KR101608993B1 - Processing solution tank - Google Patents

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KR101608993B1
KR101608993B1 KR1020090102250A KR20090102250A KR101608993B1 KR 101608993 B1 KR101608993 B1 KR 101608993B1 KR 1020090102250 A KR1020090102250 A KR 1020090102250A KR 20090102250 A KR20090102250 A KR 20090102250A KR 101608993 B1 KR101608993 B1 KR 101608993B1
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요시미 나카가와
다다아키 나라다
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우에무라 고교 가부시키가이샤
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Abstract

처리물 통과구(通過口)를 갖는 처리액 탱크에 있어서, 처리물 통과구의 개구 면적을 필요 최소한으로 저지하는 동시에, 단시간에, 또한, 확실하게 처리물 통과구의 전체를 개폐한다. 액(液) 공급 기구 및 액 배출 기구를 구비하는 것과 더불어, 처리물 통과구(88)를 갖는 게이트 장치(85)를 구비하고 있는 처리액 탱크이다. 처리물 통과구(88)는, 수직 자세의 판 형상 처리물이 통과 가능하게 상하 방향에 가늘고 긴 슬릿(slit) 형상 개구부(88b)와, 그 슬릿 형상 개구부(88b)의 상단(上端)에 형성된 확장 개구부(88a)를 갖추고, 상기 게이트 장치(85)는, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 부재와, 상기 게이트 부재와는 별도로, 상기 확장 개구부(88a)를 개폐하는 셔터(shutter) 판(50)을 구비하고 있다. 상기 셔터 판(150)에는, 처리액 탱크(15) 내에 배치된 부이(buoy)(51)를 연동 연결하고, 처리액 탱크(15) 내의 처리액의 증감에 따른 부이의 승강(昇降)에 의해, 셔터 판(50)을 개방 위치와 폐쇄 위치와의 사이에서 위치 변경한다.In the treatment liquid tank having the treatment water passage opening (passage opening), the opening area of the treatment water passage opening is blocked to the minimum necessary amount, and the entire treatment opening is reliably opened and closed in a short time. A liquid supply mechanism and a liquid discharge mechanism, and a gate device 85 having a treatment material passage opening 88. [ The treated water passage opening 88 has a slit opening 88b which is elongated in the vertical direction so as to allow the plate shaped article in the vertical posture to pass therethrough and a slit opening 88b formed in the upper end of the slit opening 88b The gate device 85 is provided with a gate member for opening and closing the slit-shaped opening 88b and a shutter plate for opening and closing the expansion opening 88a separately from the gate member. (50). A buoy 51 disposed in the treatment liquid tank 15 is linked to the shutter plate 150 and is connected to the shutter plate 150 by lift and elevation of the buoy in accordance with the increase and decrease of the treatment liquid in the treatment liquid tank 15 , The shutter plate 50 is moved between the open position and the closed position.

Description

처리액 탱크{PROCESSING SOLUTION TANK}{PROCESSING SOLUTION TANK}

본 발명은, 도금액 등의 각종 처리액을 공급 배출 가능한 처리액 탱크에 관한 것으로, 특히, 단시간에 처리액의 공급 배출을 실행하고, 또한, 수직 상태의 판 형상 처리물을 승강시키는 일 없이 통과시킬 수 있는 처리물 통과구를 갖춘 게이트 장치를 구비한 처리액 탱크에 관한 것이다.The present invention relates to a process liquid tank capable of supplying and discharging various process liquids such as a plating liquid, and more particularly to a process liquid tank which is capable of supplying and discharging a process liquid in a short period of time, The present invention relates to a process liquid tank having a processing device and a gate device having a through-hole.

도금 처리 장치 등의 처리액 탱크에 있어서, 처리물 통과구를 갖춘 게이트 장치를 구비하고 있을 경우, 그 게이트 장치는, 처리물이 통과하지 않을 때에는 처리물 통과구를 닫아, 처리액 탱크 내에의 처리액의 충전을 가능하게 하고, 처리물이 통과할 때에는 처리물 통과구를 열게 되어 있다. 상기 게이트 장치의 구조는, 예를 들면, 판 형상의 게이트 부재를 수평 방향으로 슬라이드 자유롭게 구비하거나, 1쌍의 판 형상 게이트 부재를 좌우 여닫이 문 형식으로 수직축 주위로 회전 이동이 자유롭게 구비하거나 하고 있으며, 모터 및 감속 기어 기구를 갖는 기계적인 구동 기구에 의해, 게이트 부재를 개폐 구동하도록 되어 있다(특허 문헌 1).In a case where a treatment apparatus such as a plating apparatus is provided with a gate apparatus having a through-water port, the gate apparatus closes the through-treatment port when the through- So that the liquid can be filled, and when the object to be treated passes through, the object to be processed is opened. The structure of the gate device may be such that, for example, a plate-shaped gate member is slidable in a horizontal direction, or a pair of plate-shaped gate members are provided so as to be rotatable about a vertical axis in a left- The gate member is opened and closed by a mechanical driving mechanism having a motor and a reduction gear mechanism (Patent Document 1).

또한, 다른 개폐 방식의 게이트 장치로서, 판 형상의 게이트 부재를 상하 방향으로 슬라이드 자유롭게 구비하는 것과 더불어, 상기 게이트 부재에 부이(플로 트(float))를 부착하고, 처리액 탱크 내의 처리액의 증가에 의해, 부이와 함께 게이트 부재를 상승시켜서, 처리물 통과구를 닫도록 구성된 것도 있다(특허 문헌 2).In addition, as another gate device of an opening and closing type, a plate-shaped gate member is slidably provided in the vertical direction, and a float is attached to the gate member to increase the amount of the process liquid in the process liquid tank , The gate member is raised together with the substrate to close the through-hole (Patent Document 2).

상기 각각의 게이트 장치는, 모두, 구(矩) 형상의 폭넓은 처리물 통과구를 갖추고, 그 처리물 통과구 전체를, 구동 기구에 의해, 1개 혹은 1쌍의 게이트 부재를 구동해서, 개폐하는 구조이므로, 처리물 통과구를 개폐하는 데 시간이 걸리고, 다수의 처리물을 연속적으로 처리할 경우에, 단시간에 처리액의 공급 배출을 실행할 수 없어, 작업 능률이 좋지 않았다.Each of the gate devices is provided with a wide processing through-hole having a rectangular shape. The entire processing through-hole is driven by a driving mechanism to drive one or a pair of gate members, It takes a long time to open and close the through-hole of the treatment object, and when a large number of treatments are continuously treated, the treatment liquid can not be supplied and discharged in a short period of time.

상기와 같은 처리물 통과구 및 게이트 장치를 갖춘 처리액 탱크에 대하여, 처리물 통과구의 형상을, 처리물 및 처리물을 유지하는 부재가 통과 가능한 대략 최소한의 면적을 갖는 형상으로 만든 처리액 탱크가, 특허 문헌 3에 기재되어 있다.The treatment liquid tank having the above-mentioned treated water passage opening and the gate device has the shape of the treated water passage formed into a shape having a substantially minimum area through which the treated water and the member for holding the treated water can pass, , And Patent Document 3.

