KR101649786B1 - 석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법 - Google Patents

Abstract

석영 튜브의 세정 장치가 제공된다. 상기 석영 튜브의 세정 장치는, 제1 세정액이 공급되는 제1 세정조, 및 상기 제1 세정조 내에 배치되는 석영 튜브 내에 위치되도록 구성된 제1 순환 호스(hose)를 포함하되, 상기 제1 순환 호스는, 압축 공기를 제공받는 일단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공(pore)들을 갖는 측벽(sidewall)을 포함한다.

Description

석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법{Quartz tube cleaning apparatus, and method of cleaning of the same}

본 발명은 석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법에 관련된 것으로, 보다 상세하게는, 석영 튜브 내에 위치하여 압축 공기를 제공하는 순환 호스를 구비한 석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법에 관련된 것이다.

반도체 제조에 사용되는 증착 장비의 대부분은 고온에 화학적 안정성이 높고 투명한 석영튜브를 챔버로 사용한다. 특히 열벽(hot wall) 퍼니스(furnace)인 경우 소스(source)와 웨이퍼를 챔버에 로딩하고 가열하여 반응을 일으킨다. 이 경우, 막이 웨이퍼에 증착됨과 동시에, 석영튜브의 내부 표면에 반응 물질이 생성되거나 잔류 가스 또는 다른 이물질이 부착될 수 있다. 이러한 불순물들은 다음 증착 공정에서 오염의 원인이 될 수 있어, 석영튜브를 세정하게 된다.

석영 튜브는 주로 초순수에 불산을 희석하여 불순물들을 식각하는 방법으로 세정된다. 예를 들어, 대한민국 공개실용신안공보 실2000-0009457(출원번호 20-1998-0021429)에는, 세정액에 의해 석영 튜브의 두께가 얇아지는 것을 방지하기 위해, 튜브를 종방향으로 세정조 내에 위치시키고 튜브의 내측으로 세정액을 공급하여 선택적으로 튜브의 세정이 이루어짐으로써, 세정액에 의한 식각이 튜브의 내측으로만 진행되는 석영 튜브의 세정 장치가 개시되어 있다.

이러한 방법 외에도, 노즐을 이용하여 석영 튜브에 세정액을 분사하는 방법으로 석영 튜브를 세정할 수 있다. 하지만, 이 방법의 경우, 세정액이 절약되는 반면, 석영 튜브가 균일하게 세정되지 못하는 문제점이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 유지 관리가 용이한 석영 튜브의 세정 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 세정 효과가 우수한 석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 석영 튜브의 세정이 용이한 석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 다양한 사이즈의 석영 튜브를 세정할 수 있는 석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법을 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 석영 튜브의 세정 장치를 제공한다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 장치는, 제1 세정액이 공급되는 제1 세정조, 및 상기 제1 세정조 내에 배치되는 석영 튜브 내에 위치되도록 구성된 제1 순환 호스(hose)를 포함하되, 상기 제1 순환 호스는, 압축 공기를 제공받는 일단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공(pore)들을 갖는 측벽(sidewall)을 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 장치는, 상기 제1 세정조 내에 배치되고, 상기 석영 튜브의 일단에 장착되는 커넥터, 및 상기 커넥터를 회전시켜, 상기 석영 튜브의 길이 방향을 회적축으로 상기 석영 튜브를 회전시키는 모터를 더 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 커넥터는, 상기 석영 튜브의 외경과 동일한 크기의 내경을 갖는 케이싱(casing)을 포함하고, 상기 석영 튜브의 외경에 따라서, 상기 케이싱은 교체 가능하도록 구성되는 것을 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 장치는, 상기 제1 세정조 내에 배치되고, 상기 석영 튜브가 삽입되어 상기 석영 튜브의 타단에 인접한 위치에서 상기 석영 튜브를 지지하는 튜브 홀더를 더 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 순환 호스의 상기 일단은 상기 석영 튜브의 상기 타단에 인접하게 위치하고, 상기 제1 순환 호스의 상기 타단은 상기 석영 튜브의 상기 일단에 인접하게 위치하는 것을 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 장치는 상기 커넥터 및 상기 튜브 홀더 사이에 배치되고, 상기 석영 튜브가 삽입되어 상기 석영 튜브를 지지하는 추가 튜브 홀더를 더 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 장치는, 상기 제1 세정액과 다른 제2 세정액이 공급되는 제2 세정조, 및 상기 제2 세정조 내에 배치되는 석영 튜브 내에 위치되도록 구성된 제2 순환 호스를 더 포함하되, 상기 제2 순환 호스는, 압축 공기를 제공받는 일단, 폐쇄된 타단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공들을 갖는 측벽을 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 장치는, 상기 석영 튜브의 외부에 위치하도록 구성된 추가 순환 호스를 더 포함하되, 상기 추가 순환 호스는 압축 공기를 제공받는 일단, 폐쇄된 타단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공들을 갖는 측벽을 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 순환 호스는 플렉시블(flexible)한 것을 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 순환 호스의 타단은 폐쇄(blocked)된 것을 포함할 수 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 석영 튜브의 세정 방법을 제공한다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 방법은, 제1 세정조 내에 배치된 제1 순환 호스가 석영 튜브 내에 위치하도록, 상기 석영 튜브를 상기 제1 세정조 내에 배치시키는 단계, 상기 제1 세정조 내에 제1 세정액을 공급하는 단계, 및 상기 석영 튜브의 길이 방향을 회전축으로 상기 석영 튜브를 회전시키고, 상기 제1 순환 호스에 압축 공기를 공급하여, 상기 제1 세정액으로 상기 석영 튜브를 세정하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 제1 순환 호스는, 상기 압축 공기를 제공받는 일단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 측벽을 포함하고, 상기 석영 튜브 내에 위치한 상기 제1 순환 호스의 상기 측벽에서 방출되는 상기 압축 공기에 의해, 회전하는 상기 석영 튜브의 내벽(inner wall)이 상기 제1 세정액으로 세정되는 것을 포함할 수 있다.

