KR101790351B1 - 지시체 검출 장치, 위치 검출 센서 및 위치 검출 센서의 제조 방법 - Google Patents

지시체 검출 장치, 위치 검출 센서 및 위치 검출 센서의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

[과제] 투과 영역의 단부를 포함하는 영역에 있어서 위치 검출을 행하는 경우에, 검출용의 도체에 있어서 신호의 전송 특성을 향상시킬 수 있는 지시체 검출 장치, 위치 검출 센서 및 위치 검출 센서의 제조 방법을 제공하는 것이다.
[해결 수단] 위치 검출 센서(100)는 제1 글래스 기판(15)과, 제1 글래스 기판(15)의 일방면 상에 배치된 복수의 투명 도체로 이루어진 송신 도체 그룹(12)과, 송신 도체 그룹(12)과 교차하는 방향으로 배치된 복수의 투명 도체로 이루어진 수신 도체 그룹(14)과, 지시체(300)에 의한 위치 지시에 기초하여 수신 도체 그룹(14)에 발생한 신호를 검출하는 신호 검출 회로(34) 등과, 송신 도체 그룹(12)의 비투과 영역에 포함되는 구간의 표면에 배치된 금속 배선 패턴(11C)을 구비하고 있다.

Description

지시체 검출 장치, 위치 검출 센서 및 위치 검출 센서의 제조 방법{POINTER DETECTION APPARATUS, POSITION DETECTION SENSOR, AND MANUFACTURING METHOD FOR POSITION DETECTION SENSOR}
본 발명은 표시 화면의 표면에 탑재되어, 지시체의 위치 검출을 행하도록 한 지시체 검출 장치, 위치 검출 센서 및 위치 검출 센서의 제조 방법에 관한 것이다.
종래부터, 액정 표시 장치의 표시 화면 표면에 배치되어, 이용자의 손가락 등으로 닿았을 때에 그 위치를 검출하는 것에 의해, 표시된 지시 화상에 대응하는 정보의 입력을 행하도록 한 정전(靜電) 용량형 입력 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 이 정전 용량형 입력 장치에서는 투광성 기판의 표면에 서로 교차하는 투광성 전극 패턴이 형성되어 있고, 그 표면에 이용자의 손가락이 닿았을 때에 발생하는 정전 용량의 변화에 기초하여 손가락의 위치가 검출된다.
[선행 기술 문헌]
[특허 문헌]
[특허 문헌 1] 일본 특개 2009－259203호 공보(제5－15 페이지, 도 1－11)
상술한 특허 문헌 1에 개시된 정전 용량형 입력 장치에서는 표시 화면의 표시 영역의 단부(端部)에 있어서도 그 이외의 영역과 동일하게 위치 검출을 행하려고 하면, 표시 영역보다 넓은 영역에 투광성 전극 패턴을 형성할 필요가 있다. 예를 들어, 손가락이 접촉한 영역의 중심 위치가 표시 영역(투과 영역)의 단부에 위치하는 경우에, 이 중심 위치를 정확하게 검출하려고 하면, 손가락이 접촉한 영역 전체를 검출할 필요가 있으며, 이를 위해서는 투과 영역에 인접하는 비투과 영역까지 투광성 전극 패턴을 연장하게 된다.
그런데 이와 같이 하여 비투과 영역까지 투광성 전극 패턴을 연장한 경우에는, 금속에 비해 저항값이 큰 투광성 전극 패턴의 길이가 길어지기 때문에, 신호의 전송 특성이 열화(劣化)되는 문제가 있었다. 특히, 투광성 전극 패턴으로서 일반적으로 이용되는 ITO(Indium Tin Oxide, 산화 인듐 주석) 막은 알루미늄이나 몰리브덴 등의 금속에 비해 저항값이 높기 때문에, 전송 특성의 열화가 현저하게 된다.
본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 투과 영역의 단부를 포함하는 영역에 있어서 위치 검출을 행하는 경우에, 검출용의 도체에 있어서 신호의 전송 특성을 향상시킬 수 있는 지시체 검출 장치, 위치 검출 센서 및 위치 검출 센서의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 지시체 검출 장치는, 정보를 표시하기 위한 표시 영역을 구비한 표시 장치의 표시 영역에 대향 배치되고, 지시체가 지시하는 위치를 검출하기 위한 위치 검출 센서를 가지고, 위치 검출 센서로부터 얻어지는 신호에 기초하여 지시체가 지시하는 위치를 검출하는 지시체 검출 장치로서, 위치 검출 센서는 표시 영역에 대응하는 영역이 투광성을 가지는 기재(基材)와, 기재의 일면측에 제1 방향으로 설치된 복수의 도체 및 제1 방향에 대해서 교차하는 제2 방향으로 설치된 복수의 도체를 구비하고, 위치 검출 센서의 제1 방향으로 설치된 복수의 도체 각각은 제2 방향으로 설치된 복수의 도체와 교차하는 위치에 형성된 간극에 의해 분리된 복수의 도체편과, 제2 방향으로 배치된 복수의 도체와 교차하는 위치에서 상기 제2 방향으로 설치된 복수 도체와의 절연성을 확보하면서 간극을 사이에 두고 인접 배치된 2개의 도체편을 연결하기 위한 상기 복수의 도체보다 저항값의 낮은 제1 도전재로 이루어지고, 위치 검출 센서의 표시 영역에 대응한 영역 이외의 영역에, 제1 도전재와 동일한 재료로 이루어진 제2 도전재가 기재의 일면측에 설치된 복수 도체의 일단부에 설치된다.
표시 영역에 대응한 영역 이외의 영역에 있어서, 송신 신호가 공급되는 도체의 일단부에 도전재가 설치되기 때문에, 이 구간에 대응하는 저항이 낮아지고, 이 구간을 포함하는 도체 전체의 저항도 낮아지기 때문에, 신호의 전송 특성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 다른 일면에 따른 지시체 검출 장치에서, 상기 위치 검출 센서에 설치된 상기 제2 도전재는 상기 기재의 일면측에 설치된 복수의 도체 중에서, 적어도 송신 신호가 전송되는 도체의 일단부에 설치된다.
