KR101783541B1 - 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법 - Google Patents

광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 압입 곡선의 변화와 함께 압입자 상부에서 발생하는 변형이나 상변태를 실시간으로 측정할 수 있는 광학 및 분광 시스템이 융합된 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법을 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명은 대상 시험편이 배치되는 지지대, 대상 시험편의 상면에 특정 하중을 가하는 하중부, 대상 시험편의 하면을 향하도록 지지대에 설치되는 투광성의 압입자 및 압입자를 통해 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하고, 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 광원송수신부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 및 분광 시스템이 융합된 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법을 개시한다.

Description

광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법{local indentation apparatus that combines optical and spectroscopic systems, analysis system and analysis method using the same}
본 발명은 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 압입 시험 장치에 사용되는 경질 압입자의 첨단에 특정 광원을 투과시켜 반사된 특정 광원을 분석하여, 대상 시험편의 변형 과정 중의 재료의 격자변화, 응력상태나 압력유기 상변태 등을 파악하는 것이 가능한 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 재료의 국소 변형을 측정하는 가장 보편적인 방법 중의 하나가 경도시험(hardness test)을 포함하는 국소 압입 시험(local indentation test)이다. 기본적인 원리는 피라미드 형태의 다이아몬드 압입자에 압입 하중을 인가하여 재료 표면으로의 침투를 유발하고 일정 하중에 대응하여 발생하는 변형의 정도를 경도로 측정하게 된다. 최근 계장화 압입 시험(instrumented indentation test)이 발달함에 따라 변형 과정 중의 하중-변위를 연속적으로 측정하는 방법도 개발되었다. 특히, 변형과정 중의 압입자 하부 응력과 변형률의 추이를 파악함으로써 일축 인장시험에서 얻어지는 진응력-진변형률 곡선을 해석하는 것은 물론 표면에 존재하는 잔류 응력의 측정이나 표면 파괴 인성의 측정에도 활용하고자 하는 시도들이 지속되고 있다. 특히, 1980년대 후반부터 시작된 나노 압입 시험(nanoindentation test)의 경우 현재 박막이나 나노, 마이크로 물질의 물성측정에 기본적으로 활용되는 방법으로 자리매김하였으며, 전자현미경과 결합된 모델을 통해 변형 중 압입자 하부의 거동을 실시간 관찰할 수 있는 단계에 도달하였다. 그러나 투과전자현미경을 이용한 압입자 하부 변형의 실시간 관찰의 경우 전자빔의 투과를 목적으로 시험편을 얇은 판상형태로 가공하게 되고, 이로 인해 실제 3차원으로 구속된 표면 혹은 압입자에 의해 평면변형 상태에서 일어나는 국소변형과 달리 평면 응력 상태에서 변형이 일어날 수 있다는 문제점을 내포하고 있다.
대한민국 등록특허 공보 10-0736436
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치는 대상 시험편이 배치되는 지지대, 대상 시험편의 상면에 특정 하중을 가하는 하중부, 대상 시험편의 하면을 향하도록 지지대에 설치되는 투광성의 압입자 및 압입자를 통해 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하고, 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 광원송수신부를 포함한다.
압입자는 첨단이 원뿔, 각뿔 또는 구형으로 형성될 수 있다.
압입자는 다이아몬드로 구성될 수 있다.
광원송수신부는 압입자를 통해 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하는 광원 송신부 및 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 광원수신부를 포함할 수 있다.
특정 광원은 X-선 또는 레이저 광일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 국소 압입 분석 시스템은 대상 시험편이 배치되는 지지대, 대상 시험편의 상면에 특정 하중을 지속적으로 가하는 하중부, 하중부를 구동시키기 위한 구동부, 첨단이 대상 시험편의 하면을 향하도록 지지대에 설치되며, 하중부의 특정 하중에 의해 대상 시험편을 압입하는 투광성의 압입자, 압입자를 통해 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하고, 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 광원송수신부 및 광원송수신부에 수신되는 반사된 특정 광원의 데이터 및 하중부에서 가해진 하중 데이터를 기반으로 대상 시험편의 비파괴 데이터를 분석하는 분석부를 포함한다.
압입자는 첨단이 원뿔, 각뿔 또는 구형으로 형성될 수 있다.
압입자는 다이아몬드로 구성될 수 있다.
광원송수신부는 압입자를 통해 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하는 광원 송신부 및 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 광원수신부를 포함할 수 있다.
특정 광원은 X-선 또는 레이저 광일 수 있다.
분석부는 X-선 검출기 또는 라만 분광기일 수 있다.
