KR101736824B1 - 디스플레이 패널 반송 패드용 진공 척 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 반송 패드용 진공 척에 관한 것이다.
이에 본 발명의 기술적 요지는 디스플레이 패널 반송 패드 제작시 이용되는 진공 척(비 물림식 진공 흡입척)에 관한 것으로, 상기 진공 척은 흡입구 마다 개별 구획부가 관통공을 기준으로 성형되어 요홈과 연통공으로 하여금 진공 흡입 면적이 크게 확대되어 성형 중 반송 패드의 들뜸이나 유동을 원천적으로 방지하는 바, 이는 정밀 가공 성능이 크게 보장되도록 형성되고, 특히 진공 흡입홈으로부터 연통된 흡입구는 진공용 유로홈에 의해 격자식 에어 이송 라인을 이루도록 하는 바, 이는 진공압의 편차 없이 반송 패드에 대하여 균등한 밀착 고정을 수행할 수 있도록 함으로써, 성형 중 클램핑 불량을 방지하고 이에 작업 오류에 따른 성형 장비의 운전 중지 등을 미연에 예방할 수 있도록 하는 바, 이는 양산 가공에 따른 생산성과 작업성이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

디스플레이 패널 반송 패드용 진공 척{CHUCK STRUCTURE OF LCD PROCESS EQUIPMENT}
본 발명은 디스플레이 패널 반송 패드 제작시 이용되는 진공 척(비 물림식 진공 흡입척)에 관한 것으로, 상기 진공 척은 흡입구 마다 개별 구획부가 관통공을 기준으로 성형되어 요홈과 연통공으로 하여금 진공 흡입 면적이 크게 확대되어 성형 중 반송 패드의 들뜸이나 유동을 원천적으로 방지하는 바, 이는 정밀 가공 성능이 크게 보장되도록 형성되고, 특히 진공 흡입홈으로부터 연통된 흡입구는 진공용 유로홈에 의해 격자식 에어 이송 라인을 이루도록 하는 바, 이는 진공압의 편차 없이 반송 패드에 대하여 균등한 밀착 고정을 수행할 수 있도록 함으로써, 성형 중 클램핑 불량을 방지하고 이에 작업 오류에 따른 성형 장비의 운전 중지 등을 미연에 예방할 수 있도록 하는 바, 이는 양산 가공에 따른 생산성과 작업성이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 반송 패드용 진공 척에 관한 것이다.
최근 들어 급속한 발전을 거듭하고 있는 반도체 산업의 기술 개발에 의하여 액정표시장치는 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 강력해진 제품들이 생산되고 있다.
지금까지 정보 디스플레이 장치에 널리 사용되고 있는 CRT(cathode ray tube)가 성능이나 가격 측면에서 많은 장점을 갖고 있지만, 소형화 또는 휴대성의 측면에서는 많은 단점을 갖고 있었다.
이에 반하여, 액정표시장치는 소형화, 경량화, 저 전력 소비화 등의 장점을 갖고 있어 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로 점차 주목받아 왔고, 현재는 디스플레이 장치를 필요로 하는 거의 모든 정보 처리 기기에 장착되고 있는 실정이다.
이러한 액정표시장치는 일반적으로 액정의 특정한 분자배열에 전압을 인가하여 다른 분자배열로 변환시키고, 이러한 분자배열에 의해 발광하는 액정 셀의 복굴절성, 선광성, 2색성 및 광산란 특성 등의 광학적 성질의 변화를 시각 변화로 변환하는 것으로, 액정 셀에 의한 빛의 변조를 이용한 디스플레이 장치이다.
상기 액정표시장치는 화소 단위를 이루는 액정 셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(Rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지 하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성되게 된다.
한편, 이러한 액정표시장치 즉, 디스플레이 패널은 제조 공정을 위해 반송 패드 위에 놓여져 목적한 공정으로 이송되는데 이러한 반송 패드는 상술한 여러 공정 작업 중 고유의 구조학적 특성상 물림식 클램핑이 불가능한 것으로, 통상 진공 척에 의해 진공압(흡입압)으로 하여금 고정을 실시해 왔다.
그러나, 이러한 종래의 진공 척은 단순히 다발성 통공 형태로 된 것으로, 구멍의 크기에 따라 흡입이 이루어지는데 이러한 통공식 진공 척은 가운데를 제외한 테두리 주변의 진공압이 약해 흡입 고정시 들뜸이나 유동이 발생되는 문제가 야기되고 있는 실정이다.
