KR101687325B1 - Composite container with an inner reservoir of 60 liters and chemical discharging tube - Google Patents

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Abstract

[과제] 번잡 작업의 저감을 도모할 수 있는 60리터 내측 리저버 복합 용기를 제공하고, 및 이 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브를 제공한다.
[해결수단] 수지제이고 고청정도가 요구되는 약액을 60리터 수용하며 액 출입구부(112)를 형성한 내장 용기(110)와, 강제이고 몸통체(121)에 하부 커버판(122)을 시밍해서 형성한 수납부(120a)의 내면을 따라 상기 내장 용기를 수납하고 또한 상부 커버판(123)을 상기 몸통체에 시밍해서 성형되는 외장 용기(120)를 구비했다.[PROBLEMS] To provide a 60-liter inner reservoir composite container capable of reducing the troublesome operation, and to provide a 60-liter inner-solution container chemical liquid discharge tube.
[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A built-in container (110) made of resin and containing 60 liters of a chemical solution requiring high cleanliness and having a liquid inlet / outlet part (112) And an outer container 120 accommodating the built-in container along the inner surface of the accommodating portion 120a formed by molding the upper cover plate 123 on the inner surface of the accommodating portion 120a.

Description

60리터 내측 리저버 복합 용기 및 약액 배출 튜브{COMPOSITE CONTAINER WITH AN INNER RESERVOIR OF 60 LITERS AND CHEMICAL DISCHARGING TUBE}Technical Field [0001] The present invention relates to a 60 liter inner reservoir composite container and a chemical liquid discharge tube.

본 발명은 강제의 외측 용기 내에 수지제의 내측 용기를 설치한 용량 60리터의 내측 리저버 복합 용기, 및 이 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브에 관한 것이다.The present invention relates to an inner reservoir composite container having a capacity of 60 liters in which an inner container made of resin is provided in a forced outer container, and a chemical liquid discharge tube for the 60 liter inner reservoir composite container.

예컨대 식품이나 약액을 수납하기 위한 강제 용기에서는 상기 식품이나 약액이 직접적으로 강제 용기 내면에 접촉하는 것에 의한 부식 등의 발생을 방지하기 위해서 상기 식품이나 약액을 수납하는 수지제의 내측 용기를 강제의 외측 용기 내에 수납한 도 11에 나타내는 바와 같은 내측 리저버 복합 용기(10)의 형태가 채용된다.For example, in a forced container for storing a food or a chemical liquid, in order to prevent the occurrence of corrosion caused by the contact of the food or the chemical directly with the inner surface of the forced container, the inner container made of resin, The shape of the inner reservoir composite container 10 shown in Fig. 11 stored in a container is employed.

상기 내측 리저버 복합 용기(10)에서는, 내측 용기(1)는 본체부(1a)가 폴리에틸렌제이며 자루 형상으로 형성되고, 그 상부에는 충전물을 출입시키기 위한 출입구(1b)가 용기 본체부와 일체적으로 형성되어 있다. 또한, 출입구(1b)의 외주면은 수나사 형상으로 성형되어 있다.In the inner reservoir composite container 10, the inner container 1 is made of polyethylene and is formed in a bag shape, and an entrance 1b for inserting and discharging the filling material is integrally formed with the container body portion Respectively. Further, the outer peripheral surface of the entrance 1b is formed in the shape of male thread.

한편, 내측 리저버 복합 용기(10)의 외측 용기(2)는 원통 형상의 강판으로 이루어지는 몸통체(2a)와 강판으로 이루어지는 하부 커버판(2b)이 시밍(seaming)되어 수납부가 형성된다.On the other hand, in the outer container 2 of the inner reservoir composite container 10, the body 2a made of a cylindrical steel plate and the lower cover plate 2b made of a steel sheet are seamed to form a storage portion.

그리고, 상기 수납부 내에 상기 내측 용기(1)를 장전한 후, 강판제의 상부 커버판(2c)에 형성한 개구로부터 상기 출입구(1b)를 돌출시킨 상태에서 몸통체(2a)와 상부 커버판(2c)이 시밍되고, 강제의 외측 용기(2) 내에 수지제의 내측 용기(1)를 수납한 내측 리저버 복합 용기(10)가 제작된다. 이러한 내측 리저버 복합 용기(10)에 대해서 충전물을 주입한 후, 상부 커버판(2c)으로부터 돌출된 출입구(1b)에는 캡(3)이 나사 결합되어 충전물의 밀폐가 도모된다.After the inner container 1 is loaded in the storage portion and the entrance 1b is protruded from the opening formed in the upper cover plate 2c made of steel plate, The inner reservoir composite container 10 is formed in which the inner container 1 made of resin is housed in the forced outer container 2. After filling the filling material into the inner reservoir composite container 10, the cap 3 is screwed into the entrance 1b protruded from the upper cover plate 2c to seal the filling material.

상기 약액의 예로서, 예컨대 반도체 분야에서는 예컨대 CMP 슬러리, 포토레지스트, 현상액, 에칭액, 세정액 등이며, 액정 분야에서는 포토레지스트, 컬러 레지스트, 컬러 필터 재료 등이다. 또한, 이들 약액 중에는 차광을 요하는 것도 있고, 강제로 이루어지는 외측 용기(2)는 차광성을 가지므로 내측 리저버 복합 용기(10)의 사용은 이 점에서도 유리하다.As examples of the above-mentioned chemical liquid, for example, CMP slurry, photoresist, developer, etching liquid, cleaning liquid and the like are used in the semiconductor field, and photoresist, color resist and color filter material are used in the liquid crystal field. In addition, some of these chemical liquids require shading, and the use of the inner reservoir composite container 10 is advantageous in this respect as the outer container 2 made by forcing has shading properties.

반도체 분야 등에 있어서의 약액을 취급할 경우에는, 내측 용기(1)는 물론, 내측 리저버 복합 용기(10)에는 높은 청정도가 요구된다. 또한 약액의 배출에 있어서도 높은 청정성이 요구되어 배출 방법으로서 상기 캡(3)을 분리하여 부착되며 배출용 튜브를 갖는 디스펜서를 이용해서 배출하는 방법이 채용된다. 이것에는 약액을 펌프로 빨아올리는 펌프 업 방식, 또는, 드럼 내에 질소 가스 등을 주입해서 가압함으로써 약액을 압출하는 가압 방식이 있다.A high degree of cleanliness is required for the inner reservoir composite 10 as well as the inner reservoir 1 when handling chemical fluids in the semiconductor field or the like. Also, a high cleanliness is required for the discharge of the chemical liquid, and a discharge method is employed in which the cap 3 is detached and attached and discharged using a dispenser having a discharge tube. There is a pump-up system in which a chemical liquid is sucked up by a pump, or a pressurizing system in which a chemical liquid is extruded by injecting nitrogen gas or the like into the drum.

일본 특허 공개 제 2007-45429 호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-45429

상술한 바와 같은 반도체 분야 등에서 사용되는 약액용 내측 리저버 복합 용기로서는 그 내용량이 20리터인 소위 페일 드럼(pail drum)을 이용한 것이 널리 사용되고 있다. 한편, 상술한 바와 같이, 약액의 배출에는 디스펜서를 이용한 방법이 채용되므로 대개 20리터의 약액을 배출할 때마다 용기에 대해서 상기 디스펜서의 착탈을 행할 필요가 있어 매우 번잡한 작업이 강하게 요구되고 있다.As the inner reservoir composite container for a chemical solution used in the semiconductor field as described above, a so-called pail drum having an inner volume of 20 liters is widely used. On the other hand, as described above, since the method using the dispenser is adopted for discharging the chemical liquid, it is necessary to attach / detach the dispenser to the container every time when 20 liters of the chemical liquid is discharged, and a very complicated operation is strongly demanded.

또한, 반도체 분야 등에서 사용되는 약액은 매우 고가이고, 비용면에서 내측 리저버 복합 용기 내에 있어서의 잔액량을 가능한 한 저감하고 싶다는 유저측의 요망도 있다.In addition, there is also a demand on the user side that the chemical liquid used in the semiconductor field or the like is very expensive, and the amount of the remaining liquid in the inner reservoir composite container is desired to be reduced as much as possible.

본 발명은 이러한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 번잡 작업의 저감을 도모할 수 있는 60리터 내측 리저버 복합 용기를 제공하는 것, 및 이 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve these problems, and it is an object of the present invention to provide a 60 liter inner reservoir composite container capable of reducing troublesome work and a chemical liquid discharge tube for a 60 liter inner reservoir composite container do.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 이하와 같이 구성한다.In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.

