KR101763623B1 - 테잎 지지장치 및 그를 구비한 도포 장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테잎 지지장치 및 그를 구비한 도포 장비에 관한 것으로, 본 발명에 따른 테잎 지지장치는 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 구비되는 조명 유닛; 상기 베이스 부재에 결합되며, 상기 조명 유닛에서 발생되는 빛이 투과되는 중간 블록; 테잎을 지지하며, 상기 중간 블록을 투과한 빛이 상기 테잎의 하면을 비추도록 빛이 투과되는 지지 블록을 포함한다. 또한, 본 발명의 도포 장비는 테잎을 이송시키는 이송 유닛; 상기 테잎의 위쪽에 위치하며, 상기 테잎의 상면을 조명하는 제1 조명 유닛과 상기 테잎을 캡쳐하는 카메라를 포함하는 헤드 유닛; 상하로 움직이면서 상기 테잎의 하면을 지지하며, 상기 테잎의 하면을 조명하는 제2 조명 유닛이 구비된 테잎 지지장치를 포함한다. 본 발명에 따르면, 상기 지지 블록의 상면에 놓인 테잎의 단위 영역에 있는 단위 단자 집합체와 칩과 얼라인 마크가 밝게 조명하게 되므로 상기 카메라가 단위 단자 집합체와 칩과 얼라인 마크의 이미지를 선명하게 캡쳐하게 된다.

Description

테잎 지지장치 및 그를 구비한 도포 장비{DEVICE FOR SUPPORTING TAPE AND POTTING MACHINE HAVING THE SAME}
본 발명은 테잎 지지장치 및 그를 구비한 도포 장비에 관한 것이다.
일반적으로 본딩 장비는 반도체 칩을 테잎 또는 프레임에 구비된 단자(lead)들에 본딩시켜 반도체 칩(이하, 칩 이라 함)과 단자들을 전기적으로 연결시킨다. 그리고 도포 장비는 상기 칩과 단자들의 부식 및 쇼트를 방지하기 위하여 상기 칩과 단자들의 접합 부분에 도포제를 도포한다.
도 1은 상기 도포 장비의 일예를 도시한 평면도이다. 도 2는 상기 도포 장비를 도시한 정면도이다.
도 1, 2에 도시한 바와 같이, 상기 도포 장비는 테잎을 이송시키는 이송 유닛(100)과, 상기 이송 유닛(100)으로 이송된 테잎에 도포제를 도포하는 네 개의 헤드 유닛들(H1)(H2)(H3)(H4)과, 상기 제1,2 헤드 유닛들(H1)(H2)을 움직이는 제1 수평 구동유닛(D1)과, 상기 제3,4 헤드 유닛들(H3)(H4)을 움직이는 제2 수평 구동유닛(D2)과, 상기 테잎의 하면을 지지하는 지지 유닛들을 포함한다.
상기 테잎의 일예로, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 테잎은 다수 개의 단위 영역들이 구획되어 있으며 그 단위 영역들은 한 줄로 배열된다. 상기 테잎의 단위 영역들에 각각 단위 단자 집합체(1)를 구비한다. 따라서, 상기 단위 단자 집합체들(1)은 균일한 간격으로 배열된다. 상기 단위 단자 집합체(1)는 다수 개의 단자들로 이루어진다. 상기 각 단위 단자 집합체(1)에 칩(2)이 본딩되어 있다. 상기 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)이 접합(본딩)된 부분을 접합부라 한다. 상기 테잎(10)의 각 단위 영역에 얼라인 마크(미도시)가 있다. 상기 테잎은 투명 재질이다.
상기 도포 장비가 상기 테잎(10)의 각 단위 영역에 있는 접합부를 도포제로 도포하게 된다.
상기 이송 유닛(100)은 테잎(10)의 이동을 안내하는 가이드 레일(110)과, 상기 가이드 레일(110)을 따라 테잎(10)을 이송시키는 피더(feeder)(미도시)를 포함한다.
상기 네 개의 헤드 유닛들을 제1,2,3,4 헤드 유닛(H1)(H2)(H3)(H4)이라 한다. 상기 제1,2 헤드 유닛들(H1)(H2)과 상기 제3,4 헤드 유닛들(H3)(H4)은 각각 쌍을 이룬다.
상기 제1 수평 구동유닛(D1)은 제1,2 헤드 유닛들(H1)(H2)을 수평 방향, 즉 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시킨다.
상기 제2 수평 구동유닛(D2)은 제3,4 헤드 유닛들(H3)(H4)을 수평 방향, 즉 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시킨다.
상기 헤드 유닛은 상기 수평 구동유닛에 연결되는 헤드 프레임(210)과, 상기 헤드 프레임(210)에 구비되는 헤드(220)와, 상기 헤드(220)에 장착되는 실린 지(230)와, 상기 헤드(220)를 상,하로 구동시키는 구동유닛(미도시)과, 상기 테잎(10)의 단위 영역 이미지를 캡쳐(capture)하는 카메라(240)와, 상기 헤드(220)에 장착되는 조명 유닛(250)을 포함한다. 상기 조명 유닛(250)은 상기 카메라(240)가 테잎(10)의 단위 영역의 이미지를 캡쳐하도록 테잎(10)을 조명한다.
