KR101647707B1 - 미세 기포 분사형 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마이크로 버블이 혼합된 미세기포 포함수를 피세정물에 분사하여 세제 등을 사용하지 않고 친환경적으로 우수한 세정효과를 얻을 수 있는 미세기포 분사형 세정장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 미세기포 분사형 세정장치는, 기체와 물을 혼합하여 마크로 버블이 혼합된 거품수를 제공하는 거품수 제공부; 상기 거품수 제공부와 연결되어 설치되며, 상기 거품수 중에 포함되어 있는 마크로 버블(macro bubble)을 분할하여 미세 기포를 형성하는 미세 기포 형성부; 상기 미세 기포 형성부와 연결되어 설치되며, 상기 미세기포 형성부에서 제공되는 미세기포 포함수를 피세정물에 분사하는 분사부;를 포함한다.

Description

미세 기포 분사형 세정장치{THE CLEANING APPARATUS SPRAYING THE MICRO-BUBBLE WATER}
본 발명은 세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마이크로 버블이 혼합된 미세기포 포함수를 피세정물에 분사하여 세제 등을 사용하지 않고 친환경적으로 우수한 세정효과를 얻을 수 있는 미세기포 분사형 세정장치에 관한 것이다.
반도체, 디스플레이 등의 정밀 제조 분야 및 휴대폰 등의 IT 제조 분야에서는 다양한 부품을 사용하여 많은 수의 공정을 거치면서 공정이 진행된다. 이렇게 다양한 부품을 사용하고 다수의 공정을 거치는 경우에는 사용되는 부품 및 각 공정을 마친 후 철저한 세정작업이 필수적으로 요구된다.
이때 세정작업은 제거 대상물의 물리적, 화학적 특성에 따라 물리적 세정, 화학적 세정 또는 건식 세정 등 다양한 방법이 사용될 수 있다. 이 중에서 화학적 세정 공정에서는 약액 세정을 시행하게 되는데, 이는 공정의 불완전성 뿐만아니라 화학물질 사용으로 인한 환경문제를 발생시키는 문제점이 있다.
따라서 세정효과가 우수하면서도 환경문제를 발생시키지 않는 친환경적인 마이크로 버블을 이용한 세정기술이 도입되고 있다. 이러한 마이크로 버블을 이용한 세정기술은 대한민국 등록 특허 제10-105569호 등에 의하여 제시되고 있다.
그런데 이러한 종래의 마이크로 버블을 이용한 세정기술은, 발생되는 마이크로 버블의 크기를 제어하지 못하고 있으며, 세정 과정에서 발생하는 정전기 문제를 해결하지 못하는 문제점이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 마이크로 버블이 혼합된 미세기포 포함수를 피세정물에 정전기 발생없이 분사하여 세제 등을 사용하지 않고 친환경적으로 우수한 세정효과를 얻을 수 있는 미세기포 분사형 세정장치를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 미세기포 분사형 세정장치는, 기체와 물을 혼합하여 마크로 버블이 혼합된 거품수를 제공하는 거품수 제공부; 상기 거품수 제공부와 연결되어 설치되며, 상기 거품수 중에 포함되어 있는 마크로 버블(macro bubble)을 분할하여 미세 기포를 형성하는 미세 기포 형성부; 상기 미세 기포 형성부와 연결되어 설치되며, 상기 미세기포 형성부에서 제공되는 미세기포 포함수를 피세정물에 분사하는 분사부;를 포함한다.
본 발명에서 상기 거품수 제공부는, 일정량의 액체가 저장되는 저장탱크; 상기 저장 탱크에 물을 공급하는 물 공급부; 상기 저장 탱크 내부로 기체를 공급하는 기체 공급부; 상기 저장 탱크와 상기 미세 기포 형성부를 연결하는 제1 연결부; 상기 제1 연결부를 통하여 상기 저장탱크와 미세 기포 형성부 사이에 거품수을 순환시키는 순환펌프;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 기체 공급부는, N2, O2, O3, Ar, Ne 중에서 선택되는 어느 하나의 기체를 공급하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 미세기포 형성부는, 내부에 유체가 통과할 수 있는 관통공이 형성되는 관형상을 가지며, 상기 관통공 중에는 직경이 큰 제1 대직경부, 직경이 제1 대직경부 직경보다 작아지는 가속 구간부 및 직경이 큰 제2 대직경부가 순차적으로 형성되는 미세기포 발생 하우징; 상기 미세기포 발생 하우징의 내부 중 상기 제1 대직경부에 설치되며, 외면에 다수개의 회전 날개를 구비하여 상기 미세기포 발생 하우징을 통과하는 거품수를 회전시키는 회전수단; 상기 미세기포 발생 하우징 내부 중 상기 제2 대직경부에 전후 구동가능하게 설치되며, 거품수가 상기 가속 구간부를 통과하면서 생성된 미세기포의 크기 및 미세기포 포함수의 흐름을 조정하는 조정 노즐; 상기 미세기포 발생 하우징에 설치되며, 상기 조정 노즐을 전후 방항으로 이동시키는 노즐 구동수단;을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 회전수단은, 다수개의 회전 날개가 동일한 각도와 간격을 유지하면서 형성된 것이 바람직하다.
