KR101729717B1 - 실런트 경화용 마스크와 그것을 이용한 평판 표시 장치 제조방법 - Google Patents

실런트 경화용 마스크와 그것을 이용한 평판 표시 장치 제조방법 Download PDF

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Abstract

실런트 경화용 마스크와 그것을 이용한 평판 표시 장치 제조방법이 개시된다. 개시된 실런트 경화용 마스크는 기판 상의 발광부를 둘러싼 실런트의 형상과 매칭되는 투광슬릿이 형성된 본체 및, 투광슬릿의 일부를 부분적으로 차광하는 부분차광부를 포함한다. 이러한 구조의 마스크를 사용하면, 상대적으로 레이저 조사량이 많아지는 부위를 부분차광부가 가려주기 때문에, 실런트가 전체적으로 균일하게 경화되어 안정적인 봉지 구조를 확보할 수 있게 된다.

Description

실런트 경화용 마스크와 그것을 이용한 평판 표시 장치 제조방법{A mask for sealant hardening and the flat display device manufacturing method using the same}
본 발명은 실런트 경화용 마스크와 그것을 이용한 평판 표시 장치 제조방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 실런트의 부위별 노광량 차이에 의한 실링 불량을 억제할 수 있도록 개선된 실런트 경화용 마스크와 그것을 이용한 평판 표시 장치 제조방법에 관한 것이다.
예컨대 유기 발광 표시 장치와 같은 평판 표시 장치는 구동 특성상 박형화 및 플랙시블화가 가능하여 이에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다.
그런데, 이 유기 발광 표시 장치는 수분의 침투에 의해 발광부가 열화되는 특성이 있다. 따라서, 외부로부터의 수분 침투를 방지하기 위해 발광부를 밀봉하여 보호해주는 봉지 구조를 필요로 한다.
종래에는 이러한 봉지 구조로서, 발광부가 형성된 글라스기판 위에 봉지기판을 덮고, 글라스기판과 봉지기판 사이는 프릿(frit)과 같은 실런트(sealant)로 밀봉시키는 구조가 주로 채용되었다. 즉, 글라스기판의 발광부 주변에 프릿을 도포하고, 그 위에 봉지기판을 덮은 후 레이저를 조사하여 프릿을 경화시킴으로써 밀봉이 이루어지도록 한 것이다.
그런데, 발광부를 둘러싸고 있는 프릿 즉, 실런트에 레이저를 조사하여 경화시킬 때, 만일 부위별로 레이저가 조사되는 에너지량에 편차가 심해지면 실링 불량이 발생될 수 있다. 즉, 에너지량이 너무 모자라면 실런트의 경화가 제대로 진행되지 않아서 밀봉이 제대로 이루어지지 않게 되고, 반대로 너무 과해져도 실런트 표면에 기포가 다량 발생하면서 마찬가지로 밀봉 불량이 생기게 된다.
따라서, 실런트의 모든 부위에 레이저가 균일하게 조사되도록 해야 하는데, 문제는 실런트를 대략적인 사각형상이라고 볼 때 직선부와 코너부에서 레이저 조사량이 달라질 수 밖에 없다는 점이다. 즉, 일반적으로 실런트는 기판 상의 발광부를 사각형상으로 둘러싸게 되는데, 네 변에 해당되는 직선부위를 경화시킬 때에는 레이저 조사장치가 일정한 속도로 지나면서 각 부위에 레이저를 균일하게 조사할 수 있지만, 네 변의 연결부위에 해당되는 코너부를 지날 때에는 아무래도 직선부에 비해 레이저 조사장치가 감속되기 때문에 레이저 조사량이 많아지게 된다. 따라서, 직선부를 기준으로 레이저 조사량을 적정하게 맞춰놓으면, 코너부에서는 레이저 조사량 과다로 인해 실런트 표면에 기포가 발생하면서 밀봉 불량으로 이어지는 경우가 종종 생기게 된다.
그러므로, 실런트의 부위별 레이저 조사량의 편차를 줄여서 이러한 문제를 해결할 수 있는 방안이 요구되고 있다.
