KR101786782B1 - Film for testing panel - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 패널 테스트용 필름에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패널에 대한 전기적 테스트를 안정적으로 수행할 수 있는 패널 테스트용 필름에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a panel test film, and more particularly, to a panel test film capable of stably performing an electrical test on a panel.
일반적으로, 평판디스플레이패널이란 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode), 액정디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display), 피디피(PDP: Plasma Display Panel) 등의 표시장치를 말하는 것으로서, LCD는 TFT(Thin Film Transistor), TN(Twisted Nematic), STN(Super Twisted Nematic), CSTN(Color Super Twisted Nematic), DSTN(Double Super Twisted Nematic) 타입 및 유기EL(Electro Luminescence) 타입이 있으며, 이러한 패널은 대형 가전 이외에도 소형의 예컨대, 휴대폰과 같은 통신 기기의 액정 표시 패널에 채택된다.2. Description of the Related Art In general, a flat panel display panel refers to a display device such as an organic light emitting diode (OLED), a liquid crystal display (LCD), and a plasma display panel (PDP) There are two types of panels: one is a film transistor, the other is a twisted nematic (TN), the other is a super twisted nematic (STN), the other is a color super twisted nematic (CSTN) And is employed in a liquid crystal display panel of a communication device such as a cellular phone, for example.
이러한 패널에 대하여 특성 테스트를 위한 전압을 인가하거나, 안정성 확보를 위한 바이어스 전압을 프로브 장치에 의해 인가함에 있어서는 복수의 배선 및 패널의 리드선들과 접촉하는 복수의 접촉라인을 구비하는 패널 테스트용 필름을 이용하게 된다.A panel test film having a plurality of contact lines which are in contact with lead wires of a plurality of wirings and panels when a voltage for a characteristic test is applied to such a panel or a bias voltage for ensuring stability is applied by a probe device, .
도 1은 종래 기술의 패널 테스트용 필름을 나타낸 개략도이고, 도 2는 종래 기술의 패널 테스트용 필름을 나타낸 도면이다. 여기서, 도 1의 (a)는 바텀필름상에 증착된 동막을 나타낸 개략도이고, 도 1의 (b)는 도 1의 (a)의 바텀필름상의 동막이 패턴화되어 형성된 배선패턴을 나타낸 개략도이다.FIG. 1 is a schematic view showing a conventional panel test film, and FIG. 2 is a view showing a conventional panel test film. 1 (a) is a schematic view showing a copper film deposited on a bottom film, and FIG. 1 (b) is a schematic view showing a wiring pattern formed by patterning a copper film on the bottom film of FIG. 1 .
도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술의 패널 테스트용 필름은 배선 및 접촉라인을 이루는 배선패턴으로써, 폴리이미드와 같은 유연성 재료 사이에 개재된 복수의 동막 패턴(13a)을 구비한다.As shown in Fig. 1, the prior art panel test film has a plurality of
여기서, 동막 패턴(13a)은 포토리소그래피(photolithography)법을 이용하여 바텀필름(11)상에 설정된 간격으로 일괄 형성될 수 있다.Here, the
즉, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 바텀필름(11)상에 증착된 동막(13)을 마련한다.That is, as shown in Fig. 1 (a), the
이후, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 동막(13)을 포토리소그래피법을 이용하여 패턴화하여 바텀필름(11)상에 복수의 동막 패턴(13a)을 설정된 간격으로 일괄 형성한다. 여기서, 설정된 간격이란 서로 이웃한 동막 패턴(13a)끼리 전기 신호의 간섭이 일어나지 않을 정도의 간격을 의미할 수 있다.Thereafter, as shown in Fig. 1 (b), the
그러나 종래 기술의 패널 테스트용 필름은 복수의 동막 패턴으로 배선 및 접촉라인을 이루기 때문에, 각 동막 패턴을 이루는 동이 내부식성 및 내마모성이 약함에 따라 배선 및 접촉라인의 외경축소에 한계가 있어 최근에 고집적화되는 패턴 추세에 대응하지 못하는 문제점이 있다.However, since the panel test film of the prior art forms wiring and contact lines in a plurality of copper film patterns, the copper that forms each copper film pattern is weak in corrosion resistance and abrasion resistance, There is a problem in that it can not cope with pattern trends.
즉, 내부식성 및 내마모성이 약한 동막 패턴으로 이루어진 배선 및 접촉라인은 패널에 대하여 특성 테스트를 위한 전압을 인가한 경우 발생되는 전류 및 전기적인 영향에 의한 버닝(burning)에 의해 또는 가요성이 있는 플렉시블프린트배선판(Flexible Printed Circuit Board ; 이하 'FPC'라 함)인 경우 잦은 구부림 등에 의해 단선이 자주 발생되기 때문에, 그의 외경축소에 한계가 있다는 문제점이 있다.That is, the wiring and the contact line made of the copper film pattern having weak corrosion resistance and abrasion resistance can be formed by burning due to electric current generated when a voltage for characteristic test is applied to the panel and electric influence, In the case of a printed circuit board (hereinafter, referred to as 'FPC'), there is a problem that the wire diameter is often reduced due to frequent bending or the like.
