KR101653081B1 - 반사방지 코팅 및 uv 흡수 재료를 갖는 uv 마스크 - Google Patents

반사방지 코팅 및 uv 흡수 재료를 갖는 uv 마스크 Download PDF

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Abstract

일 실시예는 LCD 디스플레이 상의 실란트를 경화시키는 동안 사용하기 위한 UV 마스크의 형태를 취할 수 있다. UV 마스크는 마더 유리 및 마더 유리 상의 UV 마스크 층을 포함한다. UV 흡수 필름이 UV 마스크 층에 인접하여 위치되고, 반사방지(AR) 필름이 UV 흡수 필름에 인접하여 위치된다.

Description

반사방지 코팅 및 UV 흡수 재료를 갖는 UV 마스크{UV MASK WITH ANTI-REFLECTION COATING AND UV ABSORPTION MATERIAL}
관련 출원들과의 상호 참조
본 출원은 2012년 3월 6일자로 출원되고 발명의 명칭이 "반사방지 코팅 및 UV 흡수 재료를 갖는 UV 마스크(UV Mask With Anti-reflection Coating and UV Absorption Material)"인 미국 가특허 출원 제61/607,458호, 및 2012년 10월 2일자로 출원되고 발명의 명칭이 "반사방지 코팅 및 UV 흡수 재료를 갖는 UV 마스크"인 미국 실용 특허 출원 제13/633,812호에 대한 우선권을 주장하며, 이들 출원은 전체적으로 그리고 모든 목적을 위하여 본 명세서에 참고로 포함된다.
본 출원은 대체로 액정 디스플레이(LCD)에 관한 것이며, 보다 상세하게는 LCD의 제조 방법에 관한 것이다.
자외선(UV) 마스크는 LCD 제조에서 널리 사용된다. 실란트 경화 공정 동안에, LCD 셀과 UV 광원 사이에 UV 마스크가 종종 배치된다. 이 마스크는 LCD의 활성 영역을 커버하지만, 실란트가 UV에 노출되게 하며, 따라서 이를 경화시켜 컬러 필터(color filter, CF) 유리와 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT) 유리를 함께 접합시킬 수 있다.
UV 마스크의 목적은 활성 영역 내의 유기 재료가 UV 광에 의해 손상되는 것을 보호하는 것이다. 예를 들어, 액정이 UV에 의해 분해될 수 있고 불량 정렬(bad alignment), 잔상(image sticking), 및 다른 광학적 아티팩트(artifact)를 야기할 수 있다. 이들 결함은 "무라(mura)"로 일반적으로 지칭된다. UV 광은 또한 TFT 및/또는 CF 유리 상에서 사용되는 유기 층(예를 들어, 패시베이션(passivation)에 사용되는 네거티브 유형의 광-아크릴 층)을 손상시킬 수 있고 어두운 이미지에 대해 가시적인 아티팩트를 야기할 수 있다. UV 광은 TFT 장치를 추가로 손상시켜 디스플레이의 기능적 문제 또는 아티팩트를 야기할 수 있다.
UV 광은 UV 마스크에 의해 차단되지만, 이는 또한 UV 마스크에 의해 반사된다. 그렇기 때문에, LCD 상에 있는 실란트가 경화 중일 때 LCD로부터 반사된 UV 광은 UV 마스크에 의해 LCD의 UV 민감성 부분 상으로 추가로 반사되어 결함을 가져올 수 있다. 통상적으로, LCD 주위의 두꺼운 보더가 UV 반사의 효과를 최소화하고/하거나 UV 광이 LCD의 UV 민감성 부분에 도달하는 것을 방지하도록 도와 왔다.
일 실시예는 LCD 디스플레이 상의 실란트를 경화시키는 동안 사용하기 위한 UV 마스크의 형태를 취할 수 있다. UV 마스크는 마더 유리(mother glass) 및 마더 유리 상의 UV 마스크 층을 포함한다. UV 흡수 필름이 UV 마스크 층에 인접하여 위치되고, 반사방지(anti-reflection, AR) 필름이 UV 흡수 필름에 인접하여 위치된다.
