KR101658152B1 - Apparatus and method of fabricating flat display device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판과 임프린팅용 몰드의 분리를 용이하게 실시 할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 상기 기판과 합착되는 임프린팅용 몰드와, 상기 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 흡착패드와, 상기 각 흡착패드와 체결되어 상기 기판과 상기 임프린팅용 몰드를 합착 및 분리 시키는 다수의 진공핀을 구비하고, 상기 다수의 진공핀 중 적어도 하나는 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an apparatus and a method for manufacturing a flat panel display device capable of easily separating a substrate and an imprinting mold, and more particularly, to a mold for imprinting which is bonded to the substrate to form a thin film pattern on the substrate, A plurality of vacuum pads coupled to each of the suction pads to adhere and separate the substrate and the imprinting mold, and at least one of the plurality of vacuum pins Is capable of being inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad.

Description

평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING FLAT DISPLAY DEVICE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an apparatus and a method for manufacturing a flat panel display device,

본 발명은 기판과 임프린팅용 몰드의 분리를 용이하게 실시 할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for manufacturing a flat panel display device capable of easily separating a substrate and a mold for imprinting.

최근 임프린트용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 평판 표시 소자의 박막을 형성할 수 있는 연구가 진행되고 있다.Recently, research is being conducted to form a thin film of a flat panel display device through a patterning process using an imprint mold.

이러한 패터닝 공정은 다음과 같은 순서로 진행된다. 먼저, 기판 상에 액상 수지를 도포한 후 홈과 돌출부를 가지는 임프린트용 몰드와 액상 고분자 전구체를 접촉시킨다. 그러면, 임프린트용 몰드의 홈과 돌출부가 액상 고분자 전구체에 반전전사된다. 그리고 경화 공정을 통해 반전전사된 액상 고분자 전구체를 경화시킴으로써 기판 상에 원하는 박막 패턴이 형성된다.This patterning process proceeds in the following order. First, a liquid resin is coated on a substrate, and then the imprint mold having grooves and protrusions is brought into contact with the liquid polymer precursor. Then, the grooves and protrusions of the imprint mold are reversely transferred to the liquid polymer precursor. And a desired thin film pattern is formed on the substrate by curing the reversed-transferred liquid polymer precursor through a curing process.

여기서, 박막 패턴이 형성된 후 임프린트용 몰드와 기판을 분리하는 공정이 필수적이다. 이를 위해, 종래에는 임프린팅용 몰드를 기판보다 크게 형성하였다. 이 경우, 기판이 대면적으로 갈수록 임프린트용 몰드의 크기가 커지기 때문에 임프린트 몰드의 수급이 어렵다. 또한, 대면적으로 갈수록 기판과 임프린트용 몰드의 분리에 필요한 거리가 증가함으로써 임프린트용 몰드의 파손 가능성이 높아지는 문제점이 있다. 이를 개선하기 위해, 임프린팅용 몰드와 기판의 크기를 동일하게 형성하였다. 이 경우, 임프린팅용 몰드의 크기는 줄어들지만 임프린팅용 몰드와 기판을 분리하기 위해 높은 기계적인 힘이 필요한 문제점이 있다.Here, after the thin film pattern is formed, a step of separating the imprint mold from the substrate is essential. For this purpose, a mold for imprinting has conventionally been formed larger than the substrate. In this case, since the size of the imprint mold becomes larger as the substrate becomes larger, it is difficult to supply and receive the imprint mold. In addition, there is a problem that the possibility of breakage of the imprint mold increases because the distance required to separate the substrate and the imprint mold increases as the area increases. In order to improve this, the imprinting mold and the substrate are formed to have the same size. In this case, although the size of the imprinting mold is reduced, there is a problem that a high mechanical force is required to separate the imprinting mold and the substrate.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판과 임프린팅용 몰드의 분리를 용이하게 실시할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an apparatus and method for manufacturing a flat panel display device capable of easily separating a substrate and an imprinting mold from each other.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치는 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 상기 기판과 합착되는 임프린팅용 몰드와, 상기 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 흡착패드와, 상기 각 흡착패드와 체결되어 상기 기판과 상기 임프린팅용 몰드를 분리 시키는 다수의 진공핀을 구비하고, 상기 다수의 진공핀 중 적어도 하나는 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a flat panel display device, including: a mold for imprinting, the mold being bonded to the substrate to form a thin film pattern on the substrate; And a plurality of vacuum pins fastened to the respective absorption pads and separating the substrate from the imprinting mold, wherein at least one of the plurality of vacuum fins is perpendicular to the bottom surface of the absorption pad And can be inclined at a predetermined angle in the direction of the arrow.

