KR101712662B1 - 테스트 핸들러의 가압 장치 및 전자부품 테스트 장치 - Google Patents

테스트 핸들러의 가압 장치 및 전자부품 테스트 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 테스트 핸들러의 가압 장치 및 전자부품 테스트 장치에 관한 것이다. 본 발명의 하나의 실시예에 따라, 제1 및 제2 모터; 제1 및 제2 모터에 각각 연결되며 각 모터의 회전을 감속시키는 제1 및 제2 감속 유닛; 제1 및 제2 감속 유닛의 감속에 따라 테스트 보드 상에 장착된 피검사 전자부품들을 균일하게 가압하여 테스트핀에 접속시키는 제1 및 제2 균일 가압판; 및 제1 및 제2 감속 유닛의 감속에 따라 제1 및 제2 균일 가압판과 수직하게 왕복 동작하며 제1 및 제2 균일 가압판에 감속 가압력을 전달하는 제1 및 제2 샤프트 유닛;을 포함하는 테스트 핸들러의 가압 장치가 제안된다. 또한, 전자부품 테스트 장치가 제안된다.

Description

테스트 핸들러의 가압 장치 및 전자부품 테스트 장치{PRESSING APPARATUS OF TEST HANDLER AND FOR TESTING ELECTRONIC COMPONENT}
본 발명은 테스트 핸들러의 가압 장치 및 전자부품 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 집적회로 등의 반도체 소자 등과 같은 전자부품 또는 전자기기는 양품 또는 불량품을 가리기 위한 여러 가지 테스트 과정을 거쳐 제조된다.
이때, 전자부품 또는 전자기기를 테스트하는 과정에서 테스트 핸들러라는 장비가 사용된다. 테스트 핸들러 또는 핸들러 시스템은 전자부품을 테스트하는 별도의 테스트장비에 전자부품을 접속시키고, 테스트가 완료된 부품들을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하는 장비이다. 이러한, 핸들러 시스템은 테스트 대상의 디바이스를 수용한 트레이가 이송되는 이송영역과 디바이스를 테스트하기 위한 테스트영역 그리고, 테스트가 완료된 디바이스를 양품 및 불량품 카테고리별로 분배하기 위한 분배영역으로 구획되어 이들의 영역을 순차적으로 진행하면서 디바이스를 테스트하고 배분한다. 또는 달리 표현하면, 핸들러 시스템은 크게 로딩공정, 테스트공정 및 언로딩공정을 수행하고, 전자부품을 장착할 수 있는 모듈이 다수 개 구비되는 트레이에 전자부품 소자들을 장착하여 상기 공정들을 수행한다.
이때, 테스트 공정에서 피검사 전자부품들이 테스트핀에 균일하게 전기적으로 접속될 필요가 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2009-0085454호 (2009년 8월 7일 공개)
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 피검사 전자부품들이 테스트 핸들러의 테스트핀에 균일하게 전기적 접속할 수 있도록 하는 테스트 핸들러의 가압 장치 및 전자부품 테스트 장치를 제안하고자 한다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 하나의 모습에 따라, 제1 및 제2 모터; 제1 및 제2 모터에 각각 연결되며 각 모터의 회전을 감속시키는 제1 및 제2 감속 유닛; 제1 및 제2 감속 유닛의 감속에 따라 테스트 보드 상에 장착된 피검사 전자부품들을 균일하게 가압하여 테스트핀에 접속시키는 제1 및 제2 균일 가압판; 및 제1 및 제2 감속 유닛의 감속에 따라 제1 및 제2 균일 가압판과 수직하게 왕복 동작하며 제1 및 제2 균일 가압판에 감속 가압력을 전달하는 제1 및 제2 샤프트 유닛;을 포함하는 테스트 핸들러의 가압 장치가 제안된다.
이때, 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 감속 유닛에 의한 회전운동을 제1 및 제2 샤프트 유닛의 왕복 직선 운동으로 전환시키는 제1 및 제2 운동 전환 유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 이때, 또 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 관통하는 제1 및 제2 샤프트 유닛의 왕복 직선운동을 지지하는 지지 플레이트를 더 포함하고, 제1 및 제2 운동 전환 유닛은 지지 플레이트 상에 지지되고, 제1 및 제2 균일 가압판은 지지 플레이트를 기준으로 제1 및 제2 운동 전환 유닛의 반대측에 형성되어 지지 플레이트를 관통하는 제1 및 제2 샤프트 유닛에 의해 지지되며 테스트 보드 상에 장착된 피검사 전자부품들을 균일하게 가압하고, 제1 및 제2 감속 유닛은 각각 제1 및 제2 모터의 회전을 1차 감속시키는 1차 감속기 및 1차 감속기에 의한 회전을 2차 감속시키는 2차 감속기를 포함할 수 있다.