즉, 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기는 수지제이고, 취급에 고청정도가 요구되는 약액을 수용하며, 그 수용량이 60리터이고, 상면에 액 출입구부를 형성한 내장 용기와,That is, the 60-liter inner reservoir composite container according to the first embodiment of the present invention is made of resin and accommodates a chemical solution requiring high cleanliness for handling, has a capacity of 60 liters, and has a liquid inlet / The container,

강제이고, 통형상의 몸통체에 하부 커버판이 시밍되어 성형된 수납부의 내면을 따라 상기 내장 용기를 수납하며, 또한 상기 액 출입구부가 돌출 가능한 구부용(口部用) 개구를 형성한 상부 커버판을 상기 몸통체에 시밍해서 성형되는 외장 용기를 구비한 것을 특징으로 한다.And an upper cover plate for holding the built-in container along the inner surface of the molded housing part formed by seaming the lower cover plate on the tubular body and forming an opening for the mouth part in which the liquid inlet / And an outer container molded by seaming the body.

또한, 상기 내장 용기의 상기 액 출입구부는 이 액 출입구부의 외주면에 상기 액 출입구부의 축방향을 따라 유지용 나사와 캡용 나사를 동심원상으로 2단으로 갖고, 상기 유지용 나사는 상기 상면에 근접해서 성형되고 상기 외장 용기의 상기 구부용 개구를 통과하는 직경을 가지며 상기 액 출입구부를 상기 상부 커버판에 유지하는 행거를 나사 결합하기 위한 나사이고, 상기 캡용 나사는 상기 상면으로부터 이간되어 성형되고 상기 유지용 나사보다 작은 지름이며 상기 액 출입구부의 구부를 폐지하는 캡을 나사 결합하기 위한 나사로 구성해도 좋다.In addition, the liquid inlet / outlet portion of the built-in container has a holding screw and a cap screw in two concentric circles on the outer circumferential surface of the liquid outlet port portion along the axial direction of the liquid outlet port portion, And a screw for screwing a hanger having a diameter passing through the opening for the sphere of the outer container and holding the liquid inlet / outlet portion on the upper cover plate, the screw for cap being formed by being separated from the upper surface, And a screw for screwing the cap for closing the bore of the liquid outlet port portion.

또한, 상기 상부 커버판은 상기 구부용 개구의 주위에 있어서 상기 구부용 개구로부터 상기 상부 커버판의 중앙을 초과하는 영역까지 함몰부를 형성해도 좋다.Further, the upper cover plate may have a depression around the opening for the sphere, from the sphere opening to an area exceeding the center of the upper cover plate.

또한, 상기 외장 용기는 도장을 생략할 수 있는 전기 아연 도금 강판으로 성형되고, 상기 약액은 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액이며, 상기 내장 용기는 약액용 사양에 의한 고밀도 폴리에틸렌 수지제이며 고품질 관리하에서 블로우 성형해서 구성해도 좋다.The outer container is formed of an electrogalvanized steel sheet which can be painted. The chemical liquid is used in at least one of a semiconductor field and a liquid crystal field. The inner container is made of a high density polyethylene resin And may be blow-molded under high-quality management.

또한, 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 약액 배출 튜브는 상기 제 1 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기에 있어서의 액 출입구부에 장착 가능하고, 상기 내장 용기에 수용한 약액을 용기 외부로 배출하는 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브로서,The chemical liquid discharge tube according to the second embodiment of the present invention can be mounted on the liquid inlet / outlet portion of the built-in container provided in the 60 liter inner reservoir composite container according to the first embodiment, A chemical liquid discharge tube for a 60 liter inner reservoir composite container which discharges the accommodated chemical liquid to the outside of the container,

가요성이고 내약액성의 수지제이며, 흡액구 근방의 선단 부분에 약액 배출용 용기 내 가압에 따라 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기의 하부 커버판에 생기는 변형 부분에 상기 흡액구를 배향시키는 추를 갖는 것을 특징으로 한다.And a weight for orienting the liquid-absorbing port to a deformed portion formed on the lower cover plate of the 60-liter inner reservoir composite container in accordance with the pressure in the liquid-medicament-discharging container at the tip portion near the liquid-absorbing port .

<발명의 효과>EFFECTS OF THE INVENTION [

본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기에 의하면, 그 수용량은 60리터이므로 종래의 20리터에 대해서 수용량이 증가되고, 약액 배출에 관한 번잡 작업의 저감을 도모할 수 있다.According to the 60 liter inner reservoir composite container of the first embodiment of the present invention, since the capacity thereof is 60 liters, the capacity is increased with respect to the conventional 20 liters, and the troublesome operation concerning the chemical liquid discharge can be reduced.

또한, 상술한 바와 같은 60리터 내측 리저버 복합 용기에 있어서 내장 용기의 액 출입구부에 유지용 나사 및 캡용 나사를 형성했다. 따라서, 상부 커버판의 구부용 개구로부터 돌출되는 내장 용기의 액 출입구부는 유지용 나사에 나사 결합시킨 행거에 의해 돌출된 상태로 상부 커버판에 유지될 수 있다. 따라서, 캡용 나사에 나사 결합하는 캡의 착탈을 용이하게 행할 수 있고, 약액 배출 작업에 관한 작업성을 향상시킬 수 있다.Further, in the above-mentioned 60 liter inner reservoir composite container, the holding screw and the cap screw were formed at the liquid inlet / outlet portion of the built-in container. Therefore, the liquid inlet / outlet portion of the built-in container protruding from the opening for the bulge of the upper cover plate can be held on the upper cover plate in a state protruded by a hanger screwed to the holding screw. Therefore, it is possible to easily attach and detach the cap screwed to the cap screw, thereby improving the workability in the chemical liquid discharge operation.

또한, 상부 커버판에는 구부용 개구의 주위에 함몰부를 형성했다. 따라서, 약액 배출을 위해서 용기 내를 가압하는 경우에도 상부 커버판의 부풀어오름을 방지 또는 억제할 수 있다. 한편, 하부 커버판에는 내가압용의 연구는 시행되고 있지 않다. 따라서, 상기 함몰부와의 상승 효과에 의해 하부 커버판 특히 하부 커버판 중앙부는 상기 가압에 의해 용기 외측으로 부풀어 오를 수 있다. 이 결과, 약액 배출 종료 직전에는 상기 부풀어 오른 변형 부분에 잔액을 모을 수 있어 효율적인 약액 배출이 가능하게 되고, 또한 잔액량의 저감을 도모하는 것도 가능하게 된다.In the upper cover plate, a depression was formed around the aperture for the sphere. Therefore, even when the inside of the container is pressed for discharging the chemical liquid, it is possible to prevent or suppress the swelling of the upper cover plate. On the other hand, there is no study of pressure application on the lower cover plate. Therefore, the lower cover plate, in particular, the central portion of the lower cover plate can be swollen to the outside of the container by the pressing action due to the synergistic effect with the depression. As a result, the balance can be collected in the swollen deformed portion just before the end of the chemical liquid discharge, so that efficient chemical liquid discharge becomes possible, and the amount of the remaining liquid can be reduced.

또한, 내장 용기를 고밀도 폴리에틸렌 수지로 성형함으로써 내약액성 및 높은 크린도를 가질 수 있다. 또한, 약액이 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액이며, 그것에 적합한 품질 관리하에서 블로우 성형된다. 따라서, 내장 용기는 고청정도를 갖고, 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액의 취급에 적합하다. 또한, 외장 용기에 대해서도 전기 아연 도금 강판으로 성형함으로써 외면 도장을 생략할 수 있다. 따라서, 용기 내로의 이물 혼입 등의 가능성을 저감시키고, 내장 용기뿐만 아니라 용기 전체에 있어서 고청정도를 달성하는 것이 가능하다.Further, by forming the built-in container into a high-density polyethylene resin, it can have a high liquidity and high cleanliness. Further, the chemical liquid is a chemical liquid used in at least one of the semiconductor field and the liquid crystal field, and is subjected to blow molding under suitable quality control. Therefore, the built-in container has a high degree of cleanliness and is suitable for handling chemical fluids used in at least one of the semiconductor field and the liquid crystal field. In addition, the outer container can be formed into an electro-galvanized steel sheet, thereby omitting the outer surface coating. Therefore, it is possible to reduce the possibility of contamination of foreign objects into the container, and achieve high cleanliness in the container as a whole as well as in the container.