또한, 종래 기술의 패널 테스트용 필름은 내부식성 및 내마모성이 약한 동막 패턴으로 이루어진 접촉라인이 패널에 대하여 특성 테스트시 패널의 리드선과의 접촉 시에 발생 되는 충격을 다중으로 흡수하여 휨 또는 변형이 발생되어 접촉이 불안정하여 테스트의 결과 오류를 발생하기 때문에, 패널에 대한 전기적 테스트의 안정성이 저하되는 문제점이 있다.In addition, the prior art panel test film absorbs the impact generated when the contact line made of the copper film pattern having weak corrosion resistance and abrasion resistance is in contact with the lead wire of the panel during the characteristic test, And the contact is unstable, resulting in an error as a result of the test, so that the stability of the electrical test on the panel is deteriorated.
또한, 도 3은 패널의 테스트 시 사용되는 종래 기술의 패널 테스트용 필름을 나타낸 개략도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 종래 기술의 패널 테스트용 필름은 내부식성 및 내마모성이 약한 동막 패턴으로 이루어짐으로써, 패널에 대하여 특성 테스트시 패널의 끝 부분과 패널 테스트용 필름이 반복적으로 콘택(contact)됨에 따라 패널 테스트용 필름의 내부식성 및 내마모성이 약한 동막 패턴에 크랙(J)이 발생되어 단선되거나 종래 기술의 패널 테스트용 필름은 하나의 프로브블록으로 수천 내지 수만 개의 패널을 테스트함에 따라 이는 내부식성 및 내마모성이 약한 동막 패턴으로 이루어진 접촉라인의 마모를 유발하기 때문에, 교체주기가 빨라 사용수명이 단축되는 문제점이 있다.3 is a schematic view showing a prior art panel test film used in the test of the panel. As shown in FIG. 3, the prior art panel test film is made of a copper film pattern having weak corrosion resistance and abrasion resistance, so that the end portion of the panel and the panel test film repeatedly contact with each other during the characteristic test on the panel, As a result, cracks (J) are generated in the copper film pattern having low corrosion resistance and abrasion resistance of the panel test film and are cut or the panel test film of the prior art tests thousands to tens of thousands of panels with one probe block, And abrasion of a contact line made of a copper film pattern having a weak abrasion resistance. Therefore, there is a problem that the replacement cycle is fast and the service life is shortened.
본 발명의 목적은, 테스트 신호들을 해당 패널의 리드선으로 전달하는 복수의 접촉라인 각각의 내부식성 및 내마모성을 향상시킴으로써, 패널에 대한 전기적 테스트를 안정적으로 수행할 수 있는 패널 테스트용 필름을 제공함에 있다.It is an object of the present invention to provide a panel test film which can stably perform an electrical test on a panel by improving the corrosion resistance and abrasion resistance of each of a plurality of contact lines for transmitting test signals to the leads of the panel .
본 발명의 일 견지에 따른 패널 테스트용 필름은 패널 테스트용 프로브 장치에 사용되는 패널 테스트용 필름에 있어서, 상기 프로브 장치로부터 테스트 신호들을 수신하는 복수의 제1 배선패턴을 구비하는 제1 필름, 및 상기 복수의 제1 배선패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 상기 패널로 전달하는 복수의 제2 배선패턴을 구비하며, 상기 복수의 제2 배선패턴 각각이 상기 복수의 제1 배선패턴 각각과 대응되도록 상기 제1 필름과 접합되는 제2 필름을 포함하며, 상기 복수의 제2 배선패턴은 적어도 일부가 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성된다.A panel test film according to one aspect of the present invention is a panel test film used for a panel test probe apparatus, comprising: a first film having a plurality of first wiring patterns for receiving test signals from the probe apparatus; And a plurality of second wiring patterns for transmitting the test signals received from the plurality of first wiring patterns to the panel, wherein each of the plurality of second wiring patterns includes a plurality of first wiring patterns, And a second film bonded to the first film, wherein at least a part of the plurality of second wiring patterns is formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns.
또한, 상기 제2 필름은 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 이루어진 배선층을 마련하고, 상기 배선층을 에칭하여 상기 패널의 리드선들의 피치에 대응되도록 분리된 상기 복수의 제2 배선패턴으로 형성되되 가장자리에 상기 복수의 제2 배선패턴을 지지하기 위한 외곽지지부가 함께 형성되며, 상기 복수의 제2 배선패턴 아래에 바텀필름이, 위에 커버층이 각각 접합되고, 상기 외각지지부를 제거하여 형성될 수 있다.The second film may be formed by providing a wiring layer made of a material having higher corrosion resistance and wear resistance than the plurality of first wiring patterns and etching the wiring layer to form the second plurality of second wiring patterns separated to correspond to the pitches of the leads of the panel. A bottom film is formed under the plurality of second wiring patterns, and a cover layer is bonded to the bottom film, and the outer supporting portion is bonded to the outer bottom supporting portion, As shown in FIG.
또한, 상기 복수의 제2 배선패턴의 적어도 일부는 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS(steel use stainless) 중 어느 하나의 재질로 이루어질 수 있다.In addition, at least a part of the plurality of second wiring patterns may be made of any one of beryllium copper, beryllium nickel, and stainless steel (SUS).
