KR20110030098A

KR20110030098A - Apparatus and method of fabricating flat display device

Info

Publication number: KR20110030098A
Application number: KR20090088061A
Authority: KR
Inventors: 장두희; 권당; 조항섭
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2009-09-17
Filing date: 2009-09-17
Publication date: 2011-03-23
Also published as: KR101622639B1

Abstract

PURPOSE: An apparatus and a method for manufacturing a flat display device are provided to prevent the warpage of a substrate by constantly maintaining a separating space between the substrate and a stage in a substrate flowing operation. CONSTITUTION: A printing part applies a liquid resin on a substrate(151). A soft mold(110) includes a protrusion and a recess(112), and the protrusion is in contact with the liquid resin. In the contact state of the liquid resin and the soft mold, the substrate is floated from a stage(120) in order to separate the substrate from the liquid resin. A haring part hardens the liquid resin in a substrate floating state. The hardening part is a lamp(146) which is located at the upper side of the soft mold.

Description

Apparatus and method for manufacturing a flat panel display device {APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING FLAT DISPLAY DEVICE}

본 발명은 스테이지 얼룩 전사로 인한 불량을 방지할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for manufacturing a flat panel display element capable of preventing a defect due to stage stain transfer.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence : EL) 표시 장치 등이 있다.Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. The flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electro-luminescence display. .

이러한 평판 표시 장치는 증착(코팅) 공정, 노광 공정, 현상 공정 및 식각 공정 등을 포함하는 마스크 공정에 의해 형성되는 다수의 박막으로 이루어진다. 그러나, 마스크 공정은 제조 공정이 복잡하여 제조 단가를 상승시키는 문제점이 있다. 이에 따라, 최근에는 소프트 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 박막을 형성할 수 있는 연구가 진행되고 있다.The flat panel display includes a plurality of thin films formed by a mask process including a deposition (coating) process, an exposure process, a developing process, and an etching process. However, the mask process has a problem in that the manufacturing process is complicated and the manufacturing cost is increased. Accordingly, in recent years, research has been conducted to form a thin film through a patterning process using a soft mold.

이러한 패터닝 공정은 기판 상에 액상 수지를 도포한 후, 홈과 돌출부를 가 지는 소프트 몰드와 액상 수지가 접촉하게 되면, 소프트 몰드의 홈과 돌출부가 액상 수지에 반전전사된 다음, 경화 공정을 통해 반전전사된 액상 수지를 경화시킴으로써 기판 상에 원하는 박막 패턴이 형성되는 공정이다.In the patterning process, after the liquid resin is applied onto the substrate, when the soft mold having the grooves and the protrusions contacts the liquid resin, the grooves and the protrusions of the soft mold are reverse-transferred onto the liquid resin, and then reversed through the curing process. It is a process of forming a desired thin film pattern on a board | substrate by hardening | curing the transferred liquid resin.

여기서, 종래 경화 공정을 위해 액상 수지가 도포된 기판은 임프린트 몰드와 접촉된 상태에서 도 1에 도시된 스테이지(2) 상에 안착된다. Here, the substrate coated with the liquid resin for the conventional curing process is mounted on the stage 2 shown in FIG. 1 in contact with the imprint mold.

이러한 스테이지(2)는 일반적으로 평탄도가 우수하고 평탄도 틀어짐이 거의 없는 석정반 스테이지(2)가 이용된다. 그러나, 평탄도가 우수함에도 불구하고 석정반 스테이지(2)의 표면은 최저부와 최고부가 약 10~30㎛의 차이를 나타낸다. 이러한 평탄도 불균일로 인해 박막 패턴에 얼룩이 발생됨과 아울러 석정반 스테이지(2)의 평탄도 불균일은 대형 스테이지로 갈수록 심해진다.The stage 2 is generally used as a stone platform stage 2 which is excellent in flatness and hardly distorted. However, even though the flatness is excellent, the surface of the stone tablet stage 2 shows a difference between the lowest part and the highest part of about 10 to 30 µm. Due to the unevenness of flatness, unevenness occurs in the thin film pattern, and the unevenness of the crystallographic stage 2 becomes more severe toward the large stage.

