KR101798277B1 - 판상형 산화구리 나노물질을 이용한 전도성 구리박막 패턴의 제조방법 - Google Patents

판상형 산화구리 나노물질을 이용한 전도성 구리박막 패턴의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은a)구리 아세테이트 수용액, NaOH 수용액 및 입자 성장 안 정제를 첨가 및 교반한 후 원심분리하여 얻은 침전물을 세척 후 건조하여 판상형 산화구리 나노물질을 합성하는 단계; b)상기 판상형 산화구리 나노물질을 용매에 분산시키고 환원제와 분산안정제를 첨가하여 판상형 산화구리 잉크 용액을 제조하는 단계; c)상기 판상형 산화구리 잉크 용액을 기재에 코팅하여 코팅층을 형성한 후 상기 코팅층에 레이저를 조사하여 전도성 구리 박막을 형성하는 단계; 및 d)상기 전도성 구리 박막이 형성된 기재를 세척하는 단계를 포함하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법에 관한 것이다.

Description

판상형 산화구리 나노물질을 이용한 전도성 구리박막 패턴의 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING CONDUCTIVE COPPER THIN-FILM PATTERN USING FLAT-TYPE OXIDIZED COPPER NANO MATERIAL}
본 발명은 판상형 산화구리 나노물질을 이용한 전도성 구리박막 패턴의 제조방법에 관한 것이다.
산화구리 나노물질, 예를 들어 산화구리 나노와이어 또는 나노막대기를 합성하는 방법으로 구리 박막(copper foil)의 열 산화법, 수열법, 기체-액체-고체 합성법, 레이저 어블레이션법(laser ablation), 아크 방전법(arc discharge), 전구체 함침 열분해법(precursor impregnation and pyrolysis method) 등이 개발되었지만 상기 방법들은 합성 시 고열 또는 복잡한 도구 및 불활성(inert) 환경 등을 요구하는 단점이 있다.
또한 종래에 구리 박막필름 또는 기판을 증착 공정 또는 무전해 도금 방식으로 제조하고 있으나 증착 공정의 경우 공정 중 소스 손실 및 진공에 따른 큰 고비용이 요구되며, 무전해 도금은 도금액 조성에 따른 도금층의 두께 불균일, 기포로 인한 미도금 부위 발생 등과 같이 해결해야 할 기술적인 문제들을 가지고 있다.
KR 10-2010-0102632 A
J.Phys.Chem. C 2011, 115, 23664-23670
상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 본 발명에서는 구리 박막을 제조할 수 있는 산화구리 나노물질을 수용액공정으로 간단히 합성하고, 이 물질을 기반으로 한 잉크 용액을 제조하여 박막으로 도포한 후 레이저 조사로 직접 구리 환원 반응이 일어나도록 하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 a)구리 아세테이트 수용액, NaOH 수용액 및 입자 성장 안정제를 첨가 및 교반한 후 원심분리하여 얻은 침전물을 세척 후 건조하여 판상형 산화구리 나노물질을 합성하는 단계; b)상기 판상형 산화구리 나노물질을 용매에 분산시키고 환원제와 분산안정제를 첨가하여 판상형 산화구리 잉크 용액을 제조하는 단계; c)상기 판상형 산화구리 잉크 용액을 기재에 코팅하여 코팅층을 형성한 후 상기 코팅층에 레이저를 조사하여 전도성 구리 박막을 형성하는 단계; 및 d)상기 전도성 구리 박막이 형성된 기재를 세척하는 단계를 포함하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 따르면 기존의 구리 잉크에 비해 대기 중에서 안정한 판상형 산화구리 잉크 용액을 사용함으로써 비활성 분위기가 아닌 대기 중에서 전도성 구리 박막을 형성할 수 있다.
본 발명에 따라 전도성 구리 박막 패턴을 형성하는 경우 미 반응 물질은 다시 회수하여 재사용할 수 있으므로 기본 저렴한 원재료 및 합성단가과 함께 재료 손실을 최소화하여 공정공정 단가를 획기적으로 낮출 수 있다.