또한, 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 약액 배출 튜브에 의하면 상기 제 1 실시형태의 60리터 내측 리저버 복합 용기에 장착 가능하고, 상기 약액 배출 튜브의 선단 부분에 추를 갖는다. 따라서, 약액 배출 튜브의 흡액구를 외장 용기의 하부 커버판에 있어서의 변형 부분에 배향시키는 것이 가능하게 되고, 상술한 상부 커버판의 함몰부 형성과 더불어, 더욱 효율적인 약액 배출이 가능하게 되고, 또한 잔액량의 저감을 도모하는 것도 가능하게 된다.Further, according to the chemical liquid discharge tube of the second embodiment of the present invention, the chemical liquid discharge tube can be attached to the 60 liter inner reservoir composite container of the first embodiment, and the chemical liquid discharge tube has a weight at the tip end portion thereof. Therefore, it becomes possible to orient the liquid-absorbing port of the liquid-medicament-discharging tube to the deformed portion of the lower cover plate of the outer container. In addition to the formation of the depressed portion of the upper cover plate described above, The amount of the residual liquid can be reduced.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기의 구조를 나타내는 일부 단면을 포함하는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기의 평면도이다.
도 3은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기의 사시도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기의 내장 용기의 액 출입구부에 관한 단면도이다.
도 5는 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기를 거꾸로 해서 약액을 배출했을 때의 잔액 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기의 변형예의 일례를 나타내는 도면이고, 도 6(A)는 평면도, 도 6(B)는 화살표 B에 따른 측면도, 도 6(C)는 화살표 C에 따른 측면도이다.
도 7은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기의 다른 변형예를 나타내는 도면이고, 도 7(A)는 평면도, 도 7(B)는 측면도이다.
도 8은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기의 다른 변형예를 나타내는 도면이고, 도 8(A)는 평면도, 도 8(B)는 측면도이다.
도 9는 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 장착 가능한 약액 배출 튜브 및 디스펜서 기구를 나타내는 도면이다.
도 10은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 적용 가능한 경사대를 나타내는 사시도이다.
도 11은 종래의 20리터 내측 리저버 복합 용기의 구조를 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a partial cross section showing the structure of a 60 liter inner reservoir composite container in one embodiment of the present invention. Fig.
2 is a plan view of the 60 liter inner reservoir composite container shown in FIG.
3 is a perspective view of the 60 liter inner reservoir composite container shown in FIG.
Fig. 4 is a cross-sectional view showing the liquid inlet / outlet port of the built-in container of the 60 liter inner reservoir composite container shown in Fig.
Fig. 5 is a view showing the balance state when the chemical liquid is discharged upside down on the 60 liter inner reservoir composite container shown in Fig. 1. Fig.
Fig. 6 is a view showing an example of a modification of the built-in container provided in the 60 liter inner reservoir composite container shown in Fig. 1. Fig. 6A is a plan view, Fig. 6B is a side view along the arrow B, C) is a side view along arrow C;
7 is a view showing another modified example of the built-in container provided in the 60 liter inner reservoir composite container shown in Fig. 1. Fig. 7 (A) is a plan view and Fig. 7 (B) is a side view.
Fig. 8 is a view showing another modified example of the built-in container provided in the 60 liter inner reservoir composite container shown in Fig. 1. Fig. 8 (A) is a plan view and Fig. 8 (B) is a side view.
9 is a view showing a chemical liquid discharge tube and a dispenser mechanism which can be attached to the 60 liter inner reservoir composite container shown in FIG.
10 is a perspective view showing an inclined stage applicable to the 60 liter inner reservoir composite container shown in FIG.
11 is a view showing the structure of a conventional 20 liter inner reservoir composite container.

본 발명의 실시형태인 60리터 내측 리저버 복합 용기에 대해서 도면을 참조하면서 이하에 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일하거나 또는 같은 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다.A 60 liter inner reservoir composite container according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the drawings, the same or similar components are denoted by the same reference numerals.

도 1~도 4에는 본 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 구성이 나타내어져 있다. 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 있어서도, 종래의 20리터 내측 리저버 복합 용기와 마찬가지로, 수지제의 내장 용기(110)와 이 내장 용기(110)를 수납하는 강제의 외장 용기(120)를 구비한다.1 to 4 show the structure of the 60 liter inner reservoir composite container 100 in the present embodiment. In the 60 liter inner reservoir composite container 100, similarly to the conventional 20 liter inner reservoir composite container, a built-in container 110 made of resin and a forced outer container 120 for storing the built-in container 110 are provided do.

내장 용기(110)는 본체부(111)가 고밀도 폴리에틸렌 수지제이며 자루 형상으로 블로우 성형되고 그 용량이 60리터이며, 본체부(111)의 상면(111a)에는 약액을 출입시키기 위한 액 출입구부(112)가 본체부(111)와 일체적으로 형성되어 있다. 액 출입구부(112)는 본체부(111)의 블로 성형시에 동시에 성형되어도 좋고, 별도 성형되어 본체부(111)에 융착 등에 의해 부착되어도 좋다. 또한, 액 출입구부(112)의 외주면에는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 액 출입구부(112)의 축방향(112a)을 따라 유지용 나사(1121)와 캡용 나사(1122)가 동심원상으로 2단으로 수나사 형상으로 성형되어 있다.The built-in container 110 has a body portion 111 made of a high-density polyethylene resin and blow-molded into a bag shape and having a capacity of 60 liters. An upper surface 111a of the body portion 111 is provided with a liquid inlet / 112 are integrally formed with the main body 111. [0054] The liquid inlet / outlet part 112 may be molded at the time of blow molding of the body part 111, separately molded, and attached to the body part 111 by fusion or the like. 4, a holding screw 1121 and a cap screw 1122 are formed concentrically along the axial direction 112a of the liquid inlet / outlet port 112, And is formed into a male thread shape in two stages.

유지용 나사(1121)는 상면(111a)에 근접해서 성형되는 수나사이며, 외장 용기(120)의 상부 커버판(123)에 형성된 구부용 개구(123a)를 통과하는 직경을 갖고, 액 출입구부(112)를 외장 용기(120)의 상부 커버판(123)에 유지하는 행거(113)를 나사 결합하기 위한 나사이다.The retaining screw 1121 is a male screw that is formed in the vicinity of the upper surface 111a and has a diameter passing through the opening 123a formed in the upper cover plate 123 of the outer container 120, 112 to the upper cover plate 123 of the outer container 120. The hanger 113 is a screw for holding the hanger 113 on the upper cover plate 123 of the outer container 120. [

캡용 나사(1122)는 상술한 유지용 나사(1121)보다 작은 지름의 수나사이며, 상기 축방향(112a)에 있어서 유지용 나사(1121)보다 상측에 위치하고, 액 출입구부(112)의 구부(112b)를 폐지하는 캡(115)을 나사 결합하기 위한 나사이다.The cap screw 1122 is a male screw having a smaller diameter than the above-described holding screw 1121 and is positioned above the holding screw 1121 in the axial direction 112a and is provided with a bend 112b And a cap 115 for abutting the cap screw 115. As shown in Fig.

내장 용기(110)에 수용되는 약액은 수용시도 포함해서 취급에 고청정도가 요구되는 약액이며, 예컨대, 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액이 상당한다. 상술한 바와 같이, 반도체 분야에서의 약액으로서는 예컨대 CMP 슬러리, 포토레지스트, 현상액, 에칭액, 세정액 등이며, 액정 분야에서는 포토레지스트, 컬러 레지스트, 컬러 필터 재료 등이다.The chemical solution contained in the built-in container 110 is a chemical solution requiring high clarity in handling, including an acceptance attempt. For example, the chemical solution used in at least one of the semiconductor field and the liquid crystal field is equivalent. As described above, the chemical liquid in the semiconductor field includes, for example, a CMP slurry, a photoresist, a developer, an etching solution, a cleaning liquid, and the like in the field of liquid crystal, and a photoresist,

이러한 약액을 수용하는 것이므로 내장 용기(110)에는 높은 청정성이 요구되고, 그 때문에 상술한 바와 같이, 내장 용기(110)는 약액용 사양에 의한 고밀도 폴리에틸렌 수지제이며 고품질 관리하에서 제작된다. 제작후, 즉시, 액 출입구부(112)의 구부(112b)에는 내측 마개(114)가 실시되어 내부가 밀폐되고, 또한, 캡용 나사(1122)에 캡(115)이 나사 결합되어 내측 마개(114)를 밀봉한다.As described above, the built-in container 110 is made of a high-density polyethylene resin according to the specification for a chemical liquid and is manufactured under high-quality management, as described above. The cap 115 is screwed to the cap screw 1122 so that the inner cap 114 is screwed to the inner cap 114 ).

또한, 후술하는 바와 같이, 수용하고 있는 약액을 배출할 때에는 캡(115) 및 내측 마개(114)가 떼어내지고, 도 9에 나타내는 바와 같이, 디스펜서 기구(200)를 구성하는 플러그 본체(201)가 캡용 나사(1122)에 나사 결합된다.9, the plug main body 201 constituting the dispenser mechanism 200 is detached from the cap 115 and the inner stopper 114 when the accommodated medicine liquid is discharged as described later, Is screwed into the cap screw 1122. [

60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 외장 용기(120)는 원통 형상의 강판으로 이루어지는 몸통체(121)와 강판으로 이루어지는 하부 커버판(122) 및 상부 커버판(123)을 갖는다. 상술한 바와 같이, 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 수용물은 취급에 고청정도가 요구되는 약액이므로 외장 용기(120)에 대해서도 범용품에 비해서 높은 청정도에 의한 제조가 요구된다. 따라서, 외장 용기(120)의 몸통체(121), 하부 커버판(122), 및 상부 커버판(123)은 전기 아연 도금 강판을 사용하여 외면 도장을 생략할 수 있게 하고 있다. 이에 따라, 용기 내로의 이물 혼입 등의 가능성을 저감시키고, 내장 용기(110)뿐만 아니라 60리터 내측 리저버 복합 용기(100) 전체에 있어서 고청정도를 달성하고 있다.The outer container 120 of the 60 liter inner reservoir composite container 100 has a body 121 made of a steel plate in a cylindrical shape and a lower cover plate 122 and an upper cover plate 123 made of a steel plate. As described above, since the aqueous solution of the 60 liter inner reservoir composite container 100 is a chemical solution requiring a high degree of cleanliness in handling, the outer container 120 is required to be manufactured with a higher degree of cleanliness than the general-purpose product. Therefore, the body 121, the lower cover plate 122, and the upper cover plate 123 of the outer container 120 can be omitted from the outer surface by using the galvanized steel sheet. As a result, the possibility of contamination of the inside of the container is reduced, and high cleanliness is achieved not only in the built-in container 110 but also in the entire 60 liter inner reservoir composite container 100.

