KR101615543B1 - 제진 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 적은 에너지로 우수한 제거 효과가 얻어지는 효율이 좋은 제진 장치를 제공한다.
[해결 수단] 워크(W)의 피제진면(Wa)이 노즐부(1)로부터의 분류(3)의 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다도 하류측에 형성되는 천이영역(E) 내에 배열 설치되어 있는 것이다.

Description

제진 장치{DUST－REMOVING APPARATUS}

본 발명은 제진 장치에 관한 것이다.

종래, 가정용 액정 텔레비전이나 스마트폰, 태블릿 단말 등의 LCD 패널 제조는 우량품률 향상을 위해, 클린룸 내 공정에서, 플라스틱이나 유리 등의 기판 표면에, 클리너 헤드의 노즐부로부터 뿜어나오는 분류를 쐬어, 미립자 등의 이물의 제거를 행하고 있었다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

일본 특개 평11-235559호 공보

(발명의 개요)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

그러나, 제진의 대상이 되는 워크(기판)의 대형화에 따라, 클리너 헤드(제진 헤드)에 공급하는 기체 유량이 증가하여, 막대한 에너지(전력)가 소비되어 버린다고 하는 문제가 있었다.

그래서, 본 발명은, 소비 에너지를 증가시키지 않고 충분한 제거효과가 얻어지는 효율이 좋은 제진 장치의 제공을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 집진 장치는 워크의 피제진면이 노즐부로부터의 분류(噴流)의 포텐셜 코어의 종단보다도 하류측에 형성되는 천이영역 내에, 배열 설치되어 있는 것이다.

또한 상기 노즐부의 분출 슬릿의 슬릿폭 치수를 S로 하고, 상기 분출 슬릿의 출구부와 상기 피제진면과의 이간(離間) 치수를 H로 했을 때, 하기 수식 1을 충족시키도록, 상기 S를 설정하고, 상기 피제진면을 상기 천이영역 내로 한 것이다.

[수식 1] H/9≤S<H/6

또한 상기 분류의 상기 피제진면에 있어서의 분출 방향의 시간평균 유속의 최대값을 Umax로 하고, 상기 분류의 분출 방향의 속도변동값의 강도의 최대값을 V'max로 했을 때, 하기 수식 2 및 하기 수식 3을 충족시키도록 구성한 것이다.

[수식 2] 110<Umax<150(단위: m/s)

[수식 3] 6.0≤(V'max/Umax)×100≤12

노즐부로부터 분출하는 에어 유량을 감소시켜, (발생하는)포텐셜 코어의 전장을 단축하고, 피제진면을 포텐셜 코어 종단보다도 하류측으로 하는 것이 가능하다. 이렇게 함으로써 적은 소비 에너지(유량)로 충분한 제진 효과를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시의 1 형태를 도시하는 주요부 파단 사시도이다.
도 2는 노즐부의 1 예를 도시하는 단면도이다.
도 3은 구성 및 작용의 설명을 위한 도면이다.
도 4는 실시예와 비교예의 실측 결과를 도시하는 도표이다.
도 5는 이간 치수와 제거율의 관계를 나타내는 그래프도이다.
도 6은 시간평균 유속의 최대값과 내압의 관계를 나타내는 그래프도이다.
도 7은 시간평균 유속의 분포를 나타내는 그래프도이다.
도 8은 속도변동값의 강도의 분포를 나타내는 그래프도이다.
도 9는 속도변동값의 강도의 최대값과 내압의 관계를 나타내는 그래프도이다.
도 10은 8kPa에서의 속도변동 스펙트럼 분포를 제 1 장치와 제 2 장치에 대하여 비교한 그래프도이다.
도 11은 11kPa에서의 속도변동 스펙트럼 분포를 제 1 장치와 제 2 장치에 대하여 비교한 그래프도이다.
도 12는 14kPa에서의 속도변동 스펙트럼 분포를 제 1 장치와 제 2 장치에 대하여 비교한 그래프도이다.
도 13은 제거율과 내압의 관계를 나타내는 그래프도이다.
도 14는 제 2 장치의 노즐부의 단면도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 도시의 실시형태에 기초하여 본 발명을 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 집진 장치는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 가압 에어가 공급되는 공기저류실(11)과, 부압의 흡기실(12)을 내부에 갖는 클리너 헤드(제진 헤드)(9)와, 클리너 헤드(9)의 공기저류실(11)에 에어를 공급함과 아울러 흡기실(12) 내를 진공처리하는 도시 생략된 가압·흡인용의 블로어 장치를 구비하고 있다.