상기 다수의 진공핀은 상기 임프린팅용 몰드의 외곽 영역을 진공흡착하는 상기 흡착패드를 체결하는 제 1 진공핀과, 상기 임프린팅용 몰드의 가운데 영역을 진공흡착하는 상기 흡착패드를 체결하는 제 2 진공핀을 구비하고, 상기 제 1 진공핀은 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 한다.The plurality of vacuum fins may include a first vacuum pin for clamping the adsorption pad for vacuum-absorbing an outer region of the imprinting mold, and a second vacuum pin for clamping the adsorption pad for vacuum- And the first vacuum pin may be inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad.

상기 제 1 진공핀은 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 5 ~ 45도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 한다.And the first vacuum pin can be inclined by 5 to 45 degrees in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad.

상기 제 2 진공핀은 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향으로 고정되거나 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 한다.The second vacuum pin may be fixed in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad or may be inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad.

상기 다수의 흡착패드는 원형 또는 다각형의 형태를 가진 것을 특징으로 한다.The plurality of adsorption pads may have a circular or polygonal shape.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 소자의 제조방법은 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 돌출부와 홈을 가지는 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 합착하는 단계와, 상기 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 흡착패드와 상기 각 흡착패드와 체결된 다수의 진공핀을 이용해 상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계를 포함하고, 상기 다수의 진공핀 중 적어도 하나는 상기 기판의 수직 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a flat panel display device, the method comprising: attaching a substrate for imprinting having protrusions and grooves to a thin film pattern on a substrate; And separating the imprinting mold and the substrate using a plurality of adsorption pads for vacuum adsorbing the imprinting mold and a plurality of vacuum fins coupled to the adsorption pads, At least one of which can be inclined at a predetermined angle in the vertical direction of the substrate.

상기 다수의 진공핀은 상기 임프린팅용 몰드의 외곽 영역을 진공흡착하는 상기 흡착패드를 체결하는 제 1 진공핀과, 상기 임프린팅용 몰드의 가운데 영역을 진공흡착하는 상기 흡착패드를 체결하는 제 2 진공핀을 구비하고, 상기 제 1 진공핀은 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 한다.The plurality of vacuum fins may include a first vacuum pin for clamping the adsorption pad for vacuum-absorbing an outer region of the imprinting mold, and a second vacuum pin for clamping the adsorption pad for vacuum- And the first vacuum pin may be inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad.

상기 제 2 진공핀은 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향으로 고정되거나 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 한다.The second vacuum pin may be fixed in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad or may be inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad.

상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계는 상기 기판으로부터 상기 임프린팅용 몰드를 적어도 하나의 외곽영역에서 가운데 영역으로 순차적으로 분리하는 것을 특징으로 한다.Wherein the step of separating the imprinting mold and the substrate sequentially separates the imprinting mold from the at least one outline area to the center area from the substrate.

상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계는 상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판의 측면에서 N2가스를 불어주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The step of separating the imprinting mold and the substrate includes a step of blowing N 2 gas at the side of the imprinting mold and the substrate.

본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법은 임프린팅용 몰드의 외곽 영역을 진공흡착하는 흡착패드를 체결하는 제 1 진공핀과, 임프린팅용 몰드의 가운데 영역을 진공흡착하는 흡착패드를 체결하는 제 2 진공핀을 구비한다.An apparatus and method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention includes a first vacuum pin for clamping an adsorption pad for vacuum-absorbing an outer region of an imprinting mold, and a vacuum pad for vacuum-adsorbing a center region of the imprinting mold And a second vacuum pin.

이때, 제 1 진공핀은 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있다. 이에 따라, 기판과 임프린팅용 몰드의 분리시 임프린팅용 몰드의 가장자리는 제 1 진공핀이 기울어진 방향으로 전단력(shear force)이 발생하게 된다. 이러한 전단력은 제 1 진공핀이 기울어진 방향으로 발생되므로 수직 방향으로 임프린팅용 몰드를 분리하는 것보다 적은 힘으로 기판과 임프린팅용 몰드를 분리할 수 있다. 또한, 기판과 임프린팅용 몰드의 분리시 필요한 힘이 줄어들면 임프린팅용 몰드의 파손을 줄일 수 있다.At this time, the first vacuum pin can be inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad. Accordingly, when the substrate and the imprinting mold are separated from each other, the edge of the imprinting mold is subjected to a shear force in a direction in which the first vacuum pin is inclined. Since the shearing force is generated in a direction in which the first vacuum pin is inclined, the substrate and the imprinting mold can be separated from each other with a smaller force than that of separating the imprinting mold in the vertical direction. In addition, when the force required to separate the substrate and the imprinting mold is reduced, breakage of the imprinting mold can be reduced.

