KR101648542B1 - 레이저 노광 방법 및 제품 - Google Patents

레이저 노광 방법 및 제품 Download PDF

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타츠오 시게타
히토시 호리우치
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가부시키가이샤 씽크. 라보라토리
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Abstract

그라비아 제판, 오프셋 제판, 플렉소 제판 등에 있어서 고해상도의 레이저 제판을 실시할 수 있고, 보다 상세하게는, 프린트 기판, 액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이 등의 전자 부품에 있어서의 회로 패턴의 레이저 노광이나 지폐 등에 있어서 위조 방지용 특수 인쇄 등에도 이용할 수 있는 고해상도의 레이저 노광 방법 및 그것을 이용해 제조된 제품을 제공한다.
레이저 노광 장치를 이용해서 레이저 빔을 주사시키는 것으로, 해당 감광막에 소정 형상을 가지는 레이저 스폿 열을 형성해서, 판면에 도포된 감광막을 노광해 감광되는 부분과 감광되지 않는 부분을 형성하기 위한 노광 방법이며, 동시에 하는 주사에 대하여, 먼저 주사된 레이저 스폿 열의 폭 방향의 적어도 절반의 영역이 중복 노광되도록 후의 레이저 스폿 열을 주사 해 노광하도록 했다.

Description

레이저 노광 방법 및 제품{LASER EXPOSURE METHOD AND PRODUCT}
본 발명은, 그라비아 제판(gravure plate-making), 오프셋 제판(offest plate-making), 플렉소 제판(flexo plate-making)등에 있어서 레이저 제판으로 이용할 수 있고, 보다 상세하게는, 프린트 기판, 액정 디스플레이, 플라스마(plasma) 디스플레이 등의 전자 부품에 있어서 회로 패턴의 레이저 노광이나 지폐 등에 있어서 위조 방지용 특수 인쇄 등에도 이용할 수 있는 고해상도의 레이저 노광 방법 및 그것을 이용해 제조된 제품에 관한 것이다.
그라비아 인쇄는, 원통형의 제판 원통(그라비아 실린더)의 표면에 형성된 미세한 요부(셀) 내에 잉크를 충전하고, 여분의 잉크는 털이개로 긁어내면서, 원통을 피인쇄체(종이 등)에 압압해서, 셀 내의 잉크를 피인쇄체에 전사하는 것으로, 셀의 깊이의 정도에 의해서, 잉크의 명암조절(계조(階調))이나 농담이 표현되게 되어 있다. 그라비아 인쇄에 있어서 제판은, 그라비아 실린더의 표면에 셀을 형성하는 것에 의해서 행해지는 곳것으로, 종래부터의 기계적 조각에 의하는 것도 있지만, 근래에는 고정밀도 인쇄나 생산성 향상 등의 관점으로부터 반도체 레이저를 이용한 X-Y 주사 방식의 레이저 노광 장치에 의해서 제판 정보(문자나 화상 등의 디지털 데이터)를 직접 노광하는 레이저 제판이 주류를 이루고 있다. 레이저 제판은, 고속 회전하는 그라비아 실린더 표면에 도포된 감광재 피막에 대해, 예를 들면 파장 830nm의 반도체 레이저를 제판 정보로 광변조하여 노광하고, 현상하고, 에칭해서, 크롬 도금 등의 표면 경화 피막을 형성시키는 것이다. 레이저 제판은, 문자나 화상 등의 제판 정보의 디지털 데이터를 필름을 경유하지 않고 직접 플레이트에 출력하여 제판하는, 소위 CTP(computer to plate)에 있어 특히 매우 적합하게 이용된다. 또, 레이저 제판은 그라비아 제판뿐만 아니라, 오프셋 제판, 플렉소 제판 등의 각종 제판에도 사용되고 있다. 이미, 본 출원인 등은, 이 레이저 제판의 전 공정을 전자동화한 레이저 제판 시스템을 개발해서 대단한 호평을 얻고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 등).
