KR101663257B1 - Non-contact conveying device - Google Patents

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KR101663257B1
KR101663257B1 KR1020117008478A KR20117008478A KR101663257B1 KR 101663257 B1 KR101663257 B1 KR 101663257B1 KR 1020117008478 A KR1020117008478 A KR 1020117008478A KR 20117008478 A KR20117008478 A KR 20117008478A KR 101663257 B1 KR101663257 B1 KR 101663257B1
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히데오 오자와
코이치 츠노다
타카히로 야스다
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오일레스고교 가부시키가이샤
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Abstract

제조 비용이나 운전 비용이 증대하거나, 장치의 설치 장소에 제한을 받는 것을 회피하면서, 피반송물이 반송 레일의 이음매에 걸려서 반송 불량이 생기거나, 피반송물에 상처가 나는 것을 방지한다.
복수의 반송 레일(2)을 유리(3)의 반송 방향을 따라 배치하고, 유리(3)를 부상시키면서 반송하는 비접촉 반송 장치(1)이며, 반송 레일(2)의 단부 이외의 반송면에 설치되고, 선회류를 생기게 하여 유리(3)를 부상시키는 선회류 형성체(4a, 4b)와, 반송 레일(2)의 단부(2a)의 반송면에 설치되고, 반송 레일(2) 위에 반송되는 유리(3)의 단부(3a)가 이웃하는 반송 레일(2) 사이의 이음매 또는 그 근방에 도달했을 때, 유리(3)의 단부(3a)에 공기를 뿜어, 유리(3)의 단부(3a)를 부상시키는 상면에서 보아 가늘고 긴 형상의 분출 슬롯(6c)을 구비한다. It is possible to prevent the conveyed object from being caught by the joint of the conveying rail to cause defective conveyance or to cause damage to the conveyed object while avoiding an increase in manufacturing cost or operation cost or a restriction on the installation place of the apparatus.
Contact conveyance apparatus 1 for arranging a plurality of conveyance rails 2 along the conveying direction of the glass 3 and conveying the glass 3 while lifting the glass 3 is mounted on a conveyance surface other than the end of the conveyance rail 2 The swirling flow forming members 4a and 4b for causing the swirling flow to float the glass 3 and the swirling flow forming members 4a and 4b are provided on the conveying surface of the end 2a of the conveying rail 2 and conveyed onto the conveying rail 2 Air is blown to the end 3a of the glass 3 and the end 3a of the glass 3 reaches the end 3a of the glass 3 when the end 3a of the glass 3 reaches the joint between the adjacent conveying rails 2 or in the vicinity thereof And an ejection slot 6c having an elongated shape as seen from the upper surface floating up.

Figure 112011027313899-pct00001
Figure 112011027313899-pct00001

Description

비접촉 반송 장치{NON-CONTACT CONVEYING DEVICE}[0001] NON-CONTACT CONVEYING DEVICE [0002]

본 발명은 비접촉 반송 장치에 관한 것으로, 특히, 대형 FPD 패널이나 태양전지 패널 등의 부상 반송(浮上 搬送)에 사용하는 장치에 관한 것이다. More particularly, the present invention relates to a device used for floating transport of a large FPD panel or a solar cell panel.

종래, FPD 패널이나 태양전지 패널의 생산시에, 한 장의 패널을 대형화함으로써 생산 효율을 높이는 방법이 채용되고 있다. 예를 들면, 액정 유리의 경우에는, 제 10 세대로 2850×3050×0.7mm의 크기가 된다. 그 때문에, 종래와 같이, 복수개 나열된 롤러 위에 액정 패널을 태우고 롤러를 굴려 반송하면, 샤프트의 휨이나 롤러 높이의 편차에 의해 유리에 국부적으로 강한 힘이 작용하여, 유리를 상처 입힐 우려가 있다. 또한, 프로세스 공정에서는, 비접촉인 것이 요구되고 있기 때문에, 공기 부상 반송이 채용되기 시작하고 있다. Conventionally, a method of increasing production efficiency by enlarging a single panel at the time of producing an FPD panel or a solar cell panel has been employed. For example, in the case of a liquid crystal glass, the tenth generation has a size of 2850 x 3050 x 0.7 mm. Therefore, when the liquid crystal panel is mounted on a plurality of rollers and the rollers are rolled and conveyed as in the prior art, a strong force locally acts on the glass due to the warping of the shaft and the deviation of the roller height. Further, in the process step, since it is required to be in a non-contact state, air floating transfer is beginning to be employed.

공기 부상 반송 장치의 일례로서, 액정용의 유리를 부상시킴에 있어서, 작은 직경의 구멍을 복수개 설치하고, 이들 작은 직경의 구멍으로부터 공기가 분출하는 판 형상의 레일을 유리의 크기에 맞추어 복수개 서로 연결시켜 반송 장치를 구성하는 것이 행해지고 있다. 또, 다공질 카본을 레일재에 사용하고, 그 기공으로부터 공기를 분출시키는 방법도 존재한다. In order to float the glass for liquid crystal, a plurality of small-diameter holes are provided, and plate-like rails from which air is ejected from these small-diameter holes are connected to a plurality of Thereby constituting a transport apparatus. There is also a method in which porous carbon is used for a rail material and air is blown out from the pores.

그러나, 상기의 방법에서는, 1000×1000mm의 면적당의 공기 유량으로서, 다수 구멍 타입에서 250L/min, 카본 다공질 타입에서 150L/min을 요하여, 극히 많은 공기 유량이 요구된다. 또한 종래의 비접촉 반송 장치는, 진공흡착과 공기의 분출의 힘의 균형 원리를 이용하여 부상 높이의 정밀도를 유지하는데, 그 때, 진공흡착용에 항상 펌프를 운전할 필요가 있기 때문에, 막대한 에너지를 소비한다고 하는 문제도 있다. However, in the above-described method, an air flow rate per area of 1000 x 1000 mm requires an air flow rate of 250 L / min for the multi-hole type and 150 L / min for the carbon porous type, and an extremely large air flow rate is required. Further, in the conventional non-contact conveyance apparatus, the accuracy of the floating height is maintained by using the balance principle of the vacuum suction and the air ejection force. At this time, since it is necessary to always operate the pump for vacuum adsorption, There is also a problem.

