KR101733162B1 - 연마 슬러리 및 이를 이용한 기판 연마 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 코발트 연마용 슬러리 및 기판 연마 방법에 관한 것이다. 본 발명 실시 형태에 따른 슬러리는 연마를 수행하고 산화 지르코늄 입자를 포함하는 연마제, 상기 연마제를 분산시키는 분산제, 및 연마를 촉진시키는 연마촉진제;를 포함하고, 상기 연마 촉진제는 아민기와 카르복실기를 함유하는 유기산을 포함한다. 본 발명 실시 형태의 슬러리에 따르면, 산화제를 사용하지 않고도, 코발트의 연마율을 증가시키고, 코발트 표면의 국소적 부식 결함을 억제할 수 있다.

Description

연마 슬러리 및 이를 이용한 기판 연마 방법{Polishing slurry and substrate polishing method using the same}
본 발명은 연마 슬러리에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 공정에서 화학적 기계적 연마 공정으로 코발트의 평탄화에 이용될 수 있는 연마 슬러리 및 이를 이용한 기판 연마 방법에 관한 것이다.
반도체 소자의 크기가 점점 축소되고 금속 배선의 층수가 점점 증가됨에 따라 각 층에서의 표면 불규칙성은 다음 층으로 전사되어 최하층 표면의 굴곡도가 중요해지고 있다. 이러한 굴곡은 다음 단계에서 포토리소그래피(photolithography) 공정을 실시하기 어려울 정도로 심각한 영향을 미칠 수 있다. 따라서, 반도체 소자의 수율을 향상시키기 위해서, 여러 공정 단계에서 발생하는 불규칙한 표면의 굴곡을 제거하는 평탄화 공정이 필수적으로 이용되고 있다. 평탄화 방법으로는 박막을 형성한 후 리플로우(reflow)시키는 방법, 박막을 형성한 후 에치백(etch back)하는 방법, 화학적 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing: CMP) 방법 등 여러 가지가 있다.
화학적 기계적 연마 공정은 반도체 웨이퍼 표면을 연마 패드에 접촉하여 회전 운동을 실시하면서, 연마제와 각종 화합물들이 함유된 슬러리를 제공하여 평탄하게 연마하는 공정을 말한다. 즉, 기판이나 그 상부의 층의 표면이 슬러리 및 연마 패드에 의해 화학적 및 기계적으로 연마되어 평탄화되는 것을 말한다.
한편, 일반적으로 금속의 연마 공정은 산화제에 의하여 금속 산화물(MOx)이 형성되는 과정과 형성된 금속 산화물을 연마제가 제거하는 과정이 반복하여 일어나는 것으로 알려져 있다. 반도체 소자의 배선으로 활용도가 증가하고 있는 코발트층의 연마 공정도 산화제에 의해 코발트 산화물이 형성되는 과정과 연마제에 의해 코발트 산화물이 제거되는 과정이 반복되는 메커니즘에 의해 진행된다.
또한, 코발트층의 하부에는 절연막이 형성되거나, 트렌치(trench) 등 패턴이 형성될 수 있다. 이 경우, 연마 공정에서 코발트층과 절연막의 높은 연마 선택비(selectivity)가 요구된다. 즉, 코발트층을 잘 연마하면서 절연막을 연마하지 않는 슬러리가 요구된다.
종래에는, 코발트를 연마하기 위해서 알루미나 혹은 실리카 입자를 연마제로 하고, 산화제를 포함하는 슬러리를 사용하였다. 그러나, 이런 슬러리를 사용하는 경우, 코발트 표면의 국소적 부식에 의해 표면이 파이는 부식 결함(부식 핏)이 야기된다. 부식 결함은 이후 제조되는 소자의 품질에 악영향을 미치게 된다. 이에, 코발트 연마용 슬러리에 부식억제제를 추가로 첨가는 방식이 제시되고 있으나, 이는 슬러리 조성을 복잡하게 하고, 성분 제어를 어렵게 한다. 또한, 여전히 산화제를 사용하므로 부식 문제를 완전히 해결하기는 어렵다. 또한, 종래의 코발트 연마용 슬러리는 절연막에 대한 코발트의 연마 선택비를 충분히 구현하지 못하는 문제가 있다.
미국특허공개공보 제2013-00186850호에는 부식억제제를 추가한 코발트 연마용 슬러리가 제시되어 있다.
본 발명은 코발트 연마용 슬러리 및 이를 이용한 기판 연마 방법을 제공한다.
본 발명은 부식 결함을 방지하거나 억제할 수 있는 코발트 연마용 슬러리 및 이를 이용한 기판 연마 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 슬러리는 코발트 연마용 슬러리로서, 연마를 수행하고, 산화 지르코늄 입자를 포함하는 연마제, 상기 연마제를 분산시키는 분산제 및 연마를 촉진시키는 연마촉진제를 포함하고, 상기 연마 촉진제는 아민기와 카르복실기를 함유하는 유기산을 포함한다.
상기 연마제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.1중량% 내지 10중량%로 포함될 수 있고, 슬러리 전체 중량에 대하여 0.4중량% 내지 3중량%로 포함될 수도 있다.
상기 분산제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.01중량% 내지 5중량%로 포함될 수 있고, 슬러리 전체 중량에 대하여 0.15중량% 내지 1중량%로 포함될 수도 있다.