비파괴 데이터는 대상 시험편의 응력 데이터, 격자 변화 데이터, 상변태 데이터 중 적어도 하나일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 국소 압입 분석 방법은 지지대에 압입자를 설치하는 (I)단계, 지지대에서 압입자의 상부 영역에 대상 시험편을 배치하는 (II)단계, 하중부를 구동시켜, 대상 시험편에 특정 하중을 가하는 (III)단계, 광원송수신부에서 압입자를 통해 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하고, 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 (IV)단계 및 분석부에서 광원송수신부에 수신되는 반사된 특정 광원의 데이터 및 하중부에서 가해진 하중 데이터를 기반으로 대상 시험편의 비파괴 데이터를 분석하는 (V)단계를 포함한다.
(I)단계에서, 압입자는 첨단이 원뿔, 각뿔 또는 구형으로 형성될 수 있다.
압입자는 다이아몬드로 구성될 수 있다.
특정 광원은 X-선 또는 레이저 광일 수 있다.
분석부는 X-선 검출기 또는 라만 분광기일 수 있다.
비파괴 데이터는 대상 시험편의 응력 데이터, 격자 변화 데이터, 상변태 데이터 중 적어도 하나일 수 있다.
본 발명에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법은 압입 곡선의 변화와 함께 압입자 상부에서 발생하는 변형이나 상변태를 실시간으로 측정할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법은 압입자 하부의 실시간 변형 관찰을 통해 상변태 등의 기반, 원천연구에 접근할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법은 다이아몬드 압입자를 역학적 프로브와 렌즈로 이용하는 분광 시스템이 구현됨에 따라 보다 다양한 나노 소재의 프로빙과 측정에 활용할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법은 압입자와 분광 분석기를 결합시켜서 일정위치에 유지시키고, 반대방향의 시험편을 이동시키는 방법을 통해 분광분석을 위해 초기에 형성된 초점이 시험편의 변형 중에 흐트러지지 않는다.
또한, 본 발명에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치와 이를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법은 재료표면의 한 지점이 초기 하중인가부터 하중제거 전반에 걸쳐서 겪게 되는 과정을 연속적으로 파악할 수 있고, 포커싱 위치를 바꿔감에 따라 압입자 하부의 여러 위치에서 변형과정을 기록할 수 있다.
한편, 본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템의 분석 동작을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템의 신호 및 구동 흐름을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 국소 압입 분석 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 국소 압입 분석 방법에서의 분광 분석기의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 국소 압입 분석 방법에서의 분광 분석 과정을 나타내는 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
또한, 이하의 도면에서 각 구성은 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이며, 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는" 는 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다.
본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및 /또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
다음은 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템을 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템의 분석 동작을 개략적으로 나타내는 단면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템의 신호 및 구동 흐름을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템은 지지대(10), 압입자(20), 광원송수신부(30), 분석부(40) 및 하중부(50)를 포함한다.
지지대(10)는 통상의 압입 시험 장치와 같이, 대상 시험편(1)을 지지한다.
압입자(20)는 첨단이 원뿔, 각뿔 또는 구형으로 형성되어 있으며, 투광성이 좋은 경질의 다이아몬드로 구성되는 것이 바람직하다.
여기서, 압입자(20)는 지지대(10)의 대략 중심에 배치되며, 첨단이 상부에 놓여지는 대상 시험편(1)을 향하도록 배치된다. 이로써, 초기에 형성된 초점이 대상 시험편(1)의 변형 중에 흐트러지지 않아, 재료 표면의 한 지점이 초기 하중 인가부터 하중제거 전반에 걸쳐서 겪게 되는 과정을 연속적으로 파악할 수 있는 장점이 있다. 또한, 포커싱 위치를 바꿔감에 따라 압입자(20) 하부의 여러 위치에서 변형 과정을 기록할 수 있다.
광원송수신부(30)는 압입자(20)의 후단에 배치되어, 광원 송신부(31) 및 광원 수신부(32)를 포함한다.
광원 송신부(31)는 집중된 레이저 광이나 X-선 등의 특정 광선을 압입자(20)에 입사하며, 압입자(20)의 첨단을 통해 대상 시험편(1)에 지속적으로 주입한다.
물론, 광원 송신부(31)는 광원 제어부(C1)의 제어를 받아, 특정 광원의 에너지 등의 입력 데이터를 제어할 수 있다.
또한, 광원 수신부(32)는 압입에 의해 발생한 대상 시험편(1)의 변형 과정 중에 재료와 상호작용 혹은 반응으로 일어난 반사모드의 레이저 광이나 회절 X-선을 수신한다. 여기서, 반사모드의 레이저 광이나 회절 X-선은 압입자(20)의 첨단을 통해 집속되므로 우수한 광원 특성을 검출할 수 있다.