본 발명에 따라 제조한 판상형 산화구리 잉크 용액은 전도성 박막 및 배선 형성 공정에서 터치스크린 전극배선, FPCB 배선, 도금 seed 막, laser marking 소재, 촉매와 도금이 필요없는 LDS(Laser Direct Structuring)의 소재물질 등으로 유용하게 활용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따라 합성한 판상형 산화구리 나노플레이크의 SEM 이미지이다
도 2는 본 발명의 실시예에 따라 제조한 판상형 산화구리 잉크 용액을 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 레이저 조사를 이용하여 형성된 Cu 박막을 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 레이저를 조사한 구리 박막의 XRD 분석 결과이다.
도 5는 본 발명에 따라 전도성 구리 박막이 형성된 기재를 세척한 전 후를 비교한 것이다.
도 6에서 좌측 도면은 종래의 산화구리 물질을 이용하여 레이저로 환원 소결시켜 얻은 구리 박막을 도시한 것이고, 우측 도면은 본 발명의 일실시예에 따라 제조한 구리 박막을 도시한 것이다.
이하, 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명은 수용액 공정으로 합성된 판상형 산화구리 나노물질을 기반으로 하는 잉크 용액을 제조하여 전도성 구리 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다.
구체적으로, 본 발명은 a) 구리 아세테이트 수용액, NaOH 수용액 및 입자 성장 안정제를 첨가 및 교반한 후 원심분리하여 얻은 침전물을 세척 후 건조하여 판상형 산화구리 나노물질을 합성하는 단계; b)상기 판상형 산화구리 나노물질을 용매에 분산시키고 환원제와 분산안정제를 첨가하여 판상형 산화구리 잉크 용액을 제조하는 단계; c)상기 판상형 산화구리 잉크 용액을 기재에 코팅하여 코팅층을 형성한 후 상기 코팅층에 레이저를 조사하여 전도성 구리 박막을 형성하는 단계; 및 d)상기 전도성 구리 박막이 형성된 기재를 세척하는 단계를 포함하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법을 제공한다.
상기 a)단계에서 구리 아세테이트 수용액과 NaOH 수용액은 다음과 같이 반응하여 산화구리가 생성된다.
CuCH3(COO)2·H2O + NaOH -> CuO +2Na(CH3COO) + H2O
상기 반응에서 구리 아세테이트와 NaOH는 1:2~1:10의 몰비로 반응하는 것이 바람직하다.
상기 a) 단계에서 입자 성장 안정제로 티오글리세롤(thioglycerol), 1,6-헥사디아민(hexadiamine), 헥사메틸렌테트라아민(hexamethylene tetramine) 등이 사용되어, 입자들이 응집되지 않고 분산을 유지할 수 있도록 하는 역할을 할 수 있다. 상기 입자 성장 안정제의 첨가량은 구리 아세테이트 수용액과 NaOH 수용액의 총 중량을 기준으로 0.03~3 중량%인 것이 바람직하다.
상기 a) 단계에서 나노사이즈의 산화구리, 즉 산화구리 나노물질이 생성되는데, 산화구리 나노물질은 순수한 구리와 달리 이미 산화 상태이므로 대기 중에서 안정적이다.
또한 상기 a) 단계에서 생성된 산화구리 나노물질은 판상형이다. 판상형으로의 성장은 일반적인 안정제로 쓰인 물질들이 동시에 템플레이팅(templating) 역할을 하면서 Cu 이온과 배위(coordinated)되어 반응시간과 농도에 따라서 특정 형상으로 성장 유도를 하게 되면서 얻어진 결과이다.
본 발명에서 형성된 입자는 타 수용액 합성법에서 볼 수 없었던 균일한 판상형 나노입자이며, 크기 또한 마이크로 크기의 폴드형 플레이크(folding flake)가 아닌 분산된 나노입자 형태를 가지고 있다. 막 형성시 입자판상의 가장 넓은 면끼리 조립되도록 배향이 잘 된 구조를 형성시키면 구형 입자로 이루어진 박막 구조에 비해 더 공극이 적은 밀도 높은 박막을 형성할 수 있게 되고 그 결과 더 양질의 구리박막을 얻을 수 있게 된다.
상기 판상형 산화구리 나노물질은 입자크기가 1㎛이하인 것이 바람직하다.