그래서, 일본 특원 2008-75068호에 있어서, 본 출원인은, 부상 높이 정밀도를 높게 유지하면서, 공기 유량 및 에너지 소비량을 저감하기 위하여, 선회류(旋回流)를 이용한 비접촉 반송 장치를 제안했다. 이 비접촉 반송 장치는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍(61)과, 관통구멍(61) 내에 공기를 분출하여 선회류를 생기게 하는 유체 분출구(62)와, 유체 분출구(62)에 공기를 공급하는 둥근 고리 형상의 급기홈(63)을 갖는 선회류 형성체(64)를 구비한다. 그리고, 급기홈(63)에 공기를 공급하는 공기 공급로(65)가 설치된 기체(基體)(반송 레일)(66)의 표면에, 상기의 선회류 형성체(64)를 배치하여 반송 장치를 구성한다. In Japanese Patent Application No. 2008-75068, therefore, the present applicant has proposed a noncontact conveying apparatus using a swirling flow in order to reduce air flow rate and energy consumption while maintaining a high floating height accuracy. 10, the noncontact conveying apparatus includes a through-hole 61 having a circular cross section extending from the front surface to the back surface, a fluid jet port 62 for jetting air into the through hole 61 to generate a swirl flow, And a swirl flow forming body 64 having a circular annular supply groove 63 for supplying air to the fluid jet port 62. The above-described swirl flow former 64 is disposed on the surface of a substrate (transferring rail) 66 provided with an air supply path 65 for supplying air to the air supply groove 63, .

상기 비접촉 반송 장치에 의하면, 선회류 형성체(64)의 표면측에 상방을 향하는 상승 선회류를 발생시킴으로써 피반송물(유리)(67)를 부상시키고, 그것에 의하여, 종래의 1/2 정도의 공기 유량으로의 반송을 가능하게 한다. 그 한편으로, 관통구멍(61)의 개구부 근방에 부압에 의한 하방으로의 공기류를 생기게 하고, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 발휘시킨다. 이것에 의해, 진공흡착용의 펌프를 불필요로 하고, 에너지 소비량을 저감한다. According to the noncontact transportation device, the object to be transported (glass) 67 is lifted by generating upward swirling flow directed upward on the surface side of the swirl flow former 64, Thereby enabling conveyance to a flow rate. On the other hand, an air flow downward due to a negative pressure is generated in the vicinity of the opening of the through hole 61, and an effect equivalent to vacuum adsorption for maintaining the floating height accuracy is exhibited. As a result, the pump for vacuum adsorption is unnecessary, and the energy consumption is reduced.

상기 비접촉 반송 장치를 사용하여, FPD 패널이나 태양전지 패널 등의 대형 패널을 반송하는 경우, 도 11에 도시하는 바와 같이, 표면상에 다수의 선회류 형성체(64)를 설치한 복수의 반송 레일(66)을 병렬로 배치하여 반송 레인을 구성하고, 피반송물(67)을 부상시키면서 이동시켜 간다. In the case of transporting a large panel such as an FPD panel or a solar cell panel using the non-contact transportation device, as shown in Fig. 11, a plurality of conveying rails (66) are arranged in parallel to constitute a conveyance lane, and the conveyed object (67) is moved while being lifted.

그런데, 상기 반송 레인에 있어서, 피반송물(67)의 반송 거리를 연장시키는 경우에는, 반송 레일(66)을 피반송물(67)의 반송 방향으로 덧붙여서 거리를 연장하게 되는데, 그 때, 도 12에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(66)의 이음매에 단차(71)가 생기거나, 반송 레일(66) 사이의 간극(72)이 커지면, 피반송물(67)이 반송 레일(66)의 이음매를 뛰어넘을 수 없고, 도중에 걸려 반송 불량이 생기거나, 피반송물(67)에 상처가 날 우려가 있다. When the conveyance distance of the conveyed object 67 is extended in the conveyance lane, the conveyance rail 66 is added in the conveying direction of the conveyed object 67 to extend the distance. At this time, As shown in the figure, when the step 71 is formed on the joint of the conveying rail 66 or the gap 72 between the conveying rails 66 becomes larger, the conveyed object 67 moves the joint of the conveying rail 66 It can not be overcome, and it may be caught on the way to cause defective conveyance, or the conveyed object 67 may be scratched.

이 때문에, 반송 레일(66)의 설치에 있어서는, 레일 간의 이음매에 생기는 단차(71) 및 간극(72)의 각각을 허용값 내(예를 들면, 1000×1000×0.7(두께)mm의 유리에서 부상량이 300㎛인 경우에는, 단차(71)를 100㎛ 이내, 간극(72)을 30mm 이내)에 들어가게 하는 것이 요구된다. 그러나, 이 경우, 반송 레일(66)을 고정밀도로 가공할 필요가 생기기 때문에, 반송 장치의 제조비용이 증대할 우려가 있고, 또한 설치 장소의 조건에 따라서는, 반송 레일(66)의 가공정밀도에 관계없이, 이음매의 단차 등을 허용치 내에 들어가게 할 수 없는 경우가 있다. For this reason, in the installation of the conveyance rail 66, each of the stepped portion 71 and the gap 72 formed in the joints between the rails is set to be within a permissible value (for example, 1000 x 1000 x 0.7 When the floating amount is 300 mu m, it is required to make the step difference 71 within 100 mu m and the gap 72 within 30 mm. In this case, however, it is necessary to process the conveying rail 66 with high precision, so that the manufacturing cost of the conveying device may increase, and depending on the condition of the installation place, the processing accuracy of the conveying rail 66 There is a case that the step of the joint or the like can not be made to fall within the allowable value.

상기의 문제를 해결하는 방법의 하나로서, 선회류 형성체(64)로부터의 상승 선회류를 증대하고, 피반송물(67) 전체의 부상량을 크게 하는 것을 생각할 수 있는데, 이 경우, 선회류 형성체(64)로의 공기 공급량을 증가할 필요가 있기 때문에, 운전 비용의 앙등을 초대한다고 하는 문제가 있다. As one method for solving the above problem, it is conceivable to increase the upward swirling flow from the swirling flow former 64 and increase the float amount of the entire conveyed object 67. In this case, It is necessary to increase the amount of air supplied to the sieve 64, so there is a problem that invigorating the operation cost is invited.

