KR101735774B1

KR101735774B1 - 테스트용 러버 소켓

Info

Publication number: KR101735774B1
Application number: KR1020150169285A
Authority: KR
Inventors: 정영배
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2015-11-30
Filing date: 2015-11-30
Publication date: 2017-05-16

Abstract

본 발명은 테스트용 러버 소켓에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 탄성 시트를 구성하는 시트 블록이 개별적으로 분할 제작되어 프레임에 부착되는 테스트용 러버 소켓에 관한 것이다.

Description

테스트용 러버 소켓{RUBBER SOCKET FOR TEST}

일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스의 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시한다. 구체적으로는 테스트장치로부터 소정의 테스트신호를 반도체 디바이스로 흘려보내 그 반도체 디바이스의 단락여부를 판정하게 된다. 이러한 테스트장치와 반도체 디바이스는 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 테스트 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 이러한 테스트 소켓으로는 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 탄성 도전시트를 가진 테스트용 러버 소켓이 주로 사용되어 오고 있다.

이러한 테스트용 러버 소켓의 일 예는 도 1에 도시된다. 테스트용 러버 소켓(10)은, 절연성 탄성 물질로 이루어진 절연부(11) 중에 다수의 도전성 입자(12)가 함유되어 있는 형태로 이루어진다. 이러한 다수의 도전성 입자(12)는 두께방향으로 배향되어 하나의 도전부(12A)를 이루며 이러한 도전부(12A)가 상기 반도체 디바이스(14)의 단자(14A)와 대응되도록 면방향으로 배열되어 있게 된다. 상기 테스트용 러버 소켓(10)은 프레임(13)에 의하여 그 가장자리부분이 고정되게 된다.

이러한 테스트용 러버 소켓(10)은 테스트장치(15)에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(12A)가 테스트장치(15)의 패드(15A)와 접촉되어 있게 된다. 이후에 도 2에 도시한 바와 같이 반도체 디바이스(14)가 하강하면 그 반도체 디바이스(14)의 단자(14A)가 각각의 도전부(12A)와 접촉하면서 그 도전부(12A)를 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(12A) 내의 도전성 입자(12)들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 테스트장치(15)로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트 신호가 테스트용 러버 소켓(10)을 거쳐 반도체 디바이스(14)로 전달되고, 그 반사신호는 반대로 테스트용 러버 소켓(10)을 거쳐 테스트장치(15)로 들어오게 된다.

이러한 테스트용 러버 소켓(10)은 두께방향으로 가압되었을 때 그 두께방향으로만 도전성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다. 또한 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 테스트장치와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.

이러한 테스트용 러버 소켓(10)의 제조방법을 도 3 및 도 4를 참조하면서 설명하면, 먼저, 도 3에 도시한 바와 같이, 유동성의 탄성 물질(11A) 내에 도전성 입자(12)가 분포되어 있는 성형용 재료를 준비하고, 그 성형용 재료를 소정의 금형(16A, 16B) 내에 삽입한다. 상기 금형(16A, 16B)내에 삽입된 후에 금형 내에서 두께방향으로 자장을 가하여 그 도전성 입자(12)들이 도 4에 도시한 바와 같이 두께방향으로 배열될 수 있도록 한다. 도전성 입자(12)들이 배열된 후에는 그 도전성 입자(12)들을 서서히 경화시키면서 테스트용 러버 소켓(10)을 완성하게 된다.

이러한 종래기술에 따른 테스트용 러버 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.

종래의 테스트용 러버 소켓은 대면적의 러버 시트 부분이 일체형으로 제작됨으로써, 제작 과정에서 실리콘의 수축으로 인한 오프셋(offset)이 크게 발생할 수 있다. 특히, 도전부 사이의 간격이 미세한 피치를 가질 때, 이러한 오프셋 발생으로 인해 전기적 연결에 있어서 문제가 발생할 수 있게 된다. 아울러, 종래의 테스트용 러버 소켓은 일체형 제작으로 인해 도전부의 형상이 균일하지 않을 수 있다. 특히, 내부와 외곽의 도전부 형상에 있어서 서로 불균일한 두께와 형상을 가질 수 있다.

특히, 테스트용 러버 소켓에서는 자기장이 도전성 입자의 배향에 중요한 역할을 하게 된다. 이러한 자기장에 의존하는 종래기술에서는 도전부 사이의 간격이 좁아질수록 그 신뢰도에 문제가 발생하게 된다. 즉, 두께방향으로 인가되는 자기장 사이의 간격이 좁아질수록 서로 간섭하게 되어 원하는 형태의 균일한 배열을 가진 도전부가 형성되기 어렵게 된다.

