KR101624129B1

KR101624129B1 - 기판 분산 장치 및 방법

Info

Publication number: KR101624129B1
Application number: KR1020150044277A
Authority: KR
Inventors: 윤태갑; 박남규; 박소영
Original assignee: 에스케이하이닉스 주식회사
Priority date: 2015-03-30
Filing date: 2015-03-30
Publication date: 2016-05-25

Abstract

기판 분산 장치 및 방법에 관한 기술로, 본 발명의 기판 분산 장치는, 적층 수납되는 복수의 슬라이더 및 상기 복수의 슬라이더 중 적어도 하나와 연결되어, 연결된 상기 슬라이더를 일 방향으로 이송시키도록 구성되는 구동 유닛을 포함한다. 상기 일 방향으로 이송되는 상기 슬라이더는 그것과 대응되는 제 1 매거진내의 적어도 하나의 기판을 상기 제 1 매거진과 인접한 제 2 매거진내로 이송시키도록 구성된다.

Description

기판 분산 장치 및 방법{Apparatus and Method for Splitting Substrates}

본 발명은 반도체 처리 시스템과 관한 것으로, 보다 구체적으로는 리드 프레임과 같은 기판을 매거진내에 분산 배치시키는 기술에 관한 것이다.

매거진은 인쇄 회로 기판, 회로 필름, 또는 리드 프레임등과 같은 다수의 스트립 자재를 수납한다. 매거진은 반도체 제조 장치 사이를 오가는 매체로서, 그 내부에 수납된 자재들을 이송시킨다. 예를 들어, 리드 프레임 운반용 매거진은 다이싱(dicing) 공정이 완료된 다수의 리드 프레임들을 와이어 본딩, 몰딩, 트리밍, 포밍 및 잉크 마킹 등과 같은 후속 처리 장치에 순차적으로 이송시키고, 후속 처리 공정을 수행할 수 있게 한다.

대체로, 매거진 내에는 수십 장의 리드 프레임이 수용될 수 있으며, 매거진 내부에 수용된 수십 장의 리드 프레임들이 동시에 처리되고 있다. 그런데, 수십 장의 리드 프레임을 동시에 처리하는 데에는 장시간이 소요될 수 있기 때문에, 리드 프레임들 중 일부를 빈 매거진으로 이송시켜, 분산 처리하는 기술이 제안되고 있다.

현재, 리드 프레임들의 분산은 작업자에 의해 개별적으로 이송되거나, 혹은 푸셔(pusher) 등에 의해 고정된 개수의 리드 프레임이 동시에 이송되는 방식이 이용되고 있다.

하지만, 작업자에 의한 직접적인 이송은 리드 프레임의 파손을 유발할 수 있고, 푸셔에 의한 이송은 이송되어야 할 리드 프레임 개수가 고정되어 있기 때문에 작업자가 원하는 다양한 개수의 리드 프레임을 이송시키는 데 어려움이 있다.

본 발명은 다양한 개수의 리드 프레임과 같은 기판을 자유자재로 분산시킬 수 있는 기판 분산 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 실시예에 따른 기판 분산 장치는, 매거진내에 적층, 수납된 복수의 기판 중 선택되는 개수의 기판을 인접하는 다른 매거진에 전달하도록 구성된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분산 장치는, 적층 수납되는 복수의 슬라이더, 상기 복수의 슬라이더 중 적어도 하나와 연결되어, 연결된 상기 슬라이더를 일방향으로 이송시키도록 구성되는 구동 유닛을 포함하며, 상기 일방향으로 이송되는 상기 슬라이더는 그것과 대응되는 제 1 매거진내의 적어도 하나의 기판을 상기 제 1 매거진과 인접한 제 2 매거진내로 이송시키도록 구성된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분산 방법은, 선택적으로 구동력을 제공하여 복수의 슬라이더의 삽입공들 중 선택된 수의 삽입공에 슬라이딩 바를 삽입한다. 다음, 상기 슬라이딩 바가 삽입된 상기 슬라이더들을 제 1 매거진 내부로 슬라이딩시켜, 상기 슬라이더의 추력에 의해 상기 제 1 매거진 내부의 기판을 상기 제 1 매거진과 인접한 제 2 매거진 내부로 분산시킨다.