상기 연마촉진제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.1중량% 내지 2중량%로 포함될 수 있고, 슬러리 전체 중량에 대하여 0.3중량% 내지 1중량%로 포함될 수도 있다. 또한, 연마촉진제는 아미노산을 포함하고, 상기 아미노산은 곁사슬(side chain)의 작용기가 양의 전하는 가질 수 있다. 연마촉진제는 pH 알칼리 영역에서 수소이온을 얻어 양의 전하를 가지는 작용기와 수소이온을 잃어 음의 전하를 가지는 작용기를 가질 수 있다. 또한, 연마촉진제는 아르기닌(Arginine), 히스티딘(Histidine), 라이신(Lysine), 아스파틱산(Aspartic acid), 아스파라긴(Asparagine), 글루타믹산(Glutamic acid), 글루타민(Glutamine), 알라닌(Alanine), 글라이신(Glycine), 류신(Leucine), 아이소류신(Isoleucine), 발린(Valine), 세린(Serine) 및 타이로신(Tyrosine)중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 슬러리는 pH 조절제를 더 포함하며, pH는 8~15로 조절될 수 있고, pH는 9~12.5으로 조절될 수도 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 슬러리는 산화제 없이 코발트를 연마하기 위한 무산화제 코발트 연마용 슬러리로서, 연마를 수행하는 연마제로 산화 지르코늄 입자들을 포함하고, 상기 코발트와 상기 코발트 이외의 물질의 연마특성을 조절하는 연마촉진제를 포함하며, 상기 연마촉진제는 2가지 이상의 서로 다른 작용기를 가지며, 상기 연마촉진제는 pH 알카리 영역에서 수소이온을 얻어 양의 전하를 가지는 작용기와 수소이온을 잃어 음의 전하를 가지는 작용기를 포함한다.
상기 코발트 외의 물질은 절연물을 포함할 수 있고, 상기 작용기는 아민기와 카르복실기를 포함할 수 있으며, 상기 아민기는 상기 절연물과 결합되어 상기 절연물의 연마를 억제할 수 있다.
상기 연마촉진제는 아미노산을 포함하고, 상기 작용기는 아민기와 카르복실기를 포함하며, 상기 아민기와 상기 카르복실기는 동일한 카본 원자에 결합될 수 있다. 또한, 연마촉진제는 아민기와 카르복실기의 수가 동일하거나 서로 다를 수 있다. 연마촉진제는 아민기의 수가 카르복실기의 수 보다 더 많을 수도 있다.
상기 슬러리는 pH 조절제를 더 포함하며, pH는 9~11로 조절될 수 있다. 또한, 상기 슬러리는 분산제를 더 포함할 수 있고, 상기 분산제는 음이온계, 양이온계 및 비이온계 고분자 물질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 형태에 따른 기판 연마 방법은 코발트층이 형성된 기판을 마련하는 과정, 산화 지르코늄 입자를 가지는 연마제와, 아민기와 카르복실기를 함유하는 연마촉진제를 포함하는 슬러리를 마련하는 과정 및 상기 슬러리를 상기 기판 상에 공급하면서 상기 코발트층을 연마하는 과정을 포함하고, 상기 연마 과정은, 상기 연마촉진제가 상기 아민기는 수소이온을 얻어 양의 전하를 가지며, 카르복실기는 수소이온을 잃어 음의 전하를 가지는 양쪽성 이온의 상태로 되고, 상기 아민기가 상기 코발트층 이외의 물질의 연마를 억제한다.
상기 코발트층이 형성된 기판을 마련하는 과정은, 상기 기판 상에 상기 코발트층 이외의 물질로 절연막을 형성하고, 상기 절연막에 트랜치를 형성하며, 상기 트랜치를 포함하는 절연막 전체면에 코발트층을 형성할 수 있다.
상기 연마 과정은, pH 알카리 영역에서 진행되며, 상기 코발트층의 상부 표면에 코발트 산화막을 형성하고, 상기 연마제가 상기 코발트 산화막을 연마하는 과정 및 상기 연마촉진제가 코발트와 결합하는 과정을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따르면, 지르코니아 입자를 연마제로 구비하는 슬러리를 사용하므로, 코발트 표면의 부식 결함을 억제하거나 방지할 수 있다. 지르코니아 연마제를 사용하고 산화제를 사용하지 않는 경우, 부식 결함을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 지르코니아를 사용하는 슬러리는 산화제 없이도 코발트를 충분한 연마율로 연마할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 연마 촉진제에 의하여 작용기를 조절한 슬러리를 이용함으로써, 코발트의 연마율을 향상시키고, 코발트 이외의 물질 예컨대 절연막의 연마율을 억제할 수 있다. 이처럼 절연막의 연마율을 억제함으로써, 코발트과 절연막의 연마 선택비를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 연마 선택비가 높아 코발트 및 절연막이 과도하게 연마되는 것을 억제할 수 있고, 단순한 연마 공정 수행으로 효율적으로 코발트을 연마할 수 있으며, 이로부터 연마 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 디싱과 에로젼과 같은 결함을 감소시킬 수 있고, 부산물 발생을 억제하여, 이후 제조되는 반도체 소자의 동작 특성 및 신뢰성을 향상시키며, 전체 소자 제조 생산성도 향상시킬 수 있게 된다.
도 1은 본 발명 실시예의 슬러리와 종래 슬러리의 전류 비교도.
도 2는 본 발명 실시예의 슬러리와 종래 슬러리에 의하여 연마된 코발트 표면의 전자현미경 사진.
도 3은 본 발명 실시예의 슬러리에 사용되는 유기산의 pH에 따른 스피시스 분포를 도시한 그래프.
도 4는 본 발명 실시예의 슬러리에 사용되는 유기산의 나타내는 분류표.
도 5는 코발트의 푸르오베 도표.
도 6은 슬러리의 pH에 대한 전기전도도를 나타내는 표.
도 7은 본 발명 실시예의 슬러리의 연마 결과를 나타내는 표.
도 8은 연마 촉진제의 농도에 따른 코발트의 연마율을 도시한 그래프.
도 9는 연마 촉진제의 농도에 따른 절연 산화막의 연마율을 도시한 그래프.
도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한 다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 발명을 이해시키기 위해 도면이 과장되어 표현될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
본 발명의 실시예에 따른 슬러리는 코발트 연마 슬러리로서, 연마를 수행하는 연마제와, 코발트과 상기 코발트 외의 물질의 연마 특성을 조절하는 연마 촉진제를 포함한다. 또한, 슬러리는 연마제를 분산시키는 분산제를 포함할 수 있고, 연마촉진제는 아민기와 카복실기를 함유하는 유기산을 포함할 수 있다.
