KR101792950B1 - 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치 및 방법 - Google Patents

발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 정전 용량 측정 장치는, 발전기의 고정자 권선을 사이에 두고 양측에서 고정자 권선 절연체 상에 배치되어 고정자 권선과 정전 용량을 형성하는 측정단자를 포함하는 측정부; 측정부의 일 측에 미리 설정된 교류 주파수를 발진하여 출력하는 발진부; 측정부의 다른 측으로부터 출력된 교류 주파수를 검출하는 검출부; 및 검출된 교류 주파수를 이용하여, 측정부와 고정자 권선의 도체 사이의 제1 정전 용량을 계산하는 처리부를 포함한다.

Description

발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING CAPACITANCE OF GENERATOR STATOR WINDINGS}
본 발명은 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 수냉식 발전기의 경우 내부의 고정자 권선의 노후로 인해 권선을 따라 흐르는 냉각수가 권선 절연체에 스며들게 되는 흡습 현상 발생할 수 있고, 이 경우 갑작스런 절연파괴사고를 일으킬 수 있다. 이로 인해, 발전기 고정자의 권선 절연체에 대한 흡습 상태를 진단하는 장치가 요구되었다.
일반적으로 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치는, 고정자 권선의 도체와 프로브(즉, 측정 단자) 사이의 권선 절연체의 정전용량 변화를 확인함으로써 권선에 존재하는 수분의 상태를 판단하였다.
종래의 정전 용량 측정 장치는 프로브가 권선의 도체와 직접적으로 연결되는 구조로 인해, 도체를 접지한 상태에서 측정이 이루어져야 한다. 그러나 이 경우, 운전 중에 접지 단자와 프로브 사이에 발생하는 고전압으로 아크 또는 코로나가 발생할 수 있다. 이에 따라, 발전기 운전 중에는 고정자 권선 절연체의 정전 용량을 측정할 수 없어 실시간으로 권선의 흡습 상태를 측정하기에는 운영상의 문제가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 발전기 운전 중에도 고정자 권선 절연체의 정전 용량을 측정하고 흡습 여부를 판단할 수 있는 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치 및 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치는, 발전기의 고정자 권선을 사이에 두고 양측에서 고정자 권선 절연체 상에 배치되어 고정자 권선과 정전 용량을 형성하는 측정단자를 포함하는 측정부; 측정부의 일 측에 미리 설정된 교류 주파수를 발진하여 출력하는 발진부; 측정부의 다른 측으로부터 출력된 교류 주파수를 검출하는 검출부; 검출된 교류 주파수를 이용하여, 측정부와 고정자 권선의 도체 사이의 제1 정전 용량을 계산하는 처리부를 포함한다.
처리부는 계산된 제1 정전 용량의 변화량을 이용하여 고정자 권선 절연체의 흡습 여부를 판단할 수 있다.
일례로, 본 발명에 따른 정전 용량 측정 장치는, 발진부와 검출부의 사이에서 측정부와 병렬 구조가 되도록 연결되고, 기준 정전 용량을 갖는 기준 콘덴서를 더 포함할 수 있다.
이 경우, 처리부는, 기준 콘덴서로부터 검출된 교류 주파수를 이용하여 기준 콘덴서의 제2 정전 용량을 계산하고, 계산된 제2 정전 용량과 기준 정전 용량을 비교하여 온도변화에 의한 정전 용량 차이를 계산하며, 계산된 정전 용량 차이를 이용하여 제1 정전 용량을 보상할 수 있다.
또한, 측정부의 양측 측정단자는 서로 접촉되지 않게 절연 재료로 고정될 수 있다.