또한 블로어 장치에 의해 공기저류실(11)에 공급되는 에어량을 인버터에 의해 조절하여, 공기저류실(11)의 내압(P)을 조정 가능하게 하고 있다.

클리너 헤드(9)는 공기저류실(11) 내의 에어를 외부로 분출하기 위한 노즐부(1)와, 흡기실(12)과 외부를 연통하는 흡입구(19)를 가지고 있다.

그리고, 노즐부(1)로부터의 분류(에어 젯)(3)에 의해, 액정 디스플레이용 유리 기판 등의 워크(W)의 피제진면(Wa)에 부착되어 있는 미립자 등의 이물을 박리시키고, 그 이물을 흡입구(19)를 통하여 흡기실(12)에 빨아들여, 제진하는 것이다.

노즐부(1)는 공기저류실(11) 내의 에어를 외부로 배출하기 위한 분출홈(10)을 갖고, 이 분출홈(10)은 클리너 헤드(9)의 길이 방향(L₁₀)을 따라 형성되어 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 분출홈(10)은 공기저류실(11)과 접속되는 횡단면 직선 형상의 에어 유입부(13)와, 에어 유입부(13)의 하류측과 연통하여 외부(분출)측으로 향함에 따라 확장 개방되는 횡단면 삼각형상의 제 1 캐버티부(광폭 중간부)(14)와, 제 1 캐버티부(14)의 하류측과 연통하는 횡단면 직선 형상의 캐버티 접속부(15)와, 그 캐버티 접속부(15)의 하류측에 연통되어 외부측을 향함에 따라 확장개방되는 횡단면 삼각형상의 제 2 캐버티부(광폭 중간부)(16)와, 그 제 2 캐버티부(16)의 하류측에 연통되고 접속부(15)보다도 광폭의 단면 직사각형 형상의 제 3 캐버티부(17)와, 제 3 캐버티부(17)의 하류측과 외부를 연통하는 분출 슬릿(18)을 가지고 있다. 에어 유입부(13)와 캐버티 접속부(15)의 폭 치수는 동일한 치수로 형성되어 있다.

노즐부(1)는 제 1·제 2 캐버티부(14, 16) 등에 의해, 하류측(캐버티내 하류단 코너부)에서 발생한 교란이, 상류측의 흐름(캐버티내 상류의 박리 흐름)에 전해져 영향을 주고, 그 영향을 받은 것(와류)이 하류에서 발생하는 교란에 영향을 준다고 하는 피드백 기구에 의해, 흐름에 고주파의 변동을 준다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 분출 슬릿(18)으로부터 분출하는 분류(3)는 속도가 쇠퇴하지 않는 (일정한) 포텐셜 코어(영역)(5)와, 포텐셜 코어(5)의 종단(소멸 위치)(50)보다 하류측이고 혼란이 발달 단계인 천이영역(발달 영역)(E)과, 천이영역(E)을 거쳐 충분히 발달한 난류 확산 흐름의 완전 발달 영역(확산영역)(F)을 가지고 있다. 또한 제 1·제 2 캐버티부(14, 16) 등에 의한 피드백 기구에 의해, 분류(3)는 고주파의(속도·압력) 변동이 부가된 흐름이다.

종래는, 대량의 에어를 세차게 분출시키고, 또한, 워크(W)에 대하여 노즐을 가능한 한 접근시켜 배치하여, 워크(W)의 피제진면(Wa)이 포텐셜 코어(5) 내에 배열 설치되도록 하는 것이 제진에 적합한 것으로 되어 있었다. 그 때문에 대형의 워크(W)에 대하여, 대량의 에어를 세차게 분출하는 것은 막대한 에너지를 소비하고 있었다.