이때, 연마제, 분산제 및 연마촉진제는 용액 내에 함유될 수 있다. 예를 들어, 물 특히 순수(DI water)에 연마제, 분산제 및 연마촉진제가 분산되어 분포한다. 또한, 슬러리의 pH를 조절하기 위하여 pH 조절제가 더 포함될 수 있다. 이러한 슬러리는 액체에 연마제가 분산된 형태이며 각 성분의 함량이 적절하게 조절된다. 한편, 산화제는 슬러리에 포함되지 않고 슬러리와 별도로 마련되어 연마 공정 직전에 슬러리에 첨가될 수도 있다. 즉, 슬러리는 산화제를 사용하지 않는 무산화제 슬러일 수 있다.
연마제는 제타 전위(zeta potential)가 (+)인 연마 입자를 포함할 수 있다. 예를 들어, 연마 입자는 산화 지르코늄 즉, 지르코니아(Zirconia: ZrO2) 입자를 포함할 수 있다. 지르코니아 입자는 결정질 상이며, 결정면을 구비한 다면체 형상을 갖는다. 종래의 연마제로 주로 이용되는 콜로이달 실리카의 경우 도시된 바와 같이 40㎚∼70㎚ 정도의 크기로 분포하며, 평균 크기는 38.5㎚ 정도이다. 그러나, 본 발명 실시예에 이용되는 지르코니아 입자는 모노클리닉 구조의 결정질 상이며 결정면을 구비한 다면체 형상이다. 또한, 지르코니아 입자는 2차 입자의 크기가 350nm 이하를 가진다. 이 경우 지르코니아 입자가 슬러리 내에서 균일하고 안정성 있게 분산될 수 있다. 예를 들면 지르코니아 2차 입자의 크기는 200 내지 310nm 이며, 이때 우수한 분산 안정성을 가진다. 또한, 연마제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.1중량% 내지 10중량%의 범위로 포함될 수 있다. 연마제의 함량이 0.1중량% 미만이면 연마율이 지나치게 작아 연마가 어렵거나 코발트의 연마가 충분히 이루어지지 않는다. 연마제의 함량이 10중량%를 초과하면 연마 입자의 분산 안정성에 문제가 생기고 2차 입자의 크기가 지나치게 커져 스크래치가 발생할 수 있다. 특히, 지르코니아 입자는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.3중량%∼5중량% 범위로 포함될 수 있고, 0.4중량%∼3중량%로 포함될 수도 있다. 이는 0.3중량%∼5중량% 범위에서 코발트 연마율이 우수하고 분산 안정성이 확보되기 때문이며, 0.4중량%∼3중량% 범위에서는 코발트 연마율이 더욱 우수하기 때문이다. 이때, 연마제로 지르코니아 연마 입자를 사용하므로, 화학기계적 연마 공정에서 기계적 연마를 우세하게 진행할 수 있다. 이로부터, 디싱의 발생을 억제하거나 방지할 수 있고, 복잡한 단계의 연마 공정을 단일 단계 공정으로 감소시킬 수 있다.
또한, 지르코니아를 연마제로 사용하는 경우, 연마 대상인 코발트의 표면에서 부식 결함 발생을 억제하거나 방지할 수 있다. 이와 관련하여 하기에 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명 실시예의 슬러리와 종래 슬러리의 전류 비교도이고, 도 2는 본 발명 실시예의 슬러리와 종래 슬러리에 의하여 연마된 코발트 표면의 전자현미경 사진이다. 도 2의 (a)는 실리카 연마 입자를 사용하는 슬러리로 연마되는 코발트 표면의 전자 현미경 사진이고, 도 2의 (a)는 지르코니아 연마 입자를 사용하는 슬러리로 연마되는 코발트 표면의 전자 현미경 사진이다.
도 1은 슬러리와 코발트층 간의 부식 거동을 알아보기 위해 각 조건에서 슬러리와 코발트막 사이의 전류를 측정한 결과이다. 이때 사용한 슬러리의 pH는 모두 동일하게 10이였다. 측정되는 전류는 각 슬러리가 코발트막에 작용하는 부식 전류를 나타낸다. 부식 전류가 크다는 것은 코발트막이 해리되는 반응속도가 크다는 것을 의미하므로 부식 결함 즉 부식 핏이 발생될 가능성이 증가한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 지르코니아를 연마 입자로 사용하는 경우에는 산화제 사용 유무에 상관없이 부식 전류의 변동이 매우 작다. 그러나, 실리카를 연마 입자로 사용하는 경우, 산화제를 사용하지 않으면 부식 전류가 지르코니아와 유사하게 낮지만, 산화제를 사용하는 경우에는 부식 전류가 급격하게(지르코니아 경우의 6.15배) 증가하는 것을 알 수 있다. 이에 부식 결함 발생 확률도 급격하게 증가하게 된다. 또한, 실리카 슬러리의 경우는 코발트막을 연마하기 위해서는 산화제가 필수적으로 첨가되어야 하므로, 결국 실리카 슬러리로 코발트층을 연마하는 경우, 부식 결함이 발생하게 된다. 실리카 연마제 및 산화제를 포함하는 슬러리로 코발트막을 연마하는 경우, 도 2의 (a)의 사진에 나타낸 바와 같이, 연마 후 남은 코발트막 표면에 다수의 부식 결함(화살표 표시)이 발생된 것이 관찰되었다. 반면, 지르코니아를 연마 입자로 사용하는 경우 산화제 사용 유무에 상관없이 모두 부식 결함이 현저히 적게 관찰되었다. 또한, 도 2의 (b)의 사진에 나타낸 바와 같이, 산화제를 첨가하지 않고 지르코니아 연마제를 포함하는 슬러리로 코발트막을 연마하는 경우에는 부식 결함이 거의 관찰되지 않았다.
이로부터, 코발트를 연마할 때, 지르코니아 연마제를 사용하면 부식 결함을 방지하거나 억제할 수 있고, 산화제를 사용하지 않고도 코발트를 매우 효율적으로 연마할 수 있다는 것을 알 수 있다.