또한, 상기 복수의 제2 배선패턴의 적어도 일부는 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 중 어느 하나의 재질로 도금되어 이루어질 수 있다.Also, at least a part of the plurality of second wiring patterns may be plated with any one of beryllium copper, beryllium nickel, and SUS.
또한, 상기 복수의 제2 배선패턴은 상기 복수의 제1 배선패턴 각각과 대응되는 복수의 신호전달패턴, 및 상기 패널의 리드선들과 대응되게 상기 복수의 신호전달패턴 각각과 연장형성되며 상기 복수의 신호전달패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 해당 패널의 리드선으로 전달하는 복수의 접촉라인을 구비할 수 있다. The plurality of second wiring patterns may include a plurality of signal transmission patterns corresponding to each of the plurality of first wiring patterns and extended to each of the plurality of signal transmission patterns so as to correspond to lead wires of the panel, And a plurality of contact lines for transmitting the test signals received from the signal transfer pattern to the leads of the corresponding panel.
또한, 상기 복수의 접촉라인은 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성될 수 있다.The plurality of contact lines may be formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns.
또한, 상기 복수의 신호전달패턴과 상기 복수의 접촉라인은 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성될 수 있다.The plurality of signal transmission patterns and the plurality of contact lines may be formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns.
또한, 상기 제2 필름은 바텀필름을 구비하며, 상기 바텀필름 상부에 상기 복수의 신호전달패턴을 배치하고, 상기 바텀필름 하부에 상기 복수의 접촉라인을 배치하며, 상기 복수의 신호전달패턴 각각과 상기 복수의 접촉라인 각각이 서로 전기적으로 연결되도록, 상기 바텀필름을 관통하여 형성된 비아홀에 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 매꾸어 형성된 복수의 비아를 구비하여 형성될 수 있다.The second film may include a bottom film, the plurality of signal transmission patterns may be disposed on the bottom film, the plurality of contact lines may be disposed under the bottom film, And a plurality of vias formed in a via hole formed through the bottom film so as to be electrically connected to the plurality of contact lines, the plurality of vias being formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns have.
그리고 본 발명의 다른 견지에 따른 패널 테스트용 필름은 패널 테스트용 프로브 장치에 사용되는 패널 테스트용 필름에 있어서, 상기 프로브 장치로부터 테스트 신호들을 수신하는 복수의 제1 배선패턴을 구비하는 제1 필름, 및 상기 복수의 제1 배선패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 상기 패널로 전달하는 복수의 제2 배선패턴을 구비하며, 상기 복수의 제2 배선패턴 각각이 상기 복수의 제1 배선패턴 각각과 대응되도록 상기 제1 필름과 접합되는 제2 필름을 포함하며, 상기 복수의 제1 배선패턴과 상기 복수의 제2 배선패턴이 동막의 동 재질보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 이루어져 일체로 형성된다.The panel test film according to another aspect of the present invention is a panel test film used for a panel test probe apparatus, comprising: a first film having a plurality of first wiring patterns for receiving test signals from the probe apparatus; And a plurality of second wiring patterns transmitting the test signals received from the plurality of first wiring patterns to the panel, wherein each of the plurality of second wiring patterns corresponds to each of the plurality of first wiring patterns And a second film bonded to the first film. The plurality of first wiring patterns and the plurality of second wiring patterns are integrally formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the copper material of the copper film.
본 발명은, 프로브 장치로부터 테스트 신호들을 수신하는 복수의 배선패턴보다 상기 테스트 신호들을 해당 패널의 리드선으로 전달하는 복수의 접촉라인이 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성됨으로써, 복수의 접촉라인 각각의 내부식성 및 내마모성이 향상되기 때문에, 외경이 미세한 접촉라인을 형성할 수 있어 고집적화되는 패턴 추세에 대응할 수 있어 테스트의 신뢰성을 확보할 수 있는 효과를 갖는다.The present invention is characterized in that a plurality of contact lines for transmitting the test signals to the leads of the panel are formed of a material having high corrosion resistance and wear resistance than a plurality of wiring patterns for receiving test signals from the probe apparatus, The corrosion resistance and the abrasion resistance are improved. Therefore, it is possible to form a contact line having a small outer diameter, and it is possible to cope with a highly integrated pattern trend, thereby ensuring the reliability of the test.
또한, 본 발명은, 복수의 접촉라인 각각의 내부식성 및 내마모성이 향상됨으로써, 패널에 대하여 특성 테스트시 패널의 리드선과의 접촉 시에 접촉라인의 휨 또는 변형을 억제할 수 있기 때문에, 접촉이 안정하게 됨에 따라 패널에 대한 전기적 테스트의 안정성을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.Further, according to the present invention, since the corrosion resistance and the wear resistance of each of the plurality of contact lines are improved, it is possible to suppress warpage or deformation of the contact line when the panel is in contact with the lead wire in a characteristic test, The stability of the electrical test on the panel can be improved.
