KR101674793B1 - 유체유동을 이용한 센터링장치 및 이를 포함하는 전기도금설비 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 유체유동을 이용한 센터링장치는, 유체가 통과하는 유동통로가 사이에 형성되도록 서로 이격된 두 개의 유로형성부재; 두 개의 상기 유로형성부재 사이에 배치된 미들부재; 및 상기 유동통로에 배치되어 상기 유체의 유동력을 이용하여, 상기 미들부재를 두 개의 상기 유로형성부재 사이에서 센터링시키도록 구성되는 센터링수단;을 포함하고, 상기 유체는 도금용액이고, 상기 유로형성부재는 강판을 전기도금하는 양극(anode)이고, 상기 미들부재는 강판의 에지부 과도금을 방지하는 에지마스크이며, 상기 센터링수단은 상기 에지마스크에 연결프레임에 의해 연결되되 상기 도금용액의 유동통로에 배치되어, 상기 유동통로를 통과하는 상기 도금용액의 유동력에 의해 상기 도금용액의 유동량이 증가하는 방향으로 밀리면서 상기 에지마스크를 두 개의 상기 양극 사이에서 센터링시키도록 구성된다.

Description

유체유동을 이용한 센터링장치 및 이를 포함하는 전기도금설비{Centering apparatus using fluid flow and Electroplating plant having the same}

본 발명은 유체유동을 이용한 센터링장치 및 이를 포함하는 전기도금설비로서, 도금용액의 유동을 이용하여 강판의 도금을 균일하게 하는 유체유동을 이용한 센터링장치 및 이를 포함하는 전기도금설비에 관한 것이다.

전기도금공정에서 생산효율을 증가시키기 위하여, 도금용 셀이 수평으로 배치된 수평셀 공정이 활용된다.

이러한 수평셀 공정은, 상부와 하부 각각의 양극 사이로 도금소재가 되는 강판이 지나가면서 이루어지는데, 이때 강판이 음극으로 작용하여 도금이 진행되게 된다.

그런데, 이와 같이 수평셀 내부에서 음극으로 작용하는 강판의 에지부에는 전류가 집중되는 현상이 발생하게 되는 문제점이 있다.

이러한 강판 에지부의 전류 집중현상은 강판의 중앙부에 비하여 도금량이 증가하는 과도금의 문제를 일으키며, 강판의 에지부에 덴드라이트 성장을 유발하여 도금과정 결함발생의 주요인이 된다.

이를 방지하기 위해, 종래기술에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 에지마스크(3)로 강판(1) 에지부의 전류집중을 방지한다. 종래기술에 따른 에지마스크(3)는 절연성 소재로 제작되며, 거리의 조절을 위하여 이송로드(4) 부분과 나사결합된다.

구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 에지마스크(3) 내부에 티타늄 소재의 인서트(3a)를 설치하고, 이러한 인서트(3a)에 형성된 나사산과 이송로드(4)의 나사산을 결합하는 구조에 의해, 에지마스크(3)와 이송로드(4) 간의 결합이 유지된다.

이와 같은 종래기술에 따른 에지마스크(3)는, 배치구조적으로 상, 하측 각각에서 양극(2)과의 갭이 존재하며, 이때 양극(2)과의 일정한 갭 유지가 매우 중요하다.

일례로서, 상기 갭이 달라지는 경우로서 에지마스크(3)의 자중에 의하여 하측의 갭이 더 좁게 형성되는 경우, 이러한 갭의 변동에 따라 강판(1)의 양측으로 배출되는 도금용액(9)의 유량이 변화하게 된다. 일례로서, 도 3에 도시된 바와 같이 상측의 갭이 하측의 갭보다 더 큰 경우, 강판(1) 양측으로 배출되는 도금용액(9)의 배출유량은 에지마스크(3)의 상측에서 커지게 된다.

그런데, 이러한 유량의 증가는 에지마스크(3)를 하측으로 미는 힘의 증가분으로 작용하게 되며, 시간이 지날수록 하측으로 작용하는 힘의 크기가 증가함으로써, 결국 에지마스크(3)와 이송로드(4)와의 연결부분 또는 이송로드(4)의 휨이나 위치 변형이 발생시키게 된다.