특허 문헌 3의 처리액 탱크는, 도 22와 같이, 도금액 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(82)이나, 박스 탱크(15)와 공(空) 스테이지(16)와의 사이의 탱크 벽(83)에, 처리물 통과구(88)가 형성되어 있다. 각각의 처리물 통과구(88)는, 수직 자세의 처리물이 최소한 통과하는 좁은 폭의 슬릿 형상 개구부(88b)와, 처리물 상단부를 지지하는 유지 부재가 통과할 수 있는 확장 개구부(88a)로서 구성되어 있다. 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하기 위해서, 포대 형상 탄성 부재제의 게이트 부재를 신축 자유롭게 구비하고 있으며(도시하지 않음), 이것에 의해, 처리액의 공급 배출 시간을 짧게 하는 동시에, 게이트 장치 폐쇄 시의 밀봉 기능을 향상시키고 있다. 또한, 상기 확장 개구부(88a)를 형성하는 이유는, 처리물의 상단(上端)이 도금액 면(LI)으로부터 50mm 정도 가라앉도록, 처리물을 침지(浸漬)시킴으로써, 처리물의 상단부에의 전류 집중을 방지하여, 전류 집중에 의한 도금 막(膜) 두께의 불균일화를 방지하기 위해서이다.22, the treatment liquid tank of Patent Document 3 has a tank wall 82 between the plating liquid tank 14 and the box tank 15, and a tank wall 82 between the box tank 15 and the empty stage 16 And a treatment water passage opening 88 is formed in the tank wall 83 between the upper and lower walls. Each of the through-water passages 88 has a narrow-width slit-shaped opening 88b at least passing through the processed article in the vertical posture and an extended opening 88a through which the holding member for supporting the upper end of the processed product can pass Consists of. In order to open and close the slit-like opening 88b, a gate member made of a bag-shaped elastic member is provided so as to be freely stretchable (not shown), thereby shortening the supply and discharge time of the process liquid, Thereby enhancing the sealing function of the battery. The reason for forming the enlarged opening 88a is to immerse the processing object so that the upper end of the processing object falls down from the plating liquid surface LI by about 50 mm, This is to prevent non-uniformity of the thickness of the plating film (film) due to current concentration.

(특허 문헌 1)(Patent Document 1)

일본국 특개2004-99957호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-99957

(특허 문헌 2)(Patent Document 2)

일본국 특개소55-141558호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-141558

(특허 문헌 3)(Patent Document 3)

일본국 특개2007-113066호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-113066

그러나, 도 22(특허 문헌 3)와 같이 , 처리물 통과구(88)를, 슬릿 형상 개구부(88b)와 확장 개구부(88a)로서 구성하고 있어도, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 부재만을 구비하고 있을 경우에는, 확장 개구부(88a)가 상시 열려 있게 되어, 처리액 탱크 내에 원하는 양의 처리액을 수납하려고 해도, 확장 개구부(88a)로부터 처리액이 누출되어, 소정량의 처리액을 장시간 유지하는 것이 곤란하였다.However, as in the case of FIG. 22 (Patent Document 3), even if the processing through-hole 88 is formed as the slit-shaped opening 88b and the enlarged opening 88a, only the gate member for opening and closing the slit- The expansion opening 88a is always opened so that even if the desired amount of the processing liquid is stored in the processing liquid tank, the processing liquid leaks from the expansion opening 88a, It was difficult to maintain.

예를 들면, 박스 탱크(15)와 공 스테이지(16)와의 사이의 탱크 벽(83)에 형성된 개구(88)의 확장 개구부(88a)가 상시 열려 있으면, 박스 탱크(15)가 가득할 때(실선으로 나타내는 액면 L1)에, 박스 탱크(15)로부터 확장 개구부(88a)를 통해서 도금액이 공 스테이지(16)에 누출되어, 공 스테이지(16)의 저면(底面)에 도금액이 기세 좋게 충돌해서, 기포가 발생한다. 또한, 박스 탱크(15)의 액 배출 시(2점 쇄선으로 나타내는 액면 L2)에는, 도금액 탱크(14)로부터 탱크 벽(82)의 확장 개구부(88a)를 통해서 도금액이 박스 탱크(15)에 누출되어, 박스 탱크(15)의 배출 액면(L2)에 도금액이 기세 좋게 충돌해서, 기포가 발생한다. 이렇게, 기포가 발생하면, 기포가 각각의 탱크(15, 16)로부터 넘쳐 나와, 장치의 주위를 오염시킨다. 또한, 처리물에 기포가 부착되기 때문에, 처리물이 다음의 공정으로 반송되면, 다음 공정의 장치를 기포로써 오염시킨다. 이것에 대하여, 처리물이나 장치를 세정하기 위한 공정 및 기구가 필요하게 된다.For example, when the expansion opening 88a of the opening 88 formed in the tank wall 83 between the box tank 15 and the common stage 16 is always open, when the box tank 15 is full The plating liquid leaks into the cavity stage 16 from the box tank 15 through the expansion opening 88a and the plating liquid collides against the bottom surface of the cavity stage 16 momentarily, Bubbles are generated. The plating liquid leaks from the plating liquid tank 14 to the box tank 15 through the extended opening 88a of the tank wall 82 at the time of discharging the liquid from the box tank 15 (liquid level L2 indicated by the chain double-dashed line) So that the plating liquid collides against the discharge liquid surface L2 of the box tank 15 with great force, and bubbles are generated. When air bubbles are generated in this manner, air bubbles overflow from the respective tanks 15 and 16, and contaminate the periphery of the apparatus. Further, since the bubbles adhere to the treated product, when the treated product is returned to the next step, the apparatus of the next step is contaminated with bubbles. On the other hand, a process and a mechanism for cleaning the object to be treated and the apparatus are required.

본 발명의 목적은, 처리물 통과구로서, 슬릿 형상 개구부와 확장 개구부를 구비함으로써, 처리물 통과구의 개구 면적을 필요 최소한으로 저지하는 동시에, 상기 형상의 처리물 통과구를 갖춘 처리액 탱크이어도, 단시간에, 또한, 확실하게 처리물 통과구의 전체를 개폐할 수 있고, 또한, 처리물 통과구에 있어서의 밀봉성을 유지할 수 있는 처리액 탱크를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a process liquid container which has a slit-like opening and an enlarged opening as a through-hole for treating water to prevent the opening area of the through- A treatment liquid tank capable of reliably opening and closing the entire treatment object through-hole in a short time, and capable of maintaining the sealability in the treatment object passage.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 액 공급 기구 및 액 배출 기구를 구비하는 것과 더불어, 처리물 통과구를 갖춘 게이트 장치가 탱크 벽에 설치되어 있는 처리액 탱크에 있어서, 상기 처리물 통과구는, 수직 자세의 판 형상 처리물이 통과 가능하게 상하 방향으로 가늘고 긴 슬릿 형상 개구부와, 상기 슬릿 형상 개구부의 상단에 상기 슬릿 형상 개구부보다 폭이 넓게 형성된 확장 개구부를 갖추고, 상기 게이트 장치는, 구동 기구에 의해 대략 수평 방향으로 이동 또는 변형해서 상기 슬릿 형상 개구부를 개폐하는 게이트 부재와, 상기 게이트 부재와는 별도로, 상기 확장 개구부를 개폐하는 셔터 판을 구비하고, 상기 셔터 판은, 처리액 탱크 내에 배치된 부이를 구비하여, 처리액 탱크 내의 처리액의 증감에 따른 부이의 승강에 의해, 상기 셔터 판이 개방 위치와 폐쇄 위치와의 사이에서 위치 변경되도록 되어 있다.In order to solve the above problems, the present invention provides a process liquid tank having a liquid supply mechanism and a liquid discharge mechanism, and a gate device having a through-water port provided in a tank wall, A slit-shaped opening portion that is elongated in the up-and-down direction so as to allow passage of the plate-shaped processed object in the vertical posture, and an enlarged opening portion formed at the upper end of the slit-shaped opening portion so as to be wider than the slit- And a shutter plate that opens and closes the expansion opening separately from the gate member. The shutter plate is disposed in the process liquid tank And by lifting and lowering the buoy in accordance with the increase or decrease of the treatment liquid in the treatment liquid tank, The position is changed between the open position and the closed position.