다른 실시예는 UV 광을 LCD 디스플레이 조립체를 향해 지향시켜 TFT 유리와 CF 유리 사이의 실란트 재료를 경화시키도록 구성된 UV 광원을 갖는 시스템의 형태를 취할 수 있다. 본 시스템은 또한 UV 광원과 LCD 디스플레이 사이에 위치된 UV 마스크를 포함한다. UV 마스크는 마더 유리, 마더 유리 상의 UV 마스크, 및 UV 마스크에 인접한 반사방지(AR) 필름을 포함한다. AR 필름은 UV 마스크에 인접한 플라스틱 기판 및 플라스틱 기판을 커버하는 반사방지 코팅을 포함한다. 플라스틱 기판은 UV 흡수제를 함유한다.
또 다른 실시예는 경화 공정 동안 UV 광을 차단하는 방법의 형태를 취할 수 있다. 본 방법은 잉크 마스크를 UV 마스크 마더 유리의 원하는 구역들에 적용함으로써 마더 유리 상에 차단층을 생성하는 단계 및 차단층을 커버하는 반사방지 층을 UV 마스크 마더 유리 상에 생성하는 단계를 포함한다. 추가로, 본 방법은 경화 공정 동안 UV 마스크 마더 유리를 디스플레이 마더 유리 위로 위치시키는 단계를 포함한다.
다수의 실시예가 개시되어 있지만, 하기의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용으로부터 본 발명의 또 다른 실시예들이 당업자에게 명백해질 것이다. 인식되는 바와 같이, 이들 실시예는 다양한 측면에서의 변형이 가능하며, 이러한 변형은 모두 이들 실시예의 사상 및 범주로부터 벗어나지 않는다. 따라서, 도면 및 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용은 본질적으로 예시적이며 제한적이 아닌 것으로서 간주되어야 한다.
<도 1>
도 1은 LCD 디스플레이 장치를 갖는 전자 장치를 예시한다.
<도 2a>
도 2a는 UV 마스크를 예시한다.
<도 2b>
도 2b는 LCD 디스플레이용 마더 유리 셀들을 예시한다.
<도 2c는 도 2b>
도 2c는 도 2b의 마더 유리 셀들 상에 오버레이된 도 2a의 UV 마스크를 예시한다.
<도 3>
도 3은 LCD 조립체 상의 UV 광 경화성 실란트를 예시한다.
<도 4a>
도 4a는 LCD의 활성 영역에 도달하는 UV 광의 반사를 나타낸 도 3의 일부분의 확대도이다.
<도 4b>
도 4b는 UV 광의 반사를 더 상세히 예시한다.
<도 5>
도 5는 LCD 조립체로부터 반사방지 필름 및 UV 흡수 필름을 포함하는 UV 마스크로 반사된 UV 광을 예시한다.
<도 6>
도 6은 반사방지 필름, UV 흡수 필름 및 접착제의 확대도이다.
<도 7>
도 7은 반사방지 필름으로부터의 UV 광의 반사도의 백분율을 예시하는 도표이다.
<도 8>
도 8은 반사방지 필름을 통한 UV 광의 투과도의 백분율을 예시하는 도표이다.
<도 9>
도 9는 5도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 세기 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다.
<도 10>
도 10은 10도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 세기 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다.
<도 11>
도 11은 20도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 세기 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다.
<도 12>
도 12는 30도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 세기 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다.
<도 13>
도 13은 5, 10 및 20도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 감쇠 계수 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다.
실시예는 대체로 LCD 디스플레이 제조를 위한 실란트 경화 공정에서 UV 광의 반사를 방지하도록 돕기 위하여 반사방지 필름 및 마스킹 재료 또는 코팅을 포함하는 UV 마스크의 형태를 취할 수 있다. AR 필름은 UV 흡수재 위에 제공될 수 있다. AR 필름 및 UV 흡수재 둘 모두는 마스킹 재료 또는 코팅과 동일한 면의 UV 마스크 상에 위치될 수 있다.