또한, 하나의 예에서, 제1 및 제2 감속 유닛의 1차 감속기 각각은 제1 및 제2 모터 각각의 모터 회전축을 수직방향으로 바꾸고, 제1 및 제2 감속 유닛의 2차 감속기 각각은 1차 감속기 각각의 양측으로 2개씩 구비되며 1차 감속 회전축을 수직으로 바꾸며 서로 나란한 2차 감속 회전축을 형성하고, 제1 및 제2 운동 전환 유닛은 서로 나란한 2차 감속 회전축의 양단에 설치되며 각각 대응하는 제1 및 제2 샤프트 유닛 각각의 4개의 샤프트의 왕복 직선운동을 도모할 수 있다.
또 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 샤프트 유닛과 나란하게 배치되어 지지 플레이트와 제1 및 제2 균일 가압판 각각의 사이를 탄성적으로 지지하는 제1 및 제2 탄성지지체를 더 포함할 수 있다.
또 하나의 예에서, 제1 및 제2 모터는 동기화되어 동일 속도로 동작하거나 별도로 동작하며 제1 및 제2 균일 가압판을 동작시킨다.
다음으로, 전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 또 하나의 모습에 따라, 전술한 실시예들의 하나에 따른 테스트 핸들러의 가압 장치; 테스트 챔버 내에 형성되어 피검사 전자부품들이 장착된 테스트 보드가 안착되는 공간을 형성하는 제1 및 제2 챔버홀; 및 제1 및 제2 챔버홀을 기준으로 제1 및 제2 균입 가압판의 반대쪽에 형성되며 제1 및 제2 균입 가압판의 가압 시 제1 및 제2 챔버홀에 안착되는 테스트 보드의 반대측에서 피검사 전자부품들과 전기적 접속을 이루는 다수의 테스트핀;을 포함하여 이루어지는 전자부품 테스트 장치가 제안된다.
본 발명의 하나의 실시예에 따라, 피검사 전자부품들이 테스트 핸들러의 테스트핀에 균일하게 전기적 접속할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예에 따라 직접적으로 언급되지 않은 다양한 효과들이 본 발명의 실시예들에 따른 다양한 구성들로부터 당해 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에 의해 도출될 수 있음은 자명하다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 테스트 핸들러의 가압 장치 또는 전자부품 테스트 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
전술한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명될 것이다. 본 설명에 있어서, 동일부호는 동일한 구성을 의미하고, 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 이해를 도모하기 위하여 부차적인 설명은 생략될 수도 있다.
본 명세서에서 하나의 구성요소가 다른 구성요소와 연결, 결합 또는 배치 관계에서 '직접'이라는 한정이 없는 이상, '직접 연결, 결합 또는 배치'되는 형태뿐만 아니라 그들 사이에 또 다른 구성요소가 개재됨으로써 연결, 결합 또는 배치되는 형태로도 존재할 수 있다.
본 명세서에 비록 단수적 표현이 기재되어 있을지라도, 발명의 개념에 반하거나 명백히 다르거나 모순되게 해석되지 않는 이상 복수의 구성 전체를 대표하는 개념으로 사용될 수 있음에 유의하여야 한다. 본 명세서에서 '포함하는', '갖는', '구비하는', '포함하여 이루어지는' 등의 기재는 하나 또는 그 이상의 다른 구성요소 또는 그들의 조합의 존재 또는 부가 가능성이 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 참조된 도면들은 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 예시로써, 모양, 크기, 두께 등은 기술적 특징의 효과적인 설명을 위해 과장되게 표현될 수 있다.
우선, 본 발명의 하나의 모습에 따른 테스트 핸들러의 가압 장치를 도면을 참조하여 살펴본다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 테스트 핸들러의 가압 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b), 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b), 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b) 및 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)을 포함하여 이루어진다. 또한, 하나의 예에서, 도 1을 참조하면, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)을 더 포함할 수 있다. 또 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 지지 플레이트(60)를 더 포함할 수 있다. 가압 장치는 도 1에서 하향으로 배치되어 있으나, 실시예에 따라 도면을 수직 회전시킨 방향으로 배치되며 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)이 수평방향으로 가압하도록 형성될 수 있다. 이하에서 도면을 참조하여 각각의 구성을 살펴본다.
