KR101648333B1

KR101648333B1 - 약액 교반 및 공급 장치

Info

Publication number: KR101648333B1
Application number: KR1020150022158A
Authority: KR
Inventors: 박현우; 이상일
Original assignee: 주식회사 엔씨에스
Priority date: 2015-02-13
Filing date: 2015-02-13
Publication date: 2016-08-17

Abstract

약액 교반 및 공급 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 약액 교반 및 공급 장치는, 약액이 저장된 저장용기를 케이싱의 내부에 설치한 후, 저장용기 자체를 회전시켜 기포를 제거한다. 그러면, 저장용기의 약액을 케이싱에 주입한 후, 기포를 제거하는 경우에 비하여 탈포공정 시간이 단축되는 효과가 있을 수 있다. 그리고, 사용중인 약액과 다른 종류의 약액을 사용하고자 할 경우, 저장용기를 교체하면 되므로, 케이싱을 세척할 필요가 없다. 그러므로, 대단히 편리한 효과가 있을 수 있다.

Description

약액 교반 및 공급 장치{APPARATUS FOR AGITATING AND SUPPLYING CHEMICAL SOLUTION}

본 발명은 약액을 교반하여 약액에 함유된 기포를 제거한 후, 사용처로 공급하는 약액 교반 및 공급 장치에 관한 것이다.

반도체 및 표시 장치의 제조시에는 산화막, 금속막 또는 반도체막 등과 같이 특수한 기능을 수행하는 박막을 실리콘 기판 또는 유리 기판 등과 같은 기판에 형성하며, 기판에 박막을 형성하기 위해서는 레지스트액, 현상액 또는 컬러 필터 등과 같은 약액을 기판에 도포하여 코팅한다.

약액에는 다양한 원인으로 기포가 발생하여 존재하는데, 기포가 함유된 약액이 기판에 도포되어 코팅되면, 코팅불량, 연마불량 또는 접합불량이 발생한다. 따라서, 제품의 수율이 저하되는 문제점이 있다.

이로 인해, 약액 공급 장치는 약액을 교반시켜 약액에 함유된 기포를 제거한 다음, 기포가 제거된 약액을 약액코팅장치로 공급한다.

도 1은 종래의 약액 교반 및 공급 장치의 사시도로서, 이를 설명한다.

도시된 바와 같이, 종래의 약액 교반 및 공급 장치는 약액이 유입되어 저장되는 탱크(11)를 포함한다. 탱크(11)의 상부측 외면에는 유입관(11a)이 연통 설치되고, 하면에는 토출관(11b)이 연통 설치된다. 탱크(11)의 외측에 위치된 유입관(11a)의 단부로 저장용기(50)의 약액을 주입하면, 탱크(11)에 약액이 저장되며, 탱크(11)에 저장된 약액은 기포가 제거되어 토출관(11b)을 통하여 사용처로 토출 공급된다.

탱크(11)의 내부에는 회전축(13a)과 회전축(13a)의 외주면에 형성된 복수의 블레이드(13b)를 가지는 교반기(13)가 설치되고, 탱크(11)의 상면에는 교반기(13)의 회전축(13a)을 회전시키기 위한 모터(15)가 설치된다. 그리하여, 교반기(13)가 회전하면서 약액을 교반하면, 약액에 함유된 기포가 상승하여 탱크(11)에 형성된 배출공(미도시)을 통하여 외부로 배출된다.

기포가 제거된 약액이, 토출관(11b)을 통하여, 사용처로 소정 압력으로 공급될 수 있도록, 탱크(11)의 일측에는 공기 주입관(11c)이 설치될 수 있다. 즉, 공기 주입관(11c)을 통하여 주입된 공기가 약액을 가압하면, 기포가 제거된 약액이 토출관(11b)을 통하여 소정 압력으로 토출된다.

상기와 같은 종래의 약액 교반 및 공급 장치는 저장용기(50)로부터 약액을 공급받는다. 그러면, 저장용기(50)의 약액이 유입관(11a)을 통하여 탱크(11)로 유입될 때, 약액에 기포가 발생할 수 있으므로, 약액에 함유된 기포를 제거하기 위한 탈포공정 시간이 상대적으로 많이 소요되는 단점이 있다.