본 실시예에 따르면, 낱장의 기판은 물론, 원하는 개수의 기판을 선택적으로 이동시킬 수 있기 때문에, 작업 효율을 크게 개선시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 분산 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 분산 장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 분산 장치의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 분산 장치의 측단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 슬라이더 및 매거진을 확대하여 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 슬라이더 하우스를 보여주는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 구동 유닛의 상부 플레이트의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 분산 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 분산 방법을 설명하기 위한 도면이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 실시예의 기판 분산 장치(100)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 슬라이더(110a-110n) 및 구동 유닛(200)을 포함할 수 있다.

복수의 슬라이더(110a-110n)들은 동일한 형태로 구성되며, 슬라이더 하우스(120)내에 적층 수납된다.

복수의 슬라이더(110a-110n)는 도 2에 도시된 바와 같이, 인접하는 제 1 매거진(MGZ1)으로 진입하는 제 1 부분(110-1)과 상기 구동 유닛(200)과 연결되는 제 2 부분(110-2)을 포함할 수 있으며, 제 1 부분(110-1)의 선폭(W1)과 제 2 부분(110-2)의 선폭은 서로 같거나, 혹은 상이할 수 있다. 단, 상기 슬라이더(110a-110n)의 진입부인 제 1 부분(110-1)의 선폭(w1)은 도 5에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 매거진(MGZ1,MGZ2)에 수납된 기판(300)의 선폭(w2)과 같거나 작도록 설계되어야 상기 제 1 매거진(MGZ1)내에 위치하는 기판을 용이하게 푸쉬할 수 있다.

또한, 복수의 슬라이더(110a-110n) 각각의 상기 제 2 부분(110-2)에 삽입공(H)이 형성되어 있으며, 상기 복수의 슬라이더(110a-110n)는 각각의 삽입공(H)들은 서로 오버랩되도록 적층될 수 있다.

복수의 슬라이더(110a-110n)를 수납하는 슬라이더 하우스(120)는 도 6에 도시된 바와 같이, 마주하는 제 1 및 제 2 플레이트(121,123)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 및 제 2 플레이트(121,123)는 각각 복수의 슬롯(s)들을 포함할 수 있다. 각 플레이트(121 or 123)에 설치되는 슬롯(s)들은 일정 간격을 두고 이격 배치된다. 또한, 제 1 플레이트(121)의 슬롯(s)과 제 2 플레이트(123)의 슬롯(s)은 서로 마주하도록 위치되어, 상기 슬라이더들(110a-110n)들이 삽입될 공간을 한정한다. 상기 슬롯들(s)은 상기 슬라이더들(110a-110n)과 상기 매거진(MGZ1,MGZ2)내에 삽입된 기판들과 대응될 수 있는 위치에 형성될 수 있다. 본 실시예에서, 슬라이더 하우스(120)은 상면이 오픈된 형태로 구성된 예를 설명하였지만, 상면을 커버하는 형태로 구현될 수도 있다.

다시 도 1 내지 도 4를 참조하면, 구동 유닛(200)은 상부 플레이트(210), 하부 플레이트(220), 수직 이송 유닛(230) 및 수평 이송 유닛(240)을 포함할 수 있다.

상부 플레이트(210) 및 하부 플레이트(220)는 일정 거리를 두고 대향 배치되며, 상부 플레이트(210) 상부에 상기 슬라이더 하우스(120)가 위치될 수 있다. 또한, 상부 플레이트(210)는 도 7에 도시된 것과 같이, 수직 이송 유닛(230)이 관통되어 이동될 수 있게 하는 가이드 홈(210a)을 포함할 수 있다.

수직 이송 유닛(230)은 상부 플레이트(210)와 하부 플레이트(220) 사이에 위치된다. 수직 이송 유닛(230)은 슬라이드 바(232), 승강 조절 레버(234) 및 인덱스 부재(236)를 포함할 수 있다.

슬라이드 바(232)는 승강 조절 레버(234)에 연결되어, 승강 조절 레버(234)의 동작에 의해 수직 방향(도면의 y 방향)으로 승강할 수 있다. 인덱스 부재(236)는 슬라이더 하우스(120)내에 수용되는 슬라이더들(110a-110n)의 최대 개수에 해당하는 수만큼의 인덱스를 표시하고 있다. 이에 따라, 상기 인덱스 부재(236)에 표시된 인덱스를 기준으로 승강 조절 레버(234)를 구동하여, 상기 슬라이드 바(232)를 일정 높이씩 상승시킬 수 있다. 이때, 초기 슬라이드 바(232)의 위치는 후술될 제 1 스톱퍼(221)에 의해 결정될 수 있다.

