가로질러 연결되는 소정의 빔으로 구성될 수 있다. 물론, 회동 축(410)은 회동 바디(420)를 회동시키는 축으로 구성되면 충분하므로, 회동 바디(420) 또는 연결부(230)에 구비된 소정의 돌출 빔으로 구성되는 실시 형태도 가능하다.

회동 바디(420)는 내부에 광원부(430)가 배치되며 일 단이 상기 연결부(230) 사이에 위치하여 상기 회동 축(410)을 통해 회전 스테이지(200)에 연결되며 상기 회동 축(410)을 중심으로 XZ 평면 상에서 회동 가능하게 구성되는 부재이다.

광원부(430)는 소정의 발광 소자일 수 있으며, 일 예로 UV 광과 같은 특정 파장의 광을 조사하는 소정의 LED 발광 소자로 구성될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하지는 아니한다.

회동 바디(420)는 회동 빔(440), 하우징(450), 및 탑재면(460)을 포함하여 구성된다.

상기 회동 빔(440)은 일 단이 상기 회동 축(410)에 연결되는 부분으로서, 상기 회동 축(410)에 연결되어 회동 가능한 소정의 빔으로 구성된다.

상기 하우징(450)은 내부에 광원부(430)를 실장하도록 내부에 소정의 공간이 형성된 부분이다. 상기 하우징(450)은 상기 회동 빔(440)의 타단에 연결되어 회동 빔(440)의 회동에 따라서 함께 회동한다. 회동 빔(440)과 하우징(450)은 바람직하게는 서로 소정의 사이각을 갖고 절곡되는 구성을 가질 수 있다.

하우징(450)은 X 축 방향으로 후방에 광 개방부(452)를 갖는다. 광 개방부(452)는 공간적으로 개방되거나, 또는 소정의 광투과성 재질을 갖는 창(窓)과 같은 부재가 구비되어 광이 통과할 수 있는 부분이다. 따라서, 상기 하우징(450) 내에 실장된 광원부(430)에서 생성된 조사광이 샘플에 조사될 수 있도록 구성된다.

탑재면(460)은 상기 렌즈부(300)와 서로 마주보는 위치에 형성된 면으로서, 상기 하우징(450)의 후방에 마련된다. 상기 탑재면(460)에는 소정의 샘플이 수납될 수 있도록 구성되며, 탑재면(460)에는 샘플이 수납되어 고정될 수 있도록 하는 소정의 홈이 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 샘플이 소정의 액상의 시료가 담긴 카트리지, 또는 소정의 사각형 글라스일 경우, 카트리지, 또는 사각형 글라스의 외형에 대응하는 홈이 형성되어 상기 카트리지, 또는 사각형 글라스가 탑재될 수 있다.

상기 탑재면(460)은 상기 하우징(450)의 광 개방부(452)와 연통하여, 상기 탑재면(460) 상에 상기 샘플이 수납되되, 상기 샘플의 전방부는 상기 광 개방부에 의해서 상기 광원부(430)와 마주보게 구성되어 상기 광원부(430)에서 생성된 광이 상기 샘플에 조사될 수 있는 구성을 갖는다.

한편, 회동 바디(420)는 탑재면(460) 상에 놓인 샘플을 위치 고정시키는 고정 수단(470)을 더 포함할 수 있다. 상기 고정 수단(470)은, 상기 탑재면(460)의 상부에 배치되되, 회동 소축(472)과, 회동 고정핀(474)을 포함하여 구성될 수 있다.

구체적으로는, 상기 탑재면(460)의 상부에 배치되며 Y 축 방향으로 연장되는 회동 소축(472)에 상기 회동 고정핀(474)의 일 단이 회동가능하게 연결되는 구성을 가질 수 있다. 따라서, 상기 회동 고정핀(474)은 상기 회동 소축(472)을 중심으로 하여 XZ 평면 상에서 회동할 수 있다. 이때, 상기 회동 고정핀(474)의 타측에는 소정의 고정 돌부가 마련되어 상기 탑재면(460) 상에 놓인 샘플의 상면 일부를 덮어 상기 샘플을 위치 고정시킬 수 있다.