또한 다른 방법으로서, 도 13에 도시하는 바와 같이, 병렬 배치되는 반송 레일(66a∼66c) 사이에서 이음매의 위치를 비켜 놓고, 피반송물(67)이 양 옆의 반송 레일(66a, 66c)의 이음매에 위치할 때, 중앙의 반송 레일(66b)에 의해 피반송물(67)의 단부를 부상시키는 안이 있는데, 설치 장소나 대형 장치의 분할 설계의 제약상, 그와 같이 반송 레일(66)을 배치할 수 없는 경우가 있어, 반드시 만전하다고는 할 수 없다. 13, the positions of the joints between the conveying rails 66a to 66c arranged in parallel are displaced, and the conveyed object 67 is conveyed by the joints of the conveying rails 66a, 66c on both sides The end of the conveyed object 67 may float up by the central conveying rail 66b. However, due to restrictions on the installation site or the partitioning design of the large apparatus, the conveying rail 66 There is case not to be able to do, and it is not necessarily complete.

그래서, 본 발명은, 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 제조 비용이나 운전 비용이 증대하거나, 장치의 설치장소에 제한을 받는 것을 회피하면서, 피반송물이 반송 레일의 이음매에 걸려서 반송 불량이 생기거나, 피반송물에 상처가 나는 것을 방지하는 것이 가능한 비접촉 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for manufacturing a conveying apparatus which avoids an increase in manufacturing cost, operation cost, And it is an object of the present invention to provide a non-contact conveyance device capable of preventing a wound from being transported.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 복수의 반송 레일을 피반송물의 반송 방향을 따라 배치하고, 이 복수의 반송 레일 위에서 이 피반송물을 부상시키면서 반송하는 비접촉 반송 장치이며, 상기 반송 레일의 단부 이외의 반송면에 설치되고, 상승 선회류를 생기게 하여 상기 피반송물을 부상시키는 제 1 유체 분출 수단과, 상기 반송 레일의 단부의 반송면에 설치되고, 이 반송 레일 위에 반송되는 피반송물의 단부가, 이웃하는 상기 반송 레일 사이의 이음매 또는 그 근방에 도달했을 때, 이 피반송물의 단부에 유체를 뿜어, 이 피반송물의 단부를 부상시키는 제 2 유체 분출 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention is a non-contact conveying apparatus in which a plurality of conveying rails are arranged along a conveying direction of a conveyed object, and the conveying object is conveyed while floating on the conveying rails, A first fluid ejecting means provided on a conveying surface of the conveying rail for causing the conveyed object to float so as to generate a swirling flow; and a second fluid ejecting means provided on the conveying surface of the end portion of the conveying rail, And second fluid ejecting means for ejecting a fluid to an end portion of the conveyed object when the conveyed object reaches a vicinity of or at a joint between the adjacent conveyor rails to float the end portion of the conveyed object.

그리고, 본 발명에 의하면, 반송 레일의 단부에 제 2 유체 분출 수단을 설치하기 때문에, 반송 레일 위에 반송되는 피반송물의 단부가 반송 레일 사이의 이음매에 접근했을 때, 피반송물의 단부를 부상시킬 수 있어, 피반송물이 반송 레일 사이의 이음매의 단차나 간극을 용이하게 뛰어넘는 것이 가능하게 된다. 이 때문에, 반송 레일을 설치할 때의 이음매의 단차 및 간극의 허용값을 완화할 수 있어, 비접촉 반송 장치의 제조 비용이 증대하거나, 장치의 설치 장소에 제한을 받는 것을 회피하는 것이 가능하게 된다. 또, 피반송물 전체의 부상량을 크게 하는 것이 아니고, 반송 레일의 이음매에 위치하는 부분에만 부상력을 부여함으로써 반송 레일 사이의 뛰어넘기의 개선을 도모하기 위하여, 펌프로부터의 공기량을 증대할 필요가 없어, 운전 비용의 증대를 초래하지도 않는다. According to the present invention, since the second fluid ejecting means is provided at the end portion of the conveying rail, when the end portion of the conveyed object conveyed on the conveying rail approaches the joint between the conveying rails, the end portion of the conveyed object can be floated So that the conveyed object can easily jump over the step or gap of the joint between the conveying rails. Therefore, it is possible to alleviate the allowable value of the step and clearance of the seam at the time of installing the conveyance rail, thereby making it possible to avoid the increase in the manufacturing cost of the noncontact conveying apparatus and the restriction of the installation place of the apparatus. It is also necessary to increase the amount of air from the pump in order to improve the leap between the conveying rails by imparting a levitation force only to the portion of the conveying rail located at the seam, instead of increasing the floating amount of the entire conveyed object There is no increase in the operating cost.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단을, 상기 반송 레일의 단부에서, 이 반송 레일의 반송면으로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 상면에서 보아 세로로 긴 형상의 분출 슬롯으로 할 수 있다. 이것에 의하면, 제 2 유체 분출 수단에 공급되는 유체를 압축하면서 분출할 수 있기 때문에, 피반송물의 단부에 충분한 부상력을 부여할 수 있어, 피반송물의 단부를 적절하게 부상시키는 것이 가능하게 된다. In the non-contact conveyance device, the second fluid ejecting means may be formed into a longitudinally elongated ejection slot at the end of the conveyance rail as seen from the upper surface that ejects fluid upward from the conveyance surface of the conveyance rail . With this configuration, since the fluid supplied to the second fluid jetting means can be jetted while being compressed, a sufficient float force can be applied to the end portion of the conveyed object, and the end portion of the conveyed object can be floated properly.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단을 상기 피반송물의 단면에 대하여 비스듬히 교차하도록 배치할 수 있다. 이것에 의하면, 제 2 유체 분출 수단으로부터의 유체를 피반송물의 단부에 뿜었을 때, 피반송물의 상방에 소용돌이 기류가 발생하는 것을 억제할 수 있어, 피반송물이 상하로 진동하는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다. In the non-contact conveyance device, the second fluid ejecting means may be disposed so as to cross obliquely with respect to the end face of the conveyed object. According to this, when the fluid from the second fluid jetting means is blown onto the end portion of the conveyed object, it is possible to suppress the generation of a swirling airflow above the conveyed object, and it is possible to inhibit the conveyed object from oscillating up and down .

