KR101722030B1

KR101722030B1 - Recharger for Ingot Grower

Info

Publication number: KR101722030B1
Application number: KR1020150075970A
Authority: KR
Inventors: 배민욱
Original assignee: 주식회사 대진기계
Priority date: 2015-05-29
Filing date: 2015-05-29
Publication date: 2017-04-03
Also published as: KR20160141221A

Abstract

본 발명은 잉곳 성장기용 리차저에 관한 것으로, 본 발명에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 이동수단이 구비되어 이동가능한 이동부(200), 이동부(200)로부터 상측으로 연장되고, 이동부(200)에 대해서 회동가능한 지지부(300), 지지부(300)에 지지되고, 원료가 저장된 충진탱크(400), 충진탱크(400)의 내부에서 일방향을 따라 연장되고, 일단에 충진탱크(400)의 내부와 소통하는 유입홀(510)이 형성된 공급관(500), 공급관(500)의 내부에서 공급관(500)의 길이방향을 따라 연장되고, 중심축(610)과 중심축(610)의 외주면을 따라 나선형으로 연장된 나선부(620)를 포함하며, 회전하면서 유입홀(510)로 유입된 원료를 공급관(500)의 일단에서 타단으로 이송하는 이송장치(600), 및 공급관(500)의 타단과 연결되어 이송장치(600)로 이송한 원료를 전달받아, 잉곳 성장기(100)에 원료를 공급하는 피딩 튜브(700, feeding tube)를 포함한다.The present invention relates to a recharger for an ingot growing machine, wherein the recharger 1000 for an ingot growing machine according to the present invention comprises a moving part 200 which is provided with a moving means, a movable part 200 which extends upward from the moving part 200, A supporting part 300 which is rotatable with respect to the part 200 and a supporting part 300 and which extends along one direction inside the filling tank 400 and the filling tank 400 in which the raw material is stored and the filling tank 400 A supply pipe 500 having an inlet hole 510 communicating with the inside of the supply pipe 500 and a supply pipe 500 extending from the supply pipe 500 along the longitudinal direction of the supply pipe 500, A transfer device 600 including a spiral portion 620 extending in a helical shape extending along the axis of the supply pipe 500 and transferring a raw material flowing into the inlet hole 510 while rotating from one end of the supply pipe 500 to the other end, The raw material transferred to the transfer device 600 is transferred to the other stage, and the raw material is transferred to the ingot growing device 100 And a class feeding tube (700, feeding tube) to.

Description

{Recharger for Ingot Grower}

본 발명은 잉곳 성장기용 리차저에 관한 것이다.
The present invention relates to a recharger for an ingot growing machine.

일반적으로, 잉곳(Ingot)은 초크랄스키(Czochralski) 결정 성장법(CZ 법)을 채용한 잉곳 성장기(Ingot Grower)를 이용하여 제작한다. 이러한 잉곳 성장기는 밀폐된 석영 도가니 내에 폴리 실리콘(Poly Si)을 충전하고, 고진공하에서 고온(예를 들어, 1450℃ 이상)으로 가열 용융시킨 후, 용융된 폴리 실리콘에 단결정 실리콘(Single Si)의 시드(Seed)를 접촉시켜 봉상의 잉곳을 성장시킨다.
Generally, an ingot is manufactured using an ingot grower employing a Czochralski crystal growth method (CZ method). Such an ingot growing unit is formed by filling polysilicon in a closed quartz crucible and heating and melting it under a high vacuum at a high temperature (for example, 1450 DEG C or higher), and then subjecting the molten polysilicon to seeding of single crystal silicon (Seed) is contacted to grow a rod-shaped ingot.

구체적으로, 잉곳 성장기는 스택킹(Stacking)→멜팅(Melting)→딥핑(Dipping)→넥킹(Necking)→숄더링(Shouldering)→바디 그로스(Body Growth)→테일링(Tailing)→쿨 다운(Cool Down) 등의 공정을 거쳐 잉곳을 제작한다. 여기서, 스택킹은 폴리 실리콘과 도펀트(Dopant)를 석영 도가니에 충전하는 공정이고, 멜팅은 고온으로 가열하여 폴리 실리콘을 용융시키는 공정으로, 이때 용융된 폴리 실리콘을 멜트(Melt)라고 한다. 이후, 딥핑을 통해서 멜트에 시드를 접촉시키고, 넥킹을 통해서 결함이 발생하지 않도록 직경을 최대한 줄이면서 잉곳을 인상시킨다. 다음, 솔더링을 통해서 잉곳의 직경을 성장시킨 후, 바디 그로스를 통해서 잉곳의 길이를 성장시킨다. 이후, 테일링을 통해서 잉곳의 직경을 감소시키고, 최종적으로, 쿨 다운을 통해서 잉곳을 냉각시켜 제작을 완료한다.
Specifically, the ingot growing unit includes stacking, melting, dipping, necking, shouldering, body growth, tailing, cool down, ), And the like. Stacking is a process for filling polysilicon and a dopant in a quartz crucible. Melting is a process for melting polysilicon by heating at a high temperature. In this case, the molten polysilicon is referred to as a melt. Thereafter, the seed is brought into contact with the melt through dipping, and the ingot is lifted while minimizing the diameter so as to prevent defects through the necking. Next, after growing the diameter of the ingot through soldering, the length of the ingot is grown through the bodygross. Thereafter, the diameter of the ingot is reduced through tailing, and finally the ingot is cooled through cooldown to complete the fabrication.

한편, 하기 선행기술문의 특허문헌에 개시된 바와 같이, 종래기술에 따른 잉곳 성장기는 추가공급장치를 구비하여 원료(폴리 실리콘 등)를 추가 공급함으로써 연속적으로 잉곳을 성장시킬 수 있는 연속식 초크랄스키 결정 성장법을 이용하고 있다. 하지만, 종래기술에 따른 잉곳 성장기의 추가공급장치는 원료의 입도가 큰 경우 공급라인이 막히는 현상이 발생하는 문제점이 존재한다. 또한, 종래기술에 따른 잉곳 성장기의 추가공급장치는 원료를 일정하게 공급할 수 있는 수단이 없어, 원료의 공급량을 제어하기 어려운 문제점도 존재한다. 게다가, 종래기술에 따른 잉곳 성장기의 추가공급장치는 리액터 챔버에 고정되어 사용되므로, 오직 하나의 잉곳 성장기에만 원료를 추가 공급할 수 있어, 효율성이 떨어지는 단점이 존재한다.
On the other hand, as disclosed in the patent documents of the following prior arts, the ingot growing unit according to the prior art has an additional supply unit and is provided with a continuous Czochralski crystal capable of continuously growing an ingot by further feeding a raw material (polysilicon or the like) Growth method. However, there is a problem that the feeder line is clogged when the grain size of the raw material is large. Further, there is a problem that it is difficult to control the supply amount of the raw material because there is no means for supplying the raw material uniformly in the additional feeding apparatus of the ingot growing apparatus according to the prior art. Further, since the additional feeding device of the ingot growing device according to the prior art is fixedly used in the reactor chamber, the raw material can be additionally supplied to only one ingot growing device, and the efficiency is low.