보다 바람직하게는 상기 판상형 산화구리 나노물질의 입자크기는 500nm 이하이다. 구체적으로, 상기 판상형 산화구리 나노물질은 길이 100~200nm, 두께는 10~30 nm인 나노 플레이크(nano-flake)일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는 침전물을 건조하여 검은색 분말의 나노 플레이크(nano-flake) 형태의 산화구리(copper oxide) 나노플레이크를 얻었다.
상기 b) 단계에서 판상형 산화구리 나노물질은 용매에 분산되어 환원제와 분산안정제의 첨가에 의해 판상형 산화구리 잉크 용액을 형성한다.
상기 판상형 산화구리 나노물질의 함량은 판상형 산화구리 잉크 용액의 총 중량을 기준으로 10~60 중량%인 것이 바람직하다. 60 중량%를 초과하면 균일하게 막두께를 조절하기 어렵고, 10 중량% 미만이면 레이저 공정 후 충분한 전도성을 가지는 밀도 높은 박막을 형성하기 어렵다.
상기 용매는 판상형 산화구리 나노물질을 분산시키는 역할을 하며, 용매로는 이소프로필 알코올 또는 탈이온수를 사용할 수 있다.
상기 용매의 사용량은 판상형 산화구리 잉크 용액의 총 중량을 기준으로 10~60 중량%인 것이 바람직하다,
상기 환원제는 CuO 나노물질의 산화를 방지하고, 레이저광이 주사되었을 때 CuO를 환원시키는 역할을 하게 된다. 이러한 환원제로 통상의 폴리올 공정(polyol process)에 사용되는 알콜 계열의 에틸렌 글리콜(ethylene glycol) 또는 디에틸렌 글리콜(diethylene glycol) 등의 환원제를 사용할 수 있다.
상기 환원제의 첨가량은 판상형 산화구리 잉크 용액의 총 중량을 기준으로 10~30 중량%인 것이 바람직하다.
상기 분산안정제는 입자의 표면을 보호하면서 입자간 응집을 최소로 하고 침전이 일어나지 않고 용액에 잘 분산될 수 있도록 하는 역할을 하게 된다. 이러한 분산안정제로 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone, PVP) 등을 사용할 수 있다.
상기 분산안정제의 첨가량은 판상형 산화구리 잉크 용액의 총 중량을 기준으로 0.1~5 중량%인 것이 바람직하다.
본 발명에서는 상기 판상형 산화구리 잉크 용액을 기재 상에 코팅하여 코팅층을 형성한 후 레이저를 조사하여 전도성 구리 박막을 형성한다. 본 발명의 일 실시예에서는 1064nm 파장의 IR 레이저를 조사하였다.
상기 판상형 산화구리 잉크 용액을 기재 상에 코팅하는 방법으로 일반 용해(solution) 코팅과정에서 사용되는 스핀코팅기에 따른 스핀코팅, 롤코팅기에 따른 롤코팅, 블레이딩(blading) 코팅기에 따른 블레이딩 코팅, 바 코터(bar coater) 등을 사용할 수 있다.
이때 코팅층의 두께는 코팅 건조 후 최종 박막 두께가 0.5~20㎛인 것이 바람직하다.
본 발명은 전도성 구리 박막을 형성함에 있어 레이저 또는 고출력 플래쉬 램프를 사용한 레이저 조사 방식을 이용한다.
본 발명에 따라 전도성 구리 박막의 형성에 레이저를 이용하는 경우 레이저 조사와 동시에 산화구리의 환원, 소결이 진행되며 자유로운 패턴 형성이 가능하다.
본 발명에서는 레이저 광으로 펄스 레이저 또는 연속파(CW, continuous wave) 레이저를 사용한다. 레이저가 코팅층에 주사되는 경우, 레이저 광이 주사된 코팅층은 산화구리(CuO)가 구리로 환원됨과 동시에 소결되게 된다. 따라서, 환원 공정, 소결공정 및 미세패터닝 공정을 별도의 공정으로 할 필요없이 레이저 광의 주사만으로 이러한 환원, 소결, 미세패터닝 공정을 단일공정으로 구현가능하게 된다.