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단과 상기 피반송물의 단면이 이루는 각도를 10° 이하로 할 수 있다. 이러한 각도를 10° 이상으로 함으로써, 발생하는 소용돌이 기류가 약해져, 피반송물이 진동하는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다. In the non-contact conveying device, the angle formed by the cross section of the second fluid jetting means and the conveyed object can be set to 10 degrees or less. By setting the angle to 10 degrees or more, the generated vortex flow is weakened, and it becomes possible to suppress the oscillation of the conveyed object.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단과 상기 피반송물의 단면이 이루는 각도를 10° 이상 45° 이하로 할 수 있다. 이러한 각도가 10° 이상의 경우에는, 상기한 바와 같이, 피반송물의 진동을 억제할 수 있고, 또, 이 효과는 각도가 90° 가까이 될 때까지 계속된다. 그러나, 이 각도가 크면 클수록, 길이방향으로의 돌출량이 커지기 때문에, 배치, 부착상의 스페이스를 필요로 하는 결점이 생긴다. 이 점을 고려하면, 제 2 유체 분출 수단과 피반송물의 단면이 이루는 각도는 45° 이하로 억제하는 것이 바람직하다. In the non-contact conveyance device, an angle formed by the cross section of the second fluid jetting means and the conveyed object can be set to 10 ° or more and 45 ° or less. When the angle is 10 DEG or more, as described above, the vibration of the conveyed object can be suppressed, and the effect continues until the angle becomes close to 90 DEG. However, the larger this angle is, the larger the amount of projection in the longitudinal direction becomes, so that there arises a drawback that space for arrangement and attachment is required. Taking this into consideration, it is preferable that the angle formed by the cross section of the second fluid jetting means and the conveyed object is suppressed to 45 degrees or less.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 1 유체 분출 수단이, 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍을 갖는 링 형상 부재의 이면에, 유체 분출구를 구비하고, 이 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 이 링 형상 부재의 표면측에 이 표면으로부터 떨어지는 방향으로 향하는 선회류를 생기게 함과 아울러, 이 링 형상 부재의 표면측의 상기 관통구멍의 개구부 근방에 상기 이면방향으로의 유체 흐름을 발생시키도록 구성할 수 있다. In the non-contact conveyance device, the first fluid ejection means includes a fluid ejection port on the back surface of a ring-shaped member having a circular cross-section through hole penetrating from the front surface to the back surface, and ejecting fluid from the fluid ejection port, Shaped member in the vicinity of the opening of the through-hole on the front surface side of the ring-shaped member so as to generate a fluid flow in the back-surface direction, can do.

상기 구성에 의하면, 유체 분출구로부터 유체를 분출시켜, 링 형상 부재의 표면측에, 이 표면으로부터 떨어지는 방향으로의 유체 흐름 및 선회류를 발생시켜 피반송물을 부상시키기 때문에, 종래의 1/2 정도의 100L/min 정도의 적은 유체 유량으로의 반송이 가능하게 된다. 또한 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 링 형상 부재 표면측의 관통구멍의 개구부 근방에 이면 방향으로의 유체 흐름을 생기게 함으로써, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 얻을 수 있기 때문에, 진공흡착용의 펌프가 불필요하게 되어, 에너지 소비량도 낮게 억제할 수 있다. According to the above configuration, since the fluid is jetted from the fluid jetting port to generate fluid flow and swirling flow in the direction away from the surface of the ring-shaped member to float the conveyed object, It is possible to carry the fluid at a small fluid flow rate of about 100 L / min. Further, by ejecting the fluid from the fluid ejection port, the fluid flow in the backward direction is generated in the vicinity of the opening of the through hole on the side of the ring-shaped member surface, so that the effect equivalent to the vacuum adsorption for maintaining the floating height accuracy can be obtained. The pump for adsorption becomes unnecessary, and the energy consumption can be suppressed to be low.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 제 1 유체 분출 수단이 상기 반송 레일의 반송면에 2열에 걸쳐 각 열에 복수개 배치되고, 일방의 열에 속하는 제 1 유체 분출 수단의 각각의 선회류의 방향과, 타방의 열에 속하는 제 1 유체 분출 수단의 각각의 선회류의 방향이 서로 상이하도록 구성할 수 있다. 이 구성에 의해, 인접하는 열의 이웃하는 제 1 유체 분출 수단으로부터의 선회류가 증강되어 제 1 유체 분출 수단으로부터 분출하는 유체에 의해 피반송물을 부상시키면서 반송할 수 있다. In the non-contact conveyance device, a plurality of the first fluid ejecting means are arranged in two rows on the conveying surface of the conveying rail, and the direction of each swirling flow of the first fluid ejecting means belonging to one of the rows and the direction And the directions of the swirling flows of the first fluid ejecting means belonging to the row are different from each other. With this configuration, the swirling flow from the neighboring first fluid ejection means in adjacent rows is enhanced, and the conveyed matter can be conveyed while being lifted by the fluid ejected from the first fluid ejection means.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 제조 비용이나 운전 비용이 증대하거나, 장치의 설치 장소에 제한을 받는 것을 회피하면서, 피반송물이 반송 레일의 이음매에 걸려서 반송 불량이 발생하거나, 피반송물에 상처가 나는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. Industrial Applicability As described above, according to the present invention, it is possible to prevent the increase of the manufacturing cost and the operation cost, or the restriction of the installation place of the apparatus, while avoiding the conveyance of the conveyed object to the joint of the conveyance rail, It becomes possible to prevent things from happening.

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 1 실시형태를 도시하는 평면도.
도 2는 도 1의 선회류 형성체를 도시하는 도면으로, (a)는 평면도, (b)는 (a)의 B-B선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 C-C선 단면도, (e)는 선회류 형성체의 이면을 (c)에 나타내는 선회류 형성체의 이면과 좌우대칭이 되도록 형성한 경우를 나타내는 하면도.
도 3은 도 1의 선회류 형성체를 반송 레일에 설치한 상태를 도시하는 도면으로, (a)는 정면 단면도, (b)는 (a)의 E-E선 단면도.
도 4(a)는 도 1의 영역(A)의 확대도, (b)는 (a)의 F-F선 단면도.
도 5는 반송 레일 사이의 이음매에 있어서의 유리의 반송 상태를 도시하는 도면.
도 6은 유리의 상방에서의 소용돌이 기류의 발생 상황을 도시하는 도면.
도 7은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 2 실시형태를 도시하는 평면도.
도 8(a)는 도 7의 영역(G)의 확대도, (b)는 (a)의 사시도.
도 9는 반송 레일 사이의 이음매에 있어서의 유리의 반송 상태를 도시하는 도면.
도 10은 종래의 비접촉 반송 장치를 도시하는 단면도.
도 11은 종래의 비접촉 반송 장치를 도시하는 평면도.
도 12는 반송 레일 사이의 이음매에 있어서의 유리의 반송 상태를 나타내는 도면.
도 13은 종래의 비접촉 반송 장치를 도시하는 평면도.1 is a plan view showing a first embodiment of a noncontact carrying apparatus according to the present invention;
(A) is a plan view, (b) is a sectional view taken along line BB in (a), (c) is a bottom view, (E) is a bottom view showing a case in which the back surface of the swirling flow former is formed so as to be bilaterally symmetrical with the back surface of the swirling flow former shown in (c).
Fig. 3 is a view showing a state in which the vortical flow forming body of Fig. 1 is provided on a conveying rail, wherein Fig. 3 (a) is a front sectional view and Fig. 3 (b) is a sectional view taken along line EE of Fig.
Fig. 4 (a) is an enlarged view of the area A of Fig. 1, and Fig. 4 (b) is a sectional view of the FF line of Fig.
5 is a view showing a conveying state of the glass in the joint between the conveying rails;
6 is a view showing a state of occurrence of a swirling airflow above the glass.
7 is a plan view showing a second embodiment of the noncontact transportation device according to the present invention.
Fig. 8 (a) is an enlarged view of a region G in Fig. 7, and Fig. 8 (b) is a perspective view of (a).
9 is a view showing the conveying state of the glass in the joint between the conveying rails;
10 is a cross-sectional view showing a conventional non-contact conveying apparatus;
11 is a plan view showing a conventional non-contact conveying apparatus.
12 is a view showing a conveying state of the glass in the joint between the conveying rails;
13 is a plan view showing a conventional non-contact conveying apparatus.