그래서, 본 발명자는 에너지 절약을 도모하면서도, 제진 효율의 개선을 도모하기 위하여, 예의 연구를 행하여, 분류(3)의 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다도 하류측이고, 또한, 완전 발달 영역(F)보다 상류측의 천이영역(E) 내에, 워크(W)의 피제진면(Wa)을 설치한다고 하는 독자의 착상을 행한 것이다.

또한, 분출 슬릿(18)의 출구부(J)와 피제진면(Wa)과의 간극(G)의 이간 치수를 H[mm]로 하고, 포텐셜 코어(5)의 길이 치수(출구부(J)로부터 종단(50)까지의 길이 치수)를 L[mm]로 하면, 분류(3)의 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다도 하류측에서, 포텐셜 코어(5)의 길이 치수(L)의 1.5배를 초과하면, 제진 효율이 저하되는 것을 구명했다. 즉, L<H≤3L/2의 범위를 찾아냈다.

또한, 포텐셜 코어(5)와, 분출 슬릿(18)의 관계에 주목하게 되어, 분출 슬릿(18)의 슬릿폭 치수를 S[mm]로 하고, 실용적인 0.1mm≤S≤10mm의 범위에서, 발생하는 포텐셜 코어(5)의 길이 치수(L)를 실측한 결과, 포텐셜 코어(5)의 길이 치수(L)는 슬릿폭 치수(S)의 5배∼6배이었다. 그래서, 피제진면(Wa)이 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다 확실하게 하류측에 배열 설치하기 위하여, H>6S로 생각했다.

그 결과, 본 발명에 따른 제진 장치를, 하기 수식 1을 충족시키도록 하고, 슬릿폭 치수(S), 및, 이간 치수(H)를 설정하고, 피제진면(Wa)을 천이영역(E) 내로 했다.

[수식 1]

H=/9≤S<H/6

또한, 1mm≤H≤2mm의 범위에서, 상기 수식 1을 충족시키는 슬릿폭 치수(S)를 설정하는 것이 바람직하다.

여기에서, 실시예와 비교예의 시험결과를 사용하여, 작용·효과를 설명한다.

우선, 실시예는 도 2의 노즐부(1)를 갖고, 이간 치수(H)를 1.5mm, 슬릿폭 치수(S)를 0.2mm로 하여, 수식 1을 충족시키도록 구성했다.

다음에 도 2의 노즐부(1)를 갖고, 이간 치수(H)를 1.5mm, 슬릿폭 치수(S)를 0.4mm로 하여, 수식 1을 충족시키지 않는 구성으로 한 제진 장치(바꿔 말하면, 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다 상류에 피제진면(Wa)이 배열 설치되는 제진 장치)를 비교예로 했다. 또한 실시예 및 비교예의 공기저류실(11)의 내압(P)은 동일(14kPa)하게 관리(제어)했다.

입자직경이 3㎛인 입자와, 입자직경이 1.6㎛인 입자에 대하여, 각각, 제거율(γ)을 측정했다. 제거율(γ), 및, 분류(3)의 평균 유속과, 분류(3)의 속도변동값의 강도를 도 4의 도표에 나타낸다. 측정방법은 후술한다.

도 4로부터 명확한 바와 같이, 실시예는 3㎛의 입자에 관해서는 비교예와 동등한 제거율(γ)이며, 1.6㎛의 입자에 관해서는 비교예보다도 제거율(γ)이 우수했다. 실시예는 비교예와 내압(P)이 동일하고, 슬릿폭 치수(S)가 2분의 1이기 때문에, 유량은 비교예보다도 현저하게 감소한다. 즉, 실시예는, 비교예에 비해, 공급 에어량은 대략 절반 정도이면 되어, 클리너 헤드(9)에 에어를 공급하기 위한 장치(블로어 장치)를 소형화할 수 있다.

다음에 도 2의 노즐부(1)를 갖고, 슬릿폭 치수(S)를 0.2mm로 한 제진 장치를 제 1 장치라고 부르고, 피제진면(Wa)을 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다도 하류측으로부터 점차로 떼어 놓은 경우의 제거율(γ)의 측정을 행했다.