결과적으로, 이러한 문제로 에지마스크(3)와 이송로드(4)의 수명 및 유지보수의 문제가 발생하게 되며, 두 개의 양극(2) 사이에서 센터링되어야 하는 에지마스크(3)의 위치변동으로 인하여 강판(1)의 도금이 균일하게 되지 못하는 한계점을 보이게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 에지마스크를 두 개의 양극 사이에 센터링시킴으로써, 강판의 도금을 균일하게 하는 유체유동을 이용한 센터링장치 및 이를 포함하는 전기도금설비를 제공하는 데에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유체유동을 이용한 센터링장치는, 유체가 통과하는 유동통로가 사이에 형성되도록 서로 이격된 두 개의 유로형성부재; 두 개의 상기 유로형성부재 사이에 배치된 미들부재; 및 상기 유동통로에 배치되어 상기 유체의 유동력을 이용하여, 상기 미들부재를 두 개의 상기 유로형성부재 사이에서 센터링시키도록 구성되는 센터링수단;을 포함하고, 상기 유체는 도금용액이고, 상기 유로형성부재는 강판을 전기도금하는 양극(anode)이고, 상기 미들부재는 강판의 에지부 과도금을 방지하는 에지마스크이며, 상기 센터링수단은 상기 에지마스크에 연결프레임에 의해 연결되되 상기 도금용액의 유동통로에 배치되어, 상기 유동통로를 통과하는 상기 도금용액의 유동력에 의해 상기 도금용액의 유동량이 증가하는 방향으로 밀리면서 상기 에지마스크를 두 개의 상기 양극 사이에서 센터링시키도록 구성된다.

삭제

여기에서, 상기 센터링수단은, 상기 양극과 에지마스크 사이를 통과하는 도금용액이 충돌하도록 상기 연결프레임에 설치되며, 충돌되는 상기 도금용액의 유동력에 의해 상기 에지마스크를 상기 양극 사이에서 센터링시키도록 형성된 날개;를 구비할 수 있다.

이때, 상기 날개는, 두 개의 상기 양극 측에 각각 배치되며, 유동하는 상기 도금용액에 의해 상기 양극 측으로 밀리도록, 상기 도금용액이 충돌되게 경사질 수 있다.

또한, 상기 날개는, 근접된 상기 양극과의 갭이 상기 강판으로부터 멀어질수록 같거나 작아지도록 형성될 수 있다.

아울러, 상기 날개는, 근접된 상기 양극 측으로 갈수록 상기 강판의 두께방향으로 테이퍼질 수 있다.

한편, 본 발명은, 상기 에지마스크에 연결된 이송로드에 대해 상기 에지마스크가 회동되게 구성되는 회동연결수단;을 더 포함할 수 있다.

이때, 상기 회동연결수단은, 일측에 상기 에지마스크가 회동되게 연결되고, 타측에 상기 이송로드가 회동되게 연결된 유동힌지일 수 있다.

그리고, 두 개의 상기 양극은, 서로를 기준으로 상측에 배치된 상부 양극과 하측에 배치된 하부 양극일 수 있다.

나아가, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 상술된 유체유동을 이용한 센터링장치를 포함하는 전기도금설비가 제공될 수 있다.

본 발명에 따른 유체유동을 이용한 센터링장치 및 이를 포함하는 전기도금설비는, 도금용액의 유동력을 이용하는 센터링수단을 구비함으로써 에지마스크를 두 개의 양극 사이에서 센터링시킬 수 있는 효과를 가지며, 이에 따라 강판의 도금이 균일하게 이루어질 수 있다.

또한, 본 발명은 에지마스크와 이송로드가 회동연결수단에 의해 회동되게 연결됨으로써, 에지마스크의 센터링 과정에서 이송로드 또는 에지마스크와 이송로드의 연결부위가 손상되는 것을 방지할 수 있는 장점을 지닌다.