1. 공개특허 제10-2015-0125033호(2015.11.09. 공개)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 디스플레이 패널 반송 패드 제작시 이용되는 진공 척(비 물림식 진공 흡입척)에 관한 것으로, 상기 진공 척은 흡입구 마다 개별 구획부가 관통공을 기준으로 성형되어 요홈과 연통공으로 하여금 진공 흡입 면적이 크게 확대되어 성형 중 반송 패드의 들뜸이나 유동을 원천적으로 방지하는 바, 이는 정밀 가공 성능이 크게 보장되도록 형성되고, 특히 진공 흡입홈으로부터 연통된 흡입구는 진공용 유로홈에 의해 격자식 에어 이송 라인을 이루도록 하는 바, 이는 진공압의 편차 없이 반송 패드에 대하여 균등한 밀착 고정을 수행할 수 있도록 함으로써, 성형 중 클램핑 불량을 방지하고 이에 작업 오류에 따른 성형 장비의 운전 중지 등을 미연에 예방할 수 있도록 하는 바, 이는 양산 가공에 따른 생산성과 작업성이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 반송 패드용 진공 척을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 판상의 블럭체(100) 상면에 다수개의 흡입구(110)가 형성되고 상기 흡입구(110)와 연통되는 블럭체(100)의 내부 직하방향에는 진공용 유로홈(120)이 형성되며, 상기 진공용 유로홈(120)과 연통된 직교방향에는 진공 흡입홈(130)이 구비되어 진공 흡입시 디스플레이 패널 반송 패드(10)를 블럭체(100) 상면으로 밀착시키면서 클램핑 하도록 형성된다.
이에, 상기 흡입구(110)는 진공용 유로홈(120)의 선상 상측에 관통공(111)이 위치하도록 하되, 상기 관통공(111) 외주면에는 사각형상의 개별 구획부(112)가 형성되고, 상기 개별 구획부(112)는 사각형상의 테두리마다 요홈(113)이 형성되며, 상기 요홈(113)은 연통홈(114)에 의해 관통공(111)과 폐쇄된 흡입유로 라인을 이루도록 하면서 진공 흡입시 흡입면이 크게 확대되도록 형성된다.
또한, 선택적인 실시예로서 상기 블럭체(100)는 2장의 반송 패드(10)가 안착될 수 있도록 크기를 형성한 뒤 A-구역과 B-구역으로 분할하도록 하되, 각 A,B-구역 상면에는 상기 흡입구(110)가 1장의 반송 패드(10) 외형에 대응되도록 다수 형성되고, 상기 각 A,B-구역 흡입구(110)에 대응되면서 직교방향으로 연통되도록 다수개의 진공용 유로홈(120)이 형성되며, 상기 개별 분할된 진공용 유로홈(120)과 직교되면서 연통되도록 진공 흡입홈(130)이 형성되도록 하되, 상기 진공 흡입홈(130)은 각각 A-구역 및 B-구역까지 서로 다른 깊이로 연통되도록 하면서 분할 구획된 진공 흡입을 도모하도록 형성된다.
이와 같이, 본 발명은 디스플레이 패널 반송 패드 제작시 이용되는 진공 척(비 물림식 진공 흡입척)에 관한 것으로, 상기 진공 척은 흡입구 마다 개별 구획부가 관통공을 기준으로 성형되어 요홈과 연통공으로 하여금 진공 흡입 면적이 크게 확대되어 성형 중 반송 패드의 들뜸이나 유동을 원천적으로 방지하는 바, 이는 정밀 가공 성능이 크게 보장되도록 형성되고, 특히 진공 흡입홈으로부터 연통된 흡입구는 진공용 유로홈에 의해 격자식 에어 이송 라인을 이루도록 하는 바, 이는 진공압의 편차 없이 반송 패드에 대하여 균등한 밀착 고정을 수행할 수 있도록 함으로써, 성형 중 클램핑 불량을 방지하고 이에 작업 오류에 따른 성형 장비의 운전 중지 등을 미연에 예방할 수 있도록 하는 바, 이는 양산 가공에 따른 생산성과 작업성이 크게 향상되도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진공 척의 일 예시도,
도 2는 도 1의 요부 확대 사시도,
도 3은 도 2의 A-A선 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 진공 척의 다른 실시예로서, 진공흡입량 조절핀이 구비된 것을 나타낸 예시도,
도 5는 도 4의 일측 단면도이다.
