KR101668466B1 - 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 유체 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

기체 공급 유닛이 개시되며, 상기 기체 공급 유닛은 외부로부터 기체가 유입되는 기체 유입구; 상기 기체 유입구를 통해 유입된 기체의 온도를 조절하는 온도 조절부; 상기 기체 유입구를 통해 유입된 기체의 습도를 조절하는 습도 조절부; 상기 온도 조절부 및 상기 습도 조절부를 통과한 기체를 배출하는 배출부; 및 상기 온도 조절부의 하측에 배치되는 드레인 수조 구조체를 포함하되, 상기 드레인 수조 구조체는, 수조; 상기 수조를 집수 구간 및 수위 감지 구간으로 분리하되, 상기 집수 구간의 수위와 상기 수위 감지 구간의 수위가 동일하게 유지되도록 하부에 상기 집수 구간과 상기 수위 감지 구간을 연통시키는 액체 이동용 개구부가 형성된 격벽; 및 상기 수위 감지 구간에 구비되어 상기 수조의 수위를 측정하는 감지 센서부를 포함한다.

Description

기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 유체 공급 장치{UNIT FOR SUPPLYING GAS AND APPARATUS FOR SUPPLYING FLUID USING THE SAME}
본원은 온도 및 습도가 조절되는 기체를 배출하는 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 유체 공급 장치에 관한 것이다.
포토리소그래피(photolithography) 공정은 기판 처리 시스템에 의해 수행된다. 일반적으로, 기판 처리 시스템은, 기판에 대한 포토리소그래피 공정을 수행하는 기판 처리 장치 및 포토리소그래피 공정이 적합한 온도 및 습도에서 수행되도록 기판 처리 장치에 온도 및 습도가 조절된 기체 및 냉각수를 공급하는 유체 공급 장치로 이루어진다.
이때, 유체 공급 장치는 기판 처리 장치의 하측에 위치하며, 외부로부터 유입된 기체의 온도 및 습도를 조절하여 기판 처리 장치에 공급하는 기체 공급 유닛 및 냉각수를 기체 공급 장치에 공급하는 액체 공급 유닛을 포함한다.
이러한 유체 공급 장치에 있어서, 기체 공급 유닛은, 외부로부터 기체가 유입되는 유입구 및 유입된 액체의 온도를 조절하는 온도 조절부를 포함한다. 또한, 기체 공급 유닛은, 온도 조절부를 거치는 기체가 온도 변화에 따라 액화됨으로써 발생되는 액체가 낙하할때, 낙하하는 액체가 수집되도록 드레인 수조를 포함하며, 드레인 수조에는 액체의 수위를 감지하는 감지 센서부를 포함한다.
그런데, 종래에는, 드레인 수조 내로 액체뿐만 아니라 이물질도 낙하하는바, 드레인 수조 내로 낙하한 이물질이 감지 센서부에 달라붙음으로써, 감지 센서부의 오작동 및 손상이 발생하는 문제가 있었다. 또한, 드레인 수조 내의 수면이 큰 폭으로 요동하는바, 감지 센서부가 오작동을 일으키는 문제가 있었다. 또한, 감지 센서부에 대한 수리 및 교체를 수행하기 위해서는 유체 공급 장치 전체의 가동을 중단해야 하는 문제가 있었다.
본원은 감지 센서부의 수명 및 내구성을 보장하고 감지 센서부의 오작동을 방지하며, 감지 센서부의 수리 및 교체를 용이하게 하는 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 유체 공급 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 기체 공급 유닛은, 외부로부터 기체가 유입되는 기체 유입구; 상기 기체 유입구를 통해 유입된 기체의 온도를 조절하는 온도 조절부; 상기 기체 유입구를 통해 유입된 기체의 습도를 조절하는 습도 조절부; 상기 온도 조절부 및 상기 습도 조절부를 통과한 기체를 배출하는 배출부; 및 상기 온도 조절부의 하측에 배치되는 드레인 수조 구조체를 포함하되, 상기 드레인 수조 구조체는, 수조; 상기 수조를 집수 구간 및 수위 감지 구간으로 분리하되, 상기 집수 구간의 수위와 상기 수위 감지 구간의 수위가 동일하게 유지되도록 하부에 상기 집수 구간과 상기 수위 감지 구간을 연통시키는 액체 이동용 개구부가 형성된 격벽; 및 상기 수위 감지 구간에 구비되어 상기 수조의 수위를 측정하는 감지 센서부를 포함할 수 있다.