상기 제1,2,3,4 헤드 유닛들(H1)(H2)(H3)(H4)의 각 헤드(220)들은 상기 가이드 레일(110)의 위쪽에 위치한다.
상기 지지 유닛들의 수는 두 개이다. 상기 두 개의 지지 유닛들을 각각 제1,2 지지 유닛(S1)(S2)이라 한다. 상기 제1 지지 유닛(S1)은 상기 제1,2 헤드 유닛들(H1)(H2)에 대응되고, 상기 제2 지지 유닛(S2)은 상기 제3,4 헤드 유닛들(H3)(H4)에 대응된다. 상기 제1,2 지지 유닛들(S1)(S2)은 상기 가이드 레일(110)의 아래쪽에 위치한다.
상기 지지 유닛은 엑츄에이터(310)와, 상기 엑츄에이터(310)의 로드에 결합되는 지그 가이드 유닛(320)과, 상기 지그 가이드 유닛(320)에 결합되는 두 개의 버큠 지그들을 포함한다.
상기 지그 가이드 유닛(320)은, 도 2, 4에 도시한 바와 같이, 지그 가이드 부재(321)와, 상기 지그 가이드 부재(321)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 두 개의 슬라이딩 블록(322)들과, 상기 지그 가이드 부재(321)에 결합되는 눈금자(323)와, 상기 슬라이딩 블록(322)을 상기 지그 가이드 부재(321)에 고정하거나 그 고정을 푸는 락킹 부재(324)를 포함한다.
상기 버큠 지그는 상기 지그 가이드 유닛의 슬라이딩 블록(322)에 결합되는 베이스 블록(330)과, 상기 베이스 블록(330)의 상면에 결합되는 단열 블록(340)과, 상기 단열 블록(340)의 상면에 결합되는 지지 블록(350)과, 상기 지지 블록(350)에 결합되는 히터(미도시)를 포함한다.
상기 단열 블록(340) 내부에 버큠 홀(341)이 구비된다. 상기 단열 블록(340)의 버큠 홀(341)에 버큠 튜브(360)의 한쪽 끝이 연결된다. 상기 버큠 튜브(360)의 다른 한쪽 끝은 버큠 발생기(미도시)에 연결된다.
상기 지지 블록(350)은 상면에 가장 자리를 따라 형성된 사각형 형태인 버큠 그루브(groove)(351)가 구비된다. 상기 버큠 그루브(351)의 바닥면에 연통 홀(미도시)들이 구비된다. 상기 연통 홀들은 상기 단열 블록(340)의 버큠 홀(341)과 연통된다.
상기한 바와 같은 도포 장비의 작동을 설명하면 다음과 같다.
상기 피더가 테잎(10)을 설정된 길이에 해당하는 거리만큼 이송시킨다. 상기 테잎(10)은 가이드 레일(110)을 따라 이송된다.
상기 버큠 지그들이 테잎(10)의 하면에 접촉되도록 상기 엑츄에이터(310)가 지그 가이드 유닛(320)을 위로 이동시킨다. 제1,2 지지 유닛(S1)(S2)의 각 지그 가이드 유닛(320)이 동시에 이동한다.
상기 버큠 발생기에서 발생된 버큠이 상기 버큠 튜브(360), 버큠 홀(341), 연통 홀, 버큠 그루브(351)를 통해 테잎(10)의 하면에 작용하여 테잎(10)이 버큠 지그들(J1)(J2)(J3)(J4)의 각 상면에 흡착된다.
상기 헤드 유닛의 조명 유닛(250)이 상기 지지 블록(350)의 상면에 흡착된 테잎의 단위 영역을 위에서 조명한다.
상기 헤드 유닛의 카메라(240)가 상기 지지 블록(350)의 상면에 흡착된 테잎의 단위 영역의 이미지, 즉, 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)과 얼라인 마크를 포함하는 테잎의 일부 영역의 이미지를 갭쳐한다. 상기 카메라(240)가 캡쳐한 이미지를 바탕으로 도포 장비의 제어부가 도포 기준점을 인식하고, 아울러 도포 장비의 모니터에 표시하여 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)의 접합부를 확인할 수 있다.
상기 네 개의 헤드 유닛들(H1)(H2)(H3)(H4)의 각 헤드가 하강한다. 상기 제1,2 수평 구동유닛(D1)(D2)의 작동으로 각 헤드가 설정된 패턴을 따라 움직이면서 상기 실린지(230)에 채워진 도포제를 노즐을 통해 접합부에 도포한다. 상기 접합부는 위에서 언급한 바와 같이, 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)이 접합된 부분이다.