분산제는 슬러리 내에서 연마제를 균일하게 분산시키는 역할을 하며, 양이온계, 음이온계, 비이온화계 고분자 물질을 이용할 수 있다. 또한, 분산제는 연마제의 제타 전위를 조절할 수 있다. 즉, 양이온계 분산제는 연마제의 제타 전위를 양 전위로 증가시킬 수 있고, 음이온계 분산제는 연마제의 제타 전위를 음 전위 쪽으로 감소시킬 수 있다. 또한, 비이온계 분산제는 연마제의 제타 전위를 그대로 유지할 수 있다. 따라서, 슬러리에 포함되는 분산제에 따라 연마제의 제타 전위를 그대로 유지하거나, 양 전위 또는 음 전위 쪽으로 미세하게 조절할 수 있다. 양이온계 고분자 분산제로는 폴리리신(Polylysine), 폴리에틸렌이민(Polyethylenime), 염화벤제토늄(Benzethonium Chloride), 브로니독스(Bronidox), 브롬화 세트리모늄(Cetrimonium bromide), 염화세트리모늄(CetrimoniumChloride), 염화디메틸디옥타데실암모늄(Dimethyldioctadecylammoniumchloride), 수산화 테트라메틸암모니윰 (Tetramethylammonium hydroxide),디스테아릴디메틸염화 암모늄(Distearyl dimethyl ammonium chloride), 디메틸아민과에피클로로히드린의중합물(Polydimethylamine-co-epichlorohydrin), 1,2-디올레오일-3-트리메틸암모늄 프로판(1,2-dioleoyl-3-trimethylammonium propane), 폴리 아릴 아민(Poly allyl amine)을 포함하는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 음이온계 고분자 분산제로는 폴리아크릴산(Polyacrylic acid), 폴리카르복실산(polycarboxylic acid), 소듐도데실 벤젠 설포네이트(Sodium Dodecyl BenzeneSulfonate), 도데실 황산 나트륨(Sodium dodecyl sulfate), 소듐폴리스티렌설포네이트(Sodium polystyrene sulfonate)를 포함하는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. 그리고, 비이온화계 분산제로는 폴리비닐피롤리돈(poly vinyl pyrrolidone), 폴리에틸렌 옥사이드(polyethylene oxide), 폴리비닐 알코올(Polyvinyl alcohol), 하이드록시에틸 셀룰로스(Hydroxyethyl cellulose), 2-아미노-2-메틸-1-프로판올(2-amino-2-methyl-1-propanol), 베타-사이클로덱스트린(β-Cyclodextrin), 과당(Fructose), 포도당(Glucose), 갈락토스(Galactose)를 포함하는 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. 분산제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.01중량% 내지 5중량% 범위로 포함될 수 있다. 분산제의 함량이 0.01중량% 미만이면 분산이 잘되지 않고 침전이 일어날 수 있으며, 분산제의 함량이 5중량%를 초과하면 고분자 물질의 응집 및 높은 이온화 농도에 의하여 슬러리의 분산 안정성이 저하될 우려가 있다. 또한, 분산제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.15중량%∼1중량% 범위로 포함될 수 있고, 0.3중량%∼0.7중량%로 포함될 수도 있다. 이는 분산 안정성이 우수하고 연마제의 제타 전위를 미세하게 조절하는데 더욱 유리하기 때문이다.
연마촉진제는 연마 대상 물질의 연마를 촉진하며, 연마 대상 이외의 물질의 연마를 억제한다. 즉, 연마촉진제가 함유하는 각 작용기가 연마 대상 물질 및 연마 대상 이외의 물질에 각각 작용하여, 각 물질에 대한 연마 특성을 조절한다. 예를 들면, 연마촉진제가 함유된 슬러리로 코발트을 연마하는 경우, 연마촉진제가 코발트와 반응 및 결합하여 코발트의 연마를 촉진시키고, 절연막 등 코발트 외의 물질의 연마를 억제한다. 이로부터 코발트와 절연막의 연마율 차이를 크게 함으로써, 연마 선택비를 향상시킬 수도 있다. 이러한 연마촉진제로는 카르복실기와 아민기를 가지는 유기산을 사용할 수 있다. 연마촉진제는 아미노산을 포함하고, 아미노산의 곁사슬(side chain)에 위치하는 작용기(functional group)가 양의 전하를 가질 수 있다. 또한, 연마촉진제는 2가지 이상의 서로 다른 작용기를 가지며, 각 작용기는 pH 알카리 영역에서 수소이온을 얻어 양의 전하를 가지는 작용기와 수소이온을 잃어 음의 전하를 가지는 작용기일 수 있다.
연마촉진제로 아르기닌을 사용하는 경우를 예로 들어, 작용기의 작용을 설명한다. 우선, 도 3에 본 발명 실시예의 슬러리에 사용되는 유기산의 pH에 따른 스피시스 분포를 도시한 그래프를 나타낸 바와 같이, 아르기닌은 pH 영역에 따라 다양한 형태로 존재하게 된다. 또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 아르기닌은 pH 9 내지 12.5의 영역에서 HA 형태이며, 1개의 아민기와 1개의 카르복실기가 해리되어 양쪽성 이온의 형태를 가지게 된다. 즉, 아르기닌은 특정 pH 영역(9 ~ 12.5)에서, 아민기는 수소 이온을 얻어 양의 전하값을 갖고 카르복실기는 수소 이온을 잃어 음의 전하값을 가지어 양쪽성 이온의 형태로 존재한다. 이때, 상기의 pH 영역에서 코발트의 표면은 Co3O4 혹은 Co(OH)2 , Co(OH)3 의 형태이다(이와 관해서는 후술한다.). 즉, 해당 영역에서 코발트의 표면은 산소와 결합하기 쉽고, 코발트는 금속 상태인 경우보다 연마하기 좋은 상태인 옥사이드 혹은 하이드로옥사이드 상태로 존재할 수 있다. 또한, 아르기닌은 각 작용기가 코발트 이온과 결합하여 코발트의 산화반응을 촉진시켜 코발트의 연마율을 증가시킬 수 있다. 즉, 아르기닌의 아민기는 코발트 2가 이온과 공유결합을 이루고, 카르복실기는 코발트 2가 이온과 이온 결합을 이룬다. 이에, 연마촉진제를 사용하는 경우, 연마제만을 사용하는 경우보다 코발트 연마율을 향상시킬 수 있다. 한편, 양의 전하를 가지는 아민기는 음의 전하를 가지는 절연막(예: 실리콘 산화막)에 작용하여 절연막이 분해되는 것을 막아 절연막의 연마율을 억제할 수 있다. 즉, 아민기가 실리콘 산화막과 결합하여, 실리콘 산화막이 Si(OH)4 형태로 분해되는 것을 막아 실리콘 산화막의 연마율을 감소시킬 수 있다. 따라서, 연마촉진제로 상기 설명한 유기산을 사용하는 경우, 연마 대상인 코발트의 연마를 촉진시키면서, 연마 대상 이외의 물질 예컨대 절연막의 연마를 억제하게 된다.