다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.
먼저, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명은 판상의 블럭체(100) 상면에 다수개의 흡입구(110)가 형성되고 상기 흡입구(110)와 연통되는 블럭체(100)의 내부 직하방향에는 진공용 유로홈(120)이 형성되며, 상기 진공용 유로홈(120)과 연통된 직교방향에는 진공 흡입홈(130)이 구비되어 진공 흡입시 디스플레이 패널 반송 패드(10)를 블럭체(100) 상면으로 밀착시키면서 클램핑 하도록 형성된다.
이때, 상기 진공 유로홈(120)의 개구된 측에는 마감용 볼트나 폐쇄 부재(200)를 이용하여 기밀이 확보되도록 하면서 진공 흡입시 에어 흡입 경로가 진공 흡입홈으로 폐쇄되도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 진공 흡입홈(130) 단부에는 진공 흡입을 위한 니플 소켓(300) 구조체가 기밀을 확보하면서 결합되는 것이 바람직하다.
이에, 상기 흡입구(110)는 진공용 유로홈(120)의 선상 상측에 관통공(111)이 위치하도록 하되, 상기 관통공(111) 외주면에는 사각형상의 개별 구획부(112)가 형성되고, 상기 개별 구획부(112)는 사각형상의 테두리마다 요홈(113)이 형성된다.
이때, 상기 요홈(113)은 연통홈(114)에 의해 관통공(111)과 폐쇄된 흡입유로 라인을 이루도록 하면서 진공 흡입시 흡입면이 크게 확대되도록 하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 반송 패드용 진공 척.
이에, 상기 진공 척은 복수의 반송 패드(10) 성형이 가능하도록 하는 것으로, 블럭체(100)의 면적은 2장의 반송 패드(10)가 안착될 수 있도록 크기를 형성한 뒤 A-구역과 B-구역으로 분할하도록 하되, 각 A,B-구역 상면에는 상기 흡입구(110)가 1장의 반송 패드(10) 외형에 대응되도록 다수 형성된다.
이때, 상기 각 A,B-구역 흡입구(110)는 다수개의 진공용 유로홈(120)과 대응되면서 직교방향으로 연통되도록 형성되며, 상기 개별 분할된 진공용 유로홈(120)과 직교되면서 연통되도록 진공 흡입홈(130)이 형성되도록 이루어진다.
이때, 상기 진공 흡입홈은 별도의 개폐밸브(300)가 부설되어 흡입 여부를 단속하도록 형성된다.
이에, 상기 진공 흡입홈(130)은 각각 A-구역 및 B-구역까지 서로 다른 깊이로 연통되도록 하면서 분할 구획된 진공 흡입을 도모하도록 형성된다.
한편, 상기 진공용 유로홈(120) 단부에는 개폐볼트(200)에 의해 조립되는 것으로 이는 진공용 유로홈 가공 후 개구된 단부를 폐쇄하기 위함이다.
이때, 상기 개폐볼트(200)는 일측에 나사부가 형성되고, 상기 나사부는 단부에 진공흡입량 조절핀(400)의 체결나사(410)가 결합되도록 형성되며, 상기 진공흡입량 조절핀(400)은 진공용 유로홈(120)의 길이방향을 따라 대응되면서 수평으로 진입하도록 형성된다.
이러한 진공흡입량 조절핀은 진공용 유로홈에 삽입시 길이와 직경에 따라 진공용 유로홈의 내부 면적을 협소하게 만들어 압력을 높이게 되고, 이는 진공 흡입홈의 초입부터 말단까지의 진공 흡입도가 균일할 수 있도록 형성된다.
즉, 상기 진공흡입량 조절핀은 선택적인 실시예로서, 개폐볼트와 나사체결되면서 진공 흡입량이 낮거나 저하된 진공용 유로홈 측에 진공 흡입압을 보강할 필요가 있을 때 사용하게 된다.
이때, 상기 진공흡입량 조절핀(400)은 진공용 유로홈(120)에 삽입시 인입되는 초입을 기준으로 삽입이 전부 이루어진 뒤의 말단 측 즉, 개폐볼트 측의 직경이 소정 폭 만큼 더 크거나 좁게 형성할 수 있도록 함으로써, 진공압의 편차를 용이하게 조절할 수 있도록 형성된다.
