KR101683093B1

KR101683093B1 - 인라인형 셀 검사장치

Info

Publication number: KR101683093B1
Application number: KR1020150112468A
Authority: KR
Inventors: 손영곤
Original assignee: (주)소닉스
Priority date: 2015-08-10
Filing date: 2015-08-10
Publication date: 2016-12-07

Abstract

본 발명은, 검사대상인 액정패널의 셀(Cell)에 대하여 전류검사 및 비전검사를 수행하는 복수의 검사부; 상기 검사부마다 대응하여 마련되며, 작업대기 위치와 상기 검사부를 왕복이동하며, 상기 작업대기 위치에서 제공받은 셀을 이송하여 상기 검사부의 검사시작 위치에 공급하고, 상기 검사부로부터 검사가 완료된 셀을 상기 검사시작 위치로부터 상기 작업대기 위치로 복귀시키는 복수의 이송부; 셀 공급위치로부터 공급되는 셀을 픽업하여 상기 작업대기 위치에 위치한 상기 이송부에 안착시키는 로딩부; 및 상기 검사부를 통한 검사가 완료되어 상기 작업대기 위치로 복귀한 상기 이송부에 안착된 셀을 셀 퇴출위치로 퇴출시키는 언로딩부;를 포함하며, 상기 복수의 이송부는 상기 검사부의 검사순서에 맞게 상기 작업대기 위치에 위치하여 상기 로딩부로부터 셀을 순차적으로 제공받아, 상기 각 검사부에 공급하고, 상기 각 검사부의 검사가 완료된 셀을 검사가 완료된 순서대로 상기 작업대기 위치에 복귀시키며, 상기 로딩부와 언로딩부는 동일한 이동선상에 배치되어, 상기 작업대기 위치상에서 상호 중첩된 이동 영역을 가지되, 상기 로딩부와 언로딩부는 상기 작업대기 위치상에 위치하는 시점을 달리하여 셀을 이송할 수 있는 인라인형 셀 검사장치에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 복수의 검사부에 셀을 공급하고, 검사가 완료된 셀을 회수하는 이송부가 각 검사부마다 개별적으로 마련되고, 각 검사부가 서로 상이한 검사 시작시간과 검사순서를 가짐에 따라, 셀 공급위치에서 셀이 공급되는 시간간격보다 셀을 검사하는데에 더 많은 시간이 소요된다 하더라도, 셀 공급위치에서 공급되는 셀 공급주기와 셀 퇴출위치에서 퇴출되는 셀 퇴출 주기가 일정하게 유지될 수 있고, 검사부가 단일의 영역에서 전류검사 및 비전검사를 동시에 수행할 수 있게 되어, 셀의 전류검사 및 비전검사에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있으며, 각 검사부가 서로 상이한 검사 시작시간과 검사순서를 가짐에 따라, 로딩부와 언로딩부가 셀의 로딩 및 언로딩 과정에서 대기시간이 발생하지 않고, 동일 영역내에서 로딩 및 언로딩 공정이 중첩되지 않아, 로딩부와 언로딩부가 상호 중첩된 이동반경을 가지며 배치될 수 있어, 인라인형 셀 검사장치의 설치면적을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Description

인라인형 셀 검사장치{IN-LINE TYPE CELL INSPECTING APPARATUS}

본 발명은 인라인형 셀 검사장치에 관한 것이다.

근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다.

이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 전기발광 표시장치(Electroluminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저소비젼력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.

이중 특히 액정표시장치는 콘트라스트 비(contrast ratio)가 크고 동화상 표시에 적합하며 소비젼력이 적다는 특징을 보여 노트북, 모니터, TV 등의 다양한 분야에서 활용되고 있는데, 이의 화상구현원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하는 것으로, 주지된 바와 같이 액정은 분자구조가 가늘고 길며 배열에 방향성을 갖는 광학적 이방성과, 전기장 내에 놓일 경우 그 크기에 따라 분자배열 방향이 변화되는 분극성질을 띤다.

