KR101704995B1 - 파티클의 비산 방지 기능이 구비된 공기 분사식 세정기 - Google Patents

Abstract

공기 분사식 세정기가 개시된다. 본 발명은, 클리닝 대상면에 공기를 분사하는 분사구, 및 분사구에 인접하여 설치되며, 분사구로부터 분사된 공기에 의해 클리닝 대상면으로부터 비산되는 파티클이 유입되는 회수구를 구비한다. 본 발명에 따르면, 공기 분사식 세정기에 의해 블로잉 처리되는 파티클이 클리닝 대상면의 외부로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 되는 것을 방지할 수 있게 된다.

Description

파티클의 비산 방지 기능이 구비된 공기 분사식 세정기{Air Injection Type Washer with Function of Particle Scattering Prevention}

본 발명은 공기 분사식 세정기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공기 분사식 세정기에 의해 블로잉 처리되는 파티클이 클리닝 대상면의 외부로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 공기 분사식 세정기를 휴대한 사용자가 특정 제품 또는 장비 등의 표면에서의 파티클을 다양한 현장에서 손쉽게 제거함과 동시에 파티클의 수량을 측정 및 관리할 수 있도록 하는 공기 분사식 세정기에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 제조에 사용되는 대형의 유리기판은 세정수를 이용하여 세정한 후 빠르게 건조를 하지 않으면 그 세정수에 의한 물얼룩이 유리기판 상에 남아 이후의 제조과정에서 결함으로 작용하게 되며, 이와 같은 대면적의 기판을 건조시키기 위하여 그 기판에 CDA(Clean dry air)를 분사하는 에어 나이프가 일반적으로 사용되고 있다.

또한, 이와 같은 에어 나이프는 평판 디스플레이 제조뿐만 아니라, 반도체 웨이퍼 및 회로 기판 제조, 클린룸 등에서 다양하게 사용되고 있다.

한편, 에어 나이프는 일반적으로 상부에 공기 공급포트가 마련되고, 하부측에 마련된 슬릿형의 노즐을 통해 공기 공급포트를 통해 공급된 공기를 분사하는 구조를 가지고 있다.

또한, 에어 나이프는 이와 같은 건조 기능 뿐만 아니라, 공기에 포함된 입자성 불순물인 파티클(Particle)을 공기를 통해 불어냄으로써 그 자체로서 세정의 기능을 수행하기도 한다.

한편, 이와 같이 에어 나이프를 세정의 용도로 사용하는 경우에 블로잉(Blowing) 처리되는 파티클은 주변으로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 된다는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 공기 분사식 세정기에 의해 블로잉 처리되는 파티클이 클리닝 대상면의 외부로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 공기 분사식 세정기를 휴대한 사용자가 특정 제품 또는 장비 등의 표면에서의 파티클을 다양한 현장에서 손쉽게 제거함과 동시에 파티클의 수량을 측정 및 관리할 수 있도록 하는 공기 분사식 세정기를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기는, 공기 분사식 세정기에 있어서, 클리닝 대상면에 대해 수직 방향으로 설치되어, 상기 클리닝 대상면에 수직 방향으로 공기를 분사하는 분사구; 상기 분사구의 좌,우측면에 각각 인접하여 설치되며, 상기 분사구로부터 상기 클리닝 대상면으로 수직 방향으로 분사된 공기에 의해 상기 클리닝 대상면으로부터 좌,우측 방향으로 비산되는 파티클이 각각 유입되는 회수구; 및 상기 공기 분사식 세정기의 하부 외곽부에 설치되되, 상기 클리닝 대상면의 주변을 에워싸며 상기 클리닝 대상면에 밀착되도록 설치됨으로써, 상기 파티클이 상기 클리닝 대상면 밖으로 비산되는 것을 방지하는 차단재를 포함하며, 상기 분사구는 상기 클리닝 대상면과 평행한 방향으로 소정 길이의 폭을 갖는 슬릿형 분사 노즐을 포함하고, 상기 슬릿형 분사 노즐이 인접한 다른 분사구에 구비된 슬릿형 분사 노즐과 일직선으로 연속 결합될 수 있도록, 상기 분사구의 단부에는 상기 인접한 다른 분사구과 결합되는 체결부가 구비되며, 상기 차단재의 상부에 구비된 상기 회수구로의 상기 파티클의 유입을 유도하는 경사형 유도구를 더 포함하고, 상기 경사형 유도구는 상기 차단재에 구비된 경사면에 의해 형성되고, 상기 파티클은 상기 차단재에 구비된 경사면을 따라 차단재의 상부에 구비된 회수구로 유입되는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 회수구의 입구에 설치되며, 상기 파티클의 상기 회수구로의 유입을 유도하는 유도구를 더 포함한다.

