KR101742103B1 - 단열재 균열방지를 위한 가열로용 커버부재 및 이를 장착한 가열로 - Google Patents

단열재 균열방지를 위한 가열로용 커버부재 및 이를 장착한 가열로 Download PDF

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Abstract

본 발명은 단열재의 균열방지를 위한 가열로용 커버부재 및 이를 장착한 가열로에 관한 것으로, 커버부재에 있어서 가열부 내부에 안착되는 라운드부와, 상기 라운드부의 양측에 수평방향으로 각각 연장되는 날개부로 형성되는 커버부재를 제공한다. 또한, 재료시험용 가열로에 있어서 복수개의 몸체부재로 분리되도록 형성되며, 내측에 시편이 배치되는 공간부가 구비된 가열로몸체, 상기 공간부 내주면에 형성되어 열을 발생시키는 가열부, 상기 공간부의 온도를 계측하는 온도계측부 및, 상기 가열부가 급격한 온도변화로 인해 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 가열부의 상단에 구비되는 커버부재를 포함하는 커버부재를 장착한 가열로를 제공한다.

Description

단열재 균열방지를 위한 가열로용 커버부재 및 이를 장착한 가열로{Furnace with shielded plate for anti cracking of refractory and shield plate}
본 발명은 단열재 균열 및 손상방지를 위한 가열로용 커버부재 및 이를 장착한 가열로에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가열로 개방 시 급격한 온도변화로 단열재가 손상되는 것을 방지하기 위해 석영으로 형성된 커버부재(Quartz Shielded Plate)를 장착한 가열로에 관한 것이다.
일반적으로 고온 재료시험은 내부가 고온상태로 유지되는 가열로와 시편에 하중을 가하는 하중축으로 구성되며, 가열로에는 하중축이 통과할 수 있는 관통홀이 형성된다.
하중축은 관통홀을 통해 가열로의 내측부로 삽입되어 시편에 하중을 가하게 된다.
이러한, 재료시험용 가열로는 시험 조건에 따라 가열로 내부의 온도를 상승시킨 후, 하중축을 통해 시편에 하중을 가해 시편의 기계적 성질을 측정하게 된다. 측정 후에는 가열로의 내부 온도가 내려갈 때까지 기다린 후 가열로를 개방하여야 하는데, 이는 가열로의 온도가 높은 상태에서 가열로를 개방할 경우 가열로 내부의 온도와 외부 공기의 온도 차이로 인해 단열재에 급격한 온도변화가 발생하여 단열재가 손상되는 문제가 발생하기 때문이다. 따라서, 가열로 내부 온도가 내려갈 때까지 기다린 후 가열로를 개방해야 하여 대기시간이 많이 소요되므로 하루에 1회 이상 시험하기가 어렵다.
또한, 기존 단열재의 경우 고온 상태에서 가열로를 개방하는 경우 수십 회 정도 사용 후에는 단열재에 크랙이 발생하게 되어, 단열재를 교체 해주어야 하는데, 단열재를 교체하기 위해서는 기존의 단열재를 모두 긁어 낸 후 새로운 단열재를 보수하기 때문에 많은 시간과 비용 및 노동력이 소모되게 된다.
종래에는 탄화규소와 금속규소를 주성분으로 하는 원료조성에 소량의 카본블랙을 첨가하여 유기바인더와 함께 혼합해서 성형체를 얻을 후 질소 분위기 중에서 2차에 걸쳐 열처리하여 금속규소를 질화규소로 변환시켜 잔류 금속규소와 기공을 최소화하여 내부조직을 치밀화 시킴으로써 강도의 향상을 도모한 고강도 단열재와, 단열재의 표면에 순도 높은 실리카를 피복하는 공정을 통해 단열재 표면에 고강도 층을 형성하여 내구성 및 강도를 향상시킨 단열재에 대해 개시되어있으나, 이는, 단순히 기존 단열재의 강도를 개선한 것에 불구한 것으로, 고온상태의 가열로를 개방하였을 시 외부 공기로 인해 단열재에 크랙이 발생되는 문제가 있어 고온상태에서 가열로를 개방하기에는 어려움이 있다.