또한, 임프린팅용 몰드의 크기에 관계없이 제 1 진공핀을 이용해 기판으로부터 임프린팅용 몰드를 적어도 하나의 외곽영역에서 가운데 영역으로 순차적으로 분리하므로 기판 및 장비의 대형화가 유리하다.In addition, regardless of the size of the imprinting mold, the mold for imprinting is sequentially separated from at least one outer area to the middle area using the first vacuum pin, so that it is advantageous to enlarge the size of the substrate and equipment.

또한, 기판으로부터 임프린팅용 몰드의 분리 시간이 감소되므로 공정 시간을 줄일 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.Further, since the separation time of the imprinting mold from the substrate is reduced, the process time can be shortened and the productivity can be improved.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 임프린팅용 제조 장치를 나타내는 단면도.
도 2는 제 1 진공핀을 이용해 기판과 임프린팅용 몰드를 분리한 실험도면.
도 3a 내지 도 3c는 도 1에 도시된 임프린팅용 제조 장치를 이용한 박막 패턴의 제조 방법을 나타낸 단면도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판과 임프린팅용 몰드의 분리 방법을 나타낸 단면도.
도 5는 도 3a 내지 도 3c의 제조 방법에 의해 형성된 박막 패턴을 가지는 액정 표시 패널을 나타내는 사시도.1 is a sectional view showing a manufacturing apparatus for imprinting according to an embodiment of the present invention;
2 is an experimental drawing in which a substrate and an imprinting mold are separated using a first vacuum pin.
FIGS. 3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a thin film pattern using the imprinting apparatus shown in FIG. 1;
4 is a cross-sectional view illustrating a method of separating a substrate and an imprinting mold according to another embodiment of the present invention.
Fig. 5 is a perspective view showing a liquid crystal display panel having a thin film pattern formed by the manufacturing method of Figs. 3a to 3c. Fig.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an apparatus and method for manufacturing a flat panel display device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 임프린팅용 제조 장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a manufacturing apparatus for imprinting according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 임프린팅용 제조 장치는 박막 패턴(6)이 형성되는 기판(4)이 안착되는 스테이지(2)와, 박막 패턴(6)을 형성하는 임프린팅용 몰드(12)와, 임프린팅용 몰드(12)를 진공흡착하는 다수의 흡착패드(14)와 체결된 다수의 진공핀(15, 16)을 구비한다.1, a manufacturing apparatus for imprinting according to an embodiment of the present invention includes a stage 2 on which a substrate 4 on which a thin film pattern 6 is formed is placed, And a plurality of vacuum pins 15 and 16 fastened to a plurality of adsorption pads 14 for vacuum adsorption of the imprinting mold 12.

스테이지(2)는 진공 라인(20)을 통해 기판(4)을 흡착/고정한다. 기판(4) 상에는 임프린팅용 몰드(12)에 의해 가압/접촉됨으로써 패터닝 되는 박막 패턴(6)이 형성된다. 이러한 박막 패턴(6)은 임프린팅용 몰드(12)의 홈과 돌출부 각각과 반전전사된 형태로 형성된다.The stage 2 sucks / fixes the substrate 4 through the vacuum line 20. [ A thin film pattern 6 is formed on the substrate 4 by being pressed / contacted by the imprinting mold 12 to be patterned. The thin film pattern 6 is formed in a reversed transfer form with each of the groove and the protrusion of the imprinting mold 12.

임프린팅용 몰드(12)는 박막 패턴(6)을 형성하기 위한 홈과 돌출부를 구비한 몰드부(8)와, 몰드부(8)를 지지하는 백플레인(10)을 구비한다.The imprinting mold 12 includes a mold section 8 having a groove and a protrusion for forming the thin film pattern 6 and a backplane 10 for supporting the mold section 8.