(1) 상기 구성에 의하면, 처리물 통과구의 개구 면적을, 처리물 및 처리물 유지 부재가 통과 가능한 대략 최소의 면적으로 제한할 수 있으므로, 처리물 통과구로부터의 처리액의 누출을 억제할 수 있다.(1) According to the above configuration, since the opening area of the through-water through-hole can be limited to the substantially minimum area through which the to-be-treated object and the object to be processed can pass, have.

(2) 슬릿 형상 개구부를, 수평 방향으로 슬라이드 혹은 변형이 자유로운 게이트 부재에 의해 개폐하고, 확장 개구부를, 수평 회전 이동 축 주위로 회전 이동이 자유로운 셔터에 의해 개폐하도록 하고 있으므로, 단시간에 처리물 통과구 전체를 개폐할 수 있어, 연속적인 처리물 처리 작업의 능률을 향상시킬 수 있다. 즉, 각각의 개구부의 형상에 따라서 각각 슬라이드 혹은 변형식의 게이트 부재와 회전 이동식의 셔터 판을 구비하고 있으므로, 처리물 통과구 전체로서의 개폐 시간을, 크게 단축할 수 있다.(2) Since the slit-shaped opening portion is opened and closed by a gate member which is slidable or deformable in the horizontal direction and the enlarged opening portion is opened and closed by a shutter which is freely rotatable about the horizontal rotational movement axis, The entire sphere can be opened and closed, and the efficiency of the continuous process water treatment work can be improved. That is, since the slide member or the deformable gate member and the rotationally movable shutter plate are provided in accordance with the shape of each opening, the opening and closing time of the entire through hole can be greatly shortened.

(3) 처리액 탱크 내에 배치한 부이를 이용해서 셔터 판을 작동시키도록 하고 있으므로, 셔터 판 개폐용으로, 모터 등의 특별한 구동 기구를 구비할 필요가 없어, 게이트 장치를 간소화할 수 있다.(3) Since the shutter plate is operated by using the boss disposed in the treatment liquid tank, it is not necessary to provide a special driving mechanism such as a motor for opening and closing the shutter plate, and the gate device can be simplified.

본 발명은, 상기 구성에 있어서, 상기 확장 개구부를 V자형으로 형성할 수 있다.According to the present invention, in the above configuration, the expansion opening can be formed in a V-shape.

상기 구성에 의하면, 슬릿 형상 개구부 및 그 위쪽으로 연속하는 확장 개구부의 형성 작업이 용이하다.According to the above configuration, it is easy to form the slit-like opening portion and the extended opening portion continuing to the slit-like opening portion.

본 발명은, 상기 구성에 있어서, 상기 부이는, 셔터 판의 회전 이동 축에 고착되어, 셔터 판과 일체적으로 회전 이동 가능하게 할 수 있다.According to the present invention, in the above configuration, the part is fixed to the rotational movement shaft of the shutter plate, and can be rotatably moved integrally with the shutter plate.

상기 구성에 의하면, 부이를 셔터 판과 일체적으로 콤팩트하게 배치할 수 있다.According to the above-described configuration, it is possible to arrange the hooks integrally with the shutter plate in a compact manner.

본 발명은, 상기 구성에 있어서, 회전 이동식의 부이의 대신에, 줄 형상 부재를 통해서 셔터 판에 부이를 연결하고, 상기 줄 형상 부재를, 셔터 판으로부터 아래쪽으로 연장하는 동시에 턴 시브(turn sheave)를 통해서 위쪽으로 뒤집어 접고, 접은 상단부에 상기 부이를 연결하는 구조로 할 수 있다.According to the present invention, in the above-described configuration, in place of the rotatable buoy, the line member is connected to the shutter plate through the line-shaped member, and the line-shaped member extends downward from the shutter plate, So that the buoy is connected to the upper end of the folded portion.

상기 구성에 의하면, 처리액 탱크 내의 원하는 위치에, 부이를 배치할 수 있다. 즉, 부이의 레이아웃 자유도가 증가한다.According to the above configuration, the buoy can be disposed at a desired position in the treatment liquid tank. That is, the degree of freedom of layout of the buoy increases.

처리물 통과구로서, 슬릿 형상 개구부와 확장 개구부를 구비함으로써, 처리물 통과구의 개구 면적을 필요 최소한으로 저지하는 동시에, 상기 형상의 처리물 통과구를 갖춘 처리액 탱크이어도, 단시간에, 또한, 확실하게 처리물 통과구의 전체를 개폐할 수 있고, 또한, 처리물 통과구에 있어서의 밀봉성을 유지할 수 있는 처리액 탱크를 제공할 수 있다.By providing the slit-shaped opening portion and the enlarged opening portion as the through-hole for the treated water, the opening area of the through-hole of the treated through-hole can be minimally restricted, and even in the treatment liquid tank having the above- It is possible to provide a treatment liquid tank capable of opening and closing the entire treatment through-hole and capable of maintaining the sealability in the through-treatment port.

[제1실시형태][First Embodiment]

(도금 장치 전체의 개략)(Overview of the entire plating apparatus)

도 1∼도 10은, 본 발명에 관련한 처리액 탱크 및 이것을 구비한 전기 도금 장치를 나타내고 있다. 도 1은 전기 도금 장치 전체의 평면도이며, 대강 타원 형상으로 구성된 도금 처리 라인(line) 위에는, 처리 라인의 길이 방향의 일단부(一端部)(도 1의 오른쪽 단부)의 로드(load)부(10)로부터, 화살표 F 방향(시계 회전 방향)에, 전(前)처리 공정의 전처리 탱크(샤워(shower) 탱크)(11), 공 스테이지(12), 박스 탱크(13), 전기 도금 공정의 도금 탱크(14), 후처리 공정의 박스 탱크(15), 공 스테이지(16), 제1후처리 탱크(샤워 탱크)(17), 길이 방향의 타단부(他端部)의 제2후처리 탱크(회수 탱크)(18), 언로드(unload)부(19), 박리(剝離) 공정(행거(hanger) 복귀 공정)의 공 스테이지(20), 박스 탱크(21), 박리 탱크(22), 박스 탱크(23), 공 스테이지(24) 및 박리 후처리 탱크(샤워실)(25)를 순차적으로 구비하고 있다. 침지 처리 탱크인 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 처리물 반송 방향의 전후에는, 각각 박스 탱크(13, 15, 21, 23)가 인접하고 있으며, 박스 탱크(13, 21)의 출구는, 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 입구를 겸하고 있고, 박스 탱크(15, 23)의 입구는 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 출구를 겸하고 있다.1 to 10 show a treatment liquid tank and an electroplating apparatus having the treatment liquid tank according to the present invention. Fig. 1 is a plan view of the entire electroplating apparatus. Fig. 1 is a plan view of an electroplating apparatus. Fig. 1 is a plan view of a plating process line composed of a generally elliptical shape, (Shower tank) 11, a hollow stage 12, a box tank 13, and an electroplating process of a previous process step in the arrow F direction (clockwise direction) The plating tank 14, the box tank 15 of the post-treatment process, the air stage 16, the first post-treatment tank (shower tank) 17, the second post-treatment of the other end in the longitudinal direction The empty stage 20 of the tank (recovery tank) 18, the unloading unit 19 and the separation process (hanger returning process), the box tank 21, the peeling tank 22, A box tank 23, a blank stage 24, and a post-peeling treatment tank (shower chamber) 25 in this order. The box tanks 13, 15, 21 and 23 are adjacent to the plating tank 14 and the separation tank 22 before and after the treatment water conveying direction of the immersion tank, And the entrance of the box tanks 15 and 23 serves also as an outlet of the plating tank 14 and the peeling tank 22. The plating tank 14 and the peeling tank 22 serve as an inlet for the plating tank 14 and the peeling tank 22,

상기 도금 처리 라인의 내주(內周) 측에 타원 형상으로 가이드 레일(guide rail)(27)이 부설되고, 그 가이드 레일(27)에는, 다수의 반송 행거(28)가 레일 길이 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다.A guide rail 27 is provided in an elliptical shape on the inner circumferential side of the plating processing line and a plurality of conveyance hanger 28 is movable in the longitudinal direction of the rail .