상기 회동 바디(420)가 회동함에 따라서 상기 탑재면(460)의 기울임각 또한 가변될 수 있다. 상기 탑재면(460)은 회동 바디(420)의 회동에 따라서 상기 입사면(310)과 소정의 사이각을 갖고 벌어진 상태가 되거나, 또는 상기 입사면(310)에 밀착하여 입사면(310)과 탑재면(460) 사이의 사이각이 0° 인 상태가 될 수도 있다.

즉, 시료 홀더(400)는 오픈 모드와 클로징 모드를 갖는다. 오픈 모드에서는 회동 축(410)을 중심으로 하여 회동 바디(420)가 상기 렌즈부(300)에 대해서 외측으로 회동하여 상기 입사면(310)과 탑재면(460)이 서로 이격되어 상기 입사면(310)과 탑재면(460)이 소정의 사이각을 갖고, 탑재면(460)이 상방향으로 노출된 상태이다. 이에 따라서, 탑재면(460) 상에 상기 샘플을 탑재시킬 수 있다.

클로징 모드에서는 상기 입사면(310)과 탑재면(460) 사이의 사이각이 0° 가 된다. 이때, 상기 회동 빔(440)이 직립하게 되며, 탑재면(460)과 입사면(310)이 서로 밀착하게 된다. 보다 정확하게는, 탑재면(460)에 안착된 샘플이 입사면(310)에 밀착하는 것으로 이해될 수 있다.

이하에서는 각도 고정부(500)에 대해서 설명한다.

각도 고정부(500)는 X 축 방향으로 상기 시료 홀더(400)의 전방에 배치되며, 상기 시료 홀더(400)의 기울임 각도를 일정하게 유지시킬 수 있도록 하는 부재이다.

상기 각도 고정부(500)는 상기 베이스 스테이지(210)의 베이스면(212) 상에 배치되며, 베이스 지그(510), 및 회동 지그(520)를 포함하여 구성될 수 있다.

베이스 지그(510)는 상기 베이스 스테이지(210)의 베이스면(212) 상에 고정되되, X 축 방향으로 상기 시료 홀더(400)의 전방에 위치한다. 베이스 지그(510)의 Y 축 방향 양 측에는 회동 지그(520)가 연결될 수 있도록 소정의 홈이 형성될 수 있다.

상기 회동 지그(520)는 Y 축 방향으로 상기 베이스 지그(510)의 양 측에 배치되며, 상기 베이스 지그(510)와 소정의 지지축(514)을 통해 회동 가능하게 연결된다. 상기 지지축(514)은 X 축 방향으로 연장되어, 상기 회동 지그(520)는 XZ 평면 상에서 회동 가능하게 구성된다. 따라서, 상기 회동 지그(520)는 상기 베이스면(212) 상에 누워서 상기 베이스면(212)과 면하는 가로 모드와, 상기 지지축(514)을 중심으로 회동하여 상기 베이스면(212)과 90° 사이각을 가지며 직립한 상태가 되는 세로 모드를 갖는다. 물론, 반드시 세로 모드에서 베이스면(212)과의 사이각이 90° 인 것에 한정하는 것은 아니며, 적절한 사이각을 갖는 것으로 충분하다.

상기 각도 고정부(500)에 의한 상기 시료 홀더(400)의 위치 고정에 대해서 설명하면 아래와 같다.

상기 시료 홀더(400)가 닫힌 상태가 되면 상기 회동 빔(440)이 직립한 상태가 된다. 이때, 상기 회동 지그(520)를 상기 지지축(514)을 중심으로 하여 회동시켜서 가로 모드에서 세로 모드가 되도록 하면 상기 회동 지그(520)의 후면이 상기 회동 빔(440)의 전면에 닿게 된다. 이에 따라서, 상기 회동 빔(440)의 전면을 지지하여 회동 빔(440)의 자세를 유지하고, 회동 빔(440)이 닫힌 모드를 유지하도록 하게 된다. 바람직하게는, 상기 회동 지그(520)는, 상기 시료 홀더(400)가 닫힌 상태에서 정확히 직립한 상태를 유지할 수 있도록 적합한 길이 및 배치를 가질 수 있다. 즉, 상기 회동 지그(520)의 X 축 방향 후면이 상기 시료 홀더(400)가 직립한 상태에서 상기 시료 홀더(400)의 전면에 밀착하기 적합한 길이 및 배치를 가질 수 있다.