다수의 흡착패드(14)는 임프린팅용 몰드(12)를 진공흡착함으로써 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)를 분리한다. 이러한 다수의 흡착패드(14)는 고무재질을 이용하여 원형 또는 다각형 등의 형태로 형성된다.A plurality of adsorption pads 14 separate the substrate 4 and the imprinting mold 12 by vacuum adsorption of the imprinting mold 12. The plurality of adsorption pads 14 are formed in a circular or polygonal shape using a rubber material.

다수의 진공핀(15, 16)은 각 흡착패드(14)를 체결해서 승강시킨다. 이때, 다수의 진공핀(15, 16)이 상승하면 임프린팅용 몰드(12)가 기판(4)으로부터 분리된다. 이러한, 다수의 진공핀(15, 16)은 임프린팅용 몰드(12)의 외곽 영역을 진공흡착하는 흡착패드(14)를 체결하는 제 1 진공핀(16)과, 임프린팅용 몰드(12)의 가운데 영역을 진공흡착하는 흡착패드(14)를 체결하는 제 2 진공핀(15)을 구비한다.A plurality of vacuum pins (15, 16) clamp and lift each adsorption pad (14). At this time, when the plurality of vacuum pins 15 and 16 rise, the imprinting mold 12 is separated from the substrate 4. The plurality of vacuum fins 15 and 16 includes a first vacuum pin 16 for clamping an adsorption pad 14 for vacuum adsorption to an outer region of the imprinting mold 12, And a second vacuum pin 15 for tightening an adsorption pad 14 for vacuum-adsorbing the center region of the vacuum pad.

제 1 진공핀(16)은 흡착패드(14)의 밑면과 수직한 방향에서 5 ~ 45도(θ) 기울어 질 수 있다. 이에 따라, 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 임프린팅용 몰드(12)의 가장자리는 제 1 진공핀(16)이 기울어진 방향으로 전단력(shear force)이 발생하게 된다. 이러한 전단력은 제 1 진공핀(16)이 기울어진 방향으로 발생되므로 수직 방향으로 임프린팅용 몰드(12)를 분리하는 것보다 적은 힘으로 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)를 분리할 수 있다. 여기서 진공핀(16)이 기울어지는 방향에 대해 도 2를 참조하여 설명하기로 한다.The first vacuum pin 16 can be inclined by 5 to 45 degrees in the direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad 14. [ Accordingly, when the substrate 4 and the imprinting mold 12 are separated from each other, the edge of the imprinting mold 12 generates a shear force in a direction in which the first vacuum pin 16 is inclined. This shearing force is generated in a direction in which the first vacuum pin 16 is inclined, so that the substrate 4 and the imprinting mold 12 are separated from each other with a smaller force than that of separating the imprinting mold 12 in the vertical direction . Herein, the direction in which the vacuum pin 16 tilts will be described with reference to FIG.

방향direction 제 1 진공핀의 기울기The slope of the first vacuum pin 15 도15 degrees 30 도30 degrees AA NN NN BB NN 3.8 kgf3.8 kgf CC NN NN

도 2는 제 1 진공핀(16)을 이용해 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)를 분리한 실험도면이다. 그리고, 표 1은 도 2의 실험데이터를 나타낸 것으로 5kgf 까지 힘을 가해도 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)가 분리되지 않으면 N을 표기하였다.FIG. 2 is an experimental drawing in which the substrate 4 and the imprinting mold 12 are separated using the first vacuum pin 16. Table 1 shows experimental data of FIG. 2, in which N is indicated if the substrate 4 and the mold 12 for imprinting can not be separated even if a force of 5 kgf is applied.

먼저, 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)는 수직방향으로 5kgf 까지 힘을 가해도 분리되지 않는다. 그리고 도 2 및 표 1을 참조하면, 임프린팅용 몰드(12)의 엣지부에서 제 1 진공핀(16)을 수평방향(A)으로 각각 15도, 30도 기울인 상태에서 5kgf 까지 힘을 가해도 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)는 분리되지 않는다. 또한, 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에서 제 1 진공핀(16)을 수평방향(C)으로 각각 15도, 30도 기울인 상태에서 5kgf 까지 힘을 가해도 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)는 분리되지 않는다. 반면, 임프린팅용 몰드(12)의 엣지부에서 제 1 진공핀(16)을 대각선 방향(B)으로 30도 기울인 상태에서 3.8kgf의 힘을 가할 경우 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)가 분리된 것을 알 수 있다.First, the substrate 4 and the imprinting mold 12 are not separated even when a force of 5 kgf is applied in the vertical direction. Referring to FIG. 2 and Table 1, when the first vacuum pin 16 is tilted at 15 degrees and 30 degrees in the horizontal direction (A) at an edge portion of the imprinting mold 12 to 5 kgf The substrate 4 and the imprinting mold 12 are not separated. The first vacuum pin 16 is inclined at an angle of 15 degrees and 30 degrees in the horizontal direction C from the edge of the imprinting mold 12 to a force of 5 kgf, (12) are not separated. On the other hand, when a force of 3.8 kgf is applied in a state where the first vacuum pin 16 is inclined at 30 degrees in the diagonal direction B at the edge of the imprinting mold 12, the substrate 4 and the imprinting mold 12 ) Are separated from each other.