승강 조절 레버(234)의 구동에 따라, 슬라이드 바(232)는 하위 슬라이더(110a)의 삽입공(H)을 거쳐 순차적으로 상위 슬라이더(110n)의 삽입공(H)까지 삽입될 수 있다. 즉, 인덱스를 기초로 한 승강 조절 레버(234)의 구동에 따라, 슬라이드 바(232)의 상승 높이를 자유자재로 결정할 수 있어, 슬라이드 바(232)를 원하는 개수의 슬라이더(110a-110n)와 연결시킬 수 있다. 이때, 승강 조절 레버(234)는 구동 모터(도시되지 않음)과 연결되어 구동력을 제공받을 수 있다.

수평 이송 유닛(240)은 연결 블록(242), 수평 가이드축(244) 및 핸들(246)을 포함할 수 있다.

연결 블록(242)은 상기 수평 가이드 축(244) 및 상기 수직 이송 유닛(230)의 인덱스 부재(236)를 상호 이송 가능하게 연결시킨다. 핸들(246)은 상기 연결 블록(242)에 연결되어, 수직 이송 동작이 완료된 상기 수직 이송 유닛(230)을 수평 방향(x 방향)으로 이송시킬 수 있다. 이때, 상기 수평 가이드 축(244)은 상기 수직 이송 유닛(230) 및 핸들(246)이 흔들림 없이 수평 방향을 따라 이동시키는 역할을 한다.

한편, 하부 플레이트(220)는 제 1 스톱퍼(221) 및 제 2 스톱퍼(223)를 구비하여, 수직 이송 유닛(230)이 시작 위치 및 도착 위치를 설정할 수 있다. 즉, 수직 이송 유닛(230)은 제 1 스톱퍼(221)에 위치된 영역에서 승강 조절 레버(234)의 동작에 따라, 수직 방향(y 방향)으로 이동하여 원하는 개수의 슬라이더(110a-110n)와 연결된 다음, 수평 가이드 축(244)을 따라 수평 방향으로 왕복 이송 동작을 수행할 수 있다.

또한, 상기 연결 블록(242)에 구동 모터(도시되지 않음)를 연결시켜, 전기전자적으로 구동력을 제공할 수 있다.

이와 같은 구성을 갖는 기판 분산 장치의 동작에 대해 도 8을 참조하여, 설명하도록 한다.

슬라이더 하우스(120)에 복수의 슬라이더(110a-110d)가 수납되어 있고, 제 1 매거진(MGZ1)에 복수에 기판(10a-10d)이 수납되어 있으며, 제 1 매거진(MGZ1)과 인접하여 기판이 수납되지 않은 제 2 매거진(MGZ2)이 일렬로 배치된다고 가정한다.

먼저, 제 1 매거진(MGZ1)의 최하위에 위치하는 제 1 기판(10a)을 제 2 매거진(MGZ2)으로 분산시키고자 하는 경우, 도 8의 (a)와 같이, 승강 조절 레버(234)를 제 1 인덱스를 타겟으로 하여 구동시킨다. 이에 따라, 슬라이드 바(232)는 승강 조절 레버(234)로부터 구동력을 제공받아 수직 승강하여, 슬라이더 하우스(120)의 최하위에 위치하는 제 1 슬라이더(110a)의 삽입공(H)에 삽입된다.

그 후, 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 핸들(246)의 수평 이동 조작에 의해, 수직 이송 유닛(230), 즉, 슬라이드 바(232)는 수평 가이드 축(244)을 따라 수평 방향으로 이동한다. 이에 따라, 제 1 매거진(MGZ1)내의 제 1 슬라이더(110a)와 대응되는 위치에 수납되어 있는 제 1 기판(10a)이 상기 제 1 슬라이더(110a)로부터 가해지는 추력(推力)에 의해, 제 2 매거진(MGZ2)으로 이송, 분산된다.

도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 핸들(246)의 조작에 의해 제 1 슬라이더(110a)가 슬라이더 하우스(120)내로 리턴된다.