이때 상기 회전날개는 60 ~ 80 °로 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 노즐 구동수단은, 상기 하우징 내면에 상기 조정 노즐와 결합되어 설치되며, 상기 조정 노즐의 전후 구동 방향을 안내하는 구동 안내부; 상기 하우징 외면에 설치되며, 상기 구동 안내부를 자력을 이용하여 전후 구동시키는 동력 제공부;를 포함하는 것이 바람직하다.
한편 본 발명에서 상기 분사부는, 상기 미세기포 포함수에 기체를 고압으로 혼합하여 분사하는 2류체 노즐인 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 세정장치에는, 상기 거품수 제공부에 혼합되는 기체와 상기 미세기포 형성부에서 발생되는 미세기포의 크기 및 농도를 제어하는 제어부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명의 미세기포 분사형 세정장치는, 고순도 산소(O2) 등의 기체를 이용하여 유체 속에 미세기포를 만들어 고유의 수산화 이온(OH-)을 반응시키는 세정작용과 2류체 nozzle을을 통해 피세정물과 충돌시겨 유기 및 무기물을 세정할 수 있으며, 더 나아가서, 세정 효율을 높이기 위해 미세기포 농도 조절이 가능하며, 미세기포 포함수를 2류체 노즐을 통해 분사함으로써, 정전기 발생 억제가 가능하고, 미세 particle 세정이 가능한 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세기포 분사형 세정장치의 구성을 도시하는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 미세기포 형성부의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 수단의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 구동수단의 구조를 도시하는 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 미세 기포 분사형 세정장치(100)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 거품수 제공부(110), 미세기포 형성부(120) 및 분사부(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
먼저 상기 거품수 제공부(110)는 기체와 물을 혼합하여 마크로 버블(macro bubble)이 혼합된 상태의 거품수를 제공하는 구성요소이다. 여기에서 마크로 버블이라 함은 기체를 액체에 분사하여 혼합하는 경우 발생하는 일반적인 기포로서, 7백 ㎛ 이상의 직경을 가지는 기포를 말하며, 상기 거품수는 이러한 마크로 버블이 포함되어 있는 물을 말한다.
이러한 거품수 제공부(110)는 다양한 구성을 가질 수 있지만, 본 실시예에서는 도 1에 도시된 바와 같이, 저장 탱크(111), 물 공급부(112), 기체 공급부(113), 제1 연결부(114), 제2 연결부(115) 및 순환 펌프(116)를 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 저장탱크(111)는 일정량의 액체가 저장될 수 있는 내부 공간을 가지는 탱크로 구성되며, 만들어진 거품수(1)가 저장되는 구성요소이다.
다음으로 상기 물 공급부(112)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 저장 탱크(111)에 연결되어 설치되며, 상기 저장탱크(111)에 물을 공급하는 구성요소이다. 상기 저장탱크(111)에 저장되는 거품수(1)는 상기 미세기포 형성부(120) 및 분사부(130)를 통하여 세정작업 진행 과정에서 계속적으로 소비된다. 따라서 상기 물 공급부(112)는 상기 저장 탱크(111) 내의 거품수(1) 수위가 낮아지면 이를 일정하게 유지할 수 있도록 지속적으로 물을 공급한다.
다음으로 상기 기체 공급부(113)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 저장 탱크(111)에 연결되어 설치되며,상기 저장 탱크(111) 내에 저장되어 있는 물 내부로 기체를 분사하여 공급하는 구성요소이다. 상기 저장탱크(111) 내에 저장되는 거품수(1)에는 마크로 버블이 혼합되어 있지만, 이러한 마크로 버블을 매우 짧은 존속기간을 가지므로, 상기 기체 공급부(113)에 의하여 지속적으로 기체 공급이 이루어져 마크로 버블을 형성시킬 필요가 있는 것이다.