본 발명의 다른 일면에 따른 지시체 검출 장치에서, 상기 위치 검출 센서에 설치된 상기 제2 도전재는 상기 도체에 겹쳐서 설치된다.
본 발명의 다른 일면에 따른 지시체 검출 장치에서, 상기 위치 검출 센서에 설치된 상기 제2 도전재는 상기 제1 도전재 중에서, 상기 표시 영역에 대응한 영역 이외의 영역에서 상기 도체가 교차하는 위치에 있어서 상기 제2 방향으로 배치된 복수 도체와의 절연성을 확보하면서 상기 간극을 사이에 두고 인접 배치된 2개의 도체편을 연결하는 상기 제1 도전재와 일체로 형성된다.
본 발명의 다른 일면에 따른 지시체 검출 장치에서, 상기 위치 검출 센서는 상기 표시 영역에 대응한 영역 이외의 영역에, 상기 도체를 연결하기 위한 상기 제1 도전재와 동일한 재료로 이루어진 상기 제2 도전재가, 상기 기재의 일면측에 설치된 복수의 도체 중에서, 적어도 송신 신호가 전송되는 도체의 일단부에 설치된다.
본 발명의 다른 일면에 따른 지시체 검출 장치에서, 상기 위치 검출 센서에 설치된 상기 도체의 일단부이고 상기 표시 영역에 대응한 영역 이외의 영역에 마련되는 상기 제2 도전재는 상기 도체에 겹쳐서 설치된다.
본 발명의 또다른 일면에 따른 위치 검출 센서는, 정보를 표시하기 위한 표시 영역을 구비한 표시 장치의 상기 표시 영역에 대향 배치되고, 지시체가 지시하는 위치를 검출하기 위한 위치 검출 센서로서, 적어도 소정의 영역이 투광성을 가지는 기재와; 상기 기재의 일면측에 제1 방향으로 설치된 복수의 도체 및 상기 제1 방향에 대해서 교차하는 제2 방향으로 설치된 복수의 도체를 구비하고, 상기 제1 방향으로 설치된 복수의 도체 각각은 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체와 교차하는 위치에 형성된 간극에 의해 분리된 복수의 도체편과, 상기 제2 방향으로 배치된 복수의 도체와 교차하는 위치에서 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체와의 절연성을 확보하면서 상기 간극을 사이에 두고 인접 배치된 2개의 도체편을 연결하기 위한, 상기 복수의 도체보다 저항값의 낮은 제1 도전재로 이루어지고, 상기 기재의 상기 소정 영역 이외의 영역에, 상기 도체를 연결하기 위한 상기 제1 도전재와 동일한 재료로 이루어진 제2 도전재가 상기 기재의 일면측에 설치된 도체의 일단부에 설치된다.
본 발명의 또다른 일면에 따른 위치 검출 센서의 제조 방법은, 정보를 표시하기 위한 표시 영역을 구비한 표시 장치에 대향 배치되고, 지시체가 지시하는 위치를 검출하는 지시체 검출 장치에 이용되는 위치 검출 센서의 제조 방법으로서, 적어도 소정의 영역이 투광성을 가지는 기재의 일면측에 투광성을 가지는 도체막을 설치하는 제1 공정과; 상기 도체막으로부터, 제1 방향으로 설치된 복수의 도체와 상기 제1 방향에 대해 교차하는 제2 방향으로 설치된 복수의 도체를 형성하는 것과 아울러, 상기 제1 방향으로 설치된 복수의 도체와 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체가 교차하는 위치에 있어서, 한 방향으로 설치된 하나의 도체를, 다른 방향으로 설치된 하나의 도체와 전기적으로 분리된 복수의 도체편으로 형성하는 제2 공정과; 상기 제1 방향으로 설치된 복수의 도체와 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체가 교차하는 위치에 절연체를 설치하는 제3 공정과; 상기 제1 방향으로 설치된 복수의 도체와 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체가 교차하는 위치에, 분리되어 형성된 상기 복수의 도체편끼리를 연결하기 위한 제1 도전재를 상기 절연체에 겹쳐서 설치하는 것과 아울러, 상기 한 방향으로 설치된 도체의 일단부에 상기 제1 도전재와 동일한 재료로 이루어진 제2 도전재를 설치하는 제4 공정을 가진다.
본 발명에 의하면,투과 영역의 단부를 포함하는 영역에 있어서 위치 검출을 행하는 경우에, 검출용의 도체에 있어서 신호의 전송 특성을 향상시킬 수 있는 지시체 검출 장치, 위치 검출 센서 및 위치 검출 센서의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 일 실시 형태의 지시체 검출 장치의 개략적인 외관 형상을 나타내는 도면이다.
도 2는 위치 검출 센서의 전체 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 센서부의 단면도이다.
도 4는 다주파(多周波) 신호 공급 회로의 상세 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는 송신 도체 선택 회로의 상세 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 수신 도체 선택 회로 및 증폭 회로의 상세 구성을 나타내는 도면이다.
도 7은 신호 검출 회로에 의해 검출되는 신호 레벨의 설명도이다.
도 8은 센서부가 외주(外周) 근방에 있어서 송신 도체와 수신 도체의 상세를 나타내는 부분적인 평면도이다.
도 9는 투과 영역에 포함되는 1개의 송신 도체와 이것에 교차하는 수신 도체의 상세를 나타내는 부분적인 확대도이다.
도 10은 투과 영역에 있어서 송신 도체의 긴 방향을 따른 단면도이다.
도 11은 비투과 영역에 포함되는 1개의 송신 도체와 이것에 교차하는 수신 도체의 상세를 나타내는 부분적인 확대도이다.
도 12는 비투과 영역에 있어서 송신 도체의 긴 방향을 따른 단면도이다.
도 13은 위치 검출 센서의 제조 공정을 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명을 적용한 일 실시 형태의 지시체 검출 장치에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 일 실시 형태의 지시체 검출 장치의 개략적인 외관 형상을 나타내는 도면이다. 본 실시 형태의 지시체 검출 장치는 정보를 표시하기 위한 표시 영역을 구비한 LCD(Liquid Crystal Display) 등의 표시 장치(200)와, 그 표시면에 대향 배치되고, 이용자의 손가락 등에 의해 구성되는 지시체(300)의 지시 위치를 검출하는 위치 검출 센서(100)를 포함하여 구성되어 있다. 또한, 「지시체」에는 선단부에 도전체를 구비하고, 인체를 통해 대지 접속되는 경로에서 손가락 검출과 동일한 원리로 정전계(靜電界)를 빨아 올려서 검출하는 펜이나, 펜 자체로부터 신호를 송신하는 펜도 포함된다.