즉, 일반적인 액정표시장치는 액정구동을 위한 어레이층(array layer)이 형성된 제1기판과 컬러구현을 위한 컬러필터층(color-filter layer)이 갖추어진 제2기판 사이로 액정층을 개재해서 합착시킨 액정패널을 필수구성요소로 하며, 이는 내부의 전기장으로 액정분자의 배열방향을 변화시켜 투과율 차이를 발생시키게 된다.

이러한 액정패널의 투과율 차이는 그 배면에 놓인 백라이트(back light)의 빛을 통해 컬러필터의 색 조합이 반영되어 컬러화상의 형태로 디스플레이 된다.

일반적인 액정표시장치 제조공정은 액정패널을 완성하는 셀(cell)공정과, 액정패널 그리고 액정패널과 백라이트를 일체화시키는 모듈(module)공정으로 구분될 수 있다.

이중 셀 공정은 박막증착(thin film deposition), 포토리소그라피(photo-lithography), 식각(etching) 등의 과정을 수 차례 반복해서 각 기판에 어레이층과 컬러필터층을 구현하고, 셀공정에서는 제1 또는 제2기판 중 어느 하나에 합착을 위한 씰패턴(seal pattern)을 형성한 후 액정층을 사이에 두고 양 기판을 대면 합착시켜 액정 패널을 완성하며, 이렇게 완성된 액정패널은 모듈공정에서 편광판과 구동회로 등이 부착된 후 백라이트와 일체화되어 액정표시장치를 이룬다.

한편, 이러한 액정표시장치는 다양한 검사 공정을 거쳐 양질의 액정표시장치를 선별하게 되는데, 모듈공정 후 진행하는 검사 공정은 작업자의 수작업과 작업자의 육안으로 확인함으로써, 검사시간이 오래 걸리게 되고 특히 작업자의 부주의로 인하여 불량여부를 확인하지 못하는 경우가 발생될 수 있다.

이러한 단점을 해결하기 위한 종래기술로는 대한민국 공개특허공보 공개번호 제10-0213-0003398호(2013.01.09. 공개)가 있었다.