다음으로 상기 제1, 2 연결부(114, 115)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 저장 탱크(111)와 상기 미세 기포 형성부(120)를 연결하여, 거품수(1)가 순환될 수 있도록 한다. 따라서 상기 저장탱크(111)에서 제1 연결부(114)를 이용하여 상기 미세기포 형성부(120)로 거품수가 공급되고, 상기 제2 연결부(115)를 이용하여 상기 미세기포 형성부(120)에서 저장탱크(111)로 거품수가 회수된다.
상기 저장탱크로(111)부터 상기 미세기포 형성부(120)로 공급된 거품수는 모두 분사부(130)를 통하여 분사되지 않을 수 있으므로, 나머지 거품수는 다시 상기 제2 연결부(115)를 통하여 저장탱크(111)로 회수되는 것이다.
이때 상기 순환펌프(116)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제1 연결부(114) 중에 설치되며, 상기 제1, 2 연결부(114, 115)를 통하여 상기 저장탱크(111)와 미세 기포 형성부(120) 사이에 거품수를 순환시키는 동력을 제공한다. 이때 상기 순환펌프(116)에 의하여 상기 미세기포 형성부(120)로 공급되는 거품수의 수압은 미세기포 발생에 매우 중요한 제어 요소이므로, 매우 정밀하게 제어되어야 한다.
그리고 본 발명에서 상기 기체 공급부(113)는 N2, O2, O3, Ar, Ne 중에서 선택되는 어느 하나의 기체를 공급할 수 있다. 이때 기체를 선택하는 기준은 세정하고자 하는 목표물질에 따라 달라지며, 세정하고자 하는 목표 물질에 반응하는 물질을 선정한다.
다음으로 상기 미세기포 형성부(120)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 거품수 제공부(110)와 연결되어 설치되며, 상기 거품수 중에 포함되어 있는 마크로 버블을 분할하여 미세 기포를 형성하는 구성요소이다. 즉, 상기 미세 기포 형성부(120)에 의하여 거품수가 미세기포 포함수로 변화되는 것이며, 상기 분사부(120)를 통하여 피세정물에 분사되는 것이다. 여기에서 미세기포 포함수는 미세기포가 포함되어 있는 물을 말하는 것이다.
이를 위해 본 실시예에서는 상기 미세기포 형성부(120)를 구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 미세기포 발생하우징(121), 회전수단(122), 조정 노즐(123), 노즐 구동수단(124)을 포함하도록 구성할 수 있다.
여기에서 상기 미세기포 발생하우징(121)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 내부에 유체가 통과할 수 있는 관통공이 형성되는 관형상을 가지는 구성요소이다. 이때 상기 미세기포 발생하우징(121)의 상기 관통공 중에는 도 2에 도시된 바와 같이, 직경이 큰 제1 대직경부(121a), 직경이 제1 대직경부(121a) 직경보다 점차적으로 작아지는 가속 구간부(121b) 및 상기 가속 구간부(121b)에 비하여 직경이 급속하게 커지는 제2 대직경부(121c)가 순차적으로 형성된다.
다음으로 상기 회전수단(122)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 미세기포 발생 하우징(121)의 내부 중 상기 제1 대직경부(121a)에 설치되며, 외면에 다수개의 회전 날개(122a)를 구비하여 상기 미세기포 발생 하우징(121)을 통과하는 거품수를 회전시키는 구성요소이다. 따라서 상기 미세기포 발생하우징(121) 내부로 공급된 거품수는 상기 회전수단(122)이 설치된 구간을 지나면서 상기 회전 날개(122a)의 경사 각도에 따라 강한 회전력을 가지게 된다.
본 실시예에서 상기 회전 수단(122)은 도 3에 도시된 바와 같이, 다수개의 회전 날개(122a)가 일정 간격이 이격되어 설치되며, 각 회전 날개(122a) 간의 간격은 일정하게 유지되는 것이, 거품수의 흐름에 대한 방해가 최소화되어 바람직하다. 또한 상기 회전 날개의 설치 각도(122a)는 60 ~ 80 °로 설치되는 것이 바람직하다.
이렇게 하여 상기 회전 수단(122)에 의하여 강한 회전력을 가지는 거품수는 이 후에 이어지는 가속 구간부(121b)를 지나면서 순간적으로 음속에 가까운 속도로 가속되고, 이때 거품수 속의 기포는 더욱 압축된다.
다음으로 상기 조정 노즐(123)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 미세기포 발생 하우징(121) 내부 중 상기 제2 대직경부(121c)에 전후 구동가능하게 설치되며, 거품수가 상기 가속 구간부(121b)를 통과하면서 생성된 미세기포의 크기 및 미세기포 포함수의 흐름을 조정하는 구성요소이다.