가이드 레일(27)의 내주 측에는, 반송 행거(28)를 수평 방향으로 이동시키기 위해서, 복수의 독립된 반송 장치(31, 32, …, 40)가 배치되어 있다. 그 반송 장치(31, 32, …, 40) 중, 각각의 박스 탱크(13, 15, 21, 23)에 대응하는 위치에는, 리니어 액추에이터형 왕복 이동식의 취입 반송 장치(31, 32, 33, 34)가 각각 배치되어 있다. 전(前)처리 공정의 전처리 탱크(11) 및 공 스테이지(12)에 대응하는 위치와, 도금 탱크(14)에 대응하는 위치와, 후처리 공정의 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)에 대응하는 위치와, 박리 공정의 공 스테이지(20)에 대응하는 위치와, 박리 탱크(22)에 대응하는 위치와, 공 스테이지(24) 및 박리 후처리 탱크(25)에 대응하는 위치에는, 각각 체인 컨베이어(chain conveyor)형의 연속 반송 장치(35, 36, 37, 38, 39, 40)가 배치되어 있다. 또한, 후처리 공정의 제1후처리 탱 크(17)로부터 제2후처리 탱크(18)를 경유해서 언로드부(19)에 이르는 사이와, 박리 후처리 탱크(25)로부터 로드부(10)를 경유해서 전처리 탱크(11)에 이르는 사이에는, 도시하지 않지만 반송 행거를 밀어 움직이는 푸셔(pusher) 장치가 배치되어 있다. 도 1에 있어서, ２중 선의 화살표로 나타내는 각각의 구간(A1∼A6)은, 체인 컨베이어형의 연속 반송 장치(35, 36, 37, 38, 39, 40)에 의한 반송 구간을 나타내고, 파선의 화살표로 나타내는 각각의 구간(B1∼B)은 리니어 액추에이터형의 취입 반송 장치(31, 32, 33, 34)에 의한 반송 구간을 나타내고, 실선으로 나타내는 구간(C1, C2, C3, C4)은, 푸셔 장치에 의한 반송 구간을 나타내고 있다.A plurality of independent transfer devices 31, 32, ..., 40 are disposed on the inner circumferential side of the guide rail 27 in order to move the transfer hanger 28 in the horizontal direction. At the positions corresponding to the respective box tanks 13, 15, 21 and 23 of the transfer devices 31, 32, ..., 40, there are provided linear actuator type reciprocating transfer devices 31, 32, 33, 34 Respectively. A position corresponding to the pretreatment tank 11 and the empty stage 12 of the previous treatment process and a position corresponding to the plating tank 14 and a position corresponding to the position of the blank stage 16 and the first post- A position corresponding to the release stage 22 and a position corresponding to the release stage 22 and a position corresponding to the release stage 22 corresponding to the release stage 22, Continuous conveying devices 35, 36, 37, 38, 39, and 40 of the chain conveyor type are disposed at the respective positions. It is also possible to prevent the load from the first post-treatment tank 17 of the post-treatment process to the unloading portion 19 via the second post-treatment tank 18, A pusher device for pushing the transporting hanger is disposed between the transporting hanger 11 and the pretreatment tank 11, not shown. 1, each of the sections A1 to A6 indicated by double-line arrows represents a conveying section by the chain conveyor type continuous conveying devices 35, 36, 37, 38, 39, 40, Each of the sections B1 to B indicated by the arrows represents a conveying section by the linear actuator type take-in conveying apparatuses 31, 32, 33 and 34. The sections C1, C2, C3, And shows the conveying section by the pusher device.

도 2는, 도 1의 도금 탱크(14), 후처리 공정의 박스 탱크(15), 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)의 종단면 확대 약도이며, 이것들 도금 탱크(14), 박스 탱크(15), 공 스테이지 및 제1후처리 탱크(17)는, 일정 높이의 가대(架臺)(42) 위에 탑재되어 있고, 가대(42) 내에는 예비 탱크(43)가 배치되어 있다. 박스 탱크(15)의 위쪽에는 도시하지 않는 가대를 통해서 소정 용적의 칼럼 탱크(액 공급 기구)(47)가 배치되어 있다.2 is a schematic enlarged view of a vertical section of the plating tank 14, the box tank 15 of the post-treatment process, the empty stage 16 and the first post-treatment tank 17 shown in Fig. 1 and these plating tanks 14, The box tank 15, the common stage and the first aftertreatment tank 17 are mounted on a platform 42 of a fixed height and a reserve tank 43 is disposed in the platform 42 . A column tank (liquid supply mechanism) 47 having a predetermined volume is disposed above the box tank 15 through a base (not shown).

박스 탱크(15)의 밑바닥 벽에는, 개폐 가능한 배출구 마개(액 배출 기구)(46)가 설치되어 있으며, 그 배출구 마개(46)에는, 그 배출구 마개(46)를 개폐 구동하기 위한 조작부(46a)가 설치되어 있다. 예비 탱크(43)와 칼럼 탱크(47)와의 사이에는 배관(48)이 배치되고, 그 배관(48)에는, 예비 탱크(43)로부터 칼럼 탱크(47)에 도금액(처리액)을 도입하기 위한 펌프(49) 및 필터(50)가 설치되어 있다. 칼럼 탱크(47)의 저부에는, 박스 탱크(15)에 위쪽으로부터 처리액을 공급 가능한 배출구 마개(51)가 개폐 가능하게 설치되어 있다.An openable / closable outlet cap (liquid discharging mechanism) 46 is provided in the bottom wall of the box tank 15. The outlet cap 46 is provided with an operating portion 46a for opening and closing the outlet cap 46, Respectively. A piping 48 is provided between the reserve tank 43 and the column tank 47 and is connected to the column tank 47 through a reservoir 43 for introducing a plating liquid A pump 49 and a filter 50 are provided. At the bottom of the column tank 47, a discharge stopper 51 capable of supplying the treatment liquid from above is provided in the box tank 15 so as to be openable and closable.

예비 탱크(43)와 도금 탱크(14)의 사이에는 2개의 배관(55, 56)이 병설되어 있으며, 어느 쪽의 배관(55, 56)에도 예비 탱크(43)로부터 도금 탱크(14)에 도금액을 공급하기 위한 펌프(57, 59) 및 필터(58, 60)가 설치되어 있다. 한쪽의 배관(55)은 박스 탱크(15)의 게이트가 개폐되었을 때에, 도금 탱크(14)의 액면을 소정 높이로 유지하기 위한 것이고, 다른 쪽의 배관(56)은 도금액 순환용이다. 또한, 공 스테이지(16)의 저부에는 예비 탱크(43)에 도금액을 배출하기 위한 배출 관(44)이 설치되고, 또한 도금 탱크(14)에는, 오버플로(overflow)하는 도금액을 예비 탱크(43)에 배출하기 위한 오버플로 관(overflow tube)(61)도 설치되어 있다.Two pipes 55 and 56 are provided between the reserve tank 43 and the plating tank 14 and the plating tank 14 is connected to the plating tank 14 through the preliminary tank 43, (57, 59) and filters (58, 60) are provided for supplying the exhaust gas. One of the pipes 55 is for maintaining the liquid level of the plating tank 14 at a predetermined height when the gate of the box tank 15 is opened and closed and the other pipe 56 is for circulating the plating liquid. A drain pipe 44 for discharging the plating liquid is provided in the reserve tank 43 at the bottom of the hole stage 16 and a plating liquid overflowing to the plating tank 14 is supplied to the reserve tank 43 An overflow tube 61 for discharging the overflow tube 61 is also provided.