이와 같이 두께방향으로만 전기적 흐름이 이루어져야 하는 탄성 도전시트에서 인접한 도전부와 전기적으로 접촉되어 면방향으로 신호가 흐르게 되면 테스트의 신뢰성에 문제가 생기게 된다. 특히, 특정의 반도체 디바이스의 단자로 가해져야 할 테스트신호가 원하는 단자에 인가되지 않는 등의 문제점이 발생하게 되는 것이다.

아울러, 전체 영역이 절연부로 연결되어 있어 개별 동작성이 떨어질 수 있다. 예컨대, 어느 하나의 도전부가 피검사 디바이스의 단자에 보다 가압되어 눌릴 때, 상기 압력이 주변으로 전파되어 그 주변부도 동시에 함께 탄성 변형되어 가압될 수 있다. 이때, 주변에 위치한 도전부는 피검사 디바이스의 단자에 대해 유극을 갖게 되어 전기적 연결이 용이하게 이루어지지 아니할 가능성이 있다.

또한, 일체형 구성을 가짐에 따라서 어느 특정 부분에 손상이 발생할 경우 전체 테스트용 소켓을 교체해야 하는 문제가 발생하게 된다.

또한, 피검사 디바이스에 단차가 있는 경우, 또는 피검사 디바이스의 일부 단자는 LGA 타입이며 일부 단자는 BGA 타입으로 혼합된 경우 등에 대하여, 이에 대응하여 EMMC 와 같은 패키지의 제작이 불가능하게 되며 접촉 특성이 좋지 않게 된다.

공개특허 2011-0085788

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 탄성 시트를 구성하는 시트 블록이 개별적으로 분할 제작되어 프레임에 부착되는 테스트용 러버 소켓을 제공하는 데 그 목적이 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 테스트용 러버 소켓은, 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 테스트용 소켓으로서, 소정의 형상을 갖는 탑재 공간을 갖는 프레임; 상기 탑재 공간에 탑재되며, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자가 두께방향으로 분포된 복수의 도전부와, 상기 도전부의 주위에 배치되어 상기 도전부를 서로 절연시키면서 지지하되 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부를 포함하는 탄성 도전시트; 를 포함하며, 상기 탄성 도전시트는, 복수 개의 시트 블록이 조립되어 구성되되, 상기 각각의 시트 블록은, 적어도 일 측면이 조립면으로 구성되어 복수의 시트 블록의 조립면이 서로 맞닿아 결합됨으로써 하나의 탄성 도전시트를 구성하며, 상기 시트 블록이 선택적으로 조립되어 상기 탄성 도전시트를 구성함으로써 상기 탄성 도전시트의 구성이 가변적으로 이루어질 수 있는게 구성된다.

바람직하게는, 상기 탄성 도전시트는, 상기 탑재 공간의 형상에 대응하는 형상을 가지며 상기 도전부가 배열되는 내측 영역과, 상기 내측 영역으로부터 외측으로 돌출되어 상기 탄성 도전시트의 외주부를 구성하는 외측 영역을 갖되 상기 내측 영역과 상기 외측 영역 사이에는 단차가 형성되어 상기 외측 영역은 상기 내측 영역보다 얇은 두께를 갖고, 상기 내측 영역의 외측 둘레면은 상기 탑재 공간의 내측 둘레면과 면하며, 상기 외측 영역의 상면은 상기 프레임의 하면과 면하여 상기 프레임에 대해 상기 탄성 도전시트가 결합되는 구성을 갖는다.

바람직하게는, 상기 각각의 시트 블록은, 상기 내측 영역의 일부를 구성하는 영역과, 상기 외측 영역의 일부를 구성하는 영역을 동시에 갖는다.

바람직하게는, 상기 조립면은, 측방향으로 돌출된 복수의 돌출부, 및 측방향으로 함몰된 복수의 함몰부가 반복적으로 형성된 형상을 가지며, 일 시트 블록의 상기 돌출부 및 함몰부가 각각 타 시트 블록의 함몰부 및 결합부와 서로 대응하여 일 시트 블록의 상기 함몰부에 타 시트 블록의 상기 돌출부가 삽입됨으로써 상기 시트 블록 사이의 결합이 이루어지는 구성을 갖는다.

바람직하게는, 상기 돌출부 및 함몰부는, 곡선 형태를 가져서, 돌출된 곡면과 함몰된 곡면이 상기 조립면에 반복적으로 형성된다.