몸통체(121)는 그 양단의 직경이 동일하다. 이러한 몸통체(121)와 하부 커버판(122)을 시밍함으로써 수납부(120a)가 형성되고, 수납부(120a) 내에는 상술한 내장 용기(110)가 장전된다. 또한, 수납부(120a)의 크기는 60리터의 수용량을 갖는 내장 용기(110)에 적합한 사이즈이며, 내장 용기(110)는 수납부(120a)의 내면을 따라 또한 접촉해서 수납된다. 수납후, 내장 용기(110)의 상기 액 출입구부(112)의 유지용 나사(1121)가 통과 가능한 크기로 이루어지는 구부용 개구(123a)를 형성한 상부 커버판(123)이 몸통체(121)에 시밍된다. 이 때, 상기 액 출입구부(112)는 상부 커버판(123)의 구부용 개구(123a)로부터 용기 외부로 돌출되고, 상기 행거(113)를 상기 유지용 나사(1121)에 나사 결합함으로써 액 출입구부(112)를 행거(113)에 의해 상부 커버판(123)에 유지시킨다.The body 121 has the same diameter at both ends. The storage unit 120a is formed by seaming the body 121 and the lower cover plate 122 and the built-in container 110 is loaded in the storage unit 120a. In addition, the size of the storage portion 120a is a size suitable for the built-in container 110 having a capacity of 60 liters, and the built-in container 110 is also held in contact with the inner surface of the storage portion 120a. An upper cover plate 123 having an opening 123a for a bulge which is sized so that the retaining screw 1121 of the liquid inlet / outlet part 112 of the built-in container 110 can pass through is inserted into the body 121, . At this time, the liquid inlet / outlet part 112 protrudes from the opening 123a of the upper cover plate 123 to the outside of the container, and the hanger 113 is screwed to the holding screw 1121, And the hinge 113 holds the part 112 in the upper cover plate 123.

행거(113)는 수지 또는 금속제이며 예컨대 판형상의 부재이고, 액 출입구부(112)의 유지용 나사(1121)와 맞물리는 암나사(113a)를 내주면에 형성한 관통 구멍이 형성되고, 상부 커버판(123)의 구부용 개구(123a)를 초과하는 크기의 외주부(113b)를 갖는다. 따라서, 상부 커버판(123)의 구부용 개구(123a)로부터 용기 외측으로 돌출되어 있는 유지용 나사(1121)에 대해서 용기 외측으로부터 행거(113)의 암나사(113a)를 나사 결합시킴으로써 행거(113)의 외주부(113b)가 상부 커버판(123)에 접촉되어 행거(113)는 내장 용기(110)의 액 출입구부(112)를 외장 용기(120)의 상부 커버판(123)에 유지한다. 또한, 행거(113)의 형상은 도면에 나타내는 형상에 한정되는 것은 아니다.The hanger 113 is made of resin or metal and is a plate-like member, for example, and has a through hole formed on the inner peripheral surface thereof with a female screw 113a engaged with the holding screw 1121 of the liquid inlet / 123 have an outer peripheral portion 113b having a size exceeding the opening 123a for the sphere. The hanger 113 is screwed to the holding screw 1121 protruding from the opening 123a of the upper cover plate 123 to the outside of the container by screwing the female screw 113a of the hanger 113 from the outside of the container. And the hanger 113 holds the liquid inlet / outlet port 112 of the built-in container 110 to the upper cover plate 123 of the outer container 120. As shown in FIG. The shape of the hanger 113 is not limited to the shape shown in the drawings.

또한, 상부 커버판(123)에는, 도 2 및 도 3에 보다 명확하게 도시되는 바와 같이, 상기 구부용 개구(123a)의 주위에 있어서 상부 커버판(123)을 용기 외측으로부터 내측으로 일률적으로 오목하게 한 함몰부(123b)가 형성되어 있다. 또한, 함몰부(123b)와 상부 커버판(123)은 사면(123d)에 의해 접속하고 있지만 이것에 한정하는 것은 아니고, 예컨대 원호 형상 등이여도 좋다. 이러한 함몰부(123b)는 구부용 개구(123a) 근방으로부터 상부 커버판(123)의 중앙을 초과한 영역(123c)까지 형성된다. 이것은, 이하에 설명하는 용기 내 가압에 의해 상부 커버판(123)에서는 중앙 부분이 가장 변형되기 쉽기 때문이다. 또한, 본 실시형태에서는 함몰부(123b)는, 도면에 나타내는 바와 같이, 상기 액 출입구부(112) 부분에 비해서 상기 영역(123c) 부분이 좁은 거의 난형(卵形) 형상이지만 이 형상에 한정되는 것은 아니고, 예컨대, 영역(123c) 부분에 있어서도 액 출입구부(112) 부분과 동등한 크기를 갖는 타원 형상 등이여도 좋다.2 and 3, the upper cover plate 123 is uniformly recessed from the outer side of the container to the inner side around the opening 123a for the sphere, A concave portion 123b is formed. Although the depressed portion 123b and the upper cover plate 123 are connected by the inclined surface 123d, the present invention is not limited to this. For example, an arc shape or the like may be used. The depressed portion 123b is formed from the vicinity of the opening 123a for the sphere to the region 123c exceeding the center of the upper cover plate 123. [ This is because the central portion of the upper cover plate 123 is most likely to be deformed by the in-container pressing as described below. In the present embodiment, as shown in the figure, the depressed portion 123b has an oval shape that is narrower than the liquid entrance / exit portion 112, but is limited to this shape For example, the area 123c may have an elliptical shape or the like having a size equivalent to that of the liquid inlet / outlet part 112.

종래의 내측 리저버 복합 용기와 마찬가지로, 본 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 있어서도 수용물인 상기 약액의 배출은 용기(100) 내로의 불활성 가스의 주입에 의한 가압에 의해 행할 수 있다. 상기 함몰부(123b)는 상기 가압시에 있어서의 상부 커버판(123)의 부풀어오름 변형을 방지 또는 억제하기 위한 것이고, 또한, 이하에 기재하는 바와 같이, 하부 커버판(122)에 변형 부분(129)이 생기게 하는 것이기도 하다.In the 60 liter inner reservoir composite container 100 according to the present embodiment as well as the conventional inner reservoir composite container, the discharge of the chemical liquid as the acceptance can be performed by the pressure by the injection of the inert gas into the container 100 have. The depressed portion 123b is for preventing or suppressing the inflated deformation of the upper cover plate 123 at the time of the pressing. 129).

한편, 도 1에 나타내는 바와 같이, 하부 커버판(122)에는 함몰부(123b)와 같은 변형 방지용 연구는 실시되고 있지 않고 평판인 채이다. 또한, 하부 커버판(122) 및 상부 커버판(123)은 동일한 재료로 동일한 판 두께의 강판을 사용한다. 따라서, 상기 가압시에는 상기 함몰부(123b)에 의한 상부 커버판(123)의 변형 곤란에 의해 상기 함몰부(123b)를 형성하지 않은 경우에 비해서 하부 커버판(122) 전체 특히 하부 커버판(122)의 중앙부는 용기 외측으로 보다 부풀어 오를 수 있다. 이와 같이 부풀어 오른 부분을 설명상 변형 부분(129)(도 9)이라고 한다. 이 결과, 약액 배출 종료 직전에는 하부 커버판(122)에 있어서의 변형 부분(129)에 잔액을 모을 수 있다. 따라서, 효율적인 약액 배출이 가능하게 되고, 또한 잔액량의 저감을 도모하는 것도 가능하게 된다. 이 관점으로부터, 함몰부(123b)는 하부 커버판(122)에 변형 부분(129)을 형성시키는 위한 것, 또한 잔액량 저감을 도모하기 위한 것이라고도 말할 수 있다.On the other hand, as shown in Fig. 1, the lower cover plate 122 is not subjected to deformation prevention research like the depressed portion 123b, but is a flat plate. In addition, the lower cover plate 122 and the upper cover plate 123 use the same material and the same sheet thickness of steel sheet. Therefore, when the pressing is performed, the upper cover plate 123 is difficult to be deformed by the depression 123b, so that the lower cover plate 122, especially the lower cover plate 123, 122 may swell more toward the outside of the container. Such a swollen portion is referred to as a deformed portion 129 (Fig. 9). As a result, the balance can be collected in the deformation portion 129 of the lower cover plate 122 immediately before the end of the chemical liquid discharge. Therefore, it is possible to efficiently discharge the chemical liquid, and to reduce the amount of the remaining liquid. From this point of view, the depressed portion 123b can be said to form the deformation portion 129 on the lower cover plate 122 and to reduce the amount of the remaining amount.