또한, 본 발명은, 복수의 배선패턴 각각의 내부식성 및 내마모성이 향상됨으로써, 패널에 대하여 특성 테스트시 패널의 끝 부분과 패널 테스트용 필름이 반복적으로 콘택되어도 패널 테스트용 필름의 배선패턴에 크랙이 발생되지 않고 하나의 프로브블록으로 수천 내지 수만 개의 패널 테스트시에도 접촉라인의 마모 유발 빈도를 저하시킬 수 있기 때문에, 교체주기가 길어 사용수명이 확보될 수 있는 효과를 갖는다.Further, according to the present invention, the corrosion resistance and the wear resistance of each of the plurality of wiring patterns are improved, so that even if the end portion of the panel and the panel test film are repeatedly contacted during the characteristic test on the panel, The frequency of occurrence of abrasion of the contact line can be lowered even in the case of thousands to tens of thousands of panel tests with one probe block. Therefore, the replacement period is long and the service life can be secured.
도 1은 종래 기술의 패널 테스트용 필름을 나타낸 개략도이다.
도 2는 종래 기술의 패널 테스트용 필름을 나타낸 도면이다.
도 3은 패널의 테스트 시 사용되는 종래 기술의 패널 테스트용 필름을 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 패널 테스트용 필름을 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 패널 테스트용 필름의 제1 실시예에 따른 제2 필름을 나타낸 나타낸 개략도이다.
도 6은 본 발명의 패널 테스트용 필름의 제2 실시예에 따른 제2 필름을 나타낸 개략도이다.
도 7은 본 발명의 패널 테스트용 필름의 제3 실시예에 따른 제2 필름을 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing a prior art panel test film.
2 is a view showing a conventional panel test film.
3 is a schematic view showing a prior art panel test film used in the test of the panel.
4 is a view showing a panel test film of the present invention.
5 is a schematic view showing a second film according to the first embodiment of the panel test film of the present invention.
6 is a schematic view showing a second film according to a second embodiment of the panel test film of the present invention.
7 is a schematic view showing a second film according to a third embodiment of the panel test film of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 아래의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하며 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. Embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art, and the following embodiments may be modified in various other forms, The present invention is not limited to the following embodiments. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be more thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는"포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a", "an," and "the" include plural forms unless the context clearly dictates otherwise. Also, " comprise "and / or" comprising "when used herein should be interpreted as specifying the presence of stated shapes, numbers, steps, operations, elements, elements, and / And does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, operations, elements, elements, and / or groups. As used herein, the term "and / or" includes any and all combinations of one or more of the listed items.
본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 영역 및/또는 부위들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부위들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 특정 순서나 상하, 또는 우열을 의미하지 않으며, 하나의 부재, 영역 또는 부위를 다른 부재, 영역 또는 부위와 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1 부재, 영역 또는 부위는 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2 부재, 영역 또는 부위를 지칭할 수 있다.Although the terms first, second, etc. are used herein to describe various elements, regions and / or regions, it should be understood that these elements, components, regions, layers and / Do. These terms do not imply any particular order, top, bottom, or top row, and are used only to distinguish one member, region, or region from another member, region, or region. Thus, the first member, region or region described below may refer to a second member, region or region without departing from the teachings of the present invention.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings schematically showing embodiments of the present invention. In the figures, for example, variations in the shape shown may be expected, depending on manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, embodiments of the present invention should not be construed as limited to any particular shape of the regions illustrated herein, including, for example, variations in shape resulting from manufacturing.
우선, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 테스트 장치인 프로브 장치로부터 테스트 신호들을 수신하는 복수의 배선, 및 상기 테스트 신호들을 해당 패널의 리드선과 접촉하여 전달하는 복수의 접촉라인으로써, 폴리이미드와 같은 유연성 재료 사이에 개재된 접촉라인을 이루는 배선패턴을 포함하되, 상기 배선패턴이 동막 패턴(13a)보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.First, the panel test film of the present invention includes a plurality of wires for receiving test signals from a probe apparatus as a test apparatus, and a plurality of contact lines for transmitting the test signals in contact with lead wires of the panel, And a wiring pattern forming a contact line interposed between the materials, wherein the wiring pattern is made of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the copper film pattern (13a).
이때, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS(steel use stainless) 등의 재질로 이루어지는 상기 배선패턴을 포함할 수 있다. 또한, 상기 배선패턴은 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 중 어느 하나의 재질로 도금되어 이루어질 수 있다.At this time, the panel test film of the present invention may include the wiring pattern made of a material such as beryllium copper, beryllium nickel, and stainless steel (SUS). The wiring pattern may be plated with any one of beryllium copper, beryllium nickel, and SUS.