다음에 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 반송용 유체로서 공기를 사용하고, 피반송물로서 액정용의 유리(3)를 반송할 경우를 예로 들어 설명한다. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the case where air is used as the transporting fluid and the glass 3 for liquid crystal is transported as the transported material will be described as an example.

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 1 실시형태를 나타내고, 이 비접촉 반송 장치(1)는, 유리(3)의 반송 방향으로 연장되는 각기둥 형상의 반송 레일(2)을, 유리(3)의 반송 방향 및 이 반송 방향과 직교하는 방향으로 나란하게 배치하여 구성된다. 1, the non-contact conveying apparatus 1 according to the present invention is a non-contact conveying apparatus 1 in which a rectangular-shaped conveying rail 2 extending in the conveying direction of the glass 3 is placed on the glass 3 ) And in a direction orthogonal to the conveying direction.

각 반송 레일(2)의 표면 위에는, 복수의 선회류 형성체(4a, 4b)가 2열에 걸쳐 설치되고, 이들 선회류 형성체(4a, 4b)는 도 10에 도시하는 선회류 형성체(64)와 동일한 것이다. 각 선회류 형성체(4)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 표면으로부터 이면으로 관통하는 관통구멍(41)과, 도 2(c) 및 (d)에 도시하는 바와 같이, 이면에, 공기통로로서의 오목부(42)와, 오목부(42)로부터의 공기를 관통구멍(41)의 내주면 근방에, 내주면에 대하여 접선방향으로 분출하기 위한 분출구(44)를 1쌍 구비한다. A plurality of vortical flow forming members 4a and 4b are provided over two rows on the surface of each conveying rail 2 and these vortical flow forming members 4a and 4b are formed on the surface of the vortical flow forming member 64 ). As shown in Fig. 2, each of the vortical flow forming bodies 4 has a through hole 41 penetrating from the surface to the back surface, and a through hole 41 formed on the back surface of the vortex flow forming body 4 as shown in Figs. 2 (c) A pair of air outlets 44 for blowing air from the recess 42 in the vicinity of the inner circumferential surface of the through hole 41 in the tangential direction with respect to the inner circumferential surface are provided.

한편, 반송 레일(2)의 표면(반송면)에는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 후술하는 급기 경로(5a, 5b)를 통하여 공기가 공급되는 관통구멍(45)과, 관통구멍(45)으로부터의 공기를 선회류 형성체(4a, 4b)의 이면에 설치된 오목부(42)(도 2 참조)에 공급하기 위한 평면에서 보아 원형상의 환상 홈(46)이 설치된다. 또한 반송 레일(2)의 내부에는, 도 4(a)에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(2)의 장축을 따라 배치되고, 펌프(도시하지 않음)로부터 공급되는 공기를 반송하기 위한 2개의 급기 경로(5a, 5b)가 설치된다. 3, a through hole 45 through which air is supplied through the air supply passages 5a and 5b to be described later and a through hole 45 through which the air is supplied are formed on the surface (conveying surface) (See FIG. 2) provided on the back surface of the vortical flow forming bodies 4a, 4b, as shown in FIG. As shown in Fig. 4 (a), in the interior of the conveying rail 2, two feeders (not shown) disposed along the longitudinal axis of the conveying rail 2 for conveying air supplied from a pump Paths 5a and 5b are provided.

또한, 도 4(a), (b)에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(2)의 일방의 단부(2a)에는, 복수의 부착 나사(6a)를 통하여 판 형상의 슬롯 플레이트(6)가 고착되고, 그 내부에는, 급기 경로(5a, 5b)와 연속하도록 배치된 오목부(공기 경로)(6b)와, 오목부(6b)의 상부로부터 반송 레일(2)의 표면을 향하여 뻗는 상면에서 보아 가늘고 긴 분출 슬롯(6c)이 설치된다. 이들 오목부(6b) 및 분출 슬롯(6c)은 반송 레일(2)의 단부(2a)에서 상방으로의 공기류를 생기게 하기 위하여 갖추어진다. 여기에서, 분출 슬롯(6c)의 길이(L)는 급기 경로(5a, 5b)의 직경보다도 크게 형성된다. 또, 분출 슬롯(6c)의 폭(D1)은, 오목부(6b)를 통하여 공급되는 공기를 압축하여 불어 내기(분출하기) 위해, 오목부(6b)의 폭(깊이)(D2)보다도 작게 형성되고, 구체적으로는 0.1mm 이하로 하는 것이 바람직하다. 4 (a) and 4 (b), a plate-shaped slot plate 6 is fixed to one end portion 2a of the conveying rail 2 through a plurality of attachment screws 6a (Air path) 6b which is arranged so as to be continuous with the air supply passages 5a and 5b and a recessed portion 6b which is formed in the upper surface extending from the upper portion of the concave portion 6b toward the surface of the conveyance rail 2 An elongated ejection slot 6c is provided. The concave portion 6b and the ejection slot 6c are provided so as to generate airflow upward from the end portion 2a of the conveyance rail 2. [ Here, the length L of the ejection slot 6c is formed to be larger than the diameter of the air supply passages 5a and 5b. The width D1 of the ejection slot 6c is set to be smaller than the width D2 of the concave portion 6b because the air supplied through the concave portion 6b is compressed and blown out Specifically, 0.1 mm or less.