또한, 본 실시형태에서는 상술한 바와 같이 함몰부(123b)를 형성함으로써 상부 커버판(123)의 변형 방지 및 하부 커버판(122)의 변형 촉진을 도모했지만, 이들 목적 달성을 위해서는 함몰부(123b)에 한정되는 일은 없고, 예컨대 상부 커버판(123)에 리브를 설치하는 등의 수단을 실시해도 좋다.In the present embodiment, the depression 123b is formed to prevent deformation of the upper cover plate 123 and facilitate deformation of the lower cover plate 122. In order to achieve these objects, the depression 123b However, the upper cover plate 123 may be provided with a rib or the like.

또한, 도 1 및 도 3에 명확하게 나타내어지는 바와 같이, 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 상단(101)에 대해서 상부 커버판(123)은 1단 낮게 위치하고, 또한 함몰부(123b)에 의해 행거(113)의 설치 위치는 더욱 1단 낮게 되어 있다. 따라서, 함몰부(123b)를 형성함으로써, 도 1에 명확하게 나타내어지는 바와 같이, 액 출입구부(112)의 캡용 나사(1122)에 캡(115)을 나사 삽입한 상태에서는 캡(115)의 상면을 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 상단(101) 이하에 위치시킬 수 있다. 이에 따라, 예컨대 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 겹쳐 쌓은 경우에 있어서도 캡(115)의 손상 등을 방지할 수 있다는 효과가 있다.1 and 3, the upper cover plate 123 is positioned lower by one step than the upper end 101 of the 60 liter inner reservoir composite container 100, The mounting position of the hanger 113 is further lowered by one step. 1, when the cap 115 is screwed into the cap screw 1122 of the liquid inlet / outlet port 112, the upper surface of the cap 115 Can be positioned below the upper end 101 of the 60 liter inner reservoir composite container 100. [ Thus, for example, even when the 60 liter inner reservoir composite container 100 is stacked, damage to the cap 115 can be prevented.

또한, 상부 커버판(123)의 외면에는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 용기 취급용 손잡이(124)가 2개 이상 부착되어 있다. 도 2에서는 손잡이(124)를 2개소에 설치했을 경우, 도 3에서는 3개소에 설치했을 경우를 도시하고 있다.On the outer surface of the upper cover plate 123, as shown in Figs. 2 and 3, two or more container holding handles 124 are attached. Fig. 2 shows the case where the handle 124 is installed at two places, and Fig. 3 shows a case where the handle 124 is provided at three places.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 몸통체(121)의 표면에도 상부 커버판측과 하부 커버판측 2개소에 몸통체(121)의 강성을 높여 몸통체(121)의 변형을 방지, 억제하기 위한 원형 띠(121a)를 몸통체(121)의 둘레 방향을 따라 형성하고 있다.As shown in Fig. 1, on the upper surface of the body 121, two protrusions for preventing the deformation of the body 121 by increasing the rigidity of the body 121 are provided on the upper cover plate side and the lower cover plate side, And the band 121a is formed along the circumferential direction of the body 121.

이와 같이 해서, 강제의 외장 용기(120) 내에 수지제의 내장 용기(110)를 수납한 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)가 제작된다.In this manner, a 60-liter inner reservoir composite container 100 in which the built-in container 110 made of resin is housed is formed in the forced outer container 120.

이러한 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 대해서 상부 커버판(123)으로부터 돌출된 상기 액 출입구부(112)를 통해서 내장 용기(110) 내로 상기 약액이 주입된다. 주입후, 액 출입구부(112)의 구부(112b)에 내측 마개(114)가 실시되고, 또한 캡(115)이 캡용 나사(1122)에 나사 결합되어 약액의 밀폐가 도모된다.The chemical liquid is injected into the built-in container 110 through the liquid inlet / outlet port 112 protruded from the upper cover plate 123 with respect to the 60 liter inner reservoir composite container 100. After the injection, the inner stopper 114 is provided at the bend portion 112b of the liquid inlet / outlet portion 112 and the cap 115 is screwed to the cap screw 1122 to seal the chemical liquid.

이와 같이 구성된 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 사용함으로써 종래의 20리터에 대한 수용량의 증가에 의해 약액 배출 작업 빈도는 줄어들어 번잡 작업의 저감을 도모할 수 있다.By using the 60 liter inner reservoir composite container 100 configured as described above, the capacity of the conventional 20 liter container is increased, and the frequency of the chemical liquid discharge operation is reduced, thereby reducing the number of troublesome operations.

60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 수용된 상기 약액의 배출은 중량 및 작업성의 관점으로부터, 통상, 용기 내를 가압함으로써 행해지지만, 약액 잔량이 극소량이 되었을 경우 등, 상기 액 출입구부(112)를 아래로 용기(100)를 반전시켜서 행하는 것도 고려된다. 그러나, 이러한 경우이여도 액 출입구부(112) 근방의 내장 용기(110) 어깨부에는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 약액(108)이 잔류되기 쉽다.The discharge of the chemical solution contained in the 60 liter inner reservoir composite container 100 is usually performed by pressing the inside of the container from the viewpoints of weight and workability. However, when the remaining amount of the chemical solution becomes very small, It may be considered that the container 100 is reversed downward. In this case, however, the chemical liquid 108 tends to remain on the shoulder portion of the built-in container 110 near the liquid inlet / outlet portion 112, as shown in FIG.

이와 같은 약액 잔류를 최대한 없애기 위해서 내장 용기는 이하의 구성을 채용해도 좋다. 즉, 도 6에 나타내는 내장 용기(110-1)와 같이, 액 출입구부(112) 근방의 내장 용기(110-1) 어깨부에는 내장 용기(110-1)의 외측으로부터 내측으로 오목한 오목부(130)를 형성했다. 또한, 도 6에 있어서 도 6(A)는 내장 용기(110-1)의 평면도, 도 6(B)는 도 6(A)에 있어서의 화살표 B 방향으로부터 바라본 측면도, 도 6(C)는 도 6(A)에 있어서의 화살표 C 방향으로부터 바라본 측면도이다. 또한, 내장 용기(110-1)의 상면(111a)에 형성되는 사면에 131,132의 도면번호를 붙인다.In order to eliminate this chemical residue as much as possible, the following configuration may be adopted for the built-in container. That is, in the shoulder portion of the built-in container 110-1 in the vicinity of the liquid inlet / outlet portion 112 as in the built-in container 110-1 shown in FIG. 6, 130). 6 (A) is a plan view of the built-in container 110-1, Fig. 6 (B) is a side view seen from the direction of arrow B in Fig. 6 6 (A). Fig. Further, reference numerals 131, 132 are attached to slopes formed on the upper surface 111a of the built-in container 110-1.

오목부(130)는 상면(111a)의 어깨부이며, 또한 상면(111a)의 중심과 액 출입구부(112)의 중심을 지나는 선분의 양측에 형성되어 있다. 이러한 오목부(130)는 내장 용기(110-1)를 성형할 때의 블로 성형에 의해 용이하게 형성 가능하다.The concave portion 130 is a shoulder portion of the upper surface 111a and is formed on both sides of a line segment passing through the center of the upper surface 111a and the center of the liquid inlet / outlet portion 112. The concave portion 130 can be easily formed by blow molding when the built-in container 110-1 is molded.

이러한 오목부(130)를 형성함으로써 용기를 기울여서 약액을 배출할 경우, 약액이 체류하고 있었던 부분에 오목부(130)가 형성되어 있으므로 약액은 체류하지 않고 액 출입구부(112)로부터 배출되어 잔액량을 삭감하는 것이 가능하게 된다.When the chemical solution is discharged by inclining the container by forming the concave portion 130, the chemical solution is discharged from the liquid outlet / inlet portion 112 without staying because the concave portion 130 is formed in the portion where the chemical solution has stayed, Can be reduced.