현재, 레이저 그라비아 제판용의 레이저 노광 방법으로서는, 3200dpi(dot per inch) 정도의 해상도를 가지는 것을 넓게 보급하고 있으며, 이 경우, 1픽셀(화소)을 약 7.92㎛2로 표현하고 있다. 이 3200dpi라고 하는 해상도는, 통상의 책, 잡지, 카탈로그, 포장 필름 등의 일반적인 인쇄업의 분야에서는 충분한 성능이지만, 응용 분야로서 가능성이 있는 프린트 기판, 액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이 등의 전자 부품의 제조업의 분야에 있어서, 종래의 마스크 필름을 모두 일괄 노광이나 스텝 노광하는 것으로 바꾸고, X-Y 주사 방식의 레이저 노광 장치에 의해서 각종 회로 패턴을 노광하는 경우나, 혹은 지폐 등에 있어서 위조 방지용 특수 인쇄 등에서는 한층 더 고해상도가 요구된다.
종래의 부주사(副走査) 방향으로 3200dpi, 주주사 방향으로 3200dpi의 해상도를 가지는 레이저 노광 방법을 도 9에 근거하여 설명한다.
도 9에 있어서, 레이저 빛을 발진하는 레이저 광원과 해당 레이저 빛을 복수의 제어 신호로 공간적으로 배열 분할해서 복수의 레이저 빔으로 하는 광변조부와 광변조부로부터의 배열된 레이저 빔을 축소 투영하는 투영 광학부와 해당 레이저 빔을 감광막에 대해서 주사시키는 주사 수단을 가지는 레이저 헤드부를 포함한 종래의 레이저 노광 장치를 이용하여, 감광막을 도포한 그라비아 제판용 실린더에 대해서, 노광하는 경우의 방법에 대해 설명한다. 도시예에서는, 208개의 레이저 빔을 사용하고 있어, 레이저 스폿의 사이즈는 높이 약 7.9㎛×폭 약 7.9㎛의 정방형이다.
감광막을 도포한 실린더를 회전시키면서, 레이저 헤드부를 스파이럴 형상으로 주사해서 노광한다.
우선, 실린더의 회전 1주목(周目)은, 208개의 레이저 빔으로 감광막에 소정 형상을 가지는 레이저 스폿 열을 형성하여 노광한다.
실린더의 회전 2주목은, 1주목에 조사한 208개째의 빔과 중복 하도록 하기 식(1)에 근거하여 부주사해서 빔을 조사한다. 이 경우, 1주목의 208개째만이 겹침 노광되게 된다.
피치 25.4/3200×207=1.643㎜　　　···(1)
다음에, 실린더의 회전 3주목은, 2주목에 조사한 208개째의 빔과 중복하여 빔을 조사한다. 이 경우, 1주목의 208개째만이 겹침 노광되게 된다.
이와 같이 하여, 3200dpi×3200dpi의 해상도를 가지는 레이저 노광을 행한다.
또한, 최근에는, 한층 더 해상도를 올릴 수 있도록, 레이저 스폿의 높이를 종래의 레이저 스폿의 사이즈인 약 7.9㎛의 절반으로 한 구형의 레이저 스폿이 되는 레이저 노광 장치도 개발되고 있으며, 이러한 레이저 노광 장치로는, 3200dpi×6400dpi의 해상도를 가지는 레이저 노광이 가능하다.
이러한 부주사 방향으로 3200dpi, 주주사 방향으로 6400dpi의 해상도를 가지는 레이저 노광 방법을 도 10에 근거해서 설명한다.
도 10에 있어서, 레이저 빛을 발진하는 레이저 광원과 해당 레이저 빛을 복수의 제어 신호로 공간적으로 배열 분할해서 복수의 레이저 빔으로 하는 광변조부와 광변조부로부터의 배열된 레이저 빔을 축소 투영하는 투영 광학부와 해당 레이저 빔을 감광막에 대해서 주사시키는 주사 수단을 가지는 레이저 헤드부를 포함한 종래의 레이저 노광 장치를 이용하고, 감광막을 도포한 그라비아 제판용 실린더에 대해서, 노광하는 경우의 방법에 대해서 설명한다. 도시예에서는, 208개의 레이저 빔을 사용하며, 레이저 스폿의 사이즈는 폭 약 7.9㎛이며, 높이가 그 절반의 구형이다.