상기 석영 튜브를 상기 제1 세정조 내에 배치시키는 단계는, 커넥터를 상기 석영 튜브의 일단에 장착하는 단계, 및 상기 커넥터가 장착된 상기 석영 튜브를 상기 제1 세정조 내에 배치시키는 단계를 포함하되, 상기 커넥터는, 상기 석영 튜브의 외경과 동일한 크기의 내경을 갖는 케이싱을 포함하고, 상기 석영 튜브의 외경에 따라서, 상기 케이싱은 교체 가능하도록 구성되는 것을 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 방법은, 상기 석영 튜브와 상기 제1 세정조 사이의 상기 제1 세정액을 순환시키는 단계를 더 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 석영 튜브의 세정 방법은, 상기 석영 튜브를 상기 제1 세정조로부터 분리시키는 단계, 제2 세정조 내에 배치된 제2 순환 호스가 상기 석영 튜브 내에 위치하도록, 상기 석영 튜브를 상기 제2 세정조 내에 배치시키는 단계, 상기 제2 세정조 내에 제2 세정액을 공급하는 단계, 및 상기 석영 튜브의 길이 방향을 회전축으로 상기 석영 튜브를 회전시키고, 상기 제2 순환 호스에 압축 공기를 공급하여, 상기 제2 세정액으로 상기 석영 튜브를 린싱(rinsing)하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치는, 석영 튜브 내에 위치하는 제1 순환 호스를 포함하되, 상기 제1 순환 호스는 압축 공기를 제공받는 일단, 및 상기 압축 공기를 방출하는 복수의 기공들을 갖는 측벽을 포함한다. 이로 인해, 세정 효과가 우수한 석영 튜브의 세정 장치 및 세정 방법이 제공될 수 있다.

도 1은 본 발명이 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치에 포함된 순환 호스를 설명하기 위한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치에 포함된 커넥터들을 설명하기 위한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예의 변형 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예의 다른 변형 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.

또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.

명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.

