KR101801272B1

KR101801272B1 - 그래핀 필름 제조장치

Info

Publication number: KR101801272B1
Application number: KR1020140055670A
Authority: KR
Inventors: 김용기
Original assignee: 주식회사 참트론
Priority date: 2014-05-09
Filing date: 2014-05-09
Publication date: 2017-11-30
Also published as: KR20150128370A

Abstract

본 발명은 그래핀 필름 제조장치에 관한 것으로, 롤-투-롤(roll to roll) 방식으로 촉매금속필름을 이송하면서 그래핀을 증착하는 그래핀 필름 제조장치에 있어서, 상기 그래핀을 증착하는 증착챔버와, 상기 증착챔버의 진공도에 비하여 저진공이며, 상기 증착챔버의 입구측에 마련된 버퍼챔버와, 상기 버퍼챔버의 내측으로 상기 촉매금속필름이 이송될 때 외부의 공기가 유입되는 것을 방지함과 아울러 상기 촉매금속필름이 안정적으로 이송될 수 있도록 지지하는 제1이송롤러부를 포함한다. 본 발명은 그래핀을 증착하는 증착챔버의 입구측에 버퍼챔버를 두고, 그 버퍼챔버를 통해 증착챔버로 촉매금속필름을 연속으로 공급하되, 그 촉매금속필름의 상면과 하면에 접촉되는 이송롤러를 사용하되, 그 이송롤러의 미세한 틈을 통해 기류가 이동하는 것을 방지함으로써, 증착챔버의 진공도가 변화되는 것을 방지하여 공정안정성을 향상시킬 수 있으며, 그래핀 제조의 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.

Description

그래핀 필름 제조장치{Manufacturing device for graphene film}

본 발명은 그래핀 필름 제조장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 그래핀 필름의 제조과정에서 각 공정챔버별 가스의 이동을 차단할 수 있는 그래핀 필름 제조장치에 관한 것이다.

일반적으로 그래핀(Graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질이며, 그 두께가 매우 얇고 투명하며, 전기전도성이 매우 큰 특징이 있다. 이러한 특징을 이용하여 그래핀을 투명 디스플레이 또는 플렉시블(flexible) 디스플레이에 적용하려는 시도가 이루어지고 있다.

종래 그래핀 필름의 제조방법은 공개특허 10-2012-0111659호(그래핀을 포함하는 필름 제조 방법, 2012년 10월 10일 공개)에 기재되어 있다.

위의 공개특허에서는 대량생산을 위하여 롤-투-롤(Roll to Roll) 방식으로 일방향으로 촉매금속필름을 이송하면서, 그래핀을 형성하고, 그래핀이 형성되지 않은 촉매금속필름의 일면에 전사필름을 형성하는 단계에 대하여 기재되어 있으며, 각 단계별로 필요한 기구적인 구성에 대하여 설명이 되어 있다.

구체적으로 촉매금속필름을 권취하고 이송하기 위한 권취롤러 및 이송롤러와, 그 촉매금속필름에 탄소 공급 가스를 공급하여 그래핀을 증착하는 그래핀 형성 공간 등이 기재되어 있다.

그러나 그래핀의 제조는 화학적기상증착(CVD), 열화학적기상증착(TCVD), 급속 열화학기상증착(RTCVD) 등을 이용하는 것으로, 촉매금속필름이 그 그래핀 형성공간을 통과하여 연속적인 그래핀 제조가 가능하도록 하기 위해서는, 그 그래핀 형성공간의 진공상태가 유지되어야 하는데, 위의 공개특허에는 이러한 기술적 구성에 대하여 언급되어 있지 않다.

이러한 장치를 이용하게 되면, 기상증착법으로 형성되는 그래핀의 형성이 어렵게 되며, 이물의 유입 등에 의한 공정불량이 발생하게 되는 문제점을 충분히 예측할 수 있다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 롤-투-롤 방식으로 그래핀 필름을 제조하는 제조장치에서, 그래핀을 증착하는 증착챔버와 그 주변 챔버간에 공기 또는 가스의 이동을 최소화하여, 챔버 각각의 진공상태를 유지할 수 있으며, 이물이 유입되는 것을 방지할 수 있는 그래핀 필름 제조장치를 제공함에 있다.