KRKR 1992-00182501992-0018250 AA

본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 일 측면은 공급관과 이송장치를 구비하여 원료 막히는 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 원료를 일정하게 공급할 수 있는 잉곳 성장기용 리차저를 제공하기 위한 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art described above. One aspect of the present invention is to provide a feed pipe and a transfer device, which can prevent the clogging of raw materials, To provide a charger.

또한, 본 발명의 다른 측면은 이동가능한 이동부를 구비하여, 이동하면서 다수의 잉곳 성상기에 원료를 공급할 수 있는 잉곳 성장기용 리차저를 제공하기 위한 것이다.
Another aspect of the present invention is to provide a recharger for an ingot grower which is provided with a movable movable part and is capable of supplying a raw material to a plurality of ingot agitator devices while moving.

본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저는 이동수단이 구비되어 이동가능한 이동부, 상기 이동부로부터 상측으로 연장되고, 상기 이동부에 대해서 회동가능한 지지부, 상기 지지부에 지지되고, 원료가 저장된 충진탱크, 상기 충진탱크의 내부에서 일방향을 따라 연장되고, 일단에 상기 충진탱크의 내부와 소통하는 유입홀이 형성된 공급관, 상기 공급관의 내부에서 상기 공급관의 길이방향을 따라 연장되고, 중심축과 상기 중심축의 외주면을 따라 나선형으로 연장된 나선부를 포함하며, 회전하면서 상기 유입홀로 유입된 상기 원료를 상기 공급관의 일단에서 타단으로 이송하는 이송장치, 및 상기 공급관의 타단과 연결되어 상기 이송장치로 이송한 상기 원료를 전달받아, 잉곳 성장기에 상기 원료를 공급하는 피딩 튜브(feeding tube)를 포함한다.The remainder for the ingot growing machine according to the embodiment of the present invention includes a moving part which is movable with a moving means, a supporting part which extends upward from the moving part and which is rotatable with respect to the moving part, A supply pipe which extends along one direction inside the filling tank and has an inlet hole communicating with the inside of the filling tank at one end thereof, a pipe extending along the longitudinal direction of the supply pipe inside the supply pipe, A transfer device including a spiral portion extending along the outer circumferential surface of the shaft and transferring the raw material having flowed into the inflow hole from one end of the supply pipe to the other end while being rotated and a transfer device connected to the other end of the supply pipe, And a feeding tube for receiving the raw material and supplying the raw material to an ingot growing machine.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저에 있어서, 상기 이동수단은, 본체, 상기 본체의 하측에 구비된 바퀴, 상기 바퀴를 구동시키는 구동부, 및 상기 바퀴를 상하방향을 축으로 회동시키는 회동부를 포함한다.Further, in the reccaser for an ingot growing machine according to an embodiment of the present invention, the moving means includes a main body, a wheel provided on the lower side of the main body, a driving portion for driving the wheel, And a turning unit for turning the switch on and off.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저에 있어서, 상기 회동부는, 상하방향으로 연장된 회동축, 상기 회동축의 길이방향에 수직으로 연장되고, 중심부가 상기 회동축에 회동가능하게 결합된 제1 회동전달부, 상기 제1 회동전달부의 일측에 연결되어, 상기 제1 회동전달부를 상기 회동축을 기준으로 회동시키는 회동구동부, 상기 제1 회동전달부의 말단에 회동가능하도록 결합되어, 상기 제1 회동전달부의 회동에 따라 직선운동하는 제2 회동전달부, 및 상기 제2 회동전달부의 직선운동을 회전운동으로 전환하도록, 상기 제2 회동전달부에 결합되어, 상기 바퀴를 상하방향을 축으로 회동시키는 회동지지부를 포함한다.In the reccerator for an ingot growing machine according to an embodiment of the present invention, the pivotal portion may include a pivotal axis extending in the up-and-down direction, a pivotal portion extending perpendicularly to the longitudinal direction of the pivotal axis, A rotation driving part connected to one side of the first rotation transmitting part for rotating the first rotation transmitting part with reference to the rotation shaft, a second rotation transmitting part connected to one end of the first rotation transmitting part so as to be rotatable, A second rotation transmitting portion that linearly moves according to the rotation of the first rotation transmitting portion, and a second rotation transmitting portion that is coupled to the second rotation transmitting portion to convert linear motion of the second rotation transmitting portion into rotational motion, And a pivot support portion for pivoting the pivot shaft.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저에 있어서, 상기 제2 회동전달부는, 상기 제1 회동전달부의 일단에 결합된 제2-1 회동전달부, 및 상기 제1 회동전달부의 타단에 결합된 제2-2 회동전달부를 포함하고, 상기 회동지지부는, 상기 제2-1 회동전달부의 일단에 결합된 제1 회동지지부, 상기 제2-1 회동전달부의 타단에 결합된 제2 회동지지부, 상기 제2-2 회동전달부의 일단에 결합된 제3 회동지지부, 및 상기 제2-2 회동전달부의 타단에 결합된 제4 회동지지부를 포함한다.Further, in the re-charger for an ingot growing machine according to the embodiment of the present invention, the second rotation transmitting portion may include a second-1 rotation transmitting portion coupled to one end of the first rotation transmitting portion, And the second rotation supporting portion includes a first rotation supporting portion coupled to one end of the second-1 rotation rotation transmitting portion, a second rotation supporting portion coupled to the other end of the second- A third rotation supporting part coupled to one end of the second -2 rotation transmitting part, and a fourth rotation supporting part coupled to the other end of the second 2 rotation rotation transmitting part.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저에 있어서, 상기 바퀴는, 상기 제1 회동지지부에 결합된 제1 바퀴, 상기 제2 회동지지부에 결합된 제2 바퀴, 상기 제3 회동지지부에 결합된 제3 바퀴, 및 상기 제4 회동지지부에 결합된 제4 바퀴를 포함하고, 상기 제1 바퀴, 상기 제2 바퀴, 상기 제3 바퀴, 및 상기 제4 바퀴는 상하방향을 축으로 동일하게 회동된다.In the reccerator for an ingot growing machine according to an embodiment of the present invention, the wheel may include a first wheel coupled to the first rotation supporting portion, a second wheel coupled to the second rotation supporting portion, And a fourth wheel coupled to the fourth pivotal support portion, wherein the first wheel, the second wheel, the third wheel, and the fourth wheel are identical in the vertical direction to the same axis Lt; / RTI >