본 발명에 따른 정전 용량 측정 장치는, 처리부와 연결되고, 사용자 조작 신호를 입력하는 입력부를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 정전 용량 측정 장치는, 처리부와 연결되고, 입력부에 의한 입력 정보 및 처리부에 의한 처리 정보를 출력하는 표시부를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 방법은, 측정단자를 발전기의 고정자 권선을 사이에 두고 양측에서 고정자 권선 절연체 상에 설치하는 단계; 발진부가 측정단자의 일 측에 미리 설정된 교류 주파수를 발진하여 출력하는 단계; 검출부가 측정단자의 다른 측으로부터 출력된 교류 주파수를 검출하는 단계; 처리부가 검출된 교류 주파수를 이용하여, 측정단자와 고정자 권선의 도체 사이의 제1 정전 용량을 계산하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 정전 용량 측정 방법은 처리부가 계산된 제1 정전 용량의 변화량을 이용하여 고정자 권선 절연체의 흡습 여부를 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 제1 정전 용량을 계산하는 단계는, 기준 콘덴서를 이용하여 온도변화에 의한 정전 용량 차이를 계산하고, 계산된 정전 용량 차이만큼 제1 정전 용량을 보상하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 측정부와 고정자 권선의 도체의 사이에 직렬 연결된 커패시턴스 구조를 형성함으로써, 발전기 운전 중에도 고정자 권선의 정전 용량을 측정하여, 권선 절연체의 흡습 여부를 판단할 수 있다.
추가적으로, 본 발명에 의하면, 기준 콘덴서를 구비함으로써 정전 용량 측정 장치의 내부 회로에서 발생되는 온도 변화에 상관없이 정확한 정전 용량을 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 용량 측정 장치의 블록도를 나타낸다.
도 2(a)는 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 단자와 고정자 권선의 연결관계를 나타낸 부분 단면도이며, 도 2(b)는 도 2(a)의 등가 회로를 나타낸다.
도 3은 측정 단자 사이의 정전 용량을 설명하기 위한 도로서, 도 3(a)는 고정자 권선 절연체에 흡습이 없는 상태의 경우이고, 도 3(b)는 고정자 권선 절연체에 흡습이 존재하는 상태의 경우이다.
도 4는 고정자 권선에 측정 단자를 배치하는 방법을 설명하기 위한 도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 용량 측정 장치를 이용한 간이 실험 모습을 나타낸 도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 용량 측정 장치에서 기준 콘덴서를 이용한 경우, 시간에 대한 정전 용량과 온도 변화를 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 용량 측정 방법의 순서도를 나타낸다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 실시 예들을 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 용량 측정 장치의 블록도를 나타낸다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치는, 측정부(10), 발진부(20), 검출부(30), 처리부(40), 입력부(60), 표시부(70) 및 전원부(80)를 포함할 수 있다.
측정부(10)는 2개의 측정 단자(11, 13)(예로써, '프로브', '프로브 극판', '극판', 또는 '전극'이라고도 한다)를 포함하고, 발전기의 고정자 권선(110)을 사이에 두고 양측에서 고정자 권선 절연체(117) 상에 배치되어 고정자 권선과 정전 용량을 형성하는 구성이다.
즉, 측정부(10)의 양측 측정단자(11, 13)는 고정자 권선(110)의 도체(115)를 중심으로 하여 고정자 권선 절연체(117)를 사이에 두는 것에 의해, 도 2(b)에서와 같이 두 개의 커패시터(C11, C13)가 연결된 직렬 커패시턴스 구조를 형성한다. 이는 직렬 연결된 정전 용량(C)으로서, 예를 들면, 다음과 같은 식(1)으로 계산될 수 있다.
C=C11×C13/C11+C13 식(1)
이로써, 정전 용량을 측정하기 위해서 측정 단자(11, 13)가 권선의 도체(115)와 직접적으로 접촉되지 않으므로 전기적으로 절연될 수 있고, 권선의 도체(115)를 접지하지 않아도 된다.
여기서, 발전기의 고정자 권선(110)은, 도 2(a)에 도시된 바와 같이, 크게 도체(115)(예로써, 동도체(copper))와 도체(115)를 감싸는 절연체(117)(예로써, 마이카)로 이루어진다. 일례로, 수냉각 발전기의 고정자 권선(110)인 경우는, 도 4에서와 같이, 도체(115) 내에 냉각수가 흐르도록 유로(119)가 형성된다.
이어서, 발진부(20)는, 측정부(10)의 일 측 측정단자(11 또는 13)에 미리 설정된 교류 주파수를 발진하여 출력하는 구성이다. 발진부(20)는 예로써, RC 발진회로로 구현될 수 있다.