아울러 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 증착된 그래핀의 손상을 방지하고 그래핀을 보호하기 위한 보호필름이 부착되는 그래핀 필름 제조장치를 제공함에 있다.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 그래핀이 증착된 필름을 배출하는 과정에서 필름의 온도를 낮출 수 있는 그래핀 필름 제조장치를 제공함에 있다.

본 발명 그래핀 필름 제조장치는,롤-투-롤(roll to roll) 방식으로 촉매금속필름을 이송하면서 그래핀을 증착하는 그래핀 필름 제조장치에 있어서, 상기 그래핀을 증착하는 증착챔버와, 상기 증착챔버의 진공도에 비하여 저진공이며, 상기 증착챔버의 입구측에 마련된 버퍼챔버와, 상기 버퍼챔버의 내측으로 상기 촉매금속필름이 이송될 때 외부의 공기가 유입되는 것을 방지함과 아울러 상기 촉매금속필름이 안정적으로 이송될 수 있도록 지지하는 제1이송롤러부를 포함한다.

본 발명은 그래핀을 증착하는 증착챔버의 입구측에 버퍼챔버를 두고, 그 버퍼챔버를 통해 증착챔버로 촉매금속필름을 연속으로 공급하되, 그 촉매금속필름의 상면과 하면에 접촉되는 이송롤러를 사용하되, 그 이송롤러의 미세한 틈을 통해 기류가 이동하는 것을 방지함으로써, 증착챔버의 진공도가 변화되는 것을 방지하여 공정안정성을 향상시킬 수 있으며, 그래핀 제조의 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은 상기 이송롤러가 설치된 챔버 벽에 차압을 형성하여 이동하는 기류를 외부로 배출하도록 구성하여, 증착챔버의 진공도 유지 효과를 보다 향상시킬 수 있다.

또한 본 발명은 증착된 그래핀 필름의 일면에 보호필름을 부착함으로써, 필름의 보관 또는 운반시 그래핀이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 그래핀 필름 제조장치의 구성도이다.
도 2는 도 1에서 제1이송롤러부의 분리 사시도이다.
도 3은 도 2의 결합상태 사시도이다.
도 4는 도 3의 A-A 단면도이다.
도 5는 도 3의 B-B 단면도이다.
도 6은 제2이송롤러부의 분리 사시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 그래핀 필름 제조장치의 구성도이다.

이하, 본 발명 그래핀 필름 제조장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 그래핀 필름 제조장치의 블록구성도이다.

도 1을 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 그래핀 필름 제조장치는, 권취된 촉매금속필름(1)을 풀어 공급하는 제1권취롤러(10)와, 상기 촉매금속필름(1)에 탄소를 증착하여 그래핀을 형성하는 증착챔버(30)와, 상기 증착챔버(30)의 전단에 마련되어 외부의 공기압과 상기 증착챔버(30) 내부의 공기압의 중간 공기압을 가지는 버퍼챔버(20)와, 상기 증착챔버(30)의 후단에 마련되어 상기 그래핀이 형성된 촉매금속필름(1)에 보호필름(2)이 부착되는 공간을 제공하는 접착챔버(40)와, 상기 보호필름(2)이 부착되고 그래핀이 형성된 촉매금속필름(1)을 권취하는 제2권취롤(50)을 포함하여 구성된다.

상기 버퍼챔버(20)와 접착챔버(40)에는 각각 제1이송롤러부(60)와 제2이송롤러부(70)가 마련되어 상기 제1권취롤러(10)에서 공급되는 촉매금속필름(1) 또는 보호필름(2)이 부착된 촉매금속필름(1)의 상하를 눌러 안정적으로 이송이 되도록 함과 아울러 외부의 공기가 상기 버퍼챔버(20)와 접착챔버(40)의 내로 유입되는 것을 방지하게 된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명한다.

먼저, 본 발명의 주된 구성으로서 증착챔버(30)는 제1권취롤러(10)로부터 제2권취롤러(50)까지 롤-투-롤 방식으로 이송되는 촉매금속필름(1)에 탄소를 증착하여 그래핀을 형성하는 것으로, 도면에 도시되지는 않았으나 진공펌프가 연결되어 상대적으로 고진공 상태가 유지되며, 내측에는 탄소를 포함하는 공정가스가 분사된다.