즉, 도 4는 본 발명의 패널 테스트용 필름을 나타낸 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 먼저, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 제1 필름(10), 및 제1 필름(10) 상측에 접합되는 제2 필름(30)을 포함한다.That is, FIG. 4 is a view showing the panel test film of the present invention. As shown in FIG. 4, first, the panel test film of the present invention includes a
여기서, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 제2 필름(30)으로 이루어진 접촉부재(A), 및 제1 필름(10) 중 제2 필름(30)과 접합되는 부위의 제1 필름(10)으로 이루어진 접합부재(B)를 포함하는 신호전달부(C), 및 접합부재(B) 외측의 제1 필름(10)으로 이루어진 신호수신부(D)를 포함(E)한다. 이때, 제1 필름(10)은 후술될 복수의 제1 배선패턴인 복수의 동막 패턴(13a)으로 이루어지고, 제2 필름(30)은 후술될 복수의 제2 배선패턴(31a)을 포함하며, 접촉부재(A)의 제2 배선패턴(31a) 길이는 접합부재(B)의 동막 패턴(13a) 길이보다 짧을 수 있다. 또한, 접촉부재(A)의 제2 배선패턴(31a) 길이는 접합부재(B)의 동막 패턴(13a) 길이보다 길 수 있다. 또한, 복수의 제2 배선패턴(31a)은 신호전달부(C) 전체를 구성할 수 있다.Here, the panel test film of the present invention is composed of the contact member A composed of the
또한, 제1 필름(10)과 제2 필름(30)은 접착제로서의 수지 중에 도전 재료로 이루어지는 입자를 분산시킨 ACF(anisotropic conductive film : 이방성 도전막) 등에 의해 열압착하여 접합할 수 있다.The
계속해서 본 발명의 패널 테스트용 필름의 구성요소인 제1 필름(10)은 제1 바텀필름인 바텀필름(11)상에 형성되며 프로브 장치로부터 테스트 신호들을 수신하는 복수의 제1 배선패턴을 포함한다.Subsequently, the
여기서, 복수의 제1 배선패턴은 복수의 동막 패턴(13a)으로 이루어진다. 또한, 상기 프로브 장치는 도시하지 않았으나, 검사대상인 패널의 리드선에 접속되어, 패널에 검사 신호를 인가하고, 검사 신호에 따른 출력 신호를 검출함으로써, 상기 패널이 정상적인 전기적 특성을 갖는지 여부를 판별하기 위한 용도로 이용되며, 본 발명의 패널 테스트용 필름을 장착한 상태로, 후술될 제2 필름(30)의 접촉라인(33)을 통해 상기 패널의 리드선과 접속된다.Here, the plurality of first wiring patterns comprise a plurality of
그리고 제2 필름(30)은 복수의 동막 패턴(13a)으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 상기 패널로 전달하는 복수의 제2 배선패턴(31a)을 포함한다. 여기서, 복수의 제2 배선패턴(31a)은 복수의 동막 패턴(13a) 각각과 대응되는 복수의 신호전달패턴, 및 상기 패널의 리드선들과 대응되게 상기 복수의 신호전달패턴 각각과 연장형성되며 상기 복수의 신호전달패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 해당 패널의 리드선으로 전달하는 복수의 접촉라인(33)을 포함한다. 이때, 상기 복수의 신호전달패턴과 접촉라인(33)은 일체로 형성될 수 있다.The
또한, 제2 필름(30)은 복수의 제2 배선패턴(31a)의 상기 복수의 신호전달패턴 각각이 복수의 동막 패턴(13a) 각각과 대응되게 제1 필름(10) 상측에 접합된다.The
이때, 복수의 제2 배선패턴(31a)은 적어도 일부가 복수의 동막 패턴(13a)보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성된다.At this time, at least a part of the plurality of
즉, 복수의 제2 배선패턴(31a)인 상기 복수의 신호전달패턴과 복수의 접촉라인(33)은 복수의 동막 패턴(13a)보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성된다. 예를 들어, 상기 복수의 신호전달패턴과 복수의 접촉라인(33)은 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 등의 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 복수의 신호전달패턴과 복수의 접촉라인(33)은 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 중 어느 하나의 재질로 도금되어 이루어질 수 있다.That is, the plurality of signal transmission patterns and the plurality of
또한, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 도시하지 않았으나, 복수의 제2 배선패턴(31a)의 일부인 복수의 접촉라인(33)만 복수의 동막 패턴(13a)보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성된다. 예를 들어, 복수의 접촉라인(33)은 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 등의 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 복수의 접촉라인(33)은 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 중 어느 하나의 재질로 도금되어 이루어질 수 있다.Although the panel test film of the present invention is not shown, only a plurality of
또한, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 도시하지 않았으나, 상기 복수의 제1 배선패턴 및 복수의 제2 배선패턴(31a)을 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 등의 재질로 이루어져 일체로 형성할 수도 있다.Although not shown, the first wiring patterns and the plurality of
이하, 제2 필름(30)의 형성방법에 관하여 자세하게 설명한다.Hereinafter, a method of forming the
제1 실시예First Embodiment
도 5는 본 발명의 패널 테스트용 필름의 제1 실시예에 따른 제2 필름을 나타낸 나타낸 개략도이다. 여기서, 도 5의 (a)는 배선층을 나타낸 개략도이고, 도 5의 (b)는 서로 연결된 복수의 제2 배선패턴을 나타낸 개략도이며, 도 5의 (c)는 제2 바텀필름과 커버층 사이에 개재된 복수의 제2 배선패턴을 나타낸 사시도이고, 도 5의 (d)는 서로 이격된 제2 배선패턴을 나타낸 사시도이다.5 is a schematic view showing a second film according to the first embodiment of the panel test film of the present invention. 5A is a schematic view showing a wiring layer, FIG. 5B is a schematic view showing a plurality of second wiring patterns connected to each other, FIG. 5C is a schematic view showing a state in which a gap between the second bottom film and the cover layer FIG. 5D is a perspective view showing a second wiring pattern spaced apart from each other. FIG.