대한민국등록특허 제 10-0214062호 (1999. 05. 18.) 대한민국등록특허 제1999-0085073호 (1999. 12. 06.)
본 발명의 목적은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 가열로의 내부 온도가 높은 상태에서 가열로를 개방하여도 단열재에 손상이 발생하지 않도록 구비된 석영으로 형성된 커버부재(Quartz Shielded Plate)를 장착한 가열로를 제공하기 위한 것이다.
또한, 가열로를 고온에서 개방 가능하게 형성하여 재료시험용 가열로의 사용 시간을 단축할 수 있도록 하기 위한 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않는다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 커버부재는 재료시험용 가열로의 가열부에 안착되는 라운드부와, 상기 라운드부의 양측에 수평방향으로 각각 연장되는 날개부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 상기 커버부재에는 온도계측부를 구비할 수 있는 제1계측홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 라운드부 및 상기 날개부는 석영 또는 석영유리로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버부재의 연화점은 1200℃ 이상인 것을 특징한다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 커버부재 및 이를 장착한 가열로는 재료시험용 가열로에 있어서, 복수개의 몸체부재로 분리되도록 형성되며, 내측에 시편이 배치되는 공간부가 구비된 가열로몸체; 상기 공간부 내주면에 형성되어 열을 발생시키는 가열부; 상기 공간부의 온도를 계측하는 온도계측부; 및 상기 가열부의 내부에 구비되어 급격한 온도변화로 인해 상기 가열부가 손상되는 것을 방지하는 커버부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
구체적으로, 상기 커버부재는 상기 가열부 내부에 안착되는 라운드부와, 상기 라운드부의 양측에 수평방향으로 각각 연장되어 상기 가열로몸체의 프레임에 안착되는 날개부로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가열부는 단열재로 형성되고, 상기 온도계측부를 구비할 수 있는 제 2계측홀이 형성되며, 상기 가열부에는 다수개의 발열체가 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버부재에는 제 1계측홀이 형성되며, 상기 제 1계측홀은 상기 제 2계측홀과 동일한 위치에 형성되어 도통되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버부재는 석영 또는 석영유리로 형성되는 것을 특징한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 가열부 내부에 커버부재를 구비하여 내부온도가 높은 상태에서 가열로를 개방하여도 가열부의 단열재가 손상되는 것을 방지하는 효과가 있다.
또한, 가열로를 고온에서 개방 가능하게 형성하므로 가열로의 회당 사용 시간이 감소되어 종래기술에 비해 가열로를 사용하여 더 많은 시험을 할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 가열부의 내부에 커버부재를 구비하여 단열재의 손상을 방지하므로 단열재 손상으로 인해 발생되는 단열재 교체 비용과 노동력을 절감할 수 있다는 효과가 있다.
도 1는 본 발명에 따른 몸체부재와 커버부재의 결합 사시도이다.
도 2은 본 발명에 따른 시편과 하중축을 구비한 가열부의 단면도이다.
도 3는 본 발명에 따른 커버부재의 사시도이다.
도 4은 본 발명에 따른 커버부재가 결합된 가열로의 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호로 표시한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1 내지 도 4는 본 발명에 따른 가열로(100)를 나타낸 도면으로서, 본 발명에 따른 가열로(100)는 가열로몸체(110), 가열부(130), 온도계측부(미도시), 커버부재(170)를 포함한다.
가열로몸체(110)는 인장시험, 크리프(creep)시험, 스트레스 파단 시험 등의 수행 시 시편(122)을 고온 상태로 유지하기 위한 것으로, 복수개의 몸체부재로 분리 가능하도록 형성되며, 내측에는 시편(122)이 배치되는 공간부(120)가 형성된다. 이러한 가열로몸체(110)는 길이방향을 기준으로 좌측몸체부재(112)와 우측몸체부재(114)로 분리될 수 있으며, 각각의 몸체부재(112, 114)는 힌지에 의해 회동가능 하도록 형성될 수 있다.
공간부(120)는 내측에 배치된 시편(122)의 기계적 성질을 측정하기 위한 곳으로, 가열로몸체(110)의 내부에 원통형으로 형성될 수 있으며, 공간부(120)의 중심을 기준으로 좌측몸체부재(112)의 공간부(120)와 우측몸체부재(114)의 공간부(120)로 각각 분리될 수 있다.