본 발명에 따르면 레이저의 조사강도 및 잉크층의 두께를 조절하여 상단면은 구리 금속막이고 하단면은 산화구리가 남아 있어 흑화층 역할을 하면서 PET에 접착력이 유지되는 전도성 막을 한번에 형성할 수 있다
도 3은 본 발명의 일실시예에 따라 레이저 조사를 이용하여 형성된 Cu 박막을 도시한 것이다. 도면을 통해 본 발명에 따라 PET와 같은 투명기재에 구리 박막이 형성된 경우 조사 에너지 및 박막 두께를 조절하여 상면에는 전도성 구리 박막이면서 기재와 닿은 면에는 일부 환원되지 않은 산화구리가 남아 있어서 흑색을 유지할 수 있음을 확인하였다. 따라서 이를 이용하면 흑화층이 동시에 형성된 전도성 구리 박막을 형성할 수 있음을 확인하였다. 이 때 흑화층 부분이 있어도 접착력은 충분히 유지되었다.
또한, 도 6에서 좌측 도면은 종래의 산화구리 물질을 이용하여 레이저로 환원 소결시켜 얻은 구리 박막을 도시한 것이고, 우측 도면은 본 발명의 일실시예에 따라 제조한 구리 박막을 도시한 것이다. 두 도면을 비교한 결과, 본 발명에 따라 제조한 구리 박막은 기공의 형성이 상대적으로 적고, 밀도가 높은 박막이 형성되었음을 확인하였다.
본 발명에 따라 판상형 산화구리 잉크 용액을 PET 등의 기재에 코팅하여 레이저에 조사하는 경우 종래의 산화구리 잉크에 비해 밀도가 높고 접착력이 우수한 구리 박막을 얻을 수 있다.
상기와 같이 형성된 Cu 박막을 물 또는 에탄올로 세척하면, 도 5에서 보는 바와 같이 일정 면적 또는 패턴으로 전도성 면이 형성된 후 불필요한 부분은 물 또는 에탄올에 의해 쉽게 제거 가능하다. 반면, PET 기판에 형성된 금속 박막은 세척 후에도 박막의 두께 및 전도성이 그대로 유지되며 3M tape test에도 분리되지 않는다. 또한 제거된 CuO 나노플레이크는 회수되어 다시 재 사용할 수 있다.
이하 본 발명의 실시예를 통해 본 발명을 설명하도록 한다. 이들 실시예는 단지 예시적인 것일 뿐, 본 발명의 기술적 범위를 한정하는 것은 아니다.
<실시예 1>
산화구리 나노플레이크의 합성
copper acetate (0.5M)(in DI water)와 NaOH(2M)(in DI water)를 혼합한 후 10 ㎕ thioglycerol을 분산안정제로 첨가 및 교반한 후 1일 방치하여 반응물을 침전시켰다. 그 다음 원심분리기로 5000rpm에서 30분간 탈이온수(DI water)를 이용하여 침전물을 수회 세척한 후 최종 침전물을 건조하여 검은색 분말의 나노 플레이크(nano-flake) 형태의 산화구리(copper oxide)를 얻었다. 이때 나노 플레이크의 크기는 약 100~200nm, 두께는 15~20 nm이었다.
산화구리 나노플레이크 잉크 용액의 제조
상기 얻어진 산화구리 나노플레이크에서 0.7g의 산화구리 나노플레이크를 1g의 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol) 또는 탈이온수(DI water)에 분산시키고 1g의 에틸렌 글리콜(ethylene glycol, EG)과 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone, PVP)을 0.05g 첨가하여 산화구리-나노플레이크 잉크 용액을 제조하였다.
레이저 조사를 이용한 Cu 박막의 형성
상기 산화구리-나노플레이크 잉크 용액으로 바 코터를 이용하여 PET 기판상에 코팅하여 최종 건조두께가 3㎛가 되도록 하였다. 그 다음 1064nm CW 또는 펄스레이저를 이용하여 일정 면적 또는 패턴 형상으로 스캔하였다. 그 결과 도 3에서 보는 바와 같이 레이저 조사된 부분에 전도성 구리 박막이 형성되었고, 레이저 에너지로 플레이크가 서로 용융되어 연결된 박막의 형태로 소결되면서 환원 과정에서 CuO 박막이 약 50%의 두께가 감소되는 것을 확인하였다. 이때 검은색에서 원래의 구리박막의 색이 나타나고 비전도성에서 전도성으로 변화되었으며, 전기적 특성은 면저항이 0.1 Ω/sq (약 3㎛ 두께)이었다.