도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 먼저, 배선층(31)을 마련한다. 여기서, 배선층(31)은 동막 패턴(13a)보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 이루어진다.As shown in Fig. 5A, first, a
그리고 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 배선층(31)에 에칭이나 프레스, 단조 또는 CNC등을 통해 규칙 또는 불규칙 형상을 가지며 상기 패널의 리드선들의 피치에 대응되도록 서로 이격되어 분리된 복수의 제2 배선패턴(31a)을 형성하고, 가장자리에 복수의 제2 배선패턴(31a)을 지지하기 위한 외곽지지부로써 복수의 제2 배선패턴(31a)을 서로 연결하여 그 위치를 고정해주는 브릿지(31b)를 형성한다.As shown in FIG. 5 (b), the
이후, 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 배선패턴(31a) 하측에 제2 바텀필름(35)을 그리고 복수의 제2 배선패턴(31a) 상측에 커버층(37)을 각각 접합한다.5 (c), a
그 다음, 도 5의 (d)에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 배선패턴(31a) 각각에 연결된 브릿지(31b)를 제거한다. 여기서, 브릿지(31b) 제거는 CNC, 단조 또는 에칭 등 다양한 방법으로 제거할 수 있다. 또한, 제2 필름(30)의 복수의 접촉라인(33)은 패널의 리드선과 접촉할 수 있도록 제2 필름(30)의 가장자리로부터 일정 영역에 걸쳐 하방으로 노출된다.Then, as shown in Fig. 5 (d), the
제2 실시예Second Embodiment
도 6은 본 발명의 패널 테스트용 필름의 제2 실시예에 따른 제2 필름을 나타낸 개략도이다. 여기서, 도 6의 (a)는 배선층을 나타낸 개략도이고, 도 6의 (b)는 제2 바텀필름을 나타낸 개략도이며, 도 6의 (c)는 제2 바텀필름상에 증착된 배선층을 나타낸 개략도이고, 도 6의 (d)는 제2 바텀필름상의 배선층이 패턴화되어 형성된 복수의 제2 배선패턴을 나타낸 개략도이다.6 is a schematic view showing a second film according to a second embodiment of the panel test film of the present invention. 6 (b) is a schematic view showing the second bottom film, and Fig. 6 (c) is a schematic view showing a wiring layer deposited on the second bottom film. Fig. 6 And FIG. 6 (d) is a schematic view showing a plurality of second wiring patterns formed by patterning the wiring layer on the second bottom film.
도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 먼저, 배선층(31)을 마련한다.As shown in Fig. 6 (a), first, a
그리고 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 바텀필름(35)을 마련한다.Then, as shown in Fig. 6 (b), the
이후, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 제2 바텀필름(35)상에 배선층(31)을 증착한다.6 (c), the
그 다음, 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이, 배선층(31)을 포토리소그래피법을 이용하여 패턴화하여 제2 바텀필름(35)상에 복수의 제2 배선패턴(31a)을 설정된 간격으로 일괄 형성한다. 여기서, 설정된 간격이란 서로 이웃한 제2 배선패턴(31a) 끼리 전기 신호의 간섭이 일어나지 않을 정도의 간격을 의미할 수 있다.6 (d), the
그리고 복수의 제2 배선패턴(31a) 상측에 도시하지 않았으나 커버층(37)을 접합한다. 여기서, 제2 필름(30)의 복수의 접촉라인(33)은 패널의 리드선과 접촉할 수 있도록 제2 필름(30)의 가장자리로부터 일정 영역에 걸쳐 하방으로 노출된다.Although not shown on the upper side of the plurality of
제3 실시예Third Embodiment
도 7은 본 발명의 패널 테스트용 필름의 제3 실시예에 따른 제2 필름을 나타낸 개략도이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 먼저, 제2 바텀필름(35)을 마련한다.7 is a schematic view showing a second film according to a third embodiment of the panel test film of the present invention. As shown in Fig. 7, first, a
그리고 제2 바텀필름(35) 상부에 복수의 제2 배선패턴(31a)을 배치하고, 상기 패널의 리드선들의 피치에 대응되도록 서로 이격되어 분리된 복수의 접촉라인(33)을 제2 바텀필름(35) 하부에 배치하며, 복수의 제2 배선패턴(31a) 각각과 복수의 접촉라인(33) 각각이 서로 전기적으로 연결되도록, 제2 바텀필름(35)을 관통하여 형성된 비아(via)홀에 동막의 동 재질보다 내부식성 및 내마모성이 큰 동도금, 베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 등의 재질로 매꾸어 복수의 비아(V)를 형성한다.A plurality of
그 후, 복수의 제2 배선패턴(31a) 상측에 도시하지 않았으나 커버층(37)을 접합한다.Thereafter, although not shown on the upper side of the plurality of
여기서, 제2 필름(30)의 복수의 접촉라인(33)은 패널의 리드선과 접촉할 수 있도록 제2 필름(30)의 가장자리로부터 일정 영역에 걸쳐 하방으로 노출된다.Here, the plurality of
또한, 상기 제1 배선패턴인 복수의 동막 패턴(13a), 복수의 제2 배선패턴(31a), 비아(V)는 제2 바텀필름(35)의 소정부위에 복수의 비아홀을 형성한 후, 동막의 동 재질보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 이루어져 일체로 형성될 수 있다.The plurality of
상술한 바와 같이, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 동막 패턴(13a)보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 이루어지는 상기 배선패턴을 포함함으로써, 동막 패턴(13a)보다 내부식성 및 내마모성이 향상되기 때문에, 패널에 대하여 특성 테스트를 위한 전압을 인가한 경우 전류 및 전기적인 영향에 의한 버닝 발생이 억제되어 단선이 발생되지 않고 또한 FPC인 경우 잦은 구부림에도 단선이 발생되지 않기 때문에, 외경이 미세한 접촉라인을 형성할 수 있어 고집적화되는 패턴 추세에 대응할 수 있어 테스트의 신뢰성을 확보할 수 있다.As described above, since the panel test film of the present invention includes the wiring pattern made of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the
또한, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 복수의 접촉라인 각각의 내부식성 및 내마모성이 향상됨으로써, 패널에 대하여 특성 테스트시 패널의 리드선과의 접촉 시에 접촉라인의 휨 또는 변형을 억제할 수 있기 때문에, 접촉이 안정하게 됨에 따라 패널에 대한 전기적 테스트의 안정성을 향상시킬 수 있다.Further, since the panel test film of the present invention has improved corrosion resistance and abrasion resistance of each of a plurality of contact lines, it is possible to suppress warpage or deformation of the contact line when the panel is in contact with the lead wire in a characteristic test , The stability of the electrical test on the panel can be improved as the contact becomes stable.