분석부(40)는 X-선 검출기나 라만 분광기로 구성되며, 광원 수신부(32)에서 수신되는 반사모드의 레이저 광이나 회절 X-선을 통해, 대상 시험편(1)의 변형 과정 중의 재료의 격자변화, 응력상태나 압력유기 상변태 등을 파악하게 된다. 특히 라만 분광기와 융합된 압입 시스템의 경우 Si, Ge 등과 같은 반도체 물질에서 상변태 과정을 추적하거나 BTO, ZnO2 등과 같은 기능성 산화물에서 일어나는 압력유기 거동을 기록하는 데 사용될 수 있다.
하중부(50)는 하중 제어부(C2)의 제어를 받으며, 대상 시험편(1) 상에서 수직적인 이동을 통해 접촉과 압입 하중을 유발하는 형태를 갖도록 형성된다.
여기서, 하중부(50)는 압입자(20)의 상부 영역에서 대상 시험편(1)과 면접촉을 행하는 것이 바람직하다.
여기서, 하중부(50)는 대상 시험편(1)에 직접 체결되어, 대상 시험편(1)을 압입자(20)의 상부 영역으로 이동시키는 것도 가능하다.
다음은 도 1 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템을 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 국소 압입 분석 방법을 나타내는 흐름도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 국소 압입 분석 방법에서의 분광 분석기의 결과를 나타내는 그래프이다.
우선, 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 국소 압입 분석 방법은 지지대에 압입자를 설치하는 단계(S10), 대상 시험편을 배치하는 단계(S20), 하중을 인가하는 단계(S30), 광원을 입사 및 수신하는 단계(S40) 및 대상 시험편의 비파괴 데이터를 분석하는 단계(S50)를 포함한다.
우선, 지지대에 압입자를 설치하는 단계(S10)에서는 지지대(10)의 상면에 압입자(20)의 첨단이 상부로 노출되도록 설치한다.
이후, 대상 시험편을 배치하는 단계(S20)에서는 압입자(20)의 상부 영역에서 지지대(10)에 대상 시험편(1)을 배치한다. 상술한 바와 같이, 하중부(50)를 통해 대상 시험편(1)을 이동시키는 것도 가능함은 물론이다.
하중을 인가하는 단계(S30)에서는 하중 제어부(C2)를 제어를 받는 하중부(50)를 통해 대상 시험편(1)의 상면에 압입 하중을 지속적으로 인가한다. 여기서, 도 2에 도시된 바와 같이, 대상 시험편(1)은 격자변화(1a), 응력상태나 압력유기 상변태(1b), 재료 압출(1c)이 발생한다.
광원을 입사 및 수신하는 단계(S40)에서는 광원 송신부(31)에서 집중된 레이저 광이나 X-선 등의 특정 광선을 압입자(10)의 후방에 입사하고, 입사된 광원은 입자의 첨단을 통해 대상 시험편(10)으로 지속적으로 주입된다. 또한, 하중부(50)의 압입에 의해 발생한 대상 시험편(1)의 변형 과정 중에 재료와 상호작용 혹은 반응으로 일어난 반사모드의 레이저 광이나 회절 X-선을 압입자(10)를 통해 광원 수신부(32)에서 수신한다.
대상 시험편의 비파괴 데이터를 분석하는 단계(S50)에서는 X-선 검출기나 라만 분광기로 구성되는 분석부(40)를 통해 광원 수신부(32)에서 수신되는 반사모드의 레이저 광이나 회절 X-선 데이터 및 하중 제어부(C2)의 하중 데이터를 를 기반으로 대상 시험편(1)의 변형 과정 중의 재료의 격자변화, 응력상태나 압력유기 상변태 등을 파악한다. 여기서, 도 5에 도시된 그래프는 라만 분광기를 통해 측정된 그래프를 통해 압입 곡선의 형상천이로부터 상변태를 유추할 수 있다. 또한, 반사모드의 레이저 광이나 회절 X-선을 통해 압입자(20) 하부에서 발생하는 대상 시험편(1)의 변형이나 상변태를 동시적으로 측정할 수 있다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 라만 분광기를 통해 측정된 대상 시험편(1)의 압력유기 상변태(pressure-induced phase transition) 거동을 확인할 수 있다. 즉, 대상 시험편(1) 하부의 압입자(10)로 눌러서 대상 시험편(1)에 압력을 인가했을 때 압입자(10)를 통하여 관찰할 수 있는 변형 영역 내에 초기 다이아몬드 큐빅(diamond cubic) 구조의 실리콘 피크가 점차 약해지고, 압력이 증가함에 따라 bct5와 beta-tin 구조의 새로운 피크가 부가적으로 발생함을 확인할 수 있다. 여기서, 투명한 다이아몬드 혹은 사파이어 등의 압입자(10)가 관찰창의 역할을 동시에 수행하므로, 상술한 바와 같이 대상 시험편(1)의 변형 과정을 실시간으로 확인할 수 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 광학 및 분광 시스템을 융합한 국소 압입 장치를 이용한 국소 압입 분석 시스템 및 국소 압입 분석 방법을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
10: 지지대 20: 압입자
30: 광원송수신부 40: 분석부
50: 하중부

Claims (18)

  1. 대상 시험편이 배치되는 지지대;
    상기 대상 시험편의 상면에 특정 하중을 가하는 하중부;
    상기 대상 시험편의 하면을 향하도록 상기 지지대에 설치되는 투광성의 압입자; 및
    상기 압입자를 통해 상기 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하고, 상기 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 광원송수신부; 를 포함하고,
    상기 압입자는 다이아몬드로 구성되고,