그 후, 도 8의 (d)에 도시된 바와 같이, 승강 조절 레버(234)를 제 2 인덱스를 타겟으로 하여 구동시킨다. 이에 따라, 슬라이드 바(232)는 상기 승강 조절 레버(234)의 구동력을 제공받아, 제 1 및 제 2 슬라이더(110a, 110b)의 삽입공(H)에 삽입되도록 승강된다.

도 8의 (e)에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 슬라이더(110a, 110b)와 연결된 슬라이드 바(232)는 핸들(246)의 조작에 의해 수평 가이드 축(244)을 따라 수평 이동된다. 이에 따라, 제 1 및 제 2 슬라이더(110a, 110b)는 제 1 매거진(MGZ1)내에 진입된다. 이때, 제 1 기판(10a)은 이미 제 2 매거진(MGZ2)으로 이송되었기 때문에, 실질적으로 제 2 슬라이더(110b)만이 그것과 마주하는 제 2 기판(10b)에 추력을 제공한다. 이에 따라, 제 1 매거진(MGZ1)내의 제 2 기판(10b)은 제 2 매거진(MGZ2)내부로 슬라이딩된다.

한편, 도 9의 (a)에 도시된 바와 같이, 승강 조절 레버(234)를 제 3 인덱스가 타겟이 되도록 일시에 상승 구동시킬 수 있다. 이에 따라, 승강 조절 레버(234)로부터 구동력을 받는 슬라이드 바(232)는 제 1 내지 제 3 슬라이더(110a-110c)의 삽입공(H)에 일시에 삽입된다. 그 후, 핸들(246) 조작에 의해, 제 1 내지 제 3 슬라이더(110a-110c)를 수평 방향으로 슬라이딩시키면, 제 1 매거진(MGZ1)내의 제 1 내지 제 3 기판(10a-10c)이 한꺼번에 제 2 매거진(MGZ2)으로 슬라이딩된다.

상기의 실시예에서는 리드 프레임을 기판의 일예로 들어 설명하였지만, 여기에 한정하지 않고, 반도체 웨이퍼 등 다양한 적층 장치에 본 기술이 적용될 수 있다.

이상 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

110a-110n : 복수의 슬라이더 120 : 슬라이더 하우스
200 : 구동 유닛 210 : 상부 플레이트
220 : 하부 플레이트 230 : 수직 이송 유닛
232 : 슬라이드 바 234 : 승강 조절 레버
236 : 인덱스 부재 240 : 수평 이송 유닛 242 : 연결 블록 244 : 수평 가이드 축
246 : 핸들