도 1에 있어서, 위치 검출 센서(100)는 겹쳐서 배치된 표시 장치(200)의 표시 영역을 투과하여 볼 수 있는 투과 영역(110)을 가진다. 또, 이 투과 영역(110)보다 소정폭만큼 넓은 면적을 가지는 검출 영역(112)이 설정되어 있다. 검출 영역(112)은 지시체(300)로 지시하는 것에 의해 그 지시 위치를 검출할 수 있는 영역이다.
도 2는 위치 검출 센서(100)의 전체 구성을 나타내는 도면이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 위치 검출 센서(100)는 센서부(10), 송신부(20), 수신부(30), 제어 회로(40)를 구비하고 있다. 센서부(10)는 소정 방향(제1 방향)에 등간격으로 배치된 복수의 투명 도체인 송신 도체(11)로 이루어진 송신 도체 그룹(12; 제1 도체 패턴)과, 복수의 송신 도체(11)의 배열 방향과 직교하는 방향(제2 방향)에 등간격으로 배치된 복수의 투명 도체인 수신 도체(13)로 이루어진 수신 도체 그룹(14; 제2 도체 패턴)으로 이루어진 도체 패턴을 구비한다.
도 3은 센서부(10)의 단면도이며, 1개의 송신 도체(11)를 따른 부분적인 횡단면이 나타나 있다. 센서부(10)에 있어서는 투명 기판인 제1 글래스 기판(15)의 표면에 송신 도체(11)와 수신 도체(13) 양쪽이 형성되어 있고, 추가로 그 표면에 스페이서(16)를 개재시켜 투명 기판인 제2 글래스 기판(17)이 배치되어 있다. 또, 도 3에 나타내는 바와 같이, 송신 도체(11)는 긴 방향(연재(延在)하는 방향)에, 수신 도체(13)가 배치되는 위치에 형성된 간극에 의해 복수의 도체편(11A)으로 분할되어 있다. 또, 수신 도체(13)를 넘도록 금속 점프선(18)이 형성되어 있고, 인접하는 2개의 도체편(11A)이 이 금속 점프선(18)을 통하여 전기적으로 접속되어 있다. 금속 점프선(18)이, 송신 도체(11)나 수신 도체(13)보다 저항값이 낮은 제1 도전재에 대응한다.
송신 도체(11) 및 수신 도체(13)는 평판 형상을 가지고 있고, 예를 들어 ITO막으로 이루어진 투명 전극막을 이용하여 형성된다. 본 실시 형태에서, 송신 도체(11)는 소정 간격으로 예를 들어 64개가 수직 방향(Y 방향)으로 늘어서 있다. 또, 수신 도체(13)는 소정 간격으로 128개가 수평 방향(X 방향)으로 늘어서 있다. 도 2에 있어서, Y0 ~ Y63은 64개의 송신 도체(11) 각각에 대응하고 있고, Y0 ~ Y63의 순번으로 송신 도체(11)가 늘어서 있다. 또, X0 ~ X127은 128개의 수신 도체(13) 각각에 대응하고 있고, X0 ~ X127의 순번으로 수신 도체(13)가 늘어서 있다.
스페이서(16)는 절연체로서 예를 들어 OCA(Optical Clear Adhesive, 고투명성 접착제 전사 테이프), PVB(PolyVinyl Butyral), EVA(Ethylene Vinyl Acetate)나 실리콘 러버 등을 이용하여 형성된다. 제1 및 제2 글래스 기판(15, 17)은 대신에 합성 수지 등으로 이루어진 시트 형상(필름 형상) 기재를 이용하도록 해도 좋다.
도 2에 나타내는 송신부(20)는 클록 발생 회로(21), 다주파 신호 공급 회로(22), 송신 도체 선택 회로(23)를 포함하여 구성되어 있다. 클록 발생 회로(21)는 소정 주파수의 기준 신호를 생성한다. 다주파 신호 공급 회로(22)는 클록 발생 회로(21)로부터 출력되는 기준 신호를 이용하여, 예를 들어 16개 종류의 주파수(f0, f1,ㆍㆍㆍ, f15)의 신호를 생성하고, 이러한 신호를 병행하여 출력한다. 또한, 도 2에서는 송신 도체 선택 회로(23)가 각 송신 도체(11)의 우단에 접속되어 있지만, 실제로는 각 송신 도체(11)의 우단과 좌단 양쪽이 송신 도체 선택 회로(23)에 접속되어 있고, 1개의 송신 도체(11)에 대해서 양단부로부터 신호가 입력되고 있다.
도 4는 다주파 신호 공급 회로(22)의 상세 구성을 나타내는 도면이다. 다주파 신호 공급 회로(22)는 16개 종류의 주파수(f0, f1,ㆍㆍㆍ, f15)의 신호를 별개로 발생하는 16개의 신호 생성부(22－0, 22－1,ㆍㆍㆍ, 22－15)를 구비하고 있다. 각 신호 생성부(22－0 ~ 22－15)는 클록 발생 회로(21)로부터 출력되는 기준 신호에 기초하여 주파수(f0 ~ f15)의 신호를 생성한다. 예를 들어, 각 신호 생성부(22－0 ~ 22－15)는 클록 발생 회로(21)로부터 출력되는 기준 신호를 분주(分周) 또는 체배(遞倍)하여 소정 주파수의 신호를 생성한다. 또는 각 신호 생성부(22－0 ~ 22－15)는 서로 주기가 다른 정현파의 파형 데이터를 홀딩하는 파형 데이터 ROM을 가지고 있고, 클록 발생 회로(21)로부터 출력되는 기준 신호에 동기하여 이 파형 데이터를 독출하는 것에 의해, 주파수(f0 ~ f15)의 정현파 신호를 생성한다.
송신 도체 선택 회로(23)는 다주파 신호 공급 회로(22)로부터 병행하여 출력되는 16개 신호의 공급처가 되는 송신 도체(11)를 선택하는 것과 아울러, 이 선택되는 송신 도체(11)를 순번으로 전환한다.