도 1을 참조하면, 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b)가 구비된다. 하나의 예에서, 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b)는 동기화되어 동일 속도로 동작하거나 또는 별도로 동작할 수 있다. 이때, 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b)는 동기화되어 동일 속도로 동작하거나 별도로 동작하며 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)을 동작시킬 수 있다.
다음으로, 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)은 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b)에 각각 연결된다. 제1 감속 유닛(20a, 30a)은 제1 모터(10a)에, 그리고 제2 감속 유닛(20b, 30b)은 제2 모터(10b)에 연결된다. 이때, 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)은 연결된 각 모터의 회전을 감속시킨다.
예컨대, 도 1을 참조하면, 하나의 예에서, 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)은 각각 1차 감속기(20, 20a, 20b) 및 2차 감속기(30, 30a, 30b)를 포함할 수 있다. 제1 감속 유닛(20a, 30a)의 1차 감속기(20a)는 제1 모터(10a)의 회전을 1차 감속시키고, 제1 감속 유닛(20a, 30a)의 2차 감속기(30a)는 제1 감속 유닛(20a, 30a)의 1차 감속기(20a, 20b)에 의한 회전을 2차 감속시킨다. 또한, 제2 감속 유닛(20b, 30b)의 1차 감속기(20b)는 제2 모터(10b)의 회전을 1차 감속시키고, 제2 감속 유닛(20b, 30b)의 2차 감속기(30b)는 제2 감속 유닛(20b, 30b)의 1차 감속기(20b)에 의한 회전을 2차 감속시킨다.
예컨대, 이때, 하나의 예에서, 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)의 1차 감속기(20a, 20b) 각각은 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b) 각각의 모터 회전축을 수직방향으로 바꾼다. 또한, 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)의 2차 감속기(30a, 30b) 각각은 1차 감속기(20a, 20b) 각각의 양측으로 2개씩 구비된다. 이때, 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)의 2차 감속기(30, 30a, 30b) 각각은 1차 감속 회전축을 수직으로 바꾸며 서로 나란한 2차 감속 회전축을 형성한다. 즉, 제1 감속 유닛(20a, 30a)은 하나의 1차 감속기(20a)와 2개의 2차 감속기(30a)로 구성되고, 제2 감속 유닛(20b, 30b)도 하나의 1차 감속기(20b)와 2개의 2차 감속기(30b)로 구성될 수 있다. 예컨대, 이때, 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b)의 모터 회전축과 1차 감속기(20, 20a, 20b)의 1차 감속 회전축과 2차 감속기(30, 30a, 30b)의 2차 감속 회전축은 서로 수직일 수 있다.
다음으로, 도 1을 참조하면, 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)은 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)의 감속에 따라 테스트 보드(도시되지 않음) 상에 장착된 피검사 전자부품들(도시되지 않음)을 균일하게 가압하여 테스트핀(도시되지 않음)에 접속시킨다. 이때, 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)은 각각 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b)의 동작에 따라 동기화되어 동일 속도 가압하거나 별개로 가압할 수 있다.
계속하여, 도 1을 참조하면, 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)은 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)의 감속에 따라 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)과 수직하게 왕복 동작하며 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)에 감속 가압력을 전달한다. 예컨대, 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)은 스크류 샤프트이거나 부시 샤프트일 수 있고, 이에 한정되지 않는다.
예컨대, 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)는 후술되는 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)에 결합되어 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)의 회전운동이 직선 운동으로 변환되어 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)과 수직하게 왕복 동작한다.
또한, 도 1을 참조하여 또 하나의 예를 살펴본다.
이때, 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)을 더 포함할 수 있다. 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)은 각각 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b)에 의한 회전운동을 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)의 왕복 직선 운동으로 전환시킨다.
예컨대, 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)은 스크류 또는 기어 방식으로 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)과 연결될 수 있다.
또한, 도 1을 참조하면, 하나의 예에서, 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)은 서로 나란한 2차 감속 회전축의 양단에 설치되며 각각 대응하는 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b) 각각의 4개의 샤프트의 왕복 직선운동을 도모할 수 있다. 이때, 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b) 각각은 4개씩 전환 장치가 구비되어 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b) 각각의 4개 샤프트에 대해 직선 운동을 도모할 수 있다.
또한, 도 1을 참조하여 또 하나의 예를 살펴본다. 이때, 또 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 지지 플레이트(60)를 더 포함한다. 도 1에서, 발명의 이해를 돕기 위해 지지 플레이트(60)의 일부가 절단된 모습으로 도시되고 있다. 지지 플레이트(60)는 관통하는 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)를 지지하며 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)의 왕복 직선운동을 지지한다.