또한 제 1 장치의 공기저류실(11)의 내압(P)을 8kPa, 11kPa, 14kPa로 변화시킨 경우의 제거율(γ)의 변화를 측정한 실측결과를 도 5에 나타낸다.

도 5로부터 명확한 바와 같이, H를 증가하면, 제거율(γ)은 저하되는 경향을 나타낸다. S=0.2mm이므로, 수식 1을 충족시키는 H의 범위는 1.2mm<H≤1.8mm가 된다. 1.8mm를 초과하면 급격하게 제거율(γ)이 저하되었다.

즉, 상기의 비교예와 같이, 피제진면(Wa)이 포텐셜 코어(5) 내에 배열 설치되면, 시간평균 유속이 커도, 속도변동값의 강도가 작아져, 제거율은 뒤떨어져 버린다. 그리고, 도 5와 같이, 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다 지나치게 떨어지면, 피제진면(Wa)에 맞닿는 분류(3)의 평균 유속이 지나치게 작아서, 충분한 제진 효과가 얻어지지 않게 되어 버린다(제거율(γ)이 저하됨).

또한, 분류(3)의 피제진면(Wa)에 있어서의 분류(3)의 분출 방향(y방향)의 시간평균 유속을, U[m/s]로 하고, 그 최대값을 Umax[m/s]로 하고, 분류(3)의 분출 방향의 속도변동값의 강도(RMS값)를, V'[m/s]으로 하고 그 최대값을 V'max[m/s로 했을 때, 본 발명에 따른 제진 장치는 하기 수식 2 및 하기 수식 3을 충족시키도록 구성하고 있다.

[수식 2]

110<Umax<150(단위: m/s)

[수식 3]

6.0≤(V'max/Umax)×100≤12

보다 바람직하게는 하기 수식 4 및 하기 수식 5를 충족시키도록 구성한다.

[수식 4]

120≤Umax<150(단위: m/s)

[수식 5]

7.5≤(V'max/Umax)×100≤12

여기에서, 도 14의 노즐부(1')를 갖는 제진 장치를 제 2 장치로 하고, 상기의 제 1 장치와 비교한 결과를 사용하여, 작용·효과를 설명한다.

도 14의 노즐부(1')는 도 2의 노즐부(1)로부터 제 1 캐버티부(14)와 캐버티 접속부(15)와 제 2 캐버티부(16)를 생략하고, 에어 유입부(13)와 제 3 캐버티부(17)를 직결한 것이다. 슬릿폭 치수(S) 등, 공통 구성부의 치수는 동일하다.

또한, 제 1 장치 및 제 2 장치는 슬릿폭 치수(S)를 0.2mm로 하고, 이간 치수(H)를 1.5mm로 하여, 양자 모두 수식 1을 충족시키는 것이다. 또한, 각 장치의 공기저류실(11)의 내압(P)을 8kPa, 11kPa, 14kPa로 변화시켰다.

각 장치의 분류(3)의 측정결과를 설명한다. 또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 분출 슬릿(18)의 출구부(J)의 출구 폭 방향 중앙 위치(Jo)를 원점으로 하여, 수평 방향에 X 좌표를 잡고, 분출 방향(도면에서는 연직 하향)에 Y 좌표를 잡는다.

제 1 장치 및 제 2 장치에 대하여, X=0mm, Y=1.5mm에서의 분류(3)의 분출 방향(Y 방향) 시간평균 유속의 최대값(Umax)의 측정을 행한 결과를 도 6에 나타낸다.

도 6으로부터 명확한 바와 같이, 제 1 장치와 제 2 장치 모두 내압(P)의 증가와 함께 시간평균 유속의 최대값(Umax)이 커지는 경향을 나타내고 있다.

다음에 내압(P)이 14kPa인 경우에 있어서, 시간평균 유속(U)의 X 방향의 분포를 Y=1.5mm에서 실측한 결과를 도 7에 나타낸다.

