KR101760003B1 - 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관 - Google Patents

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Abstract

진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관에 관한 발명이다. 본 발명의 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관은, 오일이 유동되는 배기관 바디; 및 상기 배기관 바디 내에 마련되며, 상기 배기관 바디 내에서 유동되는 오일을 응축시키는 냉각관을 포함한다.

Description

진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관{Exhaust pipe of oil diffusion pump for vacuum deposition device}
본 발명은, 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 내부에 냉각관이 적용되기 때문에 오일을 응축시킬 수 있어 오일의 누출현상을 방지할 수 있고, 이로 인해 진공의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론 장치의 성능과 수명을 향상시킬 수 있으며, 나아가 환경오염을 예방할 수 있는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관에 관한 것이다.
휴대폰 케이스 등의 부품은 성형 후, 증착 공정을 거친 다음에 후처리를 통해 제품으로 출시될 수 있다.
증착 공정에는 다양한 방식이 있을 수 있고, 제품의 특성에 맞게 선택되어 사용되고 있는 것으로 알려져 있는데, 제품들 중에서 특히, 휴대폰 케이스의 경우에는 주로 진공증착 공정이 수반될 수 있다.
휴대폰 케이스에 대한 진공증착 공정은 금속을 증기상태로 녹여 케이스의 표면에 입히는 과정을 가리킨다.
진공 중에서 금속을 가열하면 금속은 증발, 비산될 수 있으며, 진공 중에 있는 휴대폰 케이스에 박막을 이루어 금속화됨으로써 UV 코팅하기에 좋은 조건으로 만들게 된다.
물론, 증착한 휴대폰 케이스의 경우, 전파를 차폐하는 현상이 생겨 수신율에 영향을 줄 수 있으므로 주의가 필요한데, 이러한 조건을 만족시키기 위한 장치로서, 진공증착장치가 요구된다.
한편, 진공증착장치에는 오일 확산펌프(oil diffusion pump)가 마련될 수 있다. 참고로, 확산펌프(diffusion pump)란 진공증착장치에서 고진공을 얻기 위해 사용되는 진공펌프를 가리킨다.
확산펌프는 수은이나 오일(oil, 기름)의 증기를 고속도로 내뿜거나 확산시킴으로써, 주위에 있는 공기 분자를 이 증기에 휩쓸리게 하여 배기한다. 따라서 고도의 진공이 만들어질 수 있게끔 한다.
이처럼 기체(증기)의 확산을 이용하여 배기를 하는 진공 펌프를 확산펌프라 하는데, 이러한 확산펌프에는 수은확산펌프 및 오일 확산펌프가 있다.
이중에서 후자의 오일 확산펌프의 경우에는 배기관이 부속되는데, 종래기술에 따른 배기관은 단순히 차단판만 있는 구조라서 오일이 그대로 누출되는 문제점이 있다.
종래기술처럼 오일이 그대로 누출될 경우에는 누출되는 오일이 1차 펌프, 2차 펌프로 유입될 소지가 높아서 장치의 성능이 저하될 수 있고, 이로 인해 그 수명이 단축될 수 있다는 점을 고려해볼 때, 신개념의 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관에 대한 필요성이 대두된다.
대한민국특허청 출원번호 제10-1992-0022096호 대한민국특허청 출원번호 제10-1995-0033258호 대한민국특허청 출원번호 제10-1995-0054156호 대한민국특허청 출원번호 제10-2006-0064782호
본 발명의 목적은, 내부에 냉각관이 적용되기 때문에 오일을 응축시킬 수 있어 오일의 누출현상을 방지할 수 있고, 이로 인해 진공의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론 장치의 성능과 수명을 향상시킬 수 있으며, 나아가 환경오염을 예방할 수 있는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 오일이 유동되는 배기관 바디; 및 상기 배기관 바디 내에 마련되며, 상기 배기관 바디 내에서 유동되는 오일을 응축시키는 냉각관을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관에 의해 달성된다.
상기 냉각관은, 정면에서 볼 때, 영문자 U자 형상을 가질 수 있다.
상기 배기관 바디의 일측에는 배기관 헤드가 탑재되며, 상기 배기관 헤드에는 물이 유동되는 급수라인이 연결되며, 상기 냉각관은 상기 급수라인에 연통될 수 있다.
상기 냉각관에는 상기 오일과의 접촉면적을 배가시키는 다수의 핀(pin)이 결합될 수 있다.
상기 핀은 지그재그 방식으로 배열될 수 있다.
본 발명에 따르면, 내부에 냉각관이 적용되기 때문에 오일을 응축시킬 수 있어 오일의 누출현상을 방지할 수 있고, 이로 인해 진공의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론 장치의 성능과 수명을 향상시킬 수 있으며, 나아가 환경오염을 예방할 수 있는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관이 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관의 구조도이다.
도 2는 냉각관의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관의 구조도이다.
도 4은 본 발명의 제3 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관의 구조도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
그러나 본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
예컨대, 실시예들은 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있기 때문에 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
또한 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니기 때문에 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
