KR101738386B1 - 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플 - Google Patents

Abstract

진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플에 관한 발명이다. 본 발명의 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플은, 전면 플레이트; 상기 전면 플레이트와 이격배치되는 후면 플레이트; 및 상기 전면 플레이트 영역에 배치되되 분자가 배출될 수 없도록 갭(gap)이 없는 구조로 적용되는 다수의 갭 차단용 날개를 포함한다.

Description

진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플{Baffle of oil diffusion pump for vacuum deposition device}

본 발명은, 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 날개가 종전보다 길게 연장됨으로써 정면에서 보았을 때 틈새(gap) 없이 가려줄 수 있어 오일증기가 누설되지 않으며, 또한 날개와 냉각관이 나선형으로 밀착 고정됨으로써 오일의 응축효율을 향상시킬 수 있음은 물론 저항이 줄어들게 되어 종전과 달리 60% 이상의 효율을 낼 수 있는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플에 관한 것이다.

휴대폰 케이스 등의 부품은 성형 후, 증착 공정을 거친 다음에 후처리를 통해 제품으로 출시될 수 있다.

증착 공정에는 다양한 방식이 있을 수 있고, 제품의 특성에 맞게 선택되어 사용되고 있는 것으로 알려져 있는데, 제품들 중에서 특히, 휴대폰 케이스의 경우에는 주로 진공증착 공정이 수반될 수 있다.

휴대폰 케이스에 대한 진공증착 공정은 금속을 증기상태로 녹여 케이스의 표면에 입히는 과정을 가리킨다.

진공 중에서 금속을 가열하면 금속은 증발, 비산될 수 있으며, 진공 중에 있는 휴대폰 케이스에 박막을 이루어 금속화됨으로써 UV 코팅하기에 좋은 조건으로 만들게 된다.

물론, 증착한 휴대폰 케이스의 경우, 전파를 차폐하는 현상이 생겨 수신율에 영향을 줄 수 있으므로 주의가 필요한데, 이러한 조건을 만족시키기 위한 장치로서, 진공증착장치가 요구된다.

한편, 진공증착장치에는 오일 확산펌프(oil diffusion pump)가 마련될 수 있다. 참고로, 확산펌프(diffusion pump)란 진공증착장치에서 고진공을 얻기 위해 사용되는 진공펌프를 가리킨다.

확산펌프는 수은이나 오일(oil, 기름)의 증기를 고속도로 내뿜거나 확산시킴으로써, 주위에 있는 공기 분자를 이 증기에 휩쓸리게 하여 배기한다. 따라서 고도의 진공이 만들어질 수 있게끔 한다.

이처럼 기체(증기)의 확산을 이용하여 배기를 하는 진공 펌프를 확산펌프라 하는데, 이러한 확산펌프에는 수은확산펌프 및 오일 확산펌프가 있다.

이중에서 후자의 오일 확산펌프의 경우에는 배플이 부속된다. 이때, 종래기술에 따른 오일 확산펌프의 배플은 정면에서 봤을 때 완벽하게 막히지 않고 틈새(gap)가 있는 구조로 적용되는 것이 일반적이다. 따라서 이와 같은 틈새를 통해서 오일증기가 빠져나가 챔버로 진입될 수 있는 단점이 있다.

이에, 이러한 현상의 예방을 위하여 냉동코일 등을 보조적으로 설치하고 있지만 이러한 경우, 온도에 민감한 챔버의 온도에 영향을 미치게 되어 완벽한 재현성을 구현하지 못하는 단점이 있다.

뿐만 아니라 종래기술의 경우에는 배플 날개가 V자 형상으로 되어 있어서 저항이 심하게 발생됨에 따라 원래 능력의 30% 정도의 효율만을 낼 수 있는데, 이로 인해 보다 크고 소비전력이 높은 오일 확산펌프가 적용될 수밖에 없었다는 점을 고려해볼 때, 이러한 점들을 해결할 수 있는 신개념의 오일 확산펌프의 배플에 대한 기술 개발이 요구된다.