그러한 종래기술의 경우, 셀 검사 프로세스에서 셀의 로딩, 검사, 언로딩 공정이 수행할 때에, 어느 한 공정이 완료되지 않을 경우, 이후 공정이 중지되어 대기상태를 유지하여야 하며, 이러한 대기상태에 따른 시간적 손실은 전체 검사 공정의 효율을 떨어뜨리며, 그로인해 검사 프로세스에서 셀의 공급과 검사가 완료된 셀의 퇴출에 차이가 발생하여, 셀 검사 프로세스가 포함되며 일정한 공급/퇴출주기를 가지는 복합공정 상에 적용시키기 어려우며, 적용시키더라도 셀 검사 프로세스에서 발생한 시간차이를 보상하기 위한 별도의 수단 또는 장치가 마련되어야하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 셀의 공급주기와 퇴출주기를 일정하게 유지하는 인라인형 셀 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위한 인라인형 셀 검사장치는, 검사대상인 액정패널의 셀(Cell)에 대하여 전류검사 및 비전검사를 수행하는 복수의 검사부;
상기 검사부마다 대응하여 마련되며, 검사가 수행되기 이전의 셀과 검사가 완료된 셀이 위치하는 작업대기 위치와 상기 검사부를 통한 검사가 수행되는 검사시작 위치를 왕복 이동하며, 상기 작업대기 위치에서 제공받은 셀을 이송하여 상기 검사시작 위치에 공급하고, 상기 검사부로부터 검사가 완료된 셀을 상기 검사시작 위치로부터 상기 작업대기 위치로 복귀시키는 복수의 이송부; 셀 공급위치로부터 공급되는 셀을 픽업하여 상기 작업대기 위치에 위치한 상기 이송부에 안착시키는 로딩부; 및 상기 검사부를 통한 검사가 완료되어 상기 작업대기 위치로 복귀한 상기 이송부에 안착된 셀을 셀 퇴출위치로 퇴출시키는 언로딩부;를 포함하며, 상기 복수의 이송부는 상기 검사부의 검사순서에 맞게 상기 작업대기 위치에 위치하여 상기 로딩부로부터 셀을 순차적으로 제공받아, 상기 각 검사부에 공급하고, 상기 각 검사부의 검사가 완료된 셀을 검사가 완료된 순서대로 상기 작업대기 위치에 복귀시킬 수 있으며, 상기 로딩부는, 셀 공급위치로부터 공급된 셀을 흡착하고, 흡착한 셀을 상기 작업대기 위치에 위치한 이송부에 안착시키는 제1 흡착부분; 및 상기 제1 흡착부분을 X축, Y축, Z축 방향으로 이동시키는 제1 이동부분;을 포함하고, 상기 언로딩부는, 상기 검사부를 통한 검사가 완료되어 상기 작업대기 위치로 복귀한 상기 이송부에 안착된 셀을 흡착하여 상기 셀 퇴출위치에서 퇴출시키는 제2 흡착부분; 및 상기 제2 흡착부분을 X축, Y축, Z축 방향으로 이동시키는 제2 이동부분;을 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1 이동부분은 상기 셀 공급위치, 작업대기 위치 및 셀 퇴출위치를 잇는 이동라인 중 상기 셀 공급위치와 작업대기 위치 사이에서 상기 제1 흡착부분을 왕복 이동시키고, 상기 제2 이동부분은 상기 제1 이동부분과 이동라인을 일부 공유하며, 공유된 이동라인 중 상기 작업대기 위치와 셀 퇴출위치 사이에서 상기 제2 흡착부분을 이동시키되, 특정 검사부와 해당 검사부에 셀을 이송하는 이송부를 한 쌍으로 하여, 적어도 두 쌍이 상기 이동라인을 기준으로 대칭을 이루며 배치되어, 상기 제1 이동부분을 통해 특정 이송부에 셀을 공급하는 시간과 상기 제2 이동부분을 통해 해당 이송부에 안착된 셀을 퇴출하는 시간의 합이 일정하게 유지될 수 있다.

그리고, 상기 검사부는, 셀이 안착된 상기 이송부가 위치되는 검사시작 위치의 상부에 배치되는 적어도 하나 이상의 전류검사용 카메라; 상기 검사시작 위치에 위치한 상기 이송부에 안착된 셀의 중심으로부터 수직 상방에 배치되는 비전검사용 카메라; 상기 검사시작 위치의 상부에 배치되는 하나 이상의 상부 광원; 상기 상부 광원의 하부에 배치되며, 상기 검사시작 위치에 위치한 상기 이송부에 안착된 셀을 향하여 경사진 광원을 제공하는 하나 이상의 경사 광원; 및 상기 전류검사용 카메라와 상기 검사시작 위치의 사이에 배치되며, 상, 하로 이동 가능하도록 마련되어, 상기 이송부에 안착된 셀에 전원을 인가하는 점등핀모듈이 구비된 점등유닛;을 포함하며, 상기 점등핀모듈은 점등유닛으로부터 착탈이 가능하도록 마련될 수 있다.

여기서, 상기 이송부는, 셀이 안착되는 스테이션; 상기 작업대기 위치와 상기 검사부의 검사시작 위치를 연결하여, 상기 스테이션의 이동을 안내하는 가이드레일; 및 상기 스테이션이 상기 가이드레일을 따라 왕복 이동하기 위한 구동력을 제공하는 구동부분;을 포함할 수 있다.

삭제

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 복수의 검사부에 셀을 공급하고, 검사가 완료된 셀을 회수하는 이송부가 각 검사부마다 개별적으로 마련되고, 각 검사부가 서로 상이한 검사 시작시간과 검사순서를 가짐에 따라, 셀 공급위치에서 셀이 공급되는 시간간격보다 셀을 검사하는데에 더 많은 시간이 소요된다 하더라도, 셀 공급위치에서 공급되는 셀 공급주기와 셀 퇴출위치에서 퇴출되는 셀 퇴출 주기가 일정하게 유지될 수 있다.