상면(111a)과 오목부(130)를 접속하는 사면(132)의 각도는 약 45도이다. 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 낙하시 또는 용기 내의 액압에 의해 상면(111a)과 오목부(130)의 접속부는 강도적으로 약해지지만 이 부분을 사면(132)으로 함으로써 충격을 완화할 수 있다. 사면(132)의 상단과 하단 각각을 원호상으로 형성하는 것이 바람직하다. 이 원호 형상의 형성에 의해 상면(111a)과 오목부(130)의 접속부 강도가 향상되어 내장 용기(110)의 손상을 방지, 저감할 수 있다.The slope 132 connecting the upper surface 111a and the recess 130 has an angle of about 45 degrees. The connection portion between the top surface 111a and the concave portion 130 is weakened at the time of dropping the 60 liter inner reservoir composite container 100 or by the fluid pressure in the container. However, this portion is made to be the slope 132, have. It is preferable that each of the upper and lower ends of the slope 132 is formed in an arc shape. By the formation of the arc shape, the strength of the connecting portion between the upper surface 111a and the recess 130 is improved, and damage to the built-in container 110 can be prevented or reduced.

평면 형상에 있어서 오목부(130)의 코너부(130a,130b,130c)도 원호상으로 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성함으로써 상면(111a)과 오목부(130)의 접속부 강도가 한층 향상된다.It is preferable that the corner portions 130a, 130b, and 130c of the concave portion 130 are also formed in the shape of an arc in the planar shape. With this structure, the strength of the connecting portion between the upper surface 111a and the recess 130 is further improved.

도면에는 나타내지 않지만, 외장 용기(120)와 내장 용기(110-1)에 있어서의 오목부(130)의 간극 부분에는 스페이서가 설치되는 것이 바람직하다. 스페이서로서, 예컨대 폴리스티렌 발포체가 사용 가능하다. 오목부(130)를 형성하면 내장 용기(110-1)의 강도 저하가 우려되지만 상기 간극 부분에 스페이서를 개재시킴으로써 보강된다. Although it is not shown in the drawing, it is preferable that a spacer is provided in the gap portion of the recess 130 in the outer container 120 and the inner container 110-1. As the spacer, for example, a polystyrene foam can be used. If the concave portion 130 is formed, the strength of the built-in container 110-1 may be lowered, but it is reinforced by interposing the spacer in the gap portion.

또한, 오목부(130)의 변형예로서 도 7에 나타내는 오목부(135)를 구성할 수도 있다. 또한, 도 7(A)는 내장 용기(110-2)의 평면도, 도 7(B)는 측면도이다. 오목부(135)는 액 출입구부(112) 근방의 내장 용기(110-2) 어깨부(점선 부분)를 모따기하여 사면 형상으로 형성해서 이루어진다. 오목부(135)에 의해서도 잔액량을 삭감시킬 수 있다. 또한 사면에 한정되지 않고 어깨부분에 있어서의 원호부를 종래보다 크게 함으로써도 상당한 효과를 발휘한다.As a modification of the recess 130, the recess 135 shown in Fig. 7 may be formed. 7 (A) is a plan view of the built-in container 110-2, and Fig. 7 (B) is a side view. The concave portion 135 is formed by chamfering the shoulder portion (dotted line portion) of the built-in container 110-2 in the vicinity of the liquid inlet / outlet portion 112 to form a slope. The amount of the remaining liquid can be reduced by the concave portion 135 as well. Further, the present invention is not limited to the slope, and a considerable effect can be obtained by enlarging the arc portion in the shoulder portion as compared with the prior art.

또한 오목부(130)의 변형예로서 도 8에 나타내는 구성을 채용할 수도 있다. 또한, 도 8(A)는 내장 용기(110-3)의 평면도, 도 8(B)는 측면도이다. 내장 용기(110-3)에서는 액 출입구부(112)를 내장 용기(110-3)의 측벽측에 근접시키고, 상면(111a)의 중심과 액 출입구부(112)의 중심을 지나는 선분의 연장선상의 어깨부분을 종래의 어깨부분(점선)의 원호(R)보다 크게 하고, 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 기울여서 약액을 배출할 때에 약액이 어깨부분에 체류하지 않도록 구성한다. 이와 같은 구성에 있어서도 잔액량을 삭감할 수 있다. 또한, 원호(R)를 크게 하는 대신에 이 부분을 사면으로 해도 좋다. 또한, 이 예의 경우, 액 출입구부(112)가 내장 용기(110-3)의 측벽측에 근접되어 있으므로 외장 용기(120)의 형상은 그에 따라 바꿀 필요가 있다.8 may be employed as a modification of the concave portion 130. [ Fig. 8 (A) is a plan view of the built-in container 110-3, and Fig. 8 (B) is a side view. In the built-in container 110-3, the liquid inlet / outlet portion 112 is brought close to the sidewall side of the built-in container 110-3, and the center of the top surface 111a and the center of the liquid outlet / The shoulder portion is made larger than the circular arc R of the conventional shoulder portion (dotted line), and when the chemical liquid is discharged by inclining the 60-liter inner reservoir composite container 100, the chemical liquid is prevented from staying in the shoulder portion. Even in such a configuration, the amount of the remaining liquid can be reduced. Instead of enlarging the arc R, this portion may be a slope. In this case, since the liquid inlet / outlet port 112 is close to the side wall of the built-in container 110-3, it is necessary to change the shape of the external container 120 accordingly.

이어서, 상술한 바와 같이 구성되는 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 액 출입구부(112)에 장착 가능하고, 내장 용기(110) 내에 수용되어 있는 약액을 용기 밖으로 배출하는 약액 배출 튜브에 대해서 도 9를 참조해서 이하에 설명한다.Next, with respect to the chemical liquid discharge tube which can be mounted on the liquid inlet / outlet port 112 of the 60 liter inner reservoir composite container 100 configured as described above and discharges the chemical liquid stored in the built-in container 110 to the outside of the container 9 will be described below.

약액 배출 튜브(150)는 가요성이고 내약액성의 수지제이며, 예컨대 테플론(등록상표)으로 성형되고, 예컨대 직경 8㎜ 정도이고, 액 출입구부(112)로부터의 용기 내에서의 길이에 대해서 하부 커버판(122)에 접하는 내장 용기(110)의 저부(111b)에 선단에 위치하는 흡액구(151)가 접하고, 또한 흡액구(151)가 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 있어서의 하부 커버판(122)의 중앙부까지 위치할 정도의 길이를 갖는다. 또한, 흡액구(151)는, 본 실시형태에서는 도면에 나타내는 바와 같이, 약액 배출 튜브(150)의 축방향에 대해서 약액 배출 튜브(150)의 직경 방향 전부에 걸쳐서 비스듬히 교차한 단면으로 이루어진다. 또한, 흡액구(151)는 약액 배출 튜브(150)의 상기 직경 방향의 일부분만이 또는 복수의 개소가 경사지게 커팅된 단면으로 형성되어도 좋다.The liquid medicine discharge tube 150 is flexible and is made of a liquid chemical resin and is molded, for example, with Teflon (registered trademark), for example, about 8 mm in diameter, The liquid suction port 151 located at the front end is in contact with the bottom portion 111b of the built-in container 110 contacting the cover plate 122 and the liquid suction port 151 is in contact with the bottom of the 60- And has a length enough to be positioned at the center portion of the lower cover plate 122. The liquid suction port 151 has a cross section obliquely crossing over the entire radial direction of the chemical liquid discharge tube 150 with respect to the axial direction of the chemical liquid discharge tube 150 as shown in the drawing in the present embodiment. Also, the liquid suction port 151 may be formed in a section in which only a part of the liquid medicine discharge tube 150 in the radial direction is cut, or a plurality of sections are sloped and cut.

또한 약액 배출 튜브(150)는 흡액구(151) 근방의 선단 부분(152)에 약액 배출용 용기 내 가압에 따라 용기 외측으로 하부 커버판(122)이 부풀어 올라진 하부 커버판(122)의 변형 부분(129)으로 중력 작용에 의해 흡액구(151)를 배향시키는 추(153)를 갖는다. 추(153)는 용기 내에 수용되는 약액과 화학적으로 반응하지 않는 금속 재료제이며, 예컨대 사각 형상 또는 원형상의 판재에 의해 그 중앙부에 약액 배출 튜브(150)를 감합시킬 수 있는 관통 구멍이 형성된 부재, 또는 원통 형상의 부재로 형성되어 있고, 약액 배출 튜브(150)의 탄력에 의해 상기 선단 부분(152)에 유지된다. 또한, 추(153)의 형상 및 부착 위치는 추(153)를 부착함으로써 추(153)의 두께만큼 흡액구(151)가 내장 용기(110)의 저부(111b)로부터 이간되는 결과가 되지 않도록 적절하게 선택된다. 일례로서 본 실시형태에서는, 추(153)는 원통 형상이며, 내경 부분에 약액 배출 튜브(150)를 삽입 통과시켜 흡액구(151)의 근방에 부착하고 있다. 또한, 추(153)의 무게는 바람직하게는 55∼65g정도이고, 본 실시형태에서는 60g이다.The liquid medicine discharge tube 150 is arranged at the distal end portion 152 in the vicinity of the liquid suction port 151 with a deformation of the lower cover plate 122 in which the lower cover plate 122 is inflated to the outside of the container in accordance with the pressure in the chemical liquid discharge container And a weight 153 for orienting the liquid suction port 151 by the action of gravity to the portion 129. The weight 153 is made of a metal material that does not chemically react with the chemical solution contained in the container. For example, the weight 153 may be a member having a through-hole formed at the center thereof to fit the chemical solution discharge tube 150, Or is held in the distal end portion 152 by the elastic force of the chemical liquid discharge tube 150. [ The shape and the attachment position of the weight 153 can be appropriately adjusted so that the liquid absorbing port 151 is not separated from the bottom portion 111b of the built-in container 110 by the weight 153 by attaching the weight 153 Lt; / RTI &gt; For example, in the present embodiment, the weight 153 is cylindrical in shape, and the chemical solution discharge tube 150 is inserted into the inner diameter portion and attached to the vicinity of the liquid suction port 151. The weight 153 is preferably about 55 to 65 g, and in the present embodiment, it is 60 g.