가열로몸체(110)의 양 끝단에는 하중축 삽입구(116)가 공간부(120)와 연통되게 형성될 수 있으며, 하중축 삽입구(116)의 둘레에는 후술하는 가열부(130)에 의해 발생한 열이 가열로몸체(110) 외부로 방출되는 것을 방지하기 위한 단열재(118)가 더 형성될 수 있다.
하중축 삽입구(116)에는 공간부(120)에 배치된 시편(122)을 장착하는 하중축(124)이 각각 구비될 수 있다. 예를 들어, 하중축(124)에는 시편(122)에 인장력을 가하기 위한 인장력 적용부(도시되지 않음)가 설치되고, 인장력적용부는 각각의 하중축(124)에 설치될 수 있다. 인장력적용부는 시편(122)에 하중을 가하기 위한 것으로 시편(122)의 양측에 하중축(124)를 연결한 후 각각의 하중축(124)를 잡아당김으로써 시편(122)의 인장력을 측정하게 된다.
가열부(130)는 공간부(120)에 배치된 시편(122)에 열을 가해주기 위한 것으로, 공간부(120)의 내주면에 형성된다. 이러한 가열부(130)는 표면이 거친 단열재(132)로 형성되며, 공간부(120)로 열을 발생시키기 위한 다수개의 발열체(134)가 구비된다. 발체열(134)는 Fe-Cr-Al계의 전기 저항 발열체인 칸탈(kanthal)로 이루어져 1000℃이상의 온도로 가열해줄 수 있으며, 단열재(132)는 내화 콘크리트, 내화 점토, 내화 모르타르 및 내화 시멘트 등 고온에서 물리적, 화학적 변형에 내성이 있는 재료라면 다양하게 적용 가능하다.
바람직하게, 단열재는 중량%로 전융질 알루미나 41이상 내지 63중량% 이하, 하소알루미나 5이상 내지 12중량% 이하, 실리카 초미분 3이상 내지 6중량% 이하, 세라믹 화이버 20이상 내지 30중량% 이하, 유기 화이버 3이상 내지 5중량% 이하, 알루미나 시멘트 5이상 내지 7중량% 이하로 이루어질 수 있다.
전융 알루미나는 주원료로 사용되며 고온에서 사용되는 단열재의 내화도 및 내침식성을 촉진시켜 소성강도를 높이는 역할을 한다. 사용량이 41중량% 미만이 되면 단열재의 내화도가 낮아서 고온에서의 사용에 부적합하고, 사용량이 63 중량% 초과에서는 지나치게 내화도가 높아져서 소결성이 충분치 못하므로 상기 전융 알루미나의 첨가량은 41이상 내지 63중량% 이하가 바람직하다.
하소알루미나는 초미분원료로서 활성이 있으므로 단열재의 소결성을 좋게 하여 고온강도를 높이는 역할을 한다. 하소알루미나는 사용량이 5중량% 미만에서는 사용량이 부족하여 소결성이 저하되고, 사용량이 12중량% 초과에서는 과소결로 인하여 수축이 심하므로 상기 하소알루미나의 첨가량은 5이하 내지 12중량% 이하가 바람직하다.
실리카 초미분은 단열재의 분산성을 높이고 중간온도, 즉 1000℃정도에서 소결촉진효과가 있어 중간온도에서의 소성강도를 높이는 역할을 한다. 실리카 초미분은 사용량이 3중량% 미만에서는 사용량이 부족하여 단열재의 분산효과가 적을 뿐 만 아니라 소결성이 부족하여 소성강도 증진효과가 적고, 사용량이 6중량% 초과에서는 실리카 초미분의 체적이 크므로 사용량이 과다하여 혼련성이 저하되고 지나치게 소결촉진효과가 크므로 가축성을 저하시키므로 실리카초비분의 첨가량은 3이상 내지 6중량% 이하가 바람직하다.