상기 지지 블록(350)에 결합된 히터에 의해 상기 지지 블록(350)이 가열될 뿐만 아니라 그 지지 블록(350)에 흡착된 테잎(10)의 단위 영역의 접합부가 가열되어 도포제가 접합부에 잘 도포된다.
네 개의 버큠 지그들(J1)(J2)(J3)(J4)에 각각 놓인 테잎의 단위 영역의 접합부를 도포하는 것이 완료되면 상기 네 개의 헤드 유닛들(H1)(H2)(H3)(H4)의 각 헤드가 원래의 위치로 이동하게 된다.
상기 네 개의 버큠 지그들(J1)(J2)(J3)(J4)에 각각 버큠을 공급하는 것을 중단시킨다.
상기 엑츄에이터(310)가 버큠 지그들을 원래의 위치로 이동시킨다.
상기 피더가 테잎(10)을 설정된 길이(네 개의 테잎 단위 영역의 길이)만큼 이송시킨다.
그리고 상기한 방식대로 진행되어 상기 테잎의 새로운 단위 영역들에 있는 접합부를 도포한다. 정지 신호가 있을 때까지 상기한 방식이 반복되면서 테잎(10)의 단위 영역에 있는 접합부에 도포제를 도포하게 된다.
그러나 상기한 바와 같은 도포 장비는 상기 헤드 유닛에 구비된 조명 유닛(250)이 상기 지지 블록(350)의 상면에 흡착된 테잎의 단위 영역을 조명시 상기 테잎(10)의 윗쪽에서 테잎(10)을 조명하게 될 뿐만 아니라 헤드 유닛의 노즐로 인하여 상기 조명 유닛(250)과 테잎(10)사이의 거리가 멀어 테잎(10)의 단위 영역에 있는 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)과 얼라인 마크가 밝게 조명되지 된다. 아울러, 흑백 명암이 발생하게 된다. 이로 인하여, 상기 카메라(240)가 테잎의 단위 영역에 있는 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)과 얼라인 마크의 이미지를 선명하게 캡쳐하지 못하게 되므로 도포 위치를 정확하게 제어부가 인식하지 못하게 된다. 이로 인하여, 상기 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)의 접합부에 정확하게 도포제를 도포하지 못하여 도포 에러가 발생하게 된다.
본 발명의 목적은 지지 블록의 상면에 놓인 테잎의 단위 영역에 있는 단위 단자 집합체와 칩 그리고 얼라인 마크 등을 카메라가 선명하게 캡쳐하는 것이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 구비되는 조명 유닛; 상기 베이스 부재에 결합되며, 상기 조명 유닛에서 발생되는 빛이 투과되는 중간 블록; 테잎을 지지하며, 상기 중간 블록을 투과한 빛이 상기 테잎의 하면을 비추도록 빛이 투과되는 지지 블록을 포함하는 테잎 지지장치가 제공된다.
상기 중간 블록에 버큠 튜브가 연결되는 버큠 홀이 구비되고, 상기 지지 블록에, 버큠에 의해 상기 테잎이 지지 블록의 상면에 흡착되도록 상기 버큠 홀과 연통되는 버큠 통로가 구비되는 것이 바람직하다. 상기 지지 블록에 히터가 구비된 다.
상기 조명 유닛은 상기 베이스 부재의 상면에 구비되는 복수 개의 램프들과, 상기 램프들에 연결되는 전원 공급선을 포함한다.
상기 지지 블록은 빛 통과 구멍 및 버큠 통로가 구비된 블록 몸체; 및 상기 블록 몸체의 빛 통과 구멍 입구를 복개하도록 상기 블록 몸체의 상면에 결합되는 투명판을 포함한다.
또한, 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 구비되는 조명 유닛; 테잎을 지지하 며, 상기 조명 유닛에서 발생되는 빛이 상기 테잎을 비추도록 빛이 투과되는 지지 블록을 포함하는 테잎 지지장치가 제공된다.
또한, 테잎을 이송시키는 이송 유닛; 상기 테잎 위쪽에 위치하며, 상기 테잎의 상면을 조명하는 제1 조명 유닛과 상기 테잎의 이미지를 캡쳐하는 카메라를 포함하는 헤드 유닛; 상하로 움직이면서 상기 테잎의 하면을 지지하며, 상기 테잎의 하면을 조명하는 제2 조명 유닛이 구비된 테잎 지지장치를 포함하는 도포 장비가 제공된다.
본 발명은 상기 지지 블록의 상면에 흡착된 테잎의 단위 영역을 조명시 상기 테잎의 바로 아래에서 상기 테잎의 하면을 조명하게 되므로 상기 테잎의 단위 영역에 있는 단위 단자 집합체와 칩과 얼라인 마크가 밝게 조명된다. 이로 인하여, 상기 카메라가 상기 단위 단자 집합체와 칩과 얼라인 마크의 이미지를 선명하게 캡쳐하게 되므로 제어부가 도포 위치를 정확하게 인식하게 된다. 이로 인하여, 상기 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)의 접합부에 정확하게 도포제를 도포할 수 있게 된다.