광 통과부(600)는 X 축 방향으로 상기 렌즈부(300)의 후방에 배치되는 부재로서, 상기 렌즈부(300)를 통해 투과된 광 중 소정의 위치의 광만을 선택적으로 통과시키도록 소정의 슬릿(610), 및 렌즈(620)를 가질 수 있다. 광 통과부(600)는 상기 베이스 판 상에 고정되는 소정의 구조물로 구성될 수 있다.

각도 조절부(700)는 상기 회전 스테이지(200)의 회전 각도, 회전 각도 범위, 회전 속도 및 초기 각도 등을 조정 가능한 장치로 구성된다. 각도 조절부(700)는 상기 동력부(100)와 연계되어 구성될 수 있으며, 소정의 조절 핀을 회전시켜서 상기 회전 스테이지(200)의 초기 각도 등을 조절할 수 있다. 예컨대, 상기 조절 핀은 소정의 톱니바퀴 등을 통해 상기 회전 스테이지(200)와 연결될 수 있다.

분석 장치(800)는 도 1 내지 도 6 에는 도시되지 아니하였으나, 상기 광 통과부(600)를 사이에 두고 상기 렌즈부(300)의 반대편에 위치할 수 있다. 따라서, 광 통과부(600)를 통과한 광이 분석 장치(800) 내에 입사할 수 있게 구성될 수 있다. 분석 장치(800)에서는 광 통과부(600)를 통과한 광을 이용하여 각종 신호를 분석, 처리하여 소정의 검사 결과를 도출할 수 있다. 따라서, 분석 장치(800)는 소정의 연산 장치, 데이터 베이스, 신호 처리 장치, 표시 장치, 입력 장치 등을 포함하여 구성될 수 있다.

상기한 동력부(100), 회전 스테이지(200), 렌즈부(300), 시료 홀더(400), 각도 고정부(500), 광 통과부(600), 및 분석 장치(800)는 소정의 베이스판(10) 상에 설치되며, 아울러, 전체 장치는 소정의 케이싱(20) 내에 수납될 수 있다. 상기 케이싱(20)은 오픈 구조로 구성되어 케이싱(20)에 구비된 도어(30)를 열고 샘플을 투입하거나 또는 각각의 장치를 교환, 수리할 수 있다. 아울러, 케이싱(20)에는 소정의 출력 장치 및 입력 장치가 구비될 수 있다.

아울러, 검사에 사용되는 광 외의 다른 광을 배제하여 검사 신뢰성을 보다 향상시키도록, 발광, 및 광 투과되는 부재 외의 다른 부재는 검은색으로 도포, 채색될 수 있다. 즉, 상기 렌즈부(300), 시료 홀더(400)의 일 부분, 및 광 통과부(600)의 슬릿(610)과 렌즈 등을 제외한 나머지 부분은 검은색으로 도포, 채색되어 불필요한 반사광, 외부광 등이 분석 장치(800) 내에 입사되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라서, 케이싱(20)의 내면, 도어(30)의 내면 및 각 부재의 외면을 모두 검은색으로 이루어질 수 있다.

이하에서는 본 발명에 따른 각도의존성 광발광 측정장치(1)의 작동에 대해서 설명한다.

도 7 은 본 발명의 각도의존성 광발광 측정장치(1)의 시료 홀더(400)가 오픈 모드일 때 시료 홀더(400) 내에 샘플이 탑재되는 것을 나타낸 도면이고, 도 8 내지 10 은 본 발명에 따른 각도의존성 광발광 측정장치(1)의 작동을 나타낸 도면이다. 다만, 도 1 내지 도 6 의 표시 부분도 참고하도록 한다.

먼저, 도 7 과 같이, 위에서 설명한 시료 홀더(400)의 오픈 모드에서, 상기 시료 홀더(400)의 탑재면(460) 상에 샘플(P)을 투입시킨다. 즉, 도 7 에 도시된 바와 같이, 오픈 모드에서 상기 탑재면(460)이 상방향으로 노출되며, 상기 탑재면(460) 상에 샘플(P)을 투입시킬 수 있다. 아울러, 탑재면(460) 상에 샘플을 투입시킨 이후, 상기 고정 수단(470)을 도 8 의 화살표 Q 와 같이 회동시켜서 상기 탑재면(460) 상에 샘플을 고정시킬 수 있다.