상기 선단 부분(152)은, 반대측의 약액 배출 튜브(150)의 타단은 예컨대 도 9에 나타내는 바와 같은 디스펜서 기구(200)에 접속된다. 디스펜서 기구(200)는 내장 용기(110) 내에 수용되어 있는 약액을 용기 밖으로 배출하는 기구이고, 도 9에서는 60리터 내측 리저버 복합 용기(100) 내에 질소 가스 등의 불활성 가스를 주입해서 가압함으로써 약액을 압출하는 가압 방식의 구성을 나타내고 있다. 약액을 펌프 등의 흡인 장치로 빨아올리는 펌프 업 방식을 채용할 수도 있다.The other end of the chemical liquid discharge tube 150 on the opposite side of the tip end portion 152 is connected to the dispenser mechanism 200 as shown in Fig. 9, for example. In FIG. 9, an inert gas such as nitrogen gas is injected into the 60 liter inner reservoir composite container 100 to pressurize the chemical liquid. In this way, the dispenser mechanism 200 discharges the chemical liquid stored in the built- And shows a configuration of a pressurizing system for pushing out. A pump-up system in which the chemical liquid is sucked up by a suction device such as a pump may be employed.

가압 방식의 디스펜서 기구(200)는 크게 나누어서 원통 형상의 플러그 본체(201)와, 가압한 불활성 가스를 내장 용기(110) 내에 공급하는 가스 공급 장치(202)와, 상술한 약액 배출 튜브(150)를 갖는다.The dispenser mechanism 200 of the pressurizing method is roughly divided into a cylindrical plug main body 201, a gas supply device 202 for supplying a pressurized inert gas into the built-in container 110, .

플러그 본체(201)는 상술한 캡(115)을 떼어낸 후에 액 출입구부(112)에 부착되는 예컨대 수지제의 플러그이며, 커플링 링(201r)과 플러그 쉘(201s)과 밀봉 링(2012)으로 구성된다. 커플링 링(201r)은 원통 형상의 부재이며, 일단이 원형으로 개구되어 있고, 이 개구의 내주면에는 액 출입구부(112)에 형성된 캡용 나사(1122)에 맞물리는 암나사(2011)를 형성하고 있다. 따라서, 플러그 본체(201)의 커플링 링(201r)은 액 출입구부(112)의 캡용 나사(1122)에 나사 결합할 수 있고, 또한, 커플링 링(201r)의 외주에는 주름 널링 부분이 형성되어 있고, 플러그 본체(201)를 액 출입구부(112)에 확실하게 나사 결합할 수 있다.The plug main body 201 is a plug made of resin, for example, made of resin and attached to the liquid inlet / outlet portion 112 after removing the cap 115 described above. The plug main body 201 is formed of a coupling ring 201r, a plug shell 201s, . The coupling ring 201r is a cylindrical member having one end opened in a circular shape and a female screw 2011 engaging with a cap screw 1122 formed in the liquid inlet / outlet portion 112 is formed on the inner circumferential surface of the coupling ring 201r . Therefore, the coupling ring 201r of the plug main body 201 can be screwed to the cap screw 1122 of the liquid inlet / outlet port 112, and a pleated knurled portion is formed on the outer periphery of the coupling ring 201r And the plug main body 201 can be securely screwed to the liquid inlet / outlet port 112. [

또한, 커플링 링(201r)의 타단도 원형으로 개구되어 있고, 이 개구에는 커플링 링(201r)에 대해서 회전 가능하게 플러그 쉘(201s)이 감입된다. 즉, 플러그 쉘(201s)은 플랜지를 형성한 원판 형상의 부재이고, 커플링 링(201r)의 일단측의 개구로부터 삽입되어 상기 플랜지가 커플링 링(201r)에 접촉해서 커플링 링(201r)의 상기 타단의 개구에 감입된다. 또한, 커플링 링(201r)에 밀봉 링(2012)을 장착해서 상술한 바와 같이 커플링 링(201r)을 액 출입구부(112)의 캡용 나사(1122)에 나사 결합함으로써 밀봉 링(2012)은 액 출입구부(112)의 구부(112b)를 밀봉하고, 또한, 플러그 쉘(201s)의 상기 플랜지는 밀봉 링(2012)과 커플링 링(201r) 사이에 끼워진다. 이에 따라, 밀봉 링(2012)은 커플링 링(201r)과 플러그 쉘(201s)의 경계의 통기도 밀봉한다.Also, the other end of the coupling ring 201r is open in a circular shape, and the plug shell 201s is inserted into this opening so as to be rotatable with respect to the coupling ring 201r. That is, the plug shell 201s is a disc-shaped member having a flange formed therein, and is inserted from an opening at one end of the coupling ring 201r so that the flange contacts the coupling ring 201r, Is inserted into the opening of the other end. The sealing ring 2012 is attached to the coupling ring 201r so that the coupling ring 201r is screwed to the cap screw 1122 of the liquid inlet / outlet port 112 as described above, The flange of the plug shell 201s is sandwiched between the seal ring 2012 and the coupling ring 201r and the flange 112b of the liquid outlet port portion 112 is sealed. Accordingly, the sealing ring 2012 also seals the airflow at the boundary between the coupling ring 201r and the plug shell 201s.

상기 플러그 쉘(201s)에는 약액 배출 튜브(150)의 타단을 착탈 가능하게 고정하는 합성수지제의 제 1 조인트(203)와, 가스 공급 장치(202)를 접속하기 위한 제 2 조인트(204)가 나사 삽입된다.A first joint 203 made of a synthetic resin for detachably fixing the other end of the chemical liquid discharge tube 150 and a second joint 204 for connecting the gas supply device 202 are screwed into the plug shell 201s, .

제 1 조인트(203)는 시판의 스트레이트 타입의 홀더를 이용할 수 있고, 플러그 본체(201)에 대해서 약액 배출 튜브(150)를 그 축방향을 따라 슬라이딩 가능하게 유지하고, 또한 너트를 단단히 조임으로써 고정할 수 있다. 따라서, 제 1 조인트(203)를 이용해서 약액 배출 튜브(150)의 흡액구(151)가 상술한 바와 같이 하부 커버판(122)의 중앙부까지 위치하도록 길이 및 위치 조정이 가능하다.The first joint 203 can be a commercially available straight type holder and can hold the chemical liquid discharge tube 150 slidably along the axial direction with respect to the plug main body 201 and can be fixed can do. Therefore, the length and the position can be adjusted by using the first joint 203 so that the liquid suction port 151 of the chemical liquid discharge tube 150 is positioned to the center portion of the lower cover plate 122 as described above.

제 2 조인트(204)는 플러그 본체(201)의 커플링 링(201r)에 있어서의 개구(2013)에 접속하는 L자형(엘보형)의 합성수지제의 조인트이고, 시판의 엘보형 퀵 조인트(quick joint)를 사용할 수 있다.The second joint 204 is an L-shaped (elbow) synthetic resin joint connected to the opening 2013 of the coupling ring 201r of the plug main body 201 and is made of a commercially available elbow type quick joint quick joint) can be used.

가스 공급 장치(202)에 접속한 호스를 제 2 조인트(204)에 접속함으로써 가스 공급 장치(202)는 내장 용기(110)의 내부로 가압한 불활성 가스를 공급할 수 있다.By connecting the hose connected to the gas supply device 202 to the second joint 204, the gas supply device 202 can supply the pressurized inert gas into the interior of the built-in container 110.

이상과 같이 구성되는 디스펜서 기구(200)를 사용함으로써 가스 공급 장치(202)에 의해 내장 용기(110)의 내부가 예컨대 약 100Kpa ~ 약 150Kpa 정도까지의 범위로 가압되고, 내장 용기(110)에 수용되어 있는 약액을 약액 배출 튜브(150)를 통해서 용기 외부로 압출해서 배출하는 것이 가능하게 된다.By using the dispenser mechanism 200 configured as described above, the interior of the built-in container 110 is pressurized by the gas supply device 202 in the range of, for example, about 100 Kpa to about 150 Kpa, It is possible to extrude the medicinal liquid out of the container through the medicinal liquid discharge tube 150 and discharge it.