또한, 본 발명의 패널 테스트용 필름은 복수의 배선패턴 각각의 내부식성 및 내마모성이 향상됨으로써, 패널에 대하여 특성 테스트시 패널의 끝 부분과 패널 테스트용 필름이 반복적으로 콘택되어도 패널 테스트용 필름의 배선패턴에 크랙이 발생되지 않고 하나의 프로브블록으로 수천 내지 수만 개의 패널 테스트시에도 접촉라인의 마모 유발 빈도를 저하시킬 수 있기 때문에, 교체주기가 길어 사용수명이 확보될 수 있다.Further, since the panel test film of the present invention has improved corrosion resistance and wear resistance of each of a plurality of wiring patterns, even if the end of the panel and the panel test film are repeatedly contacted during the characteristic test on the panel, Cracks are not generated in the pattern, and the frequency of occurrence of abrasion of the contact line can be lowered even in the case of thousands to tens of thousands of panel tests with one probe block, so that the replacement period is long and the service life can be secured.
이상, 본 발명의 패널 테스트용 필름에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.Although the embodiments of the panel test film of the present invention have been described above, it is apparent that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be determined by the scope of the appended claims and equivalents thereof.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It is to be understood that the foregoing embodiments are illustrative and not restrictive in all respects and that the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the foregoing description, It is intended that all changes and modifications derived from the equivalent concept be included within the scope of the present invention.
10 : 제1 필름 11 : 바텀필름
13 : 동막 13a : 동막 패턴
30 : 제2 필름 31 : 배선층
31a : 제2 배선패턴 33 : 접촉라인
35 : 제2 바텀필름 37 : 커버층10: first film 11: bottom film
13:
30: second film 31: wiring layer
31a: second wiring pattern 33: contact line
35: second bottom film 37: cover layer
Claims (9)
상기 프로브 장치로부터 테스트 신호들을 수신하는 복수의 제1 배선패턴을 구비하는 제1 필름; 및
상기 복수의 제1 배선패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 패널로 전달하는 복수의 제2 배선패턴을 구비하며, 상기 복수의 제2 배선패턴 각각이 상기 복수의 제1 배선패턴 각각과 대응되도록 상기 제1 필름과 접합되는 제2 필름; 을 포함하며,
상기 복수의 제2 배선패턴은 적어도 일부가 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성되는 패널 테스트용 필름.A panel test film used for a panel test probe apparatus,
A first film having a plurality of first wiring patterns for receiving test signals from the probe device; And
And a plurality of second wiring patterns for transmitting the test signals received from the plurality of first wiring patterns to a panel, wherein each of the plurality of second wiring patterns includes a plurality of second wiring patterns, A second film bonded to the first film; / RTI >
Wherein at least a part of the plurality of second wiring patterns is formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns.
상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 이루어진 배선층을 마련하고, 상기 배선층을 에칭하여 상기 패널의 리드선들의 피치에 대응되도록 분리된 상기 복수의 제2 배선패턴으로 형성되되 가장자리에 상기 복수의 제2 배선패턴을 지지하기 위한 외곽지지부가 함께 형성되며, 상기 복수의 제2 배선패턴 아래에 바텀필름이, 위에 커버층이 각각 접합되고, 상기 외곽지지부를 제거하여 형성되는 패널 테스트용 필름.The film according to claim 1,
A wiring layer made of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns is provided and is etched to form the plurality of second wiring patterns separated to correspond to the pitch of the leads of the panel, A bottom film is formed under the plurality of second wiring patterns, a cover layer is bonded to the bottom film, and a plurality of second wiring patterns are formed, film.
베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS(steel use stainless) 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 패널 테스트용 필름.The semiconductor device according to claim 1, wherein at least a part of the plurality of second wiring patterns
Beryllium copper, beryllium nickel, and stainless steel (SUS).