이때, 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)은 지지 플레이트(60) 상에 지지될 수 있다. 예컨대, 하나의 지지 플레이트(60) 상에서 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)이 지지된다. 또한, 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)은 지지 플레이트(60)를 기준으로 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)의 반대측에 형성되어 지지 플레이트(60)를 관통하는 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)에 의해 지지되며 테스트 보드(도시되지 않음) 상에 장착된 피검사 전자부품들(도시되지 않음)을 균일하게 가압할 수 있다.
또 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 탄성지지체를 더 포함할 수 있다. 이때, 제1 및 제2 탄성지지체는 각각 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)과 나란하게 배치되어 지지 플레이트(60)와 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b) 각각의 사이를 탄성적으로 지지할 수 있다. 도 1에서, 도면부호가 도시되지 않았으나, 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)의 각각 4개의 샤프트 옆에서 나란하게 배치되는 각각 4개로 이루어진 제1 및 제2 탄성지지체가 지지 플레이트(60)와 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b) 각각의 사이를 균일하게 탄성적으로 지지할 수 있다. 예컨대, 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)에 의해 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)에 균일한 가압력을 제공하고, 제1 및 제2 탄성지지체가 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b)을 후퇴시키는 탄성력을 제공할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 또 하나의 모습에 따른 전자부품 테스트 장치를 도면을 참조하여 살펴본다. 이때, 전술한 하나의 모습에 따른 테스트 핸들러의 가압 장치의 실시예들이 참조될 수 있고, 중복되는 설명들은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 전자부품 테스트 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 하나의 예에 따른 전자부품 테스트 장치는 테스트 핸들러의 가압 장치, 제1 및 제2 챔버홀(170, 170a, 170b) 및 다수의 테스트핀(도시되지 않음)을 포함하여 이루어진다. 이때, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 모터(10, 10a, 10b), 제1 및 제2 감속 유닛(20, 20a, 20b, 30, 30a, 30b), 제1 및 제2 균일 가압판(70, 70a, 70b) 및 제1 및 제2 샤프트 유닛(50, 50a, 50b)을 포함하여 이루어진다. 또한, 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 운동 전환 유닛(40, 40a, 40b)을 더 포함할 수 있다. 또 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 지지 플레이트(60)를 더 포함할 수 있다. 또 하나의 예에서, 테스트 핸들러의 가압 장치는 제1 및 제2 탄성지지체를 더 포함할 수 있다.
이때, 테스트 핸들러의 가압 장치에 대한 설명은 전술한 발명의 실시예들을 참조하기로 하고, 중복되는 설명들은 생략될 수 있다. 즉, 전술한 구성들의 구체적 설명들은 전술한 발명의 실시예들을 참조하기로 한다.
도 1을 참조하면, 제1 및 제2 챔버홀(170, 170a, 170b)은 테스트 챔버 내에 형성된다. 제1 및 제2 챔버홀(170, 170a, 170b)은 피검사 전자부품들이 장착된 테스트 보드(도시되지 않음)가 안착되는 공간을 형성한다. 예컨대, 제1 및 제2 챔버홀(170, 170a, 170b)은 제1 및 제2 균입 가압판(70, 70a, 70b)의 가압에 따라 테스트 보드 상의 피검사 전자부품들(도시되지 않음)이 균일하게 눌러져 다음에 설명되는 테스트 핀에 균일하게 접속되는 공간일 수 있다.
또한, 도시되지 않았으나, 전자부품 테스트 장치의 다수의 테스트핀(도시되지 않음)은 제1 및 제2 챔버홀(170, 170a, 170b)을 기준으로 제1 및 제2 균입 가압판(70, 70a, 70b)의 반대쪽에 형성된다. 이때, 다수의 테스트 핀은 제1 및 제2 균입 가압판(70, 70a, 70b)의 가압 시 제1 및 제2 챔버홀(170, 170a, 170b)에 안착되는 테스트 보드의 반대측에서 피검사 전자부품들(도시되지 않음)과 전기적 접속을 이룬다.
이상에서, 전술한 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 범주를 제한하는 것이 아니라 본 발명에 대한 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자의 이해를 돕기 위해 예시적으로 설명된 것이다. 또한, 전술한 구성들의 다양한 조합에 따른 실시예들이 앞선 구체적인 설명들로부터 당업자에게 자명하게 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다양한 실시예는 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 범위는 특허청구범위에 기재된 발명에 따라 해석되어야 하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 다양한 변경, 대안, 균등물들을 포함하고 있다.
