KR101363391B1 - 무기포화 약액 공급장치 - Google Patents

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KR101363391B1
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Abstract

무기포화 약액 공급장치를 제공한다.
본 발명은 하부로 개방된 중공원통형 상부하우징과, 일정량의 약액이 채워진 용기가 올려지는 하부받침대를 승하강시키는 작동실린더를 갖추고, 상기 용기가 배치된 상부하우징의 내부공간을 진공분위기 또는 가압분위기로 전환시킬 수 있도록 상기 상부하우징과 일단이 연결되는 진공 및 가압라인을 갖추어 상기 상부하우징의 진공분위기에서 약액에 포함된 기포를 1차 제거하고, 상기 상부하우징의 가압분위기에서 용기에 일단이 침지된 토출관을 통해 약액을 외부로 배출하는 1차 기포제거 및 약액공급부 ; 상기 토출관과 약액공급라인을 매개로 연결되어 기포가 제거된 약액이 채워지는 챔버를 갖추고, 진공분위기에서 상기 챔버의 하부단에 일정길이 연장된 배출관내에 배치되는 회전스크류를 회전시키는 모터부재를 갖추어 상기 배출관의 단부에 형성된 노즐을 통해 약액을 외부로 토출하는 2차 기포제거 및 약액토출부 ; 를 포함한다.

Description

무기포화 약액 공급장치{Device For supplying the Non-bubble Fluid}
본 발명은 기포가 제거된 무기포화 약액을 공급하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 약액이 채워진 공간내에 부가되는 진공압에 의해서 약액에 포함된 기포를 액면 위로 부상시켜 제거하고, 기포가 제거된 약액을 후공정으로 공급할 수 있는 무기포화 약액 공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에서는 액상의 유체인 액체(이하 약액이라함.)를 디스펜싱하는 디스펜서와 같은 장비를 이용하여 웨이퍼의 표면에 액상의 코팅액을 일정량 도포하거나 웨이퍼의 표면에 액상의 연마액을 일정량 도포하거나 웨이퍼를 접합하기 위해서 액상의 접착제를 도포하게 된다.
즉, 이러한 약액이 보관되는 저장챔버를 설치하고 공급관을 통해 약액을 일정량 충전하여 저장하고, 약액이 채워진 저장챔버의 바닥면에 근접하는 하부에 공급노즐을 갖는 약액공급관을 침지시킨다.
이에 따라, 약액에 미세 기포가 다량으로 존재하는 상측과 이격된 지점에 침지된 공급노즐을 갖는 공급관을 이용하여 디스펜서로 약액을 토출하게 되는 것이다.
한편, 약액 내에는 다양한 이유로 인하여 기포가 발생하게 되는데, 예를 들어 2종류 이상의 약액을 사용하는 경우 약액들 간의 반응에 의해서 기포가 발생할 수 있으며, 용기나 저장챔버에 외부로부터 공기가 유입되어 기포가 형성될 수 있으며, 주변 온도 변화에 따라 액체에 녹아 있는 일부 성분이 기화되어 기포가 발생할 수가 있다.
이러한 다양한 원인에 의해서 발생하는 기포가 포함된 약액이 웨이퍼와 같은 대상물에 디스펜싱되는 경우, 코팅불량, 연마불량, 접합불량을 초래하고, 이로 인하여 제품수율을 저하시키는 요인으로 작용하기 때문에 약액을 디스펜싱하기 전에 약액으로부터 기포를 효과적으로 제거할 수 있는 기술의 개발이 필요하게 된다.
대한민국 등록특허 10-1141147호(2012.4.23.)에는 기포없는 약액을 공급하는 약액공급장치 및 방법이 개시되어 있고, 대한민국 등록특허 10-1090075호(2011.11.30.)에는 웨이퍼 코팅장치 및 이에 코팅액을 공급하는 방법이 개시되어 있다.