연마촉진제로는 카르복실기와 아민기를 가지는 각종 유기산을 사용할 수 있으며, 예를 들면, 연마촉진제는 아르기닌(Arginine), 히스티딘(Histidine), 라이신(Lysine), 아스파틱산(Aspartic acid), 아스파라긴(Asparagine), 글루타믹산(Glutamic acid), 글루타민(Glutamine), 알라닌(Alanine), 글라이신(Glycine), 류신(Leucine), 아이소류신(Isoleucine), 발린(Valine), 세린(Serine) 및 타이로신(Tyrosine) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 각 유기산을 단독으로 사용할 수도 있고, 혼합하여 사용할 수도 있다. 도 3에 이들 각 유기산에 대한 분류를 나타내었다. 도 1에서 볼 수 있듯이, 각 유기산은 적어도 하나의 카복실기(COOH)와 아민기(NH2)를 포함하고 있다. 또한, 각 유기산은 동일한 수의 카르복실기와 아민기를 가지는 중성 아미노산일 수 있고, 카르복실기의 수가 아민기 보다 많은 산성 아미노산일 수도 있으며, 아민기가 카르복실기 보다 많은 염기성 아미노산일 수도 있다. 이때, 아민기는 연마 대상 즉, 코발트와 반응하고, 또한, 연마 대상 외의 물질 즉, 절연막과도 반응하므로, 아민기의 수가 많은 것이 유리하다. 예를 들면, 아민기의 수가 카르복실기의 수보다 많은 염기성 아미노산이 슬러리의 연마 성능을 더욱 향상시킬 수 있다. 또한, 유기산은 아민기와 카르복실기 외에 다른 작용기를 더 포함할 수도 있다. 예를 들어, 유기산은 하이드록실기(OH), 수소기(H) 등을 더 가질 수 있고, 방향족 탄화수소를 더 가질 수도 있다. 연마촉진제의 함량은 슬러리 전체 중량의 0.1중량%∼2중량% 정도일 수 있다. 연마촉진제의 함량이 0.1중량% 미만이면 절연막 예를 들면 실리콘 산화막의 연마율이 높아 코발트와 절연막의 연마 선택비가 좋지 않으며, 2중량%을 초과하면 코발트의 연마율이 크게 감소되어 코발트를 효율적으로 연마하기 어렵다. 연마촉진제의 함량이 0.3중량%∼1중량% 범위일 경우 코발트 연마율을 절연막 연마율로 나눈 연마 선택비가 30 이상으로 고선택비를 얻을 수 있다. 또한, 연마촉진제의 함량이 0.5중량%∼1중량% 범위일 경우 코발트대 절연막의 연마 선택비가 50 이상으로 더욱 높은 고선택비를 얻을 수 있다.
종래의 코발트 슬러리는 산화제를 사용하기 때문에, 연마 대상 예컨대, 코발트 표면에 야기되는 국소적인 부식을 억제하기 위해 부식 방지제를 사용하였다. 그러나, 본 발명의 실시예는 부식 방지제를 사용하지 않는다.
pH 조절제는 슬러리의 pH를 조절할 수 있다. pH 조절제는 주로, 암모니아수, 수산화칼륨(KOH) 등을 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 pH 조절제를 이용하여 슬러리의 pH를 알카리 영역으로 조절할 수 있다. 즉, pH가 7를 초과하도록 조절할 수 있다. 또한, 슬러리의 pH를 8 내지 15 범위로 조절할 수도 있으며, pH를 9∼12.5로 조절할 수도 있고, pH를 9∼11로 조절할 수도 있다. 이렇게 pH를 조절하는 이유는 코발트의 푸르오베 도표(pourbaix diagram)를 나타낸 도 4를 통해 알 수 있다. 도 4에 pH에 대한 포텐셜(전위)를 도시한 바와 같이, pH가 8 미만인 경우 코발트 2가 이온의 형태가 안정한 상태이므로 코발트에 부식이 발생된다. pH가 2 이하로 감소되면 코발트 2가, 3가 이온 형성으로 부식은 더욱 심해진다. 또한, pH가 15를 넘어가면, 코발트 산화막이 이온형태로 존재하게 되고, 이에 부식이 발생된다. 반면, pH가 8 내지 15인 영역에서 코발트 옥사이드(CO3O4), 코발드 하이드록사이드가 형성될 수 있고, 이에, 이 영역에서 부식을 억제하면서 코발트를 용이하게 연마할 수 있음을 알 수 있다. 즉, 해당 알카리 영역(도면에 음영 표시)에서 코발트 보다 연질인 코발트 산화물이 형성되며, 이 영역에서 연마를 할 경우 연마율이 증가한다. 또한, 표면에 형성되는 코발트 옥사이드 막은 코발트의 표면 부식 결함을 억제할 수 있다. 따라서, 본 발명 실시예의 슬러리는 pH 조절제를 이용하여 pH를 8 내지 15로 조절하여, 코발트르 용이하게 연마 또는 에칭할 수 있다.