이하, 본 발명에 따른 테잎 지지장치 및 그를 구비한 도포 장비의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 테잎 지지장치가 구비된 도포 장비의 일실시예를 도시한 평면도이다. 도 6은 본 발명에 따른 테잎 지지장치가 구비된 도포 장비의 일실시예를 도시한 정면도이다.
도 5, 6에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 테잎 지지장치가 구비된 도포 장비는 테잎(10)을 이송시키는 이송 유닛(100)과, 상기 이송 유닛(100)으로 이송된 테잎(10)에 도포제를 도포하는 네 개의 헤드 유닛들(H1)(H2)(H3)(H4)과, 상기 제1,2 헤드 유닛들(H1)(H2)을 움직이는 제1 수평 구동유닛(D1)과, 상기 제3,4 헤드 유닛들(H3)(H4)을 움직이는 제2 수평 구동유닛(D2)과, 상기 테잎(10)의 하면을 지지할 뿐만 아니라 상기 테잎(10)의 하면을 조명하는 지지 유닛들을 포함한다.
상기 도포 장비는 헤드 유닛들이 네 개보다 적을 수도 있고, 네 개보다 많을 수 있다.
상기 이송 유닛(100)은 테잎(10)의 이동을 안내하는 가이드 레일(110)과, 상기 가이드 레일(110)을 따라 테잎(10)을 이송시키는 피더(feeder)(미도시)를 포함한다.
상기 네 개의 헤드 유닛들을 각각 순서적으로 제1,2,3,4 헤드 유닛(H1)(H2)(H3)(H4)이라 한다. 상기 제1,2 헤드 유닛들(H1)(H2)과 상기 제3,4 헤드 유닛들(H3)(H4)은 각각 쌍을 이룬다.
상기 제1 수평 구동유닛(D1)은 제1,2 헤드 유닛들(H1)(H2)을 수평 방향, 즉 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시킨다.
상기 제2 수평 구동유닛(D2)은 제3,4 헤드 유닛들(H3)(H4)을 수평 방향, 즉 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시킨다.
상기 헤드 유닛은 상기 수평 구동유닛에 연결되는 헤드 프레임(210)과, 상기 헤드 프레임(210)에 구비되는 헤드(220)와, 상기 헤드(220)에 장착되는 실린 지(230)와, 상기 헤드(220)를 상,하로 구동시키는 구동유닛(미도시)과, 상기 테잎(10)의 단위 영역의 이미지를 캡쳐(capture)하는 카메라(240)를 포함한다.
상기 제1,2,3,4 헤드 유닛들(H1)(H2)(H3)(H4)의 각 헤드(220)들은 상기 가이드 레일(110)의 위쪽에 위치한다.
상기 지지 유닛들의 수는 두 개이다. 상기 두 개의 지지 유닛들을 각각 제1,2 지지 유닛(S1)(S2)이라 한다. 상기 제1,2 지지 유닛들(S1)(S2)은 상기 가이드 레일(110)의 아래쪽에 위치한다.
상기 지지 유닛의 일실시예로, 상기 지지 유닛은 엑츄에이터(310)와, 상기 엑츄에이터(310)의 로드에 결합되는 지그 가이드 유닛(320)과, 상기 지그 가이드 유닛(320)에 결합되는 두 개의 테잎 지지장치를 포함한다.
상기 지그 가이드 유닛(320)은 지그 가이드 부재(321)와, 상기 지그 가이드 부재(321)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록(322)들과, 상기 지그 가이드 부재(321)에 결합되는 눈금자(323)와, 상기 슬라이딩 블록(322)을 상기 지그 가이드 부재(321)에 고정하거나 그 고정을 푸는 락킹 부재(324)를 포함한다.
상기 테잎 지지장치의 제1 실시예로, 도 6, 7, 8에 도시한 바와 같이, 상기 테잎 지지장치는 베이스 부재(410)와, 조명 유닛(420)과, 중간 블록(430)과, 지지 블록(440)을 포함한다.
상기 베이스 부재(410)는 상기 슬라이딩 블록(322)에 결합된다.
상기 조명 유닛(420)은 상기 베이스 부재(410)에 구비된다. 상기 조명 유닛(420)은 다수 개의 램프(421)들과, 상기 램프(421)들에 연결되는 전원 공급 선(422)을 포함한다. 상기 램프(421)는 한 개일 수 있다.
상기 베이스 부재(410)의 상면에 다수 개의 램프 장착부(411)들이 구비된다. 상기 램프(421)들은 상기 램프 장착부(411)들에 각각 장착된다.