도 1은 본 발명이 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치에 포함된 순환 호스를 설명하기 위한 것이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치는, 제1 세정액이 공급되는 제1 세정조(100), 제2 세정액이 공급되는 제2 세정조(200), 상기 제1 세정조(100) 내의 제1 순환 호스(110), 상기 제2 세정조(200) 내의 제2 순환 호스(210), 상기 제1 세정조(100) 내의 제1 커넥터(120), 상기 제2 세정조(200) 내의 제2 커넥터(220), 상기 제1 세정조(100) 내의 제1 튜브 홀더(130), 상기 제2 세정조(200) 내의 제2 튜브 홀더(230), 제1 세정액 탱크(140), 제2 세정액 탱크(240), 모터(310), 상기 모터(310)와 연결된 타이밍 폴리(312) 및 타이밍 밸트(314), 에어밸브(320), 에어유니트(322), 및 레귤레이터(324)를 포함할 수 있다.

상기 제1 세정액 탱크(140)는 상기 제1 세정액을 저장할 수 있다. 상기 제1 세정액 탱크(140)에 저장된 상기 제1 세정액은 상기 제1 세정액 밸브(142)의 개폐에 의해, 상기 제1 세정조(100)로 공급될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 세정액 탱크(140)는 불산을 포함하는 세정액을 저장할 수 있다.

상기 제2 세정액 탱크(240)는 상기 제2 세정액을 저장할 수 있다. 상기 제2 세정액 탱크(240)에 저장된 상기 제2 세정액은 상기 제2 세정액 밸브(242)의 개폐에 의해, 상기 제2 세정조(200)로 공급될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 제2 세정액 탱크(240)는 초순수를 저장할 수 있다.

제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)의 일단에 상기 제1 및 제2 커넥터들(120, 220)이 각각 장착될 수 있다. 상기 제1 및 제2 커넥터들(120, 220)에 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)이 삽입되는 형태로, 상기 제1 및 제2 커넥터들(120, 220)이 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)에 장착될 수 있다.

상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)의 상기 일단에 상기 제1 및 제2 커넥터들(120, 220)이 장착된 후, 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)이 상기 제1 및 제2 튜브 홀더들(130, 230)에 삽입되도록, 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)이 상기 제1 및 제2 세정조들(100, 200) 내에 각각 로딩될 수 있다. 상기 제1 및 제2 튜브 홀더들(130, 230)은 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)의 타단에 인접한 위치에서 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)을 각각 지지할 수 있다.

상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)이 상기 제1 및 제2 세정조들(100, 200) 내에 로딩된 후, 상기 제1 및 제2 세정액 탱크들(140, 240)로부터 상기 제1 및 제2 세정조들(100, 200)로 상기 제1 및 제2 세정액들이 각각 공급될 수 있다.

상기 제1 및 제2 커넥터들(120, 220)은 상기 모터(310), 상기 타이밍 폴리(312), 및 상기 타이밍 밸트(314)와 연결되어, 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)을 회전시킬 수 있다. 이로 인해, 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)은, 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)이 연장하는 방향을 회전축으로, 회전할 수 있다. 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)과 함께, 상기 제1 및 제2 커넥터들(120, 220)이 회전할 수 있다.

상기 제1 순환 호스(110)는 상기 제1 세정조(100) 내에 배치되고, 상기 제2 순환 호스(210)는 상기 제2 세정조(200) 내에 배치될 수 있다. 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)은 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)이 연장되는 방향과 동일한 방향으로 연장될 수 있다. 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)의 길이는 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)와 유사하거나, 더 길 수 있다. 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)은 플렉시블(Flexible)한 재질로 구성될 수 있다.

상기 제1 및 제2 세정조들(100, 200) 내에 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)이 각각 로딩되는 경우, 상기 제1 및 이제2 순환 호스들(110, 210)은 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205) 내에 각각 위치될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)은 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)의 내벽(inner wall)으로 삽입될 수 있다. 이로 인해, 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)의 타단은, 상기 제1 및 제2 커넥터들(120, 220)이 장착된 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)의 상기 일단에 인접하게 위치할 수 있고, 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)의 일단은, 상기 제1 및 제2 튜브 홀더들(130, 230)과 인접한 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)의 상기 타단에 인접하게 위치할 수 있다.

상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)의 상기 일단은 상기 에어 밸브(320), 상기 에어유니트(322), 및 상기 레귤레이터(324)와 연결되어 압축 공기를 제공받을 수 있다. 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)의 상기 타단은 폐쇄(blocked)된 상태일 수 있다. 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)의 상기 일단 및 상기 타단을 연결하는 측벽은, 복수의 기공(pore)들을 포함할 수 있다.