상기 설명한 바와 같이, 샘플(P)은 카트리지, 또는 액상의 시료 등이 투입된 소정의 글라스일 수 있으며, 탑재면(460) 상에 적절히 투입된 후, 상기 고정 수단(470)에 의해서 고정될 수 있다.

일 예에 의하면, 상기 샘플(P)은 소정의 검사 시료(F)가 놓이도록 소정의 면적을 가지며 글라스와 같이 광투과성을 갖는 재질로 구성되는 투과부(G)를 갖되, 상기 투과부(G)의 굴절율은 상기 렌즈부(300)의 굴절율과 동일할 수 있다. 아울러, 상기 샘플은, 상기 투과부(G) 상에 놓인 검사 시료 상에 도포되어 상기 검사 시료(F) 및 투과부(G)와 상기 렌즈부(300)의 입사면(310) 사이를 밀착시키는 액상 용제를 포함할 수 있다. 바람직하게는, 상기 액상 용제의 굴절율은 상기 렌즈부(300)의 굴절율과 동일할 수 있다.

상기와 같이 샘플(P)의 투입이 완료되면, 도 8 의 화살표 R 과 같이 상기 시료 홀더(400)를 회동시켜서 상기 설명한 클로징 모드로 전환한다. 즉, 탑재면(460)에 투입된 샘플이 입사면(310)에 밀착하도록 시료 홀더(400)를 회동시킨다.

이때, 상기 시료 홀더(400)를 상기 설명한 클로징 모드로 전환시킨 후, 상기 각도 고정부(500)를 가로 모드에서 세로 모드로 전환시킨다. 이러한 각도 고정부(500)의 모드 전환은 도 5 의 화살표 W 와 같이 이루어질 수 있다. 즉, 상기 회동 지그(520)를 회동시켜서 상기 시료 홀더(400)의 전면을 지지하도록 한다. 이에 따라서, 상기 시료 홀더(400)의 탑재면(460), 및 샘플은 상기 입사면(310)에 밀착한 상태를 유지할 수 있다.

이때, 상기 샘플(P)에 액상의 검사 시료 등이 포함되었을 경우, 액체 물질이 낙하하여 흐를 수 있다. 이때, 위에서 설명한 바와 같이, 베이스면(212) 상에 함몰 홈(213)이 형성되어 유출된 액체 물질이 고이게 구성됨으로써, 액체 물질이 다른 곳으로 흘러 장치가 오염되는 것을 방지할 수 있다.

이어서, 도 9 와 같이, 상기 광원부(430)에 전원이 인가되면 상기 광원부(430)에서 조사광 L1 이 생성된다. 상기 설명한 바와 같은 회동 바디(420)의 구성에 따라서, 조사광 L1 은 상기 샘플에 대해 대각선 상방향에서 하방향으로 입사될 수 있다. 상기 조사광 L1 의 입사 각도는 상기 회동 빔(440)과 하우징(450) 사이의 사이각에 따라서 정해질 수 있으며, 바람직하게는 45° 일 수 있으나, 이에 반드시 한정하는 것은 아니다.

상기 조사광 L1 이 상기 샘플에 조사되면, 상기 샘플에 포함된 액상의 검사 시료가 조사광 L1 에 의해서 여기되어 여기광 L2, L3 을 생성하게 된다. 상기 여기광L2, L3 은 상기 렌즈부(300)를 통과하여 확산되게 된다.

이때, 상기와 같이 소정의 슬릿(610)을 갖는 광 통과부(600)가 상기 렌즈부(300)의 후방에 위치함으로써, 소정의 입사각을 갖는 여기광 L2 만이 선택적으로 후방의 분석 장치(800)에 입사하게 된다. 도 8 에 의하면, 상기 시료 홀더(400), 샘플, 렌즈부(300), 광 통과부(600)가 일 직선상에 일렬로 배치되므로, 상기 일직선상의 여기광 L2 만이 분석 장치(800)에 입사하게 된다. 따라서, 검사에 불필요한 조사광, 반사광 등이 분석 장치(800)로 입사하는 것을 방지하여 정확한 검사가 이루어질 수 있다. 이때, 상기와 같이, 샘플의 투과부, 액상 용제 및 렌즈부(300)의 굴절율은 동일하며, 투과부와 렌즈부(300)가 밀착하므로 여기광이 불필요하게 굴절되지 아니하고 일 직선상의 여기광이 분석 장치(800) 내에 입사할 수 있게 된다.