감광막을 도포한 실린더를 회전시키면서, 레이저 헤드부를 스파이럴 형상으로 주사해서 노광한다.
우선, 실린더의 회전 1주목은, 208개의 레이저 빔으로 감광막에 소정 형상을 가지는 레이저 스폿 열을 형성해서 노광한다.
실린더의 회전 2주목은, 1주목에 조사한 208개째의 빔과 중복하도록 하기 식(1)에 근거해서 빔을 조사한다. 이 경우, 1주목의 208개째 만이 겹침 노광되게 된다.
피치 25.4/3200×207=1.643㎜　　　···(1)
다음에, 실린더의 회전 3주목은, 2주목에 조사한 208개째의 빔과 중복하여 빔을 조사한다. 이 경우, 1주목의 208개째 만이 겹침 노광되게 된다.
이와 같이 하여, 3200dpi×6400dpi의 해상도를 가지는 레이저 노광을 행한다.
최근에는 새로운 고정밀화가 요구되고 있지만, 레이저 스폿의 높이 방향에 대해서는 위에서 설명한 바와 같이 작게 할 수 있어도, 레이저 스폿의 폭 방향의 사이즈를 보다 더 작게 한 레이저 노광 장치를 개발하는 것은 어려웠다.
또한, 개별적으로 구동가능한 단일 스트라이프 레이저 다이오드를 이용한 주사 라인 방법도 제안되고 있다(특허문헌 2).
그렇지만, 기존의 장치로 고해상도를 실현하는 것이 코스트 등의 점으로부터 바람직하다.
이에, 본 발명자들이 열심히 검토한 결과, 기존의 레이저 장치로 고해상도를 실현할 수 있는 레이저 노광 방법을 개발하기에 이르렀다.
[특허문헌 1] 특개평 10-193551호 공보 [특허문헌 2] 특개 2002-113836호 공보 [특허문헌 3] 특개 2000-318195호 공보
본 발명은, 상기 종래 기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 비교적 염가인 종래의 3200dpi 정도의 해상도를 가지는 레이저 노광 장치와 동일한 정도의 성능의 레이저 노광 장치를 이용하고, 그라비아 제판, 오프셋 제판, 플렉소 제판 등에 있어서 고해상도의 레이저 제판을 실시할 수 있고, 다시 말하자면, 프린트 기판, 액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이 등의 전자 부품에 있어서 회로 패턴의 레이저 노광이나 지폐 등에 있어서 위조 방지용 특수 인쇄 등에도 이용할 수 있는 고해상도의 레이저 노광 방법 및 그것을 이용해 제조된 제품을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 레이저 노광 방법은, 레이저 빛을 발진하는 레이저 광원과 해당 레이저 빛을 복수의 제어 신호로 공간적으로 배열 분할해서 복수의 레이저 빔으로 하는 광변조부, 광변조부로부터의 배열된 레이저 빔을 축소 투영하는 투영 광학부, 해당 레이저 빔을 감광막에 대해서 주사시키는 주사 수단을 가지며, 투영 광학부의 결상부에 배열되는 복수의 레이저 스폿의 각각이 폭 방향의 사이즈가 해당 폭 방향과 직교하는 높이 방향의 사이즈보다 큰 구형 형상을 가지는 구형 레이저 스폿으로 되는 레이저 헤드부를 포함한 레이저 노광 장치를 이용하여 레이저 빔을 주사시키는 것으로, 해당 감광막에 소정 길이를 가지는 레이저 스폿 열(列)을 형성하여 판면에 도포된 감광막을 노광해서 감광되는 부분과 감광되지 않는 부분을 형성하기 위한 노광 방법이며, 서로 전후하는 주사에 있어서, 먼저 주사된 레이저 스폿 열 폭 방향의 적어도 절반의 영역이 중복 노광되도록 나중에 레이저 스폿 열을 주사해서 노광하는 것을 특징으로 한다.
상기 주사 수단으로서는, 감광막에 조사된 레이저 스폿 열의 배열 방향과 교차하는 방향으로 상대 주사시키는 주주사 방향과, 상기 주주사 방향에 대해서 직교하는 방향으로 상대 주사시키는 부주사 방향으로 주사시키는 주사 수단이 매우 적합하다.