본 발명에 따른 테스트용 러버 소켓은, 분할된 시트 블록이 조립되어 하나의 탄성 도전시트 및 테스트용 러버 소켓을 구성함에 따라서, 제작 과정에서 실리콘의 수축으로 인한 단자부의 오프셋 발생이 더 작아지거나, 방지될 수 있다.

또한, 전체 탄성 도전시트에서 도전부의 형상이 균일하게 구성될 수 있고, 개별 동작성이 보다 향상될 수 있다. 아울러, 어느 특정 부분에 손상이 이루어질 경우에는 해당 손상이 발생한 부분만을 교체함으로써 제조 단가 및 유지비가 절감될 수 있다.

또한, 시트 블록을 선택적으로 결합시켜 탄성 도전시트를 구성할 수 있으므로, 피검사 디바이스에 단차가 있는 경우에는, 서로 상이한 두께를 갖는 시트 블록을 결합시킴으로써 다양한 피검사 디바이스에 대해 폭넓게 적용할 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 테스트용 러버 소켓을 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 테스트용 러버 소켓을 이용하여 전기적 테스트를 수행하는 도면.
도 3 및 도 4은 도 1의 테스트용 러버 소켓의 제작방법.
도 5 는 본 발명의 일 실시예에 의한 테스트용 러버 소켓을 나타낸 도면.
도 6 은 본 발명의 일 실시예에 의한 테스트용 러버 소켓의 탄성 도전시트를 나타낸 도면.
도 7 은 탄성 도전시트를 구성하는 각각의 시트 블록을 분할하여 나타낸 도면.
도 8 은 시트 블록이 프레임에 탑재되는 것을 나타낸 도면.
도 9 는 일 실시예에 따른 시트 블록의 형태를 나타낸 도면.
도 10 은 일 실시예에 따라 피검사 디바이스와 테스트용 러버 소켓 사이의 접촉을 나타낸 도면.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다. 본 실시예는 제한적인 것으로 의도된 것이 아니다.

도 5 는 본 발명의 일 실시예에 의한 테스트용 러버 소켓을 나타낸 도면이며, 도 6 은 본 발명의 일 실시예에 의한 테스트용 러버 소켓의 탄성 도전시트(100)를 나타낸 도면이고, 도 7 은 탄성 도전시트(100)를 구성하는 각각의 시트 블록(100A)을 분할하여 나타낸 도면이며, 도 8 은 시트 블록(100A)이 프레임(200)에 탑재되는 것을 나타낸 도면이고, 도 9 는 일 실시예에 따른 시트 블록(100A)의 형태를 나타낸 도면이다.

프레임(200)은 본 발명에 따른 테스트용 러버 소켓의 가장자리를 구성하며, 고분자 물질, 또는 금속 재질로 구성될 수 있다. 프레임(200)의 내측에는 소정의 형상을 갖는 탑재 공간(210)이 형성되며, 외측에는 고정을 달성하도록 하는 소정의 홀이 형성될 수 있다. 탑재 공간(210)의 형상에는 한정이 없으나, 사각형인 것이 바람직하다.

상기 프레임(200)이 고분자 물질로 구성될 때, 상기 고분자 물질로서는, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리아미드 수지 등의 기계적 강도가 높은 수지 재료 등을 사용할 수 있지만, 열 팽창계수가 작은 점에서 폴리이미드 수지가 바람직하다.

탄성 도전시트(100)는 소정의 두께를 갖는 시트형 부재로서, 상기 프레임(200)의 상기 탑재 공간(210)에 탑재된다. 탄성 도전시트(100)는 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자가 두께방향으로 분포된 복수의 도전부(110)와, 상기 도전부(110)의 주위에 배치되어 상기 도전부(110)를 서로 절연시키면서 지지하되 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부(120)를 포함한다.

이때 탄성 도전시트(100)를 형성하는 제2 고분자 물질로서는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 고분자 물질을 얻기 위해서 이용할 수 있는 경화성 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 사용할 수 있고, 그의 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물; 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 고무 등의 블록 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물; 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다.

이상에서, 얻어지는 검사 시트에 내후성이 요구되는 경우에는, 공액 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.

탄성 도전시트(100)에서의 도전부(110)에는 도전입자가 두께방향으로 배열되어 있되, 각각의 도전부(110)는 대략 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이때 고분자 물질 중에 함유되는 도전입자로서는, 자성을 나타내는 도전입자가 이용된다. 이러한 도전입자의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속 입자 또는 이들의 합금 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들의 입자를 코어 입자로 하고, 상기 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것, 또는 비자성 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자, 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하고, 상기 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 실시한 것 등을 들 수 있다.

