CN216500453U - 一种大面积平面匀胶盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光刻胶旋涂领域，具体涉及一种大面积平面匀胶盘，包括匀胶盘本体、八个T型螺母和八个定位卡块，匀胶盘本体具有定位孔、六个沉头孔和八个T型槽，将定位孔与匀胶机对齐，并将匀胶盘本体安装至匀胶机上，使用六个螺栓穿过六个沉头孔对匀胶盘本体进行固定，根据匀胶基片的大小来调整八个T型螺母和八个定位卡块在T型槽内的滑动情况，使八个T型螺母在T型槽内向靠近匀胶基片的一侧滑动，直至八个定位卡块分别与匀胶基片的边缘接触，旋转T型螺母向匀胶基片挤压定位卡块将匀胶基片固定在匀胶盘本体上，从而解决了现有技术中匀胶盘不能对不同形状的产品在光刻胶旋涂过程中进行固定的问题。

Description

一种大面积平面匀胶盘

技术领域

本实用新型涉及光刻胶旋涂领域，尤其涉及一种大面积平面匀胶盘。

背景技术

在光刻胶旋涂领域中，一般使用真空吸附的方式，来固定基片。但这一般常用于晶圆硅片等较小、较薄质量比较轻的产品。对于面积较大且质量很重的产品，一般的真空吸附在运行过程中，吸附力不足会导致产品滑出。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种大面积平面匀胶盘，旨在解决现有技术中匀胶盘不能对不同形状的产品在光刻胶旋涂过程中进行固定的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种大面积平面匀胶盘包括匀胶盘本体、八个T型螺母和八个定位卡块，所述匀胶盘本体具有定位孔、六个沉头孔和八个T型槽，所述定位孔位于所述匀胶盘本体的中心，六个所述沉头孔分别位于所述定位孔的周围，多个所述T型槽均位于所述匀胶盘的一侧，八个所述T 型螺母分别与所述匀胶盘本体滑动连接，均位于所述T型槽内，八个所述定位卡块分别与八个所述T型螺母拆卸连接，并位于八个所述T型螺母靠近所述匀胶盘本体的一侧。

其中所述T型螺母包括T型螺帽和螺钉，所述T型螺帽与所述匀胶盘本体滑动连接，并位于所述T型槽内。所述螺钉与所述T型螺帽螺纹连接，并位于所述T型螺帽的内侧壁。

其中，所述定位卡块具有凹槽，所述凹槽位于所述定位卡块的一侧。

其中，所述T型槽包括横槽和竖槽，所述横槽位于所述匀胶盘的一侧，所述竖槽位于所述匀胶盘靠近所述横槽的一侧。

其中，所述匀胶盘本体具有多个取出孔，所述取出孔分别位于所述竖槽的两端。

本实用新型的一种大面积平面匀胶盘，将所述定位孔与匀胶机对齐，并将所述匀胶盘本体安装至匀胶机上，使用六个螺栓穿过六个所述沉头孔对所述匀胶盘本体进行固定，将需要固定的匀胶基片时，将匀胶基片放置在所述匀胶盘本体上，将八个所述T型螺母放入所述T型槽内，根据匀胶基片的大小来调整八个所述T型螺母和八个所述定位卡块在所述T型槽内的滑动情况，使八个所述T型螺母在所述T型槽内向靠近匀胶基片的一侧滑动，直至八个所述定位卡块分别与匀胶基片的边缘接触，然后旋转八个T型螺母，使得所述T型螺母向匀胶基片挤压所述定位卡块，直至所述定位卡块将匀胶基片固定在所述匀胶盘本体上，从而解决了现有技术中匀胶盘不能对不同形状的产品在光刻胶旋涂过程中进行固定的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的一种大面积平面匀胶盘的结构示意图。

图2是本实用新型的一种大面积平面匀胶盘的正视图。

图3是图2沿B-B面的剖视图。

图4时图3细节C的放大图。

图5时图1细节A的放大图。

1-匀胶盘本体、2-T型螺母、3-定位卡块、4-定位孔、5-沉头孔、6-T型槽、 7-T型螺帽、8-螺钉、9-凹槽、10-横槽、11-竖槽、12-取出孔。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1至图5，本实用新型提供一种大面积平面匀胶盘，包括匀胶盘本体1、八个T型螺母2和八个定位卡块3，所述匀胶盘本体1具有定位孔4、六个沉头孔5和八个T型槽6，所述定位孔4位于所述匀胶盘本体1的中心，六个所述沉头孔5分别位于所述定位孔4的周围，多个所述T型槽6均位于所述匀胶盘的一侧，八个所述T型螺母2分别与所述匀胶盘本体1滑动连接，均位于所述T型槽6内，八个所述定位卡块3分别与八个所述T型螺母2拆卸连接，并位于八个所述T型螺母2靠近所述匀胶盘本体1的一侧。