이와 같이 노광하는 것으로, 후에 주사된 레이저 스폿 열로부터, 먼저 주사된 레이저 스폿 열과의 중복 노광 부분을 공제한 만큼만 노광 영역을 증가시키기 위해, 종래와 같이 대부분 병렬에 레이저 스폿 열을 조사하도록 주사하는 경우와 비교해서, 노광 영역이 작아지면서, 고해상도화가 실현될 수 있다. 특히, 종래는 실현이 어려웠던 레이저 스폿의 폭 방향의 고해상도화, 즉 상기 레이저 노광 장치의 부주사 방향의 고해상도화가 실현될 수 있다.
또한, 상기 복수의 제이저 빔이 홀수인 것이 바람직하다.
더해, 상기 레이저 광원으로서는, 반도체 레이저인 것이 바람직하다.
본 발명의 제품은, 본 발명의 레이저 노광 방법을 이용해서 제조된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 비교적 염가인 종래의 3200dpi 정도의 해상도를 가지는 레이저 노광 장치와 동일한 정도의 성능의 레이저 노광 장치를 이용해서, 그라비아 제판, 오프셋 제판, 후플렉소 제판 등에 있어서 고해상도의 레이저 제판을 실시할 수 있고, 보다 더, 프린트 기판, 액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이 등의 전자 부품에 있어서 회로 패턴의 레이저 노광이나 지폐 등에 있어서 위조 방지용 특수 인쇄 등에도 이용할 수 있는 고해상도의 레이저 노광 방법 및 그것을 이용해서 제조된 제품을 제공할 수 있는 등, 현저하게 큰 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 레이저 노광 방법을 나타내는 모식 설명도이다.
도 2는 도 1의 실린더 회전 1주목과 2주목을 상세하게 설명하는 모식 설명도이다.
도 3은 본 발명의 레이저 노광 방법에 이용되는 레이저 노광 장치의 기본적 장치 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4는 본 발명의 레이저 노광 방법에 이용되는 레이저 노광 장치의 기본적 장치 구성을 나타내는 모식도이다.
도 5는 도 4를 상세하게 나타낸 모식도이다.
도 6은 제판된 그라비아 실린더의 전자현미경 사진이며, (a)는 실시예 1의 결과를 나타내고, (b)는 비교예 1의 결과를 나타낸다.
도 7은 도 6(a)의 상란의 확대 사진이다.
도 8은 도 6(b)의 상란의 확대 사진이다.
도 9는 종래의 레이저 노광 방법을 나타내는 모식 설명도이다.
도 10은 종래의 레이저 노광 방법을 나타내는 모식 설명도이다.
이하에 본 발명의 실시의 형태를 첨부 도면에 근거하여 설명하지만, 도시예는 예시적으로 나타낸 것으로, 본 발명의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 한 여러 가지의 변형이 가능하다.
우선, 본 발명의 레이저 노광 방법으로 이용되는 레이저 노광 장치의 장치 구성에 관하여 이하에 설명한다. 도 3은, 본 발명의 레이저 노광 장치의 기본적 장치 구성을 나타내는 블록도이다. 도면 중, 부호 10은 레이저 노광 장치이며, 레이저 노광 장치(10)는 레이저 빔을 감광막에 조사된 레이저 스폿 열의 배열 방향과 교차하는 방향으로 상대 주사시키는 주주사 방향과 상기 주주사 방향에 대해서 직교하는 부주사 방향에 주사시키는 주사 수단으로서의 주사 기구(4)를 가지는 레이저 헤드부(11)를 가지며, 레이저 헤드부(11)는, 레이저 광원(1)과 레이저 빛을 폭 방향의 사이즈가 해당 폭 방향과 직교하는 높이 방향의 사이즈보다 큰 구형 형상을 가지는 구형 레이저 스폿에 성형하는 빔 성형 조사부(2)로부터 구성되어지며, 또한 제판 정보에 근거하여, 레이저 광원(1), 빔 성형 조사부(2), 레이저 헤드부(11)의 주사 기구(4) 및 원통(5)의 동작을 제어하는 제어부(3)를 갖추고 있다. 제판 대상이 되는 원통(5)에는, 그 표면에 감광재가 도포되어 감광막이 형성된 원통 판면(6)으로 되어 있다.