그리고, 상이한 종류의 약액을 사용하기 위해서는 탱크(11)를 세척하여야 하므로, 불편한 단점이 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 모든 문제점들을 해결할 수 있는 약액 교반 및 공급 장치를 제공하는 것일 수 있다.

본 발명의 다른 목적은 약액이 저장된 저장용기 자체를 회전시켜 기포를 제거함으로써, 탈포공정 시간을 단축할 수 있는 약액 교반 및 공급 장치를 제공하는 것일 수 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 상이한 종류의 약액을 사용하고자 할 때, 약액이 저장된 저장용기를 교체하여 사용할 수 있도록 구성함으로써, 편리한 약액 교반 및 공급 장치를 제공하는 것일 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치는, 약액이 저장된 저장용기를 수용하여 지지하는 케이싱; 상기 저장용기를 회전시키는 구동모듈; 상기 케이싱의 내부에 위치되어 상기 저장용기의 내부에 위치되며, 상기 저장용기의 회전에 의하여 상기 저장용기에 저장된 약액이 교반되게 하는 교반기를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치는, 약액이 저장된 저장용기를 케이싱의 내부에 설치한 후, 저장용기 자체를 회전시켜 기포를 제거한다. 그러면, 저장용기의 약액을 케이싱에 주입한 후, 기포를 제거하는 경우에 비하여 탈포공정 시간이 단축되는 효과가 있을 수 있다.

그리고, 사용중인 약액과 다른 종류의 약액을 사용하고자 할 경우, 저장용기를 교체하면 되므로, 케이싱을 세척할 필요가 없다. 그러므로, 대단히 편리한 효과가 있을 수 있다.

도 1은 종래의 약액 교반 및 공급 장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 약액 교반 및 공급 장치의 받침판이 하강한 상태를 보인 사시도.
도 4는 도 3의 저면 사사도.
도 5는 도 3 및 도 4의 요부 개략 단면도.

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.

"위에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우 뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.

이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 약액 교반 및 공급 장치의 받침판이 하강한 상태를 보인 사시도이며, 도 4는 도 3의 저면 사사도이고, 도 5는 도 3 및 도 4의 요부 개략 단면도이다.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치는 약액에 함유된 기포를 제거하기 위하여 약액을 교반할 수 있으며, 기포가 제거된 약액을 약액코팅장치로 공급할 수 있다. 약액은 레지스트액, 현상액 또는 컬러 필터 등을 포함할 수 있으며, 실리콘 기판 또는 유리 기판 등과 같은 기판에 코팅될 수 있다. 그리고, 상기 약액코팅장치는 기포가 제거된 약액을 공급받아 기판에 코팅할 수 있다.

본 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치는 케이싱(110), 구동모듈(130) 및 교반기(150)를 포함할 수 있으며, 약액이 저장된 저장용기(50)를 케이싱(110)의 내부에 투입하여 회전시키고, 저장용기(50)의 회전에 의하여 약액이 교반되게 한다.

이하, 케이싱(110)을 포함한 구성 요소들의 방향 및 면을 지칭함에 있어서, 케이싱(110)의 상측을 향하는 방향 및 면을 "상측 및 상면", 하측을 향하는 방향 및 면을 "하측 및 하면"이라 한다.

케이싱(110)은 상부케이싱(111)과 받침판(115)을 포함할 수 있으며, 케이싱(110)의 내부에는 약액이 저장된 저장용기(50)가 수용 지지될 수 있다.

상부케이싱(111)은 하면이 개방될 수 있으며 상대적으로 상측에 위치될 수 있다. 받침판(115)은 상부케이싱(111)의 하측에 위치되어 승강가능하게 설치될 수 있으며, 승강하면서 상부케이싱(111)의 개방된 하면을 밀폐하거나 개방할 수 있다.

즉, 받침판(115)이 상승하면, 받침판(115)의 상면이 상부케이싱(111)의 하단면(下端面)과 접촉하므로 상부케이싱(111)의 개방된 하면이 밀폐될 수 있고, 받침판(115)이 하강하면, 받침판(115)의 상면이 상부케이싱(111)의 하단면(下端面)과 이격되므로 상부케이싱(111)의 개방된 하면이 개방될 수 있다.