다음에 상기 비접촉 반송 장치의 동작에 대하여, 도 1∼도 5를 참조하면서 설명한다. Next, the operation of the contactless carrier will be described with reference to Figs. 1 to 5. Fig.

도 3에 도시하는 바와 같이, 펌프로부터 반송 레일(2)의 급기 경로(5a, 5b)에 공급된 공기는, 관통구멍(45)을 통하여 환상 홈(46)에 공급되고, 환상 홈(46)으로부터 선회류 형성체(4a, 4b)의 오목부(42)에 공급되고, 분출구(44)로부터 관통구멍(41)에 분출한다. 이것에 의해, 선회류 형성체(4a, 4b)의 상방에 상승 선회류를 발생시켜, 이 선회류로 유리(3)를 부상시킨다. 또한 분출구(44)로부터 공기를 분출함으로써, 선회류 형성체(4a, 4b)의 관통구멍(41)의 중앙부(관통구멍(41)의 개구부 근방)에 부압(負壓)에 의한 이면 방향으로의 공기 흐름을 생기게 하여, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 얻을 수 있다. 3, the air supplied from the pump to the air supply passages 5a, 5b of the delivery rail 2 is supplied to the annular groove 46 through the through hole 45, To the recessed portion 42 of the swirl flow former 4a and 4b and is ejected from the ejection port 44 to the through hole 41. [ As a result, a swirling flow is generated above the swirling flow forming members 4a and 4b, and the glass 3 is floated by this swirling flow. The air is blown out from the air blow-out port 44 and the air is blown out from the air blow-out port 44 to the central portion of the through hole 41 of the vortical flow former 4a, 4b (in the vicinity of the opening of the through hole 41) It is possible to obtain an effect equivalent to that of vacuum adsorption for maintaining the floating height accuracy by causing an air flow.

또, 선회류 형성체(4a, 4b)의 선회류는 서로 역방향이며, 도 1의 지면상에서 상하좌우로 선회류 형성체(4a, 4b)를 번갈아 배치했기 때문에, 각각의 선회류 형성체(4a, 4b)가 형성한 선회류의 수평 분력이 상쇄된다. 이것에 의해, 선회류에 의해 유리(3)에 부가되는 힘은, 부상력 및 흡인력의 2개의 연직성분의 힘만으로 되어, 유리(3)의 회전을 확실하게 방지할 수 있다. Since the vortex flows of the vortex flow forming bodies 4a and 4b are opposite to each other and the vortex flow forming bodies 4a and 4b are arranged alternately on the upper, , 4b are canceled by the horizontal component of the swirling flow. As a result, the force added to the glass 3 by the swirling flow is only the force of two vertical components of the lifting force and the suction force, and the rotation of the glass 3 can be reliably prevented.

이렇게 하여 부상한 유리(3)는, 도시하지 않은 리니어 모터, 마찰 롤러, 벨트 등에 의해 반송 구동력이 부여되어, 도 1에 도시하는 화살표 방향으로 반송된다. 그리고, 유리(3)의 단부(3a)가 반송 레일(2)의 이음매에 접근하면, 슬롯 플레이트(6)의 분출 슬롯(6c)으로부터 분출하는 공기가 유리(3)의 이면에 뿜어져, 유리(3)의 단부(3a)에 부상력이 부여된다. 그 결과, 도 5에 도시하는 바와 같이, 유리(3)의 단부(3a) 및 그 근방 영역이 부상하여, 반송 레일(2)의 이음매의 단차(2c) 및 반송 레일(2) 사이의 간극(2d)을 유리(3)가 용이하게 뛰어넘을 수 있다. The glass 3 lifted in this manner is conveyed in the direction of the arrow shown in Fig. 1 by a conveying driving force given by a linear motor, a friction roller, a belt or the like (not shown). When the end 3a of the glass 3 approaches the joint of the conveying rail 2, the air ejected from the ejection slot 6c of the slot plate 6 is blown to the back surface of the glass 3, A lifting force is applied to the end 3a of the base 3. As a result, as shown in Fig. 5, the end 3a of the glass 3 and the area in the vicinity of the end 3a are lifted so that the step 2c of the joint of the conveying rail 2 and the gap 2d can be easily jumped over the glass 3.

이 때문에, 반송 레일(2)을 설치할 때의 단차(2c) 및 간극(2d)의 허용값을 완화할 수 있어, 비접촉 반송 장치의 제조 비용이 증대하거나, 장치의 설치 장소에 제한을 받는 것을 회피하는 것이 가능하게 된다. 또한 유리(3) 전체의 부상량을 크게 하는 것이 아니고, 반송 레일(2)의 이음매에 위치하는 부분에만 부상력을 부여함으로써 반송 레일(2) 사이의 뛰어넘기의 개선을 도모하기 때문에, 펌프로부터의 공기량을 증대할 필요가 없어, 운전 비용의 증대를 초대하지도 않는다. Therefore, it is possible to alleviate the allowable values of the steps 2c and 2d when the conveying rail 2 is installed, thereby avoiding an increase in the manufacturing cost of the noncontact conveying apparatus or a restriction on the installation place of the apparatus . In addition, not to increase the floatation amount of the entire glass 3, but to improve the jump-over between the transport rails 2 by applying the float force only to the portion of the transport rail 2 located at the seam of the transport rail 2, It is not necessary to increase the air amount of the air conditioner and does not invite an increase in operating cost.

또한, 상기 실시형태에서는, 유체로서 공기를 사용하는 경우에 대하여 설명했지만, 공기 이외의 질소 등의 프로세스 가스를 사용할 수도 있다. 또한 반송 레일(2) 사이의 이음매에서 유리(3)의 단부(3a)를 부상시키는 수단으로서, 상면에서 보아 가늘고 긴 형상의 분출 슬롯(6c)을 설치했지만, 상면에서 보아 타원 형상 등의 관통구멍을 설치하거나, 복수의 작은 관통구멍을 직선상에 나란하게 뚫어 설치하도록 해도 된다. In the above embodiment, the case where air is used as a fluid has been described, but a process gas such as nitrogen other than air may also be used. In addition, although the ejection slots 6c having an elongated shape as viewed from the upper surface are provided as means for lifting the end 3a of the glass 3 from the joint between the conveying rails 2, Or a plurality of small through-holes may be provided in parallel to each other in a straight line.