그러나, 이러한 선행기술에서도 약액에 포함된 기포를 완전히 제거하는 것이 곤란하기 때문에 제품불량을 낮추고 수율을 높이는데 한계가 있었다
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 약액이 채워진 공간내에 부가되는 진공압에 의해서 약액에 포함된 기포를 액면 위로 부상시켜 제거하고, 기포가 제거된 약액을 후공정으로 공급할 수 있는 무기포화 약액 공급장치를 제공하고자 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명은, 하부로 개방된 중공원통형 상부하우징과, 일정량의 약액이 채워진 용기가 올려지는 하부받침대를 승하강시키는 작동실린더를 갖추고, 상기 용기가 배치된 상부하우징의 내부공간을 진공분위기 또는 가압분위기로 전환시킬 수 있도록 상기 상부하우징과 일단이 연결되는 진공 및 가압라인을 갖추어 상기 상부하우징의 진공분위기에서 약액에 포함된 기포를 제거하고, 상기 상부하우징의 가압분위기에서 용기에 일단이 침지된 토출관을 통해 약액을 외부로 배출하는 1차 기포제거 및 약액공급부 ; 상기 토출관과 약액공급라인을 매개로 연결되어 기포가 제거된 약액이 채워지는 챔버를 갖추고, 진공분위기에서 상기 챔버의 하부단에 일정길이 연장된 배출관내에 배치되는 회전스크류를 회전시키는 모터부재를 갖추어 상기 배출관의 단부에 형성된 노즐을 통해 약액을 외부로 토출하는 2차 기포제거 및 약액토출부 ; 를 포함하는 무기포화 약액 공급장치를 제공한다.
바람직하게, 상기 하부받침대는 상부가 개방된 용기가 올려지도록 배치홈이 상부면에 함몰형성된 상부판과, 상기 상부하우징의 개방된 하부단에 형성된 밀착턱에 밀착되는 실링부재를 갖추어 상기 작동실린더의 지지판에 올려지는 하부판을 포함한다.
바람직하게, 상기 상부하우징과 하부받침대사이에는 상기 상부하우징의 개방된 하부를 밀폐하도록 상기 상부하우징의 하부단에 상부단이 밀착된 하부받침대를 고정하도록 클램프를 구비한다.
바람직하게, 상기 작동실린더는 상기 하부받침대가 올려지는 지지판을 갖는 왕복대와, 상기 왕복대가 상하안내이동되도록 조립되는 좌우한쌍의 안내바사이에 구비되어 상기 왕복대를 상하왕복작동시키는 실린더부재를 포함한다.
바람직하게, 상기 진공 및 가압라인은 상기 상부하우징의 내부압을 대기압보다 낮은 진공분위기로 전환시킬 수 있도록 제1삼방변을 매개로 제1진공펌프와 연결되고, 상기 상부하우징의 내부압을 대기압보다 높은 가압분위기로 전환시킬 수 있도록 상기 제1삼방변을 매개로 하여 콤프레셔와 연결된다.
바람직하게, 상기 기포제거 및 약액공급부는 약액공급라인을 통한 약액공급이 상기 약액토출부측으로 연속하여 이루어질 수 있도록 좌우한쌍의 상부하우징내의 용기에 하부단이 침지된 토출관과 각각 연결되는 한쌍의 분기라인을 갖추고, 상기 한쌍의 분기라인은 제2삼방변을 매개로 하여 약액공급라인과 연결된다.
바람직하게, 상기 챔버는 상기 약액공급라인과 연결되어 기포가 1차 제거된 약액이 주입되는 주입구 근방에 약액이 챔버의 내부벽을 타고 유입될 수 있도록 경사진 안내판을 구비한다.
바람직하게, 상기 챔버는 상기 약액공급라인을 통해 주입되어 채워지는 약액의 수위를 검출하는 수위센서부를 추가 포함하고, 상기 수위센서부는 약액의 상한과 하한을 검지하는 상,하한 수위센서와 더불어 약액의 최고위를 검지하는 최고위 수위센서를 포함한다.
바람직하게, 상기 챔버는 내부분위기를 대기압보다 낮은 진공분위기로 유지할 수 있도록 진공흡입라인을 매개로 제2진공펌프와 연결된다.