세라믹 화이버는 내화물의 완충작용을 높이고 미세기공을 형성하여 단열효과를 높이는 역할을 한다. 세라믹 화이버가 20중량% 미만에서는 화이버량이 적어서 가축성이 작고 인성증진효과가 작으므로 부적합하고, 사용량이 30중량% 초과에서는 가축성은 좋으나 화이버량이 많아서 화이버끼리 서로 얽혀서 잘 풀어지지 않아 미세기공 형성에는 부적합하므로 세라믹 화이버의 첨가량은 20이상 내지 30중량% 이하가 바람직하다.
유기 화이버(vinyl fiber)는 단열재에서 첨가되어 500℃이상의 온도에서 소실되어 미세기공을 형성하여 단열성을 높이는 역할을 한다. 유기 화이버는 첨가량이 3중량% 미만에서는 사용량이 부족하여 기공형성 효과가 적고, 5중량% 초과에서는 형성된 기공면적이 과다하여 강도를 저하시키므로 유기 화이버의 첨가량은 3이상 내지 5중량% 이하가 바람직하다.
알루미나 시멘트는 단열재의 상온강도와 1200℃ 이상에서 소성강도를 높이는 역할을 한다. 알루미나 시멘트는 사용량이 5중량% 미만에서는 사용량이 부족하여 강도 증진효과가 작고, 사용량이 7중량% 초과에서는 사용량이 과다하여 경화속도가 빠르고 강도가 지나치게 크므로 사용에 부적합하므로, 알루미나 시멘트의 첨가량은 5 이상 내지 7중량% 이하가 바람직하다.
온도계측부는 공간부(120)의 온도를 계측하기위한 것으로, 공간부(120)의 온도계측이 가능한 곳이라면 어디에든 형성 가능하다. 이러한 온도계측부는 복수 개의 계측부재(미도시)와 계측부재가 구비될 수 있는 복수개의 계측홀(152)을 포함한다. 일예로, 온도계측부는 가열부(130)에 형성될 경우, 가열부(130)에는 계측부재를 구비하기 위한 제2계측홀(152b)이 복수 개 형성될 수 있다.
이러한 온도계측부는 외부제어부와 연결될 수 있으며, 외부제어부는 다음과 같이 작동할 수 있다. 측정자가 특정 온도 범위를 설정하게 되면, 출력부를 통해 설정온도를 제어부로 전달하고, 설정온도를 전달받은 제어부는 복수 개의 온도계측부를 통해 측정된 공간부(120) 내의 온도와 비교하여, 공간부(120) 내의 온도가 설정온도에 도달하지 않은 경우 가열부(130)의 발열체(134)의 온도를 조절하는 과정을 통해 공간부(120)의 온도가 설정온도에 도달하도록 제어할 수 있다.
이와 같이 형성된 가열로에는 고온상태의 가열로 개방 시 발생하는 가열부(130)의 손상을 방지하기 위하여 가열로의 공간부(120)의 형상에 일치되거나 반원통형 형태로 형성된 커버부재(170)가 구비된다.
커버부재(170)는 급격한 온도변화로 인해 가열부(130)의 단열재(132)가 손상되는 것을 방지하기 위한 것으로, 가열부(150)의 내부에 구비되며 가열부(150)의 내부란 공간부(120)를 가열부(150)의 내부를 기준으로 한다. 커버부재(170)는 복수 개로 형성되어, 좌측몸체부재(112)와 우측몸체부재(114)의 가열부(130) 내부에 각각 일정간격 이격된 상태로 안착될 수 있으며, 커버부재(170)와 가열부(130)의 이격 간격은 커버부재(170)의 열팽창계수에 따라 조절될 수 있다.
또한, 커버부재(170)는 표면이 거친 단열재(132)로 형성된 가열부(130)의 내부 공간 형상에 일치되며, 삽입되어 구비되므로 별도의 고정수단 없이도 커버부재(170)를 가열부(130)의 내부에 고정할 수 있다.
커버부재(170)는 가열부(130)의 내부에 안착되는 라운드부(172)와 라운드부(172)의 양측에 수평방향으로 각각 연장되며 가열로몸체(110)의 프레임에 안착되는 날개부(174)로 형성된다.