계속해서, 도 2를 참조하여 참조하면, 도 2는 도 1에 도시된 상기 제1 순환 호스(110)를 확대한 것이다. 상기 제1 순환 호스(110)의 상기 일단(110b)으로 상기 압축 공기가 유입될 수 있다. 상기 제1 순환 호스(110)의 상기 타단(110a)은 폐쇄되어 있어, 상기 제1 순환 호스(110)의 상기 일단(110b)으로 유입된 상기 압축 공기는 상기 제1 순환 호스(110)의 상기 측벽에 위치한 상기 복수의 기공들(110c)을 통해 방출될 수 있다. 상기 제2 순화 호스(210)는 상기 제1 순환 호스(110)와 동일한 형태로 구성될 수 있다. 이로 인해, 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)에서 방출된 상기 압축 공기들은 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)의 내벽(inner wall)으로 방출되어, 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)이 용이하고, 깨끗하게 세정될 수 있다.

일 실시 예에 따르면 상기 에어유니트(322)는 3단계로 공기를 여과하여 상기 레귤레이터(324)에 상기 압축 공기를 제공할 수 있다. 예를 들어, 상기 에어유니트(322)는 1단계 5μm, 2단계 1 μm, 및 3단계에서는 흡착제를 이용하여 0.01 μm 수준으로 공기를 여과할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 제1 및 제2 커넥터들(120, 220)은 상기 제1 및 제2 석영 튜브들(105, 205)의 사이즈에 따라서, 교체 가능한 부품을 포함하도록 구성될 수 있다. 이를 도 3을 참조하여 설명한다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치에 포함된 커넥터들을 설명하기 위한 것으로, 도 1을 참조하여 설명된 제1 커넥터(120)의 일부분을 확대하여 도시한 것이다. 상기 제2 커넥터(120)는 상기 제1 커넥터와 동일하게 구성될 수 있다.

도 3을 참조하면, 상기 제1 커넥터(120)는 케이싱(121), 너트식 실린더(122), 샤프트(126), 내부 캡(124), 외부 캡(125), 및 고정용 볼트(123)를 포함할 수 있다. 상기 내부 캡(124)과 상기 외부 캡(125)은 상기 샤프트(126)의 원활한 회전을 지지해주면서 상기 제1 세정조(100)로부터 상기 제1 세정액의 누출을 방지할 수 있다. 상기 고정용 볼트(123)는 상기 케이싱(121)과 상기 샤프트(126)를 조립하거나, 또는 분리시킬 수 잇다.

상기 케이싱(121)에 상기 제1 석영 튜브(105)의 상기 일단이 삽입될 수 있다. 이에 따라, 상기 케이싱(121)은 상기 제1 석영 튜브(105)의 외경과 실질적으로 동일한 크기의 내경을 가질 수 있다. 상기 케이싱(121)은 상기 제1 석영 튜브(105)의 외경에 따라서, 교체 가능하도록 구성될 수 있다. 이로 인해, 다양한 사이즈를 갖는 석영 튜브를 용이하게 세정할 수 있다.

상술된 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치와 달리, 본 발명의 일 실시 예의 변형 예에 따르면, 상기 제1 세정조(100) 내에 석영 튜브의 바깥에 위치하도록 구성된 추가 순환 호스가 더 배치될 수 있다. 이를, 도 4를 참조하여 설명한다.

도 4는 본 발명의 일 실시 예의 변형 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치를 설명하기 위한 도면이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예의 변형 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치는 상기 제1 세정조(100) 내에 추가 순환 호스(112)를 더 포함할 수 있다. 상기 추가 순환 호스(112)은 상기 제1 석영 튜브(105)가 연장되는 방향과 동일한 방향으로 연장될 수 있다. 상기 추가 순환 호스(112)의 길이는 상기 제1 석영 튜브(105) 및 상기 제1 순환 호스(110)와 유사하거나, 더 길 수 있다. 상기 추가 순환 호스(110)은 플렉시블(Flexible)한 재질로 구성될 수 있다.