또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저에 있어서, 상기 제2 회동전달부와 상기 회동지지부는 랙기어와 피니언기어의 조합으로 결합된다.In the reccaser for the ingot growing machine according to the embodiment of the present invention, the second rotation transmitting portion and the rotation supporting portion are combined by a combination of a rack gear and a pinion gear.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저에 있어서, 상기 충진탱크는, 원통형으로 형성된 탱크본체, 및 탱크본체의 하단에 결합되어, 하측으로 갈수록 직경이 감소하는 호퍼부를 포함하고, 상기 호퍼부의 하단에는 상기 유입홀이 배치된다.In the recharger for an ingot growing machine according to an embodiment of the present invention, the filling tank may include a tank body formed in a cylindrical shape, and a hopper portion coupled to a lower end of the tank body and having a diameter decreasing toward the lower side, And the inflow hole is disposed at the lower end of the hopper portion.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저에 있어서, 상기 충진탱크, 상기 공급관, 상기 이송장치, 또는 상기 피딩 튜브는 텅스텐 카바이드 코팅된다.Further, in the recharger for an ingot growing machine according to the embodiment of the present invention, the filling tank, the supply pipe, the transfer device, or the feeding tube are coated with tungsten carbide.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저에 있어서, 상기 원료는 그래뉼(granule) 폴리 실리콘이다.
Further, in the re-charger for an ingot growing machine according to the embodiment of the present invention, the raw material is granule polysilicon.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

본 발명에 따르면, 공급관과 이송장치를 구비함으로써, 원료 막히는 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 원료를 일정하게 공급할 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, by providing the supply pipe and the transfer device, not only the phenomenon of clogging of the raw material can be prevented, but also the raw material can be supplied uniformly.

또한, 본 발명에 따르면, 이동가능한 이동부를 구비하여, 이동하면서 다수의 잉곳 성상기에 원료를 공급할 수 있는 장점이 있다.
Further, according to the present invention, there is an advantage in that a movable movable part is provided, and the raw material can be supplied to a plurality of ingot stuckers while moving.

또한, 본 발명에 따르면, 충진탱크, 공급관, 이송장치, 피딩 튜브 등에 텅스텐 카바이드 코팅을 하여, 원료의 이송시 발생하는 파손을 최소화함으로써, 교체주기를 늘리고 교체비용을 절약할 수 있는 효과가 있다.
In addition, according to the present invention, tungsten carbide coating is applied to a filling tank, a feed pipe, a feeding device, a feeding tube, etc. to minimize breakage occurring during feeding of the raw material, thereby increasing the replacement cycle and saving the replacement cost.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저와 잉곳 성장기의 개념도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저의 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 이동부의 분해 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 회동부의 평면도,
도 5a 내지 도 5b는 도 3에 도시된 회동부의 작동과정을 도시한 평면도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저의 이동과정을 도시한 개념도,
도 7은 도 2에 도시된 충진탱크, 공급관, 및 이송장치를 확대한 사시도, 및
도 8 내지 도 9는 도 2에 도시된 충진탱크, 공급관, 및 이송장치에서 원료가 이송되는 과정을 도시한 개념도이다.1 is a conceptual view of a recharger and an ingot growing unit for an ingot growing machine according to an embodiment of the present invention,
2 is a perspective view of a remanizer for an ingot grower according to an embodiment of the present invention,
3 is an exploded perspective view of the moving part shown in Fig. 2,
Fig. 4 is a plan view of the turning portion shown in Fig. 3,
FIGS. 5A and 5B are plan views showing the operation of the rotary unit shown in FIG. 3,
FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating a moving process of a reorderer for an ingot grower according to an embodiment of the present invention;
7 is an enlarged perspective view of the filling tank, the supply pipe, and the transfer device shown in Fig. 2, and Fig.
8 to 9 are conceptual diagrams showing a process of transferring the raw material in the filling tank, the supply pipe, and the transfer device shown in FIG.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The objectives, specific advantages and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements are assigned the same number as much as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of related arts which may unnecessarily obscure the gist of the present invention will be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저와 잉곳 성장기의 개념도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저의 사시도이다.FIG. 1 is a conceptual view of a recharger and an ingot growing unit for an ingot growing machine according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view of a recharger for an ingot growing machine according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 이동수단이 구비되어 이동가능한 이동부(200), 이동부(200)로부터 상측으로 연장되고, 이동부(200)에 대해서 회동가능한 지지부(300), 지지부(300)에 지지되고, 원료가 저장된 충진탱크(400), 충진탱크(400)의 내부에서 일방향을 따라 연장되고, 일단에 충진탱크(400)의 내부와 소통하는 유입홀(510, 도 7 참조)이 형성된 공급관(500), 공급관(500)의 내부에서 공급관(500)의 길이방향을 따라 연장되고, 중심축(610)과 중심축(610)의 외주면을 따라 나선형으로 연장된 나선부(620)를 포함하며, 회전하면서 유입홀(510)로 유입된 원료를 공급관(500)의 일단에서 타단으로 이송하는 이송장치(600), 및 공급관(500)의 타단과 연결되어 이송장치(600)로 이송한 원료를 전달받아, 잉곳 성장기(100)에 원료를 공급하는 피딩 튜브(700, feeding tube)를 포함한다.
As shown in FIGS. 1 and 2, the recharger 1000 for an ingot growing apparatus according to the present embodiment includes a moving unit 200 having a moving unit, a movable unit 200, A supporting part 300 which is rotatable with respect to the part 200 and a supporting part 300 and which extends along one direction inside the filling tank 400 and the filling tank 400 in which the raw material is stored and the filling tank 400 A supply pipe 500 having an inlet hole 510 (see FIG. 7) communicating with the inside of the supply pipe 500 and a supply pipe 500 extending along the longitudinal direction of the supply pipe 500, A transfer device 600 that includes a spiral portion 620 extending along the outer circumferential surface of the supply pipe 500 and transfers the raw material introduced into the inlet hole 510 while rotating to the other end of the supply pipe 500, The raw material transferred to the transfer device 600 is transferred to the ingot growing device 100, And a class feeding tube (700, feeding tube) to.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 잉곳 성장기(100)에 원료를 추가 공급함으로써, 연속적으로 잉곳을 성장시킬 수 있는 연속식 초크랄스키 결정 성장법을 구현할 수 있다.1, the recharger 1000 for an ingot grower according to the present embodiment includes a continuous Czochralski crystal growth method capable of continuously growing an ingot by further supplying a raw material to the ingot growing apparatus 100 Can be implemented.

여기서, 잉곳 성장기(100)는 메인챔버(110), 돔챔버(160) 및 풀챔버(170) 등으로 구성될 수 있다.Here, the ingot growing apparatus 100 may include a main chamber 110, a dome chamber 160, a pull chamber 170, and the like.