이어서, 소정의 조작 버튼을 조작하면, 상기 동력부(100)가 회전력을 발생시켜서, 도 4 의 화살표 T 와 같이 상기 회전 스테이지(200)가 회전하게 된다. 회전 스테이지(200)가 회전함에 따라서, 상기 샘플(P) 및 렌즈부(300)의 지향각이 가변하며, 도 10 의 화살표 S 와 같이 렌즈부(300)의 배향이 바뀌게 된다. 따라서 다른 입사각을 갖는 여기광 L3 이 상기 샘플, 렌즈부(300), 광 통과부(600)를 잇는 일 직선상에 위치하여 분석 장치(800)에 입사할 수 있다. 이때, 여기광 L2 는 분석 장치(800)에 입사하지 아니하며, 상기 설명한 바와 같이, 케이싱(20) 내부가 흑색으로 구성됨에 따라서, 반사되지 않고 흡수되어 노이즈가 제거될 수 있다.

본 발명에 따라서, 샘플의 검사가 매우 간단하면서 신뢰성 있게 이루어질 수 있다. 특히, 렌즈부(300)에 대해 샘플이 밀착하고, 샘플에서 생성된 여기광이 렌즈부(300)에 의해서 넓게 확산되며, 상기 확산된 여기광을 특정 각도에 따라서 선택적으로 포착하여 분석 가능함에 따라서, 정확한 분석이 이루어질 수 있다.

또한, 장치 전체가 케이싱(20)에 의해 커버되므로, 광원부(430)에서 조사되는 조사광, 및 여기광이 외부로 유출되지 아니하여 사용자가 유해광에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 특히, 광원부(430)에서 조사되는 광이 UV 등의 단파장 광일 경우, 인체에 유해할 수 있으나, 본 발명에서는 사용 과정에서 케이싱에 의해서 광이 노출되지 아니하므로 안전한 검사를 수행할 수 있다.

도 11 은 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플 검사 방식을 나타낸 도면이며, 도 12 는 검사 결과의 일 예를 나타낸 도면이다.

도 11 과 같이, 본 발명에 따라서, 렌즈부(300) 및 샘플(P)이 화살표 R 과 같이 회전하여 특정 각도의 광이 선택적으로 분석 장치(800)에 입사될 수 있다. 따라서, 각도에 따른 광 패턴이 획득되어 검사에 활용될 수 있다. 이는, 마치 렌즈부(300)의 전 회전 각도 범위에 걸쳐서 분석 장치(800)가 배치된 것과 같은 효과를 갖는다고 할 수 있다.

예컨대, 특정 각도에서 분석 장치에 입사되는 여기광을 분석하면, 입사된 여기광의 세기에 따라서 도 12 (a) 와 같은 결과가 도출될 수 있다. 즉, 특정 각도에서 입사되는 여기광은 다양한 파장을 갖되, 상기 입사광의 세기 또한 함께 나타날 수 있다. 상기 입사광을 분석하여 검사 결과를 도출할 수 있으며, 예컨대 520 nm 의 파장을 갖는 입사광을 기준으로 검사 결과를 분석하면, 도 12(b)와 같이 검사 결과가 나타날 수 있다.

이상에서는 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다.

1: 각도의존성 광발광 측정장치
10: 베이스판
20: 케이싱
30: 도어
100: 구동부
110: 구동 장치
120: 측면 케이싱
130: 상부 케이싱
200: 회전 스테이지
210: 베이스 스테이지
212: 베이스면
214: 렌즈면
216: 단차면
300: 렌즈부
310: 입사면
320: 렌즈 곡면
400: 시료 홀더
410: 회동 축
420: 회동 바디
430: 광원부
440: 회동 빔
450: 하우징
460: 탑재면
470: 고정 수단
472: 회동 소축
474: 회동 고정핀
500: 각도 고정부
510: 베이스 지그
514: 지지축
520: 회동 지그
600: 광 통과부
610: 슬릿
620: 렌즈
700: 각도 조절부
800: 분석 장치