상기한 바와 같은 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
(1) 약액이 채워진 용기가 배치된 상부하우징의 개방된 하부를 밀페한 상태에서 상부하우징의 내부분위기를 진공분위기로 전환시킴으로써 약액에 포함된 기포를 부상시켜 제거할 수 있기 때문에 무기포화된 약액을 후공정으로 공급하여 기포에 기인하는 공정불량 및 제품불량을 방지할 수 있다.
(2) 상부하우징의 내부분위기를 진공분위기로 전환시켜 약액에 포함된 기포를 부상시켜 제거한 다음, 상부하우징의 내부분위기를 가압분위기로 전환시킴으로써 무기포화된 약액을 약액공급부로 압력차에 의해서 공급할 수 있기 때문에 무기포화된 약액공급을 보다 원활하게 수행할 수 있다.
(3) 1차로 무기포화된 약액이 주입되어 채워지는 챔버의 내부공간을 대기압보다 낮은 진공분위기로 유지함으로써 배출관내에 배치된 회전스크류의 회전에 의한 약액공급시 챔버에 주입되어 채워진 약액에서의 기포발생을 2차로 억제할 수 있기 때문에 후공정에서의 공정불량 및 제품불량을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 무기포화 약액 공급장치를 도시한 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 무기포화 약액 공급장치에 채용되는 1차 기포제거 및 약액공급부를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 무기포화 약액 공급장치에 채용되는 1차 기포제거 및 약액공급부를 도시한 것으로서,
(a)는 평면도
(b)는 정면도
(c)는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 무기포화 약액 공급장치에 채용되는 1차 기포제거 및 약액공급부를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 무기포화 약액 공급장치에 채용되는 2차 기포제거 및 약액토출부를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 무기포화 약액 공급장치에 채용되는 약액토출부를 도시한 것으로서,
(a)는 평면도
(b)는 정면도
(c)는 측면도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구조 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하 본 발명의 일 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 무기포화 약액공급장치(100)는 도 1 내지 도 6c 에 도시한 바와 같이, 1차 기포제거 및 약액공급부(110)와 2차 기포제거 및 약액토출부(120)를 포함한다.
상기 1차 기포제거 및 약액공급부(110)는 상부하우징(111), 하부받침대(112), 작동실린더(113) 및 진공 및 가압라인(114)을 포함하는바, 상기 상부하우징(111)은 본체브라켓(119)의 상부수평대(119a)에 상단이 연결되어 밀페되어 연결되고, 하부로 개방된 중공원통형 수용부재이다.
상기 하부받침대(112)는 일정량의 약액이 채워진 용기(B)가 올려지고, 상기 본체브라켓(119)의 수직대(119c)에 수직하게 설치되는 작동실린더(113)에 의해서 상기 상부하우징(111)의 개방된 하부를 개방하거나 밀폐하는 대략 디스크상의 판부재로 이루어진다.
여기서, 상기 하부받침대(112)는 상부가 개방된 용기(B)가 올려지도록 배치홈(112b)이 상부면에 함몰형성된 상부판(112a)과, 상기 상부하우징(111)의 개방된 하부단에 형성된 밀착턱(111a)에 밀착되는 실링부재(112c)를 갖추어 상기 상부판이 올려져 적층배치되고 상기 작동실린더(113)의 왕복대(113a)로부터 연장된 지지판(113b)에 올려져 적층배치되는 하부판(112d)을 포함한다.
그리고, 상기 상부하우징(111)과 하부받침대(112)사이에는 상기 상부하우징의 개방된 하부를 밀폐하도록 상기 상부하우징(111)의 하부단에 상부단이 밀착된 하부받침대를 고정하도록 클램프(118)를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 클램프(118)는 호형단면상로 이루어지는 한쌍의 클램프부재(118b)가 일단이 힌지핀(118a)을 매개로 하여 회동가능하게 조립되고, 타단에는 상기 상부하우징의 하부단에 돌출형성된 밀착턱(111a)과 상기 하부받침대(112)의 상단을 동시에 클램핑하여 결속하거나 언클램핑하도록 고정수단(118c)을 구비한다.