검출부(30)는 측정부(10)의 다른 측 측정단자(11 또는 13)로부터 출력된 교류 주파수를 검출하는 구성이다.
처리부(40)는 검출부(30)에서 검출된 교류 주파수를 이용하여 측정부(10)와 고정자 권선(110)의 도체(115) 사이의 정전 용량(이하, '제1 정전 용량'이라고도 한다)을 계산하는 구성이다.
또한, 처리부(40)는 계산된 제1 정전 용량의 변화량을 이용하여 고정자 권선 절연체(117)의 흡습 여부를 판단할 수 있다. 다시 말해, 본 발명은 정전 용량의 변화에 따른 RC 발진 수단을 이용한 발진 주파수의 변화를 계수하고, 그 주파수를 정전 용량값으로 환산하여 흡습에 따른 권선 절연체의 정전 용량 변화를 확인함으로써 권선에 존재하는 수분의 상태를 판단하는 것이다. 이에 따라, 본 발명은 발전기 운전 중에도 상시적으로 고정자 권선 절연체의 흡습 상태를 안정적으로 감시하고 진단할 수 있기 때문에, 발전기 고정자 권선의 흡습에 의한 절연 파괴 사고를 예방할 수 있다.
이어서, 입력부(60)는 처리부(40)와 연결되어 처리부(40)의 제어를 받으며, 사용자 조작 신호를 입력하는 구성으로서, 예로써, 기능키 등을 이용하여 측정 개시, 측정 종료 등의 동작 명령과, 측정 시간 등의 설정값 등을 입력할 수 있다.
표시부(70)는 처리부(40)와 연결되어 처리부의 제어를 받으며, 입력부(60)에 의한 입력 정보 및 처리부에 의한 정보 등을 표시할 수 있다. 예로써, 동작 상태, 설정값, 정전 용량, 정전 용량 변화, 흡습 상태 등의 정보를 표시할 수 있다.
일례로, 입력부(60)와 표시부(70)는 터치 패널과 같이 하나의 장치로 구현될 수도 있다.
전원부(80)는 정전 용량 측정 장치의 각 구성에 전원을 공급하는 구성이다.
한편, 종래의 정전 용량 측정 장치의 경우, 전원을 인가한 상태에서 장치 내부 온도의 변화에 따라 정전 용량이 흔들리는 경향이 있어, 상당 시간 동안 측정 장치의 안정화를 위한 예열 시간이 요구되는 문제가 더 있었다. 이는, 장치 내부의 회로 부품의 온도 변화에 따른 특성이 변화함에 따라, 발전기 권선 절연체의 측정되는 정전 용량이 변할 수 있기 때문이다.
이를 위해, 본 발명에 따른 정전 용량 측정 장치는, 장치 내부에서 발생되는 온도 변화에 의해 계산된 정전 용량값이 영향을 받지 않게 하기 위해 기준 콘덴서(50)를 더 포함할 수 있다.
기준 콘덴서(50)는 발진부(20)와 검출부(30)의 사이에서 측정부(10)와 병렬 구조가 되도록 연결되는 적어도 하나의 구성으로서, 정해진 기준 정전 용량(예로써, 15pF, 560pF 등)을 갖는다.
이 경우, 처리부(40)는, 기준 콘덴서(50)로부터 검출된 교류 주파수를 이용하여 기준 콘덴서(50)의 정전 용량(이하, '제2 정전 용량'이라고도 한다)을 계산하고, 계산된 제2 정전 용량과 기준 정전 용량을 비교하여 온도변화에 의한 정전 용량 차이를 계산하며, 계산된 정전 용량 차이를 이용하여 제1 정전 용량을 보상할 수 있다. 이에 따라, 기준 콘덴서를 구비함으로써, 온도 변화에 상관없이 정확한 정전 용량값을 계측할 수 있어, 측정 장치 내부의 온도 변화에 따른 오차를 최소화할 수 있다.
이어서, 도 3을 이용하여 측정 단자(11, 13) 사이의 정전 용량을 설명하기로 한다. 도 3은 측정 단자 사이의 정전 용량을 설명하기 위한 도로서, 도 3(a)는 고정자 권선 절연체에 흡습이 없는 상태의 경우이고, 도 3(b)는 고정자 권선 절연체에 흡습이 존재하는 상태의 경우이다.