또한, 종래 스테이지(2)에는 기판의 반송을 위해 스테이지(2) 외곽에 리프트 핀이 형성된다. 즉, 리프트 핀을 하강시켜 기판을 스테이지(2) 상에 안착시키고, 리프트 핀을 상승시켜 기판과 스테이지(2) 사이에 빈공간을 형성하여 이송암이 기판을 다음 공정으로 반송시킨다. 그러나, 리프트 핀이 형성된 스테이지 영역과 리프트 핀이 형성되지 않은 스테이지 영역에 높이차가 발생되어 스테이지(2)의 평탄도가 저하되는 문제점이 있다. 또한, 리프트 핀을 상승시킬 경우, 기판의 외곽은 리프트 핀에 의해서 지지되는 반면에 기판의 중앙부는 지지수단이 없으므로 기판의 중앙부가 스테이지(2)쪽으로 휘어지는 문제점이 있다.In the conventional stage 2, lift pins are formed outside the stage 2 to transport the substrate. That is, the lift pin is lowered to seat the substrate on the stage 2, the lift pin is raised to form an empty space between the substrate and the stage 2, and the transfer arm conveys the substrate to the next step. However, there is a problem in that the height difference occurs in the stage area where the lift pin is formed and the stage area where the lift pin is not formed, thereby lowering the flatness of the stage 2. In addition, when the lift pin is raised, the outer periphery of the substrate is supported by the lift pin, while the center portion of the substrate has no problem in that the center portion of the substrate is bent toward the stage 2.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 스테이지 얼룩 전사로 인한 불량을 방지할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법을 제공하는 것이다.In order to solve the above problems, the present invention is to provide an apparatus and method for manufacturing a flat panel display element that can prevent a defect due to stage stain transfer.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치는 기판 상에 액상 수지를 도포하는 인쇄부와; 상기 액상 수지와 접촉되는 돌출부와 홈을 가지는 소프트 몰드와; 상기 액상 수지와 상기 소프트 몰드가 접촉된 상태에서 상기 액상 수지가 도포된 기판과 이격되도록 상기 기판을 부양시키는 스테이지와; 상기 기판이 부양된 상태에서 상기 액상수지를 경화시키는 경화부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the apparatus for manufacturing a flat panel display device according to the present invention includes a printing unit for applying a liquid resin on the substrate; A soft mold having a protrusion and a groove in contact with the liquid resin; A stage for supporting the substrate so as to be spaced apart from the substrate to which the liquid resin is applied while the liquid resin and the soft mold are in contact with each other; It characterized in that it comprises a curing portion for curing the liquid resin in the state in which the substrate is supported.

상기 경화부는 상기 소프트 몰드 상부에 위치하는 램프이며, 상기 스테이지는 상기 기판을 상기 램프쪽으로 부양시키는 것을 특징으로 한다.The curing unit is a lamp located above the soft mold, wherein the stage is characterized in that to support the substrate toward the lamp.

상기 평판 표시 소자의 제조 장치는 상기 부양된 기판과 상기 스테이지의 이격거리를 일정하게 유지시키기 위해 상기 부양된 상기 기판의 가장자리를 고정시키는 클램핑부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.The apparatus for manufacturing a flat panel display device may further include a clamping part for fixing an edge of the supported substrate to maintain a constant distance between the supported substrate and the stage.

상기 평판 표시 소자의 제조 장치는 상기 스테이지에 형성되는 다수개의 공기홀과; 상기 경화 공정시 상기 공기홀을 통해 공기를 분사하여 기판에 부양력을 공급하며, 경화 공정 후 상기 공기홀을 통해 공기를 흡입하여 상기 스테이지에 상기 기판을 흡착하는 공기 제어부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.The apparatus for manufacturing a flat panel display device includes a plurality of air holes formed in the stage; In the curing process, the air is injected through the air hole to provide a buoyancy force, and after the curing process further comprises an air control unit for sucking the air through the air hole to adsorb the substrate to the stage do.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제 조 방법은 기판 상에 액상 수지를 도포하는 단계와; 상기 액상 수지 상에 홈과 돌출부를 가지는 소프트 몰드를 정렬시키는 단계와; 상기 액상 수지와 상기 소프트 몰드가 접촉된 상태에서 상기 액상 수지가 도포된 기판과 이격되도록 스테이지를 이용하여 상기 기판을 부양시키는 단계와; 상기 기판이 부양된 상태에서 상기 액상수지를 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention comprises the steps of applying a liquid resin on the substrate; Aligning a soft mold having grooves and protrusions on the liquid resin; Supporting the substrate by using a stage such that the liquid resin and the soft mold are in contact with the substrate to which the liquid resin is applied; And curing the liquid resin in a state in which the substrate is supported.

상기 액상 수지를 경화시키는 단계는 상기 소프트 몰드 상부에 위치하는 램프를 이용하여 상기 액상 수지를 경화시키는 단계이며, 상기 기판을 부양시키는 단계는 상기 기판을 상기 램프쪽으로 부양시키는 단계인 것을 특징으로 한다.Curing the liquid resin is a step of curing the liquid resin using a lamp located above the soft mold, the step of supporting the substrate is characterized in that the step of supporting the substrate toward the lamp.