본 명세서에서, 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 그리고 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
따라서 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 구성 요소, 잘 알려진 동작 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.
한편, 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 사전적 의미에 제한되지 않으며, 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 실시예의 설명 중 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하며, 경우에 따라 동일한 참조부호에 대한 설명은 생략하도록 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관의 구조도이고, 도 2는 냉각관의 정면도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관(100)은 내부에 냉각관(130)이 적용되기 때문에 오일을 응축시킬 수 있어 오일의 누출현상을 방지할 수 있고, 이로 인해 진공의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론 장치의 성능과 수명을 향상시킬 수 있으며, 나아가 환경오염을 예방할 수 있도록 한 것이다.
이러한 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관(100)은 배기관 바디(110)와, 배기관 바디(110)에 탑재되는 냉각관(130)을 포함한다.
배기관 바디(110)는 통 형상의 구조물이다. 이러한 배기관 바디(110)의 내부로 오일이 유동되는 공간(S)이 형성된다.
배기관 바디(110)의 일측에는 배기관 헤드(120)가 탑재된다. 배기관 헤드(120)에는 물을 급수하는 급수라인(150)이 마련된다.
급수라인(150)은 배기관 헤드(120)의 내부로 물이 유동되게 한다. 이러한 급수라인(150)에 냉각관(130)이 연통된다.
한편, 냉각관(130)은 배기관 바디(110) 내에 마련되며, 배기관 바디(110) 내에서 유동되는 오일을 응축시키는 역할을 한다.
본 실시예에서 냉각관(130)은 급수라인(150)과 연결됨으로써, 물이 연속해서 순환될 수 있다. 따라서 응축효율인 높아질 수 있다. 반드시 그러할 필요는 없으나 냉각관(130)은 정면에서 볼 때, 영문자 U자 형상을 가질 수 있다.
이처럼 종전과 달리, 배기관 바디(110) 내에 냉각관(130)이 배치되기 때문에 배기관 바디(110) 내로 유동되는 오일을 응축시킬 수 있어 오일의 누출현상을 방지할 수 있다. 따라서 진공의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론 장치의 성능과 수명을 향상시킬 수 있으며, 나아가 환경오염을 예방할 수 있다.
이와 같은 역할을 담당하는 냉각관(130)에는 다수의 핀(140, pin)이 결합된다. 이때, 다수의 핀(140)은 상하 좌우 지그재그 방식으로 배열됨으로써 오일과의 접촉면적을 증가시키며, 이로 인해 오일의 응축효율이 높아질 수 있게끔 한다.
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 내부에 냉각관(130)이 적용되기 때문에 오일을 응축시킬 수 있어 오일의 누출현상을 방지할 수 있고, 이로 인해 진공의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론 장치의 성능과 수명을 향상시킬 수 있으며, 나아가 환경오염을 예방할 수 있게 된다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관의 구조도이다.
이 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관(200) 역시, 배기관 바디(110)와, 배기관 바디(110)에 탑재되는 냉각관(130)을 포함한다.
그리고 냉각관(130)에는 오일과의 접촉면적을 증가시키기 위해 상하 좌우 지그재그 방식으로 배열되는 다수의 핀(240)이 마련된다.
이와 같은 구조에서 핀(240)들에는 오일과의 접촉면적을 좀 더 증대시켜서 응축효율을 향상시킬 수 있는 접촉면적 증가용 돌기부(241)가 마련된다. 접촉면적 증가용 돌기부(241)들은 핀(240)의 둘레방향을 따라 다수 개가 적용될 수 있다.
본 실시예가 적용되더라도 내부에 냉각관(130)이 적용되기 때문에 오일을 응축시킬 수 있어 오일의 누출현상을 방지할 수 있고, 이로 인해 진공의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론 장치의 성능과 수명을 향상시킬 수 있으며, 나아가 환경오염을 예방할 수 있다.
도 4은 본 발명의 제3 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관의 구조도이다.
이 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관(300) 역시, 배기관 바디(110)와, 배기관 바디(110)에 탑재되는 냉각관(130)을 포함한다.
그리고 냉각관(130)에는 오일과의 접촉면적을 증가시키기 위해 지그재그 방식으로 배열되는 다수의 핀(340a~340c)이 마련된다.
이와 같은 구조에서 핀(340a~340c)들은 배기관 헤드(120) 쪽으로 갈수록 반경방향의 폭이 점진적으로 증가되는 구조를 갖는다.
본 실시예처럼 핀(340a~340c)들이 배기관 헤드(120) 쪽으로 갈수록 반경방향의 폭이 점진적으로 증가될 경우, 오일과의 접촉면적을 증가시키는 데에 도움이 될 수 있으며, 이로 인해 축효율을 향상시킬 수 있다.
본 실시예가 적용되더라도 내부에 냉각관(130)이 적용되기 때문에 오일을 응축시킬 수 있어 오일의 누출현상을 방지할 수 있고, 이로 인해 진공의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론 장치의 성능과 수명을 향상시킬 수 있으며, 나아가 환경오염을 예방할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 배기관 110 : 배기관 바디
120 : 배기관 헤드 130 : 냉각관
140 : 핀 150 : 급수라인