본 발명의 실시예는 실런트의 부위별 레이저 조사량의 편차를 줄여서 밀봉 불량을 해소할 수 있도록 개선된 실런트 경화용 마스크와 그것을 이용한 평판 표시 장치 제조방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 실런트 경화용 마스크는, 기판 상의 발광부를 둘러싼 실런트의 형상과 매칭되는 투광슬릿이 형성된 본체 및, 상기 투광슬릿의 일부를 부분적으로 차광하는 부분차광부를 포함한다.
상기 투광슬릿은 복수의 직선부들과, 그 직선부들을 연결하는 코너부들을 포함할 수 있으며, 상기 부분차광부는 상기 코너부에 마련될 수 있다.
상기 코너부는 라운드 형상일 수 있다.
상기 부분차광부는 상기 투광슬릿의 코너부에 마련된 복수의 창살패턴을 포함할 수 있다.
상기 창살패턴은 상기 발광부와 인접한 측의 폭과 그 반대편 측의 폭이 실질적으로 같은 형상일 수 있으며, 또는 상기 발광부와 인접한 측의 폭이 그 반대편 측의 폭 보다 좁은 형상일 수도 있다.
상기 창살패턴들 중 상기 코너부의 중앙에 배치된 창살패턴의 폭이 나머지 창살패턴들에 비해 상대적으로 클 수 있다.
상기 부분차광부는 상기 코너부의 투광슬릿을 덮어서 투광도를 줄이는 저투광층을 포함할 수 있다.
상기 저투광층은 상기 발광부와 인접한 측의 두께와 그 반대편 측의 두께가 실질적으로 같은 형상일 수 있으며, 또는 상기 발광부와 인접한 측의 두께가 그 반대편 측의 두께 보다 두꺼운 형상일 수도 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시 장치 제조방법은, 기판 상의 발광부 주변에 실런트를 도포하고 그 위에 봉지기판을 덮는 단계와, 상기 봉지기판 위에 상기 실런트 형상과 매칭되는 투광슬릿을 가진 실런트 경화용 마스크를 설치하는 단계 및, 상기 투광슬릿을 통해 광을 조사하여 상기 실런트를 경화시키는 단계를 포함하는 평판 표시 장치 제조방법에 있어서, 상기 실런트 경화용 마스크는 상기 투광슬릿의 일부를 부분적으로 차광하는 부분차광부를 포함한다.
상기 투광슬릿은 복수의 직선부들과, 그 직선부들을 연결하는 코너부들을 포함할 수 있으며, 상기 부분차광부는 상기 코너부에 마련될 수 있다.
상기 코너부는 라운드 형상일 수 있다.
상기 부분차광부는 상기 투광슬릿의 코너부에 마련된 복수의 창살패턴을 포함할 수 있다.
상기 창살패턴은 상기 발광부와 인접한 측의 폭과 그 반대편 측의 폭이 실질적으로 같은 형상일 수 있으며, 또는 상기 발광부와 인접한 측의 폭이 그 반대편 측의 폭 보다 좁은 형상일 수도 있다.
상기 창살패턴들 중 상기 코너부의 중앙에 배치된 창살패턴의 폭이 나머지 창살패턴들에 비해 상대적으로 클 수 있다.
상기 부분차광부는 상기 코너부의 투광슬릿을 덮어서 투광도를 줄이는 저투광층을 포함할 수 있다.
상기 저투광층은 상기 발광부와 인접한 측의 두께와 그 반대편 측의 두께가 실질적으로 같은 형상일 수 있으며, 또는 상기 발광부와 인접한 측의 두께가 그 반대편 측의 두께 보다 두꺼운 형상일 수도 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 실런트 경화용 마스크와 그것을 이용한 평판 표시 장치 제조방법에 의하면, 실런트의 부위별 레이저 조사량의 편차를 줄임으로써 밀봉 불량을 억제하여 보다 안정적인 봉지 구조를 보장할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실런트 경화용 마스크를 이용한 평판 표시 장치 제조방법을 보인 단면도이다.