AR 필름을 갖는 UV 마스크는 경화 공정에서 UV 광의 다수의 반사를 제거하거나 상당히 감소시킨다. 이는 더 적은 디스플레이들이 UV 광에 대한 노출에 의해 야기되는 상기 언급된 결함(예를 들어, 무라)을 겪을 것이기 때문에 디스플레이 제조의 품질 및 수율을 개선시키도록 도울 수 있다. 추가적으로, LCD용 마더 시트의 더 큰 부분이 LCD용 활성 영역으로서 이용될 수 있는데, 이는 UV 광이 경화 공정 동안 덜 깊게 그리고 더 작은 세기로 활성 영역 내로 침입할 것이기 때문이다. 따라서, 실란트가 활성 영역에 더 가까운 좁은 보더 설계가 달성될 수 있다.
도면으로 돌아가서 먼저 도 1을 참고하면, LCD 디스플레이 장치(102)를 포함하는 컴퓨팅 장치(100)가 예시되어 있다. 도시된 예에서, 컴퓨팅 장치(100)는 태블릿 컴퓨터이다. 그러나, 현재의 기술, 시스템 및 장치가 텔레비전, 전화기, 스마트폰, 노트북 및 데스크탑 컴퓨터 등과 같은 모든 유형의 전자 장치를 위한 LCD 디스플레이를 제조하는 데 이용될 수 있음을 이해해야 한다. 따라서, 본 명세서에서 논의된 실시예는 단지 예로서 이해되어야 하고 범주를 제한하는 것으로서 이해되는 것은 아니다.
도 2a는 예시적인 UV 마스크를 예시한다. UV 마스크는 마스킹 구역들의 어레이를 가진 유리 기판을 갖는다. 전형적인 UV 마스크는 패턴화된 비투과성 금속 코팅을 갖는 마더 유리이다. 즉, 통상의 UV 마스크에서, 마스킹 구역들은 금속 코팅에 의해 형성된다. 본 명세서에 개시된 기술에 따르면, 마스킹 구역들은 하기에 더 상세히 논의되는 바와 같이, 블랙 마스크(black mask, BM)와 반사방지 필름 및 UV 흡수 필름을 포함할 수 있다.
도 2b는 LCD 디스플레이의 마더 유리를 예시한다. 일반적으로, 마더 유리는 활성 영역들 및 비활성 구역들을 포함할 수 있다. 활성 영역은 일반적으로 이미지를 표시하기 위해 LCD 디스플레이에 의해 이용되고 액정을 포함하는 구역으로 정의될 수 있다. 비활성 구역은 일반적으로 마더 유리의 모든 다른 구역으로 정의될 수 있다. 도 2b에 도시된 바와 같이, 활성 영역들은 마더 유리 내에 어레이 패턴으로 배열될 수 있다.
일반적으로, 마더 유리는 다수의 층을 포함할 수 있다. 특히, 마더 유리는 박막 트랜지스터(TFT) 유리 및 컬러 필터(CF) 유리를 포함할 수 있다. TFT 유리는 LCD 디스플레이의 TFT를 위한 기판으로서의 역할을 한다. CF 유리는 광이 통과하여 디스플레이의 색을 생성하는 컬러 필터를 위한 기판으로서의 역할을 할 수 있다. 액정은 조립된 LCD 디스플레이에서 TFT 유리와 CF 유리 사이에 위치될 수 있다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 마더 유리의 활성 영역들 주위에 실란트가 제공된다. 특히, 실란트는 TFT 유리와 CF 유리 사이에 위치되어 액정을 밀봉한다. 실란트는 UV 광에 대한 노출을 통해 경화된다.
도 2c는 도 2b의 마더 유리 셀들 상의 도 2a의 UV 마스크의 오버레이를 예시한다. UV 마스크의 마스킹 구역들은 마더 유리의 활성 영역들을 커버하여 UV 광에 대한 활성 영역들의 직접 노출을 방지한다.
도 3은 마더 유리의 활성 영역(active area, AA)들을 UV 광의 직접 노출로부터 보호하는 금속 코팅 마스크를 갖는 LCD 조립체 상에 있는 UV 광 경화성 실란트를 예시한다. 도 4a는 LCD의 활성 영역에 도달하는 UV 광의 반사를 나타낸 도 3의 일부분의 확대도이다. 특히, UV 광은 마더 유리로부터 다시 금속 코팅의 하측으로 반사하고, 이어서 마더 유리로 그리고 마더 유리의 활성 영역 내로 다시 반사하는 것으로 나타나 있다.