또한, 본원의 제2 측면에 따른 유체 공급 장치는, 본원의 제1 측면에 따른 기체 공급 유닛; 및 온도가 조절된 액체를 배출하는 액체 공급 유닛을 포함할 수 있다.
전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 드레인 수조 구조체가, 격벽을 통해, 수조를 집수 구간 및 감지 센서부가 구비되는 수위 감지 구간으로 분리하되 집수 구간과 수위 감지 구간의 수위를 동일하게 유지시킴으로써, 감지 센서부의 수위 측정의 정확성을 향상시키고, 집수시 수조 내로 유입될 수 있는 이물질로부터 감지 센서부를 보호할 수 있다.
도 1은 본 기체 공급 유닛을 설명하기 위해 유체 공급 장치를 측면에서 바라본 개략적인 단면도이다.
도 2는 드레인 수조 구조체를 설명하기 위해 드레인 수조 구조체를 측면에서 바라본 개략적인 단면도이다.
도 3은 드레인 수조 구조체를 설명하기 위한 드레인 수조 구조체의 개략적인 사시도이다.
도 4는 온도 조절부를 설명하기 위해 유체 공급 장치를 정면에서 바라본 개략적인 내부도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 “상에” 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본원 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.
참고로, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 상부, 하측, 하부 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들어 도 1 및 도 2를 보았을 때 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 12시 방향을 향하는 부분이 상부, 전반적으로, 6시 방향이 하측, 전반적으로 6시 방향을 향하는 부분이 하부 등이 될 수 있다.
본원은 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 유체 공급 장치에 관한 것이다.
우선, 본원의 일 실시예에 따른 기체 공급 유닛(이하 '본 기체 공급 유닛'이라 함)(1)에 대해 설명한다.
도 1은 본 기체 공급 유닛을 설명하기 위해 유체 공급 장치를 측면에서 바라본 개략적인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 기체 공급 유닛(1)은 외부로부터 기체가 유입되는 기체 유입구(13), 기체 유입구(13)를 통해 유입된 기체의 온도를 조절하는 온도 조절부(15), 기체 유입구(13)를 통해 유입된 기체의 습도를 조절하는 습도 조절부(17), 온도 조절부(15) 및 습도 조절부(17)를 통과한 기체를 배출하는 배출부(19) 및 온도 조절부(15)의 하측에 배치되는 드레인 수조 구조체(11)를 포함한다.
도 1에 나타난 바와 같이, 기체 유입구(13)를 통과한 기체는 온도 조절부(15) 및 습도 조절부(17)를 거침으로써 온도 및 습도가 조절될 수 있다. 예시적으로, 도 1에 나타난 바와 같이, 습도 조절부(17)는 온도 조절부(15)의 상측에 배치될 수 있고, 기체는 온도 조절부(15) 및 습도 조절부(17)를 순차적으로 거침으로써, 온도 및 습도가 조절될 수 있다. 또한, 온도 및 습도가 조절된 기체는 배출부(19)를 거쳐 외부로 배출될 수 있다. 후술하겠지만, 배출된 기체는 예시적으로, 기판 처리 장치로 배출될 수 있다.
또한, 도 1을 참조하면, 기체 유입구(13)를 통해 유입된 기체는 온도 조절부(15)를 거치는 과정에서, 온도 변화에 따라 냉각될 수 있다. 냉각된 기체는 액화될 수 있으며, 액화된 기체는 드레인 수조 구조체(11)로 낙하할 수 있다. 즉, 드레인 수조 구조체(11)는 낙하하는 액체가 그 내부로 집수되도록, 온도 조절부(15)의 하측에 배치될 수 있다.
도 2는 드레인 수조 구조체를 설명하기 위해 드레인 수조 구조체를 측면에서 바라본 개략적인 단면도이고, 도 3은 드레인 수조 구조체를 설명하기 위한 드레인 수조 구조체의 개략적인 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 드레인 수조 구조체(11)는, 수조(111), 수조(111)를 집수 구간 및 수위 감지 구간으로 분리하되, 집수 구간의 수위와 수위 감지 구간의 수위가 동일하게 유지되도록 하부에 집수 구간과 수위 감지 구간을 연통시키는 액체 이동용 개구부(1131)가 형성된 격벽(113) 및 수위 감지 구간에 구비되어 수조의 수위를 측정하는 감지 센서부(117)를 포함한다.