도 2는 도 1의 평면도이다.
도 3a 내지 도 3d는 도 1에 도시된 실런트 경화용 마스크의 변형 가능한 예를 보인 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실런트 경화용 마스크를 이용한 평판 표시 장치 제조방법을 보인 단면도이다.
도 5는 도 4의 평면도이다.
도 6a 및 도 6b는 도 4에 도시된 실런트 경화용 마스크의 변형 가능한 예를 보인 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 실런트 경화용 마스크(100)를 이용한 평판 표시 장치 제조방법을 도시한 것이다.
도시된 바와 같이 본 실시예의 평판 표시 장치는, 기판(400)과, 그 위에 형성된 발광부(300)와, 그 발광부(300)를 덮어주는 봉지기판(200) 및, 발광부(300)를 둘러싸서 기판(400)과 봉지기판(200) 사이를 밀봉해주는 실런트(500) 등을 구비하고 있다.
상기 실런트(500)로는 예컨대 프릿(frit) 등이 사용될 수 있다. 이 프릿은 유리원료가 되는 글라스 재질의 부재로서, 레이저 노광에 의해 경화되는 특성을 가지고 있다. 따라서, 상기 기판(400)에 실런트(500)로서 프릿을 도포하고 봉지기판(200)을 덮은 후 해당 부위에 레이저를 조사하면, 프릿이 경화되면서 두 부재 사이를 견고히 밀봉하게 된다.
바로 이러한 실런트(500)의 경화를 위해 레이저를 조사할 때, 상기 실런트 경화용 마스크(100)를 사용하여 레이저가 실런트(500) 부위에 잘 조사되도록 가이드하게 된다.
상기 실런트 경화용 마스크(100)는 레이저를 통과시키는 투광슬릿(111)이 형성된 본체를 구비하고 있다. 즉, 본체는 투명한 베이스(120) 위에 상기 투광슬릿(111)을 형성하는 차광패턴(110)이 형성된 구조로 이루어져 있으며, 따라서, 레이저조사장치(미도시)에서 출사된 레이저는 이 투광슬릿(111)을 통해서 실런트(500)에 조사된다. 물론, 투광슬릿(111)은 상기 실런트(500)의 형상과 매칭되도록 형성된다.
그리고, 이 투광슬릿(111)의 라운드 형 코너부(111b)에는 레이저를 부분적으로 막아주는 창살패턴의 부분차광부(130)가 형성되어 있다. 즉, 투광슬릿(111)은 발광부(300)를 둘러싼 실런트(500)의 형상과 매칭되도록 대략적인 사각형상으로 형성되어 있는데, 네 변에 해당되는 직선부(111a)는 투광슬릿(111)이 완전히 개방되어 있지만, 네 귀에 해당되는 코너부(111b)에는 부분적으로 레이저를 막아주는 부분차광부(130)가 형성되어 있는 것이다.
이렇게 되면, 직선부(111a)에 비해 코너부(111b)에서는 부분차광부(130)에 의해 레이저의 통과량이 상대적으로 줄어들기 때문에, 해당 부위의 실런트(500)에 조사되는 레이저 조사량도 감소하게 된다. 전술한 바와 같이 직선부(111a)에 비해 코너부(111b)에서는 레이저조사장치(미도시)가 감속되는 등의 이유로 인해 상대적으로 레이저 조사량이 많아지게 되는데, 이렇게 코너부(111b)를 부분차광부(130)로 일부 가려주게 되면 레이저 조사량이 직선부(111a)와 비슷하게 줄어들게 된다. 즉, 일반적으로 레이저 조사량이 상대적으로 많은 코너부(111b)를 부분차광부(130)로 가려줌으로써 직선부(111a)와 레이저 조사량의 수준을 비슷하게 맞춰서 편차를 줄이도록 하는 것이다.