대한민국특허청 출원번호 제10-2004-0098778호 대한민국특허청 출원번호 제10-2010-0053705호 대한민국특허청 출원번호 제10-2012-7026215호 대한민국특허청 출원번호 제10-2015-0003178호

본 발명의 목적은, 날개가 종전보다 길게 연장됨으로써 정면에서 보았을 때 틈새(gap) 없이 가려줄 수 있어 오일증기가 누설되지 않으며, 또한 날개와 냉각관이 나선형으로 밀착 고정됨으로써 오일의 응축효율을 향상시킬 수 있음은 물론 저항이 줄어들게 되어 종전과 달리 60% 이상의 효율을 낼 수 있는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플을 제공하는 것이다.

상기 목적은, 전면 플레이트; 상기 전면 플레이트와 이격배치되는 후면 플레이트; 및 상기 전면 플레이트 영역에 배치되되 분자가 배출될 수 없도록 갭(gap)이 없는 구조로 적용되는 다수의 갭 차단용 날개를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플에 의해 달성된다.

상기 전면 플레이트와 상기 후면 플레이트를 연결하는 연결부를 더 포함할 수 있다.

상기 다수의 갭 차단용 날개에는 냉각관이 연결될 수 있다.

상기 전면 플레이트의 단부에는 제일 사이드에 배치되는 상기 냉각관의 노출을 저지시키는 더미리브가 더 형성될 수 있다.

상기 다수의 갭 차단용 날개는 경사진 구조를 가지며, 상기 갭 차단용 날개들 중에서 중앙에 배치되는 갭 차단용 날개는 단부가 막힌 구조를 가질 수 있다.

본 발명에 따르면, 날개가 종전보다 길게 연장됨으로써 정면에서 보았을 때 틈새(gap) 없이 가려줄 수 있어 오일증기가 누설되지 않으며, 또한 날개와 냉각관이 나선형으로 밀착 고정됨으로써 오일의 응축효율을 향상시킬 수 있음은 물론 저항이 줄어들게 되어 종전과 달리 60% 이상의 효율을 낼 수 있는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플이 제공된다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플의 정면도이다.
도 2는 도 1의 횡단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플의 횡단면도이다.
도 4은 본 발명의 제3 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플의 횡단면도이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.

그러나 본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.

예컨대, 실시예들은 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있기 때문에 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

또한 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니기 때문에 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.

본 명세서에서, 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 그리고 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

따라서 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 구성 요소, 잘 알려진 동작 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.

한편, 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 사전적 의미에 제한되지 않으며, 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 실시예의 설명 중 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하며, 경우에 따라 동일한 참조부호에 대한 설명은 생략하도록 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플의 정면도이고, 도 2는 도 1의 횡단면도이다.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플(100)은 날개가 종전보다 길게 연장됨으로써 정면에서 보았을 때 틈새(gap) 없이 가려줄 수 있어 오일증기가 누설되지 않으며, 또한 날개에 냉각관이 원형 링 형상으로 밀착 고정됨으로써 오일의 응축효율을 향상시킬 수 있음은 물론 저항이 줄어들게 되어 종전과 달리 60% 이상의 효율을 낼 수 있도록 한 것이다.

이러한 역할을 담당하는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플(100)은 전면 플레이트(110), 후면 플레이트(120), 연결부(130), 그리고 다수의 갭 차단용 날개(140)를 포함할 수 있다.

전면 플레이트(110)는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플(100)의 전면을 이룬다. 전면 플레이트(110)는 도넛 형상을 이룰 수 있다.

후면 플레이트(120)는 전면 플레이트(110)와 이격배치되는 플레이트로서, 전면 플레이트(110)와 동일한 형상을 갖는다. 도시하지는 않았으나 후면 플레이트(120)에는 다수의 통공이 형성될 수 있다.

연결부(130)는 전면 플레이트(110)와 후면 플레이트(120)를 연결하는 역할을 한다. 연결부(130)의 주변에는 전면 플레이트(110)와 후면 플레이트(120)의 연결 시 이들의 연결 상태를 보강하는 보강리브(131)가 부속될 수 있다.

한편, 다수의 갭 차단용 날개(140)는 전면 플레이트(110) 영역에 배치되되 분자가 배출될 수 없도록 갭(gap)이 없는 구조로 적용된다. 이때, 다수의 갭 차단용 날개(140)는 경사진 구조를 갖는다.

이처럼 다수의 갭 차단용 날개(140)가 경사진 구조를 가짐으로써, 내부의 분자가 나갈 수 있는 갭(gap)이 없어질 수 있는데, 이로 인해 저항값이 낮아져서 펌프의 효율이 향상될 수 있다.