도 2에 나타난 바와 같이, 드레인 수조 구조체(11)는, 온도 조절부(15)의 하부가 집수 구간의 상측에 위치하도록, 온도 조절부(15)의 하측에 구비될 수 있다. 이에 따라, 온도 조절부(15)로부터 낙하하는 액체가 집수 구간외의 영역으로 낙하하는 것이 방지될 수 있다.
또한, 집수 구간으로 낙하된 액체에 의해 수조(111)의 수위는 변화될 수 있다. 이때, 집수 구간으로 낙하한 액체는 액체 이동용 개구부(1131)를 통해 수위 감지 구간으로도 유입된다. 이에 따라, 집수 구간과 수위 감지 구간은 동일한 수위를 유지할 수 있다. 또한, 이러한 수위는 감지 센서부(117)에 의해 측정될 수 있다. 감지 센서부(117)는 수위를 측정하여, 수조(111)에 대한 액체의 범람을 감지할 수 있다.
또한, 격벽(113)은 이물질로부터 감지 센서부(117)를 보호할 수 있다.
예시적으로, 집수 구간 내로 이물질이 낙하할 수 있다. 그런데, 격벽(113)이 구비되지 않는다면, 수조(111) 내로 낙하한 이물질은 감지 센서부(117)에 접촉하여 감지 센서부(117)의 오작동을 발생시키거나, 감지 센서부(117)의 수명 및 내구성을 약화시킬 수 있다.
그러나, 본 기체 공급 유닛(1)에 의하면, 드레인 수조 구조체(11)가 집수 구간 및 감지 센서부(117)가 구비되는 수위 감지 구간을 구획하는 격벽(133)을 포함함으로써, 이물질이 수위 감지 구간으로 유입되는 것이 방지되어 이물질로부터 감지센서(17)가 보호될 수 있다. 이에 따라, 감지 센서부(117)의 수명 및 내구성을 보장할 수 있다.
즉, 격벽(113)은, 액체 이동용 개구부(1131)를 포함함으로써, 집수 구간과 수위 감지 구간의 수위를 동일하게 하여 감지 센서부(117)가 수조(111)의 수위를 측정하게 하면서, 수조(111)를 집수 구간 및 수위 감지 구간으로 구획함으로써 감지 센서부(117)를 보호할 수 있다.
특히, 도 2 및 도 3을 참조하면, 액체 이동용 개구부(1131)는 격벽(113)의 하면으로부터 미리 설정된 높이를 가지고 형성될 수 있다. 여기에서, 미리 설정된 높이는 수조(111)의 최소 수위보다 높은 높이일 수 있다.
예시적으로, 액체 이동용 개구부(1131)가 수조(111)의 최소 수위를 하회하는 높이로 형성된다면, 수위 감지 구간의 수위 변화에 따라, 집수 구간 내의 수면 상에서 표류하는 이물질이 수위 감지 구간으로 유입될 수 있고, 이에 따라, 이물질과 감지 센서부(117)의 접촉이 이루어져, 감지 센서부(117)의 내구성을 약화시키고 수명을 단축시킬 수 있다. 그러나, 본 기체 공급 유닛(1)에 의하면, 액체 이동용 개구부(1131)가 격벽(113)의 하면으로부터 수조(111)의 최소 수위보다 높은 높이로 형성됨으로써, 집수 구간 내의 이물질이 수위 감지 구간으로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
즉, 액체 이동용 개구부(1131)의 미리 설정된 높이라 함은, 집수 구간 내에서 표류하는 이물질이 액체 이동용 개구부(1131)를 통해 수위 감지 구간으로 유입되지 않도록, 수조(111)의 최소 수위를 상회하는 높이를 의미할 수 있다.
참고로, 이물질은 화학 물질, 먼지 등일 수 있다.