(반송 행거)(Return hanger)

도 3은 반송 행거(28)의 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면 확대도이며, 반송 행거(28)는, 상기 가이드 레일(27)에 가이드 레일 길이 방향 이동이 자유롭게 지지된 이동 기대(基臺)(63)와, 그 이동 기대(63)로부터 가이드 레일(27)과 대략 직각 방향에 수평으로 연장하는 암(arm)부(64)와, 그 암부(64)의 선단부(先端部)에서 아래쪽으로 연장하는 처리물 걸림 지지부(65)로서 구성되어 있으며, 처리물 걸림 지지부(65)의 하단부에는, 걸림 지지핀(66) 및 클램프(67)가 설치되어 있다. 상기 걸림 지지핀(66)에 처리물(예를 들면 회로용 기판)(W)의 상단부의 걸림 구멍을 걸어 맞추어, 클램프(67)에 의해 탈락 불능으로 유지하도록 되어 있다. 달려 지지된 처리물(W)은, 걸림 지지부(65) 및 도시하지 않지만 적당한 전도(電導) 기구를 통해서 가이드 레일(27)에 전기적으로 접속되어 있어, 가이드 레일(27)에 전기가 공급되도록 되어 있다. 이동 기대(63)의 상면에는, 암부(64)와 반대 방향에 수평으로 연장하는 지축(支軸)(70)이 고착되고, 그 지축(70)에는, 스프로킷(sprocket)(71)이 원웨이 클러치(one way clutch)(72)를 통해서 1방향에만 회전하도록 지지되어 있다. 구체적으로는, 도 2에 있어서, 상기 스프로킷(71)은, 화살표 R 방향에는 회전하지만, 화살표 R 반대 방향에는 회전하지 않도록 구성되어 있다.3 is an enlarged sectional view taken along the line III-III in Fig. 2 of the transport hanger 28. The transport hanger 28 is provided with a movable base 27 An arm portion 64 extending horizontally from the movement base 63 in a direction substantially perpendicular to the guide rail 27 and a base portion 64 extending downward from a tip end portion of the arm portion 64. [ And a clamping support pin 66 and a clamp 67 are provided at the lower end of the processed water catching and supporting portion 65. As shown in FIG. (For example, a circuit board) W is engaged with the latching support pin 66 and held by the clamp 67 so as not to fall off. The processed wafers W are electrically connected to the guide rails 27 through the engagement support portions 65 and an appropriate conductive mechanism not shown so that electricity is supplied to the guide rails 27 have. A sprocket 71 extending horizontally in a direction opposite to the arm portion 64 is fixed to the upper surface of the moving base 63. A sprocket 71 is provided on the upper surface of the moving base 63, And is supported to rotate only in one direction through a clutch (one way clutch) Specifically, in Fig. 2, the sprocket 71 rotates in the direction of the arrow R but does not rotate in the direction opposite to the direction of the arrow R.

(반송 장치)(Conveying device)

도 2에 있어서, 체인 컨베이어(chain conveyor)형의 연속 반송 장치(36, 37)는, 구동 스프로킷(73)과, 종동(從動) 스프로킷(74)과, 양쪽 스프로킷(73, 74) 사이에 감아 걸린 반송 체인(75)(도 3)으로서 구성되어 있으며, 반송 체인(75)의 위쪽 주행 부분에, 상기 반송 행거(28)의 스프로킷(71)이 걸리게 되어 있다. 반송 행거(28)는, 전술한 바와 같이, 원웨이 클러치(72)(도 3)를 구비하고 있음으로써, 반송 체인(75)에 걸린 상태에서, 도 2의 화살표 F 방향으로 반송 체인(75)의 위쪽 부분과 함께 이동하게 되어 있다.2, continuous conveying devices 36 and 37 of the chain conveyor type are provided between a drive sprocket 73, a follower sprocket 74 and both sprockets 73 and 74 And a sprocket 71 of the carrying hanger 28 is hooked on an upper running portion of the conveying chain 75. The sprocket 71 of the conveying hanger 28 is engaged with the upper portion of the conveying chain 75. [ The conveying hanger 28 is provided with the one-way clutch 72 (Fig. 3) as described above, so that the conveying chain 75 is held in the conveying chain 75 in the direction of arrow F in Fig. As shown in FIG.

도 2에 있어서, 리니어 액추에이터형의 취입 반송 장치(32)는, 가이드 레일(27)과 병행으로 배치된 가이드부(76)에, 슬라이더(77)가, 가이드 레일(27)과 평행으로 이동 가능하게 지지되어 있으며, 그 슬라이더(77)는, 도시하지 않지만 가이드부(76)에 구비된 나사 이송 기구 및 서보 모터 등에 의해, 가이드부(76)를 왕복 이동시키게 되어 있다.2, in the take-in and carry-over device 32 of the linear actuator type, a slider 77 is movable in parallel with the guide rails 27 in a guide portion 76 arranged in parallel with the guide rails 27 And the slider 77 reciprocates the guide portion 76 by a screw feed mechanism and a servo motor provided in the guide portion 76 although not shown.

도 4는 도 2의 IV-IV 단면 확대도이며, 상기 슬라이더(77)에는, 반송 행거(28) 측에 대략 수평으로 연장하는 지축(78)이 고착되어 있으며, 그 지축(78)에 는 아래쪽으로 연장하는 취입 클로(79)가 지축(78) 주위로 회전 이동 가능하게 지지되어 있다. 상기 취입 클로(claw)(79)는, 도시하지 않는 스토퍼(stopper)에 의해, 도 2에 나타내는 상태로, 화살표 S 반대 방향 측에서 걸려져 있고, 반송 행거(28)의 지축(70)에 화살표 F 반대 방향 측에서 걸려, 슬라이더(77)의 화살표 F 방향에의 이동에 의해, 취입 클로(79)를 통해서 반송 행거(28)를 화살표 F 방향으로 이동시키게 되어 있다. 또한, 슬라이더(77)가 반송 행거(28)에 대하여 화살표 F 반대 방향 측에 이동할 때에는, 취입 클로(79)는, 화살표 S 방향으로 회전 이동해서 반송 행거(28)의 지축(78)을 타고 넘도록 되어 있다.Fig. 4 is an enlarged cross-sectional view taken along the line IV-IV of Fig. 2. The slider 77 has a support shaft 78 extending horizontally to the carrier hanger 28, Is supported rotatably around the support shaft (78). The blow claw 79 is hooked by a stopper (not shown) on the opposite side of the arrow S in the state shown in Fig. 2, F and moved in the direction of arrow F by the slider 77 to move the carrying hanger 28 in the direction of arrow F through the blowing claw 79. [ When the slider 77 moves toward the direction opposite to the arrow F with respect to the conveying hanger 28, the blowing claw 79 rotates in the direction of the arrow S and passes over the supporting shaft 78 of the conveying hanger 28 .