또한, 상기 진공흡입량 조절핀(400)은 길이방향 선상에 하나 이상의 다수개의 통공을 형성하여 진공 흡입시 이송 유로를 더 확보할 수 있도록 하는 것도 가능하다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
10 ... 반송 패드
100 ... 블럭체 110 ... 흡입구
111 ... 관통공 112 ... 개별 구획부
113 ... 요홈 114 ... 연통홈
120 ... 진공용 유로홈 130 ... 진공 흡입홈
200 ... 개폐볼트 210 ... 나사부
300 ... 개폐밸브 400 ... 진공흡입량 조절핀
410 ... 체결나사

Claims (3)

  1. 판상의 블럭체(100) 상면에 다수개의 흡입구(110)가 형성되고 상기 흡입구(110)와 연통되는 블럭체(100)의 내부 직하방향에는 진공용 유로홈(120)이 형성되며, 상기 진공용 유로홈(120)과 연통된 직교방향에는 진공 흡입홈(130)이 구비되어 진공 흡입시 디스플레이 패널 반송 패드(10)를 블럭체(100) 상면으로 밀착시키면서 클램핑 하도록 하는 디스플레이 패널 반송 패드용 진공 척에 있어서,
    상기 흡입구(110)는 진공용 유로홈(120)의 선상 상측에 관통공(111)이 위치하도록 하되, 상기 관통공(111) 외주면에는 사각형상의 개별 구획부(112)가 형성되고, 상기 개별 구획부(112)는 사각형상의 테두리마다 요홈(113)이 형성되며, 상기 요홈(113)은 연통홈(114)에 의해 관통공(111)과 폐쇄된 흡입유로 라인을 이루도록 하면서 진공 흡입시 흡입면이 크게 확대되도록 형성되고, 상기 블럭체(100)는 2장의 반송 패드(10)가 안착될 수 있도록 크기를 형성한 뒤 A-구역과 B-구역으로 분할하도록 하되, 각 A,B-구역 상면에는 상기 흡입구(110)가 1장의 반송 패드(10) 외형에 대응되도록 다수 형성되고, 상기 각 A,B-구역 흡입구(110)에 대응되면서 직교방향으로 연통되도록 다수개의 진공용 유로홈(120)이 형성되며, 개별 분할된 진공용 유로홈(120)과 직교되면서 연통되도록 진공 흡입홈(130)이 형성되도록 하되, 상기 진공 흡입홈(130)은 각각 A-구역 및 B-구역까지 서로 다른 깊이로 연통되도록 하면서 분할 구획된 진공 흡입을 도모하도록 형성되며,
    상기 진공용 유로홈(120) 단부에는 개폐볼트(200)가 조립되어 진공용 유로홈 가공 후 개구된 단부를 폐쇄하도록 하되, 상기 개폐볼트(200)는 일측에 나사부가 형성되고, 상기 나사부는 단부에 진공흡입량 조절핀(400)의 체결나사(410)가 결합되도록 형성되며, 상기 진공흡입량 조절핀(400)은 진공용 유로홈(120)의 길이방향을 따라 대응되면서 수평으로 진입하도록 형성되고, 상기 진공흡입량 조절핀(400)은 진공용 유로홈(120)에 삽입시 인입되는 초입을 기준으로 삽입된 말단 측의 직경이 소정 간격 더 크거나 좁게 형성할 수 있도록 함으로써, 진공압의 편차를 조절할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 반송 패드용 진공 척.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019051807A1 (zh) * 2017-09-15 2019-03-21 深圳市柔宇科技有限公司 固定方法、固定装置和贴合机
KR102051569B1 (ko) 2019-06-28 2019-12-05 양성수 진공척부재의 제조방법 및 그에 의해 제조된 진공척부재
KR102144036B1 (ko) 2019-11-26 2020-08-12 양성수 진공척부재의 제조방법 및 그에 의해 제조된 진공척부재
KR102491012B1 (ko) * 2021-10-21 2023-01-27 제이에스프리시젼(주) 진공 척

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019051807A1 (zh) * 2017-09-15 2019-03-21 深圳市柔宇科技有限公司 固定方法、固定装置和贴合机
KR102051569B1 (ko) 2019-06-28 2019-12-05 양성수 진공척부재의 제조방법 및 그에 의해 제조된 진공척부재
KR102144036B1 (ko) 2019-11-26 2020-08-12 양성수 진공척부재의 제조방법 및 그에 의해 제조된 진공척부재
KR102491012B1 (ko) * 2021-10-21 2023-01-27 제이에스프리시젼(주) 진공 척

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