또한, 상기 공기 분사식 세정기의 하부에 설치되며, 상기 파티클이 상기 클리닝 대상면 밖으로 비산되는 것을 방지하는 차단재를 더 포함한다.

또한, 상기 회수구에 설치되며, 상기 회수구로 유입된 파티클을 흡입하는 흡기구를 더 포함한다.

또한, 상기 흡기구에 설치되며, 상기 흡기구를 통해 흡입된 파티클의 수량을 측정하는 파티클 센서를 더 포함한다.

또한, 상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 클리닝 대상면을 세정하는 플라즈마 세정기를 더 포함한다.

또한, 상기 흡기구로 흡입된 상기 파티클의 샘플 취득을 위해 싸이클론 흡입 방식이 적용되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 클리닝 대상면을 세정하는 초음파 진동자를 더 포함한다.

또한, 상기 분사구에 설치되며, 상기 분사구를 통해 분사되는 공기에 의해 발생하는 정전기를 제거하는 이온화 장치를 더 포함한다.

본 발명에 따르면, 공기 분사식 세정기에 의해 블로잉 처리되는 파티클이 클리닝 대상면의 외부로 비산됨으로써, 예측하거나 통제할 수 없는 2차적 오염의 원인이 되는 것을 방지할 수 있게 된다.

아울러, 본 발명에 따르면, 공기 분사식 세정기를 휴대한 사용자가 특정 제품 또는 장비 등의 표면에서의 파티클을 다양한 현장에서 손쉽게 제거함과 동시에 해당 파티클의 수량을 측정 및 관리할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기 분사식 세정기의 구조를 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 공기 분사식 세정기의 구조를 나타내는 도면,
도 3는 도 1 및 도 2에서의 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기에 구비된 분사구의 측면 구조를 나타내는 도면, 및
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 공기 분사식 세정기의 구조를 나타내는 도면이다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공기 분사식 세정기(100)의 구조를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 다른 공기 분사식 세정기(100)는 분사구(110), 회수구(130), 유도구(150), 차단재(170), 및 흡기구(190)를 포함한다.

분사구(110)는 송풍구(113)를 통해 공급받은 공기를 길이 방향(지면 방향)으로 길게 형성된 슬릿형 노즐을 이용하여 클리닝 대상면(10)에 분사함으로써, 클리닝 대상면(10)에 위치하는 파티클 등에 대한 블로잉 처리를 하는 기능을 수행한다.

한편, 회수구(130)는 분사구(110)의 양 측면에 인접하여 설치되며, 분사구(110)에 의해 블로잉 처리된 파티클은 클리닝 대상면(10)의 외부로 비산되지 않고, 회수구(130)의 내부로 유입되게 된다. 이와 같은 회수구(130)는 통형 구조로서 분사구(110)와 일체로서 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)를 구성하게 된다.

아울러, 본 발명을 실시함에 있어서, 회수구(130)의 내부로 유입된 파티클은 회수구(130)의 상부에 설치된 흡기구(190)를 통해 외부로 배출되도록 함이 바람직할 것이다.

아울러, 분사구(110)에 의해 블로잉 처리된 파티클이 분사구(110)에 의해 분사되는 공기와 함께 회수구(130)의 내부로 용이하게 유입될 수 있도록, 도 1에서와 같이 회수구(130)의 파티클이 유입되는 입구의 크기가 확장되도록 하는 유도구(150)를 설치함이 바람직할 것이다.

뿐만 아니라, 분사구(110)에 의해 블로잉 처리된 파티클이 회수구(130)로 유입되지 않고, 클리닝 대상면(10) 밖으로 비산되는 것을 방지하기 위해서, 도 1에서와 같이 공기 분사식 세정기(100)의 하부 외곽부에는 실리콘 또는 고무 재질의 차단재(170)를 설치함이 바람직할 것이다.