또한, 하면으로부터 형성된 액체 이동용 개구부(1131)를 포함하는 격벽(113)에 의해 집수 구간 및 수위 감지 구간이 분리됨으로써, 감지 센서부(117)의 수위 측정의 정확성은 향상될 수 있다. 예시적으로, 격벽(113)이 없다면, 수조 내로 다량의 액체가 갑자기 낙하하는 경우, 수조 내에 집수되어 있던 액체의 표면이 상하 방향으로 큰 폭을 가지고 요동할 수 있고, 이에 따라, 수위를 측정하는 감지 센서부의 수위 측정에 오차가 발생할 수 있다.
그러나, 본 기체 공급 유닛(1)에 의하면, 집수 구간으로 다량의 액체가 낙하하더라도, 수조(111)에 집수되어 있던 액체의 표면의 요동은 격벽(113)에 의해 집수 구간내로 국한될 수 있다. 다시 말해, 집수 구간으로 다량의 액체가 낙하하더라도, 수위 감지 구간 내의 액체의 표면은 정적일 수 있다. 이에 따라, 수위를 측정하는 감지 센서부의 수위 측정의 정확성이 향상될 수 있다.
또한, 도 3을 참조하면, 액체 이동용 개구부(1131)는 격벽(113)의 길이 방향을 따라 형성될 수 있다. 또한, 액체 이동용 개구부(1131)는 격벽(113)의 적어도 일부가 하면으로부터 상측 방향으로 함몰되는 형태로 형성될 수 있다. 예시적으로, 액체 이동용 개구부(1131)는, 도 3에 나타난 바와 같이, 격벽(113)의 하면 전체 영역이 격벽(113)의 길이 방향을 따라 상측 방향으로 함몰됨으로써 형성될 수 있다.
또한, 도 2 및 3을 참조하면, 드레인 수조 구조체(11)는, 수위 감지 구간에 한하여 수조(111)를 밀폐 또는 밀폐 해제시키는 덮개부(115)를 포함할 수 있다.
덮개부(115)를 통해, 수위 감지 구간으로 낙하하는 이물질로부터 감지 센서부(117)를 보호할 수 있다.
또한, 감지 센서부(117)의 수리 및 교체가 필요한 경우, 수위 감지 구간에 한하여 수조(111)를 밀폐 해제한 후, 감지 센서부(117)에 대한 수리 및 교체를 수행할 수 있다. 이에 따라, 감지 센서부(117)의 수리 및 교체가 용이하게 수행될 수 있다.
특히, 종래에는, 감지 센서부(117)에 대한 수리 및 교체를 위해 기체 공급 유닛, 기체 공급 유닛이 적용된 유체 공급 장치 등의 전원을 차단시켜야 했다. 그러나, 본 기체 공급 유닛(1)에 의하면, 감지 센서부(117)의 수리 및 교체가 필요한 경우, 수위 감지 구간에 한하여 수조(111)를 밀폐 해제해제시킨 후, 감지 센서부(117)에 대한 수리 및 교체를 수행하면 되므로, 본 기체 공급 유닛(1) 및 본 기체 공급 유닛(1)이 적용되는 장치의 전원을 차단시킬 필요가 없다.
또한, 감지 센서부(117)는 플로트 센서(float sensor)를 포함할 수 있다.
감지 센서부(117)는 복수의 플로트 센서를 포함할 수 있다. 또한, 감지 센서부(117)는 포함하는 플로트 센서의 개수에 따라, 제1 지점, 제2 지점 제3 지점 등에 대한 수위를 감지할 수 있다. 또한, 각각의 플로트 센서는 수조(111) 내의 수위 변화에 따라 승강하는 플로트, 플로트의 승강 이동을 안내하는 가이드, 플로트의 상측 및 하측에 배치되어 플로트의 승강에 따라 플로트와 접촉하는 상부 접점부와 하부 접점부를 포함할 수 있다. 플로트의 상부 접점부 및 하부 접점부 각각과의 접촉 여부에 따라 수조(111) 내의 액체의 수위가 측정될 수 있다.
또한, 도 2를 참조하면, 감지 센서부(117)의 적어도 일부는 수조(111)에 고정될 수 있다. 예시적으로, 도 2를 참조하면, 가이드의 일측은 수조(111)의 바닥면에 고정될 수 있다. 또한, 가이드의 타측은 수조(111)의 외측으로 연장되어 수조(111)의 외부에 구비된 부재에 고정될 수 있다.