도 7로부터 명확한 바와 같이, 제 1 장치와 제 2 장치와의 차는 거의 확인되지 않는다. 즉, 동일 내압 하에서는, 노즐부(1, 1')의 형상의 차이에 의해, 분류(3)의 흐름의 평균적인 특성은 변화되지 않는 것을 알 수 있다.

다음에 분류(3)의 분출 방향의 속도 변동값의 강도(V')에 대하여, X 방향의 분포를 Y=1.5mm에서 측정한 결과를 도 8에 나타낸다.

도 8로부터 명확한 바와 같이, 속도변동값의 강도의 최대값은 시간평균 유속의 최대값이 계측된 노즐 직하의 X=0이 아니고, 평균 유속의 최대값의 반값폭 근방이 측정된 X≒0.3에 나타나는 것을 알 수 있다. 이 위치에서는, 시간평균 유속의 분포의 구배가 커, 전단층의 형성에 의해, 큰 속도 변동이 발생하고 있다고 생각된다.

또한 제 1 장치의 속도변동값의 강도가 제 2 장치보다도 커지는 결과가 되었다. 이것은 도 2의 노즐부(1)가 단면 삼각 형상의 제 1 캐버티부(14) 및 제 2 캐버티부(16)를 갖는 구조의 효과가 현저하게 된 것에 의한 것으로 추찰된다.

다음에 속도변동값의 강도의 최대값(V'max)과, 공기저류실(11)의 내압(P)의 관계를, 도 9에 나타낸다.

도 9로부터 명확한 바와 같이, 시간평균 유속의 최대값(Umax)과 마찬가지로, 공기저류실(11)의 내압의 증가와 함께 V'max가 증가하는 경향이 있었다. 또한 제 1 장치의 V'max는 제 2 장치의 V'max보다도 크다. 또한, 도시 생략하지만, 압력변동은 속도변동에 대한 결과와 동일한 경향이었다.

또한 제 1 장치와 제 2 장치의 각 내압(P)에 있어서의 속도변동 스펙트럼 분포를 비교한 그래프도를 도 10 내지 도 12에 나타낸다.

도 10 내지 도 12로부터 명확한 바와 같이, 8kPa, 11kPa, 14kPa의 각 내압(P)에 있어서, 10∼20kHz의 고주파영역에서, 제 1 장치가 제 2 장치의 스펙트럼 강도를 현저하게 상회하고, 속도변동값의 강도의 차에 크게 기여하고 있다고 할 수 있다. 즉, 제 1 캐버티부(14) 및 제 2 캐버티부(16)가 유효하게 작용하고 있다고 생각된다.

그리고, 피제진면(Wa)에 있어서의 분출 방향의 시간평균 유속의 최대값(Umax)과, 분출 방향의 속도변동값의 강도의 최대값(V'max)은 이하의 결과이었다. 제 1 장치는 내압(P)이 8kPa인 경우에는, Umax=116m/s, V'max=7.3m/s이다. 11kPa의 경우에는, Umax=123m/s, V'max=10.4m/s이다. 14kPa의 경우에는, Umax=135m/s, V'max=12.3m/s이다.

제 2 장치는 내압(P)이 8kPa인 경우에는 Umax=111m/s, V'max=5.0m/s이다. 11k=Pa인 경우에는 Umax=123.5m/s, V'max=5.5m/s이다. 14k=Pa인 경우에는, Uma1x=132m/s, V'max=6.0/s이다. 상기 결과로부터 명확한 바와 같이, 제 1 장치는 수식 2 및 수식 3을 충족시키는 구성이며, 제 2 장치는 수식 2 및 수식 3을 충족시키지 않는 구성이다.

다음에, 제 1 장치와 제 2 장치를 사용하여, 입자직경 3㎛의 실리카·아크릴 복합 화합물 입자에 대하여 제거율(γ)의 측정을 행한 결과를 도 13에 나타낸다.

도 13으로부터 명확한 바와 같이, 내압(P)의 증가와 함께 입자의 제거율(γ)은 커지는 것을 알 수 있다. 바꿔 말하면, 시간평균 유속이 커짐에 따라 제거율(γ)이 향상되고 있다고 할 수 있다. 또한 제 1 장치의 제거율(γ)이 제 2 장치의 제거율(γ)을 상회하는 결과가 되었다.