    상기 압입자는 상기 하중부에서 분리되고,
    상기 압입자의 첨단은 상기 지지대 상부로 노출되는 것을 특징으로 하는 광학 및 분광 시스템이 융합된 국소 압입 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 압입자는 첨단이 원뿔, 각뿔 또는 구형으로 형성된 것을 특징으로 하는 광학 및 분광 시스템이 융합된 국소 압입 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 광원송수신부는
    상기 압입자를 통해 상기 대상 시험편으로 상기 특정 광원을 입사하는 광원 송신부; 및
    상기 대상 시험편에서 반사되는 상기 특정 광원을 수신하는 광원수신부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 및 분광 시스템이 융합된 국소 압입 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 특정 광원은 X-선 또는 레이저 광인 것을 특징으로 하는 광학 및 분광 시스템이 융합된 국소 압입 장치.
  6. 대상 시험편이 배치되는 지지대;
    상기 대상 시험편의 상면에 특정 하중을 지속적으로 가하는 하중부;
    상기 하중부를 구동시키기 위한 구동부;
    첨단이 상기 대상 시험편의 하면을 향하도록 상기 지지대에 설치되며, 상기 하중부의 특정 하중에 의해 상기 대상 시험편을 압입하는 투광성의 압입자;
    상기 압입자를 통해 상기 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하고, 상기 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 광원송수신부; 및
    상기 광원송수신부에 수신되는 상기 반사된 특정 광원의 데이터 및 하중부에서 가해진 하중 데이터를 기반으로 상기 대상 시험편의 비파괴 데이터를 분석하는 분석부; 를 포함하고,
    상기 압입자는 다이아몬드로 구성되고,
    상기 압입자는 상기 하중부에서 분리되고,
    상기 압입자의 첨단은 상기 지지대 상부로 노출되는 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 시스템.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 압입자는 첨단이 원뿔, 각뿔 또는 구형으로 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 시스템.
  8. 삭제
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 광원송수신부는
    상기 압입자를 통해 상기 대상 시험편으로 상기 특정 광원을 입사하는 광원 송신부; 및
    상기 대상 시험편에서 반사되는 상기 특정 광원을 수신하는 광원수신부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 시스템.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 특정 광원은 X-선 또는 레이저 광인 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 분석부는 X-선 검출기 또는 라만 분광기인 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 시스템.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 비파괴 데이터는 상기 대상 시험편의 응력 데이터, 격자 변화 데이터, 상변태 데이터 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 시스템.
  13. 제 6항에 따른 국소 압입 분석 시스템을 이용한 국소 압입 분석 방법에 있어서,
    상기 지지대에 상기 압입자를 설치하는 (I)단계;
    상기 지지대에서 상기 압입자의 상부 영역에 상기 대상 시험편을 배치하는 (II)단계;
    상기 하중부를 구동시켜, 상기 대상 시험편에 특정 하중을 가하는 (III)단계;
    상기 광원송수신부에서 상기 압입자를 통해 상기 대상 시험편으로 특정 광원을 입사하고, 상기 대상 시험편에서 반사되는 특정 광원을 수신하는 (IV)단계; 및
    상기 분석부에서 상기 광원송수신부에 수신되는 상기 반사된 특정 광원의 데이터 및 하중부에서 가해진 하중 데이터를 기반으로 상기 대상 시험편의 비파괴 데이터를 분석하는 (V)단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 (I)단계에서, 상기 압입자는 첨단이 원뿔, 각뿔 또는 구형으로 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 방법.
  15. 삭제
  16. 제 13항에 있어서,
    상기 특정 광원은 X-선 또는 레이저 광인 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 분석부는 X-선 검출기 또는 라만 분광기인 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 방법.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 비파괴 데이터는 상기 대상 시험편의 응력 데이터, 격자 변화 데이터, 상변태 데이터 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 국소 압입 분석 방법.
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