다시 말해, 본 실시예의 경우, 갭 차단용 날개(140)가 종전보다 길게 연장됨으로써 정면에서 보았을 때 틈새(gap) 없이 가려줄 수 있어 오일증기가 누설되지 않으며, 또한 날개에 냉각관이 원형 링 형상으로 밀착 고정됨으로써 오일의 응축효율을 향상시킬 수 있음은 물론 저항이 줄어들게 되어 종전과 달리 60% 이상의 효율을 낼 수 있게 된다.

갭 차단용 날개(140)들 중에서 중앙에 배치되는 갭 차단용 날개(140a)는 중앙 단부가 막힌 구조를 갖는다.

특히, 다수의 갭 차단용 날개(140)에는 냉각관(150)이 연결되는데, 본 실시예의 경우에는 이러한 냉각관(150)만으로도 확산 제어가 가능해지는 이점이 있다.

냉각관(150)은 전술한 것처럼 갭 차단용 날개(140)들에 연결되는데, 제일 외측 사이드에 배치되는 냉각관(150)은 더미리브(111)에 의해 그 노출이 저지된다. 다시 말해, 본 실시예에서 전면 플레이트(110)의 단부에는 제일 외측 사이드에 배치되는 냉각관(150)의 노출을 저지시키는 더미리브(111)가 더 형성된다.

이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 날개가 종전보다 길게 연장됨으로써 정면에서 보았을 때 틈새(gap) 없이 가려줄 수 있어 오일증기가 누설되지 않으며, 또한 날개에 냉각관이 원형 링 형상으로 밀착 고정됨으로써 오일의 응축효율을 향상시킬 수 있음은 물론 저항이 줄어들게 되어 종전과 달리 60% 이상의 효율을 낼 수 있게 된다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플의 횡단면도이다.

이 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플(200) 역시, 전면 플레이트(110), 후면 플레이트(120), 연결부(130), 그리고 다수의 갭 차단용 날개(240a~240c)를 포함할 수 있다.

이와 같은 구조에서 갭 차단용 날개(240a~240c)들은 중앙에서 반경방향 외측으로 갈수록 그 길이가 점진적으로 길어지는 구조를 갖는다.

본 실시예가 적용되더라도 날개가 종전보다 길게 연장됨으로써 정면에서 보았을 때 틈새(gap) 없이 가려줄 수 있어 오일증기가 누설되지 않으며, 또한 날개와 냉각관이 나선형으로 밀착 고정됨으로써 오일의 응축효율을 향상시킬 수 있음은 물론 저항이 줄어들게 되어 종전과 달리 60% 이상의 효율을 낼 수 있다.

도 4은 본 발명의 제3 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플의 횡단면도이다.

이 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플(300) 역시, 전면 플레이트(110), 후면 플레이트(120), 연결부(130), 그리고 다수의 갭 차단용 날개(340a~340c)를 포함할 수 있다.

이와 같은 구조에서 갭 차단용 날개(340a~340c)들은 중앙에서 반경방향 외측으로 갈수록 그 경사도가 점진적으로 낮아지는 구조를 갖는다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100 : 배플 110 : 전면 플레이트
111 : 더미리브 120 : 후면 플레이트
130 : 연결부 140 : 갭 차단용 날개
150 : 냉각관

Claims (5)

1. 도넛 형상으로 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플(100) 전면을 이루는 전면 플레이트(110);
   상기 전면 플레이트(110)와 동일한 형상으로 전면 플레이트(110)와 이격배치되는 후면 플레이트(120);
   상기 전면 플레이트(110)와 상기 후면 플레이트(120)를 연결하며, 주변에는 전면 플레이트(110)와 후면 플레이트(120)의 연결 시 이들의 연결 상태를 보강하는 보강리브(131)가 구비된 연결부(130);
   상기 전면 플레이트(110) 영역에 배치되되 내부의 분자가 배출될 수 없도록 갭(gap)이 없는 경사진 구조로 적용되는 다수의 갭 차단용 날개(140):
   상기 다수의 갭 차단용 날개(140)에 원형 링 형상으로 밀착 고정되는 냉각관(150)을 포함하되,
   상기 전면 플레이트(110)의 단부에는 제일 외측 사이드에 배치되는 냉각관(150)의 노출을 저지시키는 더미리브(111)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공증착장치용 오일 확산펌프의 배플.
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