도 1은 종래기술에 따라 에지마스크가 강판의 양측에 배치된 것을 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 에지마스크와 이송로드의 연결부를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1의 에지마스크가 두 개의 양극 사이에서 위치변동되는 것을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체유동을 이용한 센터링장치가 강판의 일측에 배치된 것을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 유체유동을 이용한 센터링장치를 나타낸 확대도이다.
도 6은 도 4의 유체유동을 이용한 센터링장치에 의해 에지마스크가 두 개의 양극 사이에서 센터링되는 것을 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명의 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명하기로 한다. 각 도면의 구성요소들에 도면부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

본 발명은, 유체가 통과하는 유동통로가 사이에 형성되도록 서로 이격된 두 개의 유로형성부재, 두 개의 상기 유로형성부재 사이에 배치된 미들부재, 및 상기 유동통로에 배치되어 유체의 유동력을 이용하여 미들부재를 두 개의 유로형성부재 사이에서 센터링시키도록 구성되는 센터링수단을 포함한다.

나아가, 본 발명은 상술된 유체유동을 이용한 센터링장치를 포함하는 전기도금설비가 제공될 수 있는데, 구체적으로 설명하자면 다음과 같다.

일례로서, 상기 유체는 도금용액이고, 상기 유로형성부재는 강판을 전기도금하는 양극(anode)이고, 상기 미들부재는 강판의 에지부 과도금을 방지하는 에지마스크이며, 이때 상기 센터링수단은 에지마스크에 연결프레임에 의해 연결되되 도금용액의 유동통로에 배치되어, 도금용액의 유동력을 이용하여, 에지마스크를 두 개의 양극 사이에서 센터링시키도록 구성될 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체유동을 이용한 센터링장치가 강판의 일측에 배치된 것을 나타낸 도면이고, 도 5는 도 4의 유체유동을 이용한 센터링장치를 나타낸 확대도이다.

도면을 참조하면, 상기 센터링수단은 연결프레임(100)에 의해 에지마스크(30)에 연결된다.

여기에서, 상기 연결프레임(100)은 에지마스크(30)의 양측 각각에서 횡방향으로 연장된 수평프레임(110)과, 상기 수평프레임(110)으로 상측과 하측 각각으로 연장된 수직프레임(120)을 구비한다. 이때, 상기 수직프레임(120)은 수평프레임(110)의 단부에 상측과 하측으로 각각 한 개씩 연장되게 설치될 수 있고, 나아가 이에 더하여 수평프레임(110)의 길이방향을 따라 복수 개가 이격되어 배치될 수 있다.

아울러, 상기 날개(200)는 일례로서 에지마스크(30)의 양측으로 횡방향 연장된 수평프레임(110)과 대응되게 적정 폭을 가지면서, 수직프레임(120)의 단부에 견고하게 장착고정될 수 있다.

나아가, 상기 연결프레임(100)은 에지마스크(30)에 설치되되, 양극(2)과 에지마스크(30) 사이를 통과하는 도금용액(9)의 유동을 방해하지 않는 구조를 취하면 될 뿐, 구체적인 구조에 대해서는 본 발명에 의해 한정되지 않는다.

참고로, 상기 에지마스크(30)는 강판(1)의 양측 에지부에 과도한 도금이 발생하는 것을 방지하기 위해, 에지부의 전류를 차단하도록 부도체 재질로 이루어져 강판(1)의 양측에 배치되는 부재이다.

또한, 상기 도금용액은 일례로서 두 개의 양극(2)이 수용된 도금조(미도시) 내에서 강판(1)의 폭방향에서 중앙부로 수직공급되며, 강판(1)의 양측 폭방향으로 유동한 후 도금조 내에서 다시 순환되는 유동구조를 이룬다. 아울러 이에 더하여, 이러한 도금용액은 적정농도를 유지하도록, 도금조의 일측부와 별도로 연결된 농도유지수단(미도시)에 유입되어 다시 도금조로 유출되는 구조를 취한다.

한편, 상기 센터링수단은 도금용액(9)의 유동통로에 배치되어 도금용액(9)의 유동력을 이용하여, 에지마스크(30)를 두 개의 양극(2) 사이에서 센터링시키도록 구성된다.

이러한 센터링수단은 양극(2)과 에지마스크(30) 사이를 통과하는 도금용액(9)이 충돌하도록 연결프레임(100)에 설치되는 날개(200)를 구비할 수 있다.