또한 디스펜서 기구(200)를 사용해서 약액을 용기 외부로 배출할 때, 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 적재해서 경사지게 하는 이하에 설명하는 바와 같은 경사대를 이용할 수도 있다.Further, when discharging the chemical liquid to the outside of the container using the dispenser mechanism 200, it is also possible to use an inclined plate as described below in which the 60 liter inner reservoir composite container 100 is loaded and inclined.

즉, 도 10에 나타내는 경사대(250)는 본체(251)와 1쌍의 전도 방지 폴(252)을 구비한다. 본체(251)는 스테인레스판 등의 금속판으로 형성되고, 수평면이 되는 바닥면에 대해서 10~15도 정도로 경사진 사면(251a)을 형성하고 있다. 사면(251a)에는 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 액 출입구부(112)를 사면(251a)의 낮은 쪽으로 배향하도록 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)가 적재된다. 여기서, 경사 각도가 15도를 초과하면 액 넘침이 발생될 가능성이 높아져 바람직하지 못하다.That is, the inclined platform 250 shown in FIG. 10 includes a main body 251 and a pair of the anti-reflection pawls 252. The main body 251 is formed of a metal plate such as a stainless steel plate and forms a slope 251a which is inclined at about 10 to 15 degrees with respect to a bottom surface which is a horizontal surface. The 60 liter inner reservoir composite container 100 is loaded on the slope 251a so as to orient the liquid inlet / outlet port 112 of the 60 liter inner reservoir composite container 100 to the lower side of the slope 251a. Here, if the inclination angle exceeds 15 degrees, there is a high possibility that liquid overflow occurs, which is not preferable.

또한, 1쌍의 전도 방지 폴(252)은 스테인레스 등의 금속제 환봉으로 이루어지고, 사면(251a)의 낮은 쪽에 세워 설치하고 있다.The pair of the anti-reflection pawls 252 is made of a metal round bar made of stainless steel or the like, and is installed on the lower side of the slope 251a.

상술한 바와 같은 경사대(250)를 이용해서 액 출입구부(112)를 낮은 쪽으로 배향해서 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 경사지게 함으로써 약액 배출시에 내장 용기(110) 내의 약액을 액 출입구부(112)측에 모을 수 있고, 상술한 추(153)를 설치한 약액 배출 튜브(150)와의 상호 작용에 의해 잔액량의 저감을 도모할 수 있다.The liquid inlet / outlet port 112 is oriented in a lower direction by using the inclined platform 250 as described above to incline the 60 liter inner reservoir composite container 100 so that the chemical liquid in the built-in container 110 is discharged to the liquid inlet / 112, and the amount of the remaining liquid can be reduced by the interaction with the chemical liquid discharge tube 150 provided with the weight 153 described above.

본 발명은 강제의 외측 용기 내에 수지제의 내측 용기를 설치한 용량 60리터의 내측 리저버 복합 용기, 및 이 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브에 적용 가능하다.The present invention is applicable to an inner reservoir composite container having a capacity of 60 liters in which an inner container made of resin is provided in a forced outer container and a chemical liquid discharge tube for the 60 liter inner reservoir composite container.

100 … 60리터 내측 리저버 복합 용기
110 … 내장 용기 111a … 상면
112 … 액 출입구부 112b … 구부
113 … 행거 115 … 캡
120 … 외장 용기 120a … 수납부
121 … 몸통체 122 … 하부 커버판
123 … 상부 커버판 123a … 구부용 개구
123b … 함몰부 150 … 약액 배출 튜브
151 … 흡액구 153 … 추
1121 … 유지용 나사 1122 … 캡용 나사100 ... 60 liter inner reservoir composite container
110 ... Built-in container 111a ... Top surface
112 ... The liquid inlet / outlet portion 112b ... Bend
113 ... Hanger 115 ... cap
120 ... The external container 120a ... A storage section
121 ... Body 122 ... Lower cover plate
123 ... The upper cover plate 123a ... Sphere opening
123b ... The depressed portion 150 ... A chemical liquid discharge tube
151 ... The suction port 153 ... sinker
1121 ... Maintenance screw 1122 ... Screw for cap

Claims (5)

수지제이고, 취급에 고청정도가 요구되는 약액을 수용하며, 그 수용량이 60리터이고, 상면(111a)에 액 출입구부(112)를 형성한 내장 용기(110); 및
강제이고, 통형상의 몸통체(121)에 하부 커버판(122)이 시밍되어 성형된 수납부(120a)의 내면을 따라 상기 내장 용기를 수납하고, 또한 상기 액 출입구부가 돌출 가능한 구부용 개구(123a)를 형성한 상부 커버판(123)을 상기 몸통체에 시밍해서 성형되는 외장 용기(120)를 구비하고,
상기 상부 커버판은 상기 구부용 개구의 주위에 있어서 상기 구부용 개구로부터 상기 상부 커버판의 중앙을 초과한 영역(123c)까지 함몰부(123b)가 형성된 것을 특징으로 하는 60리터 내측 리저버 복합 용기.A built-in container 110 which is made of resin and has a capacity of 60 liters and has a liquid inlet / outlet section 112 formed on the upper surface 111a; And
The inner container is housed along the inner surface of the housing part 120a formed by molding the lower cover plate 122 in the tubular body 121 by shaping and the liquid inlet / And an outer container (120) formed by seaming the upper cover plate (123) formed with the upper cover plate (123a)
Wherein the upper cover plate has a depression (123b) formed in the periphery of the opening for the sphere from an opening for the sphere to an area (123c) exceeding the center of the upper cover plate. 제 1 항에 있어서,
상기 내장 용기의 상기 액 출입구부는 이 액 출입구부의 외주면에 상기 액 출입구부의 축방향(112a)을 따라 유지용 나사(1121)와 캡용 나사(1122)를 동심원상으로 2단으로 갖고, 상기 유지용 나사는 상기 상면에 근접해서 성형되고 상기 외장 용기의 상기 구부용 개구를 통과하는 직경을 가지며 상기 액 출입구부를 상기 상부 커버판에 유지하는 행거(113)를 나사 결합하기 위한 나사이고, 상기 캡용 나사는 상기 상면으로부터 이간되어 성형되고 상기 유지용 나사보다 작은 지름이며 상기 액 출입구부의 구부(112b)를 폐지하는 캡(115)을 나사 결합하기 위한 나사인 것을 특징으로 하는 60리터 내측 리저버 복합 용기.The method according to claim 1,
The liquid inlet / outlet part of the built-in container has a holding screw (1121) and a cap screw (1122) in two concentric circles on the outer circumferential surface of the liquid inlet / outlet part along the axial direction (112a) Is a screw for screwing a hanger (113) having a diameter passing through the opening for the bulb of the outer container and holding the liquid inlet / outlet portion to the upper cover plate, the screw for cap Is a screw for screwing a cap (115) formed at a distance from the upper surface and smaller in diameter than the holding screw and for abutting the bulge (112b) of the liquid inlet / outlet port. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 외장 용기는 도장을 생략할 수 있는 전기 아연 도금 강판으로 성형되고, 상기 약액은 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액이며, 상기 내장 용기는 약액용 사양에 의한 고밀도 폴리에틸렌 수지제이며 고품질 관리하에서 블로우 성형되는 것을 특징으로 하는 60리터 내측 리저버 복합 용기.The method according to claim 1,
Wherein the outer container is formed of an electrogalvanized steel sheet capable of omitting the coating, and the chemical liquid is a chemical liquid used in at least one of a semiconductor field and a liquid crystal field, the inner container being made of a high density polyethylene resin according to a specification for a chemical liquid, Lt; RTI ID = 0.0 &gt; 60l &lt; / RTI &gt; inner reservoir composite container. 제 1 항에 기재된 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기(110)에 있어서의 액 출입구부(112)에 장착 가능하고, 상기 내장 용기에 수용한 약액(108)을 용기 외부로 배출하는 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브(150)로서:
가요성이고 내약액성의 수지제이며, 흡액구(151) 근방의 선단 부분(152)에 약액 배출용 용기 내 가압에 따라 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기의 하부 커버판(122)에 생기는 변형 부분(129)으로 상기 흡액구를 배향시키는 추(153)를 갖는 것을 특징으로 하는 약액 배출 튜브.A method for discharging a chemical solution (108) contained in a built-in container to an outside of a container, the container being mountable in a liquid inlet / outlet part (112) of a built-in container (110) provided in a 60 liter inner reservoir composite container A 60 liter inner reservoir composite container chemical liquid discharge tube (150) comprising:
A flexible portion made of a liquid chemical resistant resin and having a tip portion 152 near the liquid suction port 151 is provided with a deformed portion And a weight (153) for orienting the liquid absorbing port with the liquid absorbing member (129).
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