전술한 바와 같이, 상기 가속 구간부(121b)를 지나면서 매우 빠른 속도로 가속된 거품수가 갑자기 직경이 넓어지는 제2 대직경부(121c)에 도달하면서 압축된 기포가 폭발하게 되면서 50㎛ 이하의 직경을 가지는 미세 기포를 형성하게 된다. 본 실시예에서 이러한 미세 기포는 수십 마이크로 미터 또는 수십 나노 미터 크기의 직경을 가지는 매우 미세한 기포로서, 그 표면은 음이온을 띠게 되며, 주변의 물분자와 작용하여 수산기 이온(OH-)을 발생하며 강한 세정력을 가지게 된다.
이때 상기 조정 노즐(123)은 전술한 바와 같이, 상기 제2 대직경부(121c)에 설치되어, 상기 가속 구간부(121b)와의 이격 간격을 조정함으로써, 생성되는 미세 기포의 크기 및 농도를 조절할 수 있으며, 또한 상기 제2 대직경부(121c)를 통과하는 미세기포 포함수의 통과 유량 및 소음 발생을 조절할 수 있는 효과를 가진다.
다음으로 상기 노즐 구동수단(124)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 미세기포 발생 하우징(121)에 설치되며, 상기 조정 노즐(123)을 전후 방항으로 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 노즐 구동수단(124)에 상기 조정 노즐(123)과 상기 가속 구간부(121b) 사이의 간격을 조정할 수 있는 것이며, 특정 세정 작업에 적합한 미세기포의 크기 및 농도에 적합하도록 상기 조정 노즐(123)의 위치를 변화시키면서 최적 위치를 선정하고 이를 고정한 상태에서 세정작업을 진행하는 것이다.
한편 본 실시예에서 상기 노즐 구동수단은, 도 4에 도시된 바와 같이, 구동 안내부(124a)와 동력 제공부(124b)로 구성될 수 있다. 이 경우에는 상기 조정 노즐(123)이 상자성 물질로 이루어지며, 상기 구동 안내부(124a)는 상기 하우징(121) 내면에 상기 조정 노즐(123)과 결합되어 설치되며, 상기 조정 노즐(123)의 전후 구동 방향을 안내하는 것이다. 그리고 상기 동력 제공부(124b)는 상기 하우징(121) 외면에 설치되며, 상기 조정 노즐(123)을 자력을 이용하여 전후 구동시키는 것이다. 이렇게 자력을 이용하여 조정 노즐(123)을 구동시키면, 하우징(121)의 가공 작업과 조립 작업이 간단해지는 장점이 있다.
다음으로 상기 분사부(130)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 미세 기포 형성부(120)와 연결되어 설치되며, 상기 미세기포 형성부(120)에서 제공되는 미세기포 포함수를 피세정물에 분사하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상기 분사부(130)를 상기 미세기포 포함수에 기체를 고압으로 혼합하여 분사하는 2류체 노즐로 구성하는 것이 바람직하다. 이렇게 상기 분사부(130)를 2류체 노즐로 구성하는 경우에는, 배관 내에서 공기의 밀도가 높아 내부 무하현상으로 피세정물에 충격시 정전기 발생이 억제되며, 강한 충격 효과로 유기 및 무기물을 동시에 세정할 수 있는 장점이 있다.
다음으로 본 실시예에 따른 미세기포 분사형 세정장치(100)에는, 상기 거품수 제공부(110)에 혼합되는 기체와 상기 미세기포 형성부(120)에서 발생되는 미세기포의 크기 및 농도를 제어하는 제어부(도면에 미도시)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 제어부에 의하여 거품수 형성시에 공급되는 기체를 선택하고, 미세기포 형성부(120)에 의하여 형성되는 미세기포의 농도를 측정하여 이를 세정에 적합한 값으로 유지하며, 더 나아가서 미세기포의 크기도 제어한다.