레이저 광원(1)은, 예를 들면 파장 830nm의 반도체 레이저의 레이저 발진부를 복수개 가지는 반도체 레이저이며, 연속적으로 레이저 발진한다. 레이저 광원(1)으로부터 출사된 레이저 빛은 빔 성형 조사부(2)에 입사한다.
빔 성형 조사부(2)는, 개구 성형부(7), 광변조부(8)와 투영 광학부(9)로 구성되어 있다. 개구 성형부(7)는, 입사한 레이저 빛의 빔 형상을 광변조부(8)의 입사 개구에 맞추어 성형해서, 광변조부(8)에 입사 시킨다. 본 발명에서는, 레이저 스폿의 형상을 구형으로 할 필요가 있으므로, 빔 형상도 구형으로 성형한다. 또한, 빔 형상을 구형으로 성형하는 방법은 공지의 방법에 의하면 좋지만, 예를 들면, 레이저 빛을 장방형의 구멍을 가지는 광판에 통과시키도록 하면 좋다(특허문헌 3 참조).
광변조부(8)는, 수십에서 수백의 독립한 광변조 개구를 가지는 액정형 공간 변조기나 전기 구동되는 소형 미러 어레이(mirror array), 혹은 음향 광학 공간 변조기 등으로 구성되는 광변조부이며, 제판 정보에 근거하여 복수의 신호로 레이저 빛을 공간적으로 배열 분할해서 광변조 제어한다. 예를 들면 전자 구동되는 소형 미러를 다수 배열한 회절 격자형 미러 어레이의 경우, 수 엘리먼트를 1채널로서 구동 제어되어 200kHz 정도로 입사하는 레이저 광선의 광강도 변조가 가능하며, 수백 채널의 독립한 광변조기로서 사용할 수도 있는 것이다. 제어부(3)로부터 제판 정보가 부여된 변조 신호에 의해서 개개 독립적으로 강도 변조되어 수백 채널 분의 배열된 펄스형 회절빛으로서 출사한다.
광변조부(8)를 출사해서, 각각 광변조된 레이저 빛은, 독립된 광변조 개구에 상당하는 배열된 레이저 광선이 되고, 이것을 투영 광학부(9)에 입사 시킨다. 투영 광학부(9)는 입사 빛을 소정의 배율로 축소 투영하는 복수의 렌즈로 구성된 축소 투영 광학계이며, 렌즈 계 및 오토포커스 기능 등을 가져, 광변조부(8)를 입사 광원면으로서 판면(6)상을 결상면으로 하는 축소 광학계이다. 광변조부(8)의 위치에서의 채널의 형상으로 결정되는 레이저 광 빔 지름과 레이저 광 빔 간격을, 판면상에서 소정의 레이저 스폿과 레이저 스폿 간격이 되도록 축소 투영한다. 예를 들면, 투영 광학부의 축소비를 10대 1로 하면, 광변조부(8)로 50㎛지름, 50㎛간격으로 배열된 레이저 스폿 열은 판면(6)상에서의 레이저 스폿 열은 5㎛지름으로 5㎛간격으로 축소 투영된다.
도 4 및 도 5에 보이는 바와 같이, 이러한 레이저 광원(1)으로부터 투영 광학부(9)까지의 광학계를 탑재하고 있는 레이저 헤드부(11)는, 제판 정보에 의해서 차례차례 원통(5)에 따라서 샤프트(12)를 개입시켜 주사 기구(4)에 의해 레이저 빔을 감광막에 대해서 주주사 방향과 상기 주주사 방향에 대해서 직교하는 부주사 방향에 주사된다. 판면(6)에는 감광재가 도포되어 감광막이 형성되어 있다. 제어부(3)는, 제판 정보에 근거해서, 원통(5)의 회전과, 레이저 주사 기구(4)의 주주사 방향 및 부주사 방향의 제어를 가능하게 하고 있다.