상기 증착챔버(30)의 입구측과 출구측은 미세연결통로(21,41)가 각각 마련되어 있어 두께가 얇은 촉매금속필름(1)이 지나며, 다른 챔버에 비해 고진공을 유지해야 하는 증착챔버(30)의 진공상태를 유지하기 유리한 구조가 되도록 한다.

또한 상기 증착챔버(30)의 입구측 미세연결통로(21)의 전단에는 외부에 비해서는 고진공이며, 상기 증착챔버(30)의 진공상태에 비해서는 상대적으로 저진공인 공간을 제공하는 버퍼챔버(20)가 마련되어 있다.

상기 버퍼챔버(20)의 입구측에는 상하로 롤러가 배치되는 제1이송롤러부(60)가 위치하여 상기 제1권취롤러(10)로부터 연속적으로 공급되는 촉매금속필름(1)이 주변과 간섭없이 원활하게 이송되도록 한다.

상기 제1이송롤러부(60)는 버퍼챔버(20)의 진공상태를 유지할 수 있도록 최대한 기밀을 유지할 필요가 있다.

도 2는 제1이송롤러부(60)의 분리 사시도이며, 도 3은 도 2의 결합상태 사시도이고, 도 4는 도 3에서 A-A 단면도이고, 도 5는 도 3에서 B-B 단면도이다.

도 2 내지 도 5를 각각 참조하면 본 발명에 적용되는 제1이송롤러부(60)는 상하로 배치되어 상호 접하는 상부롤러(61) 및 하부롤러(62)와, 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 양측면을 회전 가능한 상태로 지지하되, 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 양단 일부가 삽입되는 삽입홈(66)이 마련된 측벽(65)과, 상기 측벽(65)의 사이에서 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 상부와 하부 일부를 덮는 상부덮개(63) 및 하부덮개(64)를 포함하여 구성된다.

상기와 같은 구성에서 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 외면은 탄성폴리머층(61a,62a)이 코팅되어 있으며, 상부롤러(61)와 하부롤러(62)가 접하여 회전하는 상태에서 상기 촉매금속필름(1)이 그 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 사이를 통과하여 이송될 수 있도록 함과 아울러 그 촉매금속필름(1)이 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 사이를 지나는 동안에도 상기 촉매금속필름(1)의 양측면에서 상부롤러(61)와 하부롤러(62) 사이에 간격이 생기지 않도록 함으로써, 상기 버퍼챔버(20)로 외부의 공기가 유입되는 것을 방지하여 진공도를 유지할 수 있게 한다.

또한, 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 양단 회전축이 측벽(65)에 회전가능한 상태로 고정되나, 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 양측면이 측벽(65)에 접하는 경우 회전이 어렵게 되기 때문에 간격을 두어야 한다.

이때 간격이 노출되면 외부의 공기가 진공상태를 유지하는 버퍼챔버(20)로 유입될 수 있기 때문에 상기 측벽(65)에 삽입홈(66)을 형성하여, 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 양단 일부가 삽입되도록 한다. 상기 삽입홈(66)에 의하여 상기 촉매금속필름(1)의 진입방향측에서 볼 때 상기 상부롤러(61) 및 하부롤러(62)와 측벽(65) 사이의 틈이 노출되지 않게 되며, 따라서 외부의 공기 유입을 차단할 수 있다.

그리고 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)와 측벽(65) 사이의 틈에는 윤활작용과 실링작용을 동시에 할 수 있는 고형물이 삽입될 수 있으며, 진공윤활유나 마그네틱 플루이드(Magnetic fluid)와 같은 액상 물질을 넣을 수 있다.

아울러 상기 삽입홈(66)에는 도면에는 도시하지 않았으나, 진공펌프를 이용하여 그 삽입홈(66) 내의 공기를 배기할 수 있는 배기구(67)가 마련되어 있다. 즉, 상기 상부롤러(61)와 하부롤러(62)의 양단과 측벽(65)의 사이의 틈의 공간을 지속적으로 배기하여 외부의 공기가 버퍼챔버(20)로 유입되는 것을 방지하여 버퍼챔버(20) 및 증착챔버(30)의 진공을 유지할 수 있게 된다.