따라서, 이러한 실런트 경화용 마스크(100)를 사용하면, 투광슬릿(111)을 통과하는 레이저 조사량이 전구간에 걸쳐서 비슷한 수준으로 조정되므로, 특히 코너부(111b)에서의 레이저 조사량 과다에 의한 기포 발생 등의 문제가 해소될 수 있다.
상기한 실런트 경화용 마스크(100)를 이용한 평판 표시 장치의 제조는 다음과 같이 진행될 수 있다.
먼저, 기판(400) 상에 발광부(300)를 형성하고, 그 발광부(300) 주변에 실런트(500)를 도포한다.
그리고는 봉지기판(200)을 덮은 다음, 그 위에 상기 실런트 경화용 마스크(100)를 설치한다. 이때 실런트 경화용 마스크(100)의 투광슬릿(111)이 상기 실런트(500)의 위치와 잘 매칭되게 배치시킨다.
이 상태에서 레이저를 조사하면, 투광슬릿(111)을 통해 레이저가 조사되면서 실런트(500)가 경화되며, 이때 투광슬릿(111)의 직선부(111a)와 코너부(111b)의 레이저 조사량이 상기 부분차광부(130)에 의해 비슷해지기 때문에 전반적으로 균일한 경화가 진행된다. 따라서, 안정적인 밀봉 구조가 구현된다.
한편, 여기서 창살패턴의 부분차광부(130)는 도 3a 내지 도 3d에 도시된 바와 같은 다양한 형태로 변형될 수 있다.
먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이 부분차광부(130)인 창살패턴(131)을 전부 길쭉한 직사각형태로 똑같이 형성할 수 있다. 이렇게 하면 투광슬릿(111)의 직선부(111a)에 비해 코너부(111b)의 레이저 조사량을 줄이는 목적을 달성하는 데에는 문제가 없다.
또는, 도 3b에 도시된 바와 같이 창살패턴(132)을 사다리꼴 형태로 형성하여 안쪽 즉, 발광부(300)와 가까운 쪽의 폭을 반대쪽에 비해 좁게 형성할 수도 있다. 이것은 직사각형의 창살패턴(131)인 도 3a의 경우에 발광부(300)와 가까운 안쪽의 투광슬릿(111)이 반대편인 바깥쪽에 비해 좁아져서 안팎의 조사량 차이가 날 수도 있기 때문에, 이를 방지하기 위해 창살패턴(132)을 사다리꼴로 만들어서, 그 창살패턴(132)들 사이의 투광슬릿(111)은 거의 직사각 형상이 나오도록 한 것이다. 따라서, 코너부(111b) 안에서도 안팎의 레이저 조사량을 보다 균일하게 조정할 수 있다.
도 3c는 도 3a의 추가적인 변형예로서, 창살패턴(131)들 중에서 중앙부에 위치한 창살패턴(131a)의 폭이 나머지에 비해 가장 크게 형성되어 있다. 이것은 레이저 조사장치가 직선부(111a)에서 코너부(111b)로 진입하면서 감속했다가 중앙부를 지나면서 다시 가속하여 다음 직선부(111a)로 진행하기 때문에, 결국 중앙부에서 가장 오래 정체하게 되는 점을 감안한 것이다. 즉, 레이저 조사장치가 가장 오래 정체되면 레이저 조사량도 가장 많아질 것이므로, 그것을 감안하여 중앙부의 창살패턴(131a)의 폭을 다른 것들에 비해 더 크게 한 것이다.
도 3d는 도 3b의 추가적인 변형예로서, 도 3c와 같은 원리로 창살패턴(132)들 중에서 중앙부에 위치한 창살패턴(132a)의 폭을 가장 크게 형성한 것이다.
따라서, 이러한 다양한 창살패턴의 부분차광부(130)를 가진 실런트 경화용 마스크(100)를 이용하여 균일한 자외선 조사를 유도할 수 있다.
다음으로, 도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 실런트 경화용 마스크(600)를 이용한 평판 표시 장치 제조방법을 도시한 것이다.
전술한 실시예와 동일한 참조부호는 동일 부재를 나타낸다.
