KR101626425B1 - 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치 - Google Patents

사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 사파이어 단결정 씨드를 클리닝 하거나 리멜팅 할 때, 씨드에 이물질들이 부착되는 것을 방지하기 위하여 씨드를 흔드는 작업을 자동화할 수 있게 하는 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치에 관한 것으로서, 씨드가 부착되어 축회전되는 씨드 로드를 흔들어 줄 수 있도록 상기 씨드 로드에 진동을 인가하는 진동 인가 장치; 및 상기 진동 인가 장치에 진동 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함할 수 있다.

Description

사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치{Seed shaking apparatus for of sapphire single crystal growing equipment}
본 발명은 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 사파이어 단결정 씨드를 클리닝 하거나 리멜팅 할 때, 씨드에 이물질들이 부착되는 것을 방지하기 위하여 씨드를 흔드는 작업을 자동화할 수 있게 하는 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치에 관한 것이다.
일반적으로 사파이어 단결정을 성장시키기 위해서 씨드(seed)를 씨드 로드에 매달아서 챔버 내의 용탕 표면과 접촉시키고, 이를 천천히 끌어 올려 씨드에 단결정 사파이어 잉곳이 형성되게 한다.
이러한 씨드 성장 작업은 오랜 기간 동안 훈련된 숙련자들이 뷰포트로 육안 확인에 의존하여 오로지 수작업으로 과거의 경험과 감각을 토대로 이루어지는 것으로서, 작업의 균일성과 반복성을 보장할 수 없었다.
특히, 최초 씨드에 이물질들이 접착되는 경우, 잉곳에 치명적인 결함이 발생되기 때문에 종래에는 숙련된 작업자들이 직접 씨드 로드를 손으로 잡고 흔들어줌으로써 어두운 색깔로 보이는 이물질들을 챔버의 테두리 부분으로 유도하거나, 씨드에 잘못 달라붙은 이물질이나 잉곳을 빨리 녹이거나, 씨드를 용탕 안에서 세척하는 쉐이킹(shaking) 작업을 수작업으로 수행했었다.
그러나, 이러한 수작업에 의존하는 쉐이킹 작업은 작업자에게 육체적으로, 정신적으로도 매우 힘든 작업이고, 고도의 숙련도와 감각에 의존해야 하기 때문에 생산성이 크게 떨어지고, 숙련된 작업자가 없는 경우 양질의 제품을 생산하기 어려우며, 제품의 균일도가 크게 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 씨드 쉐이킹 작업을 자동화하여 작업자에게 무리를 주지 않고, 초보자라도 쉽게 씨드 쉐이킹 작업을 수행할 수 있게 하며, 작업 시간 및 비용을 크게 감소시켜서 생산성을 극대화할 수 있고, 양질의 제품을 균일한 품질로 반복 생산할 수 있게 하는 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치는, 씨드가 부착되어 축회전되는 씨드 로드를 흔들어 줄 수 있도록 상기 씨드 로드에 진동을 인가하는 진동 인가 장치; 및 상기 진동 인가 장치에 진동 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 진동 인가 장치는, 고정판; 상기 고정판에 설치되고, X축 가이드를 따라 X축 방향으로 진동이 가능하게 설치되는 X축 진동판; 상기 고정판에 고정되고, 상기 X축 진동판을 X축 방향으로 진동시키는 X축 액츄에이터; 상기 X축 진동판에 설치되고, Y축 가이드를 따라 Y축 방향으로 진동이 가능하게 설치되며, 상기 씨드 축회전 모터가 설치되는 Y축 진동판; 및 상기 X축 진동판에 고정되고, 상기 Y축 진동판을 Y축 방향으로 진동시키는 Y축 액츄에이터;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제어부는, 상기 X축 액츄에이터에 X축 진동을 위한 X축 왕복 제어신호를 인가하고, 상기 Y축 액츄에이터에 Y축 진동을 위한 Y축 왕복 제어신호를 인가하는 것일 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 제어부는, 상기 X축 액츄에이터에 X축 센터링을 위한 X축 위치 제어신호를 인가하고, 상기 Y축 액츄에이터에 Y축 센터링을 위한 Y축 위치 제어신호를 인가하는 것일 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 X축 액츄에이터 또는 Y축 액츄에이터는, 회전 또는 진동 동력을 발생하는 모터; 및 상기 모터에서 발생된 동력을 X축 진동판 또는 Y축 진동판에 진동 동력을 전달하는 동력전달장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 모터는, 적어도 리니어 모터와 스탭 모터와, 서보 모터와, 직류 모터와, 교류 모터, BLDC 모터(Brushless DC motor) 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상으로 이루어지고, 상기 동력전달장치는, 적어도 푸쉬바, 나사봉, 크랭크/피스톤, 랙/피니언 기어 조합, 캠/로드 조합, 밸트/풀리 조합, 체인/스프로킷휠 조합들 중 어느 하나 이상으로 이루어지는 것일 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 진동 인가 장치는, 플랙시블한 씨드 로드를 둘러싸고, 관절 돌기부가 형성되는 관절 파이프; 상기 관절 돌기부와 맞물리는 관절 홈부가 형성되는 고정 프레임; 및 상기 고정 프레임에 설치되고, 상기 관절 파이프에 진동을 인가하는 왕복 운동 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따르면, 상기 왕복 운동 장치는, 유압 또는 공압 실린더일 수 있다.