도 3에서, S는 측정 단자에 의한 측정 면적이라 하고, S'는 측정 면적 중 흡습된 면적이라 하며, d는 측정 단자 간의 측정 거리라 하고, d'는 측정 거리 중 흡습된 면적의 거리라 하며, 공기 대비 절연체(마이카) 유전율을 εS1, 공기 대비 물의 유전율을 εS2, 공기의 유전율을 ε0으로 정의할 때, 물의 흡습에 따른 전체의 유전율 변화와 그에 따른 정전 용량의 변환식(C1-C2)은 다음과 같이 유도할 수 있다.
Figure 112016058517535-pat00001
여기서, C1은 도 3(a)에서와 같이, 고정자 권선 절연체에 흡습이 없는 상태의 정전 용량을 의미한다.
Figure 112016058517535-pat00002
여기서, C2는 도 3(b)에서와 같이, 고정자 권선 절연체에 흡습이 존재하는 상태의 정전용량을 의미한다.
Figure 112016058517535-pat00003
이와 같이, 흡습에 따른 권선 절연체의 정전 용량 변화 및 그 변화량을 확인함으로써, 권선에 존재하는 수분의 상태를 판단할 수 있다. 예로써, 흡습 여부의 판단은 측정된 정전 용량의 변화량이 미리 설정된 변화량을 초과하는 경우 권선 절연체가 흡습 상태인 것으로 진단할 수 있다.
이어서, 실시예로써, 도 4 및 도 5를 이용하여, 발전기 고정자에 프로브 극판을 설치 방법을 설명하기로 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 측정부(10)의 양측 측정단자(11, 13)(즉 프로브 극판)는 고정자 권선 절연체(117) 상에 배치될 때, 측정 단자(11, 13) 간에 서로 접촉되지 않게 하여, 고정자 권선(110)의 둘레를 감싸듯 설치할 수 있다. 일례로, 설치된 측정부의 양측 측정단자는, 도 5에서와 같이 서로 접촉되지 않게 절연 재료(예로써, 마이카 테이프)로 감아 고정 및 절연시킬 수 있다. 이에 따라, 발전기 운전 중 상시적으로 정전 용량의 변화 트렌드를 비교 분석하여 고정자 권선의 흡습에 대한 이상 유무를 실시간으로 판단할 수 있다. 프로브 극판은 예로써, 동판을 사용하여 구현 가능하며 정전 용량을 측정할 여러 고정자 권선에 다중으로 설치하여 측정할 수 있다.
이어서, 도 6을 이용하여 본 발명에 따른 정전 용량 측정 장치를 이용한 경우, 시간에 대한 정전 용량과 온도 변화를 설명하기로 한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 측정 시기에 따라 온도 변화는 21 ~ 32도로 크게 변화할 때, 측정되는 정전 용량은 5 ~ 5.6pF으로 변화하였다. 즉, 본 발명에 따르면 정전 용량이 온도 변화에 거의 영향을 받지 않는 것을 알 수 있다. 일반적으로 발전소에서 정전용량을 측정할 때 소요되는 시간은 3시간 정도가 요구된다. 즉, 정전 용량을 측정하는 3시간 동안에는 정전 용량의 변화가 거의 없음을 확인할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 온도 변화에 영향을 받지 않고 고정자 권선의 정전 용량을 정확히 측정하여, 고정자 권선 절연체의 흡습 상태를 정확히 진단할 수 있다.
이어서, 도 7을 이용하여 본 발명에 따른 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 방법을 설명하기로 한다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 용량 측정 방법의 순서도를 나타낸다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 정전 용량 측정 방법은, 먼저, 측정단자(11, 13)를 발전기의 고정자 권선(110)을 사이에 두고 양측에서 고정자 권선 절연체(117) 상에 설치한다(S10). 이어서, 발진부(20)가 측정단자(11, 13)의 일 측에 미리 설정된 교류 주파수를 발진하여 출력한다(S20). 이어서, 검출부(30)가 측정단자(11, 13)의 다른 측으로부터 출력된 교류 주파수를 검출한다(S30). 이어서, 처리부(40)가 검출된 교류 주파수를 이용하여 측정단자(11, 13)와 고정자 권선의 도체(115) 사이의 제1 정전 용량을 계산한다(S40). 추가로, 처리부(40)는 계산된 제1 정전 용량의 변화량을 이용하여 고정자 권선 절연체의 흡습 여부를 판단한다(S50).