도 5는 송신 도체 선택 회로(23)의 상세 구성을 나타내는 도면이다. 송신 도체 선택 회로(23)는 16개 종류의 주파수(f0, f1,ㆍㆍㆍ, f15)의 신호가 별개로 입력되는 16개의 전환 스위치(23－0, 23－1,ㆍㆍㆍ, 23－15)를 구비하고 있다. 본 실시 형태에서, 64개의 송신 도체(11)는 16개의 블록(B0 ~ B15)으로 분할되어 그룹 나눔(구분)이 행해져 있다.
블록(B0)에는 Y0 ~ Y3으로 나타나는 서로 인접 배치된 4개의 송신 도체(11)가 포함된다. 전환 스위치(23－0)는 신호 생성부(22－0)로부터 출력되는 주파수(f0)의 신호의 공급처가 되는 송신 도체(11)를, Y3, Y2, Y1, Y0의 순번으로 소정의 시간 간격에 반복하여 전환한다. 또한, 도 5에서는 전환 스위치(23－0 ~ 23－15) 내에 있어서 도시된 화살표에 의해 송신 도체(11)의 전환 방향이 나타나 있다.
블록(B1)에는 Y4 ~ Y7로 나타나는 서로 인접 배치된 4개의 송신 도체(11)가 포함된다. 전환 스위치(23－1)는 신호 생성부(22－1)로부터 출력되는 주파수(f1)의 신호의 공급처가 되는 송신 도체(11)를, Y4, Y5, Y6, Y7의 순번으로 소정의 시간 간격에 반복하여 전환한다.
다른 블록(B2 ~ B15) 및 전환 스위치(23－2 ~ 23－15)에 대해서도 동일하며, 전환 스위치(23－2 ~ 23－15) 각각은 대응하는 신호 생성부(22－2 ~ 22－15)로부터 출력되는 신호의 공급처가 되는 송신 도체(11)를 소정의 순번 및 시간 간격으로 반복하여 전환한다.
도 2에 나타내는 수신부(30)는 수신 도체 선택 회로(31), 증폭 회로(32), 아날로그-디지털 변환 회로(A／D; 33), 신호 검출 회로(34), 위치 산출 회로(35)를 포함하여 구성되어 있다.
도 6은 수신 도체 선택 회로(31) 및 증폭 회로(32)의 상세 구성을 나타내는 도면이다. 수신 도체 선택 회로(31)는 대응하는 8개의 수신 도체(13)를 순번으로 전환하는 16개의 전환 스위치(31－0, 31－1,ㆍㆍㆍ, 31－15)를 구비하고 있다. 본 실시 형태에서, 128개의 수신 도체(13)는 16개의 블록(D0 ~ D15)으로 분할되어 그룹 나눔(구분)되어 있다. 또, 인접하는 2개의 블록의 일방이 제1 도체 그룹에, 타방이 제2 도체 그룹에 각각 대응한다.
블록(D0)에는 X0 ~ X7로 나타나는 서로 인접 배치된 8개의 수신 도체(13)가 포함된다. 전환 스위치(31－0)는 이들 8개의 수신 도체(13) 중에서 1개를 선택하는 것과 아울러, X0, X1, X2, X3, X4, X5, X6, X7의 순번으로 소정의 시간 간격에 반복하여 이 선택 상태를 전환한다. 또한, 도 6에서는 전환 스위치(31－0 ~ 31－15) 내에 있어서 도시된 화살표에 의해 수신 도체(13)의 전환 방향이 나타나 있다.
블록(D1)에는 X8 ~ X15로 나타나는 서로 인접 배치된 8개의 수신 도체(13)가 포함된다. 전환 스위치(31－1)는 이들 8개의 수신 도체(13) 중에서 1개를 선택하는 것과 아울러, X15, X14, X13, X12, X11, X10, X9, X8의 순번으로 소정의 시간 간격에 반복하여 이 선택 상태를 전환한다.
다른 블록(D2 ~ D15) 및 전환 스위치(31－2 ~ 31－15)에 대해서도 동일하며, 전환 스위치(31－2 ~ 31－15) 각각은 대응하는 블록(D2 ~ D15)에 포함되는 서로 인접 배치된 8개의 수신 도체(13) 중에서 1개를 선택하는 것과 아울러, 소정의 순번 및 시간 간격으로 반복하여 이 선택 상태를 전환한다.
증폭 회로(32)는 16개의 전류-전압 변환 회로(I／V; 32－0, 32－1,ㆍㆍㆍ, 32－15)와 전환 스위치(32A)를 구비하고 있다. 전류-전압 변환 회로(32－0 ~ 32－15) 각각은 전환 스위치(31－0 ~ 31－15) 각각과 일대일로 대응하고 있다. 전류-전압 변환 회로(32－0 ~ 32－15) 각각은 대응하는 전환 스위치(31－0) 등에 의해 선택된 수신 도체(13)로부터 출력되는 전류 I를 소정의 이득으로 증폭하는 것과 아울러 전압 V로 변환한다. 전환 스위치(32A)는 16개의 전류-전압 변환 회로(32－0 ~ 32－15)로부터 출력되는 신호(전압)를 순번으로 선택하여 아날로그-디지털 변환 회로(33)에 입력한다.
아날로그-디지털 변환기(33)는 전환 스위치(32A)에 의해 순번으로 선택되는 16개의 전류-전압 변환 회로(32－0 ~ 32－15) 각각의 출력 전압을 소정 비트수의 데이터로 변환한다.
도 2에 나타내는 신호 검출 회로(34)는 아날로그-디지털 변환기(33)로부터 출력되는 데이터에 기초하여, 다주파 신호 공급 회로(22)로부터 출력되는 16개 종류 주파수(f0, f1,ㆍㆍㆍ, f15)의 각 성분의 신호 레벨을 검출한다.