도 5는 마스크로부터 마더 유리로의 반사를 방지하기 위해 반사방지 필름 및 UV 흡수 필름을 포함하는 UV 마스크를 예시한다. 이 실시예에서, UV 마스크는 금속 코팅 또는 블랙 마스크(BM)를 포함할 수 있다. 도시된 바와 같이, UV 흡수 필름은 UV 마스크에 인접하고 이를 커버한다. 반사방지 필름 또는 코팅은 UV 흡수 필름 위에 제공된다. UV 흡수재를 마스크에 접착하기 위해 접착제가 사용될 수 있다. 그렇기 때문에, 반사방지 필름은 UV 마스크의 상부에 배치되며, 이때 반사방지 층은 LCD 조립체를 향해 대면한다. 일 실시예에서, 마스크 상의 UV 차단층(예를 들어, 금속 및/또는 BM)은 반사방지 필름과 동일한 면의 유리 상에 있다. 반사방지 필름은 대체로 UV 흡수제를 함유하는 플라스틱 기판 및 스펙트럼의 UV 범위에서 효과적인 반사방지 코팅을 포함할 수 있다.
도 6은 예시적인 일 실시예에 따른 반사방지 필름, UV 흡수 필름 및 접착제의 확대도이다. 접착제는 임의의 적합한 형태를 취할 수 있으며, 이의 두께는 대략 10 내지 500 마이크로미터일 수 있다. UV 흡수 필름은 임의의 적합한 형태를 취할 수 있으며, 일 실시예에서는 UV 흡수제를 갖는 트라이아세틸 셀룰로오스(TAC)의 형태를 취할 수 있다. UV 흡수 필름은 대략 20, 60, 80, 또는 100 마이크로미터 두께이거나 그 초과 또는 미만의 두께일 수 있다. 반사방지 필름은 임의의 적합한 형태를 취할 수 있으며, 일 실시예에서는 도시된 바와 같이 나노구조체, 예컨대 나방눈(moth eye)의 형태를 취할 수 있다. 나노구조체는 1 내지 10 마이크로미터 두께일 수 있으며, 대략 10 내지 500 나노미터의 주기(예를 들어, 구조체들의 피크는 대략 10 내지 500 나노미터로 분리됨)를 갖는 대략 10 내지 500 나노미터 높이의 구조체들을 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 반사방지 코팅은 다층 박막 코팅의 형태를 취할 수 있다.
UV 광이 TFT 유리와 부딪치고 마스크를 향해 다시 반사될 때, 그 광은 반사방지 층을 통과하여 UV 흡수재 및 UV 마스크(예를 들어, 차단층)에 의해 흡수될 수 있다. 아주 적은 광이 TFT 유리를 향해 다시 반사된다. 그 결과, 반사된 광의 크기는 활성 영역에 도달하기 전에 매우 신속하게 감쇠된다. 반사방지 재료의 적절한 선택으로, 반사된 UV 광은 활성 영역에서 무시할 만한 수준(예를 들어, 결함 또는 무라를 야기하지 않는 수준)으로 감소될 수 있다.
도 7은 반사방지 필름으로부터의 UV 광의 반사도의 백분율을 예시하는 도표이다. 수직축은 반사도의 백분율을 나타내고, 수평축은 광의 파장을 나노미터(nm) 단위로 나타낸다. 알 수 있는 바와 같이, 380 내지 480 nm 파장에서의 광의 반사도는 대략 0.05% 미만이다. 따라서, 반사방지 필름으로부터의 반사도는 아주 적다.