구체적으로, 메인챔버(110)는 내부에 도가니(111)가 구비되어 잉곳을 성장시키는 역할을 수행한다. 이때, 메인챔버(110)는 내부에 도가니(111), 페데스탈(113, Pedestal), 히터(115) 및 열쉴드(117) 등이 구비될 수 있다. 이중, 도가니(111)는 폴리 실리콘을 용융시킨 멜트(119, Melt)를 수용하는 용기로, 폴리 실리콘과 반응하지 않거나 반응성이 떨어지는 석영 도가니(111a)와 석영 도가니(111a)를 감싸는 흑연 도가니(111b)로 구성될 수 있다. 또한, 페데스탈(113)은 도가니(111)의 하측에 구비되어 도가니(111)를 회전시키거나 승/하강시키는 것이고, 히터(115)는 도가니(111)의 외측에 구비되어 도가니(111)를 가열시키는 것이다. 그리고, 열쉴드(117)는 도가니(111)의 상측에 배치되어 도가니(111)의 멜트(119)에서 방출된 복사열이 잉곳에 전달되는 것을 방지하는 것으로, 중공(中空)형으로 형성된다.Specifically, the crucible 111 is provided in the main chamber 110 to grow the ingot. At this time, the main chamber 110 may include a crucible 111, a pedestal 113, a heater 115, a heat shield 117, and the like. The crucible 111 includes a quartz crucible 111a which does not react with polysilicon or does not react with the polysilicon and a graphite crucible 111b which surrounds the quartz crucible 111a. ). The pedestal 113 is provided below the crucible 111 to rotate the crucible 111 or to raise and lower the crucible 111. The heater 115 is provided outside the crucible 111 to heat the crucible 111 I will. The heat shield 117 is disposed above the crucible 111 to prevent the radiant heat emitted from the melt 119 of the crucible 111 from being transmitted to the ingot and is formed in a hollow shape.

한편, 메인챔버(110)의 상부에는 돔(Dome) 형상으로 형성되어 메인챔버(110)에 탈착가능하도록 결합되는 돔챔버(160)가 구비된다. 여기서, 돔챔버(160)는 잉곳을 성장시킬 때 메인챔버(110)의 상부를 커버하여 메인챔버(110)를 밀폐시킨다.The main chamber 110 has a dome chamber 160 formed in a dome shape and detachably coupled to the main chamber 110. Here, the dome chamber 160 covers the upper portion of the main chamber 110 to seal the main chamber 110 when the ingot is grown.

또한, 돔챔버(160)의 상부에는 돔챔버(160)에 탈착가능하도록 결합되는 풀챔버(170)가 구비된다. 이러한 풀챔버(170)의 내부에는 시드 메커니즘으로부터 연장된 시드 와이어가 통과하고, 시드 와이어의 말단에는 시드척(Seed Chuck)으로 고정된 시드(Seed)가 구비된다. 따라서, 시드를 도가니(111)의 멜트(119)에 접촉시킨 후, 시드 와이어로 시드를 회전시키면서 인상시키면, 시드의 결정 방향대로 잉곳을 성장시킬 수 있다. 이와 같이, 성장시킨 잉곳은 최종적으로 풀챔버(170)의 내부에 배치될 수 있다.In addition, a pool chamber 170 is detachably coupled to the dome chamber 160 at an upper portion of the dome chamber 160. A seed wire extending from the seed mechanism passes through the inside of the pull chamber 170 and a seed is fixed to a distal end of the seed wire by a seed chuck. Therefore, after the seed is brought into contact with the melt 119 of the crucible 111, the ingot can be grown in the crystal orientation of the seed by rotating the seed while rotating the seed. As such, the grown ingot may eventually be disposed within the pull chamber 170.

한편, 상술한 메인챔버(110), 돔챔버(160) 및 풀챔버(170)의 내부는 잉곳을 성장시킬 때 산소로 인하여 결함이 발생하는 것을 방지하기 위해서 진공 상태를 유지한다. 또한, 메인챔버(110) 내부의 온도를 적절하게 유지하기 위해서, 메인챔버(110)나 돔챔버(160)에는 냉각수가 순환될 수 있다.
Meanwhile, the inside of the main chamber 110, the dome chamber 160, and the pull chamber 170 described above maintains a vacuum state in order to prevent defects from occurring due to oxygen when the ingot is grown. Further, in order to appropriately maintain the temperature inside the main chamber 110, the cooling water can be circulated in the main chamber 110 or the dome chamber 160.

상술한 잉곳 성장기(100)에 원료를 추가 공급하는 본 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 도 2에 도시된 바와 같이, 이동부(200), 지지부(300), 충진탱크(400), 공급관(500), 이송장치(600), 및 피딩 튜브(700, feeding tude)를 포함한다.
As shown in FIG. 2, the recharger 1000 for the ingot grower according to the present embodiment, in which the raw material is further supplied to the above-described ingot growing apparatus 100, includes a moving unit 200, a supporting unit 300, a filling tank 400 A supply tube 500, a transfer device 600, and a feeding tube 700. [