Claims

회전력을 제공하는 동력부(100);
소정의 면적을 갖고 상기 동력부(100)와 연결되어 Z 축 방향으로 연장되는 소정의 회전 중심축을 중심으로 XY 평면 상에서 회전 가능하게 구성되는 회전 스테이지(200);
상기 회전 스테이지(200) 상에 배치되어 상기 회전 중심축을 중심으로 상기 회전 스테이지(200)와 함께 회전 가능하게 구성되되, 상기 회전 스테이지(200) 상의 일 측에 배치되는 렌즈부(300);
상기 회전 스테이지(200) 상에 배치되어 상기 회전 중심축을 중심으로 상기 회전 스테이지(200)와 함께 회전 가능하게 구성되되, 상기 회전 중심축을 사이에 두고 상기 렌즈부(300)의 반대측에 배치되며 상기 회전 스테이지(200)에 대해서 회동 가능하게 연결되고 시료를 고정시키는 시료 홀더(400); 및
상기 회전 스테이지(200) 상에 배치되며 상기 시료 홀더(400)의 각도를 위치 고정시킬 수 있게 구성된 각도 고정부(500);를 포함하며,
상기 렌즈부(300)는,
상기 시료 홀더(400)와 마주보는 측에 소정의 평면으로 구성되는 입사면(310)을 가지며,
상기 시료 홀더(400)는,
Y 축 방향으로 연장되며 상기 회전 스테이지(200)에 연결되는 회동 축(410),
상기 회동 축(410)을 통해 일 단이 상기 회전 스테이지(200)에 연결되되 상기 회동 축(410)을 중심으로 XZ 평면 상에서 회동 가능하게 연결되는 회동 바디(420), 및
상기 회동 바디(420) 내에 배치되는 광원부(430)를 포함하고,
상기 회동 바디(420)는 상기 렌즈부(300)와 마주보는 위치에 소정의 샘플이 놓일 수 있는 탑재면(460)을 갖되, 상기 회동 바디(420)가 상기 회동 축(410)을 중심으로 회동함에 따라서 상기 탑재면(460)과 상기 입사면(310) 사이의 사이각이 가변하도록 구성되며,
상기 각도 고정부(500)는 상기 시료 홀더(400)를 위치 고정시켜서 상기 탑재면(460)과 상기 입사면(310) 사이의 사이각이 소정 각도를 유지하도록 하고,
상기 탑재면(460)과 상기 입사면(310) 사이의 사이각이 소정 각도로 고정된 상태에서 상기 광원부(430)에서 생성된 조사광이 상기 샘플에 조사되면, 상기 샘플이 여기되어 생성된 여기광이 상기 렌즈부(300)를 통과하여 방출되는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제1항에 있어서,
상기 렌즈부(300)는,
Z 축 방향으로 소정의 두께를 갖고,
X 축 방향 전면에 상기 입사면(310)이 직립하게 형성되며,
X 축 방향 후면에 반원형 곡면이 형성되는 반원형 렌즈로 구성되는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제1항에 있어서,
상기 회동 바디(420)는,
일 단이 상기 회동 축(410)에 연결되는 회동 빔(440),
상기 회동 빔(440)의 타단에 연결되되 상기 광원부(430)가 내부에 실장되도록 내부에 공간을 갖는 하우징(450), 및
상기 탑재면(460)은 상기 하우징(450)의 X 축 방향 후방에 상기 렌즈부(300)와 마주보는 위치에 형성되는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제3항에 있어서,
상기 회동 빔(440)이 직립하면 상기 탑재면(460)과 상기 입사면(310) 사이의 사이각이 0° 가 되며 상기 탑재면(460) 상에 안착된 샘플과 상기 렌즈부(300)의 상기 입사면(310)이 서로 밀착하게 구성되는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제4항에 있어서,
상기 회동 빔(440)과 상기 하우징(450)은 서로 소정의 사이각을 갖고 절곡되어,
상기 광원부(430)는 상기 회동 빔(440)이 직립한 상태에서 대각선 하방향으로 상기 샘플에 대해 광을 조사하는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제3항에 있어서,
상기 회동 바디(420)는,
상기 탑재면(460) 상에 놓인 샘플을 위치 고정시키도록 하는 고정 수단(470)을 포함하며,
상기 고정 수단(470)은 상기 탑재면(460)의 상부에 배치되되,
Y 축 방향으로 연장되는 회동 소축(472),
상기 회동 소축(472)을 중심으로 XZ 평면 상에서 회동하는 회동 고정핀(474)을 포함하여,