여기에서, 동일 내압하에서, 제 1 장치 및 제 2 장치의 시간평균 유속은 크기나 분포 형상은 거의 차가 확인되지 않았다. 그러나, 속도변동값의 강도에는 차가 보인다. 즉, 시간평균 유속이 동일한 경우, 제거율(γ)은 속도변동값의 강도의 경향에 대응하고 있다. 입자의 제거에 대해서는, 분류(3)의 시간평균 유속의 크기와 아울러, 속도변동값의 강도의 크기가 중요하여, 수식 2 및 수식 3을 충족시키는 구성은 시간평균 유속과 속도변동값의 강도의 밸런스가 좋은(제진에 최적인) 분류(3)를 발생시키고 있다.

제 1 장치의 시간평균 유속의 최대값(Umax)이 제 2 장치의 시간평균 유속의 최대값(Umax)보다도 작아도 (제 1 장치의 내압(P)이 11kPa인 경우와, 제 2 장치의 내압(P)이 14kPa인 경우를 비교하면), 제 1 장치(수식 2 및 수식 3을 충족시키는 구성)는 제 2 장치(수식 2 및 수식 3을 충족시키지 않는 구성)보다도 우수한 제거율(γ)이며, 소비 에너지가 적으면서도, 충분한 제진 효과가 얻어지고 있다.

또한, 제 1 장치에 있어서, 내압(P)이 8kPa인 경우에는 수식 4 및 수식 5를 충족시키지 않는 구성이며, 내압(P)이 11kPa, 14kPa인 경우에 수식 4 및 수식 5를 충족시키는 구성이다.

도 13으로부터 명확한 바와 같이, 수식 4 및 수식 5를 충족시키는 구성은 제거율(γ)이 99%를 초과하여 대단히 우수한 제진 효과가 발휘되었다. 즉, 수식 4 및 수식 5를 충족시킴으로써 제진에 보다 최적인 분류(3)를 발생시키고 있다고 할 수 있다. 예를 들면, 슬릿폭 치수(S)를 설정하고, 공기저류실(11)의 내압(P)을 제어(설정)함으로써 수식 4 및 수식 5를 충족시키는 구성이 얻어진다.

또한, 시간평균 유속과 속도변동값의 측정방법은 분출 슬릿(18)의 출구 폭 방향 중앙 위치(Jo)로부터 1.5mm 떨어진 위치(Y=1.5mm)에, I형 열선 유속계를 설치하고, I형 열선 유속계로부터의 출력은 디지털 오실로스코프에 기록하고, 시간평균 유속을 산출함과 아울러 속도변동값의 강도를 구했다. 측정은 X 방향으로 0.02mm 간격으로 행했다.

또한 제거율(γ)의 측정방법은 워크(W)로서 두께 0.7mm, 표면적이 300mm×400mm의 크롬막 부착 유리 기판을 사용했다.

미리 클리닝을 충분히 행한 워크(W)의 피제진면(Wa) 위에, 시린지에 의해 테스트 입자를 균일하게 살포한다. 워크(W)를 흡착 테이블에 고정하고, 클리너 헤드(9)를 100mm/sec의 속도로 반송하여 피제진면(Wa) 전면의 클리닝(제진 시험)을 행했다. 입자 살포전의 부착입자수(n_o), 살포후의 입자수(n₁), 클리닝(제진시험) 뒤의 잔류 부착 입자수(n₂)를 측정한다. 입자제거율(제진율)(γ%)은 하기 수식 6으로 구했다. 또한, 부착입자수의 카운트에는 표면검사 장치(히타치 하이테크놀러지즈사제: GI4830)를 사용하여, 클래스 100 클린룸 내에서 측정했다. 제진율은 동일한 시험조건에 대하여 3회 이상 계측을 행하고, 그 평균값을 채용했다.