구체적으로, 상기 날개(200)는 두 개의 상기 양극(2) 측에 각각 배치되며, 유동하는 도금용액(9)에 의해 양극(2) 측으로 밀리도록, 도금용액(9)이 충돌되게 경사진 형상구조를 이룬다. 즉, 상기 날개(200)는 두 개의 양극(2) 측에 각각 배치되어 에지마스크(30)가 상부 양극(2a) 또는 하부 양극(2b)으로 편중되지 않고 두 개의 양극(2) 사이에 센터링되도록 하는데, 이때 도금용액(9)의 유동력에 의해 각각이 근접된 양극(2) 측으로 밀리도록 도금용액(9)이 충돌되는 경사진 형상을 취할 수 있다.

일례로서 도 6에 도시된 바와 같이, 강판(1)의 좌측에서 에지마스크(30)의 상측에 배치된 상부 날개(210)를 살펴보면, 에지마스크(30) 또는 이송로드(40)의 자중에 의하여 에지마스크(30)가 하측으로 처지는 경우, 양극(2)과의 갭을 통한 도금용액(9)의 유량도 커짐으로써 더욱더 하측으로 처지게 된다. 이때 에지마스크(30)가 하측으로 처지지 않고 두 개의 양극(2) 사이에서 센터링하려면, 강판(1)의 좌측에서 에지마스크(30)의 상측에 배치된 상부 날개(210)는 우측으로 갈수록 상방경사진 형상을 취함으로써, 양극(2)의 중앙부 측(강판(1)의 중앙부 측)으로부터 강판(1)의 좌측으로 양극(2)과 에지마스크(30) 사이를 통과하는 도금용액(9)이 상부 날개(210)의 하면과 충돌하면서 상부 날개(210)를 상측으로 밀어올림으로써 에지마스크(30)를 두 개의 양극(2) 사이에 센터링시킬 수 있다.

그리고, 상기 날개(200)는 근접된 양극(2)과의 갭이 강판(1)으로부터 멀어질수록 같거나 작아지도록 형성될 수 있다.

일례로서 도 6에 도시된 바와 같이, 강판(1)의 좌측에서 에지마스크(30)의 상측에 배치된 상부 날개(210)를 살펴보면, 에지마스크(30)가 하측으로 처지지 않고 두 개의 양극(2) 사이에서 센터링하기 위해서는, 상기 상부 날개(210)는 경사지게 형성되면서 아울러 근접된 상부 양극(2a)과의 갭이 강판(1)으로부터 멀어질수록 같거나 작아지게 형성되어야 한다.

만약, 상기 상부 날개(210)가 근접된 상부 양극(2a)과의 갭이 이송로드(40) 측으로 갈수록 작아지거나 같지 않고 이와 반대로 커진다면, 양극(2)의 중앙부 측(강판(1)의 중앙부 측)으로부터 강판(1)의 좌측으로 양극(2)과 에지마스크(30) 사이를 통과하는 도금용액(9)이 상부 날개(210)의 상면과도 충돌하게 되면서 상부 날개(210)를 하측으로 밀어내림으로써 에지마스크(30)를 하측의 양극(2) 측으로 이동시키게 됨에 따라, 센터링작업에 반하는 작용이 발생하게 된다.

또한, 상기 날개(200)는 근접된 상기 양극(2) 측으로 갈수록 상기 강판(1)의 두께방향으로 테이퍼진 형상을 취할 수 있다.

일례로서 도 6에 도시된 바와 같이, 강판(1)의 좌측에서 에지마스크(30)의 상측에 배치된 상부 날개(210)를 살펴볼 때, 에지마스크(30)가 양측 측으로 갈수록 그 두께가 커진다면, 양극(2)의 중앙부 측(강판(1)의 중앙부 측)으로부터 강판(1)의 좌측으로 양극(2)과 에지마스크(30) 사이를 통과하는 도금용액(9)이 상부 날개(210)의 우측면과 충돌함으로써, 강판(1)의 양측으로 이동되는 도금용액(9)의 유동을 차단하면서 아울러 난류를 발생시킴에 따라, 강판(1)의 도금이 균일하게 이루어지지 않는 문제점이 발생할 수 있다.