(도금 탱크 및 그 전후의 박스 탱크(13, 15) 등의 구조)(Structure of the plating tank and the box tanks 13 and 15 before and after the plating tank)

도 5는, 도금 탱크(14)와 그 전후의 박스 탱크(13, 15) 및 공 스테이지(12, 16)의 종단면 약도, 도 6은, 후처리 공정의 박스 탱크(15)의 확대 평면도, 도 7은, 도 6의 VII-VII 단면 확대도, 도 8은 도 7의 평면도, 도 9는, 개방 상태의 게이트 장치를 나타내는 작용 설명도, 도 10은, 폐쇄 상태의 게이트 장치를 나타내는 작용 설명도이다. 또한, 설명의 형편상, 처리물 반송 방향 F와 직교하는 수평 방향으로서, 도 7과 같이 반송 방향 F 측으로부터 본 방향을 「좌우 방향」으로 해서, 이하에 설명한다.Fig. 5 is a longitudinal sectional view of the plating tank 14, the box tanks 13 and 15 before and after the plating tank 14 and the empty stages 12 and 16, Fig. 6 is an enlarged plan view of the box tanks 15 in the post- 7 is an enlarged sectional view taken along a line VII-VII in Fig. 6, Fig. 8 is a plan view of Fig. 7, Fig. 9 is an explanatory diagram illustrating an operation of a gate device in an open state, to be. For convenience of explanation, the horizontal direction orthogonal to the processed water conveying direction F will be described below as "horizontal direction" as viewed from the conveying direction F side as shown in Fig.

도 6에 있어서, 후처리 공정의 박스 탱크(15)에는, 화살표 F 방향과 직교하는 방향에 소정의 간격을 두고, 좌우 1쌍의 박스부(15a)가 배치되어, 좌우의 박스부(15a) 사이를, 처리물(W)이 통과하도록 되어 있다. 박스부(15a)를 구비함으로써, 박스 탱크(15)에 공급되는 액량(液量)이 적어지고, 게이트 장치(84)를 개폐하였을 때의 도금액의 변동을 적게 할 수 있는 동시에, 박스 탱크(15)에 공급된 도금액의 배출 시간을 단축할 수 있다.6, a pair of right and left box portions 15a are disposed in the box tanks 15 of the post-treatment process at predetermined intervals in a direction perpendicular to the direction of arrow F, and left and right box portions 15a, So that the processed wafers W are allowed to pass. The amount of liquid supplied to the box tanks 15 is reduced and the fluctuation of the plating liquid when the gate apparatus 84 is opened and closed can be reduced and the amount of liquid supplied to the box tanks 15 Can be shortened.

도금 탱크(14)와 후처리용 박스 탱크(15)와의 사이의 세로 벽(82)에는, 슬라이드식의 게이트 부재(93)만을 갖는 게이트 장치(84)가 설치되고, 박스 탱크(115)와 공 스테이지(16)와의 사이의 세로 벽(83)에는, 본 발명에 따라, 슬라이드식의 게이트 부재(93)와 부이식 셔터 판(buoy type shutter plate)(150)을 갖는 게이트 장치(85)가 설치되어 있다. 또한, 도 5의 도금 탱크(14)의 반송 상류 측에 배치되어 있는 전처리용의 박스 탱크(13)와 도금 탱크(14)와의 사이 및 박스 탱크(13)와 공 스테이지(12)와의 사이에도, 후처리용과 마찬가지의 게이트 장치(84, 85)가 각각 설치되어 있다.A gate device 84 having only a sliding gate member 93 is provided in the vertical wall 82 between the plating tank 14 and the post-treatment box tank 15, A gate device 85 having a sliding gate member 93 and a buoy type shutter plate 150 is installed in the longitudinal wall 83 between the stage 16 and the stage 16, . 5 and the plating tank 14 and the space between the box tank 13 and the hollow stage 12 in the upstream of the plating tank 14 shown in Fig. And gate devices 84 and 85 similar to those for post-processing are provided, respectively.

(게이트 장치(85))(Gate device 85)

후처리용 박스 탱크(15)와 도금 탱크(14)와의 사이의 게이트 장치(85)의 구조를 설명한다. 도 7에 있어서, 세로 벽(83)의 좌우 폭의 중앙부에는, U자 형상의 게이트 장치 부착용 오목부(89)가 형성되어 있으며, 그 오목부(89)에, 고무 튜브제 패킹(90)을 통하여, 게이트 장치(85)가 장착되어 있다. 그 게이트 장치(85)는, 좌우 폭의 중앙부에 처리물 통과구(88)를 갖추고 있다. 그 처리물 통과구(88)는, 상하 방향으로 연장하는 슬릿 형상 개구부(88b)와, 그 슬릿 형상 개구부(88b)의 상단에 형성되어서 상향(上向)으로 확장되는 V자 형상의 확장 개구부(88a)로서 구성되어 있다. 슬릿 형상 개구부(88b)의 좌우 폭은, 판 형상 처리물(W)의 두께보다도 크고, V자 형상 개구부(88a)는, 반송 행거(28)의 걸림 지지부(65) 및 클램프(67)가 통과할 수 있는 크기로 되어 있다. 게이트 부재(92, 93)의 재료로서는, 예를 들면 내식성 및 내구성이 큰 수지(樹脂) 등을 선택하는 것이 바람직하다.The structure of the gate device 85 between the post-treatment box tank 15 and the plating tank 14 will be described. 7, a concave portion 89 for attaching a U-shaped gate device is formed at the center of the right and left width of the vertical wall 83. A rubber tube packing 90 is attached to the concave portion 89 A gate device 85 is mounted. The gate device 85 is provided with a through-hole 88 at the center of its width. The treatment object passage 88 includes a slit-like opening 88b extending in the vertical direction and a V-shaped extension opening 88b formed in the upper end of the slit-shaped opening 88b and extending upward 88a. The width of the slit-like opening 88b is larger than the thickness of the plate-like processed product W and the V-shaped opening 88a is formed in such a manner that the latching support 65 of the transport hanger 28 and the clamp 67 pass It is a size that can be done. As the material of the gate members 92 and 93, for example, a resin (resin) having high corrosion resistance and high durability is preferably selected.

상기 V자 형상의 확장 개구부(88a)를 형성하고 있는 이유는, 종래 기술의 난에서 이미 설명하고 있지만, 처리물(W)의 상단이 도금액 면 등으로부터 50mm 정도 가라앉도록, 처리물(W)을 침지시킴으로써, 처리물(W)의 상단부에의 전류 집중을 방지하여, 전류 집중에 의한 도금 막 두께의 불균일화를 방지하기 위해서이다. 이것 때문에, 처리물(W)의 상단부를 파지(把持)하는 클램프(67)의 하단 부분도 도금액에 담근 상태에서 반송할 필요가 있어, 클램프(67) 통과용으로 상기 확장 개구부(88a)를 형성하고 있는 것이다.The reason why the V-shaped extension opening 88a is formed is that the processed product W is formed so that the upper end of the processed product W is lowered by about 50 mm from the surface of the plating solution, So as to prevent current concentration on the upper end portion of the processed object W and to prevent nonuniform plating film thickness due to current concentration. Therefore, it is necessary to carry the lower end portion of the clamp 67 holding the upper end portion of the processed product W in a state in which the lower end portion of the clamp 67 immersed in the plating liquid. Thus, the enlarged opening portion 88a is formed for passing the clamp 67 It is.