이와 같이 제 1 진공핀(16)이 기울어진 방향으로 전단력이 발생됨으로써 수직 방향으로 임프린팅용 몰드(12)를 분리하는 것보다 적은 힘으로 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)를 분리할 수 있다. 또한, 제 1 진공핀(16)은 임프린팅용 몰드(12)의 엣지부에서 대각선 방향(B)으로 30도 기울였을 때 가장 적은 힘으로 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)를 분리할 수 있다.By separating the substrate 4 and the imprinting mold 12 with less force than separating the imprinting mold 12 in the vertical direction by generating the shearing force in the tilted direction of the first vacuum pin 16, can do. The first vacuum pin 16 separates the substrate 4 and the imprinting mold 12 with the least amount of force when the first vacuum pin 16 is inclined by 30 degrees in the diagonal direction B from the edge of the imprinting mold 12 can do.

제 2 진공핀(15)은 흡착패드(14)의 밑면과 수직한 방향으로 고정되도록 형성된다. 이러한, 제 2 진공핀(15)은 장비가 대형화 될 경우 제 1 진공핀(16)과 마찬가지로 흡착패드(14)의 밑면과 수직한 방향에서 5 ~ 45도(θ) 기울어 질 수 있다.The second vacuum pin 15 is formed to be fixed in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad 14. The second vacuum pin 15 can be inclined by 5 to 45 degrees in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad 14 as the first vacuum pin 16 when the equipment is enlarged.

이러한 임프린팅용 제조 장치를 이용한 박막 패턴의 제조 방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.A method of manufacturing the thin film pattern using the imprinting manufacturing apparatus will be described in detail as follows.

도 3a 내지 도 3c는 도 1에 도시된 임프린팅용 제조 장치를 이용한 박막 패턴의 제조 방법을 나타낸 단면도이다.3A to 3C are sectional views showing a method of manufacturing a thin film pattern using the imprinting manufacturing apparatus shown in FIG.

먼저, 기판(4) 상에 임프린팅용 수지가 스핀 코팅 또는 스핀리스 코팅 등의 방법으로 도포된다. 임프린팅용 수지가 도포된 기판(4)은 진공 라인(20)을 통해 스테이지(2)에 흡착/고정된다. 또한, 홈과 돌출부를 갖는 임프린팅용 몰드(12)는 임프린팅용 수지와 합착되고, 열 또는 광을 통해 경화된다. 이에 따라, 임프린팅용 수지 내의 용매가 임프린팅용 몰드(12) 표면으로 흡수되면서 임프린팅용 수지가 임프린팅용 몰드(12)의 홈내로 이동하게 되므로 기판(4) 상에 박막 패턴(6)이 형성된다. 이러한 박막 패턴(6)은 임프린팅용 몰드(12)의 홈과 반전전사된 형태를 갖는다.First, a resin for imprinting is applied on the substrate 4 by a method such as spin coating or spinless coating. The substrate 4 to which the imprinting resin is applied is adsorbed / fixed on the stage 2 via the vacuum line 20. In addition, the imprinting mold 12 having the grooves and the protrusions is attached to the imprinting resin and cured through heat or light. As the solvent in the imprinting resin is absorbed into the surface of the imprinting mold 12, the imprinting resin is moved into the grooves of the imprinting mold 12, so that the thin film pattern 6 is formed on the substrate 4, . The thin film pattern 6 has a shape inverted from the groove of the imprinting mold 12.

이어서, 도 3a에 도시된 바와 같이, 박막 패턴(6)이 형성된 후에 다수의 흡착패드(14)가 임프린팅용 몰드(12)를 흡착/고정시킨다.Then, as shown in FIG. 3A, a plurality of adsorption pads 14 adsorb / fix the imprinting mold 12 after the thin film pattern 6 is formed.