라운드부(172)는 가열로(100) 개방 시 외부 공기가 가열부(130)의 단열재(132)와 직접 접촉하는 것을 방지하여 주며, 라운드부(172)는 가열로의 공간부(120)의 형상에 일치되거나 반원통형 형태로 형성 될 수 있다. 또한, 일예로 라운드부(172)는 다각형의 형태로도 형성될 수 있다. 라운드부(172)가 사각 형태로 형성될 경우, 가열부(130)에 안착 시 빈 공간이 형성되므로, 가열 시 라운드부(172)가 열팽창계수에 따라 팽창되어도 가열부(130)와 라운드(172)부 사이 빈 공간이 형성되어 있어 일정간격 이격된 상태로 안착시키지 않아도 가능하다.
날개부(174)는 라운드부(172)가 가열부(130)의 내부에 안착되어 고정될 수 있게 하며, 가열부(130)와 가열로몸체(110)의 틈으로 외부 공기가 접촉되는 것을 방지하여 줄 수 있도록 형성될 수 있다.
이러한, 커버부재(170)는 1200℃이상의 연화점을 가지면서 열전달계수가 낮은 세라믹이나 산화물 재료로 제작하는 것이 바람직하다. 특히, 투명한 성질을 갖는 석영 또는 석영유리로 제작하는 것이 바람직하며, 이는 가열로 내부 공간부에 단열재(132)의 크랙을 유관으로 관찰할 수 있어 불투명한 재료보다는 보다 단열재(132)의 교체시기를 판단하기 용이한 것이다. 더욱 바람직하게는 석영유리가 철이나 알칼리와 같은 불순물이 거의 함유되어 있지 않는 고순도의 재료이므로 투명하게 형성된 석영커버부재(Quartz shielded Plate)로 제조하는 것이 좋다. 석영유리는 고온에 대한 내열성이 우수하고 열팽창계수가 5.5 x 10-7/deg℃로 매우 작으며, 고온에서도 높은 안정성과 열효율을 가지므로 고온상태에서 가열로를 개방하여도 쉽게 손상되지 않는 장점을 가지고 있어 커버부재로 적합한 것이다.
특히, 커버부재(170)는 열팽창계수가 8x 10-6/deg℃ 이하인 재질을 사용할 수 있다. 커버부재(170)의 열팽창계수가 8x 10-6/deg℃를 초과할 경우 급격한 온도변화 시 커버부재(170)에 크랙이 생길 확률이 증가하므로 커버부재(170)의 열팽창계수는 8x 10-6/deg℃ 이하인 것이 바람직하다.
또한, 커버부재(170)는 1200~1800℃의 연화점을 갖도록 구비될 수 있다. 일반적으로 재료시험용 가열로는 700~1100℃의 온도에서 시험하는 것으로 연화점이 1200℃ 미만인 경우 재료시험용 가열로로 사용 시 커버부재(170)가 변형될 수 있어, 1200℃ 이상의 연화점을 갖는 세라믹재료를 사용하는 것이 바람직하다. 특히, 1800℃이상의 연화점을 갖는 커버부재(170)의 경우 매우 고가 이므로 일반적인 재료시험용 가열로에 사용하기에는 어려움이 있다.
고순도의 석영유리의 연화점은 약 1650℃이므로, 1650℃ 이상의 온도로 가열하여 시험할 경우에는 투명하지 않지만 보다 높은 연화점을 가지고 낮은 열전단계수를 갖고 있는 세라믹 재료인 알루미나, 뮬라이트 등으로 커버부재(170)를 제조하여 가열로(100)의 단열재(132)를 보호하여도 무방한 것이다.
바람직하게, 커버부재(170)는 열전달계수가 1.0~25kcal/mK인 세라믹이나 산화물 재료로 형성될 수 있다. 열전달계수가 1.0kcal/mK 미만인 경우 단열성은 뛰어나지만 강도가 낮고 열 변형을 일으키기 쉬우며, 열전달계수가 25kcal/mK를 초과하면 단열성이 부족해지므로 열전달계수는 1.0 이상 25 kcal/mK 이하를 갖는 재료로 형성 될 수 있다. 예를 들어, 커버부재(170)가 석영으로 형성되는 경우, 열전달계수가 1.0~1.5kcal/mK를 갖도록 형성 되어 단열성이 더욱 향상될 수 있다.