본 실시예의 실런트 경화용 마스크(600)도 레이저를 통과시키는 투광슬릿(611)이 형성된 본체를 구비하고 있다. 즉, 본체는 투명한 베이스(620) 위에 상기 투광슬릿(611)을 형성하는 차광패턴(610)이 형성된 구조로 이루어져 있으며, 따라서, 레이저조사장치(미도시)에서 출사된 레이저는 이 투광슬릿(611)을 통해서 실런트(500)에 조사된다. 물론, 투광슬릿(611)은 상기 실런트(500)의 형상과 매칭되도록 형성된다.
그리고, 이 투광슬릿(611)의 라운드 형 코너부(611b)에는 레이저를 부분적으로 막아주는 부분차광부(630)가 형성되어 있다. 본 실시예의 부분차광부(630)는 전술한 실시예와 같은 창살패턴이 아니라, 투광슬릿(611) 위를 덮은 저투광층(631)으로 구성되어 있다. 즉, 레이저의 투과도를 저하시킬 수 있는 반투명 재질의 저투광층(631)을 투광슬릿(611) 위에 형성하여 레이저의 조사량을 낮추는 것이다.
이렇게 되면, 직선부(611a)에 비해 코너부(611b)에서는 부분차광부(630)에 의해 레이저의 통과량이 상대적으로 줄어들기 때문에, 해당 부위의 실런트(500)에 조사되는 레이저 조사량도 감소하게 된다. 따라서, 일반적으로 레이저 조사량이 상대적으로 많은 코너부(611b)를 저투광층(631)으로 가려줌으로써 직선부(611a)와 레이저 조사량의 수준을 비슷하게 맞춰서 편차를 줄이도록 하는 것이다.
따라서, 이러한 실런트 경화용 마스크(600)를 사용하면, 투광슬릿(611)을 통과하는 레이저 조사량이 전구간에 걸쳐서 비슷한 수준으로 조정되므로, 특히 코너부(611b)에서의 레이저 조사량 과다에 의한 기포 발생 등의 문제가 해소될 수 있다.
상기한 실런트 경화용 마스크(600)를 이용한 평판 표시 장치의 제조는 다음과 같이 진행될 수 있다.
먼저, 기판(400) 상에 발광부(300)를 형성하고, 그 발광부(300) 주변에 실런트(500)를 도포한다.
그리고는 봉지기판(200)을 덮은 다음, 그 위에 상기 저투광층(631)이 형성된 실런트 경화용 마스크(600)를 설치한다. 이때 실런트 경화용 마스크(600)의 투광슬릿(611)이 상기 실런트(500)의 위치와 잘 매칭되게 배치시킨다.
이 상태에서 레이저를 조사하면, 투광슬릿(611)을 통해 레이저가 조사되면서 실런트(500)가 경화되며, 이때 투광슬릿(611)의 직선부(611a)와 코너부(611b)의 레이저 조사량이 상기 저투광층(631)을 가진 부분차광부(630)에 의해 비슷해지기 때문에 전반적으로 균일한 경화가 진행된다. 따라서, 안정적인 밀봉 구조가 구현된다.
한편, 여기서 저투광층(631)은 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같은 다양한 형태로 변형될 수 있다.
먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이 저투광층(631a)의 두께를 전체적으로 균일하게 형성할 수 있다.
또는, 도 6b에 도시된 바와 같이 안쪽 즉, 발광부(300)와 가까운 쪽의 저투광층(631b) 두께를 반대쪽의 두께와 서로 다르게 형성할 수도 있다. 이것은 발광부(300)와 가까운 안쪽과 반대편인 바깥쪽의 투광슬릿(611)의 면적을 비교해볼 때, 안쪽이 더 좁아서 단위 면적 당 레이저 조사량이 많아질 수 있으므로, 이를 상쇄시키기 위해 안쪽의 저투광층(631a) 두께를 바깥 쪽에 비해 두껍게 만들어서 코너부(611b) 안에서도 안팎의 레이저 조사량을 보다 균일하게 조정할 수 있도록 한 것이다.