이어서, 도 3b 및 도 3c에 도시된 바와 같이 박막 패턴(6)이 형성된 후에 임프린팅용 몰드(12)의 양측에서 가운데로 순차적으로 다수의 흡착패드(14) 및 다수의 진공핀(15, 16)이 상승한다. 이를 구체적으로 설명하면, 도 3b에 도시된 바와 같이, 먼저 임프린팅용 몰드(12)의 양측에 위치하는 흡착패드(14)에 체결된 제 1 진공핀(16)이 흡착패드(14)의 밑면과 수직한 방향에서 임프린팅용 몰드(12)의 안쪽 방향으로 기울어 진다. 그리고 제 1 진공핀(16)이 기울어진 방향으로 상승한다. 이에 따라, 임프린팅용 몰드(12)의 양측에 제 1 진공핀(16)이 기울어진 방향으로 전단력이 발생하게 된다. 이러한 전단력으로 인해 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)를 수직 방향으로 분리하는 것보다 적은 힘으로 분리 개시점(demolding seed)이 형성된다. 그리고 도 3c에 도시된 바와 같이, 분리 개시점이 형성된 후에 제 2 진공핀(15)이 양측에서 가운데로 순차적으로 상승한다. 이러한 과정으로 기판(4)으로부터 임프린팅용 몰드(12)가 양측에서 가운데로 순차적으로 분리된다.Subsequently, as shown in Figs. 3B and 3C, a plurality of adsorption pads 14 and a plurality of vacuum fins 15, 16 ). 3B, the first vacuum pin 16 fastened to the adsorption pad 14 located on both sides of the imprinting mold 12 is pressed against the bottom surface of the adsorption pad 14, And is tilted inward of the imprinting mold 12 in a direction perpendicular to the direction of the axis. Then, the first vacuum pin 16 ascends in a tilted direction. As a result, a shearing force is generated in both sides of the imprinting mold 12 in a direction in which the first vacuum pin 16 is tilted. This shear force creates a demolding seed with less force than separating the substrate 4 and the imprinting mold 12 in the vertical direction. Then, as shown in FIG. 3C, the second vacuum pin 15 sequentially rises from both sides to the center after the separation start point is formed. In this process, the imprinting mold 12 is sequentially separated from the substrate 4 to the center.

한편, 임프린팅용 몰드(12)와 기판(4)의 분리를 원활하게 하기 위해 기판(4)과 합착된 임프린팅용 몰드(12)의 측면에서 N2가스를 불어준다.On the other hand, in order to facilitate the separation of the imprinting mold 12 and the substrate 4, N 2 gas is blown from the side of the imprinting mold 12 bonded to the substrate 4.

한편, 도 3b 및 도 3c에서는 기판(4)으로부터 임프린팅용 몰드(12)를 양측에서 가운데로 순차적으로 분리하였지만 도 4에 도시된 바와 같이, 박막 패턴(6)이 형성된 후에 임프린팅용 몰드(12)를 기판(4)의 일측에서 타측으로 순차적으로 분리할 수도 있다.3B and 3C, the imprinting mold 12 is sequentially separated from the substrate 4 from both sides to the center. However, as shown in FIG. 4, after the thin film pattern 6 is formed, 12 may be successively separated from one side of the substrate 4 to the other side.

한편, 본 발명에 따른 임프린트용 몰드(12)로 형성된 박막 패턴(6)은 도 5에 도시된 액정 표시 패널에 적용된다. 구체적으로, 도 5에 도시된 본 발명에 따른 액정 표시 패널은 액정층(60)을 사이에 두고 서로 대향하여 합착된 박막 트랜지스터 기판(30) 및 컬러 필터 기판(50)을 구비한다.The thin film pattern 6 formed of the imprint mold 12 according to the present invention is applied to the liquid crystal display panel shown in Fig. 5 includes a thin film transistor substrate 30 and a color filter substrate 50 which are bonded to each other with a liquid crystal layer 60 interposed therebetween.

컬러 필터 기판(50)은 상부기판(52) 상에 빛샘 방지를 위해 형성된 블랙매트릭스(58), 컬러 구현을 위한 컬러필터(54), 화소 전극과 전계를 형성하는 공통 전극(56), 평탄화를 위한 오버 코트층과, 오버 코트층 상에 형성되며 셀갭 유지를 위한 컬럼 스페이서와, 컬럼 스페이서와 이들을 덮는 상부 배향막(미도시)을 구비한다.The color filter substrate 50 includes a black matrix 58 formed on the upper substrate 52 for preventing light leakage, a color filter 54 for color implementation, a common electrode 56 forming an electric field with the pixel electrodes, An overcoat layer formed on the overcoat layer, a column spacer for holding a cell gap, a column spacer, and an upper alignment layer (not shown) covering the column spacer.