게이트 장치(85)는, 세로가 긴 U자 형상의 게이트 장치 본체(91)와, 그 U자 형상 게이트 장치 본체(91)의 좌측 기둥부(91a)에 고정된 스토퍼 부재(92)와, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하기 위해서 게이트 장치 본체(91)의 우측 기둥부(91b)에 좌우 방향 이동이 자유롭게 지지된 상기 가동 게이트 부재(93)와, 그 가동 게이트 부재(93)를 이동시키기 위한 제1 및 제2튜브 부재(101, 102)를 갖는 구동 기구(94)와, 확장 개구부(88a)를 개폐하기 위해서 수평 회전 이동 축(152) 주위로 회전 이동이 자유롭게 구비된 상기 부이식 셔터 판(150)과, 그 부이식 셔터(150)를 작동시키기 위해서 부이(151)를 구비하고 있다.The gate device 85 includes a vertically elongated U-shaped gate device main body 91, a stopper member 92 fixed to the left column portion 91a of the U-shaped gate device body 91, The movable gate member 93 is supported by the right column portion 91b of the gate device body 91 so as to be freely movable in the left and right direction in order to open and close the shape opening portion 88b and to move the movable gate member 93 A driving mechanism 94 having first and second tubular members 101 and 102 and a second shutter member 90 having a first shutter member 90 and a second shutter member 90, (150), and a buoy (151) for operating the subsidiary shutter (150).

도 8에 있어서, 스토퍼 부재(92)의 선단부에는, 상하 방향의 대략 전장(全長)에 걸쳐서 패킹(108)이 부착되어 있다. 게이트 장치 본체(91)의 우측 기둥부(91b)에는, 처리물 반송 방향 F 측의 면에, 상기 가동 게이트 부재(93)를 슬라이 드 자유롭게 안내하는 가이드 플레이트(110)가 고정되고, 가이드 플레이트(110)의 처리물 반송 방향 F 측과 반대 측의 면에는, 상기 제1 및 제2튜브 부재(101, 102)를 수납하기 위한 L자형의 가이드 케이스(111)가 배치되어 있다.8, a packing 108 is attached to the tip end portion of the stopper member 92 over substantially the entire length in the vertical direction. A guide plate 110 for slidably guiding the movable gate member 93 is fixed to the right column portion 91b of the gate apparatus main body 91 on the side in the process water conveyance direction F, 110 are arranged on the surface opposite to the side of the treatment-water conveying direction F, an L-shaped guide case 111 for accommodating the first and second tube members 101, 102 is disposed.

상기 가이드 플레이트(110)와, 가이드 케이스(111)와, 우측 기둥부(91b)의 좌면으로 둘러싸인 튜브 수납실 내에는, 수평 단면이 구(矩) 형상인 슬라이드부(93a)가, 좌우 방향 이동이 자유롭게 수납되어 있으며, 그 슬라이드부(93a)의 좌측의 공간부에 상기 제1튜브 부재(101)가 수납되고, 우측의 공간부에 상기 제2튜브 부재(102)가 수납되어 있다. 양쪽 튜브 부재(101, 102)는 탄성을 갖는 고무제 튜브이며, 내부에 공기를 압입함으로써 팽창하고, 내부의 공기를 뺌으로써, 수축하게 되어 있다.A slide portion 93a having a rectangular cross section in the horizontal direction is provided in the tube housing chamber surrounded by the guide plate 110, the guide case 111 and the left post 91b, And the first tube member 101 is accommodated in the left space portion of the slide portion 93a and the second tube member 102 is accommodated in the right space portion. Both of the tube members 101 and 102 are made of a rubber-made rubber tube, which is expanded by pressurizing the inside of the tube member 101 and shrinks by blowing air therein.

상기 슬라이드부(93a)는, 튜브 수납실로부터 왼쪽으로 돌출하는 상기 가동 게이트 부재(93)에 일체로 성형되어 있으며, 이것에 의해, 가동 게이트(93)와 슬라이드부(93a)가 일체로 좌우 방향에 이동할 수 있도록 되어 있다.The slide portion 93a is integrally formed with the movable gate member 93 protruding leftward from the tube storage chamber so that the movable gate 93 and the slide portion 93a are integrally formed in the left and right directions As shown in FIG.

도 7에 있어서, 양쪽 튜브 부재(101, 102)의 하단부는 상시 밀봉 상태로 폐쇄되어 있으며, 양쪽 튜브 부재(101, 102)의 상단부는, 금속제 또는 수지제의 이음새관(121, 122)에 각각 접속되어 있다. 양쪽 이음새관(121, 122)은, 공기 관을 통해서 공기 전환 밸브(130)에 접속되어 있으며, 그 공기 전환 밸브(130)에는, 콤프레서 등의 압축 공기 공급원(132)이 접속되는 동시에 공기 배출부(133)가 설치되어 있다. 이 공기 전환 밸브(131)는, 제1튜브 부재(101)에 압축 공기를 공급해서 제1튜브 부재(101)를 팽창시키는 동시에 제2튜브 부재(102) 내의 공기를 배출해서 제2 튜브 부재(102)를 수축시키는 상태와, 제2튜브 부재(102)에 압축 공기를 공급해서 제2튜브 부재(102)를 팽창시키는 동시에 제1튜브 부재(101) 내의 공기를 배출해서 제1튜브 부재(101)를 수축시키는 상태로 전환이 자유롭게 되어 있다.The lower end portions of the two tube members 101 and 102 are always closed in a sealed state and the upper ends of the two tube members 101 and 102 are connected to metal or resin seam pipes 121 and 122 respectively Respectively. The two joint pipes 121 and 122 are connected to an air switching valve 130 via an air pipe and a compressed air supply source 132 such as a compressor is connected to the air switching valve 130, (133). The air changeover valve 131 is configured to supply compressed air to the first tube member 101 to expand the first tube member 101 and to discharge the air in the second tube member 102, 102 and the first tube member 101 and the second tube member 102 by supplying compressed air to the second tube member 102 to expand the second tube member 102 and to discharge the air in the first tube member 101, ) In a state of contracting.

제1튜브 부재(101)에 공기를 압입해서 팽창시키고, 제2튜브 부재(102)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(93a) 및 가동 게이트 부재(93)를 일체로 개방 방향(우 방향)으로 이동시켜서, 처리물 통과구(88)를 열 수 있다. 한편, 제2튜브 부재(102)에 공기를 압입해서 팽창시키고, 제1튜브 부재(101)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(93a) 및 가동 게이트 부재(93)를 일체적으로 폐쇄 방향(좌 방향)으로 이동시켜서, 처리물 통과구(88)를 닫을 수 있다. 이 폐쇄 상태에서는, 가동 게이트 부재(93)의 끝 가장자리는, 스토퍼 부재(92)의 패킹(108)에 압접(壓接)하고 있다.The slide member 93a and the movable gate member 93 are integrally moved in the opening direction (rightward direction) by pushing and expanding the air into the first tube member 101 and discharging air from the second tube member 102 to shrink it, So as to open the through-hole 88. As shown in Fig. On the other hand, by pushing and expanding the air into the second tube member 102 and discharging air from the first tube member 101 to shrink it, the slide portion 93a and the movable gate member 93 are integrally moved in the closing direction (Left direction), so that the treated water passage opening 88 can be closed. In this closed state, the end edge of the movable gate member 93 is in pressure contact with the packing 108 of the stopper member 92.