둘째, 검사부가 단일의 영역에서 전류검사 및 비전검사를 동시에 수행할 수 있게 되어, 셀의 전류검사 및 비전검사에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.

셋째, 각 검사부가 서로 상이한 검사 시작시간과 검사순서를 가짐에 따라, 로딩부와 언로딩부가 셀의 로딩 및 언로딩 과정에서 대기시간이 발생하지 않고, 동일 영역내에서 로딩 및 언로딩 공정이 중첩되지 않아, 로딩부와 언로딩부가 상호 중첩된 이동반경을 가지며 배치될 수 있어, 전체 설치면적을 줄일 수 있다.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 4개의 검사부를 가지는 인라인형 셀 검사장치를 도시한 평면도이다.
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 검사부를 개략적으로 도시한 것이다.
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 이송부를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 로딩부를 도시한 평면도이다.
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 언로딩부를 도시한 평면도이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 이미 주지되어진 기술적 부분에 대해서는 설명의 간결함을 위해 생략하거나 압축하기로 한다.

이에 앞서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략(예를 들어 로딩, 언로딩 공정에서의 셀 공급 및 셀 배출에 대한 기계적 이송 구성, 검사부에서 수행되는 셀 검사 및 양불 판단의 구체적 프로세스 등)한다. 또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제1, 제2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 4개의 검사부를 가지는 인라인형 셀 검사장치를 도시한 평면도이고, 도2는 본 발명의 일실시예에 따른 검사부를 개략적으로 도시한 것이며, 도3은 본 발명의 일실시예에 따른 이송부를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도4는 본 발명의 일실시예에 따른 로딩부를 도시한 평면도이며, 도5는 본 발명의 일실시예에 따른 언로딩부를 도시한 평면도이다.

본 발명의 일실시예에 따른 인라인형 셀 검사장치(100)는 셀 공급위치(L)로부터 공급된 셀(C)을 검사하고, 검사가 완료된 셀을 공급되는 주기와 동일한 주기로 퇴출시킬 수 있으며, 검사부(110), 이송부(120), 로딩부(130) 및 언로딩부(140)을 포함할 수 있다.

도4 내지 도5를 참조하면, 작업대기 위치(W)는 각 이송부(120A, 120B, 120C, 120D)가 각 검사부(110A, 110B, 110C, 110D)에 공급하기 위한 셀(C)을 로딩부(130)로부터 전달받고, 각 검사부(110A, 110B, 110C, 110D)를 통해 검사가 완료된 셀(C)을 언로딩부(140)에게 전달하기 위해 각 이송부(120A, 120B, 120C, 120D)가 로딩 또는 언로딩이 완료될 때까지 일시적으로 머무르는 위치이며, 도3에 도시된 바와 같이, 검사시작 위치(I)는 검사부(110)를 통한 셀(C)의 검사를 위해, 검사부(110)의 검사시간동안 셀(C)이 검사부(110)의 검사영역에서 대기하도록, 검사부(110)가 셀(C)을 검사하는 시간동안 이송부(120)가 머무르는 위치이다.

검사부(110)는 후술할 이송부(120)를 통해 검사시작 위치(I)에 위치한 셀(C)에 전원을 공급하고, 전원이 공급된 셀(C)의 전류검사 및 비전검사를 수행할 수 있으며, 전류검사용 카메라(111), 비전검사용 카메라(112), 상부 광원(113), 경사 광원(114) 및 점등유닛(115)을 포함할 수 있다.

여기서, 검사부(110)는 이송부(120)를 통해 검사시작 위치(I)에 위치한 셀(C)에 전원을 인가하기 위해, 점등유닛(115)의 점등핀모듈(115-1)이 하강하여 셀(C)과 접촉하게 된다.

이때, 전류검사용 카메라(111)는 전원이 인가된 셀(C)의 단락성 불량여부, 플리커(Flicker) 불량여부 등을 검사하게 된다.