박막 트랜지스터 기판(30)은 하부 기판(32) 위에 서로 교차하게 형성된 게이트 라인(36) 및 데이터 라인(34)과, 그 교차부에 인접한 박막 트랜지스터(38)와, 그 교차 구조로 마련된 화소 영역에 형성된 화소 전극(40) 및 이들을 덮는 하부 배향막(미도시)을 구비한다.The thin film transistor substrate 30 includes a gate line 36 and a data line 34 formed on the lower substrate 32 so as to intersect with each other and a thin film transistor 38 adjacent to the intersection and a pixel region A pixel electrode 40 formed thereon, and a lower alignment film (not shown) covering the pixel electrode 40.

이러한 액정 표시 패널의 컬러필터(54), 블랙 매트릭스(58) 및 컬럼 스페이서, 박막 트랜지스터(38), 게이트 라인(36), 데이터 라인(34) 및 화소 전극(40) 등은 각각의 패턴과 대응하는 홈을 가지는 상술한 임프린트용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 형성될 수 있다.The color filter 54, the black matrix 58 and the column spacer, the thin film transistor 38, the gate line 36, the data line 34 and the pixel electrode 40 of the liquid crystal display panel correspond to respective patterns The pattern can be formed through a patterning process using the above-described imprint mold having grooves.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법은 임프린팅용 몰드(12)의 외곽 영역을 진공흡착하는 흡착패드(14)를 체결하는 제 1 진공핀(16)과, 임프린팅용 몰드(12)의 가운데 영역을 진공흡착하는 흡착패드(14)를 체결하는 제 2 진공핀(15)을 구비한다.As described above, the apparatus and method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention include a first vacuum pin 16 for fastening an adsorption pad 14 for vacuum-absorbing an outer region of an imprinting mold 12, And a second vacuum pin (15) for clamping the adsorption pad (14) for vacuum adsorbing the central region of the printing mold (12).

이때, 제 1 진공핀(16)은 흡착패드(14)의 밑면과 수직한 방향에서 5 ~ 45도(θ) 기울어 질 수 있다. 이에 따라, 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 임프린팅용 몰드(12)의 가장자리는 제 1 진공핀(16)이 기울어진 방향으로 전단력(shear force)이 발생하게 된다. 이러한 전단력은 제 1 진공핀(16)이 기울어진 방향으로 발생되므로 수직 방향으로 임프린팅용 몰드(12)를 분리하는 것보다 적은 힘으로 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)를 분리할 수 있다. 또한, 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 필요한 힘이 줄어들면 임프린팅용 몰드(12)의 파손을 줄일 수 있다.At this time, the first vacuum pin 16 may be inclined by 5 to 45 degrees (?) In a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad 14. Accordingly, when the substrate 4 and the imprinting mold 12 are separated from each other, the edge of the imprinting mold 12 generates a shear force in a direction in which the first vacuum pin 16 is inclined. This shearing force is generated in a direction in which the first vacuum pin 16 is inclined, so that the substrate 4 and the imprinting mold 12 are separated from each other with a smaller force than that of separating the imprinting mold 12 in the vertical direction . In addition, when the force required for separating the substrate 4 and the imprinting mold 12 is reduced, breakage of the imprinting mold 12 can be reduced.

또한, 임프린팅용 몰드(12)의 크기에 관계없이 제 1 진공핀(16)을 이용해 기판(2)으로부터 임프린팅용 몰드(12)를 적어도 하나의 외곽영역에서 가운데 영역으로 순차적으로 분리하므로 기판(2) 및 장비의 대형화가 유리하다.Since the imprinting mold 12 is sequentially separated from at least one outer region to the middle region from the substrate 2 by using the first vacuum pin 16 regardless of the size of the imprinting mold 12, (2) and the size of the equipment is advantageous.