이 중에서는, 니켈 입자를 코어 입자로 하고, 그 표면에 도전성이 양호한 금의 도금을 실시한 것을 이용하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 절연부(120)를 구성하는 제1 고분자 물질로는, 상술한 도전부(110)의 제2 고분자 물질과 동일한 물질로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 실리콘 고무인 것이 좋다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 다른 물질로 구성되는 것도 가능하다.

한편, 탄성 도전시트(100)는 내측 영역(102)과 외측 영역(104)을 가질 수 있다.

내측 영역(102)은 상기 프레임(200)의 탑재 공간(210)의 형상에 대응하는 형상을 가지며 상기 도전부(110)가 배열되도록 구성된다. 즉, 상기 내측 영역(102)은 상기 프레임(200)의 탑재 공간(210) 내에 삽입되는 영역이라고 파악될 수 있다.

외측 영역(104)은 상기 내측 영역(102)으로부터 외측으로 돌출되어 탄성 도전시트(100)의 가장자리를 구성한다. 이때, 내측 영역(102)과 외측 영역(104) 사이에는 단차가 형성되어 외측 영역(104)은 내측 영역(102)보다 얇은 두께를 갖게 구성된다. 이에 따라서, 상기 내측 영역(102)은 외측 둘레면(102A)을 갖는다.

탄성 도전시트(100)가 프레임(200)에 결합될 때, 상기 내측 영역(102)의 외측 둘레면(102A)은 상기 프레임(200)의 탑재 공간(210)의 내측 둘레면(210A)과 면하며, 상기 외측 영역(104)의 하면(104A)은 상기 프레임(200)의 상면(200A)에 면하게 된다.

이에 따라서 일 예로 상기 내측 영역(102)이 상기 탑재 공간(210) 내에 끼워지거나, 또는 다른 예로 상기 외측 영역(104)의 상면과 상기 프레임(200)의 하면 사이에 소정의 부착 수단 등이 마련됨으로써 탄성 도전시트(100)와 프레임(200) 사이의 결합이 이루어질 수 있으며, 이에 한정하는 것은 아니다. 이에 따라서, 상기 외측 영역(104)는 프레임(200)에 부착되는 소정의 부착부로 기능할 수 있다.

탄성 도전시트(100)는 복수 개의 시트 블록(100A)이 조립됨으로써 구성된다.

즉, 도 7 에 도시된 바와 같이, 탄성 도전시트(100)는 서로 독립적으로 분할된 복수 개의 시트 블록(100A)이 하나로 조립됨으로써 구성된다. 각각의 시트 블록(100A)은 상기 탄성 도전시트(100)를 구성하는 절연부(120)와 도전부(110)를 가지며, 탄성 도전시트(100)의 적어도 일 영역을 구성하게 된다. 한편, 각각의 시트 블록(100A)이 서로 맞닿는 조립면(140) 부분은 오로지 절연부(120)만으로 구성된 부분일 것이 바람직하다.

한편, 각각의 시트 블록(100A)은 전체 탄성 도전시트(100), 또는 테스트용 러버 소켓의 형상에 따라서 적절한 형상을 가질 수 있다. 달리 설명하면, 탄성 도전시트(100)는 전체 테스트용 러버 소켓의 형상에 따라 적절한 형상을 갖는 복수 개의 시트 블록(100A)으로 분할될 수 있다.

이때, 각각의 시트 블록(100A)은, 시트 블록(100A)이 결합되어 탄성 도전시트(100)를 형성하였을 때 상기 내측 영역(102)의 일부를 이루는 부분과, 상기 외측 영역(104)의 일부를 이루는 부분을 적어도 일부분씩 가질 수 있다. 이에 따라서, 내측 영역(102)의 일 부분에 해당하는 영역과, 외측 영역(104)의 일 부분에 해당하는 영역이 각각 마련되어, 서로 상이한 두께를 갖는 부분을 가질 수 있다. 이에 따라서, 각각의 시트 블록(100A)은 적어도 일 부분이 프레임에 맞닿아 부착되는 부착부를 가질 수 있다.

각각의 시트 블록(100A)은 적어도 일 측면이 조립면(140)으로 구성된다. 상기 조립면(140)이 서로 맞닿아 조립됨으로써 복수의 시트 블록(100A)이 결합되어 하나의 탄성 도전시트(100)를 구성하게 된다. 이때, 시트 블록(100A)의 형상과 면적에 따라서 상기 조립면(140)이 차지하는 영역은 상이할 수 있다.