Claims

매거진내에 적층, 수납된 복수의 기판 중 선택되는 개수의 기판을 인접하는 다른 매거진에 전달하도록 구성되는 기판 분산 장치로서,
상기 복수개의 기판들과 대응되는 위치에 적층되며, 일측부에 삽입공들을 각각 포함하는 복수의 슬라이더; 및
상기 복수의 슬라이더 중 적어도 하나의 슬라이더의 삽입공에 삽입되도록 구성되는 수직 이송 유닛 및 상기 수직 이송 유닛을 상기 매거진이 위치되는 방향으로 이송시키는 수평 이송 유닛을 구비하는 구동 유닛을 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,
상기 복수의 슬라이더는 상기 복수의 기판들 중 상기 선택되는 개수의 기판에 추력을 제공하도록 구성되고,
상기 추력을 제공받는 상기 슬라이더 수는 가변 가능한 기판 분산 장치.
삭제
청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,
상기 복수의 슬라이더를 수납하는 슬라이더 하우스를 더 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 4 항에 있어서,
상기 구동 유닛은,
상기 슬라이더 하우스 하단에 위치되며, 상기 수직 이송 유닛을 일방향으로 슬라이딩시킬 수 있는 가이드 홈을 구비하는 상부 플레이트, 및
상기 상부 플레이트와 상기 수직 이송 유닛의 길이만큼 이격되어 배치되는 하부 플레이트를 더 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 5 항에 있어서,
상기 하부 플레이트는 상기 수직 이송 유닛의 시작 위치를 설정하는 제 1 스톱퍼 및 상기 수직 이송 유닛의 도착 위치를 설정하는 제 2 스톱퍼를 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,
상기 수직 이송 유닛은,
상기 삽입공들내에 실질적으로 삽입되는 슬라이드 바;
상기 슬라이드 바와 연결되어, 구동력을 제공하는 승강 조절 레버; 및
상기 슬라이드 바의 승강 높이를 결정하는 인덱스 부재를 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 7 항에 있어서,
상기 인덱스 부재는 상기 슬라이더 하우스내에 수용되는 슬라이더의 최대 개수에 해당되는 수만큼의 인덱스가 표시되어, 상기 인덱스를 기준으로 상기 승강 조절 레버의 구동력을 조절하는 기판 분산 장치.
청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,
상기 수평 이송 유닛은,
수평 가이드 축;
상기 수평 가이드축 및 상기 수직 이송 유닛과 연결시키는 연결 블록; 및
상기 연결 블록에 연결되어, 상기 수직 이송 유닛이 상기 가이드 축을 따라 이송되도록 구동력을 제공하는 핸들을 포함하는 기판 분산 장치.
적층 수납되는 복수의 슬라이더; 및
상기 복수의 슬라이더 중 적어도 하나와 연결되어, 연결된 상기 슬라이더를 일방향으로 이송시키도록 구성되는 구동 유닛을 포함하며,
상기 일방향으로 이송되는 상기 슬라이더는 그것과 대응되는 제 1 매거진내의 적어도 하나의 기판을 상기 제 1 매거진과 인접한 제 2 매거진내로 이송시키도록 구성되며,
상기 구동 유닛은 상기 복수의 슬라이더 중 적어도 하나의 슬라이더의 삽입공에 삽입되도록 구성되는 수직 이송 유닛, 및 상기 수직 이송 유닛을 상기 제 1 매거진이 위치되는 방향으로 이송시키는 수평 이송 유닛을 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 10 항에 있어서,
상기 복수의 슬라이더 각각은 상기 제 1 매거진과 인접하는 제 1 단부 및 상기 제 1 단부와 이격되어 있는 제 2 단부를 포함하고,
상기 제 1 단부의 선폭은 상기 제 1 매거진내에 삽입된 상기 기판의 선폭과 같거나 작게 구성되는 기판 분산 장치.
청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 11 항에 있어서,
상기 삽입공은 상기 복수의 슬라이드 각각의 상기 제 2 단부에 형성되고,
상기 삽입공들이 대응될 수 있도록 상기 슬라이더들이 적층되도록 구성되는 기판 분산 장치.
삭제
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 10 항에 있어서,
상기 복수의 슬라이더를 수납하는 슬라이더 하우스를 더 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 14 항에 있어서,
상기 구동 유닛은,
상기 슬라이더 하우스 하단에 위치되며, 상기 수직 이송 유닛을 일방향으로 슬라이딩시킬 수 있는 가이드 홈을 구비하는 상부 플레이트, 및
상기 상부 플레이트와 상기 수직 이송 유닛의 길이만큼 이격되어 배치되는 하부 플레이트를 더 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 15 항에 있어서,
상기 하부 플레이트는 상기 수직 이송 유닛의 시작 위치를 설정하는 제 1 스톱퍼 및 상기 수직 이송 유닛의 도착 위치를 설정하는 제 2 스톱퍼를 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 14 항에 있어서,
상기 수직 이송 유닛은,
상기 삽입공들내에 실질적으로 삽입되는 슬라이드 바;
상기 슬라이드 바와 연결되어, 상기 슬라이드 바에 구동력을 제공하는 승강 조절 레버; 및
상기 슬라이드 바의 승강 높이를 결정하는 인덱스 부재를 포함하며,
상기 인덱스 부재는 상기 슬라이더 하우스내에 수용되는 슬라이더의 최대 개수에 해당되는 수만큼의 인덱스가 표시되어, 상기 인덱스를 기준으로 상기 승강 조절 레버의 구동력을 조절하는 기판 분산 장치.
청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 17 항에 있어서,
상기 수평 이송 유닛은,
수평 가이드 축;
상기 수평 가이드축 및 상기 수직 이송 유닛과 연결시키는 연결 블록; 및
상기 연결 블록에 연결되어, 상기 수직 이송 유닛이 상기 가이드 축을 따라 이송되도록 구동력을 제공하는 핸들을 포함하는 기판 분산 장치.
청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 18 항에 있어서,
상기 승강 조절 레버 및 상기 핸들에 동력을 제공하는 모터를 더 포함하는 기판 분산 장치.
삭제