10, 10a, 10b: 모터 20, 20a, 20b: 1차 감속기
30, 30a, 30b: 2차 감속기 40, 40a, 40b: 운동 전환 유닛
50, 50a, 50b: 샤프트 유닛 60: 지지 플레이트
70, 70a, 70b: 균일 가압판 170, 170a, 170b: 챔버홀

Claims (8)

  1. 제1 및 제2 모터;
    상기 제1 및 제2 모터에 각각 연결되며 각 모터의 회전을 감속시키는 제1 및 제2 감속 유닛;
    상기 제1 및 제2 감속 유닛의 감속에 따라 테스트 보드 상에 장착된 피검사 전자부품들을 균일하게 가압하여 테스트핀에 접속시키는 제1 및 제2 균일 가압판;
    상기 제1 및 제2 감속 유닛의 감속에 따라 상기 제1 및 제2 균일 가압판과 수직하게 왕복 동작하며 상기 제1 및 제2 균일 가압판에 감속 가압력을 전달하는 제1 및 제2 샤프트 유닛;
    상기 제1 및 제2 감속 유닛에 의한 회전운동을 상기 제1 및 제2 샤프트 유닛의 왕복 직선 운동으로 전환시키는 제1 및 제2 운동 전환 유닛; 및
    관통하는 상기 제1 및 제2 샤프트 유닛의 왕복 직선운동을 지지하는 지지 플레이트;을 포함하고,
    상기 제1 및 제2 운동 전환 유닛은 상기 지지 플레이트 상에 지지되고,
    상기 제1 및 제2 균일 가압판은 상기 지지 플레이트를 기준으로 상기 제1 및 제2 운동 전환 유닛의 반대측에 형성되어 상기 지지 플레이트를 관통하는 상기 제1 및 제2 샤프트 유닛에 의해 지지되며 상기 테스트 보드 상에 장착된 상기 피검사 전자부품들을 균일하게 가압하고,
    상기 제1 및 제2 감속 유닛은 각각 상기 제1 및 제2 모터의 회전을 1차 감속시키는 1차 감속기 및 상기 1차 감속기에 의한 회전을 2차 감속시키는 2차 감속기를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 가압 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에서,
    상기 제1 및 제2 감속 유닛의 상기 1차 감속기 각각은 상기 제1 및 제2 모터 각각의 모터 회전축을 수직방향으로 바꾸고,
    상기 제1 및 제2 감속 유닛의 상기 2차 감속기 각각은 상기 1차 감속기 각각의 양측으로 2개씩 구비되며 1차 감속 회전축을 수직으로 바꾸며 서로 나란한 2차 감속 회전축을 형성하고,
    상기 제1 및 제2 운동 전환 유닛은 서로 나란한 상기 2차 감속 회전축의 양단에 설치되며 각각 대응하는 상기 제1 및 제2 샤프트 유닛 각각의 4개의 샤프트의 왕복 직선운동을 도모하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 가압 장치.
  5. 청구항 4에서,
    상기 테스트 핸들러의 가압 장치는 상기 제1 및 제2 샤프트 유닛과 나란하게 배치되어 상기 지지 플레이트와 상기 제1 및 제2 균일 가압판 각각의 사이를 탄성적으로 지지하는 제1 및 제2 탄성지지체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 가압 장치.
  6. 청구항 1, 4, 5 중 어느 하나에서,
    상기 제1 및 제2 모터는 동기화되어 동일 속도로 동작하거나 별도로 동작하며 상기 제1 및 제2 균일 가압판을 동작시키는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 가압 장치.
  7. 청구항 1, 4, 5 중 어느 하나에 따른 테스트 핸들러의 가압 장치;
    테스트 챔버 내에 형성되어 상기 피검사 전자부품들이 장착된 상기 테스트 보드가 안착되는 공간을 형성하는 제1 및 제2 챔버홀; 및
    상기 제1 및 제2 챔버홀을 기준으로 상기 제1 및 제2 균입 가압판과 반대쪽에 형성되며 상기 제1 및 제2 균입 가압판의 가압 시 상기 제1 및 제2 챔버홀에 안착되는 상기 테스트 보드의 반대측에서 상기 피검사 전자부품들과 전기적 접속을 이루는 다수의 테스트핀;을 포함하여 이루어지는 전자부품 테스트 장치.
  8. 청구항 7에서,
    상기 제1 및 제2 모터는 동기화되어 동일 속도로 동작하거나 별도로 동작하며 상기 제1 및 제2 균일 가압판을 동작시키는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 장치.
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