또한, 수조(111)는 그 내부의 액체가 배출되는 배수구를 포함할 수 있다. 배수구에 의해 수조(111) 내로 낙하한 액체는 외부로 배출될 수 있다. 수조(111) 내의 액체의 배출은 수조(111) 내에 집수된 액체의 양이 일정량 이상되면 이루어질 수 있다. 또는, 수조(111) 내의 액체의 배출은, 수조(111) 내에 집수된 액체의 양이 항상 일정하게 유지되도록, 일정 속도로 지속적으로 이루어질 수 있다.
도 4는 온도 조절부를 설명하기 위해 유체 공급 장치를 정면에서 바라본 개략적인 내부도이다.
도 4를 참조하면, 온도 조절부(15)는 냉각기(151)를 포함할 수 있다.
기체 유입구(13)를 통해 유입된 기체는 냉각기(151)에 의해 그 온도가 저하될 수 있다. 이러한 온도 변화 과정에서 기체는 상술한 바와 같이, 액화될 수 있다.
또한, 습도 조절부(17)는 가습 구조체 및, 가습 구조체의 상측에 형성되어 기체가 통과하는 유로를 포함할 수 있다. 가습 구조체는, 상부가 개방되어 액체가 수용되는 가습조, 가습조 내의 액체를 가열하는 가열부를 포함할 수 있다.
이러한 습도 조절부(17)에 의하면, 가열부에 의해 가습조 내의 액체가 가열되어 증발되면, 증발된 액체는 가습조의 개방된 상부를 통해 유로로 전파되며, 유로로 전파된 액체는 유로를 통과하는 기체와 만나게될 수 있다. 이에 따라, 습도 조절부(17)를 통과하는 기체의 습도가 조절될 수 있다.
또한, 온도 조절부(15) 및 습도 조절부(17)를 통과한 기체는 온도 및 습도가 조절된 상태로 배출부(19)로 유입될 수 있다. 배출부(19)는 온도 및 습도가 조절된 기체를 외부로 배출시킬 수 있다. 예시적으로, 배출부(19)는 온도 및 습도가 조절된 기체를 기판 처리 장치로 배출할 수 있다. 또한, 예시적으로, 배출부(19)는 팬 및 팬을 구동시키는 모터를 포함할 수 있다.
또한, 배출부(19)는 온도 및 습도가 조절된 기체가 배출되는 토출 구조체를 포함할 수 있다. 토출 구조체는 기체 공급 유닛으로부터 온도 및 습도가 조절된 기체를 공급받는 메인 하우징, 메인 하우징의 상면에 형성되는 복수의 메인 토출구 및 메인 하우징의 측면에 형성되는 복수의 서브 토출구를 포함할 수 있다.
예시적으로, 메인 토출구 및 서브 토출구 각각은 메인 하우징으로부터 돌출 형성될 수 있다. 또한, 메인 토출구는 각각 다른 직경을 갖는 제1 타입 또는 제2 타입으로 형성될 수 있다. 또한, 서브 토출구는 각각 다른 직경을 갖는 제1 타입 또는 제2 타입으로 형성될 수 있다. 다만, 직경에 따른 타입의 개수는 본원에 한정되지 않는다. 예시적으로, 필요한 경우, 직경에 따라, 메인 토출구 및 서브 토출구 각각은 제1 타입, 제2 타입 및 제3 타입으로 형성될 수 있다.
또한, 메인 하우징의 서브 토출구가 형성된 측면 중 일부 측면은 제1 타입의 서브 토출구만 형성될 수 있다. 또한, 나머지 측면은 제2 타입의 서브 토출구만 형성될 수 있다.
또는, 다른 구현예로서, 메인 하우징의 서브 토출구가 형성되는 측면 각각은 하나 이상의 제1 타입의 서브 토출구 및 하나 이상의 제2 타입의 서브 토출구가 형성될 수 있다.
또한, 예시적으로, 토출 구조체의 메인 토출구 및 서브 토출구 중 적어도 하나는 본 기체 공급 유닛(1)이 배출하는 온도 및 습도가 조절된 기체를 공급받는 특정 장치로부터 연장된 배관과 연결될 수 있다. 즉, 본 기체 공급 유닛(1)이 배출하는 온도 및 습도가 조절된 기체는 토출 구조체 및 배관을 통해 특정 장치로 공급될 수 있다. 예시적으로, 특정 장치는 기판 처리 장치일 수 있다.