예컨대 도 7 에 도시된 바와 같이, 탄성 도전시트(100)가 4 개의 사각형의 시트 블록(100A)이 결합되어 구성될 경우, 상기 시트 블록(100A)을 이루는 사각형의 2 개의 변이 조립면(140)으로 구성될 수 있으며, 이와 다른 형태도 가능하다.

조립면(140)은 일 예로, 도 9 에 도시된 바와 같이, 측방향으로 돌출된 복수의 돌출부(142), 및 측방향으로 함몰된 복수의 함몰부(144)가 반복적으로 형성된 형상을 가질 수 있다. 이때, 상기 돌출부(142)와 함몰부(144)의 형상은, 일 시트 블록(100A)의 상기 돌출부(142) 및 함몰부(144)가 각각 타 시트 블록(100A)의 함몰부(144) 및 돌출부(142)와 서로 대응하는 형상을 가질 수 있다.

이때, 상기 돌출부(142) 및 함몰부(144)는 곡선 형태를 가질 수 있다. 이에 따라서, 상기 조립면(140)은 굴곡이 형성된 형상을 가질 수 있다. 이때, 도 9 에 도시된 바와 같이, 상기 돌출부(142) 및 함몰부(144)는 조립면(140) 전체에 대해서가 아니라, 내측 영역(102)을 구성하는 영역에 대해서만 형성될 수도 있으며, 이에 한정하지 아니한다.

이에 따라서, 일 시트 블록(100A)의 일 조립면(140)과 타 시트 블록(100A)의 일 조립면(140)이 서로 맞닿아 결합될 때, 일 시트 블록(100A)의 일 조립면(140)에 형성된 상기 함몰부(144)에 타 시트 블록(100A)의 일 조립면(140)에 형성된 상기 돌출부(142)가 삽입됨으로써 상기 시트 블록(100A) 사이의 결합이 이루어질 수 있다. 물론, 반대로 일 시트 블록(100A)의 일 조립면(140)에 형성된 상기 돌출부(142)는 타 시트 블록(100A)의 일 조립면(140)에 형성된 상기 함몰부(144)에 삽입된다.

이하에서는 본 발명에 따른 테스트용 러버 소켓의 효과에 대해 설명한다.

본 발명에 따른 테스트용 러버 소켓은 분할된 시트 블록(100A)이 조립되어 하나의 탄성 도전시트(100) 및 테스트용 러버 소켓을 구성함에 따라서, 종래의 테스트용 러버 소켓이 가지고 있던 문제점을 해결할 수 있다.

즉, 분할 제작된 시트 블록(100A)을 각각 프레임(200)에 부착함으로써, 비교적 소면적의 시트 블록(100A)을 제조한 후, 이를 결합하여 탄성 도전시트(100)를 구성하게 되므로, 제작 과정에서 실리콘의 수축으로 인한 오프셋 발생이 더 작아지거나, 방지될 수 있다. 바람직하게는, 이러한 오프셋의 발생 크기가 0.03 mm 보다 작을 수 있다.

또한, 비교적 소면적의 시트 블록(100A)이 제조되며, 이러한 시트 블록(100A)이 조립되어 하나의 탄성 도전시트(100)를 이루는 바, 전체 탄성 도전시트(100)에서 내부에 위치하는 도전부(100)와 외곽에 위치하는 도전부(100)의 형상이 균일하게 구성될 수 있다.

또한, 탄성 도전시트(100)는 복수 개의 시트 블록(100A)으로 구성되어, 개별 동작성이 보다 향상될 수 있다. 즉, 어느 하나의 도전부(110)가 보다 가압되는 경우에도 이러한 가압에 따른 변형이 각각의 시트 블록(100A) 단위로만 이루어져 다른 시트 블록(100A)에 구비된 도전부(110)에 대해서는 변형이 전파되지 아니할 수 있다.

아울러, 어느 탄성 도전시트(100)의 특정 부분에 손상이 이루어질 경우에는 해당 손상이 발생한 시트 블록(100A)만을 교체함으로써 제조 단가 및 유지비가 절감될 수 있다.