상기 이동부(200)는 하나의 잉곳 성장기용 리차저(1000)가 다수의 잉곳 성장기(100)에 원료를 공급할 수 있도록, 잉곳 성장기용 리차저(1000)를 이동시키는 역할을 수행한다. 여기서, 이동부(200)는 잉곳 성장기용 리차저(1000)의 하측에 배치되고, 이동수단이 구비되어 이동이 가능하다. 구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 이동수단은 커버 플레이트 등의 본체(210), 본체(210)의 하측에 구비된 바퀴(220), 바퀴(220)를 구동시키는 구동부(230), 및 바퀴(220)를 상하방향을 축으로 회동시키는 회동부(240)를 포함한다. 즉, 이동부(200)는 모터 등의 구동부(230)에 의해서 바퀴(220)가 구동하며 이동할 수 있고, 회동부(240)에 의해서 바퀴(220)가 상하방향을 축으로 회동하며 이동방향을 전환할 수 있다. 더욱 구체적으로, 회동부(240)는 회동축(250), 제1 회동전달부(260), 회동구동부(270), 제2 회동전달부(280), 및 회동지지부(290)를 포함할 수 있다. 여기서, 회동축(250)은 상하방향으로 연장되어, 이동부(200)의 중심에 배치된다. 또한, 제1 회동전달부(260)는 회동축(250)의 길이방향에 수직으로 연장되며, 중심부가 회동축(250)에 회동가능하게 결합된다. 즉, 제1 회동전달부(260)는 중심부가 회동축(250)에 결합되어, 회동축(250)을 기준으로 회동할 수 있다. 또한, 회동구동부(270)는 제1 회동전달부(260)에 일측에 연결되어, 제1 회동전달부(260)를 밀거나 당김으로써, 제1 회동전달부(260)를 회동축(250)을 기준으로 회동시킨다. 이때, 회동구동부(270)는 예를 들어 신축가능한 실린더를 이용할 수 있다. 한편, 제2 회동전달부(280)는 제1 회동전달부(260)의 길이방향에 수직으로 연장되며, 중심부가 제1 회동전달부(260)의 말단에 회동가능하도록 결합되어, 제1 회동전달부(260)의 회동에 따라 직선운동한다. 또한, 회동지지부(290)는 제2 회동전달부(280)의 직선운동을 회전운동으로 전환하도록, 제2 회동전달부(280)에 결합되어, 바퀴(220)를 상하방향을 축으로 회동시킨다. 이때, 회동지지부(290)가 제2 회동전달부(280)의 직선운동을 회전운동으로 전환하기 위해서, 제2 회동전달부(280)와 회동지지부(290)는 랙기어(287)와 피니언기어(299)의 조합으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 제2 회동전달부(280)의 양단에는 랙기어(287)가 구비되고, 이러한 랙기어(287)와 기어결합되도록 회동지지부(290)에는 피니언기어(299)가 구비될 수 있다. 전체적으로, 회동구동부(270)에 의해서 제1 회동전달부(260)가 회동축(250)을 중심으로 회전하면, 제2 회동전달부(280)는 직선운동을 하고, 이러한 제2 회동전달부(280)의 직선운동을 회동지지부(290)가 회전운동으로 전환하면서, 바퀴(220)를 회동시킬 수 있는 것이다.The moving part 200 serves to move the recharger 1000 for the ingot grower so that the recharger 1000 for one ingot grower can supply the raw material to a plurality of the ingot growing machines 100. Here, the moving part 200 is disposed below the re-chaser 1000 for the ingot grower, and is provided with moving means and is movable. 3, the moving means includes a main body 210 such as a cover plate, a wheel 220 provided below the main body 210, a driving unit 230 for driving the wheel 220, And a turning unit 240 for turning the wheel 220 in the vertical direction. That is, the moving unit 200 can be driven by the driving unit 230 such as a motor, and the wheel 220 can be moved by the driving unit 230. The turning unit 240 rotates the wheel 220 in the up- You can switch. More specifically, the rotation unit 240 may include a rotation shaft 250, a first rotation transmission unit 260, a rotation drive unit 270, a second rotation transmission unit 280, and a rotation support unit 290 have. Here, the rotary shaft 250 extends in the vertical direction and is disposed at the center of the moving part 200. The first rotation transmitting portion 260 extends perpendicularly to the longitudinal direction of the rotating shaft 250 and is rotatably coupled to the rotating shaft 250 at a central portion thereof. That is, the first rotation transmitting portion 260 is coupled to the rotation shaft 250 at the central portion thereof, and can rotate based on the rotation shaft 250. The rotation driving part 270 is connected to one side of the first rotation transmitting part 260 so that the first rotation transmitting part 260 can be pivotally connected to the rotating shaft 250 by pushing or pulling the first rotation transmitting part 260, . At this time, the rotation driving unit 270 can use, for example, a stretchable cylinder. The second rotation transmitting portion 280 extends perpendicularly to the longitudinal direction of the first rotation transmitting portion 260 and has a central portion rotatably coupled to the distal end of the first rotation transmitting portion 260, And linearly moves according to the rotation of the transmitting portion 260. The rotation support portion 290 is coupled to the second rotation transmitting portion 280 to rotate the wheel 220 in the vertical direction to convert the linear motion of the second rotation transmitting portion 280 into rotational motion . At this time, the second rotation transmitting portion 280 and the rotation supporting portion 290 are engaged with the rack gear 287 and the pinion gear 287 to rotate the linear motion of the second rotation transmitting portion 280 into rotational motion, (299). For example, a rack gear 287 is provided at both ends of the second rotation transmitting portion 280, and a pinion gear 299 may be provided on the pivotal support portion 290 so as to be engaged with the rack gear 287 . When the first rotation transmitting portion 260 rotates about the rotation shaft 250 by the rotation driving portion 270, the second rotation transmitting portion 280 linearly moves, and the second rotation transmitting portion 280 can rotate the wheel 220 while converting the linear motion of the rotary support portion 290 into rotational motion.

더욱 구체적으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 회동전달부(280)는 제1 회동전달부(260)의 일단에 결합된 제2-1 회동전달부(283)와 제1 회동전달부(260)의 타단에 결합된 제2-2 회동전달부(285)를 포함할 수 있다. 또한, 회동지지부(290)는 제2-1 회동전달부(283)의 일단에 결합된 제1 회동지지부(291), 제2-1 회동전달부(283)의 타단에 결합된 제2 회동지지부(293), 제2-2 회동전달부(285)의 일단에 결합된 제3 회동지지부(295), 및 제2-2 회동전달부(285)의 타단에 결합된 제4 회동지지부(297)를 포함할 수 있다. 즉, 제1 회동전달부(260)의 양단에는 2개의 제2 회동전달부(280, 제2-1 회동전달부(283)와 제2-2 회동전달부(285))가 결합될 수 있고, 이러한 제2 회동전달부(280)의 양단에는 2개의 회동지지부(290)가 결합되어, 결과적으로 4개의 회동지지부(290, 제1 회동지지부(291), 제2 회동지지부(293), 제3 회동지지부(295), 및 제4 회동지지부(297))가 구비될 수 있다. 또한, 4개의 회동지지부(290)에는 각각 바퀴(220)가 결합되어, 총 4개의 바퀴(220)가 구비될 수 있다. 즉, 바퀴(220)는 제1 회동지지부(291)에 결합된 제1 바퀴(221), 제2 회동지지부(293)에 결합된 제2 바퀴(223), 제3 회동지지부(295)에 결합된 제3 바퀴(225), 및 제4 회동지지부(297)에 결합된 제4 바퀴(227)를 포함할 수 있다. 이러한 제1,2,3,4 바퀴(221, 223, 225, 227)는 회동구동부(270), 제1 회동전달부(260), 제2 회동전달부(280), 및 회동지지부(290)에 의해서 상하방향을 축으로 동일하게 회동될 수 있다. 예를 들어, 도 5a에 도시된 바와 같이, 회동구동부(270)가 시계방향으로 제1 회동전달부(260)를 회동시키면, 제2 회동전달부(280)는 직선운동을 하고, 이러한 제2 회동전달부(280)의 직선운동을 회동지지부(290)가 회전운동으로 전환하면서, 제1,2,3,4 바퀴(221, 223, 225, 227)를 반시계방향으로 동일하게 회동시킬 수 있다. 역으로, 도 5b에 도시된 바와 같이, 회동구동부(270)가 반시계방향으로 제1 회동전달부(260)를 회동시키면, 제2 회동전달부(280)는 직선운동을 하고, 이러한 제2 회동전달부(280)의 직선운동을 회동지지부(290)가 회전운동으로 전환하면서, 제1,2,3,4 바퀴(221, 223, 225, 227)를 시계방향으로 동일하게 회동시킬 수 있다.More specifically, as shown in FIG. 4, the second rotation transmitting portion 280 includes a second-1 rotation transmitting portion 283 coupled to one end of the first rotation transmitting portion 260, And a second -2 rotation transmission unit 285 coupled to the other end of the second rotation unit 260. The rotation support portion 290 includes a first rotation support portion 291 coupled to one end of the second -1 rotation transmission portion 283 and a second rotation support portion 291 coupled to the other end of the second rotation rotation transmission portion 283, A third rotation supporting portion 295 coupled to one end of the second-second rotation transmitting portion 285 and a fourth rotation supporting portion 297 coupled to the other end of the second-second rotation transmitting portion 285, . &Lt; / RTI > That is, the two second rotation transmitting units 280, the second-1 rotation transmitting unit 283 and the second-second rotation transmitting unit 285 may be coupled to both ends of the first rotation transmitting unit 260 Two pivotal support portions 290 are coupled to both ends of the second pivotal motion transmission portion 280 so that four pivotal support portions 290, first pivotal support portion 291, second pivotal support portion 293, A third rotation supporting portion 295, and a fourth rotation supporting portion 297). In addition, the wheels 220 may be coupled to the four pivot support portions 290, and four wheels 220 may be provided in total. That is, the wheel 220 is coupled to the first wheel 221 coupled to the first rotation support portion 291, the second wheel 223 coupled to the second rotation support portion 293, and the second wheel 223 coupled to the third rotation support portion 295 A third wheel 225, and a fourth wheel 227 coupled to the fourth pivot support 297. [ The first, second, third, and fourth wheels 221, 223, 225, and 227 include a rotation driving unit 270, a first rotation transmitting unit 260, a second rotation transmitting unit 280, It is possible to rotate the same in the vertical direction as the axis. 5A, when the rotation driving part 270 rotates the first rotation transmitting part 260 in a clockwise direction, the second rotation transmitting part 280 performs a linear motion, The first, second, third, and fourth wheels 221, 223, 225, and 227 may be rotated in the counterclockwise direction in the same manner while the tilt support portion 290 turns the linear motion of the tilt transmitting portion 280 have. 5B, when the rotation driving part 270 rotates the first rotation transmitting part 260 in the counterclockwise direction, the second rotation transmitting part 280 performs a linear motion, The first, second, third, and fourth wheels 221, 223, 225, and 227 can be rotated in the clockwise direction in the same manner while the tilt support portion 290 rotates in a linear motion of the tilt transmission portion 280 .