한편, 코발트의 부식을 방지하기 위해서는 슬러리의 전기전도도를 적정하게 조정하여야 한다. 슬러리의 전기전도도가 너무 큰 경우에는 부식 전류가 증가하게 되어, 코발트 표면이 부식될 가능성이 증가하기 때문이다. 도 6에 슬러리의 pH에 대한 전기전도도를 나타내었다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 슬러리의 전기전도도(conductivity)는 pH에 따라 변화되고, pH의 조정에 의해 원하는 전기전도도를 얻을 수 있음을 알 수 있다. 코발트를 연마하는 경우, 상술한 바와 같이 8 내지 15의 알카리 영역이 유용하다. 그러나 pH가 12를 초과하는 경우에는, 도 6에서 보여주듯이, 슬러리의 전기전도도가 크게 증가하여 부식전류를 증가시키게 된다. 이로부터 코발트의 표면에 부식결함이 발생될 가능성이 증가할 것이라는 것을 예측할 수 있다. 또한, 슬러리의 전기전도도가 너무 낮으면, 각종 작용기가 제대로 작용할 수 없다. 이에, 코발트를 연마하는 슬러리의 pH를 8 내지 12로 조절할 수 있고, pHㄹ를 9 내지 11로 조절할 수 있다. 이로부터 적절한 전기 전도도를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 코발트를 연마하기 위한 슬러리는 여러 가지 요인에 의하여 pH를 알카리 영역으로 제어한다. 즉, 연마촉진제의 작용기의 반응 및 작용, 코발트의 존재 상태(산화물 형성) 및 슬러리의 전기전도도 중 적어도 어느 하나를 제어하기 위해, 슬러리의 pH를 적정한 범위로 제어한다. 이로부터, 코발트의 연마를 촉진하며, 연마 대상이 아닌 절연막의 연마를 억제하고, 코발트 표면의 국소적인 부식을 방지할 수 있다.
하기에서는 상기 실시예의 슬러리를 제조하고, 반도체 기판에 적용하여 연마특성을 평가한 결과를 설명한다.
실험 예
슬러리의 제조 과정은 일반적인 슬러리 제조 과정과 크게 다르지 않으므로, 간단히 설명한다. 우선, 슬러리를 제조할 용기를 준비하고, 용기에 원하는 양의 초순수(DI Water)와 분산제인 폴리아크릴산을 넣어 충분히 혼합하고, 결정질 상을 갖고 소정의 1차 입자의 평균 크기를 갖는 지르코니아 입자를 연마제로 소정량 측량하여 투입하여 균일하게 혼합하였다. 또한, 연마촉진제로 아르기닌을 용기에 소정량 투입한 후 균일하게 혼합하였다. 이어서, 수산화 칼륨 pH 조절제를 용기에 투입하여 pH를 조절하였다. 이러한 각 물질들의 투입 및 혼합 순서는 특별히 한정되지 않는다. 본 실험예에서는 지르코니아 입자 및 분산제는 슬러리 전체 중량에 대하여 각각 1중량% 및 0.375중량% 함유되도록 투입하였다. 또한, 연마촉진제는 0 내지 2중량%까지 다양하게 투입하였다. 즉, 연마촉진제의 투입량에 따라 복수의 슬러리를 준비하였다. 각 슬러리는 수산화 칼륨을 이용하여 pH가 10이 되도록 하였다. 상기 성분 외에 나머지는 불가피하게 들어간 불순물 및 순수를 포함할 수 있다.
또한, 실험예의 슬러리를 이용하여 연마를 수행할 복수의 12인치 웨이퍼를 준비하였다. 즉, 실리콘 웨이퍼 상에 산화막과 질화티타늄을 1000Å씩 각각 증착 후 코발트막을 6000Å 증착한 코발트 웨이퍼를 준비하였다. 또한, 절연막으로 실리콘 산화막을 7000Å 증착한 산화막 웨이퍼를 준비하였다. 한편, 연마 장비로는 G&P Tech사의 poli-762 장비를 사용하였고, 연마 패드로는 Rohm & Haas의 IC 1000/Suba IV CMP 패드를 사용하였다. 또한, 다음의 연마 조건으로 코발트막 및 산화막을 각각 60초씩 연마하였다. 헤드 압력은 4psi이고, 헤드(Head)와 스핀들 테이블(Spindle table)의 속도는 각각 93rpm 및 87rpm이며, 슬러리의 유속은 100㎖/min이였다.
도 7은 본 발명 실시예의 슬러리의 연마 결과를 나타내는 표이며, 도 8은 연마 촉진제의 농도에 따른 코발트의 연마율을 도시한 그래프이고, 도 9는 연마 촉진제의 농도에 따른 절연 산화막(SiO2)의 연마율을 도시한 그래프이다. 도 7에는 연마촉진제의 함량에 따른 코발트과 실리콘 산화막의 연마율 및 선택비를 수치로 나타내었으며, 도 8 및 9는 코발트과 실리콘 산화막의 연마율을 각기 도시하였다. 여기서, 코발트 및 실리콘 산화막의 연마율은 코발트 웨이퍼 및 실리콘 산화막 웨이퍼를 각각 연마하여 산출한 것이고, 연마 선택비는 코발트의 연마율과 산화막의 연마율의 비율이다. 즉, 코발트 연마율을 실리콘 산화막 연마율로 나눈 값이다.