도 8은 반사방지 필름을 통한 UV 광의 투과도의 백분율을 예시하는 도표이다. 수직축은 투과도의 백분율을 나타내고, 수평축은 광의 파장을 나노미터(nm) 단위로 나타낸다. 필름을 통해 투과된 UV 광은 380 nm에서 10% 미만인 것에서부터 증가한다는 것에 유의하여야 한다. 그렇기 때문에, 필름을 통해 투과된 UV 광이, 특히 스펙트럼의 근-UV 영역에 있다. 투과된 광은 UV 흡수제 층 및 UV 마스크(차단층)에 의해 흡수될 수 있다. 또한, 반사방지 필름의 UV 투과도는 필름 두께 또는 UV 흡수제 농도를 증가시킴으로써 추가로 감소될 수 있다.
광 세기 감쇠를 UV 마스크 보더의 에지에서 시뮬레이션하여 활성 영역 내로의 그의 전파를 결정하였다. 도 4b는 시뮬레이션에 사용된 모델을 대체적으로 예시하며, 대체로 도 4a와 유사하다. 도 4b에서, UV 마스크의 에지로부터 활성 영역까지의 거리(A)는 0.8 내지 1.0 mm일 수 있다. 실란트로부터 마스크의 에지까지의 거리(B)는 유사하게 0.8 내지 1.0 mm일 수 있다. TFT 유리 및 UV 마스크 유리는 각각 두께(d)가 대략 0.7 mm일 수 있으며, UV 마스크 유리와 TFT를 분리하는 거리(C)는 대략 1.5 mm일 수 있다. UV 마스크 유리를 지지하는 크리스털 바(crystal bar)는 대략 10 mm 두께일 수 있으며, 접착제는 크리스털 바와 UV 마스크 유리를 결합시킬 수 있다.
시뮬레이션에서는, UV 광의 상이한 입사각을 가정하였으며, 반각 φ는 광 경로 원추(light path cone)의 반각이다. 즉, φ는 도 4b에 도시된 바와 같이, 반사 표면에 수직인 평면에 대한 반사각으로 정의될 수 있다. 추가로, 시뮬레이션은 반사도가 금속이 45%, BM이 12%, 그리고 AR 필름이 1% 미만인 것으로 추정하였다. 도 9 내지 도 13은 시뮬레이션으로부터 얻은 도표를 예시한다.
도 9는 5도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 세기 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다. 수직축은 광 세기로서, 이는 1의 값이 시뮬레이션된 마스크에 대한 반사된 광의 최고 세기가 되도록 스케일이 조정되어 있다. 수평축은 광이 반사되는 활성 영역 내로의 거리를 밀리미터(mm) 단위로 나타낸다. 도표의 선(200)은 통상의 금속 코팅 마스크를 나타내고, 도표의 선(202)은 BM 마스크를 나타내고, 도표의 선(204)은 반사방지 필름 및 UV 흡수재를 갖는 BM 마스크를 나타낸다.
도시된 바와 같이, 반사방지 필름 및 UV 흡수재를 갖는 BM 마스크는 광의 높은 감쇠와 함께, 활성 영역들 내로의 더 얕은 반사 깊이를 가져온다. 예를 들어, 도표의 선(204)에서의 마지막 점은 대략 2 mm 깊이인데, 이때 광 세기는 1e-21 미만이다. 비교를 위하여, BM 마스크 및 금속 코팅 마스크 둘 모두는 대략 3 mm까지 침입하며, 이때 최종 광 세기는 1e-12 및 1e-7 초과이다. 아마도 더 중요한 것은, 활성 영역 내로의 임계치(threshold)(예를 들어, 거리 0)에서, 반사방지 및 UV 흡수재를 갖는 BM 마스크로부터 반사된 광은 대략 0.000001의 세기를 갖는 반면, BM 마스크는 0.01의 세기를 갖고 금속 코팅 마스크는 대략 0.1의 세기를 갖는다는 것이다. 그렇기 때문에, 반사방지 및 UV 흡수재를 갖는 BM 마스크는 광이 활성 영역을 향해 거기까지 반사하는 것을 방지하며, 더욱이 활성 영역에서 무시할 만하도록 (예를 들어, 무라를 발생시키지 않도록) 다른 마스크들의 광 세기를 훨씬 초과하여 광 세기를 감소시킨다.