또한, 비전검사용 카메라(112)는 검사시작 위치(I)에 위치한 셀(C)의 수직 선상에 위치하여, 상부광원(113) 및 경사 광원(114)를 통해 전원이 인가된 셀(C)의 수직방향 및 경사진 방향으로 빛을 조사하면서 전류검사용 카메라(111)를 통해 전류검사가 완료된 셀(C)에 대하여 비전검사를 수행하게 된다.

그리고, 점등유닛(115)은 전류검사 및 비전검사가 이뤄지는 셀(C)의 규격이나 크기가 달라질 경우, 해당 셀(C)에 전원을 인가하기 위한 점등핀 접속 부분도 동시에 달라지므로, 검사시작 위치(I)에 위치한 셀(C)에 전원을 인가하는 점등유닛(115)은 검사하고자 셀(C)의 크기나 규격에 대응되는 접속부분을 가지는 점등핀모듈(115-1)로 교체할 수 있도록, 점등핀모듈(115-1)이 탈착 가능하게 마련될 수 있다.

또한, 도2에서는, 검사부(110)가 전류검사용 카메라(111), 비전검사용 카메라(112), 상부 광원(113), 경사 광원(114) 및 점등유닛(115)이 외부로 노출된 형태로 표현되었으나, 이는, 검사부(120)의 설명을 용이하게 하기 위해 도시한 것이며, 검사공정 시 파티클 등과 같은 이물질로부터 셀(C)이 오염되는 것을 방지하기 위해, 검사부(120)는 하우징형태로 보호되는 밀폐공간 내에 위치할 수 있다.

이송부(120)는 검사부(120)에 로딩부(130)로부터 제공된 셀(C)을 검사부(110)에 공급하고, 검사가 완료된 셀(C)이 퇴출 될 수 있도록, 검사가 완료된 셀(C)을 검사부(120)로부터 회수하여, 언로딩부(140)에 제공할 수 있으며, 스테이션(121), 가이드레일(122) 및 구동부분(123)을 포함할 수 있다.

스테이션(121)은 셀(C)이 안착될 수 있으며, 가이드레일(122)는 검사부(110)의 검사시작 위치(I)와 로딩부(130)로부터 셀(C)을 공급받거나, 언로딩부(140)에 검사가 완료된 셀(C)을 제공하는 작업대기 위치(W)와 연결되며, 스테이션(121)의 이동을 안내할 수 있으며. 이때, 구동부분(123)은 스테이션(121)이 가이드레일(122) 상에서 왕복이동할 수 있도록 구동력을 제공할 수 있다.

이때, 도1과 같이, 4개의 검사부(110A, 110B, 110C, 110D)가 마련된, 인라인형 셀 검사장치(100)의 경우는, 이송부(120A, 120B, 120C, 120D) 또한 각 검사부(110A, 110B, 110C, 110D)와 일대일로 대응되도록 마련될 수 있다.

로딩부(130)는 셀(C)이 공급되는 셀(C) 공급위치(L)으로부터 이송되는 셀(C)을 흡착하여 작업대기 위치(W)에 위치한 이송부(120)에 셀(C)을 안착시킬 수 있으며, 제1 흡착부분(131), 제1 이동부분(132)을 포함할 수 있다.

제1 흡착부분(131)은 진공력을 제공하는 진공발생장치(미도시)와 연결되어, 진공력 발생유무에 따라, 셀(C)을 흡착 흡착하여 이송하거나, 흡착된 셀(C)을 작업대기 위치(W)에 위치한 이송부(120)에 안착시킬 수 있다.

제1 이동부분(132)은 제1 흡착부분을 X축, Y축, Z축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 제1 흡착부분(131)을 통해 흡착된 셀(C)을 작업대기 위치(W)에 위치한 이송부(120)로 이동시키게 된다.

언로딩부(140)는 로딩부(130)와 유사한 형태로 마련될 수 있으나, 작업대기 위치(120)에 위치한 이송부(120)에서 검사부(120)를 통한 검사가 완료된 셀(C)을 흡착하여 배출시킬 수 있으며, 제2 흡착부분(141) 및 제2 이동부분(142)을 포함할 수 있다.