또한 상기 상부덮개(63)는 상부롤러(61)의 상부측의 틈, 상기 하부덮개(64)는 하부롤러(62)의 하부측 틈이 노출되는 것을 방지하도록 각각 원호형의 홈이 마련되어 상기 상부롤러(61)의 상부일부와 하부롤러(62)의 하부일부가 비접촉 상태로 삽입되도록 한다.

상기 제1권취롤러(10)에 권취된 상태로 공급되는 촉매금속필름(1)은 상기 제1이송롤러부(60)를 통해 안정적으로 상기 버퍼챔버(20)의 내측으로 공급되며, 상기 미세연결통로(21)를 통해 증착챔버(30)로 공급된다.

상기 증착챔버(30)는 그 종류에 무관하게 기상증착이 가능한 챔버를 사용할 수 있으며, 바람직하게는 내측에 히터(31)를 구비하여 증착챔버(30)의 내로 공급된 공정가스를 가열할 수 있는 구조를 사용할 수 있다.

또한 상기 증착챔버(30)에는 공급관(32)이 마련되어 외부에서 공정가스를 소정의 압력으로 증착챔버(30) 내부로 공급할 수 있도록 하고, 그래핀의 형성에 사용된 공정가스를 외부로 배출하는 배기관(34)을 두어 증착챔버(30) 내부의 압력을 조절할 수 있다.

특히 상기 공급관(32)의 내부에는 증착챔버(30)의 내부로 공급되는 공정가스를 직접 가열하는 관히터(33)가 마련된 것으로 한다.

이처럼 공급관(32) 둘레에 관히터(33)를 설치하는 경우 공정가스의 공급과정에서 열손실이 발생하는 것을 방지할 수 있기 때문에 별도의 단열장치가 요구되지 않으며, 가열 후 공급관을 통해 공급하는 방식은 안전한 압력범위를 고려하여 가열온도가 제한되지만 증착챔버(30) 내에서 직접 가열하여 분사하는 본 발명은 가스온도를 더 높일 수 있어 활성도를 높일 수 있게 된다.

이처럼 공정가스의 활성도를 높여 그래핀 형성을 보다 빠르고 원활하게 하여, 공정시간을 단축할 수 있게 된다.

상기와 같이 촉매금속필름(1)은 증착챔버(30)를 지나면서 그래핀이 형성되고, 그래핀이 형성된 상태로 미세연결통로(21)를 통해 접착챔버(40)로 연속 공급된다. 상기 접착챔버(40) 역시 상기 증착챔버(30)에 비해서는 저진공인 진공상태를 유지하며, 외부와 실링을 유지할 수 있도록 제2이송롤러부(70) 역시 상기 도 2 내지 도 5를 참조하여 설명한 제1이송롤러부(60)의 구성과 동일하게 구성할 수 있다.

상기 접착챔버(40)의 내부에서는 상기 그래핀이 형성된 촉매금속필름(1)의 일면에 보호필름(2)을 부착하게 되는데, 보호필름(2)은 외부의 보호필름 권취롤러(80)에서 공급된다. 이를 위하여 상기 접착챔버(40)의 측면벽에는 상기 보호필름(2)을 접착챔버(40) 내부로 공급하기 위한 필름이송롤러(81)가 마련되고, 접착챔버(40) 내에는 상기 공급된 보호필름(2)의 방향을 전환하여 상기 제2이송롤러부(70)를 상기 그래핀이 형성된 촉매금속필름(1)과 접하여 통과하도록 하는 방향전환롤러(82)를 사용하게 된다.

상기 보호필름 권취롤러(80)는 도면과 같이 접착챔버(40)의 외부에 위치할 수 있으며, 접착챔버(40)의 내측에 위치하는 것도 가능하다. 이처럼 보호필름 권취롤러(80)가 접착챔버(40)의 내측에 위치하는 경우 상기 필름이송롤러(81)는 사용될 필요가 없게 된다.