또한 도 4에서 보는 바와 같이 XRD 분석 결과 레이저 조사된 면에서는 Cu 결정상만 확인되어 CuO에서 결정상 Cu로 환원되었음이 확인되었다. 또한 추가실험에서 glass 기판에서도 Cu 박막 및 패턴 형성이 가능함을 확인하였다.

Claims (11)

  1. a)구리 아세테이트 수용액, NaOH 수용액 및 입자 성장 안정제를 첨가 및 교반한 후 원심분리하여 얻은 침전물을 세척 후 건조하여 판상형 산화구리 나노물질을 합성하는 단계;
    b)상기 판상형 산화구리 나노물질을 용매에 분산시키고 환원제와 분산안정제를 첨가하여 판상형 산화구리 잉크 용액을 제조하는 단계;
    c)상기 판상형 산화구리 잉크 용액을 기재에 코팅하여 코팅층을 형성한 후 상기 코팅층에 레이저를 조사하여 전도성 구리 박막을 형성하는 단계; 및
    d)상기 전도성 구리 박막이 형성된 기재를 세척하는 단계를 포함하며,
    상기 판상형 산화구리 나노물질은 길이 100~200nm, 두께는 10~30nm인 나노 플레이크(nano-flake)이고,
    상기 판상형 산화구리 나노물질의 함량은 판상형 산화구리 잉크 용액의 총 중량을 기준으로 10~60 중량%이고,
    상기 입자 성장 안정제의 첨가량은 구리 아세테이트와 NaOH의 총 중량을 기준으로 0.03~3 중량%이고,
    상기 전도성 구리 박막의 상단면은 구리 금속막이고, 하단면은 산화구리를 포함하는 흑화층인 것인 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 a)단계의 구리 아세테이트와 NaOH의 몰비는 1:2~1:10인 것을 특징으로 하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계에서 입자 성장 안정제는 티오글리세롤(thioglycerol), 1,6-헥사디아민(hexadiamine) 또는 헥사메틸렌테트라아민(hexamethylene tetramine) 인 것을 특징으로 하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계의 용매의 사용량은 판상형 산화구리 잉크 용액의 총 중량을 기준으로 10~60 중량%인 것을 특징으로 하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계의 환원제의 첨가량은 판상형 산화구리 잉크 용액의 총 중량을 기준으로 10~30 중량%인 것을 특징으로 하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법.
  9. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계의 분산안정제는 폴리비닐피롤리돈(polyvinylpyrrolidone, PVP) 인 것을 특징으로 하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법.
  10. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계의 분산안정제의 첨가량은 판상형 산화구리 잉크 용액의 총 중량을 기준으로 0.1~5 중량%인 것을 특징으로 하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법.
  11. 청구항 1에 있어서, 상기 c)단계의 코팅층의 두께는 0.5~20㎛인 것을 특징으로 하는 전도성 구리 박막 패턴의 제조방법.
KR1020140123663A 2014-09-17 2014-09-17 판상형 산화구리 나노물질을 이용한 전도성 구리박막 패턴의 제조방법 KR101798277B1 (ko)

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CN118437937A (zh) * 2024-05-17 2024-08-06 浙江大学 一种激光直写的耐高温纳米铜及其制备方法和应用

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2013120864A (ja) 2011-12-08 2013-06-17 Showa Denko Kk 導体パターン形成方法および導体パターンを備える基板
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101204307B1 (ko) 2010-10-20 2012-11-23 한국과학기술원 레이저를 이용한 미세 구리배선 제작방법 및 레이저를 이용한 미세 구리배선 제조장치 및 그 제작방법으로 제조된 미세 구리배선
JP2013120864A (ja) 2011-12-08 2013-06-17 Showa Denko Kk 導体パターン形成方法および導体パターンを備える基板
KR101402010B1 (ko) 2012-12-04 2014-06-02 한국화학연구원 레이져 패턴 공정용 금속 나노 잉크를 이용한 미세 전도성 패턴 제작방법

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