도 7 내지 9에서 알 수 있듯이, 연마촉진제의 량이 증가하면 코발트의 연마율이 급격하게 증가하며, 소정량 이상 첨가되면 다시 감소하였다. 반면, 연마 촉진제의 량이 증가하면, 실리콘 산화막의 연마율은 계속 감소하였다. 즉, 연마촉진제를 첨가하면 산화제 없이도 코발트의 연마율을 크게 증가시킬 수 있고, 1000 Å/min이 넘는 연마율을 얻을 수도 있었다. 또한, 연마촉진제의 첨가에 의해 코발트의 연마율을 증가시키고, 실리콘 산화막의 연마율을 감소시키므로, 높은 연마 선택비를 얻을 수 있었다. 이와 관련된 원리는 이미 설명하였다. 연마촉진제의 함량이 0.03중량% 이상인 경우, 코발트 연마율이 1000 Å/min 이상으로 높은 값을 나타내었다. 또한, 연마촉진제의 함량이 0.1중량% 이상인 경우, 코발트 연마율은 1400 Å/min 이상으로 높은 값을 나타내었고, 연마촉진제의 함량이 0.5중량%인 경우, 코발트 연마율은 2000 Å/min 이상으로 매우 높은 값을 나타내었다. 연마촉진제가 0.7중량% 이상 함유되면 코발트의 연마율이 감소되기 시작하였다. 연마촉진제의 함량이 0.1 내지 2중량%인 경우, 연마 선택비는 20 이상으로 높은 값을 나타내었다. 또한, 연마촉진제의 함량이 0.3중량% 이상인 경우, 연마 선택비는 30 이상으로 높은 값을 나타내었고, 연마촉진제의 함량이 0.5 내지 1중량%인 경우, 연마 선택비는 50 이상으로 매우 높은 값을 나타내었다.
본 발명의 실시 예에 따른 슬러리는 반도체 소자의 제조 공정에서 코발트의 연마 공정에 이용할 수 있다. 코발트은 매립 게이트와 배선/플러그용으로 이용될 수 있다. 매립 게이트 코발트의 경우에는 셀(cell)간 간격이 30㎚ 이하로 좁고, 배선/플러그용 코발트은 셀간 간격이 30∼150㎚ 정도로 넓은 편이다. 따라서, 연마할 패턴의 종류에 따라 적절한 연마 선택비를 가지는 슬러리를 선택하여 연마 공정을 실시할 수 있다. 즉, 코발트막과 산화막의 연마 선택비가 높은 고 선택비를 갖는 슬러리를 이용하여 반도체 소자의 제조 공정에 이용될 수 있다. 이러한 본 발명의 슬러리를 이용한 반도체 소자의 제조 방법을 도 10을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다. 도 10(a)를 참조하면, 기판(110) 상에 절연막(120), 예를 들면 실리콘 산화막을 형성한다. 도 10(b)를 참고하면, 절연막(120)의 소정 영역을 식각하여 기판(110)의 소정 영역(111)을 노출시키는 패턴이 형성된다. 기판(110)은 반도체 소자의 제조에 이용되는 다양한 기판을 이용할 수 있는데, 실리콘 기판을 이용할 수 있다. 절연막(120)은 실리콘 산화막 계열의 물질을 이용하여 형성할 수 있다. 예를 들어 BPSG(BoronPhosphoSilicate Glass), PSG(PhosphoSilicate Glass), HDP(High Density Plasma), TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate), USG(Undoped Silica Glass), PETEOS, HARP(High Aspect Ratio Process)의 적어도 어느 하나를 이용하여 형성할 수 있다. 또한, 절연막(120)은 PVD(Physical Vapor Deposition) 방법, CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법, MOCVD(Metal Organic CVD) 방법, ALD(Atomic Layer Deposition) 방법 또는 CVD 방법과 ALD 방법을 혼합한 AL-CVD 방법을 이용하여 형성할 수 있다. 패턴은 배선 및/또는 플러그를 형성하기 위해 기판(110)의 소정 영역을 노출시키는 홀일 수도 있고, 라인 형상의 트렌치일 수도 있다.
그리고, 도 10(C)에 나타낸 바와 같이, 패턴을 포함하는 기판(110) 및 절연막(120) 상에 질화티타늄 등의 배리어층(130)을 형성한 후 패턴이 매립되도록 전체면에 코발트막(140)을 형성한다.
도 10(d)를 참조하면, 코발트막과 산화막의 연마 선택비가 높은 고 선택비를 가지는 본 발명 실시예의 슬러리를 이용하여 코발트막(140) 및 절연막(120)을 연마한다. 슬러리는 코발트막과 산화막의 연마 선택비가 30 근처 혹은 그 이상인 고선택비를 갖는다. 즉, 이때 연마 방법은 연마제인 산화 지르코늄 입자와 카복실기와 아민기를 함유하는 연마촉진제를 포함하는 슬러리를 마련하고, 슬러리를 기판상에 공급하면서 코발트막(140)을 연마한다. 연마 후에는 트랜치 내에만 코발트막이 형성된 구조가 제조된다. 트랜치 구조 혹은 배선 구조는 소자에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
이러한 연마 과정에서, 상기 아민기는 수소이온을 얻어 양의 전하를 가지며, 카르복실기는 수소이온을 잃어 음의 전하를 가지는 양쪽성 이온의 상태로 되고, 상기 아민기가 상기 코발트막(140) 이외의 물질 즉, 실리콘 산화막(120)의 연마를 억제한다. 또한, 연마 과정은 pH 알카리 영역에서 진행되며, 코발트막(140)의 상부 표면에 코발트 산화막을 형성하고, 연마제가 코발트 산화막을 연마하는 과정 및 연마촉진제가 코발트와 결합하는 과정을 포함한다. 또한, 연마 과정은 연마촉진제의 작용기 중 양의 전하를 가지는 아민기와 음의 전하를 가지는 카르복실기가 코발트 이온과 결합하여 코발트의 해리반응을 촉진시켜 코발트막의 연마율을 촉진 및 증가시킨다. 이로부터, 슬러리가 산화제를 포함하지 않더라도, 코발트막(140)의 연마를 촉진시키고, 절연 산화막(120)의 연마를 억제한다. 또한, 산화제를 사용하지 않으므로 코발트막(140)의 표면에서 발생할 수 있는 부식 결함을 현저하게 억제한다. 또한, 산화막에 대한 코발트 연마 선택비가 우수한 슬러리를 이용하여 코발트막(140)을 연마하면 절연막(120)은 연마되지 않고 코발트막(140)이 연마되어 에로젼이 거의 발생되지 않는다. 이때, 연마제로 지르코니아 입자를 사용함으로써 기계적 방식이 우세한 CMP 공정을 진행할 수 있기 때문에 디싱도 함께 억제할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상은 상기 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기 실시 예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
110 : 기판 120 : 절연막
130 : 배리어층 140 : 코발트막

Claims (22)

  1. 코발트 연마용 슬러리로서,
    연마를 수행하고, 산화 지르코늄 입자를 포함하는 연마제;
    상기 연마제를 분산시키는 분산제; 및
    슬러리 내에서 양쪽성 이온의 형태로 존재하여 연마를 촉진시키는 연마촉진제;를 포함하고,
    상기 연마 촉진제는 아민기와 카르복실기를 함유하는 유기산을 포함하고,
    상기 코발트를 산화시키는 산화제와 상기 코발트의 부식을 방지하는 부식 방지제를 사용하지 않는 슬러리.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 연마제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.1중량% 내지 10중량%로 포함되는 슬러리.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 연마제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.4중량% 내지 3중량%로 포함되는 슬러리.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 분산제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.01중량% 내지 5중량%로 포함되는 슬러리.