그에 따라, 사용자가 분사구(110)를 이용한 파티클의 블로잉 처리를 하기 전에 차단재(170)를 클리닝 대상면(10)에 밀착시킴으로써, 차단재(170)를 이용하여 클리닝 대상면(10)의 주변을 에워싼 상태에서 분사구(110)를 통해 블로잉 작업을 하게 되면, 블로잉 처리된 파티클이 클리닝 대상면(10) 밖으로 비산되는 것이 차단재(170)에 의해 방지되게 되며, 그에 따라, 파티클은 모두 회수구(130)로 유입될 수 있게 된다.

아울러, 본 발명을 실시함에 있어서는, 흡기구(190)의 단부 또는 흡기구(190)의 내부에 파티클 센서(미도시)를 설치함으로써, 클리닝 대상면(10)의 블로잉 처리를 통해 비산되는 파티클의 수량을 동시에 측정하고, 사용자가 이와 같은 파티클 수량 정보를 관리할 수 있도록 함이 바람직할 것이다.

이와 같은 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)는 휴대용 제품으로 제작됨으로써, 사용자가 특정 제품 또는 장비 등의 표면에서의 파티클을 다양한 현장에서 손쉽게 제거함과 동시에 측정할 수 있도록 함이 바람직할 것이다.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 공기 분사식 세정기(100)의 구조를 나타내는 도면이다. 도 2을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 공기 분사식 세정기(100)는 도 1에서의 본 발명의 일 실시예에 따른 공기 분사식 세정기(100)에서와 동일하게 분사구(110), 회수구(130), 유도구(150), 차단재(170), 및 흡기구(190)를 포함한다.

한편, 도 2에서의 공기 분사식 세정기(100)는 도 1에서와는 달리 분사구(110)가 수직 방향으로 경사진 상태로 설치되어 있으며, 이와 같은 경사형 분사구(110)를 통해 블로잉 처리되는 파티클은 한 쪽 방향으로만 비산되게 된다.

따라서, 도 2에서의 공기 분사식 세정기(100)는 도 1에서와는 달리 분사구(110)의 일측에만 회수구(130), 유도구(150), 및 차단재(170)가 구비되는 것으로도 동일한 기능을 달성할 수 있게 된다.

도 3는 도 1 및 도 2에서의 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)에 구비된 분사구(110)의 측면 구조를 나타내는 도면이다. 도 3에서와 같이 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)에 구비된 분사구(110)는 넓은 분사 폭을 가지도록, 길이 방향으로 길게 형성된 슬릿형 분사 노즐 구조를 구비하고 있다.

아울러, 도 3에서와 같이 분사구(110-1)는 단부에 구비된 체결부(115)를 통해 다른 분사구(110-2)와 길이 방향으로 연속 결합이 가능하게 됨으로써, 사용자는 필요에 따라 분사구(110)에 의한 분사의 폭을 확장시킬 수 있게 된다.

한편, 분사구(110)의 단부에서의 체결 구조는 홈과 그루브를 이용한 슬라이딩 결합 방식 등의 다양한 방법이 적용될 수 있을 것이다.

이와 같이, 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)의 분사구(110-1)에 구비된 체결부(115)는 다른 공기 분사식 세정기(100)의 분사구(110-2)에 구비된 체결부(115)와 결합됨으로써, 본 발명에 따른 공기 분사식 세정기(100)는 다른 공기 분사식 세정기(100)와 길이 방향으로 연속적으로 결합된 상태에서 사용가능하게 된다.

한편, 본 발명을 실시함에 있어서는, 클리닝 대상면(10)을 플라즈마를 이용하여 추가 세정할 수 있도록 플라즈마 세정기(미도시)를 분사구(110)의 측면에 결합 설치할 수도 있을 것이다.