또한, 본 발명의 사상에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치는, 상기 관절 파이프와 상기 씨드 로드 사이에 냉각매체를 공급하는 냉각매체 공급장치;를 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 작업자의 작업 능률을 극대화할 수 있고, 초보자라도 쉽게 씨드 쉐이킹 작업을 수행할 수 있으며, 작업 시간 및 비용을 크게 감소시켜서 생산성을 높이고, 제품의 품질 균일성과 반복 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치를 개념적으로 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 씨드의 움직임을 나타내는 평면도이다.
도 4 내지 도 10은 도 2의 진동 인가 장치의 X축 액츄에이터 또는 Y축 액츄에이터의 다양한 실시예들을 나타내는 측면도이다.
도 11은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치를 개념적으로 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접 연결되어", 또는 "직접 커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 제 1, 제 2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제 1 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제 2 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.
또한, "상의" 또는 "위의" 및 "하의" 또는 "아래의"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 소자의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 소자가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면 상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면 상에 방향을 가지게 된다. 그러므로, 예로써 든 "상의"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "하의" 및 "상의" 방향 모두를 포함할 수 있다. 소자가 다른 방향으로 향한다면(다른 방향에 대하여 90도 회전), 본 명세서에 사용되는 상대적인 설명들은 이에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치(100)를 개념적으로 나타내는 개념도이다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치(100)는, 크게 진동 인가 장치(10) 및 제어부(20)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 진동 인가 장치(10)는, 씨드(S)가 부착된 씨드 로드(1)를 챔버(C) 내에서 축회전시키는 씨드 축회전 모터(M)에 의해 축회전되는 상기 씨드 로드(1)를 용탕(2) 내에서 이물질(3)이 달라붙지 않게 흔들어 줄 수 있도록 상기 씨드 로드(1)에 진동을 인가하는 장치이다.
또한, 상기 제어부(20)는, 상기 진동 인가 장치(10)에 진동 제어 신호를 인가하는 것으로서, 작업자가 뷰포트(4)를 통해서 상기 씨드(S)에 이물질(3)들이 접근하게 되면 상기 제어부(20)에 설치된 스위치나 조정간 등 각종 명령 입력 장치들을 통해서 상기 진동 인가 장치(10)에 진동 제어 신호를 인가할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치(200)의 일례를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 씨드(S)의 움직임을 나타내는 평면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 진동 인가 장치(10)은 고정판(11)과, 상기 고정판(11)에 설치되고, X축 가이드(GX)를 따라 X축 방향으로 진동이 가능하게 설치되는 X축 진동판(12)과, 상기 고정판(11)에 고정되고, 상기 X축 진동판(12)을 X축 방향으로 진동시키는 X축 액츄에이터(13)와, 상기 X축 진동판(12)에 설치되고, Y축 가이드(GY)를 따라 Y축 방향으로 진동이 가능하게 설치되며, 상기 씨드 축회전 모터(M)가 고정 설치되는 Y축 진동판(14) 및 상기 X축 진동판(12)에 고정되고, 상기 Y축 진동판(14)을 Y축 방향으로 진동시키는 Y축 액츄에이터(15)를 포함할 수 있다.
여기서, 도 2에 도시된 바와 같이, 제어부(20)는, 작업자의 명령에 따라 씨드(S)를 진동시키기 위해서 상기 X축 액츄에이터(13)에 X축 진동을 위한 X축 왕복 제어신호를 인가하고, 상기 Y축 액츄에이터(15)에 Y축 진동을 위한 Y축 왕복 제어신호를 인가할 수 있다.