도 7은 신호 검출 회로(34)에 의해 검출되는 신호 레벨의 설명도이다. 도 7(A)에는 송신 도체(11)와 수신 도체(13)의 크로스 포인트(교차하는 위치)에 지시체로서 인체의 손가락이 접근하고 있지 않는 상태가 나타나 있다. 또, 도 7(B)에는 크로스 포인트에 손가락이 접근한 상태가 나타나 있다. 도 7(A)에 나타내는 바와 같이, 크로스 포인트에 손가락이 접근하고 있지 않는 상태에서는 이 크로스 포인트에 대해 송신 도체(11)와 수신 도체(13)가 스페이서(16)를 통하여 용량 결합하고 있고, 송신 도체(11)로부터 나온 전계는 수신 도체(13)를 향해 수속(收束)된다. 따라서, 송신 도체(11)에 소정 주파수(f0 ~ f15 중 어느 하나)의 신호가 공급되면, 송신 도체(11)와 용량 결합한 수신 도체(13)로부터 용량 결합의 정도에 따른 전류를 취출할 수 있다. 한편, 도 7(B)에 나타내는 바와 같이, 크로스 포인트에 손가락이 접근한 상태에서, 수신 도체(13)로부터 전류를 취출할 수 있다는 점은 손가락이 접근하고 있지 않는 상태의 경우와 동일하지만, 송신 도체(11)와 수신 도체(13) 사이 용량 결합의 정도가 다르다. 즉, 송신 도체(11)로부터 나온 전계의 일부는 손가락으로 향해 수속되기 때문에, 수신 도체(13)와 사이의 용량 결합의 정도가 약해지고, 수신 도체(13)로부터 취출되는 전류가 감소한다.
본 실시 형태에서는 1개의 수신 도체(13)와 교차하는 16개의 송신 도체(11) 각각에, 16개 종류의 주파수(f0, f1,ㆍㆍㆍ, f15)의 신호가 병행하여 공급되어 있기 때문에, 이 수신 도체(13)에 대응하는 데이터에는 이들 16개 종류의 주파수 성분이 포함된다. 신호 검출 회로(34)에서는 이들 16개 종류의 주파수 성분을 별개로 추출(예를 들어, 동기 검파를 행하여 추출)하고, 각각의 주파수 성분에 대응하는 신호 레벨을 검출한다.
신호 검출 회로(34)에 의해 검출된 신호 레벨은 크로스 포인트의 위치에 대응시켜 격납된다. 예를 들어, 송신 도체(11)를 특정하는 Y0 ~ Y63과 수신 도체(13)를 특정하는 X0 ~ X127의 조합을, 크로스 포인트의 위치를 나타내는 어드레스로 하고, 이 어드레스와 이 크로스 포인트에 대응하는 신호 레벨의 조합이 격납된다. 또한, 1개의 수신 도체(13)로부터 출력되는 신호에 포함되는 16개 종류의 주파수 성분을 생각한 경우에, 그 시점에서 송신 도체 그룹(12)의 블록(B0 ~ B15) 각각에 있어서 어느 송신 도체(11)에 신호를 공급하고 있는지를 알고 있기 때문에, 각 주파수마다 신호의 공급처가 되는 송신 도체(11)를 특정할 수 있다.
위치 산출 회로(35)는 송신 도체 선택 회로(23) 내의 각 전환 스위치(23－0 ~ 23－15)에 의한 전환 동작과, 수신 도체 선택 회로(31) 내의 각 전환 스위치(31－0 ~ 31－15)에 의한 전환 동작이 일순(一巡)한 타이밍, 즉 센서부(10)의 송신 도체 그룹(12)의 모든 송신 도체(11)와 수신 도체 그룹(14)의 모든 수신 도체(13)가 교차하는 모든 크로스 포인트에 대응하는 신호 레벨의 검출 동작이 종료된 타이밍에서, 신호 레벨이 저하되어 있는 크로스 포인트를 손가락이 접근하고 있는 위치로서 산출한다.
본 실시 형태의 위치 검출 센서(100)는 이와 같은 구성을 가지고 있다. 다음에, 센서부(10)에 마련된 송신 도체(11)와 수신 도체(13)의 상세에 대해서 설명한다.
도 8은 센서부(10)의 외주 근방에 있어서 송신 도체(11)와 수신 도체(13)의 상세를 나타내는 부분적인 평면도이며, 지시체(300)가 접촉하는 면과 반대측으로부터 본 구성이 나타나 있다. 도 1을 이용하여 설명한 바와 같이, 투과 영역(110)보다 소정폭만큼 넓은 검출 영역(112)이 설정되어 있다. 이 검출 영역(112)에는 투과 영역(110)과, 그 주위에 배치된 소정폭의 비투과 영역(114)이 포함되어 있다. 표시 화면이 가로로 길며 지면에 대해서 수직에 가까운 경사를 이루도록 표시 장치(200)를 설치한 경우를 생각하면, 긴 방향이 수평으로 되도록 서로 평행하게 배치된 복수의 송신 도체(11)와 긴 방향이 수직으로 되도록 서로 평행하게 배치된 복수의 수신 도체(13)가 투과 영역(110)과 비투과 영역(114) 양쪽에 걸치도록 형성되어 있다.
도 9는 투과 영역(110)에 포함되는 1개의 송신 도체(11)와 이것에 교차하는 수신 도체(13)의 상세를 나타내는 부분적인 확대도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 수평 방향에 연재하는 송신 도체(11)는 수신 도체(11)와 교차하는 위치에 형성된 간극에 의해 분할된 복수의 도체편(11A)과, 상기 간극을 사이에 두고 인접하는 2개의 도체편(11A) 사이를 전기적으로 접속하는 금속 점프선(18)을 포함하여 구성되어 있다. 또, 수직 방향에 연재하는 수신 도체(13)는 송신 도체(11)의 간극에 대응하는 부분의 폭이 다른 부분에 비해 가늘어져 있지만, 전체가 연속한 하나의 도체로서 형성되어 있다.
도 10은 투과 영역(110)에 있어서 송신 도체(11)의 긴 방향을 따른 단면도이며, 금속 점프선(18)과 그 주위의 구조가 나타나 있다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 금속 점프선(18)은 간극을 사이에 두고 인접하는 2개 도체편(11A)의 단부끼리를 접속하는 것과 아울러, 이 간극에 배치된 수신 도체(13)와 이간한 상태(전기적인 절연을 확보한 상태)를 가지고 있다.