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 기포 분사형 세정장치
110 : 거품수 제공부 120 : 미세기포 형성부
130 : 분사부 1 : 거품수

Claims (9)

  1. 기체와 물을 혼합하여 마크로 버블(macro bubble)이 혼합된 거품수를 제공하는 거품수 제공부;
    상기 거품수 제공부와 연결되어 설치되며, 상기 거품수 중에 포함되어 있는 마크로 버블을 분할하여 미세 기포를 형성하는 미세 기포 형성부;
    상기 미세 기포 형성부와 연결되어 설치되며, 상기 미세기포 형성부에서 제공되는 미세기포 포함수를 피세정물에 분사하는 분사부;를 포함하며,
    상기 거품수 제공부는,
    일정량의 액체가 저장되는 저장탱크;
    상기 저장 탱크에 물을 공급하는 물 공급부;
    상기 저장 탱크 내부로 기체를 공급하여 거품수를 형성하는 기체 공급부;
    상기 저장 탱크와 상기 미세 기포 형성부를 연결하는 제1, 2 연결부;
    상기 제1, 2 연결부를 통하여 상기 저장탱크와 미세 기포 형성부 사이에 거품수를 순환시키는 순환펌프;를 포함하고,
    상기 미세기포 형성부는,
    내부에 유체가 통과할 수 있는 관통공이 형성되는 관형상을 가지며, 상기 관통공 중에는 직경이 큰 제1 대직경부, 직경이 제1 대직경부 직경보다 작아지는 가속 구간부 및 직경이 큰 제2 대직경부가 순차적으로 형성되는 미세기포 발생 하우징;
    상기 미세기포 발생 하우징의 내부 중 상기 제1 대직경부에 설치되며, 외면에 다수개의 회전 날개를 구비하여 상기 미세기포 발생 하우징을 통과하는 거품수를 회전시키는 회전수단;
    상기 미세기포 발생 하우징 내부 중 상기 제2 대직경부에 전후 구동가능하게 설치되며, 거품수가 상기 가속 구간부를 통과하면서 생성된 미세기포의 크기 및 미세기포 포함수의 흐름을 조정하는 조정 노즐;
    상기 미세기포 발생 하우징에 설치되며, 상기 조정 노즐을 전후 방항으로 이동시키는 노즐 구동수단;을 포함하고,
    상기 노즐 구동수단은,
    상기 하우징 내면에 상기 조정 노즐과 결합되어 설치되며, 상기 조정 노즐의 전후 구동 방향을 안내하는 구동 안내부;
    상기 하우징 외면에 설치되며, 상기 조정 노즐을 자력을 이용하여 전후 구동시키는 동력 제공부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세기포 분사형 세정장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 기체 공급부는,
    N2, O2, O3, Ar, Ne 중에서 선택되는 어느 하나의 기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 미세기포 분사형 세정장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 회전수단은,
    다수개의 회전 날개가 동일한 각도와 간격을 유지하면서 형성된 것을 특징으로 하는 미세기포 분사형 세정장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 회전날개는 60 ~ 80 °로 설치되는 것을 특징으로 하는 미세기포 분사형 세정장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서, 상기 분사부는,
    상기 미세기포 포함수에 기체를 고압으로 혼합하여 분사하는 2류체 노즐인 것을 특징으로 하는 미세기포 분사형 세정장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 거품수 제공부에 혼합되는 기체와 상기 미세기포 형성부에서 발생되는 미세기포의 크기 및 농도를 제어하는 제어부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 미세기포 분사형 세정장치.
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CN107376430A (zh) * 2017-08-31 2017-11-24 佛山山象环保工程服务有限公司 一种微气泡催化器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012096216A (ja) * 2010-11-04 2012-05-24 Yasutaka Sakamoto 気泡微小化ノズル、それを用いた微小気泡発生装置、微小気泡含有水製造方法、物品洗浄装置、物品洗浄方法、水産物の養殖方法、水耕栽培方法及びシャワー装置
KR101157857B1 (ko) * 2011-12-13 2012-06-22 (주)써니엔지텍 유체 토출장치
KR101241760B1 (ko) * 2012-12-21 2013-03-15 주식회사 엘크린시스템 하이브리드 미세유체를 이용한 친환경 무약품 살균시스템
JP2013115278A (ja) * 2011-11-29 2013-06-10 Tokyo Seimitsu Co Ltd 洗浄水の供給装置及び供給方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012096216A (ja) * 2010-11-04 2012-05-24 Yasutaka Sakamoto 気泡微小化ノズル、それを用いた微小気泡発生装置、微小気泡含有水製造方法、物品洗浄装置、物品洗浄方法、水産物の養殖方法、水耕栽培方法及びシャワー装置
JP2013115278A (ja) * 2011-11-29 2013-06-10 Tokyo Seimitsu Co Ltd 洗浄水の供給装置及び供給方法
KR101157857B1 (ko) * 2011-12-13 2012-06-22 (주)써니엔지텍 유체 토출장치
KR101241760B1 (ko) * 2012-12-21 2013-03-15 주식회사 엘크린시스템 하이브리드 미세유체를 이용한 친환경 무약품 살균시스템

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