일례로, 제1 정전 용량을 계산하는 단계(S40)는, 기준 콘덴서(50)를 이용하여 장치 내에서 발생되는 온도변화에 의한 정전 용량 차이를 계산하고, 계산된 정전 용량 차이만큼 제1 정전 용량을 보상하는 단계를 포함할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 측정부 11, 13: 측정단자
20: 발진부 30: 검출부
40: 처리부 50: 기준 콘덴서
60: 입력부 70: 표시부
80: 전원부 110: 고정자 권선
115: 권선 도체 117: 권선 절연체
119: 유로

Claims (10)

  1. 발전기의 고정자 권선을 사이에 두고 양측에서 고정자 권선 절연체 상에 배치되어 상기 고정자 권선과 직렬 커패시턴스 구조의 정전 용량을 형성하는 측정단자를 포함하는 측정부;
    상기 측정부의 일 측에 미리 설정된 교류 주파수를 발진하여 출력하는 발진부;
    상기 측정부의 다른 측으로부터 상기 출력된 교류 주파수를 검출하는 검출부;
    상기 검출된 교류 주파수를 이용하여, 상기 측정부와 고정자 권선의 도체 사이의 제1 정전 용량을 계산하는 처리부
    를 포함하는 발전기 고정자 권선의 정전 용량 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 처리부는 계산된 제1 정전 용량의 변화량을 이용하여 상기 고정자 권선 절연체의 흡습 여부를 판단하는 정전 용량 측정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 발진부와 검출부의 사이에서 상기 측정부와 병렬 구조가 되도록 연결되고, 기준 정전 용량을 갖는 기준 콘덴서를 더 포함하는 정전 용량 측정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 기준 콘덴서로부터 검출된 교류 주파수를 이용하여 상기 기준 콘덴서의 제2 정전 용량을 계산하고, 계산된 제2 정전 용량과 상기 기준 정전 용량을 비교하여 온도변화에 의한 정전 용량 차이를 계산하며, 계산된 정전 용량 차이를 이용하여 상기 제1 정전 용량을 보상하는 정전 용량 측정 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 측정부의 양측 측정단자는 서로 접촉되지 않게 절연 재료로 고정되는 정전 용량 측정 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 처리부와 연결되고, 사용자 조작 신호를 입력하는 입력부를 더 포함하는 정전 용량 측정 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 처리부와 연결되고, 입력부에 의한 입력 정보 및 처리부에 의한 처리 정보를 출력하는 표시부를 더 포함하는 정전 용량 측정 장치.
  8. 측정단자가 발전기의 고정자 권선과 직렬 커패시턴스 구조의 정전 용량을 형성하도록, 상기 측정단자를 상기 고정자 권선을 사이에 두고 양측에서 고정자 권선 절연체 상에 설치하는 단계;
    발진부가 상기 측정단자의 일 측에 미리 설정된 교류 주파수를 발진하여 출력하는 단계;
    검출부가 상기 측정단자의 다른 측으로부터 상기 출력된 교류 주파수를 검출하는 단계;
    처리부가 상기 검출된 교류 주파수를 이용하여, 상기 측정단자와 고정자 권선의 도체 사이의 제1 정전 용량을 계산하는 단계
    를 포함하는 정전 용량 측정 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 처리부가 계산된 제1 정전 용량의 변화량을 이용하여 상기 고정자 권선 절연체의 흡습 여부를 판단하는 단계를 포함하는 정전 용량 측정 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 정전 용량을 계산하는 단계는,
    기준 콘덴서를 이용하여 온도변화에 의한 정전 용량 차이를 계산하고, 계산된 정전 용량 차이만큼 상기 계산된 제1 정전 용량을 보상하는 단계를 포함하는 정전 용량 측정 방법.
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