그러나, 이러한 본 발명의 상기 제어부(20)는 반드시 진동을 위한 왕복 제어신호만 인가할 수 있는 것으로 국한되는 것은 아니다. 상기 제어부(20)는 상기 X축 액츄에이터(13) 및 상기 Y축 액츄에이터(15)를 이용하여 상기 씨드(S)의 정확한 센터링 위치를 조정할 수 있도록 상기 X축 액츄에이터(13) 및 상기 Y축 액츄에이터(15)에 위치 제어 신호를 인가할 수도 있다.
즉, 상기 제어부(20)는, 상기 X축 액츄에이터(13)에 X축 센터링을 위한 X축 위치 제어신호를 인가하고, 상기 Y축 액츄에이터(15)에 Y축 센터링을 위한 Y축 위치 제어신호를 인가할 수 있다.
따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 작업자는 상기 X축 액츄에이터(13) 및 상기 Y축 액츄에이터(15)를 이용하여 상기 씨드(S)를 축회전시키는 동시에, 상기 씨드(S)를 X축 방향 및 Y축 방향으로 진동시키거나 또는 X축 위치 및 Y축 위치를 정확하게 맞추는 센터링 작업을 수행할 수 있다.
도 4 내지 도 10은 도 2의 진동 인가 장치의 X축 액츄에이터(13) 또는 Y축 액츄에이터(15)의 다양한 실시예들을 나타내는 측면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 X축 액츄에이터(13) 또는 Y축 액츄에이터(15)는, 회전 또는 진동 동력을 발생하는 모터(30) 및 상기 모터(30)에서 발생된 동력을 X축 진동판(12) 또는 Y축 진동판(14)에 진동 동력을 전달하는 동력전달장치(31)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 모터(30)는, 도 4 리니어 모터(30-1)나, 도 5 내지 도 10의 스탭 모터(30-2)는 물론이고, 기타 서보 모터와, 직류 모터와, 교류 모터, BLDC 모터(Brushless DC motor) 등 각종 모터가 적용될 수 있다. 이외에도 상기 모터(30) 대신 다양한 형태의 유압 또는 공압 실린더가 적용될 수 있다.
또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 동력전달장치(31)는, 상기 리니어 모터(30-1)와 연결된 푸쉬바(31-1)일 수 있다.
이외에도, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 동력전달장치(31)는, 상기 스탭 모터(30-2)들과 연결된 도 5 나사봉(31-2)이나, 도 6의 크랭크(31-3)/피스톤(31-4)이나, 도 7의 랙(31-5)/피니언(31-6) 기어 조합이나, 도 8의 캠(31-7)/로드(31-8) 조합이나, 도 9의 밸트(31-9)/풀리(31-10) 조합이나, 도 10의 체인(31-11)/스프로킷휠(31-12) 조합 등을 이용할 수 있다.
도 11은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치(300)를 개념적으로 나타내는 단면도이다.
도 11에 도시된 바와 같이, 상기 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치(300)의 진동 인가 장치(40)는, 플랙시블한 씨드 로드(1)를 둘러싸고, 관절 돌기부(41a)가 형성되는 관절 파이프(41)와, 상기 관절 돌기부(41a)와 맞물리는 관절 홈부(42a)가 형성되는 고정 프레임(42) 및 상기 고정 프레임(42)에 설치되고, 상기 관절 파이프(41)에 진동을 인가하는 왕복 운동 장치(43)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 왕복 운동 장치(43)는, 유압 또는 공압 실린더(44)일 수 있고,상기 관절 파이프(41)와 상기 씨드 로드(1) 사이에 냉각매체(5)를 공급하는 냉각매체 공급장치(50)가 설치되어 상기 씨드(S)를 냉각시켜서 단결정들이 쉽게 달라붙도록 할 수 있다.