도 10 내지 도 12의 각각은 도 9에 나타낸 것과 동일한 경향을 예시한다. 동일한 번호부여가 도 10 내지 도 12에서 금속 코팅 마스크(200), BM 마스크(202), 및 반사방지 및 UV 흡수재를 갖는 BM 마스크(204)에 대해 사용된다. 추가적으로, 도 9에서 사용된 것과 동일한 단위 및 스케일이 도 10 내지 도 12에서 사용된다.
도 10은 10도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 세기 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다. 도 11은 20도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 세기 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다. 도 12는 30도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 세기 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다.
도 13은 5, 10 및 20도의 반각을 갖는 반사된 광에 대한, BM 마스크 및 반사방지 코팅을 갖는 BM 마스크에 대한 UV 광 감쇠 계수 대 활성 영역 내로의 깊이를 예시하는 도표이다. 수직축은 광 감쇠 계수를 나타내는 반면, 수평축은 활성 영역 내로의 거리를 밀리미터 단위로 나타낸다. 도표의 선(300, 302, 304)은 5, 10 및 20도의 반각 φ에 대하여 반사방지 필름 및 UV 흡수재를 갖는 BM 마스크를 각각 예시한다. 도표의 선(310, 312, 314)은 앞서 기재된 것과 동일한 각각의 반각 φ에 대하여 BM 마스크를 예시한다. 알 수 있는 바와 같이, 광 감쇠는 반사방지 필름 및 UV 흡수재를 사용한 것이 훨씬 더 우수하며, 활성 영역 내로의 거리가 감소된다.
표 1은 5, 10, 20 및 30도의 광 반사 반각에서 원래 마스크, BM 마스크 및 반사방지 필름을 갖는 BM 마스크를 비교한 결과를 나타낸다. 원래 마스크는 통상적으로 구현된 금속 코팅 마스크를 지칭하며, 다른 마스크들의 비교에 대한 기준을 설정한다. BM 마스크는 5, 10 및 20도의 반각 φ에 대하여 원래 마스크의 감쇠의 50배 감쇠, 6배 감쇠, 및 2배 감쇠를 각각 제공한다. 반사방지 필름을 갖는 BM 마스크는 동일한 반각들 φ에 대하여 90,000배 감쇠, 500배 감쇠, 및 5배 감쇠를 각각 달성하였다. 이해할 수 있는 바와 같이, 반사방지 필름을 갖는 BM 마스크는 다른 것들보다 훨씬 높은 수준의 감쇠를 제공한다.
Figure 112014082715563-pct00001
이상에서는 반사방지 필름 및 UV 흡수재를 포함하는 UV 마스크의 일부 예시적인 실시예를 기술한다. 상기 논의는 구체적인 실시예를 제시하고 있지만, 당업자는 이러한 실시예의 사상 및 범주로부터 벗어남이 없이 형태 및 세부사항에서 변경이 이루어질 수 있음을 인식할 것이다. 예를 들어, 마스크 내의 층들의 순서 및 배열이 달라질 수 있고/있거나 하나 이상의 층이 생략되고/되거나 상이한 층으로 대체될 수 있다. 따라서, 본 명세서에 기술된 구체적인 실시예는 그 범주를 제한하는 것이 아니라 예로서 이해되어야 한다.

Claims (23)

  1. 마더 유리(mother glass);
    상기 마더 유리 상의 UV 마스크 층;
    상기 UV 마스크 층에 인접한 UV 흡수 필름;
    상기 UV 흡수 필름과 상기 UV 마스크 층 사이에 접착제 층; 및
    상기 UV 흡수 필름에 인접한, 나노구조체를 포함하는 반사방지 필름을 포함하는, UV 마스크.
  2. 제1항에 있어서, 상기 나노구조체는 나방눈(moth-eye) 구조를 포함하는, UV 마스크.
  3. 제1항에 있어서, 상기 나노구조체는 1 내지 10 마이크로미터 두께이고 10 내지 500 나노미터 높이의 구조체들을 가지며, 상기 구조체들은 10 내지 500 나노미터의 주기를 갖는, UV 마스크.
  4. 제1항에 있어서, 상기 UV 마스크는 블랙 마스크(black mask)를 포함하는, UV 마스크.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 접착제 층은 10 내지 500 마이크로미터 두께인, UV 마스크.