상기 평판 표시 소자의 제조 방법은 상기 부양된 기판과 상기 스테이지의 이격거리를 일정하게 유지시키기 위해 상기 부양된 상기 기판의 가장자리를 고정시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The method of manufacturing the flat panel display device may further include fixing an edge of the raised substrate to maintain a constant distance between the raised substrate and the stage.

상기 기판을 부양시키는 단계는 상기 경화 공정시 상기 스테이지에 형성되는 다수개의 공기홀을 통해 공기를 분사하여 기판에 부양력을 공급하는 단계인 것을 특징으로 한다.The step of supporting the substrate is characterized in that the step of supplying the lifting force to the substrate by injecting air through a plurality of air holes formed in the stage during the curing process.

상기 평판 표시 소자의 제조 방법은 상기 경화 공정 후 상기 공기홀을 통해 공기를 흡입하여 상기 스테이지에 상기 기판을 흡착시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The method of manufacturing the flat panel display device may further include adsorbing the substrate to the stage by sucking air through the air hole after the curing process.

본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법은 경화 공정시 기판과 소프트 몰드와 접촉된 상태에서 기판과 스테이지가 이격되도록 기판을 부양시킨다. 이에 따라, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법은 기판과 스테이지가 비접촉되므로 스테이지 표면의 높이 불균일로 인한 스테이지 얼룩 전사를 방지할 수 있다.The apparatus and method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention support the substrate so that the substrate and the stage are spaced apart in contact with the substrate and the soft mold during the curing process. Accordingly, in the apparatus and method for manufacturing a flat panel display element according to the present invention, since the substrate and the stage are in non-contact, it is possible to prevent the transfer of the stage spot due to the height unevenness of the stage surface.

또한, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법은 기판의 반송 공정시 종래 리프트 핀 대신에 공기홀을 통해 기판을 부양시킨 후 이송암을 이용해 기판을 다음 공정으로 이송시킴으로써 종래 리프트 핀에 의한 스테이지의 평탄도 저하를 방지할 수 있다. In addition, the apparatus and method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention by supporting the substrate through the air hole instead of the conventional lift pin during the transfer step of the substrate by using a transfer arm to transfer the substrate to the next process by the conventional lift pin The flatness of a stage can be prevented.

뿐만 아니라 기판의 전 영역에 공기가 분사되므로 기판과 스테이지의 이격거리가 일정하므로 기판 부양시 기판의 휨 현상을 방지할 수 있다.In addition, since the air is injected to the entire area of the substrate, the separation distance between the substrate and the stage is constant, so that the bending of the substrate may be prevented when the substrate is supported.

이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments.

도 2a 내지 도 2f는 본 발명에 따른 박막 패턴의 제조 방법을 나타내는 단면도이다.2A to 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a thin film pattern according to the present invention.

먼저, 기판(151) 상에 도 2a에 도시된 바와 같이 액상 수지(158)가 스핀 코팅 또는 스핀리스 코팅 등의 방식 통해 도포된다. First, as shown in FIG. 2A, the liquid resin 158 is applied onto the substrate 151 by spin coating or spinless coating.

액상 수지(158)가 형성된 기판(151) 상부에 도 2b에 도시된 바와 같이 소프트 몰드(110)가 정렬된다. 소프트 몰드(110)는 홈(112)과 돌출부(114)를 가진다. 또한, 소프트 몰드(110)는 예를 들어 액상 수지(158)의 용매를 효과적으로 흡수할 수 있는 폴리디메틸실록세인(Polydimethysiloxane: PDMS)로 형성된다.As illustrated in FIG. 2B, the soft mold 110 is aligned on the substrate 151 on which the liquid resin 158 is formed. The soft mold 110 has a groove 112 and a protrusion 114. In addition, the soft mold 110 is formed of, for example, polydimethysiloxane (PDMS) capable of effectively absorbing the solvent of the liquid resin 158.

그런 다음, 소프트 몰드(110)는 액상 수지(158)와 정합 접촉(Conformal contact)된다. 그러면, 액상 수지(158) 내의 용매가 소프트 몰드(120) 표면으로 흡수되면서 액상 수지(158)가 소프트 몰드(120)의 홈(122)내로 이동하게 되므로 도 2c에 도시된 바와 같이 박막 패턴(154)이 형성된다. 박막 패턴(154)은 소프트 몰드(110)의 홈(112)과 반전 전사된 형태를 가진다.Then, the soft mold 110 is in conformal contact with the liquid resin 158. Then, as the solvent in the liquid resin 158 is absorbed into the surface of the soft mold 120, the liquid resin 158 is moved into the groove 122 of the soft mold 120, so that the thin film pattern 154 is illustrated in FIG. 2C. ) Is formed. The thin film pattern 154 may have an inverted form with the groove 112 of the soft mold 110.