상기 중간 블록(430)은 상기 램프(421)들을 덮도록 상기 베이스 부재(410)의 상면에 결합된다. 상기 중간 블록(430)은 상기 램프(421)들에서 발생되는 빛이 투과되도록 투명 재질로 이루어진다. 또한 상기 중간 블록(430)은 열전달을 막는 단열 재료로 이루어진다. 상기 중간 블록(430)은 육면체 형태로 형성됨이 바람직하다. 상기 중간 블록(430) 내부에 버큠 홀(431)이 구비된다. 상기 중간 블록(430)의 버큠 홀(431)에 버큠 튜브(450)의 한쪽 끝이 연결된다. 상기 버큠 튜브(450)의 다른 한쪽 끝은 버큠 발생기(미도시)에 연결된다.
상기 지지 블록(440)은 상기 중간 블록(430)의 상면에 결합된다. 상기 지지 블록(440)은 버큠 통로(P)와 빛 통과 구멍(E)이 구비된 블록 몸체(441)와, 상기 블록 몸체(441)의 빛 통과 구멍(E)의 입구를 막도록 상기 블록 몸체(441)의 상면에 결합되는 투명판(442)을 포함한다.
상기 블록 몸체(441)는 육면체 형상으로 형성되며, 그 육면체 형상의 상면 가운데에 상기 빛 통과 구멍(E)이 형성된다. 상기 빛 통과 구멍(E)의 단면은 사각형인 것이 바람직하다. 상기 상기 버큠 통로(P)는 상기 블록 몸체(441)의 상면에 형성된 사각 형태의 버큠 그루브(P1)와, 상기 버큠 그루브(P1)의 바닥면에 형성되는 다수 개의 연통 홀(P2)들을 포함한다. 상기 사각 형상의 버큠 그루브(P1)는 상기 블록 몸체(441)의 가장자리를 따라 형성된다. 상기 연통 홀(P2)들은 상기 중간 블록(430)의 버큠 홀(431)과 연통된다.
상기 지지 블록(440)은 투명 재질로 만들어질 수 있다.
상기 지지 블록(440)의 상면에 테잎(10)이 놓여진다. 이때, 상기 지지 블록(440)의 버큠 그루브(P1)내에 한 개의 테잎의 단위 영역이 위치한다. 상기 조명 유닛(420)의 램프(421)들에서 발생되는 빛이 상기 중간 블록(430)을 투과하고 이어 상기 지지 블록(440)의 빛 통과 구멍(E)과 투명판(442)을 통과하여 테잎(10)의 하면을 비추게 된다.
상기 지지 블록(440)에 히터(460)가 결합된다.
상기 테잎 지지장치의 제2 실시예로, 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 테잎 지지장치는 베이스 부재(410)와, 조명 유닛(420)과, 중간 블록(430)과, 지지 블록(440)을 포함한다.
상기 베이스 부재(410)는 상기 슬라이딩 블록(322)에 결합된다.
상기 조명 유닛(420)은 상기 베이스 부재(410)에 구비된다. 상기 조명 유닛(420)은 다수 개의 램프(421)들과, 상기 램프(421)들에 연결되는 전원 공급선(422)을 포함한다.
상기 베이스 부재(410)의 상면에 다수 개의 램프 장착부(411)들이 구비된다. 상기 램프 장착부(411)들은 두 개의 그룹으로 나누어진다. 상기 램프(421)들은 상기 램프 장착부(422)들에 각각 장착된다.
상기 중간 블록(430)은 상기 램프(421)들을 덮도록 상기 베이스 부재(410)의 상면에 결합된다. 상기 중간 블록(430)은 상기 램프(421)들에서 발생되는 빛이 투 과되도록 투명 재질로 이루어진다. 또한 상기 중간 블록(430)은 열전달을 막는 단열 재료로 이루어진다. 상기 중간 블록(430)은 육면체 형태로 형성됨이 바람직하다. 상기 중간 블록(430) 내부에 두 개의 버큠 홀(431)들이 구비된다. 상기 중간 블록(430)의 두 개의 버큠 홀(431)들에 각각 버큠 튜브(450)가 연결된다. 상기 두 개의 버큠 튜브(450)들은 진공 발생기(미도시)에 연결된다.
상기 지지 블록(440)은 상기 중간 블록(430)의 상면에 결합된다. 상기 지지 블록(440)은 두 개의 버큠 통로(P)들과 두 개의 빛 통과 구멍(E)들이 구비된 블록 몸체(441)와, 상기 블록 몸체(441)의 빛 통과 구멍(E)의 입구를 복개하도록 상기 블록 몸체(441)의 상면에 결합되는 두 개의 투명판(442)들을 포함한다.
상기 블록 몸체(441)는 육면체 형상으로 형성되며, 그 육면체 형상의 상면에 두 개의 빛 통과 구멍(E)들이 형성된다. 상기 빛 통과 구멍(E)의 단면은 사각형인 것이 바람직하다. 상기 상기 버큠 통로(P)는 상기 블록 몸체(441)의 상면에 형성된 사각 형태의 버큠 그루브(P1)와, 상기 버큠 그루브(P1)의 바닥면에 형성되는 다수 개의 연통 홀(P2)들을 포함한다. 즉, 상기 지지 블록(440)의 상면에 두 개의 사각 형상 버큠 그루브(P1)들이 형성된다. 상기 두 개의 버큠 그루브(P1)들 내부 영역에 각각 빛 통과 구멍(E)이 위치한다.