이하에서는 전술한 본원의 일 실시예에 따른 기체 공급 유닛(1)을 포함하는 본원의 일 실시예에 따른 유체 공급 장치(이하 '본 유체 공급 장치'라 함)(100)에 대해 설명한다. 다만, 앞서 살핀 본원의 일 실시예에 따른 기체 공급 유닛(1)에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.
본 유체 공급 장치(100)는 상술한 기체 공급 유닛(1) 및 온도가 조절된 액체를 배출하는 액체 공급 유닛(2)을 포함한다.
액체 공급 유닛(2)은 냉각수를 배출할 수 있다. 구체적으로, 액체 공급 유닛(2)은 외부로부터 액체를 유입 받아 유입된 액체의 온도를 낮춰 배출할 수 있다.
또한, 본 유체 공급 장치(100)가 배출한 기체 및 액체는 기판 처리 장치에 공급될 수 있다. 구체적으로 기체 공급 유닛(1)이 기판 처리 장치에 온도 및 습도가 조절된 기체를 공급할 수 있다. 또한, 액체 공급 유닛(2)이 기판 처리 장치에 액체를 공급할 수 있다.
전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 기체 공급 유닛 11: 드레인 수조 구조체
111: 수조 113: 격벽
1131: 액체 이동용 개구부 115: 덮개부
117: 감지 센서부 13: 기체 유입구
15: 온도 조절부 151: 냉각기
17: 습도 조절부 19: 배출부
2: 액체 공급 유닛 100: 유체 공급 장치

Claims (8)

  1. 포토리소그래피 공정을 수행하기 위한 기판처리장치에 포함되는 온도 및 습도가 조절된 기체를 공급하는 기체 공급 유닛에 있어서,
    외부로부터 기체가 유입되는 기체 유입구;
    상기 기체 유입구를 통해 유입된 기체의 온도를 조절하는 온도 조절부;
    상기 기체 유입구를 통해 유입된 기체의 습도를 조절하는 습도 조절부;
    상기 온도 조절부 및 상기 습도 조절부를 통과한 기체를 배출하는 배출부; 및
    상기 온도 조절부의 하측에 배치되는 드레인 수조 구조체를 포함하되,
    상기 드레인 수조 구조체는,
    수조;
    상기 수조를 상기 온도 조절부에서 낙하하는 액체를 수용하는 집수 구간 및 수위 감지 구간으로 분리하되, 상기 집수 구간의 수위와 상기 수위 감지 구간의 수위가 동일하게 유지되도록 하부에 상기 집수 구간과 상기 수위 감지 구간을 연통시키는 액체 이동용 개구부가 형성된 격벽;
    상기 집수 구간은 상부로 개방되고 상기 수위 감지 구간은 커버되도록, 상기 수조의 수위 감지 구간을 밀폐하는 덮개부; 및
    상기 수위 감지 구간의 덮개부 내에 구비되어 상기 수조의 수위를 측정하는 감지 센서부;를 포함하며,
    상기 덮개부는 상기 수위 감지 구간에 대하여 밀폐 해제 가능하도록 상기 수조에 설치되며,
    상기 액체 이동용 개구부는 상기 격벽의 하부에만 형성되되, 상기 격벽의 하면으로부터 미리 설정된 높이를 가지고 형성되고, 상기 미리 설정된 높이는 상기 수조의 미리 설정된 최소 수위에 대응하는 것인 기체 공급 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 액체 이동용 개구부는, 상기 격벽의 하면으로부터 미리 설정된 높이를 가지고 형성되는 기체 공급 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 미리 설정된 높이는,
    상기 수조의 최소 수위보다 높은 높이인 것인 기체 공급 유닛.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 감지 센서부는 플로트 센서(float sensor)를 포함하는 것인 기체 공급 유닛.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 온도 조절부는 냉각기를 포함하는 것인 기체 공급 유닛.
  8. 포토리소그래피 공정을 수행하기 위한 기판 처리 장치에 유체를 공급하는 유체 공급 장치에 있어서,
    제1항에 따른 기체 공급 유닛; 및
    온도가 조절된 액체를 배출하는 액체 공급 유닛을 포함하는 유체 공급 장치.
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