베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS(steel use stainless) 중 어느 하나의 재질로 도금되어 이루어지는 패널 테스트용 필름.The semiconductor device according to claim 1, wherein at least a part of the plurality of second wiring patterns
Wherein the film is plated with a material selected from beryllium copper, beryllium nickel, and stainless steel (SUS).
상기 복수의 제1 배선패턴 각각과 대응되는 복수의 신호전달패턴; 및
상기 패널의 리드선들과 대응되게 상기 복수의 신호전달패턴 각각과 연장형성되며 상기 복수의 신호전달패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 해당 패널의 리드선으로 전달하는 복수의 접촉라인;
을 구비하며,
상기 복수의 접촉라인은 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성되는 패널 테스트용 필름.The semiconductor device according to claim 1, wherein the plurality of second wiring patterns
A plurality of signal transmission patterns corresponding to each of the plurality of first wiring patterns; And
A plurality of contact lines extending from each of the plurality of signal transmission patterns to correspond to lead wires of the panel and transmitting the test signals received from the plurality of signal transmission patterns to the leads of the corresponding panel;
And,
Wherein the plurality of contact lines are formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns.
상기 복수의 제1 배선패턴 각각과 대응되는 복수의 신호전달패턴; 및
상기 패널의 리드선들과 대응되게 상기 복수의 신호전달패턴 각각과 연장형성되며 상기 복수의 신호전달패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 해당 패널의 리드선으로 전달하는 복수의 접촉라인;
을 구비하며,
상기 복수의 신호전달패턴과 상기 복수의 접촉라인은 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 형성되는 패널 테스트용 필름.The semiconductor device according to claim 1, wherein the plurality of second wiring patterns
A plurality of signal transmission patterns corresponding to each of the plurality of first wiring patterns; And
A plurality of contact lines extending from each of the plurality of signal transmission patterns to correspond to lead wires of the panel and transmitting the test signals received from the plurality of signal transmission patterns to the leads of the corresponding panel;
And,
Wherein the plurality of signal transmission patterns and the plurality of contact lines are formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns.
상기 복수의 제2 배선패턴은,
상기 복수의 제1 배선패턴 각각과 대응되는 복수의 신호전달패턴; 및
상기 패널의 리드선들과 대응되게 상기 복수의 신호전달패턴 각각과 연장형성되며 상기 복수의 신호전달패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 해당 패널의 리드선으로 전달하는 복수의 접촉라인;
을 구비하며,
상기 제2 필름은,
바텀필름을 구비하며, 상기 바텀필름 상부에 상기 복수의 신호전달패턴을 배치하고, 상기 바텀필름 하부에 상기 복수의 접촉라인을 배치하며, 상기 복수의 신호전달패턴 각각과 상기 복수의 접촉라인 각각이 서로 전기적으로 연결되도록, 상기 바텀필름을 관통하여 형성된 비아홀에 상기 복수의 제1 배선패턴보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 매꾸어 형성된 복수의 비아를 구비하여 형성되는 패널 테스트용 필름.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of second wiring patterns
A plurality of signal transmission patterns corresponding to each of the plurality of first wiring patterns; And
A plurality of contact lines extending from each of the plurality of signal transmission patterns to correspond to lead wires of the panel and transmitting the test signals received from the plurality of signal transmission patterns to the leads of the corresponding panel;
And,
Wherein the second film comprises:
A plurality of signal transmission patterns are disposed on the bottom film, a plurality of contact lines are disposed under the bottom film, and each of the plurality of signal transmission patterns and each of the plurality of contact lines A via hole formed through the bottom film so as to be electrically connected to each other; and a plurality of vias formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the plurality of first wiring patterns.
상기 프로브 장치로부터 테스트 신호들을 수신하는 복수의 제1 배선패턴을 구비하는 제1 필름; 및
상기 복수의 제1 배선패턴으로부터 수신된 상기 테스트 신호들을 상기 패널로 전달하는 복수의 제2 배선패턴을 구비하며, 상기 복수의 제2 배선패턴 각각이 상기 복수의 제1 배선패턴 각각과 대응되도록 상기 제1 필름과 접합되는 제2 필름; 을 포함하며,
상기 복수의 제1 배선패턴과 상기 복수의 제2 배선패턴은 동 재질보다 내부식성 및 내마모성이 큰 재질로 이루어져 일체로 형성되는 패널 테스트용 필름.A panel test film used for a panel test probe apparatus,
A first film having a plurality of first wiring patterns for receiving test signals from the probe device; And
And a plurality of second wiring patterns for transmitting the test signals received from the plurality of first wiring patterns to the panel, wherein each of the plurality of second wiring patterns includes a plurality of first wiring patterns, A second film bonded to the first film; / RTI >
Wherein the plurality of first wiring patterns and the plurality of second wiring patterns are integrally formed of a material having higher corrosion resistance and abrasion resistance than the same material.
베릴륨동, 베릴륨니켈, SUS 중 어느 하나의 재질로 이루어지는 패널 테스트용 필름.The semiconductor device according to claim 8, wherein the plurality of first wiring patterns and the plurality of second wiring patterns
Beryllium copper, beryllium nickel, and SUS.
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