상기 지지 블록(440)의 상면에서 볼 때, 한 개의 빛 통과 구멍(E)내에 한 개의 램프 그룹이 위치하고, 다른 한 개의 빛 통과 구멍(E)내에 다른 한 개의 램프 그룹이 위치하게 된다. 상기 버큠 그루브(P1)는 복수 개 구비될 수 있다.
상기 지지 블록(440)은 투명 재질로 만들어질 수 있다.
상기 지지 블록(440)의 상면에 테잎이 놓여진다. 이때, 상기 지지 블록(440)의 두 개 버큠 그루브(P1)들내에 각각 테잎의 단위 영역이 위치한다. 위에서 설명한 바와 같이, 상기 테잎(10)의 단위 영역에 한 개의 단위 단자 집합체(10)와 칩(2)과 얼라인 마크 등이 있다. 상기 조명 유닛(420)의 램프(421)들에서 발생되는 빛이 상기 중간 블록(430)을 투과하고 이어 상기 지지 블록(440)의 빛 통과 구멍(E)과 투명판(442)을 통과하여 테잎(10)의 하면을 비추게 된다.
상기 지지 블록(440)에 히터(46)가 결합된다.
상기 테잎 지지장치의 제3 실시예로, 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 테잎 지지장치는 베이스 부재(410)와, 조명 유닛(420)과, 지지 블록(440)을 포함한다.
상기 베이스 부재(410)는 상기 슬라이딩 블록(322)에 결합된다.
상기 조명 유닛(420)은 상기 베이스 부재(410)에 구비된다. 상기 조명 유닛(420)은 다수 개의 램프(421)들과, 상기 램프(421)들에 연결되는 전원 공급선(422)을 포함한다.
상기 베이스 부재(410)의 상면에 다수 개의 램프 장착부(411)들이 구비된다. 상기 램프(421)들은 상기 램프 장착부(411)들에 각각 장착된다.
상기 베이스 부재(410)내부에 버큠 홀(412)이 구비된다. 상기 베이스 부재의 버큠 홀(412)에 버큠 튜브(450)의 한쪽 끝이 연결된다. 상기 버큠 튜브(450)의 다른 한쪽 끝이 진공 발생기(미도시)에 연결된다.
상기 지지 블록(440)은 상기 베이스 부재(410)의 상면에 결합된다. 상기 지지 블록(440)은 버큠 통로(P)와 빛 통과 구멍(E)이 구비된 블록 몸체(441)와, 상기 블록 몸체(441)의 빛 통과 구멍(E)의 입구를 막도록 상기 블록 몸체(441)의 상면에 결합되는 투명판(442)을 포함한다.
상기 블록 몸체(441)는 육면체 형상으로 형성되며, 그 육면체 형상의 상면 가운데에 상기 빛 통과 구멍(E)이 형성된다. 상기 빛 통과 구멍(E)의 단면은 사각형인 것이 바람직하다. 상기 버큠 통로(P)는 상기 블록 몸체(441)의 상면에 형성된 사각 형태의 버큠 그루브(P1)와, 상기 버큠 그루브(P1)의 바닥면에 형성되는 다수 개의 연통 홀(P2)들을 포함한다. 상기 사각 형상의 버큠 그루브(P1)는 상기 블록 몸체(441)의 가장자리를 따라 형성된다. 상기 연통 홀(P2)들은 상기 베이스 부재(410)의 버큠 홀(412)과 연통된다.
상기 지지 블록(4400의 버큠 그루브(P1)는 복수 개 구비될 수 있다.
상기 지지 블록(440)의 상면에 테잎(10)이 놓여진다. 이때, 상기 지지 블록(440)의 버큠 그루브(P1)내에 테잎의 단위 영역이 위치한다. 상기 조명 유닛(420)의 램프(421)들에서 발생되는 빛이 상기 지지 블록(440)의 빛 통과 구멍(E)과 투명판(442)을 통과하여 테잎(10)의 하면을 비추게 된다.
상기 테잎 지지장치의 제3 실시예는 지지 블록(440)에 히터가 장착되지 않은 것이다. 만일, 상기 지지 블록(440)에 히터를 장착할 경우 상기 히터의 열이 베이스 부재(410)로 전달되지 않도록 상기 지지 블록(440)과 베이스 부재(410)사이에 단열 수단이 구비됨이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 테잎 지지장치를 구비한 도포 장비의 다른 실시예로, 상기 도포 장비는 상기 일실시예의 도포 장비에서 헤드 유닛에 조명 유닛(420)을 더 구비한 것이다. 즉 상기 도포 장비는 두 개의 조명 유닛(420)을 구비한 것이다.