상기 제1 세정조(100) 내에 상기 제1 석영 튜브(105)가 로딩되는 경우, 상기 추가 순환 호스(112)은 제1 석영 튜브(105)의 바깥에 각각 위치될 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 및 제2 순환 호스들(110, 210)과 달리, 상기 추가 순환 호스(112)는 상기 제1 석영 튜브(105)의 외벽 및 상기 제1 세정조(100) 사이에 위치하도록, 상기 제1 석영 튜브(105)가 상기 제1 세정조(100)로 로딩될 수 있다.

상기 제1 석영 튜브(105)가 상기 제1 세정조(100)에 로딩된 상태에서, 상기 추가 순환 호스(112)의 일단은, 상기 제1 커넥터(120)가 장착된 상기 제1 석영 튜브(105)의 상기 일단에 인접하게 위치할 수 있고, 상기 추가 순환 호스(112)의 타단은, 상기 제1 튜브 홀더(130)와 인접한 상기 제1 석영 튜브(105)의 상기 타단에 인접하게 위치할 수 있다.

상기 추가 순환 호스(112)의 상기 일단은 상기 에어 밸브(320), 상기 에어유니트(322), 및 상기 레귤레이터(324)와 연결되어 압축 공기를 제공받을 수 있다. 상기 추가 순환 호스(112)의 상기 타단은 폐쇄(blocked)된 상태일 수 있다. 상기 추가 순환 호스(112)의 상기 일단 및 상기 타단을 연결하는 측벽은, 복수의 기공(pore)들을 포함할 수 있다.

상기 추가 순환 호스(112)의 상기 일단으로 유입된 상기 압축 공기는 상기 추가 순환 호스(112)의 상기 측벽에 위치한 상기 복수의 기공들을 통해 방출될 수 있다. 이로 인해, 상기 추가 순환 호스(112)에서 방출된 상기 압축 공기들은 상기 제1 세정조(100) 내의 상기 제1 세정액을 순환시킬 수 있다. 상기 제1 세정액이 불산과 초순수가 혼합된 경우, 상기 추가 순환 호스(112)에서 방출되는 상기 압축 공기에 의해, 상기 제1 세정조(100) 내의 불산 농도가 균일하게 유지될 수 있다.

상술된 본 발명의 일 실시 예 및 일 실시 예의 변형 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치와 달리, 본 발명의 일 실시 예의 다른 변형 예에 따르면, 상기 제1 및 제2 세정조들(100, 200) 내에 추가 튜브 홀더들이 배치될 수 있다. 이하, 이를 도 5를 참조하여 설명한다.

도 5는 본 발명의 일 실시 예의 다른 변형 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치를 설명하기 위한 도면이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예의 다른 변형 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치는 상기 제1 및 제2 세정조들(100, 200) 내에 각각 배치된 제1 및 제2 추가 튜브 홀더들(132, 134, 232, 234)을 더 포함할 수 있다.

상기 제1 추가 튜브 홀더들(132, 134)은 상기 제1 커넥터(120) 및 상기 제1 튜브 홀더(130) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1 석영 튜브(105)는 상기 제1 추가 튜브 홀더들(132, 134)에 삽입되도록 상기 제1 세정조(100) 내에 로딩될 수 있다. 이로 인해, 상기 제1 석영 튜브(105)의 중앙부가 상기 제1 추가 튜브 홀더들(132, 134)에 의해 지지될 수 있다.

상기 제2 추가 튜브 홀더들(232, 234)은 상기 제2 커넥터(220) 및 상기 제2 튜브 홀더(230) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제2 석영 튜브(205)는 상기 제2 추가 튜브 홀더들(232, 234)에 삽입되도록 상기 제2 세정조(200) 내에 로딩될 수 있다. 이로 인해, 상기 제2 석영 튜브(205)의 중앙부가 상기 제2 추가 튜브 홀더들(232, 234)에 의해 지지될 수 있다.

도 5에 도시된 바와 달리, 다른 실시 예에 따르면, 상기 제1 세정조(100) 및/또는 제2 세정조(200)에 하나의 추가 튜브 홀더가 배치되거나, 또는 3개 이상의 추가 튜브 홀더들이 배치될 수 있다.

이하, 상술된 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 장치를 이용한 석영 튜브의 세정 방법이 도 6을 참조하여 설명된다.

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 석영 튜브의 세정 방법을 설명하기 위한 순서도이다.