Claims (5)

  1. 통 형상의 구조물로 내부로 오일이 유동되는 공간(S)이 형성되어 오일이 유동되는 배기관 바디;
    상기 배기관 바디 내에 영문자 U자 형상으로 구비되어 배기관 바디 내에서 유동되는 오일을 응축시키는 냉각관;
    상기 배기관 바디의 일측에 탑재되는 배기관 헤드; 및
    상기 배기관 헤드에, 상기 배기관 헤드 내부로 물을 급수하도록 연결되는 급수라인을 포함하고,
    상기 냉각관은 상기 급수라인에 연통되고,
    상기 냉각관에는 상기 오일과의 접촉면적을 배가시키도록 결합되는 다수의 핀(240);
    상기 핀(240)에는 오일과의 접촉면적을 증대시켜서 응축효율을 향상시킬 수 있도록 상기 핀(240)의 둘레방향을 따라 다수 개가 구비된 접촉면적 증가용 돌기부(241)를 포함하고,
    상기 핀(240)은 냉각관을 중심으로 상하 좌우 지그재그 방식으로 배열되는 것을 특징으로 하는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배기관.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001174181A (ja) * 1999-10-06 2001-06-29 Mitsubishi Heavy Ind Ltd フィンアンドチューブ熱交換器及びこれを備えた空気調和機
JP2012227367A (ja) * 2011-04-20 2012-11-15 Nippon Soken Inc 冷却フィン構造

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