  7. 제1항에 있어서, 상기 UV 흡수 필름은 UV 흡수제를 갖는 트라이아세틸 셀룰로오스(TAC) 필름을 포함하는, UV 마스크.
  8. 제7항에 있어서, 상기 TAC 필름은 40, 60, 80, 또는 100 마이크로미터 두께와 동일하거나 그 미만인, UV 마스크.
  9. 제1항에 있어서, 상기 반사방지 필름은 다층 박막 코팅을 포함하는, UV 마스크.
  10. UV 광을 LCD 디스플레이 조립체를 향해 지향시켜 TFT 유리와 CF 유리 사이의 실란트 재료를 경화시키도록 구성된 UV 광원; 및
    상기 UV 광원과 상기 LCD 디스플레이 사이에 위치된 UV 마스크를 포함하고,
    상기 UV 마스크는 마더 유리; 상기 마더 유리 상의 UV 마스크 층; 및 상기 UV 마스크 층에 인접한 반사방지 필름을 포함하고,
    상기 반사방지 필름은, 상기 UV 마스크 층에 인접하고 UV 흡수제를 함유하는 플라스틱 기판; 및 상기 플라스틱 기판을 커버하는 반사방지 코팅을 포함하는, 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 UV 마스크는 상기 마더 유리를 지지하는 크리스털 바(crystal bar)를 추가로 포함하는, 시스템.
  12. 제10항에 있어서, 상기 반사방지 코팅은 다층 박막 코팅을 포함하는, 시스템.
  13. 제10항에 있어서, 상기 반사방지 코팅은 반사방지 나노구조체를 포함하는, 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 나노구조체는 나방눈 구조를 포함하는, 시스템.
  15. 제13항에 있어서, 상기 나노구조체는 1 내지 10 마이크로미터 두께이고 10 내지 500 나노미터 높이의 구조체들을 가지며, 상기 구조체들은 10 내지 500 나노미터의 주기를 갖는, 시스템.
  16. 경화 공정 동안 UV 광을 차단하는 방법으로서,
    잉크 마스크를 UV 마스크 마더 유리의 원하는 구역들에 적용함으로써 상기 UV 마스크 마더 유리 상에 차단층을 생성하는 단계;
    상기 UV 마스크 마더 유리 상의 상기 차단층을 커버하는 반사방지 층을 생성하는 단계; 및
    경화 공정 동안 상기 UV 마스크 마더 유리를 디스플레이 마더 유리 위로 위치시키는 단계를 포함하는, 방법.
  17. 제16항에 있어서, 반사방지 층을 생성하는 단계는
    상기 차단층에 인접하고 UV 흡수제를 함유하는 플라스틱 기판을 적용하는 단계; 및
    상기 플라스틱 기판 위로 반사방지 코팅을 적용하는 단계를 포함하는, 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 반사방지 코팅은 반사방지 나노구조체를 포함하는, 방법.
  19. 제16항에 있어서, 상기 경화 공정은 LCD 디스플레이의 실란트 경화 공정을 포함하는, 방법.
  20. 마더 유리;
    상기 마더 유리 상의 UV 마스크 층;
    상기 UV 마스크 층에 인접한 UV 흡수 필름;
    상기 UV 흡수 필름과 상기 UV 마스크 층 사이의 접착제 층; 및
    상기 UV 흡수 필름에 인접한 반사방지 필름을 포함하는, UV 마스크.
  21. 제20항에 있어서, 상기 접착제 층은 10 내지 500 마이크로미터 두께인, UV 마스크.
  22. 마더 유리;
    상기 마더 유리 상의 UV 마스크 층;
    상기 UV 마스크 층에 인접한, UV 흡수제를 갖는 트라이아세틸 셀룰로오스(TAC) 필름을 포함하는 UV 흡수 필름; 및
    상기 UV 흡수 필름에 인접한 반사방지 필름을 포함하는, UV 마스크.
  23. 제22항에 있어서, 상기 TAC 필름은 40, 60, 80, 또는 100 마이크로미터 두께와 동일하거나 그 미만인, UV 마스크.
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