따라서, 이러한 다양한 저투광층(631)의 부분차광부(630)를 가진 실런트 경화용 마스크(600)를 이용해서도 균일한 자외선 조사를 유도할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 실런트 경화용 마스크는 상대적으로 레이저 조사량이 많아지는 코너부에 부분차광부를 형성하여 레이저 조사량의 편차를 줄여주기 때문에, 이를 사용할 경우 실런트가 전체적으로 균일하게 경화될 수 있고 따라서 안정적인 봉지 구조를 확보할 수 있게 된다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
100,600...실런트 경화용 마스크 110,610...차광패턴
111,611...투광슬릿 111a,611a...직선부
111b,611b...코너부 120,620.. 베이스
130,630.. 부분차광부 131,131a,132,132a...창살패턴
200...봉지기판 300...발광부
400.. 기판 500...실런트
631,631a,631b...저투광층

Claims (20)

  1. 기판 상의 발광부를 둘러싼 실런트의 형상과 매칭되는 투광슬릿이 형성된 본체 및,
    상기 투광슬릿의 일부를 부분적으로 차광하는 부분차광부를 포함하고, 상기 투광슬릿은 복수의 직선부들과 그 직선부들을 연결하는 코너부들을 포함하며, 상기 코너부에는 상기 부분차광부가 있고 상기 직선부에는 상기 부분차광부가 없는 실런트 경화용 마스크.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 코너부는 라운드 형상인 실런트 경화용 마스크.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 부분차광부는 상기 투광슬릿의 코너부에 마련된 복수의 창살패턴을 포함하는 실런트 경화용 마스크.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 창살패턴은 상기 발광부와 인접한 측의 폭과 그 반대편 측의 폭이 같은 형상인 실런트 경화용 마스크.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 창살패턴은 상기 발광부와 인접한 측의 폭이 그 반대편 측의 폭 보다 좁은 형상인 실런트 경화용 마스크.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 창살패턴들 중 상기 코너부의 중앙에 배치된 창살패턴의 폭이 나머지 창살패턴들에 비해 상대적으로 큰 실런트 경화용 마스크.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 부분차광부는 상기 코너부의 투광슬릿을 덮어서 투광도를 줄이는 저투광층을 포함하는 실런트 경화용 마스크.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 저투광층은 상기 발광부와 인접한 측의 두께와 그 반대편 측의 두께가 같은 형상인 실런트 경화용 마스크.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 저투광층은 상기 발광부와 인접한 측의 두께가 그 반대편 측의 두께 보다 두꺼운 형상인 실런트 경화용 마스크.
  11. 기판 상의 발광부 주변에 실런트를 도포하고 그 위에 봉지기판을 덮는 단계와, 상기 봉지기판 위에 상기 실런트 형상과 매칭되는 투광슬릿을 가진 실런트 경화용 마스크를 설치하는 단계 및, 상기 투광슬릿을 통해 광을 조사하여 상기 실런트를 경화시키는 단계를 포함하는 평판 표시 장치 제조방법에 있어서,
    상기 실런트 경화용 마스크는 상기 투광슬릿의 일부를 부분적으로 차광하는 부분차광부를 포함하고, 상기 투광슬릿은 복수의 직선부들과 그 직선부들을 연결하는 코너부들을 포함하며, 상기 코너부에는 상기 부분차광부가 있고 상기 직선부에는 상기 부분차광부가 없는 평판 표시 장치 제조방법.