이와 같이, 상기 날개(200)는 근접된 양극(2) 측으로 갈수록 강판(1)의 두께방향으로 테이퍼진 형상을 취함으로써, 도금용액(9)의 유동을 최대한 방해하지 않음에 따라, 강판(1)의 도금이 균일하게 이루어지도록 한다.

한편, 본 발명은 에지마스크(30)에 연결된 이송로드(40)에 대해 에지마스크(30)가 회동되게 구성되는 회동연결수단을 더 포함할 수 있다. 참고로, 상기 이송로드(40)는 강판(1)의 폭에 대응되게 에지마스크(30)를 강판(1)의 양측 에지부와 적정거리를 두고 배치되기 위해, 에지마스크(30)를 강판(1) 측으로 왕복이동가능도록 일단부가 에지마스크(30)와 연결된 부재로서, 이러한 동작이 구현되도록 타단부에는 구동부재가 제공됨은 물론이다.

여기에서, 상기 회동연결수단은 일측에 상기 에지마스크(30)가 회동되게 연결되고, 타측에 상기 이송로드(40)가 회동되게 연결된 유동힌지(300)일 수 있다.

상기 이송로드(40)와 에지마스크(30)가 도 6에 도시된 바와 같이 유동힌지(300)에 의해 회동되게 연결되면, 날개(200)에 의해 에지마스크(30)가 센터링되는 과정에서 이송로드(40) 또는 이송로드(40)와의 연결부위가 휘거나 부러짐으로써 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 다시 말해, 에지마스크(30)가 날개(200)에 의해 두 개의 양극(2) 사이에서 센터링하면서 위치변동되는 과정에서, 센터링되어 있지 않은 기존의 이송로드(40) 또는 이송로드(40)와의 연결부위에 힘이 가해져서 휘거나 파손이 발생하게 되는데, 이송로드(40)와의 연결이 회동연결구조를 취함에 따라, 이러한 문제점을 방지할 수 있다.

아울러, 상기 유동힌지(300)는 에지마스크(30)와 이송로드(40) 사이에서 유동되는 구조를 지님으로써, 에지마스크(30)가 센터링되는 과정, 그리고 센터링 된 후에도 두 개의 양극(2)과 평행인 상태를 유지할 수 있도록 함에 따라, 양극(2)과 에지마스크(30)의 갭이 일정하게 유지될 수 있게 한다.

나아가, 이와 같은 회동연결수단은, 본 발명에 의해 한정되지 않고 에지마스크(30)와 이송로드(40)를 서로 회동되게 연결하는 구조라면 어떠한 회동연결구조도 적용될 수 있음은 물론이다.

한편, 상술된 본 발명에 의해 에지마스크(30)가 두 개의 양극(2) 사이에서 센터링되는 것을 도 6을 참조하여 설명하기로 한다.

에지마스크(30)가 이송로드(40)와 연결되어 강판(1)의 양측에 배치된 에지부 측으로 이송되어 배치됨으로써 강판(1)의 에지부 과도금을 방지하는데, 시간이 지남에 따라 에지마스크(30) 및 이송로드(40)의 자체 중량에 의해 하측으로 처지는 현상이 발생하게 된다.

이때, 에지마스크(30)와 상부 양극(2a)과의 갭을 통한 도금용액(9)의 유량도 커짐으로써, 커지는 도금용액(9)의 유량에 의해 밀려서 에지마스크(30)가 더욱더 하측으로 처지게 된다. 그런데 이때 에지마스크(30)와 상부 양극(2a) 사이를 통과하는 도금용액(9)이 상부 날개(210)의 하면과 충돌하면서 상부 날개(210)를 상측으로 밀어올림으로써 에지마스크(30)를 두 개의 양극(2) 사이에 센터링시킬 수 있다.