도 1 및 도 6을 참조하면, 상기 제1 순환 호스(110)가 석영 튜브 내에 위치하도록, 상기 석영 튜브가 상기 제1 세정조(100) 내에 배치될 수 있다(S110). 상기 석영 튜브를 상기 제1 세정조(100) 내에 배치하는 단계는, 상기 석영 튜브의 일단에 상기 제1 커넥터(120)를 장착하는 단계, 및 상기 제1 커넥터(120)가 장착된 상기 석영 튜브를 상기 제1 세정조(100) 내에 로딩하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 석영 튜브가 상기 제1 세정조(100) 내에 배치된 후, 상기 제1 세정액 탱크(140)로부터, 상기 제1 세정액이 상기 제1 세정조(100)로 유입될 수 있다(S120). 일 실시 예에 따르면, 상기 제1 세정액은 불산을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 세정액은 1~5%의 불산 희석 용액일 수 있다.

상기 제1 세정액이 상기 제1 세정조(100)로 공급된 후, 상기 모터(310)를 이용하여 상기 제1 커넥터(120)를 회전시켜, 상기 석영 튜브를 회전시키고, 상기 에어 밸브(320)를 열어 상기 제1 순환 호스(110)로 압축 공기를 공급할 수 있다(S130). 상기 석영 튜브는 도 1을 참조하여 설명된 것과 같이, 상기 석영 튜브가 연장하는 길이 방향을 회전축으로 사용하여 회전될 수 있다. 상기 제1 순환 호스(110)는 공급받은 상기 압축 공기를 상기 측벽에 위치하는 복수의 기공들을 통해서 방출할 수 있다. 상기 석영 튜브가 회전하는 상태에서 상기 제1 순환 호스(110)에서 방출되는 상기 압축 공기에 의해, 상기 석영 튜브의 내벽이 상기 제1 세정액으로 세정될 수 있다.

도 4를 참조하여 설명된 것과 같이, 상기 석영 튜브의 바깥에 위치하는 추가 순환 호스(112)가 더 배치되는 경우, 상기 제1 세정액이 상기 제1 세정조(100)로 공급된 후, 상기 추가 순환 호스(112)에서 방출되는 압축 공기에 의해, 상기 석영 튜브의 바깥에 위치하는 상기 제1 세정액을 순환시키는 단계가 더 추가될 수 있다.

상기 제1 세정액에 의한 상기 석영 튜브의 세정이 종료된 후, 상기 석영 튜브를 상기 제1 세정조(100)로부터 분리시킬 수 있다(S140). 상기 석영 튜브를 분리한 후, 상기 석영 튜브는 상기 제2 세정조(200) 내에 배치될 수 있다(S150). 상기 석영 튜브는 상기 제2 순환 호스(210)가 상기 석영 튜브 내에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 석영 튜브를 상기 제2 세정조(200) 내에 배치하는 단계는, 상기 제1 커넥터(120)가 장착된 상기 석영 튜브를 상기 제2 세정조(200) 내에 배치할 수 있고, 또는 상기 석영 튜브에서 상기 제1 커넥터(120)를 분리시키고, 상기 제2 커넥터(220)를 상기 석영 튜브에 장착한 후 상기 제2 세정조(200) 내에 상기 석영 튜브를 로딩할 수 있다.

상기 석영 튜브가 상기 제2 세정조(200) 내에 배치된 후, 상기 제2 세정액 탱크(240)로부터, 상기 제2 세정액이 상기 제2 세정조(200)로 유입될 수 있다(S160). 일 실시 예에 따르면, 상기 제1 세정액은 초순수를 포함할 수 있다.

상기 제2 세정액이 상기 제2 세정조(200)로 공급된 후, 상기 모터(310)를 이용하여 상기 석영 튜브와 연결된 커넥터를 회전시켜, 상기 석영 튜브를 회전시키고, 상기 에어 밸브(320)를 열어 상기 제2 순환 호스(210)로 압축 공기를 공급할 수 있다(S170). 상기 석영 튜브는 도 1을 참조하여 설명된 것과 같이, 상기 석영 튜브가 연장하는 길이 방향을 회전축으로 사용하여 회전될 수 있다. 상기 제2 순환 호스(210)는 공급받은 상기 압축 공기를 상기 측벽에 위치하는 복수의 기공들을 통해서 방출할 수 있다. 상기 석영 튜브가 회전하는 상태에서 상기 제2 순환 호스(210)에서 방출되는 상기 압축 공기에 의해, 상기 석영 튜브가 상기 제2 세정액으로 린싱(rinsing)될 수 있다.