그런 다음, 정합 접촉된 소프트 몰드(110)와 박막 패턴(154)이 형성된 기판(151)은 도 2d에 도시된 바와 같이 스테이지(120)로 이송된다. 스테이지(120)는 도 3에 도시된 바와 같이 다수개의 공기홀(122)을 가진다. 이 다수개의 공기홀(122)은 도 4a에 도시된 바와 같이 공기 제어부(124)와 직접 연결되거나 도 4b에 도시된 바와 같이 공기 패스(126)를 통해 공기 제어부(124)와 연결된다. Then, the soft mold 110 and the substrate 151 on which the thin film pattern 154 is formed are brought into the stage 120 as shown in FIG. 2D. The stage 120 has a plurality of air holes 122 as shown in FIG. The plurality of air holes 122 are directly connected to the air control unit 124 as shown in FIG. 4A or connected to the air control unit 124 through the air path 126 as shown in FIG. 4B.

스테이지(120)로 이송된 기판(151)은 공기 제어부(124)의 제어하에 공기홀(122)을 통해 배출되는 공기에 의해 스테이지(120)와 이격되도록 부양된다. 이 때, 스테이지(120)와 기판(151)의 이격거리를 일정하게 유지하기 위해 기판(151)과 소프트 몰드(110)의 가장 자리는 클램핑(118)에 의해 고정된다. 그런 다음, 부양된 기판(151)에 형성된 박막 패턴(154)은 소프트 몰드(110)와 정합 접촉된 상태로 자외선 램프(146)에 의해 경화된다. 이 경화 공정을 통해 박막 패턴(154) 내의 용매는 증발된다. 이와 같이, 경화 공정시 기판(151)과 스테이지(120)가 비접촉되므로 스테이지(120) 표면의 높이 불균일로 인한 스테이지 얼룩 전사를 방지할 수 있다.The substrate 151 transferred to the stage 120 is supported to be spaced apart from the stage 120 by the air discharged through the air hole 122 under the control of the air controller 124. At this time, the edge of the substrate 151 and the soft mold 110 is fixed by the clamping 118 in order to maintain a constant distance between the stage 120 and the substrate 151. Then, the thin film pattern 154 formed on the suspended substrate 151 is cured by the ultraviolet lamp 146 in mating contact with the soft mold 110. Through this curing process, the solvent in the thin film pattern 154 is evaporated. As such, since the substrate 151 and the stage 120 are not in contact with each other during the curing process, transfer of stage spots due to height unevenness of the surface of the stage 120 may be prevented.

이러한 경화 공정이 완료된 후 공기 제어부(124)의 제어하에 공기홀(122)을 통해 공기가 흡입됨으로써 기판(151)은 도 2d에 도시된 바와 같이 스테이지(120)에 안착된다.After the curing process is completed, the air is sucked through the air hole 122 under the control of the air controller 124, so that the substrate 151 is seated on the stage 120 as shown in FIG. 2D.

그런 다음, 도 2f에 도시된 바와 같이 소프트 몰드(110)는 박막 패턴(154)이 형성된 기판(151)으로부터 분리된다.Then, as illustrated in FIG. 2F, the soft mold 110 is separated from the substrate 151 on which the thin film pattern 154 is formed.

한편, 본 발명에 따른 소프트 몰드(110)로 형성된 박막 패턴(154)은 도 5에 도시된 액정 표시 패널에 적용된다. 구체적으로, 도 5에 도시된 본 발명에 따른 액정 표시 패널은 액정층(160)을 사이에 두고 서로 대향하여 합착된 박막 트랜지스터 기판(150) 및 컬러 필터 기판(140)을 구비한다.Meanwhile, the thin film pattern 154 formed of the soft mold 110 according to the present invention is applied to the liquid crystal display panel illustrated in FIG. 5. Specifically, the liquid crystal display panel according to the present invention illustrated in FIG. 5 includes a thin film transistor substrate 150 and a color filter substrate 140 which are bonded to each other with the liquid crystal layer 160 therebetween.