[수식 6]

γ={100(n₁-n₂)}/(n₁-n_o)

또한, 본 발명은, 설계 변경 가능하며, 캐버티부는 도 2의 단면 형상에 한정되지 않고, 가로길이(폭길이) 직사각형 형상이나 하방 축소 형상의 삼각 형상으로 해도 된다. 워크(W)는 종이, 필름, 금속박 등의 시트체, 플라스틱 기판, 유리 기판 등의 패널체 등, 특별히 한정되지 않는다. 또한 피제진면(Wa)에 대하여, 노즐부(1)가 상대적으로 이동하여 제진을 행할 수 있도록 구성한 것이면 된다. 예를 들면, 클리너 헤드(9)를 고정하고, 워크(W)를 반송 장치에 의해 반송하면서 제진을 행하도록 구성, 또는, 제거 시험과 같이, 워크(W)를 고정하고, 클리너 헤드(9)를 이동시켜 제진을 행하도록 구성, 또는, 양자 모두 이동하면서 제진을 행하도록 한 구성 등 자유이다.

이상과 같이, 본 발명의 집진 장치는 워크(W)의 피제진면(Wa)이 노즐부(1)로부터의 분류(3)의 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다도 하류측에 형성되는 천이영역(E) 내에 배열 설치되어 있으므로, 노즐부(1)로부터 분출하는 에어 유량을 감소시키는 것이 가능하여, 적은 소비 에너지(전력)로 충분한 제진 효과를 얻을 수 있다. 또는, 분출하는 에어 유량을 종래와 동일(에너지 소비량이 종래와 동일)하게 한 경우에, 클리닝 능력을 향상시킬 수 있다. 특히, 2㎛ 이하의 극히 미세한 이물을 높은 제거율로 제거할 수 있다.

또한, 노즐부(1)의 분출 슬릿(18)의 슬릿폭 치수를 S로 하고, 분출 슬릿(18)의 출구부(J)와 피제진면(Wa)의 이간 치수를 H로 했을 때, 상기의 수식 1을 충족시키도록 S를 설정하여 피제진면(Wa)을 천이영역(E) 내로 했으므로, 적은 유량으로 충분한 제거율(γ)이 얻어져, 클리닝 공정의 런닝 코스트의 삭감에 공헌할 수 있다.

또한 분류(3)의 피제진면(Wa)에 있어서의 분출 방향의 시간평균 유속의 최대값를 Umax로 하고, 분류의 분출 방향의 속도변동값의 강도의 최대값을 V'max로 했을 때, 상기의 수식 2 및 상기의 수식 3을 충족시키도록 구성했으므로, 유속이나 내압을 (종래보다도) 낮게 해도, 충분한 제진 효과를 얻을 수 있다. 또는, 평균 유속(공기저류실(11)의 내압(P))이 종래와 같으면, 종래보다도 우수한 제거율(γ)이 얻어진다.

1 노즐부
3 분류
5 포텐셜 코어
18 분출 슬릿
50 종단
E 천이영역
H 이간 치수
J 출구부
S 슬릿폭 치수
Umax 시간평균 유속의 최대값
V'max 속도변동값의 강도의 최대값
W 워크
Wa 피제진면

Claims (3)

1. 워크(W)의 피제진면(Wa)이 노즐부(1)로부터의 분류(3)의 포텐셜 코어(5)의 종단(50)보다도 하류측에 형성되는 천이영역(E) 내에 배열 설치되어 있고,
   상기 노즐부(1)의 분출 슬릿(18)의 슬릿폭 치수를 S로 하고, 상기 분출 슬릿(18)의 출구부(J)와 상기 피제진면(Wa)과의 이간 치수를 H로 했을 때, 하기 수식 1을 충족시키도록, 상기 S를 설정하고, 상기 피제진면(Wa)을 상기 천이영역(E) 내로 하고,
   상기 분류(3)의 상기 피제진면(Wa)에 있어서의 분출 방향의 시간평균 유속의 최대값을 Umax로 하고, 상기 분류의 분출 방향의 속도변동값의 강도의 최대값을 V'max로 했을 때, 하기 수식 2 및 하기 수식 3을 충족시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 제진 장치.
   [수식 1]
   H/9≤S<H/6
   [수식 2]
   110<Umax<150(단위: m/s)
   [수식 3]
   6.0≤(V'max/Umax)×100≤12
   
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