상기 탑재면(460) 상에 상기 샘플이 놓이면 상기 회동 고정핀(474)이 상기 샘플의 상단을 일부 덮어 위치 고정시키게 구성되는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제1항에 있어서,
상기 각도 고정부(500)는 X 축 방향으로 상기 시료 홀더(400)의 전방에 배치되며,
상기 회전 스테이지(200) 상에 고정되는 베이스 지그(510), 및
상기 베이스 지그(510)에 대해서 회동 가능하게 구성되어, 상기 시료 홀더(400)를 위치 고정시키는 회동 지그(520)를 포함하는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제7항에 있어서,
상기 회동 지그(520)는,
Y 축 방향으로 상기 베이스의 양 측에 배치되며 X 축 방향으로 연장되는 지지축(514)을 중심으로 회동하며,
상기 시료 홀더(400)가 직립한 상태에서 상기 회동 지그(520)가 상기 지지축(514)을 중심으로 상방향으로 회동하면 상기 회동 지그(520)가 상기 시료 홀더(400)의 X 축 방향 전면을 지지하여 상기 시료 홀더(400)를 위치 고정시키게 구성되는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제1항에 있어서,
상기 회전 스테이지(200)는,
상기 동력부(100)와 연결되는 베이스 스테이지(210),
상기 렌즈부(300)의 상면을 커버하는 상부 커버(220), 및
Y 축 방향으로 상기 시료 홀더(400)의 양 측에 마련되어 상기 베이스 스테이지(210) 상에 직립하고 상기 베이스 스테이지(210)와 상기 상부 커버(220)를 연결하며 후면이 상기 렌즈부(300)의 입사면(310)과 맞닿는 연결부(230)를 갖는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제9항에 있어서,
상기 베이스 스테이지(210)는 원형 형상을 갖되,
상기 베이스 스테이지(210)의 상면은, 서로 상이한 높이를 갖는 반원 형상의 렌즈면(214), 및 베이스면(212)으로 구분되며, 상기 렌즈면(214)은 상기 베이스면(212)보다 낮은 높이를 가져서 상기 렌즈면(214)과 상기 베이스면(212) 사이에 단차면(216)이 형성되며,
상기 렌즈면(214) 상에는 상기 렌즈부(300)가 배치되고,
상기 베이스면(212) 상에는 상기 시료 홀더(400), 및 각도 고정부(500)가 배치되는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제10항에 있어서,
상기 단차면(216)과 상기 렌즈부(300)의 입사면(310)은 서로 동일면상에 위치하여 일 면을 구성하는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제10항에 있어서,
상기 베이스면(212) 상에는,
상기 각도 고정부(500)의 외측에 형성되며 소정의 깊이를 가져서 소정의 액상 물질이 내부에 충진되도록 하는 유체 홈이 형성되는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제1항에 있어서,
상기 샘플은,
소정의 검사 시료가 놓이도록 소정의 면적을 가지며 광투과성을 갖는 재질로 구성되는 투과부를 갖되,
상기 투과부의 굴절율은 상기 렌즈부(300)의 굴절율과 동일한 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제13항에 있어서,
상기 샘플은,
상기 투과부 상에 놓인 검사 시료 상에 도포되어 상기 검사 시료 및 투과부와 상기 렌즈부(300)의 입사면(310) 사이를 밀착시키는 액상 용제를 포함하되,
상기 액상 용제의 굴절율은 상기 렌즈부(300)의 굴절율과 동일한 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제1항에 있어서,
X 축 방향으로 상기 렌즈부(300)의 후방에 배치되며 상기 렌즈부(300)를 통해 투과된 광이 통과할 수 있도록 소정의 슬릿(610)을 갖는 광 통과부(600); 및
상기 통과부를 통과한 광이 입사되어 분석을 수행하는 분석 장치(800); 를 더 포함하는 각도의존성 광발광 측정장치(1).
제1항에 있어서,
상기 회전 스테이지(200)의 회전 각도, 및 초기 각도를 조정할 수 있는 각도 조절부(700);를 더 포함하는 각도의존성 광발광 측정장치(1).