제2 흡착부분(141)은 제1 흡착부분(141)과 유사하되, 작업대기 위치(W)에 위치한 이송부(120)에 안착된 셀(C)을 흡착하거나, 흡착된 셀(C)을 후단의 공정 또는 장치 외부로 퇴출시킬 수 있다.

이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 4개의 검사부(110A, 110B, 110C, 110D)와 4개의 이송부(120A, 120B, 120C, 120D)가 마련되어, 셀(C)의 공급 및 퇴출을 통한 이송주기를 일정하게 유지시키는 인라인형 셀 검사장치(100)의 작동을 예를 들어 설명하도록 한다.

여기서, 4개의 검사부(110A, 110B, 110C, 110D)는 설명 상의 편의에 따라, 각각 제1 검사부(110A), 제2 검사부(110B), 제3 검사부(110C) 및 제4 검사부(110D)로, 각 검사부(110A, 110B, 110C, 110D)와 개별적으로 대응되는 4개의 이송부(120A, 120B, 120C, 120D), 또한, 제1 이송부(120A), 제2 이송부(120B), 제3 이송부(120C), 제4 이송부(120D)로 나누어 설명하도록 한다.

만약, 각 검사부(110A, 110B, 110C, 110D)는 서로 상이한 검사순서가 기 설정되어 있다면, 로딩부(130)는 셀(C) 공급위치(L)로부터 흡착한 셀(C)을 제1 이송부(120A), 제2 이송부(120B), 제3 이송부(120C), 제4 이송부(120D) 순으로 공급하게 된다.

최초, 로딩부(130)의 제1 흡착부분(131)은 셀(C)이 공급되는 셀(C) 공급위치(미도시)와 인접한 영역에 위치하여 공급된 셀(C)을 작업대기 위치에 위치한 제1 이송부(120A)에 안착시키고, 다시 셀(C) 공급위치(미도시)에 인접한 위치로 복귀하여 이후에 공급될 셀(C)을 대기하게 된다.

이때, 제1 이송부(120A)는 제1 검사부(110A)의 검사시작위치(I)에서 제1 검사부(110A)를 통한 검사가 완료될 때까지 대기하게 된다.

이후, 로딩부(130)가 두 번??로 공급된 셀(C)을 흡착하여, 작업대기 위치(W)에 위치한 제2 이송부(120B)에 안착시키게 되고, 셀(C)이 안착된 제2 이송부(120B)는 제2 검사부(110B)의 검사시작위치(I)에서 제2 검사부(110B)를 통한 검사가 완료될 때까지 대기하게 된다.

이후, 3번째, 4번째로 공급되는 셀(C) 또한, 기 설정된 검사순서에 따라, 로딩부(130)를 통해 각각 제3 이송부(120C)와 제4 이송부(120D)에 각각 안착되고, 제3 이송부(120C)와 제4 이송부(120D)는 각각 제3 검사부(110C)와 제4 검사부(110D)의 검사시작 위치(I)에서 검사가 완료될 때까지 대기하게 된다.

이후, 제1 이송부(120A)는 검사순서에 따라 제1 검사부(110A)를 통해 가장 먼저 검사가 완료된 셀(C)을 작업대기 위치(W)에 위치시키게 되며, 이후 언로딩부(140)는 셀(C) 퇴출위치(U)와 인접한 위치에서 대기하다가, 작업대기 위치(W)에 위치한 제1 이송부(120A)로부터 셀(C)을 흡착하여, 셀 퇴출위치(U)으로 퇴출시키고, 셀 퇴출위치(U)에 인접한 위치로 복귀하여 대기하게 된다.

이후, 언로딩부(140)는 검사순서와 검사시간에 따라, 검사가 완료된 셀(C)을 이송하는 이송부로부터 셀(C)을 회수하여, 장치로부터 퇴출시키고, 로딩부(130)는 언로딩부(140)를 통해 셀(C)이 회수된 이송부에 셀(C)을 안착시키는 일련의 과정을 통해, 언로딩부(140) 퇴출하는 셀(C)의 퇴출 시간간격과 셀(C) 공급부분에서 공급되는 시간간격은 일정하게 유지되어진다.