상술한 바와 같이, 이동수단을 통해서 이동부(200)가 자유롭게 이동가능하므로, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 다수의 잉곳 성장기(100)에 원료를 공급할 수 있다. 예를 들어, 하나의 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 이동부(200)에 의해서 이동하면서 4개(또는 8개)의 잉곳 성장기(100)에 원료를 공급할 수 있다.
6, the recharger 1000 for the ingot grower according to the present embodiment is provided with a plurality of ingot growing devices 100, The raw material can be supplied. For example, the recharger 1000 for one ingot grower can supply the raw material to four (or eight) ingot growers 100 while moving by the moving part 200. [

상기 지지부(300, 도 2 참조)는 충진탱크(400), 피딩 튜브(700) 등을 지지하는 역할을 수행하는 것으로, 이동부(200)의 상단에 배치된다. 여기서, 지지부(300)는 이동부(200)에 대해서 회동가능하게 결합된다. 예들 들어, 이동부(200)는 전체적으로 원통형으로 형성되어 이동부(200)로부터 상측으로 연장되고, 회동모터(310)와 기어결합되어 상하방향을 축으로 회동될 수 있다. 또한, 지지부(300)의 측면에는 충진탱크(400)를 상하방향으로 승강시키는 승강장치(320)가 구비될 수 있고, 승강장치(320)에는 충진탱크(400)를 회동시키는 회동장치(330)가 구비될 수 있다. 상술한 바와 같이, 지지부(300)가 회동모터(310)를 이용하여 이동부(200)에 대해서 회동할 수 있을 뿐만 아니라, 승강장치(320)와 회동장치(330)를 이용하여 충진탱크(400)를 승강시키거나 회동시킬 수 있으므로, 본 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 다수의 잉곳 성장기(100)와 자유롭게 연결되거나 분리될 수 있다.
2) serves to support the filling tank 400, the feeding tube 700, and the like, and is disposed at the upper end of the moving part 200. Here, the supporting part 300 is rotatably coupled to the moving part 200. For example, the moving part 200 is formed in a generally cylindrical shape and extends upward from the moving part 200, is gear-coupled with the rotating motor 310, and can be rotated about the vertical direction. The elevating device 320 may be provided on the side of the supporting part 300 to vertically move the filling tank 400. The elevating device 320 may include a rotating device 330 for rotating the filling tank 400, May be provided. The supporting part 300 can be rotated with respect to the moving part 200 by using the pivoting motor 310 and the supporting part 300 can be rotated by the lifting device 320 and the pivoting device 330 in the filling tank 400 So that the recharger 1000 for the ingot grower according to the present embodiment can be freely connected or disconnected from a plurality of the ingot growers 100. [

상기 충진탱크(400)는 내부에 원료를 저장하고 있다가 피딩 튜브(700)를 통해서 잉곳 성장기(100)에 원료를 공급하는 역할을 수행한다. 여기서, 충진탱크(400)는 원통형으로 형성된 탱크본체(410)와 탱크본체(410)의 하단에 결합되어, 하측으로 갈수록 직경이 감소하는 호퍼부(420)를 함한다. 따라서, 충진탱크(400)에 저장된 원료는 자중에 의해서 호퍼부(420)의 하단으로 집중될 수 있다. 한편, 충진탱크(400)는 진공 상태를 유지하는 메인챔버(110)에 연결하기 위해서, 진공 배관 등을 이용하여 일정한 진공도를 구현한 후, 피딩 튜브(700)에 연결할 수 있다.
The filling tank 400 stores raw materials therein and supplies the raw material to the ingot growing unit 100 through the feeding tube 700. The filling tank 400 includes a tank body 410 formed in a cylindrical shape and a hopper portion 420 coupled to a lower end of the tank body 410 and having a diameter reduced toward the lower side. Therefore, the raw material stored in the filling tank 400 can be concentrated to the lower end of the hopper part 420 by its own weight. Meanwhile, the filling tank 400 may be connected to the feeding tube 700 after a predetermined degree of vacuum is implemented using a vacuum pipe or the like in order to connect to the main chamber 110 maintaining a vacuum state.