아울러, 본 발명을 실시함에 있어서는, 흡기구(190)에 연결설치됨으로써 공기와 함께 파티클이 흡기구(190)를 통해 흡입되도록 하는 흡입 장치를 설치함에 있어서는, 싸이클론 흡입 방식으로 구동하는 진공 펌프를 구비한 흡입 장치를 설치함이 바람직할 것이며, 이 경우에는 원심력으로 공기를 회전시키면서 파티클을 흡입함으로써 흡입된 파티클을 아래로 가라앉히는 방식으로 파티클을 수집할 수 있게 되고, 이와 같이 수집된 파티클은 흡입 장치 내부에 설치된 파티클 센서에 의해 측정된다.

또한, 본 발명을 실시함에 있어서는, 분사구(110)의 측면에 초음파 진동자를 추가로 결합 설치할 수도 있을 것이며, 이 경우에 초음파 진동자의 진동에 의한 기계적 진동 에너지는 분사구(110)를 통해 공급되는 공기를 매질로 하여 클리닝 대상면(10)에 전달됨으로써, 클리닝 대상면(10)의 세정 효과를 더욱 증진시킬 수 있게 된다.

뿐만 아니라, 본 발명을 실시함에 있어서는, 도 4에서와 같이 분사구(110)에 구비된 송풍구(113)에 이온화 장치(ionizer:180)를 추가로 설치함으로써, 분사구(110)를 통해 분사되는 공기에 의해 발생하는 정전기가 제거되도록 할 수도 있을 것이다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예 및 응용예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 응용예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.

또한, 본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

10: 클리닝 대상면, 100: 공기 분사식 세정기,
110: 분사구, 113: 송풍구,
115: 체결부, 130: 회수구,
150: 유도구, 170: 차단재,
180: 이온화 장치, 190: 흡기구.

Claims (9)

1. 공기 분사식 세정기에 있어서,
   클리닝 대상면에 대해 수직 방향으로 설치되어, 상기 클리닝 대상면에 수직 방향으로 공기를 분사하는 분사구;
   상기 분사구의 좌,우측면에 각각 인접하여 설치되며, 상기 분사구로부터 상기 클리닝 대상면으로 수직 방향으로 분사된 공기에 의해 상기 클리닝 대상면으로부터 좌,우측 방향으로 비산되는 파티클이 각각 유입되는 회수구; 및
   상기 공기 분사식 세정기의 하부 외곽부에 설치되되, 상기 클리닝 대상면의 주변을 에워싸며 상기 클리닝 대상면에 밀착되도록 설치됨으로써, 상기 파티클이 상기 클리닝 대상면 밖으로 비산되는 것을 방지하는 차단재
   를 포함하며,
   상기 분사구는 상기 클리닝 대상면과 평행한 방향으로 소정 길이의 폭을 갖는 슬릿형 분사 노즐을 포함하고,
   상기 슬릿형 분사 노즐이 인접한 다른 분사구에 구비된 슬릿형 분사 노즐과 일직선으로 연속 결합될 수 있도록, 상기 분사구의 단부에는 상기 인접한 다른 분사구과 결합되는 체결부가 구비되며,
   상기 차단재의 상부에 구비된 상기 회수구로의 상기 파티클의 유입을 유도하는 경사형 유도구를 더 포함하고,
   상기 경사형 유도구는 상기 차단재에 구비된 경사면에 의해 형성되고,
   상기 파티클은 상기 차단재에 구비된 경사면을 따라 차단재의 상부에 구비된 회수구로 유입되는 것인 공기 분사식 세정기.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 회수구에 설치되며, 상기 회수구로 유입된 파티클을 흡입하는 흡기구를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 흡기구에 설치되며, 상기 흡기구를 통해 흡입된 파티클의 수량을 측정하는 파티클 센서를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 클리닝 대상면을 세정하는 플라즈마 세정기를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
   
7. 제4항에 있어서,
   상기 흡기구로 흡입된 상기 파티클의 샘플 취득을 위해 싸이클론 흡입 방식이 적용되는 것인 공기 분사식 세정기.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 분사구에 인접하여 설치되며, 상기 클리닝 대상면을 세정하는 초음파 진동자를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.
9. 제1항에 있어서,
   상기 분사구에 설치되며, 상기 분사구를 통해 분사되는 공기에 의해 발생하는 정전기를 제거하는 이온화 장치를 더 포함하는 공기 분사식 세정기.

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