즉, 본 발명의 일실시예에 따른 인라인형 셀 검사장치(100)는 공급되는 셀(C)의 공급주기와 검사부(110)의 검사시간이 상이하여 발생하는 시간 차이를 최소화하기 위해, 검사부(110)에 셀(C)을 공급하고, 공급된 셀(C)을 회수하는 이송부(120)가 검사부(110)에 개별적으로 마련되며, 셀(C) 공급부분으로부터 공급되는 셀(C)의 공급주기와 검사부(120)의 검사시간에 따라, 사용하는 검사부(110)와 이송부(120)의 수를 조정함으로써, 검사를 수행하기 위한 셀(C)의 공급주기와 검사가 완료되어 장치로부터 퇴출하는 셀(C)의 퇴출주기를 일정하게 유지시킬 수 있게 된다.

결국, 본 발명은, 복수의 검사부에 셀을 공급하고, 검사가 완료된 셀을 회수하는 이송부가 각 검사부마다 개별적으로 마련되고, 각 검사부가 서로 상이한 검사 시작시간과 검사순서를 가짐에 따라, 셀 공급위치에서 셀이 공급되는 시간간격보다 셀을 검사하는데에 더 많은 시간이 소요된다 하더라도, 셀 공급위치에서 공급되는 셀 공급주기와 셀 퇴출위치에서 퇴출되는 셀 퇴출 주기가 일정하게 유지될 수 있고, 검사부가 단일의 영역에서 전류검사 및 비전검사를 동시에 수행할 수 있게 되어, 셀의 전류검사 및 비전검사에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있으며, 각 검사부가 서로 상이한 검사 시작시간과 검사순서를 가짐에 따라, 로딩부와 언로딩부가 셀의 로딩 및 언로딩 과정에서 대기시간이 발생하지 않고, 동일 영역내에서 로딩 및 언로딩 공정이 중첩되지 않아, 로딩부와 언로딩부가 상호 중첩된 이동반경을 가지며 배치될 수 있어, 전체 설치면적을 줄일 수 있는 인라인형 셀 검사장치를 제공한다.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

100 : 인라인형 셀 검사장치
110 : 검사부 (110A, 110B, 110C, 110D)
111 : 전류검사용 카메라
112 : 비전검사용 카메라
113 : 상부 광원
114 : 경사 광원
115 : 점등유닛
115-1 : 점등핀모듈
120 : 이송부 (120A, 120B, 120C, 120D)
121 : 스테이션
122 : 가이드레일
123 : 구동부분
130 : 로딩부
131 : 제1 흡착부분
132 : 제1 이동부분
140 : 언로딩부
141 : 제2 흡착부분
142 : 제2 이동부분
C : 셀
I : 검사시작 위치
L : 셀 공급위치
U : 셀 퇴출위치
W : 작업대기 위치