도 11은 비투과 영역(114)에 포함되는 1개의 송신 도체(11)와 이것에 교차하는 수신 도체(13)의 상세를 나타내는 부분적인 확대도이다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 비투과 영역(114)에 있어서, 수평 방향에 연재하는 송신 도체(11)는 수신 도체(11)와 교차하는 위치에 형성된 간극에 의해 분할된 복수의 도체편(11A)과, 상기의 간극을 사이에 두고 인접하는 2개의 도체편(11A) 사이를 전기적으로 접속하는 금속 점프선(18)과, 이 금속 점프선(18)과 일체로 되어 도체편(11A)의 표면에 긴 방향을 따라서 형성된 금속 배선 패턴(11C)을 포함하여 구성되어 있다. 즉, 도 9에 나타낸 투과 영역(110)에 있어서 구성과 비교하면, 금속 배선 패턴(11C)이 추가된 점이 다르고, 송신 도체(11; 도체편(11A)) 및 수신 도체(13) 자체의 형상이나 배치 등에 대해서는 동일하게 되어 있다. 이 금속 배선 패턴(11C)은 비투과 영역(114)과 투과 영역(110)의 경계에 형성된 금속 점프선(18)을, 그대로 송신 도체(11)를 따라서 비투과 영역(114) 내까지 연장하는 것에 의해 형성되어 있다. 상술한 금속 배선 패턴(11C)이, 송신 도체(11)나 수신 도체(13)보다 저항값이 낮은 제2 도전재에 대응한다.
도 12는 비투과 영역(114)에 있어서 송신 도체(11)의 긴 방향을 따른 단면도이며, 금속 점프선(18) 및 금속 배선 패턴(11C)과 그 주위의 구조가 나타나 있다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 금속 점프선(18)은 간극을 사이에 두고 인접하는 2개 도체편(11A)의 단부끼리를 접속하는 것과 아울러, 이 간극에 배치된 수신 도체(13)와 이간한 상태를 가지고 있다. 또, 비투과 영역(114)에 포함되는 송신 도체(11)의 표면에는 단부가 금속 점프선(18)과 전기적으로 접속된 금속 배선 패턴(11C)이 절연층을 개재하는 일 없이 형성되어 있다.
이와 같이, 본 실시 형태의 위치 검출 센서(100)에서는 비투과 영역(114)에 대응하는 송신 도체(11)에 대해서는 병렬로 금속 배선 패턴(11C)이 배치되기 때문에, 이 구간에 대응하는 저항이 낮아지고, 이 구간을 포함하는 송신 도체(11) 전체의 저항도 낮아지기 때문에, 신호의 전송 특성을 향상시킬 수 있다.
또, 투과 영역(110)과 비투과 영역(114) 양쪽이 지시체(300)의 위치 검출 범위(검출 영역(112))로 설정되어 있기 때문에, 투과 영역(110)의 단부 근방에 있어서 지시체(300)에 의한 지시 위치 검출을 확실하게 행할 수 있다.
또, 송신 도체(11)와 병행해서 마련되는 금속 배선 패턴(11C)은 금속 배선 패턴(11C)이 배치된 송신 도체(11)의 긴 방향을 따라서 연재하고 있다. 이에 의해, 송신 도체(11)의 긴 방향을 따른 저항을 저감하는 것이 가능하게 되어, 저항값이 높은 투명의 송신 도체(11)를 단독으로 이용하는 것에 의한 전송 특성을 개선할 수 있다.
또, 송신 도체(11)와 수신 도체(13) 각각을 제1 글래스 기판(15)의 표면에 형성하고, 서로 겹친 영역을 마련하지 않게 하고 있다. 이에 의해, 단일층으로 하여 송신 도체(11)와 수신 도체(13) 양쪽을 형성할 수 있다. 구체적으로는 제1 글래스 기판(15) 상에 추가로 ITO막을 형성하는 것에 의해 송신 도체(11)와 수신 도체(13) 양쪽을 형성할 수 있기 때문에, 균일하고 양호한 특성을 가지는 2개 종류의 도체(송신 도체(11)와 수신 도체(13))를 동시에 형성할 수 있고, 전송 특성의 추가적인 향상과 함께 제조 공정의 간략화가 가능하게 된다.
또, 도체편(11A) 사이를 접속하는 금속 점프선(18)을 연장하여, 송신 도체(11) 상에 겹쳐서 배치되는 금속 배선 패턴(11C)을 형성할 수 있기 때문에, 금속 배선 패턴(11C)을 추가하기 위해 새로운 공정을 추가할 필요가 없어, 제조 공정의 간략화가 가능하게 된다.
다음에, 위치 검출 센서(100)의 제조 공정의 구체적인 예에 대해서 설명한다. 도 13은 위치 검출 센서(100)의 제조 공정을 나타내는 도면이다.
(1) 표시 화면에 겹쳐서 배치되는 투명 기판으로서의 제1 글래스 기판(115) 상에 ITO막(211)을 형성한다(제1 공정, 도 13(A)).
(2) 포토 리소그래피 및 에칭을 행하여, 제1 글래스 기판(115) 상의 ITO막(111)으로부터 수신 도체(13)와 송신 도체(11)를 형성한다(제2 공정, 도 13(B)). 이 때, 수신 도체(13)는 연속한 라인 형상으로 형성되고, 송신 도체(11)는 수신 도체(13)와의 교점 부분이 끊어진 점선의 라인 형상으로 형성된다.
(3) 코터(coater)를 이용하여, 송신 도체(11) 및 수신 도체(13)가 형성된 제1 글래스 기판(115) 상에 절연층(211D)을 형성한다(도 13(C)).
(4) 포토 리소그래피 및 에칭을 행하여, 절연층(211D)의 불요 부분을 없애는 것에 의해, 송신 도체(11)와 수신 도체(13)의 교점 부분에 절연층(11D)을 형성한다(제3 공정, 도 13(D)).
(5) 송신 도체(11), 수신 도체(13) 및 절연층(11D)이 형성된 제1 글래스 기판(115) 위로부터 금속을 스퍼터링함으로써 금속층(218)을 형성한다(도 13(E)).