커버부재(170)에는 온도계측부의 계측부재를 구비할 수 있는 제1계측홀(152a)이 형성될 수 있으며, 상술한 가열부(130)의 제2계측홀(152b)과 동일한 위치에 형성되어, 커버부재(170)를 가열부(130)의 내부에 구비하였을 시 각각의 계측홀(152a,152b)이 도통되도록 형성될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 가열로의 가열부 상단에 커버부재를 구비하여 내부온도가 높은 가열로를 개방하여도 가열부의 단열재가 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 가열로를 고온에서 개방가능하게 형성하므로 가열로의 회당 사용 시간이 감소되어 종래기술에 비해 가열로를 사용하여 더 많은 재료시험을 할 수 있다. 또한, 가열부의 상단에 커버부재를 구비하여 단열재의 손상을 방지하므로 단열재 손상으로 인해 발생되는 단열재 교체 비용과 노동력을 절감할 수 있다는 효과가 있다.
상기와 같은 커버부재 및 이를 장착한 가열로는 위에서 설명된 실시 예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시 예들은 각 실시 예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100: 가열로 110: 가열로몸체
120: 공간부 130: 가열부
132: 단열재 134: 발열체
152: 계측홀 170: 커버부재
172: 라운드부 174: 날개부

Claims (10)

  1. 고온상태의 가열로 개방 시 급격한 온도변화로 인해 발생하는 가열부의 손상을 방지하기 위하여 상기 가열로의 형상에 일치되거나 반원통형 형태로 형성되고, 상기 가열부의 내부에 일정간격 이격된 상태로 안착되는 커버부재가 구비되되,
    상기 커버부재는, 재료시험용 가열로의 가열부 내부에 안착되는 라운드부와, 상기 라운드부의 양측에 수평방향으로 각각 연장되는 날개부로 형성되며,
    상기 커버부재에는 온도계측부를 구비할 수 있는 제1계측홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 커버부재.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 커버부재는 석영 또는 석영유리로 형성되는 것을 특징으로 하는 커버부재.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 커버부재의 연화점은 1200℃ 이상인 것을 특징으로 하는 커버부재.

  5. 재료시험용 가열로에 있어서,
    복수개의 몸체부재로 분리되도록 형성되며, 내측에 시편이 배치되는 공간부가 구비된 가열로몸체;
    상기 공간부 내주면에 형성되어 열을 발생시키는 가열부;
    상기 공간부의 온도를 계측하는 온도계측부; 및
    고온상태의 상기 가열로의 개방 시 급격한 온도변화로 인해 발생하는 상기 가열부의 손상을 방지하기 위하여 상기 가열로의 형상에 일치되거나 반원통형 형태로 형성되고, 상기 가열부의 내부에 일정간격 이격된 상태로 안착되는 커버부재를 포함하며,
    상기 커버부재는,
    상기 가열부 내부에 안착되는 라운드부와,
    상기 라운드부의 양측에 수평방향으로 각각 연장되어 상기 가열로몸체의 프레임에 안착되는 날개부로 형성되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 장착한 가열로.
  6. 삭제
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 가열부는 단열재로 형성되고,
    상기 온도계측부를 구비할 수 있는 제 2계측홀이 형성되며,
    상기 가열부에는 다수개의 발열체가 포함되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 장착한 가열로.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 커버부재에는 제 1계측홀이 형성되며, 상기 제 1계측홀은 상기 제 2계측홀과 동일한 위치에 형성되어 도통되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 장착한 가열로.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 커버부재는 석영 또는 석영유리로 형성되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 장착한 가열로.
  10. 제 5항에 있어서,
    상기 커버부재는 연화점이 1200℃ 이상인 것을 특징으로 하는 커버부재를 장착한 가열로.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US11339497B2 (en) 2020-08-31 2022-05-24 Senic Inc. Silicon carbide ingot manufacturing method and silicon carbide ingot manufactured thereby

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JP2005127628A (ja) 2003-10-24 2005-05-19 Murata Mfg Co Ltd 熱処理炉
KR100839986B1 (ko) * 2007-05-23 2008-06-19 (주)기억되는 사람들 화장 후 남은 유골 용융용 소성로

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