상부케이싱(111)의 하단면(下端面)에는 플랜지(112)가 형성될 수 있다. 그리고, 플랜지(112)와 받침판(115) 사이에는 링 형상의 실링부재(113)(도 4 및 도 5 참조)가 설치될 수 있고, 플랜지(112) 및 받침판(115)에는 실링부재(113)의 상측 부위 및 하측 부위가 각각 삽입 안치되는 링 형상의 안치로(112a, 115a)(도 3 내 도 5 참조)가 형성될 수 있다. 받침판(115)이 상승하면 실링부재(113)가 안치로(112a, 115a)에 삽입되어 밀착되며, 이로 인해 상부케이스(111)의 개방된 하면이 견고하게 실링될 수 있다.

받침판(115)의 상면측에는 저장용기(50)가 지지될 수 있으며, 저장용기(50)는 받침판(115)에 의하여 승강할 수 있다. 받침판(115)이 안정되게 승강할 수 있도록, 받침판(115)에는 지지브라켓(116)의 일측이 설치될 수 있고, 지지브라켓(116)의 타측은 상하방향으로 설치된 복수의 지지바(117)에 삽입 지지될 수 있다. 지지바(117)는 받침판(115)의 승강방향과 평행을 이룸은 당연하다.

구동모듈(130)은 회전/지지부재(131)와 모터(135)를 포함하며, 케이싱(110)의 내부로 투입된 저장용기(50)를 지지하여 회전시킬 수 있다.

회전/지지부재(131)는 받침판(115)의 상면에 설치되어 받침판(115)과 함께 운동할 수 있음과 동시에, 받침판(115)에 대하여 독립적으로 회전가능하게 설치될 수 있다.

회전/지지부재(131)의 상면에는 저장용기(50)의 하면이 탑재 지지되는데, 저장용기(50)가 안정되게 회전/지지부재(131)에 탑재 지지될 수 있도록, 회전/지지부재(131)는 저장용기(50)의 하측 부위와 대응되는 컵(Cup) 형상으로 형성될 수 있다. 그러면, 저장용기(50)의 하측 부위가 회전/지지부재(131)에 삽입되어 수용 지지되므로, 저장용기(50)가 회전/지지부재(131)에 안정되게 지지될 수 있다.

모터(135)는 받침판(115)의 하면에 설치되어 회전/지지부재(131)를 회전시킬 수 있다. 회전/지지부재(131)가 회전함으로 저장용기(50)가 회전하며, 모터(135)는 받침판(115)과 함께 승강한다.

교반기(150)는 저장용기(50)의 회전에 의하여 약액이 교반되게 하며, 토출관(151)과 블레이드(155)를 포함할 수 있다.

토출관(151)은 상단부측은 케이싱(110)의 상부케이싱(111)의 상면 상측에 위치될 수 있고, 하측 부위는 상부케이싱(111)의 내부에 위치되어 저장용기(50)의 내부에 위치될 수 있다. 그리고, 블레이드(155)는 저장용기(50)의 내부에 위치된 토출관(151)의 외주면에 형성될 수 있다.

그러면, 구동모듈(130)의 회전/지지부재(131)에 탑재 지지된 저장용기(50)가 구동모듈(130)에 의하여 회전하면, 저장용기(50)에 저장된 약액은 교반기(150)의 블레이드(155)에 의하여 교반될 수 있다. 이로 인해, 약액에 함유된 기포가 제거될 수 있으며, 기포는 저장용기(50)의 개방된 상면을 통하여 케이싱(110)으로 유입된 후, 케이싱(110)에 형성된 복수의 배출공(미도시)을 통하여 케이싱(110)의 외부로 배출될 수 있다.

기포가 제거된 약액이, 토출관(151)을 통하여, 상기 약액코팅장치 등과 같은 사용처로 소정 압력으로 공급될 수 있도록, 케이싱(110)의 일측에는 케이싱(110)으로 공기를 주입하기 위한 공기 주입관(미도시)이 연통 설치될 수 있다. 상기 공기 주입관을 통하여 케이싱(110)의 내부로 공기를 주입하면, 약액이 공기에 의하여 가압되며, 이로 인해 기포가 제거된 약액이 토출관(151)을 통하여 소정 압력으로 토출된다.