  5. 청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,
    상기 분산제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.15중량% 내지 1중량%로 포함되는 슬러리.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 연마촉진제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.1중량% 내지 2중량%로 포함되는 슬러리.
  7. 청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,
    상기 연마촉진제는 슬러리 전체 중량에 대하여 0.3중량% 내지 1중량%로 포함되는 슬러리.
  8. 청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,
    상기 연마촉진제는 아미노산을 포함하고, 상기 아미노산은 곁사슬(side chain)의 작용기가 양의 전하는 가지는 슬러리.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 연마촉진제는 pH 알칼리 영역에서 수소이온을 얻어 양의 전하를 가지는 작용기와 수소이온을 잃어 음의 전하를 가지는 작용기를 가지는 슬러리.
  10. 청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,
    상기 연마촉진제는 아르기닌(Arginine), 히스티딘(Histidine), 라이신(Lysine), 아스파틱산(Aspartic acid), 아스파라긴(Asparagine), 글루타믹산(Glutamic acid), 글루타민(Glutamine), 알라닌(Alanine), 글라이신(Glycine), 류신(Leucine), 아이소류신(Isoleucine), 발린(Valine), 세린(Serine) 및 타이로신(Tyrosine)중 적어도 어느 하나를 포함하는 슬러리.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬러리는 pH 조절제를 더 포함하며, pH는 8~15로 조절되는 슬러리.
  12. 청구항 1 또는 청구항 11에 있어서,
    상기 슬러리는 pH 조절제를 더 포함하며, pH는 9~12.5으로 조절되는 슬러리.
  13. 산화제 없이 코발트를 연마하기 위한 무산화제 코발트 연마용 슬러리로서,
    연마를 수행하는 연마제로 산화 지르코늄 입자들을 포함하고,
    슬러리 내에서 양쪽성 이온의 형태로 존재하여 상기 코발트와 상기 코발트 이외의 물질의 연마특성을 조절하는 연마촉진제를 포함하며,
    상기 연마촉진제는 2가지 이상의 서로 다른 작용기를 가지며, 상기 연마촉진제는 pH 알카리 영역에서 수소이온을 얻어 양의 전하를 가지는 작용기와 수소이온을 잃어 음의 전하를 가지는 작용기를 포함하고,
    상기 코발트의 부식을 방지하는 부식 방지제를 사용하지 않는 슬러리.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 코발트 외의 물질은 절연물을 포함하며, 상기 작용기는 아민기와 카르복실기를 포함하고,
    상기 아민기는 상기 절연물과 결합되어 상기 절연물의 연마를 억제하는 슬러리.
  15. 청구항 13에 있어서,
    상기 연마촉진제는 아미노산을 포함하고, 상기 작용기는 아민기와 카르복실기를 포함하며, 상기 아민기와 상기 카르복실기는 동일한 카본 원자에 결합되는 슬러리.
  16. 청구항 14 또는 청구항 15에 있어서,
    상기 연마촉진제는 아민기와 카르복실기의 수가 동일하거나 서로 다른 슬러리.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 연마촉진제는 아민기의 수가 카르복실기의 수 보다 더 많은 슬러리.
  18. 청구항 13에 있어서,
    상기 슬러리는 pH 조절제를 더 포함하며, pH는 9~11로 조절되는 슬러리.
  19. 청구항 13 또는 청구항 18에 있어서,
    상기 슬러리는 분산제를 더 포함하며, 상기 분산제는 음이온계, 양이온계 및 비이온계 고분자 물질 중 적어도 하나를 포함하는 슬러리.
  20. 기판 연마 방법으로서,
    코발트층이 형성된 기판을 마련하는 과정;
    산화 지르코늄 입자를 가지는 연마제와, 슬러리 내에서 양쪽성 이온의 형태로 존재하여 아민기와 카르복실기를 함유하는 연마촉진제를 포함하며, 상기 코발트층을 산화시키는 산화제와 상기 코발트층의 부식을 방지하는 부식 방지제를 사용하지 않는 슬러리를 마련하는 과정 및
    상기 슬러리를 상기 기판 상에 공급하면서 상기 코발트층을 연마하는 과정을 포함하고,
    상기 연마 과정은, 상기 연마촉진제가 상기 아민기는 수소이온을 얻어 양의 전하를 가지며, 카르복실기는 수소이온을 잃어 음의 전하를 가지는 양쪽성 이온의 상태로 되고, 상기 아민기가 상기 코발트층 이외의 물질의 연마를 억제하는 기판 연마 방법.
  21. 청구항 20에 있어서,
    상기 코발트층이 형성된 기판을 마련하는 과정은, 상기 기판 상에 상기 코발트층 이외의 물질로 절연막을 형성하고, 상기 절연막에 트랜치를 형성하며, 상기 트랜치를 포함하는 절연막 전체면에 코발트층을 형성하는 기판 연마 방법.
  22. 청구항 20 또는 청구항 21에 있어서,
    상기 연마 과정은, pH 알카리 영역에서 진행되며, 상기 코발트층의 상부 표면에 코발트 산화막을 형성하고, 상기 연마제가 상기 코발트 산화막을 연마하는 과정 및 상기 연마촉진제가 코발트와 결합하는 과정을 포함하는 기판 연마 방법.
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