(6) 포토 리소그래피 및 에칭을 행하여, 송신 도체(11)와 수신 도체(13)의 교점 부분에 마련된 절연층(11D) 상에 형성된 금속층(218) 이외를 제거한다(제4 공정, 도 13(F)). 이 절연층(11D) 상에 형성된 금속층(218)이, 수신 도체(13)를 넘는 금속 점프선(18)으로 된다. 또, 금속층(218)을 선택적으로 제거하는 공정에 있어서, 눈 가림 부분(비투과 영역(114))과 겹쳐지는 교점 부분에서, 가장 유효한 에어리어(투과 영역(110))측에 존재하는 금속 점프선(18)을 형성할 때에, 눈 가림 부분에 존재하는 ITO막(송신 도체(11))과 겹치는 금속층(218)에 대해서는 제거하지 않고 남기도록 한다. 이 눈 가림 부분에 존재하는 ITO막과 겹쳐지는 금속층(218)이 금속 배선 패턴(11C)이 된다. 그 후, 오버코트재를 도포하여 위치 검출 센서(100)가 완성된다.
이와 같이 하여 제조된 위치 검출 센서(100)에서, 비투과 영역(114)에 대응하는 송신 도체(11)에 대해서는 병렬로 금속 배선 패턴(11C)이 배치되기 때문에, 이 구간에 대응하는 저항(송신 도체(11)와 금속 배선 패턴(11C) 양쪽에 의한 저항)이 낮아지고, 이 구간을 포함하는 송신 도체(11) 전체(투과 영역(110)과 비투과 영역(114) 양쪽에 대응하는 송신 도체(11) 전체)의 저항도 낮아지기 때문에, 신호의 전송 특성을 향상시킬 수 있다. 또, 송신 도체(11; 도체편(11A)) 사이를 접속하기 위해 필요한 금속 점프선(18)을 연장하여, 송신 도체(11) 상에 겹쳐서 배치되는 금속 배선 패턴(11C)을 형성함으로써, 제조 공정의 간략화가 가능하게 된다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지 범위 내에 있어서 여러 가지의 변형 실시가 가능하다. 예를 들어, 상술한 실시 형태에서는 비투과 영역(114)에 포함되는 송신 도체(11)만의 표면에 금속 배선 패턴(C)를 추가했지만, 비투과 영역(114)에 포함되는 수신 도체(13)의 표면에 동일한 금속 배선 패턴을 추가하도록 해도 좋다. 단, 수신 도체(13)에는 그 일부에 금속 점프선이 이용되지 않기 때문에, 단독으로 금속 배선 패턴을 추가할 필요가 있지만, 이 금속 배선 패턴의 형성은 송신 도체(11)에 대응하는 금속 배선 패턴(11C)의 형성과 동시에 행하면 좋다. 또, 송신 도체(11)에 대응하는 금속 배선 패턴(11C)을 마련하지 않고, 비투과 영역(114)에 포함되는 수신 도체(13)만의 표면에 금속 배선 패턴(C)을 마련하도록 해도 좋다.
또, 상술한 실시 형태에서는 비투과 영역(114)에 포함되는 송신 도체(11)의 긴 방향을 따라서 금속 점프선(18)과 금속 배선 패턴(11C)이 연속하도록 했지만, 금속 배선 패턴(11C)에 부분적으로 간극을 마련하여 서로 분단되도록 해도 좋다. 비투과 영역(114)에 포함되는 모든 송신 도체(11)에 대응하여 금속 배선 패턴(11C)을 마련하는 것이 아니라, 일부의 송신 도체(11)에 대응하도록 금속 배선 패턴(11C)을 마련하도록 해도 좋다.
또, 도 12에 나타낸 바와 같이 도체편(11A)의 표면에 금속 배선 패턴(11C)의 전체를 밀착한 상태에서 설치하는 경우 이외에, 적어도 일부를 이간한 상태에서 설치하도록 해도 좋다.
또, 상술한 실시 형태에서는 송신 도체(11)와 겹쳐서 형성되는 금속 배선 패턴(11C)의 폭을 송신 도체(11)의 폭보다 가늘게 했지만, 금속 배선 패턴(11C)의 폭은 최대로 송신 도체(11)의 폭과 동일하게 될 때까지 굵게 해도 좋다.
또, 상술한 각 실시 형태에서는 송신 도체(11)와 수신 도체(13)가 직교하는 경우를 설명했지만, 90도 이외의 각도로 교차하는 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다.
또, 상술한 각 실시 형태에서는 송신 도체 그룹(12) 및 수신 도체 그룹(14)의 각각을 함께 15개의 블록으로 그룹 나눔했지만, 블록의 수는 변경 가능하고, 송신 도체 그룹(12)의 블록수와 수신 도체 그룹(14)의 블록수를 다르게 하도록 해도 좋다. 또, 수신 도체 그룹(14)에 포함되는 각 수신 도체(13)마다 전류를 검출하는 구성을 마련하여, 수신 도체(13)측의 전환 동작을 생략하도록 해도 좋다.
또, 상술한 각 실시 형태에서는 송신 도체(11)측에 공급하는 신호로서 다주파 신호를 상정했지만, 공급 신호는 다주파 신호 이외의 신호이어도 좋다. 예를 들어, 복수의 확산 부호 신호, 구체적으로는 스펙트럼 확산 코드를, 각 블록으로 나눈 송신 도체(11)에 공급하는 위치 검출 센서에 있어서도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 또, 특정의 확산 부호의 위상을 지연시켜서 각 블록으로 나눈 송신 도체(11)에 공급하는 위치 검출 센서에 있어서도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또, 상술한 각 실시 형태에서는 송신 도체(11)측에 신호를 공급하는 것과 아울러 수신 도체(13)측으로부터 출력되는 전류를 검출하는 정전 용량 방식의 위치 검출 센서(100)에 본 발명을 적용했지만, 예를 들어, 일본 특개 2009－162538호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 서로 교차하는 2개 종류의 도체(전극) 각각의 정전 용량값를 검출하여 지시체의 위치를 검출하는 정전 용량 방식의 위치 검출 센서에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다. 또, 도체를 순번으로 전환하는 위치 검출 센서이면, 정전 용량 방식 이외의 방식을 채용한 것이어도 본 발명을 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 비투과 영역(114)에 대응하는 투명 도체로서의 송신 도체(11)에 대해서는 병렬로 금속 배선 패턴(11C)이 배치되기 때문에, 이 구간에 대응하는 저항이 낮아지고, 이 구간을 포함하는 송신 도체(11) 도체 패턴 전체의 저항도 낮아지기 때문에, 전송 특성을 향상시킬 수 있다.