  12. 삭제
  13. 제11항에 있어서,
    상기 코너부는 라운드 형상인 평판 표시 장치 제조방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 부분차광부는 상기 투광슬릿의 코너부에 마련된 복수의 창살패턴을 포함하는 평판 표시 장치 제조방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 창살패턴은 상기 발광부와 인접한 측의 폭과 그 반대편 측의 폭이 같은 형상인 평판 표시 장치 제조방법.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 창살패턴은 상기 발광부와 인접한 측의 폭이 그 반대편 측의 폭 보다 좁은 형상인 평판 표시 장치 제조방법.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 창살패턴들 중 상기 코너부의 중앙에 배치된 창살패턴의 폭이 나머지 창살패턴들에 비해 상대적으로 큰 평판 표시 장치 제조방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 부분차광부는 상기 코너부의 투광슬릿을 덮어서 투광도를 줄이는 저투광층을 포함하는 평판 표시 장치 제조방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 저투광층은 상기 발광부와 인접한 측의 두께와 그 반대편 측의 두께가 같은 형상인 평판 표시 장치 제조방법.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 저투광층은 상기 발광부와 인접한 측의 두께가 그 반대편 측의 두께 보다 두꺼운 형상인 평판 표시 장치 제조방법.
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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060049464A1 (en) * 2004-09-03 2006-03-09 Rao G R Mohan Semiconductor devices with graded dopant regions
CN103367658B (zh) * 2013-07-17 2016-08-31 深圳市华星光电技术有限公司 一种玻璃封装结构和封装方法
CN103426903A (zh) 2013-08-02 2013-12-04 京东方科技集团股份有限公司 一种电致发光显示屏及其制备方法、显示装置
KR102197935B1 (ko) 2014-02-21 2021-01-05 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR102250042B1 (ko) 2014-03-17 2021-05-11 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
KR102216677B1 (ko) 2014-08-01 2021-02-18 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 실링 장치 및 이를 이용한 디스플레이 장치 제조방법
KR20160046968A (ko) * 2014-10-20 2016-05-02 삼성디스플레이 주식회사 차광 마스크 및 이를 이용한 액정표시장치 제조방법
CN104393199B (zh) * 2014-11-17 2016-11-30 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜版及使用该掩膜版的显示器件封装方法
US9425437B2 (en) 2014-11-18 2016-08-23 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting diode (OLED) display
KR102305711B1 (ko) * 2014-12-05 2021-09-29 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시장치 및 그 밀봉방법
CN105990532B (zh) * 2015-02-03 2018-06-29 上海和辉光电有限公司 一种封装装置和封装方法
CN105098092B (zh) * 2015-06-17 2017-11-17 京东方科技集团股份有限公司 封装方法、显示面板及显示装置
US20170271615A1 (en) * 2015-09-15 2017-09-21 Boe Technology Group Co., Ltd. Screen-printing mask, method for fabricating the same, and related packaging method
KR102439308B1 (ko) * 2015-10-06 2022-09-02 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
CN106206993A (zh) * 2016-09-12 2016-12-07 昆山国显光电有限公司 玻璃基板的激光密封结构及其制备方法
KR102600471B1 (ko) 2016-11-16 2023-11-13 삼성디스플레이 주식회사 레이저 커팅 장치 및 그것을 이용한 레이저 커팅 방법
CN107342371B (zh) * 2017-08-25 2019-03-22 上海天马有机发光显示技术有限公司 有机发光显示面板及其制作方法、有机发光显示装置
KR20200061443A (ko) 2018-11-23 2020-06-03 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
CN110444681B (zh) * 2019-07-22 2020-12-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 发光面板及显示设备

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6743571B1 (en) * 2000-10-24 2004-06-01 The Procter & Gamble Company Mask for differential curing and process for making same
US6792029B2 (en) 2002-03-27 2004-09-14 Sharp Laboratories Of America, Inc. Method of suppressing energy spikes of a partially-coherent beam
JP4342428B2 (ja) * 2004-07-15 2009-10-14 シャープ株式会社 液晶表示パネルおよびその製造方法
US7724341B2 (en) * 2005-03-18 2010-05-25 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal panel seal barrier and method of manufacturing the same
KR100745345B1 (ko) 2006-01-27 2007-08-02 삼성에스디아이 주식회사 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조방법
KR100924330B1 (ko) 2006-10-13 2009-11-02 주식회사 하이닉스반도체 포토마스크의 제조방법
KR100824531B1 (ko) 2006-11-10 2008-04-22 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광표시장치 및 그 제조방법

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