또한, 상기 작동실린더(113)는 상기 하부받침대(112)가 올려지는 지지판(113b)을 갖는 왕복대(113a)와, 상기 왕복대(113a)가 상하안내이동되도록 조립되는 좌우한쌍의 안내바(113d)사이에 구비되어 상기 왕복대(113a)를 상하왕복작동시키는 실린더부재(113c)를 포함한다.
여기서, 상기 실린더부재(111c)와 안내바(113d)는 상기 상부하우징의 상단이 일체로 연결되는 상부수평대(119a)와, 상기 클램프(118)가 올려지는 하부수평대(119b)사이를 연결하는 본체브라켓(119)의 수직대(119c)내측면에 고정설치되는 상하 한쌍의 고정블럭(113e)에 상,하단이 각각 연결되어 고정된다.
상기 본체브라켓(119)에는 상기 작동실린더에 의해서 상기 상부하우징의 개방된 하부를 하부받침대(112)에 의해서 밀폐하거나 개방하도록 승하강되는 왕복대(113a) 또는 지지판(113b)의 위치를 제어하도록 터치시 감지신호를 발생시키는 리미트스위치를 구비하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 용기(B)가 배치된 상부하우징(111)의 내부공간을 진공분위기 또는 가압분위기로 전환시킬 수 있도록 상기 상부하우징(111)과 일단이 연결되는 진공 및 가압라인(114)을 갖춤으로써, 상기 상부하우징(111)의 진공분위기에서 용기(B)내의 약액에 포함된 기포를 제거하고, 상기 상부하우징(111)의 가압분위기에서 용기에 일단이 침지된 토출관(116)을 통해 약액을 외부로 배출하는 것이다.
즉, 상기 진공 및 가압라인(114)은 상기 상부하우징(111)의 내부에 배치된 용기(B)내의 약액에 포함된 기포를 제거하기 위해서 상기 상부하우징(111)의 내부압을 대기압보다 낮은 진공분위기로 전환시킬 수 있도록 제1삼방변(114a)을 매개로 진공흡입수단인 제1진공펌프(115a)와 연결되고, 상기 상부하우징(111)의 진공분위기에서 기포가 제거된 용기(B)내의 약액을 상기 토출관(116)을 통하여 외부로 배출하기 위해서 상기 상부하우징(111)의 내부압을 대기압보다 높은 가압분위기로 전환시킬 수 있도록 상기 제1삼방변(114a)을 매개로 하여 가압수단인 콤프레셔(115b)와 연결된다.
상기 토출관(116)은 상기 본체브라켓(119)의 상부 수평대(119a)에 수직하게 고정설치된다.
이에 따라, 상기 상부하우징(111)의 개방된 하부를 작동실린더(113)에 의해서 상승된 하부받침대(112)로 밀폐한 상태에서 상기 진공 및 가압라인(114)과 제1삼방변(114a)을 매개로 연결된 제1진공펌프(115a)에 의해 상부하우징의 내부공기를 강제로 흡입하게 되면, 상기 상부하우징(111)의 내부가 대기압 보다 낮은 진공압이 되기 때문에 용기에 채워진 약액에 포함된 기포는 수면위로 상승하게 되는 것이다.
그리고, 이러한 상부하우징(111)의 진공분위기를 일정시간 동안 유지하게 되면, 다양한 원인에 의해서 용기내의 약액에서 발생된 기포는 수면위로 상승되어 제거되는 것이다.
이어서, 상기 흡입펌프에 의하여 상부하우징의 내부공간을 진공분위기로 유지하는 것을 일시 중단하고, 상기 상부하우징의 내부공간을 대기압상태로 전환시킨 다음, 상기 진공 및 가압라인(114)과 제1삼방변(114a)을 매개로 연결된 콤프레셔(115b)에 의해서 외부공기를 강제로 공급하게 되면, 상기 상부하우징(111)의 내부가 대기압 보다 높아지기 때문에 진공분위기에서 기포가 제거된 용기내의 약액은 상기 용기내에 하부단이 침지된 토출관(116)과, 이에 연결된 약액공급라인(117)을 통하여 외부로 배출되는 것이다.