또한, 기판(4)으로부터 임프린팅용 몰드(12)의 분리 시간이 감소되므로 공정 시간을 줄일 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.In addition, since the separation time of the imprinting mold 12 from the substrate 4 is reduced, the process time can be reduced and the productivity can be improved.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

4: 기판 6: 박막 패턴
12: 임프린팅용 몰드 14: 흡착패드4: substrate 6: thin film pattern
12: mold for imprinting 14: adsorption pad

Claims (10)

기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 상기 기판과 합착되는 임프린팅용 몰드와,
상기 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 흡착패드와,
상기 각 흡착패드와 체결되어 상기 기판과 상기 임프린팅용 몰드를 분리 시키는 다수의 진공핀을 구비하고,
상기 다수의 진공핀은 상기 임프린팅용 몰드의 외곽 영역을 진공흡착하는 상기 흡착패드를 체결하는 제 1 진공핀과, 상기 임프린팅용 몰드의 가운데 영역을 진공흡착하는 상기 흡착패드를 체결하는 제 2 진공핀을 구비하고, 상기 제 1 진공핀 또는 제 2 진공핀은 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어질 수 있는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조장치.An imprinting mold that is attached to the substrate to form a thin film pattern on the substrate,
A plurality of adsorption pads for vacuum-adsorbing the imprinting mold,
And a plurality of vacuum pins fastened to the respective absorption pads and separating the substrate and the imprinting mold,
The plurality of vacuum pins include a first vacuum pin for clamping the absorption pad for vacuum-absorbing an outer region of the imprinting mold, and a second vacuum pin for clamping the absorption pad for vacuum- And the first vacuum pin or the second vacuum pin can be inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 진공핀은
상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 5 ~ 45도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조장치.The method according to claim 1,
The first vacuum pin
And the second electrode is inclined by 5 to 45 degrees in a direction perpendicular to a bottom surface of the adsorption pad. 제 1 항에 있어서,
상기 제 2 진공핀은
상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향으로 고정되거나 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조장치.The method according to claim 1,
The second vacuum pin
Wherein the substrate is fixed in a direction perpendicular to a bottom surface of the adsorption pad or inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to a bottom surface of the adsorption pad. 제 1 항에 있어서,
상기 다수의 흡착패드는
원형 또는 다각형의 형태를 가진 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조장치.The method according to claim 1,
The plurality of adsorption pads
Wherein the flat display device has a circular or polygonal shape. 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 돌출부와 홈을 가지는 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 합착하는 단계와,
상기 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 흡착패드와 상기 각 흡착패드와 체결된 다수의 진공핀을 이용해 상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계를 포함하고,
상기 다수의 진공핀은 상기 임프린팅용 몰드의 외곽 영역을 진공흡착하는 상기 흡착패드를 체결하는 제 1 진공핀과, 상기 임프린팅용 몰드의 가운데 영역을 진공흡착하는 상기 흡착패드를 체결하는 제 2 진공핀을 구비하고, 상기 제 1 진공핀 또는 제 2 진공핀은 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어질 수 있는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조방법.Attaching the imprinting mold and the substrate having protrusions and grooves to form a thin film pattern on the substrate;
And separating the imprinting mold and the substrate using a plurality of adsorption pads for vacuum-adsorbing the imprinting mold and a plurality of vacuum fins fastened to the adsorption pads,
The plurality of vacuum pins include a first vacuum pin for clamping the absorption pad for vacuum-absorbing an outer region of the imprinting mold, and a second vacuum pin for clamping the absorption pad for vacuum- And the first vacuum pin or the second vacuum pin can be inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to the bottom surface of the adsorption pad. 삭제delete 제 6 항에 있어서,
상기 제 2 진공핀은
상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향으로 고정되거나 상기 흡착패드의 밑면과 수직한 방향에서 소정 각도 기울어 질 수 있는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조방법.The method according to claim 6,
The second vacuum pin
Wherein the pad is fixed in a direction perpendicular to a bottom surface of the adsorption pad or inclined at a predetermined angle in a direction perpendicular to a bottom surface of the adsorption pad. 제 6 항에 있어서,
상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계는
상기 기판으로부터 상기 임프린팅용 몰드를 적어도 하나의 외곽영역에서 가운데 영역으로 순차적으로 분리하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조방법.The method according to claim 6,
The step of separating the imprinting mold and the substrate
Wherein the imprinting mold is sequentially separated from at least one outer region to a middle region from the substrate. 제 6 항에 있어서,
상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계는
상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판의 측면에서 N2가스를 불어주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조방법.The method according to claim 6,
The step of separating the imprinting mold and the substrate
And blowing N 2 gas on the side of the imprinting mold and the substrate.
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