또한, 상기 실시형태에서는, 반송 레일(2)의 단부(2a)에 슬롯 플레이트(6)를 부설한 뒤에 분출 슬롯(6c)을 형성하지만, 슬롯 플레이트(6)를 부설하지 않고, 반송 레일(2)의 단부(2a)에서, 반송 레일(2)의 표면(반송면)으로부터 내부의 급기 경로(5a, 5b)에 연결되는 관통구멍을 뚫어 설치해도 된다. In the above embodiment, the slot 6c is formed after the slot plate 6 is laid on the end 2a of the transport rail 2, but the slot 6 is not provided on the transport rail 2 A through hole connected to the internal air supply passages 5a and 5b may be provided from the front surface (conveying surface) of the conveying rail 2 at the end 2a of the conveying rail 2.

도 7은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 2 실시형태를 도시하는 평면도이며, 도 8은 도 7의 영역(G)의 확대도이다. 또한, 이들 도면에 있어서, 앞의 도 1∼도 5와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다. Fig. 7 is a plan view showing a second embodiment of the non-contact transportation device according to the present invention, and Fig. 8 is an enlarged view of the area G in Fig. In these drawings, the same constituent elements as those of the preceding figures 1 to 5 are denoted by the same reference numerals, and a description thereof is omitted.

제 1 실시형태의 비접촉 반송 장치(1)에서는, 분출 슬롯(6c)을 반송 레일(2)의 단면(2b)을 따라 배치하기 때문에(도 4(a) 참조), 유리(3)의 반송처측의 단면(3b)(도 1, 도 5 참조)과 분출 슬롯(6c)이 평행한 위치관계가 된다. 이 경우, 도 6에 도시하는 바와 같이, 유리(3)의 상방에 소용돌이 기류가 발생하기 쉬워져, 유리(3)를 상하로 진동시키는 경우가 있다. Contact transportation device 1 of the first embodiment is arranged so that the ejection slots 6c are arranged along the end face 2b of the conveyance rail 2 (see Fig. 4 (a)), The cross-section 3b (see Figs. 1 and 5) and the ejection slot 6c are in a parallel positional relationship. In this case, as shown in Fig. 6, a vortex flow is likely to occur above the glass 3, and the glass 3 may be vibrated up and down.

그래서, 본 실시형태의 비접촉 반송 장치(10)에서는, 도 7 및 도 8에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(2)과 슬롯 플레이트(6) 사이에 상면에서 보아 직각 삼각형의 사각(斜角) 블록(7)을 배치하고, 분출 슬롯(6c)을 유리(3)의 반송처측의 단면(3b)에 대하여 비스듬히 교차시킨다(슬롯 플레이트(6)의 배치면(7c)을 반송 레일(2)의 단면(2b)에 대하여 비스듬히 배치함). 또한, 사각 블록(7)의 내부에는, 도 8(a)에 도시하는 바와 같이, 반송 레일(2) 내의 급기 경로(5a, 5b)와 슬롯 플레이트(6) 내의 오목부(6b)를 연결시키는 급기 경로(7a, 7b)가 설치되고, 또한 슬롯 플레이트(6)의 배치면(7c)에는, 슬롯 플레이트(6)를 나사고정 하기 위한 복수의 부착구멍(도시하지 않음)이 설치된다. 7 and 8, the noncontact conveying apparatus 10 according to the present embodiment is provided with a rectangular cross-section between a conveying rail 2 and a slot plate 6, And the jetting slot 6c is obliquely intersected with the end face 3b of the conveying target side of the glass 3 (the placing face 7c of the slot plate 6 is placed on the end face of the conveying rail 2) (2b). As shown in Fig. 8 (a), in the rectangular block 7, the air supply passages 5a and 5b in the conveying rail 2 are connected to the concave portion 6b in the slot plate 6 And a plurality of attachment holes (not shown) for screwing the slot plate 6 are provided on the placement surface 7c of the slot plate 6. [

상기 비접촉 반송 장치(10)에서는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 유리(3)의 단부(3a)가 반송 레일(2)의 이음매에 접근했을 때, 유리(3)와 분출 슬롯(6c)이 비스듬히 교차하는 상태에서, 유리(3)의 이면에 공기가 뿜어진다. 이 경우, 한번에 소용돌이 기류가 발생하지 않기 때문에 진동을 발생시키는 힘은 약하여, 유리(3)의 상방에서의 소용돌이 기류의 발생이 경감된다. 이것에 의해, 유리(3)가 상하로 진동하는 것을 억제할 수 있어, 보다 원활하게 반송 레일(2)의 이음매를 이동시키는 것이 가능하게 된다. 9, when the end 3a of the glass 3 approaches the joint of the conveying rail 2, the glass 3 and the ejection slot 6c are in contact with each other Air is blown to the back surface of the glass 3 in a state of obliquely intersecting. In this case, since no eddy current is generated at once, the force for generating the vibration is weak, so that the generation of the eddy currents above the glass 3 is reduced. As a result, the glass 3 can be prevented from vibrating up and down, and it becomes possible to more smoothly move the joints of the transport rails 2.

여기에서, 유리(3)의 단면(3b)에 대한 분출 슬롯(6c)의 설치각도(θ)(도 8(a) 참조)는 10° 이상으로 하는 것이 바람직하다. 각도(θ)가 10° 미만인 경우에는, 소용돌이 기류의 영향이 커, 진동이 발생하기 쉬워질 우려가 있다. 한편, 각도(θ)가 10° 이상의 경우에는, 소용돌이 기류의 영향이 작아져 진동의 발생을 경감할 수 있다고 하는 이점을 갖는다. 이 이점은 각도(θ)가 90°가까이 될 때까지 계속되지만, 그 반면, 각도(θ)가 크면 클수록, 사각 블록(7)의 길이 방향으로의 돌출량이 커진다. 이 때문에, 배치, 부착상의 스페이스를 필요로 하는 결점이 생기고, 이 점을 고려하면, 각도(θ)는 45° 이하로 억제하는 것이 바람직하다. 따라서, 유리(3)의 단면(3b)에 대한 분출 슬롯(6c)의 설치각도(θ)는 10° 이상으로 하는 것이 바람직하고, 10° 이상 45° 이하로 하는 것이 더욱 바람직하다. Here, it is preferable that the installation angle [theta] (see FIG. 8 (a)) of the ejection slot 6c with respect to the end face 3b of the glass 3 is 10 degrees or more. When the angle [theta] is less than 10 [deg.], The influence of the eddy current is large, and vibration is likely to occur. On the other hand, when the angle &thetas; is 10 DEG or more, the effect of the eddy current is reduced, and the occurrence of vibration can be reduced. This advantage continues until the angle [theta] becomes close to 90 [deg.], While the larger the angle [theta], the larger the projecting amount of the rectangular block 7 in the longitudinal direction becomes. Therefore, there arises a drawback that space for arrangement and attachment is required, and in consideration of this point, it is preferable to suppress the angle? To 45 degrees or less. Therefore, the installation angle? Of the ejection slot 6c with respect to the end face 3b of the glass 3 is preferably 10 degrees or more, more preferably 10 degrees or more and 45 degrees or less.