본 발명의 노광 방법은, 이러한 레이저 노광 장치를 이용해서, 레이저 빔을 주주사 방향 또는 부주사 방향으로 주사시키는 것으로, 해당 감광막에 소정 형상을 가지는 레이저 스폿 열을 형성하고, 판면에 도포된 감광막을 노광하여 감광되는 부분과 감광되지 않는 부분을 형성하기 위한 노광 방법이며, 동시에 전후하는 주사에 있어서, 먼저 주사 된 레이저 스폿 열의 폭 방향의 적어도 절반의 영역이 중복 노광되도록 후의 레이저 스폿 열을 주사해서 노광하는 것이다. 상기 복수의 레이저 빔으로서는, 홀수개가 바람직하다.
판면(6)은, 레이저 조사된 부분이 감광되고 비조사부는 감광되지 않기 때문에, 원통(5) 면 전체에 제판 정보가 부여된다. 그 후, 원통(5)은, 현상, 금속면의 에칭, 레지스터 박리, 크롬 도금이나 다이아몬드 카본 등을 이용한 경질 피막 형성 처리에 의해서, 그라비아 인쇄판으로서 제공된다. 감광재가 포지티브형의 감광액을 사용했을 경우에는, 감광된 부분이 광분해하고, 네가티브형의 감광액을 사용했을 경우에는, 노광된 영역이 광경화해서 잔존해서, 에칭하면 노광되지 않았던 영역은 제거되게 된다.
이하에 본 발명의 실시예를 들어 구체적으로 설명하지만, 각 실시예는 예시적으로 나타낸 것으로 한정적으로 해석되어야 한다.
실시예
실시예 1
레이저 그라비아 제판 시스템을 다음과 같이 구성했다. 원통(그라비아 실린더)은 원주 600㎜로 폭 1100㎜의 알루미늄제 그라비아 실린더에 80㎛의 동도금을 실시해서, 표면을 경면 연마(표면 조도 Ry=0.12㎛)했다. 감광액으로서는 TSER-2104[(주)씽크·라보라토리 제조 판매의 포지티브형 감광액]를 이용해서 감광막의 막후 3.5㎛, 도포 후 45분간의 풍건(온도 23℃)을 실시했다. 감광액 도포 장치로서는 코팅-FX-1300[(주)씽크·라보라토리 제조 판매〕을 이용했다. 레이저 노광 장치로서, LaserStream-FX-1300[(주)씽크·라보라토리 제조 판매]을 이용해서, 노광 파워를 230mJ/㎠로 하고, 노광시 실린더 회전수를 200rpm으로 했다. 현상액에는 TLD 현상액[(주)씽크·라보라토리 제조 판매]를 이용해서, 현상 방법은 회전 침지 현상 80초(온도 25℃)에서 실시했다. 상기 시스템 구성 중의 레이저 노광 장치의 레이저 스폿(16)은 구형이며, 208개의 레이저 빔을 조사할 수 있다.
이러한 레이저 노광 장치를 이용한 레이저 노광 방법에 대해서, 도 1 및 도 2에 근거해 설명한다. 감광막을 도포한 실린더를 회전시켜, 우선, 실린더의 회전 1주목은, 208개의 레이저 빔 가운데, 208번째를 OFF로 해서 207개의 레이저 빔으로 감광막에 소정 형상을 가지는 레이저 스폿 열(14a)을 형성하여 조사해서 노광한다.
실린더의 회전 2주목은, 1주목에 조사한 207개의 레이저 스폿 열의 폭 방향의 절반의 영역이 중복 노광되도록, 하기 식 (2)에 근거해 레이저 스폿 열(14b)을 부주사한다. 이 경우, 감광막상에 있어, 1주목의 레이저 스폿 열(14a)의 폭 방향의 절반의 영역이 겹쳐 노광되게 된다(도 2 참조).
피치 25.4/3200×103.5=0.8215㎜　　　· · · (2)
다음에, 실린더의 회전 3주목은, 똑같이 해서, 2주목에 조사한 207개의 레이저 스폿 열의 폭 방향의 절반의 영역이 중복 노광되도록 레이저 스폿 열을 부주사한다.