Claims

검사대상인 액정패널의 셀(Cell)에 대하여 전류검사 및 비전검사를 수행하는 복수의 검사부;
상기 검사부마다 대응하여 마련되며, 검사가 수행되기 이전의 셀과 검사가 완료된 셀이 위치하는 작업대기 위치와 상기 검사부를 통한 검사가 수행되는 검사시작 위치를 왕복 이동하며, 상기 작업대기 위치에서 제공받은 셀을 이송하여 상기 검사시작 위치에 공급하고, 상기 검사부로부터 검사가 완료된 셀을 상기 검사시작 위치로부터 상기 작업대기 위치로 복귀시키는 복수의 이송부;
셀 공급위치로부터 공급되는 셀을 픽업하여 상기 작업대기 위치에 위치한 상기 이송부에 안착시키는 로딩부; 및
상기 검사부를 통한 검사가 완료되어 상기 작업대기 위치로 복귀한 상기 이송부에 안착된 셀을 셀 퇴출위치로 퇴출시키는 언로딩부;를 포함하며,
상기 복수의 이송부는 상기 검사부의 검사순서에 맞게 상기 작업대기 위치에 위치하여 상기 로딩부로부터 셀을 순차적으로 제공받아, 상기 각 검사부에 공급하고, 상기 각 검사부의 검사가 완료된 셀을 검사가 완료된 순서대로 상기 작업대기 위치에 복귀시키며,
상기 로딩부는,
셀 공급위치로부터 공급된 셀을 흡착하고, 흡착한 셀을 상기 작업대기 위치에 위치한 이송부에 안착시키는 제1 흡착부분; 및
상기 제1 흡착부분을 X축, Y축, Z축 방향으로 이동시키는 제1 이동부분;을 포함하며,
상기 언로딩부는,
상기 검사부를 통한 검사가 완료되어 상기 작업대기 위치로 복귀한 상기 이송부에 안착된 셀을 흡착하여 상기 셀 퇴출위치에서 퇴출시키는 제2 흡착부분; 및
상기 제2 흡착부분을 X축, Y축, Z축 방향으로 이동시키는 제2 이동부분;을 포함하고,
상기 제1 이동부분은 상기 셀 공급위치, 작업대기 위치 및 셀 퇴출위치를 잇는 이동라인 중 상기 셀 공급위치와 작업대기 위치 사이에서 상기 제1 흡착부분을 왕복 이동시키고, 상기 제2 이동부분은 상기 제1 이동부분과 이동라인을 일부 공유하며, 공유된 이동라인 중 상기 작업대기 위치와 셀 퇴출위치 사이에서 상기 제2 흡착부분을 이동시키되,
특정 검사부와 해당 검사부에 셀을 이송하는 이송부를 한 쌍으로 하여, 적어도 두 쌍이 상기 이동라인을 기준으로 대칭을 이루며 배치되어, 상기 제1 이동부분을 통해 특정 이송부에 셀을 공급하는 시간과 상기 제2 이동부분을 통해 해당 이송부에 안착된 셀을 퇴출하는 시간의 합이 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는
인라인형 셀 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 검사부는,
셀이 안착된 상기 이송부가 위치하는 검사시작 위치의 상부에 배치되는 적어도 하나 이상의 전류검사용 카메라;
상기 검사시작 위치에 위치한 상기 이송부에 안착된 셀의 중심으로부터 수직 상방에 배치되는 비전검사용 카메라;
상기 검사시작 위치의 상부에 배치되는 하나 이상의 상부 광원;
상기 상부 광원의 하부에 배치되며, 상기 검사시작 위치에 위치한 상기 이송부에 안착된 셀을 향하여 경사진 광원을 제공하는 하나 이상의 경사 광원; 및
상기 전류검사용 카메라와 상기 검사시작 위치의 사이에 배치되며, 상, 하로 이동 가능하도록 마련되어, 상기 이송부에 안착된 셀에 전원을 인가하는 점등핀모듈이 구비된 점등유닛;을 포함하며,
상기 점등핀모듈은 점등유닛으로부터 탈착이 가능하도록 마련되는 것을 특징으로 하는
인라인형 셀 검사장치.
제2항에 있어서,
상기 이송부는,
셀이 안착되는 스테이션;
상기 작업대기 위치와 상기 검사시작 위치를 경유하며, 상기 스테이션의 이동을 안내하는 가이드레일; 및
상기 스테이션이 상기 가이드레일을 따라 왕복 이동하기 위한 구동력을 제공하는 구동부분;을 포함하는 것을 특징으로 하는
인라인형 셀 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 로딩부의 상기 제1 이동부분은 상기 제1 흡착부분에서 흡착한 셀을 상기 작업대기 위치에 위치한 이송부에 안착시키게 되면, 상기 제1 흡착부분을 상기 셀 공급위치에 인접한 위치로 복귀시키는 것을 특징으로 하는
인라인형 셀 검사장치.
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