따라서, 도 11에 도시된 바와 같이, 작업자는 상기 관절 파이프(41)에 진동을 인가하여 상기 씨드(S)가 상기 관절 돌기부(41a)를 중심으로 각회전되면서 진동될 수 있다. 여기서, 상기 실린더(44)는 유압 또는 공압의 단동식 실린더나 복동식 실린더 등 다양한 형태일 수 있고, 실린더 이외에도 리니어 모터나, 스탭 모터나 기타 서보 모터, 직류 모터, 교류 모터, BLDC 모터 등 각종 모터가 적용될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
S: 씨드
C: 챔버
M: 씨드 축회전 모터
1: 씨드 로드
2: 용탕
3: 이물질
4: 뷰포트
5: 냉각매체
10, 40: 진동 인가 장치
20: 제어부
100, 200, 300: 씨드 쉐이킹 장치
11: 고정판
GX: X축 가이드
12: X축 진동판
13: X축 액츄에이터
GY: Y축 가이드
14: Y축 진동판
15: Y축 액츄에이터
30: 모터
30-1: 리니어 모터
30-2: 스탭 모터
31: 동력전달장치
31-1: 푸쉬바
31-2: 나사봉
31-3: 크랭크
31-4: 피스톤
31-5: 랙
31-6: 피니언
31-7: 캠
31-8: 로드
31-9: 밸트
31-10: 풀리
31-11: 체인
31-12: 스프로킷휠
41: 관절 파이프
41a: 관절 돌기부
42: 고정 프레임
42a: 관절 홈부
43: 왕복 운동 장치
44: 실린더
50: 냉각매체 공급장치

Claims (9)

  1. 씨드가 부착되어 축회전되는 씨드 로드를 흔들어 줄 수 있도록 상기 씨드 로드에 진동을 인가하는 진동 인가 장치; 및
    상기 진동 인가 장치에 진동 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함하고,
    상기 진동 인가 장치는,
    고정판;
    상기 고정판에 설치되고, X축 가이드를 따라 X축 방향으로 진동이 가능하게 설치되는 X축 진동판;
    상기 고정판에 고정되고, 상기 X축 진동판을 X축 방향으로 진동시키는 X축 액츄에이터;
    상기 X축 진동판에 설치되고, Y축 가이드를 따라 Y축 방향으로 진동이 가능하게 설치되며, 상기 씨드 축회전 모터가 설치되는 Y축 진동판; 및
    상기 X축 진동판에 고정되고, 상기 Y축 진동판을 Y축 방향으로 진동시키는 Y축 액츄에이터;를 포함하는, 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 X축 액츄에이터에 X축 진동을 위한 X축 왕복 제어신호를 인가하고, 상기 Y축 액츄에이터에 Y축 진동을 위한 Y축 왕복 제어신호를 인가하는 것인 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 X축 액츄에이터에 X축 센터링을 위한 X축 위치 제어신호를 인가하고, 상기 Y축 액츄에이터에 Y축 센터링을 위한 Y축 위치 제어신호를 인가하는 것인 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 X축 액츄에이터 또는 Y축 액츄에이터는,
    회전 또는 진동 동력을 발생하는 모터; 및
    상기 모터에서 발생된 동력을 X축 진동판 또는 Y축 진동판에 진동 동력을 전달하는 동력전달장치;
    를 포함하는 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 모터는,
    적어도 리니어 모터와 스탭 모터와, 서보 모터와, 직류 모터와, 교류 모터, BLDC 모터(Brushless DC motor) 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상으로 이루어지고,
    상기 동력전달장치는,
    적어도 푸쉬바, 나사봉, 크랭크/피스톤, 랙/피니언 기어 조합, 캠/로드 조합, 밸트/풀리 조합, 체인/스프로킷휠 조합들 중 어느 하나 이상으로 이루어지는 것인 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치.
  7. 씨드가 부착되어 축회전되는 씨드 로드를 흔들어 줄 수 있도록 상기 씨드 로드에 진동을 인가하는 진동 인가 장치; 및
    상기 진동 인가 장치에 진동 제어 신호를 인가하는 제어부;를 포함하고,
    상기 진동 인가 장치는,
    플랙시블한 씨드 로드를 둘러싸고, 관절 돌기부가 형성되는 관절 파이프;
    상기 관절 돌기부와 맞물리는 관절 홈부가 형성되는 고정 프레임; 및
    상기 고정 프레임에 설치되고, 상기 관절 파이프에 진동을 인가하는 왕복 운동 장치;
    를 포함하는 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 왕복 운동 장치는, 유압 또는 공압 실린더인 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 관절 파이프와 상기 씨드 로드 사이에 냉각매체를 공급하는 냉각매체 공급장치;
    를 더 포함하는 사파이어 단결정 성장 장비의 씨드 쉐이킹 장치.
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