또한, 시트 블록(100A)을 선택적으로 결합시켜 탄성 도전시트(100)를 구성할 수 있으므로, 피검사 디바이스에 단차가 있는 경우에는, 서로 상이한 두께를 갖는 시트 블록(100A)을 결합시킴으로써 폭넓게 적용할 수 있게 된다. 이에 따라서 예컨대 도 10 에 도시된 바와 같이, 피검사 디바이스(300)의 일부 단자는 LGA 타입 단자(310)이며 일부 단자는 BGA 타입 단자(320)로 혼합된 경우, 일 시트 블록(100A)은 보다 두꺼운 두께를 가져서 LGA 타입 단자(310)에 대응하게 하며, 일 시트 블록(100A)은 보다 얇은 두께를 가져서 BGA 타입 단자(320)에 대응하게 할 수 있다. 이에 따라서 우수한 접촉 특성을 달성할 수 있고, 개별 동작 가능성이 더욱 향상되게 된다.

이상에서는 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다.

100: 탄성 도전시트
102: 내측 영역
102A: 내측 영역의 외측 둘레면
104: 외측 영역
104A: 외측 영역의 하면
110: 도전부
120: 절연부
140: 조립면
142: 돌출부
144: 함몰부
200: 프레임
200A: 프레임의 상면
210: 탑재 공간
210A: 탑재 공간의 내측 둘레면

Claims

피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 테스트용 러버 소켓으로서,
소정의 형상을 갖는 탑재 공간(210)을 갖는 프레임(200);
상기 탑재 공간(210)에 탑재되며, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자가 두께방향으로 분포된 복수의 도전부(110)와, 상기 도전부(110)의 주위에 배치되어 상기 도전부(110)를 서로 절연시키면서 지지하되 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부(120)를 포함하는 탄성 도전시트(100); 를 포함하며,
상기 탄성 도전시트(100)는, 복수 개의 시트 블록(100A)이 조립되어 구성되되,
상기 각각의 시트 블록(100A)은, 적어도 일 측면이 조립면(140)으로 구성되어 복수의 시트 블록(100A)의 조립면(140)이 서로 맞닿아 결합됨으로써 하나의 탄성 도전시트(100)를 구성하며,
상기 시트 블록(100A)이 선택적으로 조립되어 상기 탄성 도전시트(100)를 구성하고 상기 프레임(200)에 탑재됨으로써, 상기 탄성 도전시트(100)의 구성이 가변적으로 이루어질 수 있는 테스트용 러버 소켓.
제1항에 있어서,
상기 탄성 도전시트(100)는,
상기 탑재 공간(210)의 형상에 대응하는 형상을 가지며 상기 도전부(110)가 배열되는 내측 영역(102)과,
상기 내측 영역(102)으로부터 외측으로 돌출되어 상기 탄성 도전시트(100)의 가장자리를 구성하는 외측 영역(104)을 갖되
상기 내측 영역(102)과 상기 외측 영역(104) 사이에는 단차가 형성되어 상기 외측 영역(104)은 상기 내측 영역(102)보다 얇은 두께를 갖고,
상기 내측 영역(102)의 외측 둘레면(102A)은 상기 탑재 공간(210)의 내측 둘레면과 면하며,
상기 외측 영역(104)의 상면은 상기 프레임(200)의 하면과 면하여 상기 프레임(200)에 대해 상기 탄성 도전시트(100)가 결합되는 테스트용 러버 소켓.
제2항에 있어서,
상기 각각의 시트 블록(100A)은,
상기 내측 영역(102)의 일부를 구성하는 영역과,
상기 외측 영역(104)의 일부를 구성하는 영역을 동시에 갖는 테스트용 러버 소켓.
제1항에 있어서,
상기 조립면(140)은,
측방향으로 돌출된 복수의 돌출부(142), 및 측방향으로 함몰된 복수의 함몰부(144)가 적어도 하나 이상 형성된 형상을 가지며,
일 시트 블록(100A)의 상기 돌출부(142) 및 함몰부(144)가 각각 타 시트 블록(100B)의 함몰부(144) 및 돌출부(142)와 서로 대응하여 일 시트 블록(100A)의 상기 함몰부(144)에 타 시트 블록(100B)의 상기 돌출부(142)가 삽입되고, 일 시트 블록(100A)의 상기 돌출부(142)가 타 시트 블록(100B)의 상기 함몰부(144)에 삽입됨으로써 상기 시트 블록(100A, 100B) 사이의 결합이 이루어지는 테스트용 러버 소켓.
제4항에 있어서,
상기 돌출부(142) 및 함몰부(144)는,
곡선 형태를 가져서,
돌출된 곡면과 함몰된 곡면이 상기 조립면(140)에 반복적으로 형성된 테스트용 러버 소켓.