이하, 본 발명에 따른 테잎 지지장치 및 그를 구비한 도포 장비의 작용과 효과를 설명하면 다음과 같다. 먼저, 테잎 지지장치의 제1,2 실시예의 경우이다.
상기 피더가 테잎(10)을 설정된 길이에 해당되는 거리만큼 이송시킨다. 상기 테잎(10)은 가이드 레일(110)을 따라 이송된다.
상기 테잎 지지장치들이 테잎(10)의 하면에 접촉되도록 상기 엑츄에이터(310)가 지그 가이드 유닛(320)을 위로 이동시킨다. 제1,2 지지 유닛(S1)(S2)의 각 지그 가이드 유닛(320)이 동시에 이동한다.
상기 버큠 발생기(380)에서 발생된 버큠이 상기 버큠 튜브(450), 버큠 홀(431), 연통 홀(P2), 버큠 그루브(P1)를 통해 테잎(10)의 하면에 작용하여 테잎(10)이 지지 유닛들(J1)(J2)(J3)(J4)의 각 지지 블록(440) 상면에 흡착된다.
테잎 지지장치의 조명 유닛(420)이 지지 블록(440)의 상면에 흡착된 테잎 부분의 하면을 조명하게 된다.
상기 헤드 유닛의 카메라(240)가 상기 지지 블록(440)의 상면에 흡착된 테잎 의 단위 영역의 이미지, 즉 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)과 얼라인 마크의 이미지를 갭쳐한다. 상기 카메라(240)가 캡쳐한 이미지를 바탕으로 제어부가 도포 기준점을 정확하게 인식할 뿐만 아니라 모니터에 디스플레이하게 된다.
상기 네 개의 헤드 유닛들(H1)(H2)(H3)(H4)의 각 헤드(220)가 하강한다. 상기 제1,2 수평 구동유닛(D1)(D2)의 작동으로 각 헤드(220)가 설정된 패턴을 따라 움직이면서 상기 실린지(230)에 채워진 도포제를 노즐을 통해 테잎의 단위 영역에 있는 접합부에 도포한다. 상기 접합부는 위에서 언급한 바와 같이, 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)이 접합된 부분이다.
상기 지지 블록(440)에 결합된 히터(460)에 의해 상기 지지 블록(440)이 가열될 뿐만 아니라 그 지지 블록(440)에 흡착된 테잎(10)의 단위 영역에 있는 접합부를 가열되어 도포제가 접합부에 잘 도포된다.
상기 각 지지 블록(440)의 상면에 흡착된 테잎(10)의 단위 영역에 있는 접합부를 도포제로 도포하는 것이 완료되면 상기 네 개의 헤드 유닛들(H1)(H2)(H3)(H4)의 각 헤드(220)가 원래의 위치로 이동하게 된다.
상기 네 개의 테잎 지지장치들에 각각 버큠 공급을 중단시킨다.
상기 엑츄에이터(310)가 테잎 지지장치들을 원래의 위치로 이동시킨다.
상기 피더가 테잎(10)을 설정된 길이(네 개의 단위 영역들이 배열된 길이)에 해당되는 거리만큼 이송시킨다.
그리고 상기한 방식대로 진행되어 테잎(10)의 단위 영역에 있는 접합부를 도포한다. 정지 신호가 있을 때까지 위와 같은 방식이 반복되면서 테잎(10)의 각 단위 영역에 있는 접합부에 도포제를 도포하게 된다.
한편, 상기 헤드 유닛에 조명 유닛(420)이 구비된 경우 조명 유닛이 테잎의 위쪽과 아래쪽에 구비되므로 그 두 개의 조명 유닛(420)으로 지지 블록(440)의 상면에 흡착된 테잎의 단위 영역을 테잎(10)의 상측과 하측에서 테잎(10)을 조명하게 된다.
상기 테잎 지지장치의 제3 실시예의 경우 상기 지지 블록(440)에 흡착된 테 잎(10)의 단위 영역에 있는 접합부를 가열시키지 않고 도포제가 접합부를 도포하게 되는 것이다. 이와 같은 경우 별도의 가열 수단으로 테잎(10)을 가열시킬 수 있다.
본 발명은 상기 지지 블록(440)의 상면에 흡착된 테잎의 단위 영역을 조명시 상기 테잎(10)의 바로 아래에서 테잎(10)의 하면을 조명하게 되므로 테잎(10)의 단위 영역에 있는 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)과 얼라인 마크가 밝게 조명된다. 도 11은 헤드 유닛에 구비된 조명 유닛(420)이 테잎(10)을 조명할 때 카메라(240)가 단위 단자 조립체(1)와 칩(2) 그리고 얼라인 마크를 캡쳐한 이미지이고, 도 12는 테잎 지지장치에 구비된 조명 유닛(420)이 테잎(10)을 조명할 때 카메라(240)가 단위 단자 조립체(1)와 칩(2) 그리고 얼라인 마크를 캡쳐한 이미지이다. 도 12의 이미지가 선명함을 알 수 있다. 상기 카메라(240)가 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)과 얼라인 마크의 이미지를 선명하게 캡쳐하게 되므로 제어부가 도포 위치를 정확하게 인식하게 된다. 이로 인하여, 상기 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)의 접합부에 정확하게 도포제를 도포할 수 있게 된다. 또한 카메라(240)가 단위 단자 집합체(1)와 칩(2)과 얼라인 마크의 이미지를 선명하게 캡쳐하게 되므로 모니터에 선명하게 디스플레이하게 된다.