여기서, 상기 기포제거 및 약액공급부(110)는 약액공급라인(117)을 통한 약액공급이 상기 약액토출부(120)측으로 연속하여 이루어질 수 있도록 좌우한쌍의 상부하우징(111)내의 용기(B)에 하부단이 침지된 토출관(116)과 각각 연결되는 한쌍의 분기라인(117b)을 갖추고, 상기 한쌍의 분기라인(117b)은 제2삼방변(117a)을 매개로 하여 약약공급라인(117)과 연결된다.
상기 약액공급라인(117)에는 기포가 제고된 약액의 공급시 역방향으로 약액흐름을 차단하도록 역류방지용 체크밸브(117c)를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 약액공급부(120)는 챔버(121), 회전스크류(122) 및 모터부재(123)를 포함하는바, 상기 챔버(121)는 상기 토출관(116)과 약액공급라인(117)을 매개로 연결되어 기포가 제거된 약액이 일정량 채워지도록 일정크기의 내부공간을 갖는 수용부재이다.
상기 챔버(121)는 상기 약액공급라인(117)과 연결되어 기포가 제거된 약액이 주입되는 주입구(121a) 근방에 약액이 챔버의 내부벽을 타고 유입될 수 있도록 경사진 안내판(121b)을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 챔버(121)에는 상기 약액공급라인(117)을 통해 주입되어 채워지는 약액의 수위를 검출할 수 있도록 수위센서부(125)를 구비하고, 이러한 수위센서부(125)는 약액의 상한과 하한을 검지하는 상,하한 수위센서(125a,125b)와 더불어 약액의 최고위를 검지하는 최고위 수위센서(125c)를 포함한다.
이러한 회전스크류(122)는 상기 챔버(121)의 하부단에 일정길이 연장된 배출관(124)내에 배치되어 상기 모터부재(123)에 의해서 일방향으로 회전하도록 상기 모터부재(123)의 구동축과 연결되는 작동부재로 이루어진다.
상기 모터부재(123)는 전원인가시 상기 배출관(124)에 배치된 회전스크류(122)를 회전시키도록 상기 챔버(121)의 개방된 상부를 밀폐하는 덮개에 설치되는 구동원이며, 상기 회전스크류(122)는 감속기(123a)를 매개로 하여 상기 모터부재의 구동축과 연결되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 배출관(124)은 상기 챔버(121)의 하부단에 형성된 상부플랜지에 교체가능하게 조립되도록 상부플랜지를 갖는 중공관부재로 이루어질 수 있다.
이에 따라, 상기 모터부재(123)의 회전구동에 의해서 상기 챔버(121)의 배출관(124)에 배치된 회전스크류(122)가 일방향으로 회전하게 되면, 상기 배출관의 내부면과 상기 회전스크류(122)의 나선형홈사이로 유도되는 약액은 상기 배출관(128)의 하부단에 형성된 노즐(124a)을 통하여 외부로 배출되거나 연결라인(129a)을 매개로 연결된 매니폴더(129)로 배출이송되는 것이다.
상기 모터부재(123)에 의해서 회전되는 회전스크류(122)의 회전속도에 의해서 상기 노즐(124a)을 통해 토출되는 약액의 토출량 및 토출압을 적절히 제어할 수 있다.