물론, 이에 따라 에지마스크(30)가 상측으로 너무 치우칠 수 있는데, 에지마스크(30)와 하부 양극(2b) 사이를 통과하는 도금용액(9)의 유량이 커지게 되어, 하부 날개(220)의 상면과 충돌하는 도금용액(9)의 유량이 커짐으로써, 하부 날개(220)의 상면과 충돌하면서 하부 날개(220)를 하측으로 일정 정도 밀어내림에 따라, 종국적으로 에지마스크(30)를 두 개의 양극(2) 사이에 센터링시키면서 계속적으로 이를 유지할 수 있다.

결과적으로, 본 발명은 도금용액(9)의 유동력을 이용하는 센터링수단을 구비함으로써 에지마스크(30)를 두 개의 양극(2) 사이에서 센터링시킬 수 있고, 아울러 에지마스크(30)와 이송로드(40)가 회동연결수단에 의해 회동되게 연결됨으로써 에지마스크(30)의 센터링 과정에서 이송로드(40) 또는 에지마스크(30)와 이송로드(40)의 연결부위가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.

1 : 강판 2 : 양극
2a : 상부 양극 2b : 하부 양극
9 : 도금용액 30 : 에지마스크
40 : 이송로드 100 : 연결프레임
200 : 날개 210 : 상부 날개
220 : 하부 날개 300 : 유동힌지

Claims (10)

1. 삭제
2. 유체가 통과하는 유동통로가 사이에 형성되도록 서로 이격된 두 개의 유로형성부재; 두 개의 상기 유로형성부재 사이에 배치된 미들부재; 및 상기 유동통로에 배치되어 상기 유체의 유동력을 이용하여, 상기 미들부재를 두 개의 상기 유로형성부재 사이에서 센터링시키도록 구성되는 센터링수단;을 포함하고,
   상기 유체는 도금용액이고, 상기 유로형성부재는 강판을 전기도금하는 양극(anode)이고, 상기 미들부재는 강판의 에지부 과도금을 방지하는 에지마스크이며,
   상기 센터링수단은 상기 에지마스크에 연결프레임에 의해 연결되되 상기 도금용액의 유동통로에 배치되어, 상기 유동통로를 통과하는 상기 도금용액의 유동력에 의해 상기 도금용액의 유동량이 증가하는 방향으로 밀리면서 상기 에지마스크를 두 개의 상기 양극 사이에서 센터링시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유체유동을 이용한 센터링장치.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 센터링수단은,
   상기 양극과 에지마스크 사이를 통과하는 도금용액이 충돌하도록 상기 연결프레임에 설치되며, 충돌되는 상기 도금용액의 유동력에 의해 상기 에지마스크를 상기 양극 사이에서 센터링시키도록 형성된 날개;
   를 구비하는 것을 특징으로 하는 유체유동을 이용한 센터링장치.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 날개는, 두 개의 상기 양극 측에 각각 배치되며, 유동하는 상기 도금용액에 의해 상기 양극 측으로 밀리도록, 상기 도금용액이 충돌되게 경사진 것을 특징으로 하는 유체유동을 이용한 센터링장치.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 날개는, 근접된 상기 양극과의 갭이 상기 강판으로부터 멀어질수록 같거나 작아지도록 형성된 것을 특징으로 하는 유체유동을 이용한 센터링장치.
   
6. 제4항에 있어서,
   상기 날개는, 근접된 상기 양극 측으로 갈수록 상기 강판의 두께방향으로 테이퍼진 것을 특징으로 하는 유체유동을 이용한 센터링장치.
   
7. 제2항에 있어서,
   상기 에지마스크에 연결된 이송로드에 대해 상기 에지마스크가 회동되게 구성되는 회동연결수단;
   을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체유동을 이용한 센터링장치.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 회동연결수단은,
   일측에 상기 에지마스크가 회동되게 연결되고, 타측에 상기 이송로드가 회동되게 연결된 유동힌지인 것을 특징으로 하는 유체유동을 이용한 센터링장치.
   
9. 제2항에 있어서,
   두 개의 상기 양극은, 서로를 기준으로 상측에 배치된 상부 양극과 하측에 배치된 하부 양극인 것을 특징으로 하는 유체유동을 이용한 센터링장치.
   
10. 제2항 내지 제9항 중 어느 한 항의 유체유동을 이용한 센터링장치를 포함하는 전기도금설비.
    

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