상기 제2 세정액으로 상기 석영 튜브가 린싱된 후, 상기 석영 튜브는 건조될 수 있다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.

100, 200: 제1 및 제2 세정조
105, 205: 제1 및 제2 석영 튜브
110, 210: 제1 및 제2 순환 호스
112: 추가 순환 호스
120, 220: 제1 및 제2 커넥터
130: 230: 제1 및 제2 튜브 홀더
132, 232: 제1 및 제2 추가 튜브 홀더
140, 240: 제1 및 제2 세정액 탱크
142, 242: 제1 및 제2 세정액 밸브
310: 모터
312: 타이밍 폴리
314: 타이밍 밸트
320: 에어밸브
322: 에어유니트
324: 레귤레이터

Claims (15)

1. 제1 세정액이 공급되는 제1 세정조;
   상기 제1 세정조 내에 배치되는 석영 튜브 내에 위치되도록 구성된 제1 순환 호스(hose);
   상기 제1 세정조 내에 배치되고, 상기 석영 튜브의 일단에 장착되는 커넥터; 및
   상기 커넥터를 회전시켜, 상기 석영 튜브의 길이 방향을 회적축으로 상기 석영 튜브를 회전시키는 모터를 포함하되,
   상기 제1 순환 호스는, 상기 석영 튜브의 개방된 타단으로 삽입되어 상기 석영 튜브 내에 위치하고, 플렉시블 재질로 제공되며, 압축 공기를 제공받는 일단, 타단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공(pore)들을 갖는 측벽(sidewall)을 포함하며,
   상기 커넥터는
   상기 제1 세정조의 일 측벽에 인접 위치하고, 상기 석영 튜브의 일단이 고정 삽입되고 상기 석영 튜브의 외경과 동일한 크기의 내경을 갖는 홈을 가지며, 상기 모터의 구동으로 회전되는 케이싱을 포함하며,
   상기 케이싱은 상기 석영 튜브의 외경에 따라 상기 홈의 내경이 상기 석영 튜브의 외경에 대응되도록 교체 가능한 석영 튜브의 세정 장치.
   
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4. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 세정조 내에 배치되고, 상기 석영 튜브가 삽입되어 상기 석영 튜브의 타단에 인접한 위치에서 상기 석영 튜브를 지지하는 튜브 홀더를 더 포함하는 석영 튜브의 세정 장치.
   
5. 제4 항에 있어서,
   상기 제1 순환 호스의 상기 일단은 상기 석영 튜브의 상기 타단에 인접하게 위치하고, 상기 제1 순환 호스의 상기 타단은 상기 석영 튜브의 상기 일단에 인접하게 위치하는 것을 포함하는 석영 튜브의 세정 장치.
   
6. 제4 항에 있어서,
   상기 커넥터 및 상기 튜브 홀더 사이에 배치되고, 상기 석영 튜브가 삽입되어 상기 석영 튜브를 지지하는 추가 튜브 홀더를 더 포함하는 석영 튜브의 세정 장치.
   
7. 제1 항에 있어서,
   상기 석영 튜브의 외부에 위치하도록 구성된 추가 순환 호스를 더 포함하되,
   상기 추가 순환 호스는 압축 공기를 제공받는 일단, 폐쇄된 타단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공들을 갖는 측벽을 포함하는 석영 튜브의 세정 장치.
   
8. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 세정액과 다른 제2 세정액이 공급되는 제2 세정조; 및
   상기 제2 세정조 내에 배치되는 석영 튜브 내에 위치되도록 구성된 제2 순환 호스를 더 포함하되,
   상기 제2 순환 호스는, 압축 공기를 제공받는 일단, 폐쇄된 타단, 및 상기 압축 공기가 방출되는 복수의 기공들을 갖는 측벽을 포함하는 석영 튜브의 세정 장치.
   
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