在本实施方式中，使用时，将所述定位孔4与匀胶机对齐，并将所述匀胶盘本体1安装至匀胶机上，使用六个螺栓穿过六个所述沉头孔5对所述匀胶盘本体1进行固定，将需要固定匀胶基片时，将匀胶基片放置在所述匀胶盘本体1 上，将八个所述T型螺母2放入所述T型槽6内，根据匀胶基片的大小来调整八个所述T型螺母2和八个所述定位卡块3在所述T型槽6上的滑动情况，使八个所述T型螺母2在所述T型槽6内向靠近匀胶基片的一侧滑动，直至八个所述定位卡块3分别与匀胶基片的边缘接触，然后旋转八个T型螺母2，使得所述T型螺母2向匀胶基片挤压所述定位卡块3，直至所述定位卡块3将匀胶基片固定在所述匀胶盘本体1上从而解决了现有技术中匀胶盘不能对不同形状的产品在光刻胶旋涂过程中进行固定的问题。

进一步的，所述T型螺母2包括T型螺帽7和螺钉8，所述T型螺帽7与所述匀胶盘本体1滑动连接，并位于所述T型槽6内，所述螺钉8与所述T型螺帽7螺纹连接，并位于所述T型螺帽7的内侧壁，所述定位卡块3具有凹槽9，所述凹槽9位于所述定位卡块3的一侧，所述T型槽6包括横槽10和竖槽11，所述横槽10位于所述匀胶盘的一侧，所述竖槽11位于所述匀胶盘靠近所述横槽10的一侧，所述匀胶盘本体1具有多个取出孔12，所述取出孔12分别位于所述竖槽11的两端。

在本实施方式中，在需要对匀胶基片进行固定时，将八个所述T型螺帽7 通过所述取出孔12放入所述横槽10内，八个所述T型螺帽7带动八个所述定位卡块3在所述T型槽6的横槽10上滑动，八个所述螺钉8在所述竖槽11上滑动，向靠近匀胶基片的一侧移动，直至八个所述定位卡块3与匀胶基片接触，向靠近八个所述T型螺帽7的一侧拧紧八个所述螺钉8，直至八个所述定位卡块 3将匀胶基片固定住即可。

以上所揭露的仅为本实用新型一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。

Claims (5)

1.一种大面积平面匀胶盘，其特征在于，

包括匀胶盘本体、八个T型螺母和八个定位卡块，所述匀胶盘本体具有定位孔、六个沉头孔和八个T型槽，所述定位孔位于所述匀胶盘本体的中心，六个所述沉头孔分别位于所述定位孔的周围，多个所述T型槽均位于所述匀胶盘的一侧，八个所述T型螺母分别与所述匀胶盘本体滑动连接，均位于所述T型槽内，八个所述定位卡块分别与八个所述T型螺母拆卸连接，并位于八个所述T型螺母靠近所述匀胶盘本体的一侧。

2.如权利要求1所述的一种大面积平面匀胶盘，其特征在于，

所述T型螺母包括T型螺帽和螺钉，所述T型螺帽与所述匀胶盘本体滑动连接，并位于所述T型槽内,所述螺钉与所述T型螺帽螺纹连接，并位于所述T型螺帽的内侧壁。

3.如权利要求1所述的一种大面积平面匀胶盘，其特征在于，

所述定位卡块具有凹槽，所述凹槽位于所述定位卡块的一侧。

4.如权利要求2所述的一种大面积平面匀胶盘，其特征在于，

所述T型槽包括横槽和竖槽，所述横槽位于所述匀胶盘的一侧，所述竖槽位于所述匀胶盘靠近所述横槽的一侧。

5.如权利要求4所述的一种大面积平面匀胶盘，其特征在于，

所述匀胶盘本体具有多个取出孔，所述取出孔分别位于所述竖槽的两端。

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