본 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치는 기포가 제거된 약액이 교반기(150)를 통하여 사용처로 토출되는 형태를 이룬다.

본 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치의 동작에 대하여 설명한다.

받침판(115)을 하강시킨 상태에서 약액이 저장된 저장용기(50)를 회전/지지부재(131)에 탑재 지지시킨다. 그후, 받침판(115)을 상승시키면 상부케이싱(111)의 하면이 받침판(115)에 의하여 폐쇄되며, 저장용기(50)는 상승한다. 그러면, 저장용기(50)의 내부에 교반기(150)의 토출관(151) 및 블레이드(155)가 위치된다.

이러한 상태에서, 회전/지지부재(131)를 회전시키면, 저장용기(50)의 약액이 교반되므로, 약액에 함유된 기포가 제거되는 것이다. 기포가 제거된 약액은 케이싱(110)으로 주입된 공기의 압력에 의하여 토출관(151)을 통하여 사용처로 토출된다.

본 실시예에 따른 약액 교반 및 공급 장치는 약액이 저장된 저장용기(50)를 케이싱(110)의 내부에 설치한 후, 회전시킨다. 즉, 저장용기(50) 자체를 회전시켜 기포를 제거하므로, 저장용기(50)의 약액을 케이싱(110)에 주입한 후, 기포를 제거하는 경우에 비하여 탈포공정 시간이 단축될 수 있다.

그리고, 사용중인 약액과 다른 종류의 약액을 사용하고자 할 경우, 저장용기를 교체하면 되므로, 케이싱을 세척할 필요가 없다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

50: 저장용기
110: 케이싱
111: 상부케이싱
115: 받침판
130: 구동모듈
131: 회전/지지부재
135: 모터
150: 교반기
151: 토출관
155: 블레이드

Claims

하면이 개방된 상부케이싱, 승강가능하게 설치되어 상기 상부케이싱의 개방된 하면을 밀폐하거나 개방하며 약액이 저장된 저장용기를 지지하여 상기 저장용기를 승강시키는 받침판을 가지는 케이싱;
상기 받침판의 상면에 설치되어 상기 받침판과 함께 운동하고 상기 받침판에 대하여 독립적으로 회전가능하게 설치되며 상기 저장용기를 지지하여 상기 저장용기를 회전시키는 회전/지지부재, 상기 받침판의 하면에 설치되어 상기 회전/지지부재를 회전시키는 모터를 가지는 구동모듈;
상단부측은 상기 케이싱의 상면 상측에 위치되고 하측 부위는 상기 케이싱의 내부에 위치되어 상기 저장용기의 내부에 위치되며 상기 저장용기의 약액을 사용처로 토출 공급하는 토출관, 상기 저장용기의 내부에 위치되는 상기 토출관의 외주면에 형성되며 상기 회전/지지부재에 의하여 상기 저장용기가 회전되면 상기 저장용기에 저장된 약액이 교반되게 하는 복수의 블레이드를 가지는 교반기를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 교반 및 공급 장치.
삭제
삭제
삭제
제1항에 있어서,
상기 상부케이싱의 하단면(下端面)에는 플랜지가 형성되고,
상기 플랜지와 상기 받침판 사이에는 링 형상의 실링부재가 개재되며,
상기 플랜지 및 상기 받침판에는 상기 실링부재의 일측 부위 및 타측 부위가 삽입 안치되는 안치로가 형성된 것을 특징으로 하는 약액 교반 및 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 받침판에는 지지브라켓이 설치되고,
상기 지지브라켓은 상기 받침판의 승강방향과 평행하게 설치된 지지바에 삽입 지지되어 상기 받침판의 승강을 지지하는 것을 특징으로 하는 약액 교반 및 공급 장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 회전/지지부재는 컵(Cup) 형상으로 형성되어 상기 저장용기의 하측 부위를 수용하는 것을 특징으로 하는 약액 교반 및 공급 장치.