상기 필름이송롤러(81)는 상기 제2이송롤러부(70)의 하부롤러에 접하여 함께 구동될 수 있으며, 이때 기밀을 유지하는 구조는 앞서 상세히 설명한 제1이송롤러부(60)의 구성을 참조하여 용이하게 구현할 수 있다.

도 6은 상기 필름이송롤러(81)와 제2이송롤러부(70)의 일실시 분해사시도이다.

도 6을 참조하면 측벽(75)에는 삽입홈(76)이 마련되어 상부롤러(71)와 하부롤러(72) 및 상기 하부롤러(72)의 하부측에서 접하는 필름이송롤러(81)의 양측면이 삽입되어 회전가능한 상태로 고정할 수 있게 한다.

상기 삽입홈(76)에는 배기구(77)가 마련되어 역시 삽입홈(76)의 내측을 진공으로 만들어 외부의 공기가 접착챔버(40) 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으며, 상기 상부롤러(71)와 하부롤러(72)의 사이와 상기 하부롤러(72)와 필름이송롤러(81) 사이의 노출을 방지하는 상부덮개(73)와 하부덮개(74)를 더 포함할 수 있다.

상기 상부롤러(71)와 하부롤러(72) 및 필름이송롤러(81)의 표면은 앞서 언급한 탄성체 폴리머가 코팅된 것으로 할 수 있으며, 상부롤러(71)와 하부롤러(72)를 통해 외부로 배출되는 그래핀이 형성된 촉매금속필름(1)과 그 촉매금속필름(1)의 일면에 접착된 보호필름(2)은 냉각될 필요가 있으며, 상기 상부롤러(71)와 하부롤러(72)가 냉각작용을 하는 롤러로 구성할 수 있다.

냉각작용을 할 수 있는 롤러의 구성은 알려진 롤러의 구성을 적용할 수 있으며, 구체적으로 냉각수 또는 냉각유체가 지나는 냉각경로가 롤러 내부에 마련된 것을 사용할 수 있다.

이와 같은 구조에 의하여 보호필름(2)을 상기 접착챔버(40)의 내부로 공급하되, 외부 공기가 접착챔버(40)의 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있으며, 또한 보호필름(2)과 접착된 촉매금속필름(1)이 상기 상부롤러(71)와 하부롤러(72)의 사이를 통해 외부로 이송되는 경우에도 외부 공기가 유입되는 것을 방지할 수 있게 된다.

상기 외부로 배출된 그래핀이 형성된 촉매금속필름(1) 및 보호필름(2)은 제2권취롤러(50)에 권취 된다.

상기 보호필름(2)은 그래핀이 형성된 촉매금속필름(1)으로부터 용이하게 벗겨질 수 있는 것으로 할 수 있다. 또한 상기 보호필름(2)은 써멀 릴리즈(thermal release) 필름을 사용하여 쉽게 그래핀과 분리될 수 있도록 할 수 있다. 즉, 그래핀을 분리하는 공정은 상기 그래핀이 형성된 촉매금속필름(1)을 용제나 열을 가해 그래핀과 분리하고, 상기 보호필름(2)에 부착되어 있는 그래핀은 보호필름(2)에 열을 가하므로써 그래핀과 분리할 수 있게 된다.

이처럼 본 발명은 진공 조건에서 공정이 이루어지는 증착챔버(30)의 입구측과 출구측에 상대적으로 저진공인 버퍼구간을 두며, 그 버퍼구간으로 필름이 들어오거나 나갈 때 외부의 공기가 유입되는 것을 차단할 수 있어, 진공의 유지가 용이하게 된다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 그래핀 필름 제조장치의 구성도이다.

도 7을 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 그래핀 필름 제조장치는, 상기 도 1을 참조하여 설명한 구성과 타부분은 동일하며, 상기 미세연결통로(21,41) 각각에 실링이송부(91,92)를 더 포함하여 구성될 수 있다.