이와 같이 하여, 차례로 노광해 나가는 것으로, 6400dpi×6400dpi의 해상도를 가지는 레이저 노광 장치로 노광한 것과 동등한 효과를 얻을 수 있다. 상기한 레이저 노광 방법 이외는, 통상의 레이저 그라비아 제판을 실시한 결과를 도 6(a) 및 도 7에 나타낸다. 도 6(a) 및 도 7에 보는 바와 같이, 사선 부분에도 거의 단차나 톱니모양은 나타나지 않고, 거의 완전히 직선모양의 사선을 형성할 수 있어, 거의 정확히 미세한 노광 및 제판을 실시할 수 있었다.
비교예 1
실시예 1과 같은 레이저 그라비아 제판 시스템을 이용하고, 해당 시스템 구성 중의 레이저 노광 장치에 있어서, 도 10에 나타난 것과 같은 레이저 노광 방법을 실시한 이외는, 실시예 1과 같이 하여 레이저 그라비아 제판을 실시했다. 그 결과를 도 6(b) 및 도 8에 나타낸다. 도 6(b) 및 도 8에 보는 바와 같이, 사선 부분에는 단차에 의한 톱니모양이 나타나서 충분히 미세한 노광 및 제판을 실시할 수 없었다.
상기 설명에서는, 주로 그라비아 제판에 적용되는 경우에 대해 설명했지만, 본 발명의 레이저 노광 방법은, 그라비아 제판뿐만 아니라, 오프셋 제판, 플렉소 제판 등의 각종 레이저 제판에도 사용할 수 있다. 또, 프린트 기판, 액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이 등의 전자 부품의 제조업의 분야에 있어서도, 종래의 마스크 필름을 모아 일괄 노광이나 스텝 노광하는 것으로 바꾸고, X-Y 주사 방식의 레이저 노광 장치에 의해서 각종 회로 패턴을 노광하는데도 이용 가능하다. 또한, 지폐 등에 있어서 위조 방지용 특수 인쇄 등에도 이용할 수 있다.
1：레이저 광원 2：빔 성형 조사부
3：제어부 4：레이저 주사 기구
5：원통(그라비아 실린더) 6：판면(감광막)
7：개구 성형부 8：광변조부
9：투영 광학부 10：레이저 노광 장치
11：레이저 헤드부 12：샤프트
14a, 14b：레이저 스폿 열 16：레이저 스폿

Claims (3)

  1. 레이저 빛을 발진하는 레이저 광원과, 해당 레이저 빛을 복수의 제어 신호로 공간적으로 배열 분할해서 복수의 레이저 빔으로 하는 광변조부와, 광변조부로부터의 배열된 레이저 빔을 축소 투영하는 투영 광학부와, 해당 레이저 빔을 감광막에 대해서 주사시키는 주사 수단을 가지며, 투영 광학부의 결상부에 배열되는 복수의 레이저 스폿의 각각이 폭 방향의 사이즈가 해당 폭 방향과 직교하는 높이 방향의 사이즈보다 큰 구형 형상을 가지는 구형 레이저 스폿으로 되는 레이저 헤드부를 포함한 레이저 노광 장치를 이용하여,
    감광막을 도포한 실린더를 회전시켜 레이저 빔을 주사시키는 것으로, 해당 실린더의 주회(rotation)마다 해당 감광막에 복수의 서로 겹치지 않은 병렬형 레이저 스폿으로 이루어지는 소정의 길이를 가지는 레이저 스폿 열을 형성하고,
    서로 전후하는 주회에 있어서 먼저 주회됨으로써 해당 실린더 상의 감광막에 형성된 레이저 스폿 열의 폭 방향의 적어도 절반의 영역이 후에 주회된 레이저 스폿 열에 의해 중복 노광되도록, 후에 주회된 레이저 스폿 열을 주사해서 노광하는 것을 특징으로 하는 레이저 제판용 레이저 노광 방법.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 복수의 레이저 빔이 홀수 개인 것을 특징으로 하는 레이저 제판용 레이저 노광 방법.
  3. 삭제
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