컬러 필터 기판(140)은 상부기판(142) 상에 빛샘 방지를 위해 형성된 블랙매트릭스(144), 컬러 구현을 위한 컬러필터(166), 화소 전극과 전계를 형성하는 공통 전극(148), 평탄화를 위한 오버 코트층과, 오버 코트층 상에 형성되며 셀갭 유지를 위한 컬럼 스페이서와, 컬럼 스페이서와 이들을 덮는 상부 배향막(도시하지 않음)을 구비한다. The color filter substrate 140 may include a black matrix 144 formed on the upper substrate 142 to prevent light leakage, a color filter 166 for color implementation, a common electrode 148 forming an electric field with the pixel electrode, and planarization. And an overcoat layer formed on the overcoat layer, a column spacer for maintaining a cell gap, and a column spacer and an upper alignment layer (not shown) covering them.

박막 트랜지스터 기판(150)은 하부 기판(152) 위에 서로 교차하게 형성된 게이트 라인(156) 및 데이터 라인(14)과, 그 교차부에 인접한 박막 트랜지스터(168)와, 그 교차 구조로 마련된 화소 영역에 형성된 화소 전극(170) 및 이들을 덮는 하부 배향막(도시하지 않음)을 구비한다. The thin film transistor substrate 150 includes a gate line 156 and a data line 14 formed on the lower substrate 152 so as to cross each other, the thin film transistor 168 adjacent to the intersection portion, and a pixel region provided in the crossing structure. The formed pixel electrode 170 and a lower alignment layer (not shown) covering them are provided.

이러한 액정 표시 패널의 컬러필터(166), 블랙 매트릭스(154) 및 컬럼 스페이서, 박막트랜지스터(168), 게이트 라인(156), 데이터 라인(164) 및 화소 전극(170) 등은 각각의 패턴과 대응하는 홈을 가지는 상술한 소프트 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 형성될 수 있다.The color filter 166, the black matrix 154 and the column spacer, the thin film transistor 168, the gate line 156, the data line 164, and the pixel electrode 170 of the liquid crystal display panel correspond to each pattern. It may be formed through a patterning process using the above-described soft mold having a groove.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

도 1은 종래 평판 표시 소자의 제조 장치인 스테이지를 나타내는 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows the stage which is a manufacturing apparatus of a conventional flat panel display element.

도 2a 내지 도 2f는 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.2A to 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

도 3은 도 2d에 도시된 스테이지를 나타내는 사시도이다.FIG. 3 is a perspective view illustrating the stage shown in FIG. 2D.

도 4a 및 도 4b는 도 2d에 도시된 스테이지와 연결된 공기 제어부를 설명하기 위한 도면이다.4A and 4B are diagrams for describing an air controller connected to the stage illustrated in FIG. 2D.

도 5는 도 2a 내지 도 2f의 제조 방법에 의해 형성된 박막 패턴을 가지는 액정 표시 패널을 나타내는 사시도이다.5 is a perspective view illustrating a liquid crystal display panel having a thin film pattern formed by the manufacturing method of FIGS. 2A to 2F.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110 : 소프트 몰드 112 : 홈110: soft mold 112: groove

114 : 돌출부114: protrusion

Claims

A printing unit which applies a liquid resin on a substrate;

A soft mold having a protrusion and a groove in contact with the liquid resin;

A stage for supporting the substrate so as to be spaced apart from the substrate to which the liquid resin is applied while the liquid resin and the soft mold are in contact with each other;

And a hardening portion for curing the liquid resin in a state in which the substrate is supported.

The method of claim 1,

The curing unit is a lamp located above the soft mold,

And said stage lifts said substrate toward said lamp.

The method of claim 1,

And a clamping part for fixing an edge of the supported substrate to maintain a constant distance between the supported substrate and the stage.

The method of claim 3, wherein

A plurality of air holes formed in the stage;

In the curing process, the air is injected through the air hole to provide a buoyancy force, and after the curing process further comprises an air control unit for sucking the air through the air hole to adsorb the substrate to the stage A manufacturing apparatus of a flat panel display element.

Applying a liquid resin on the substrate;

Aligning a soft mold having grooves and protrusions on the liquid resin;

Supporting the substrate by using a stage such that the liquid resin and the soft mold are in contact with the substrate to which the liquid resin is applied;

And curing the liquid resin in a state in which the substrate is supported.

The method of claim 5,

Curing the liquid resin is a step of curing the liquid resin by using a lamp located above the soft mold,

The supporting of the substrate is a method of manufacturing a flat panel display device, characterized in that for supporting the substrate toward the lamp.

The method of claim 5,

And fixing an edge of the supported substrate to maintain a constant distance between the supported substrate and the stage.

The method of claim 5,

Floating the substrate

And injecting air through a plurality of air holes formed in the stage during the curing process to supply a buoyancy force to the substrate.

The method of claim 8,

And sucking the air through the air hole after the curing process to adsorb the substrate to the stage.