상기 실링이송부(91,92) 각각은 상호 상하로 접하게 배치되어 그 사이로 필름이 지나도록하는 이송롤러를 포함하는 것으로, 그 이송롤러들은 앞서 도 2 내지 도 5를 참조하여 설명한 제1이송롤러부(60)의 구성과 동일하게 구성할 수 있으며, 이미 상기 제1이송롤러부(60)와 제2이송롤러부(70)에 의해 실링이 이루어진 상태이므로, 일반적인 구성의 롤러를 사용할 수도 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

10:제1권취롤러 20:버퍼챔버
30:증착챔버 31:히터
32:공급관 33:관히터
34:배기관 40:접착챔버
50:제2권취롤러 60:제1이송롤러부
70:제2이송롤러부

Claims

롤-투-롤(roll to roll) 방식으로 촉매금속필름을 이송하면서 그래핀을 증착하는 그래핀 필름 제조장치에 있어서,
권취된 촉매금속필름을 버퍼챔버 내부로 공급하기 위한 제1권취롤러;
상기 제1권취롤러에서 공급되는 촉매금속필름이 버퍼챔버의 내측으로 이송될 때 외부의 공기가 유입되는 것을 방지함과 아울러 촉매금속필름이 안정적으로 이송될 수 있도록 지지하는 제1이송롤러부;
상기 제1이송롤러부를 통해 이송된 촉매금속필름이 통과하며, 증착챔버에 비해 저진공의 버퍼챔버;
상기 버퍼챔버를 통해 이송된 촉매금속필름이 통과하며, 상기 버퍼챔버의 진공도에 의해 증착챔버의 진공도가 낮아지는 것을 방지하기 위한 제1미세연결통로;
상기 제1미세연결통로를 통과한 촉매금속필름에 그래핀을 증착하며, 공정가스를 공급하는 공급관과, 상기 그래핀의 증착에 사용된 공정가스를 배기하는 배기관과, 상기 공급관의 둘레에 설치되어 상기 공급관을 통해 공급되는 공정가스를 직접 가열하는 관히터로 구성되는 증착챔버;
상기 증착챔버를 통해 이송된 촉매금속필름이 통과하며, 상기 증착챔버의 진공도가 낮아지는 것을 방지하기 위한 제2미세연결통로;
상기 제2미세연결통로를 통해 이송된 촉매금속필름에 보호필름이 접착되며, 증착챔버에 비해 저진공의 접착챔버;
상기 접착챔버에서 외부로 필름이 이송되는 동안 외부의 공기가 상기 접착챔버의 내부로 유입되는 것을 방지하고, 외부로 이송되는 촉매금속필름을 냉각하기 위한 냉각수가 공급되는 제2이송롤러부;
상기 제2이송롤러부로 보호필름을 공급하기 위한 보호필름 권취롤러; 및
상기 제2이송롤러부를 통해 외부로 이송된 보호필름이 부착된 촉매금속필름을 권취하기 위한 제2권취롤러;
를 포함하고,

상기 제1이송롤러부와 상기 제2이송롤러부는,
삽입홈이 형성된 한 쌍의 측벽과, 상기 측벽에 고정되며 상부롤러가 안착되는 원호형 홈이 마련된 상부덮개와, 상기 측벽에 고정되며 하부롤러가 안착되는 원호형 홈이 마련된 하부덮개와, 상기 측벽에 형성된 삽입홈에 양단이 삽입되고 표면에 탄성폴리머가 코팅되는 상부롤러 및 하부롤러와, 상기 삽입홈과 연통되어 진공펌프의 연결에 따라 상기 삽입홈을 진공상태로 배기하는 배기공으로 구성되는 그래핀 필름 제조장치.
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제1항에 있어서,
상기 접착챔버 내로 보호필름을 이송하는 필름이송롤러와, 상기 접착챔버 내로 이송된 보호필름의 이송방향을 변경하여, 상기 제2이송롤러부의 상부롤러와 하부롤러의 사이로 상기 보호필름이 통과되도록 하여, 상기 그래핀이 형성된 촉매금속필름에 접착되도록 하는 방향전환롤러를 더 포함하는 그래핀 필름 제조장치.
제7항에 있어서,
상기 필름이송롤러는 상기 하부롤러의 하부에 접하도록 마련되며, 표면이 탄성 폴리머로 코팅된 것을 특징으로 하는 그래핀 필름 제조장치.
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