상기 공급관(500)과 이송장치(600)는 원료를 충진탱크(400)로부터 피딩 튜브(700)로 이송하는 역할을 수행한다. 도 7 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 공급관(500)은 관형으로 형성되어, 충진탱크(400)의 내부에서 일방향을 따라 연장되고, 일단에 충진탱크(400)의 내부와 소통하는 유입홀(510)이 형성되며, 타단이 피딩 튜브(700)와 연결된다. 예를 들어, 공급관(500)은 상하방향을 따라 연장되고, 하단에 유입홀(510)이 형성되며, 상단이 공급라인(710)을 통해서 피딩 튜브(700)가 연결될 수 있다. 또한, 이송장치(600)는 공급관(500)의 내부에서 공급관(500)의 길이방향(상하방향)을 따라 연장되고, 중심축(610)과 중심축(610)의 외주면을 따라 나선형으로 연장된 나선부(620)를 포함한다. 즉, 이송장치(600)는 스크류 컨베이어 형상으로 형성될 수 있는 것이다. 여기서, 이송장치(600)는 이송모터(630)에 의해서 회전할 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 이송장치(600)가 회전하면, 유입홀(510)로 유입된 원료(S)는 이송장치(600)의 나선부(620)를 따라서 공급관(500)의 일단(하단)에서 타단(상단)으로 이송할 수 있다. 공급관(500)의 타단(상단)으로 이송된 원료(S)는 공급라인(710)을 거쳐 공급관(500)과 연결된 피딩 튜브(700)로 이송된다.The supply pipe 500 and the transfer device 600 transfer the raw material from the filling tank 400 to the feeding tube 700. As shown in FIGS. 7 to 8, the supply pipe 500 is formed in a tubular shape and extends in one direction in the filling tank 400, and has an inlet hole (not shown) communicating with the inside of the filling tank 400 510 and the other end thereof is connected to the feeding tube 700. For example, the supply pipe 500 may extend along the vertical direction, an inlet hole 510 may be formed at the lower end thereof, and a feeding tube 700 may be connected to the upper end through the supply line 710. The transfer device 600 extends along the longitudinal direction (up and down direction) of the supply pipe 500 from the inside of the supply pipe 500 and extends spirally along the peripheral surface of the central axis 610 and the central axis 610 And includes a spiral portion 620. That is, the transfer device 600 may be formed in the form of a screw conveyor. Here, the conveying device 600 can be rotated by the conveying motor 630. 9, when the transfer device 600 rotates, the raw material S introduced into the inlet hole 510 is transferred to one end of the supply pipe 500 along the spiral portion 620 of the transfer device 600 (Lower) to the other end (upper). The raw material S transferred to the other end (upper end) of the supply pipe 500 is transferred to the feeding pipe 700 connected to the supply pipe 500 via the supply line 710.

종래기술에 따른 잉곳 성장기용 리차저는 원료가 자중에 의해서 충진탱크에서 피딩 튜브로 이송된다. 따라서, 종래기술에 따른 잉곳 성장기용 리차저는 입도가 상대적으로 큰 원료로 인하여 막히는 현상(bridging)이 발생할 수 있고, 원료의 공급량을 제어하기 어려운 문제점이 존재한다.The raw material for the ingot grower according to the prior art is transported from the filling tank to the feeding tube by its own weight. Accordingly, there is a problem in that the prior art reductors for the ingot growers may cause bridging due to a relatively large raw material, and it is difficult to control the supply amount of the raw materials.

반면, 본 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 공급관(500)과 이송장치(600)를 이용하여 원료(S)를 충진탱크(400)에서 피딩 튜브(700)로 이송한다. 따라서, 본 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 원료(S)에 의해서 막히는 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 원료(S)의 공급량을 일정하게 제어할 수 있는 장점이 존재한다.In contrast, the recharger 1000 for the ingot grower according to the present embodiment transfers the raw material S from the filling tank 400 to the feeding tube 700 using the feed pipe 500 and the feed device 600. Therefore, the recharger 1000 for the ingot growing apparatus according to the present embodiment has an advantage of being able to prevent the clogging by the raw material S, and to control the supply amount of the raw material S to a constant level.

한편, 공급관(500)의 유입홀(510)은 충진탱크(400)의 호퍼부(420)의 하단에 배치될 수 있다. 따라서, 호퍼부(420)의 하단으로 집중된 원료(S)는 자연스럽게 유입홀(510)을 통해서 공급관(500)으로 유입될 수 있다.
Meanwhile, the inlet hole 510 of the supply pipe 500 may be disposed at the lower end of the hopper portion 420 of the filling tank 400. Accordingly, the raw material S concentrated at the lower end of the hopper part 420 can flow into the supply pipe 500 through the inflow hole 510 naturally.

상기 피딩 튜브(700, 도 1 및 도 2 참조)는 잉곳 성장기(100)에 원료를 투입하는 역할을 수행한다. 여기서, 피딩 튜브(700)의 일단(하단)은 잉곳 성장기(100)와 분리가능하도록 연결되고, 피딩 튜브(700)의 타단(상단)은 공급라인(710)을 통해서 공급관(500)의 타단(상단)에 연결된다. 따라서, 피딩 튜브(700)는 이송장치(600)로 이송한 원료를 전달받아, 잉곳 성장기(100)에 원료를 공급할 수 있다. 구체적으로, 피딩 튜브(700)의 일단은 돔챔버(160)에 형성된 공급포트(165)를 관통하여 도가니(111) 방향으로 연장되고, 피딩 튜브(700)의 타단은 공급라인(710) 등을 통해서 공급관(500)의 타단(상단)에 연결된다. 따라서, 피딩 튜브(700)는 원료를 공급관(500)으로부터 전달받아 메인챔버(110)의 도가니(111)에 공급할 수 있다. 이와 같이, 원료를 메인챔버(110)의 도가니(111)에 추가 공급함으로써, 연속적으로 잉곳을 성장시킬 수 있는 연속식 초크랄스키 결정 성장법을 구현할 수 있다. 한편, 피딩 튜브(700)는 충진탱크(400)에 결합된 가이드(720)를 따라 상하 이동하면서 잉곳 성장기(100)와 연결하거나 분리할 수 있다.
The feeding tube 700 (see FIGS. 1 and 2) serves to feed the raw material to the ingot growing unit 100. The other end (upper end) of the feeding tube 700 is connected to the other end (upper end) of the feed pipe 500 through the feed line 710 Top). Accordingly, the feeding tube 700 can receive the raw material transferred to the transfer device 600 and supply the raw material to the ingot growing device 100. One end of the feeding tube 700 extends in the direction of the crucible 111 through the supply port 165 formed in the dome chamber 160 and the other end of the feeding tube 700 is connected to the supply line 710, To the other end (upper end) of the supply pipe 500. Accordingly, the feeding tube 700 can receive the raw material from the supply pipe 500 and supply the raw material to the crucible 111 of the main chamber 110. As described above, by continuously supplying the raw material to the crucible 111 of the main chamber 110, a continuous Czochralski crystal growth method capable of continuously growing an ingot can be realized. Meanwhile, the feeding tube 700 can be connected to or separated from the ingot growing apparatus 100 while moving up and down along the guide 720 coupled to the filling tank 400.