10 센서부
20 송신부
30 수신부
40 제어 회로
11 송신 도체
11A 도체편
11C 금속 배선 패턴
12 송신 도체 그룹
13 수신 도체
14 수신 도체 그룹
15 제1 글래스 기판
16 스페이서
17 제2 글래스 기판
18 금속 점프선
21 클록 발생 회로
22 다주파 신호 공급 회로
23 송신 도체 선택 회로
31 수신 도체 선택 회로
32 증폭 회로
33 아날로그-디지털 변환 회로(A／D)
34 신호 검출 회로
35 위치 산출 회로
100 위치 검출 센서
110 투과 영역
112 검출 영역
114 비투과 영역
200 표시 장치
300 지시체

Claims (8)

  1. 정보를 표시하기 위한 표시 영역을 구비한 표시 장치의 상기 표시 영역에 대향 배치되고, 지시체가 지시하는 위치를 검출하기 위한 위치 검출 센서를 가지고, 상기 위치 검출 센서로부터 얻어지는 신호에 기초하여 상기 지시체가 지시하는 위치를 검출하는 지시체 검출 장치로서,
    상기 위치 검출 센서는 상기 표시 장치의 상기 표시 영역에 대응하는 영역이 투광성을 가지는 기재(基材)와, 상기 기재의 일면측에 제1 방향으로 설치된 복수의 도체 및 상기 제1 방향에 대해서 교차하는 제2 방향으로 설치된 복수의 도체를 구비하고,
    상기 위치 검출 센서의 상기 제1 방향으로 설치된 상기 도체는 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체와 교차하는 위치에 형성된 간극에 의해 분리된 복수의 도체편과, 상기 제2 방향으로 배치된 복수의 도체와 교차하는 위치에서 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체와의 절연성을 확보하면서 상기 간극을 사이에 두고 인접 배치된 2개의 상기 도체편을 연결하기 위한, 상기 복수의 도체보다 저항값이 낮은 복수의 제1 도전재로 구성되어 있는 것과 아울러, 상기 기재의 상기 표시 장치의 상기 표시 영역에 대응하는 영역 이외의 영역에는 상기 제1 도전재와 동일한 재료로 이루어진 제2 도전재가 설치되어 상기 도체의 단부가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 지시체 검출 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 위치 검출 센서에 설치된 상기 제2 도전재는 상기 기재의 일면측에 설치된 복수의 도체 중에서, 적어도 송신 신호가 전송되는 도체에 설치되는 것을 특징으로 하는 지시체 검출 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 위치 검출 센서에 설치된 상기 제2 도전재는 상기 도체에 겹쳐서 설치되는 것을 특징으로 하는 지시체 검출 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 위치 검출 센서에 설치된 상기 제2 도전재는 상기 표시 장치의 상기 표시 영역에 대응하는 영역 이외의 영역에서 상기 제1 도전재와 일체적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 지시체 검출 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제2 도전재는 상기 기재의 일면측에 설치된 복수의 도체 중에서, 적어도 송신 신호가 전송되는 도체에 설치되는 것을 특징으로 하는 지시체 검출 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제2 도전재는 상기 도체에 겹쳐서 설치되는 것을 특징으로 하는 지시체 검출 장치.
  7. 정보를 표시하기 위한 표시 영역을 구비한 표시 장치의 상기 표시 영역에 대향 배치되고, 지시체가 지시하는 위치를 검출하기 위한 위치 검출 센서로서,
    적어도 소정의 영역이 상기 표시 장치의 상기 표시 영역에 대응하여 투광성을 가지는 기재와,
    상기 기재의 일면측에 제1 방향으로 설치된 복수의 도체 및 상기 제1 방향에 대해서 교차하는 제2 방향으로 설치된 복수의 도체를 구비하고,
    상기 제1 방향으로 설치된 도체는 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체와 교차하는 위치에 형성된 간극에 의해 분리된 복수의 도체편과, 상기 제2 방향으로 배치된 복수의 도체와 교차하는 위치에서 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체와의 절연성을 확보하면서 상기 간극을 사이에 두고 인접 배치된 2개의 도체편을 연결하기 위한, 상기 복수의 도체보다 저항값이 낮은 복수의 제1 도전재로 구성되어 있는 것과 아울러, 상기 기재의 상기 표시 장치의 상기 표시 영역에 대응하는 영역 이외의 영역에는 상기 제1 도전재와 동일한 재료로 이루어진 제2 도전재가 설치되어 상기 도체의 단부가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출 센서.
  8. 정보를 표시하기 위한 표시 영역을 구비한 표시 장치에 대향 배치되어, 지시체가 지시하는 위치를 검출하는 지시체 검출 장치에 이용되는 위치 검출 센서의 제조 방법으로서,
    적어도 소정의 영역이 투광성을 가지는 기재의 일면측에, 제1 방향으로 설치된 투광성을 가지는 복수의 도체와 상기 제1 방향에 대해 교차하는 제2 방향으로 설치된 투광성을 가지는 복수의 도체를 형성하는 것과 아울러, 상기 제1 방향으로 설치된 복수의 도체와 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체가 교차하는 위치에 있어서, 한 방향으로 설치된 하나의 도체를, 다른 방향으로 설치된 하나의 도체와 전기적으로 분리된 복수의 도체편으로 형성하는 공정과,
    상기 제1 방향으로 설치된 복수의 도체와 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체가 교차하는 위치에 절연체를 설치하는 공정과,
    상기 제1 방향으로 설치된 복수의 도체와 상기 제2 방향으로 설치된 복수의 도체가 교차하는 위치에, 분리되어 형성된 상기 복수의 도체편끼리를 연결하기 위한 제1 도전재를 상기 절연체에 겹쳐서 설치하는 것과 아울러,
    상기 기재의 상기 소정의 영역 이외의 영역에 위치하는, 상기 도체의 단부에 상기 제1 도전재와 동일한 재료로 이루어진 제2 도전재를 설치하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 위치 검출 센서의 제조 방법.
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