또한, 본 실시형태에서도, 제 1 실시형태와 같이 유체로서 공기 이외의 프로세스 가스를 사용할 수 있고, 또한 분출 슬롯(6c) 대신에 상면에서 보아 타원 형상의 관통구멍 등을 사용할 수 있고, 또한, 슬롯 플레이트(6)를 부설하지 않고, 사각 블록(7)의 표면으로부터 내부의 급기 경로(7a, 7b)에 연결되는 관통구멍을 사각 블록(7)에 뚫어 설치해도 된다. Also in the present embodiment, a process gas other than air can be used as a fluid as a fluid as in the first embodiment, and instead of the jetting slot 6c, an elliptical through hole or the like as viewed from the upper surface can be used, A through hole connected from the surface of the rectangular block 7 to the internal supply paths 7a and 7b may be formed in the square block 7 without installing the plate 6. [

1 비접촉 반송 장치
2 반송 레일
2a 단부
2b 단면
2c 단차
2d 간극
3 유리
3a 단부
3b 단면
4(4a , 4b) 선회류 형성체
5(5a , 5b) 급기 경로
6 슬롯 플레이트
6a 부착 나사
6b 오목부
6c 분출 슬롯
7 사각 블록
7a, 7b 급기 경로
7c 슬롯 플레이트의 배치면
10 비접촉 반송 장치
41 관통구멍
42 오목부
44 분출구
45 관통구멍
46 환상 홈1 non-contact conveying device
2 conveying rail
2a end
2b section
2c step
2d clearance
3 Glass
3a end
3b Section
4 (4a, 4b) swirl flow forming body
5 (5a, 5b) Supply path
6 slot plate
6a Mounting screw
6b concave portion
6c ejection slot
7 square blocks
7a, 7b Supply path
7c The placement surface of the slot plate
10 Non-contact carrier
41 through hole
42 concave portion
Exit 44
45 through hole
46 Annular groove

Claims (7)

복수의 반송 레일을 피반송물의 반송 방향을 따라 배치하고, 이 복수의 반송 레일 위에서 이 피반송물을 부상시키면서 반송하는 비접촉 반송 장치로서,
상기 반송 레일의 단부 이외의 반송면에 설치되고, 상승 선회류를 생기게 하여 상기 피반송물을 부상시키는 제 1 유체 분출 수단과,
상기 반송 레일의 단부의 반송면에 설치되고, 이 반송 레일 위에 반송되는 피반송물의 단부가, 이웃하는 상기 반송 레일 사이의 이음매 또는 그 근방에 도달했을 때, 이 피반송물의 단부에 유체를 뿜어, 이 피반송물의 단부를 부상시키는 제 2 유체 분출 수단을 구비하고,
상기 제 2 유체 분출 수단은 상기 반송 방향과 수직한 상기 피반송물의 단면에 대하여 수평으로 비스듬히 교차하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.There is provided a non-contact conveying apparatus in which a plurality of conveying rails are arranged along a conveying direction of a conveyed object, and the conveyed objects are conveyed while being lifted on the conveying rails,
First fluid ejecting means provided on a conveying surface other than the end portion of the conveying rail for causing the conveyed object to float by causing a swirling flow,
Wherein when the end portion of the conveyed object conveyed on the conveying rail reaches a joint between adjacent conveying rails or in the vicinity thereof, a fluid is blown to an end portion of the conveyed object, And a second fluid ejecting means for floating the end portion of the transported object,
Wherein the second fluid ejecting means is disposed so as to cross obliquely horizontally with respect to an end face of the conveyed object perpendicular to the conveying direction. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단은, 상기 반송 레일의 단부에서, 이 반송 레일의 반송면으로부터 상방을 향하여 유체를 분출하는 상면에서 보아 소정 길이로 연장된 형상의 분출 슬롯인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The fluid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the second fluid ejection means is an ejection slot having a shape elongated by a predetermined length from an upper surface of the conveying rail which ejects a fluid upward from the conveying surface of the conveying rail Contact carrier. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단과 상기 반송 방향과 수직한 상기 피반송물의 단면이 수평으로 이루는 각도가 10° 이상인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying device according to claim 1, wherein an angle formed between the second fluid ejecting means and the cross section of the conveyed object perpendicular to the conveying direction is 10 degrees or more. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 유체 분출 수단과 상기 반송 방향과 수직한 상기 피반송물의 단면이 수평으로 이루는 각도가 10° 이상 45° 이하인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The non-contact conveying apparatus according to claim 1, wherein an angle formed between the second fluid ejecting means and the cross section of the conveyed object perpendicular to the conveying direction is 10 ° or more and 45 ° or less. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 유체 분출 수단은, 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍을 갖는 링 형상 부재의 이면에, 유체 분출구를 구비하고, 이 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 이 링 형상 부재의 표면측에 이 표면으로부터 떨어지는 방향을 향하는 선회류를 생기게 함과 아울러, 이 링 형상 부재의 표면측의 상기 관통구멍의 개구부 근방에 상기 이면 방향으로의 유체 흐름을 생기게 하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.The fluid ejecting apparatus according to claim 1 or 2, wherein the first fluid ejecting means includes a fluid ejecting port on a back surface of a ring-shaped member having a circular cross-section through hole penetrating from the front surface to the back surface, The ring-shaped member is provided with a swirling flow directed to a direction away from the surface of the ring-shaped member, and a fluid flow in the backward direction is generated in the vicinity of the opening of the through hole on the surface side of the ring- Contact carrier. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 유체 분출 수단은 상기 반송 레일의 반송면에 2열에 걸쳐 각 열에 복수개 배치되고, 일방의 열에 속하는 제 1 유체 분출 수단의 각각의 선회류의 방향과, 타방의 열에 속하는 제 1 유체 분출 수단의 각각의 선회류의 방향이 서로 다른 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
The fluid ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the first fluid ejecting means is disposed in a plurality of rows in two rows on the conveying surface of the conveying rail, and the direction of each swirling flow of the first fluid ejecting means belonging to one of the columns , And the directions of the swirling flows of the first fluid ejecting means belonging to the other row are different from each other.
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