한편, 상기 챔버(121)는 상기 배출관(124)의 노즐(124a)을 통하여 약액을 배출하는 동안 내부분위기를 대기압보다 낮은 진공분위기로 유지할 수 있도록 진공흡입라인(126a)을 매개로 진공수단인 다른 제2진공펌프(126)와 연결되는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
110 : 1차 기포제거 및 약액공급부 111 : 상부하우징
112 : 하부받침대 113 : 작동실린더
114 : 진공 및 가압라인 114a : 제1삼방변
115a: 진공펌프 115b : 콤프레셔
116 : 토출관 117 : 약액공급라인
117a : 제2삼방변 117b : 분기라인
118 : 클램프 119 : 본체브라켓
120 : 2차 기포제거 및 약액토출부 121 : 챔버
122 : 회전스크류 123 : 모터부재
124 : 배출관 124a : 노즐
125 : 수위센서부 126 : 제2진공펌프
B : 용기

Claims (9)

  1. 하부로 개방된 중공원통형 상부하우징과, 일정량의 약액이 채워진 용기가 올려지는 하부받침대를 승하강시키는 작동실린더를 갖추고, 상기 용기가 배치된 상부하우징의 내부공간을 진공분위기 또는 가압분위기로 전환시킬 수 있도록 상기 상부하우징과 일단이 연결되는 진공 및 가압라인을 갖추어 상기 상부하우징의 진공분위기에서 약액에 포함된 기포를 1차 제거하고, 상기 상부하우징의 가압분위기에서 용기에 일단이 침지된 토출관을 통해 약액을 외부로 배출하는 1차 기포제거 및 약액공급부 ;
    상기 토출관과 약액공급라인을 매개로 연결되어 기포가 제거된 약액이 채워지는 챔버를 갖추고, 진공분위기에서 상기 챔버의 하부단에 일정길이 연장된 배출관내에 배치되는 회전스크류를 회전시키는 모터부재를 갖추어 상기 배출관의 단부에 형성된 노즐을 통해 약액을 외부로 토출하는 2차 기포제거 및 약액토출부 ; 를 포함하고,
    상기 진공 및 가압라인은 상기 상부하우징의 내부압을 대기압보다 낮은 진공분위기로 전환시킬 수 있도록 제1삼방변을 매개로 제1진공펌프와 연결되고, 상기 상부하우징의 내부압을 대기압보다 높은 가압분위기로 전환시킬 수 있도록 상기 제1삼방변을 매개로 하여 콤프레셔와 연결되는 것을 특징으로 하는 무기포화 약액 공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하부받침대는 상부가 개방된 용기가 올려지도록 배치홈이 상부면에 함몰형성된 상부판과, 상기 상부하우징의 개방된 하부단에 형성된 밀착턱에 밀착되는 실링부재를 갖추어 상기 작동실린더의 지지판에 올려지는 하부판을 포함하는 것을 특징으로 하는 무기포화 약액 공급장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 상부하우징과 하부받침대사이에는 상기 상부하우징의 개방된 하부를 밀폐하도록 상기 상부하우징의 하부단에 상부단이 밀착된 하부받침대를 고정하도록 클램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 무기포화 약액 공급장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 작동실린더는 상기 하부받침대가 올려지는 지지판을 갖는 왕복대와, 상기 왕복대가 상하안내이동되도록 조립되는 좌우한쌍의 안내바사이에 구비되어 상기 왕복대를 상하왕복작동시키는 실린더부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 무기포화 약액 공급장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 1차 기포제거 및 약액공급부는 약액공급라인을 통한 약액공급이 상기 약액토출부측으로 연속하여 이루어질 수 있도록 좌우한쌍의 상부하우징내의 용기에 하부단이 침지된 토출관과 각각 연결되는 한쌍의 분기라인을 갖추고, 상기 한쌍의 분기라인은 제2삼방변을 매개로 하여 약약공급라인과 연결되는 것을 특징으로 하는 무기포화 약액 공급장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는 상기 약액공급라인과 연결되어 기포가 제거된 약액이 주입되는 주입구 근방에 약액이 챔버의 내부벽을 타고 유입될 수 있도록 경사진 안내판을 구비하는 것을 특징으로 하는 무기포화 약액 공급장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는 상기 약액공급라인을 통해 주입되어 채워지는 약액의 수위를 검출하는 수위센서부를 추가 포함하고, 상기 수위센서부는 약액의 상한과 하한을 검지하는 상,하한 수위센서와 더불어 약액의 최고위를 검지하는 최고위 수위센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 무기포화 약액 공급장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는 내부분위기를 대기압보다 낮은 진공분위기로 유지할 수 있도록 진공흡입라인을 매개로 제2진공펌프와 연결되는 것을 특징으로 하는 무기포화 약액 공급장치.
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