추가적으로, 본 실시예에 따른 잉곳 성장기용 리차저(1000)는 원료로 분말 형태의 그래뉼(granule) 폴리 실리콘을 사용할 수 있다. 이러한 그래뉼 폴리 실리콘은 고경도를 갖으므로, 충진탱크(400)로부터 피딩 튜브(700)로 이송시에 파손을 발생시킬 수 있고, 파손으로 인하여 교체주기가 짧아지고 교체비용을 증가시킬 수 있다. 따라서, 충진탱크(400), 공급관(500), 이송장치(600), 피딩 튜브(700) 등에 텅스텐 카바이드 코팅(Tungsten-Carbide Coating)을 하여, 원료의 이송시 발생하는 파손을 최소화함으로써, 교체주기를 늘리고 교체비용을 절약할 수 있다.
In addition, the recharger 1000 for the ingot growing apparatus according to the present embodiment may use granule polysilicon in the form of powder as a raw material. Since the granular polysilicon has a high hardness, it can cause breakage during transportation from the filling tank 400 to the feeding tube 700, and the replacement cycle can be shortened due to breakage and the replacement cost can be increased. Therefore, tungsten-carbide coating is applied to the filling tank 400, the supply pipe 500, the transfer device 600, and the feeding tube 700 to minimize the breakage occurring during transfer of the raw material, And save on replacement costs.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 잉곳 성장기는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. 본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
While the present invention has been described in detail with reference to the specific embodiments thereof, it is to be understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the invention as defined by the appended claims. It will be apparent that modifications and improvements can be made by those skilled in the art. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100: 잉곳 성장기 110: 메인챔버
111: 도가니 111a: 석영 도가니
111b: 흑연 도가니 113: 페데스탈
115: 히터 117: 열쉴드
119: 멜트 160: 돔챔버
165: 공급포트 170: 풀챔버
200: 이동부 210: 본체
220: 바퀴 221: 제1 바퀴
223: 제2 바퀴 225: 제3 바퀴
227: 제4 바퀴 230: 구동부
240: 회동부 250: 회동축
260: 제1 회동전달부 270: 회동구동부
280: 제2 회동전달부 283: 제2-1 회동전달부
285: 제2-2 회동전달부 287: 랙기어
290: 회동지지부 291: 제1 회동지지부
293: 제2 회동지지부 295: 제3 회동지지부
297: 제4 회동지지부 299: 피니언기어
300: 지지부 310: 회동모터
320: 승강장치 330: 회동장치
400: 충진탱크 410: 탱크본체
420: 호퍼부 500: 공급관
510: 유입홀 600: 이송장치
610: 중심축 620: 나선부
630: 이송모터 700: 피딩 튜브
710: 공급라인 720: 가이드
1000: 잉곳 성장기용 리차저 S: 원료100: ingot growing machine 110: main chamber
111: Crucible 111a: Quartz crucible
111b: graphite crucible 113: pedestal
115: heater 117: heat shield
119: Melt 160: Dome chamber
165: supply port 170: full chamber
200: moving part 210:
220: Wheel 221: 1st wheel
223: second wheel 225: third wheel
227: fourth wheel 230:
240: turning unit 250:
260: first rotation transmitting part 270: rotation driving part
280: second rotation transmitting portion 283: second-1 rotation transmitting portion
285: 2nd-2nd rotation transmitting portion 287: Rack gear
290: rotation supporting part 291: first rotation supporting part
293: second rotation supporting part 295: third rotation supporting part
297: fourth rotation supporting portion 299: pinion gear
300: Support part 310: Rotary motor
320: lifting device 330: pivoting device
400: Filling tank 410: Tank body
420: Hopper section 500: Feed pipe
510: Inlet hole 600: Feeding device
610: central axis 620:
630: Feed motor 700: Feeding tube
710: Supply Line 720: Guide
1000: Recharger for ingot growing machine S: Raw material

Claims

A moving unit having a moving means and movable;
A supporting portion extending upward from the moving portion and rotatable with respect to the moving portion;
A filling tank supported by the supporting portion and storing the raw material;
A supply pipe extending along one direction inside the filling tank and having an inlet hole communicating with the inside of the filling tank at one end;
And a spiral portion extending in a longitudinal direction of the supply pipe inside the supply pipe and extending spirally along a central axis and an outer circumferential surface of the central axis, wherein the raw material flowing into the inflow hole from the one end of the supply pipe to the other end A conveying device for conveying; And
A feeding tube connected to the other end of the supply pipe to receive the raw material transferred to the transfer device and supply the raw material to the ingot growing device;
Lt; / RTI >
Wherein the filling tank, the feed pipe, the feed device, or the feeding tube is a tungsten carbide coated recharger for an ingot grower.

The method according to claim 1,
Wherein,
main body;
A wheel provided on the lower side of the main body;
A driving unit for driving the wheels; And
A turning part for turning the wheel in the vertical direction;
And a reheater for the ingot growing machine.

The method of claim 2,
The pivoting portion,
A pivot shaft extending in the vertical direction;
A first rotation transmitting portion extending perpendicularly to the longitudinal direction of the rotation shaft and having a center portion rotatably coupled to the rotation shaft;
A rotation driving unit connected to one side of the first rotation transmitting unit to rotate the first rotation transmitting unit based on the rotation axis;
A second rotation transmitting part rotatably coupled to an end of the first rotation transmitting part and linearly moving according to a rotation of the first rotation transmitting part; And
A rotation support portion coupled to the second rotation transmission portion for rotating the wheel in the vertical direction about an axis so as to convert linear motion of the second rotation transmission portion into rotation;
And a reheater for the ingot growing machine.

The method of claim 3,
Wherein the second rotation-
A second -1st rotation transmitting part coupled to one end of the first rotation transmitting part; And
A second -2 rotation transfer unit coupled to the other end of the first rotation transmission unit;
Lt; / RTI >
The pivotal support portion
A first rotation supporting part coupled to one end of the second -1st rotation transmitting part;
A second rotation supporting part coupled to the other end of the second -1st rotation transmitting part;
A third rotation supporting part coupled to one end of the second -2 rotation transmission part; And
A fourth rotation supporting part coupled to the other end of the second -2 rotation transmission part;
And a reheater for the ingot growing machine.

The method of claim 4,
The wheel,
A first wheel coupled to the first rotation support portion;
A second wheel coupled to the second pivotal support;
A third wheel coupled to the third rotation support portion; And
A fourth wheel coupled to the fourth rotation support portion;
Lt; / RTI >
Wherein the first wheel, the second wheel, the third wheel, and the fourth wheel are equally rotated in the vertical direction.

[Claim 3]
Wherein the second rotation transmitting portion and the rotation supporting portion are coupled by a combination of a rack gear and a pinion gear.

The method according to claim 1,
Wherein the filling tank comprises:
A tank body formed into a cylindrical shape; And
And a hopper portion coupled to a lower end of the tank body and having a reduced diameter toward the lower side,
And the inflow hole is disposed at a lower end of the hopper portion.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the raw material is granule polysilicon.