도 1,2는 일반적인 도포 장비를 개략적으로 도시한 평면도 및 정면도,
도 3은 상기 도포 장비에서 도포되는 테잎의 일예를 도시한 평면도,
도 4는 상기 도포 장비를 구성하는 종래 버큠 지그를 도시한 사시도,
도 5,6은 본 발명의 테잎 지지장치 및 그를 구비한 도포장비의 일실시예를 도시한 평면도 및 정면도,
도 7,8은 본 발명에 따른 테잎 지지장치의 제1 실시예를 도시한 평면도 및 측면도,
도 9는 본 발명에 따른 테잎 지지장치의 제2 실시예를 도시한 평면도,
도 10은 본 발명에 따른 테잎 지지장치의 제3 실시예를 도시한 측면도,
도 11은 도포 장비의 헤드 유닛에 구비된 조명 유닛이 테잎을 조명할 때 카메라가 단위 단자 조립체와 칩 그리고 얼라인 마크를 캡쳐한 이미지,
도 12는 도포 장비의 테잎 지지장치에 구비된 조명 유닛이 테잎을 조명할 때 카메라가 단위 단자 조립체와 칩 그리고 얼라인 마크를 캡쳐한 이미지.

Claims (9)

  1. 베이스 부재;
    상기 베이스 부재에 구비되는 램프 장착부;
    상기 램프 장착부에 장착되는 램프를 포함하는 조명 유닛;
    상기 램프를 덮도록 상기 베이스 부재에 결합되고, 상기 조명 유닛에서 발생되는 빛이 투과되며, 단열 재료로 이루어지는 중간 블록;
    상기 중간 블록에 결합되고, 테잎을 지지하며, 상기 중간 블록을 투과한 빛이 상기 테잎의 하면을 비추도록 빛이 투과되는 지지 블록; 및
    상기 지지 블록에 구비되는 히터를 포함하며,
    버큠 그루브가 상기 지지 블록의 상면 가장자리를 따라 형성되며, 상기 버큠 그루브 내에는 테잎의 단위 영역이 위치되는 것을 특징으로 하는 테잎 지지장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 중간 블록에는 버큠 튜브가 연결되는 버큠 홀이 구비되고, 상기 지지 블록에는, 상기 버큠 그루브에 형성되며 상기 버큠 홀과 연통되는 연통 홀이 구비된 것을 특징으로 하는 테잎 지지장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 램프는 상기 베이스 부재의 상면에 복수로 구비되며, 상기 조명 유닛은 상기 램프들에 연결되는 전원 공급선을 포함하는 테잎 지지장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 지지 블록은, 그 가운데에 빛 통과 구멍이 형성되는 블록 몸체와, 상기 빛 통과 구멍을 막도록 상기 블록 몸체의 상부에 결합되는 투명판을 포함하는 것을 특징으로 하는 테잎 지지장치.
  7. 테잎을 이송시키는 이송 유닛;
    상기 테잎의 위쪽에 위치하며, 상기 테잎의 상면을 조명하는 제1 조명 유닛과 상기 테잎을 캡쳐하는 카메라를 포함하는 헤드 유닛;
    베이스 부재; 상기 베이스 부재에 구비되는 램프 장착부; 상기 램프 장착부에 장착되는 램프를 포함하는 제2 조명 유닛; 상기 램프를 덮도록 상기 베이스 부재에 결합되고, 상기 제2 조명 유닛에서 발생되는 빛이 투과되며, 단열 재료로 이루어지는 중간 블록; 상기 중간 블록에 결합되고, 테잎을 지지하며, 상기 중간 블록을 투과한 빛이 상기 테잎의 하면을 비추도록 빛이 투과되는 지지 블록; 및 상기 지지 블록에 구비되는 히터를 포함하는 테잎 지지장치를 포함하며,
    버큠 그루브가 상기 지지 블록의 상면 가장자리를 따라 형성되며, 상기 버큠 그루브 내에는 테잎의 단위 영역이 위치되는 것을 특징으로 하는 도포 장비.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 지지 블록은, 그 가운데에 빛 통과 구멍이 형성되는 블록 몸체와, 상기 빛 통과 구멍을 막도록 상기 블록 몸체의 상부에 결합되는 투명판을 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장비.
  9. 삭제
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