(부이식 셔터 판(150)의 상세 구조)(Detailed structure of the subsidiary transfer shutter plate 150)

도 8에 있어서, 게이트 장치 본체(91)의 좌측 기둥부(91a)에, 처리물 반송 방향 F로 연장하는 회전 이동 축(152)이 회전 이동이 자유롭게 지지되어 있으며, 그 회전 이동 축(152)의 양단부는 각각 공 스테이지(16)와 박스 탱크(15)에 돌출하고 있다. 회전 이동 축(152)의 공 스테이지(16) 측의 돌출 단부에 셔터 판(150)이 일체적으로 고착되고, 회전 이동 축(152)의 박스 탱크(15) 측의 돌출 단부에, 중공(中空) 형상의 부이(151)가 일체적으로 고착되어, 이것에 의해, 셔터 판(150)과 부이(151)가, 회전 이동 축(152)의 축 중심 주위로 일체적으로 회전 이동하도록 되어 있다. 셔터 판(150)은, 예를 들면 염화 비닐 수지로 이루어져 있어, 문자 그대 로 판 형상의 부재이며, 한편, 부이(151)는, 예를 들면 폴리프로필렌으로 이루어져 있고, 중공 형상으로 형성됨으로써, 처리액 내에서 소정의 값 이상의 큰 부력이 발생하도록 되어 있다.8, a rotary motion shaft 152 extending in the process water conveying direction F is rotatably supported on the left post 91a of the gate device body 91, Both of which are protruded from the common stage 16 and the box tank 15. The shutter plate 150 is integrally fixed to the protruding end of the rotational movement shaft 152 on the side of the air stage 16 and the protruding end of the rotational movement shaft 152 on the box tank 15 side is hollow The shutter plate 150 and the buoy 151 are integrally and rotatably moved about the axis center of the rotary movement shaft 152. In this way, The shutter plate 150 is made of, for example, vinyl chloride resin and is a plate-like member in letter form. On the other hand, the buoy 151 is made of, for example, polypropylene and is formed into a hollow shape, A large buoyancy force of a predetermined value or more is generated in the liquid.

도 10에 있어서, 셔터 판(150)은, 폐쇄 상태에 있어서, 좌우로 긴 대략 구 형상으로 형성되는 동시에, 좌우 폭의 대략 중앙부의 하단 근방이 상기 회전 이동 축(152)에 고착되어 있으며, 회전 이동 축(152)을 회전 이동 축 중심으로 해서, 도 10의 시계 회전 방향인 폐쇄 방향 B1의 모멘트(moment)와, 시계 회전 반대 방향인 폐쇄 방향 B1의 모멘트가, 대략 동등하게 되든가, 약간 개방 방향 B2의 모멘트가 커지도록 구성되어 있다. 셔터 판(150)의 좌단 가장자리는, 일직선상에 형성되어 있지만, 우단 가장자리는, 상단으로부터 대략 1/3의 상측 부분(150a)이, 폐쇄 위치에 있어서 가이드 플레이트(110)의 확장 개구부(88a)의 우측 경사면(110a)에 맞닿는 경사면으로 되어 있고, 중간 부분(150b)은, 가이드 플레이트(110)의 수직인 단면(110b)에 맞닿는 수직 면으로 되어 있으며, 그리고, 하단으로부터 대략 1/3의 하측 부분(150c)은, 상기 상측 부분(150a)과 동일 방향으로 경사지는 경사면으로 되어 있다. 즉, 셔터 판(150)은, 적어도 상측 부분(150a)이 확장 개구부(88a)의 우측 경사면(110a)에 맞닿음으로써, 폐쇄 위치에서 걸려지도록 되어 있다.10, the shutter plate 150 is formed in a substantially elongated shape elongated to the left and right in the closed state, and the vicinity of the lower end of the substantially central portion of the width of the shutter plate 150 is fixed to the rotationally movable shaft 152, The moment in the closing direction B1, which is the clockwise rotation direction in Fig. 10, and the moment in the closing direction B1, which is the counterclockwise rotation direction, are made substantially equal to each other with the moving shaft 152 as the center of rotation, The moment of B2 is increased. The upper edge portion of the shutter plate 150 is formed in a straight line but the upper edge portion of the shutter plate 150 is formed such that the upper portion 150a of about 1/3 from the upper edge of the shutter plate 150 is positioned at the extended opening 88a of the guide plate 110 at the closed position, And the intermediate portion 150b is a vertical surface abutting on the vertical cross section 110b of the guide plate 110. The lower portion of the intermediate portion 150b is formed of a lower side The portion 150c is an inclined surface inclined in the same direction as the upper portion 150a. That is, at least the upper portion 150a of the shutter plate 150 is held in the closed position by abutting against the right inclined surface 110a of the enlarged opening portion 88a.

부이(151)는, 회전 이동 축(152)에 대하여 좌측으로 연장하도록 고착되어 있어, 부이(151)의 자중에 의해, 셔터 판(150)에 대하여, 폐쇄 방향 B2의 모멘트를 부여하고 있다. 즉, 부이(151)에 부력이 걸리지 않고 있을 때는, 대강 부이(151)의 중량에 의해, 셔터 판(150)이 폐쇄 방향 B2로 회전 이동하도록 되어 있다. 셔터 판(150)은, 예를 들면, 게이트 장치 본체(91)에 설치된 스토퍼(155)에 의해, 도 9에 나타내는 개방 상태로 걸려진다.The buoy 151 is fixed so as to extend to the left with respect to the rotationally moving shaft 152 so that the moment of the closing direction B2 is given to the shutter plate 150 by the weight of the buoy 151. That is, when the buoy 151 is not buoyant, the shutter plate 150 is rotated in the closing direction B2 by the weight of the large-diameter buoy 151. The shutter plate 150 is held in the open state shown in Fig. 9 by, for example, a stopper 155 provided on the gate device body 91. [

(작동)(work)

도금 처리 공정 및 그 후의 행거 박리 공정 등은, 종래 공지된 것이므로, 지극히 간단히 설명한다. 도 1에 있어서, 로드부(10)에서 도금 처리 전의 처리물(W)을 반송 행거(28)에 매달아 유지하고, 푸셔 장치에 의해 반송 행거(28) 및 처리물(W)을 전처리 탱크(11) 내까지 반송하여, 반송 행거(28)의 스프로킷(71)을 전처리 탱크(11)의 연속 반송 장치(35)의 반송 체인(75)의 시단부(始端部)에 걸어 맞춘다.The plating process and the subsequent hanger peeling process and the like are conventionally known and will be explained very briefly. 1, the processing object W before the plating processing is suspended from the load hanger 10 by the transfer hanger 28 and the transfer hanger 28 and the processed object W are held by the pretreatment tank 11 And the sprocket 71 of the conveying hanger 28 is engaged with the starting end of the conveying chain 75 of the continuous conveying device 35 of the pretreatment tank 11.

상기 연속 반송 장치(35)로부터, 화살표 F 방향에 순차적으로, 취입 반송 장치(31), 연속 반송 장치(36), 취입 반송 장치(32) 및 연속 반송 장치(37)에 의해 반송 행거(27)를 이동시킴으로써, 처리물(W)은, 전처리 탱크(11), 공 스테이지(12), 박스 탱크(13), 도금 탱크(14), 박스 탱크(15), 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)를 통과하고, 또는 소정의 처리 위치에서 소정 시간 정지하여, 전처리, 도금 처리 및 세정 등의 후처리가 실행된다. 도금 처리 완료 후의 처리물은, 도시하지 않는 푸셔 장치에 의해, 제2후처리 탱크(18)를 통해서 언로드부(19)까지 반송되어, 반송 행거(28)로부터 도금 처리 후의 처리물(W)이 떼어진다.The transfer hanger 27 is successively transferred from the continuous transfer device 35 to the transfer hanger 27 by the take-in transfer device 31, the continuous transfer device 36, the take-in transfer device 32 and the continuous transfer device 37, The processed product W is transferred to the pretreatment tank 11 through the pretreatment tank 11, the hollow stage 12, the box tank 13, the plating tank 14, the box tank 15, Passes through the treatment tank 17, or is stopped at a predetermined processing position for a predetermined time, and post treatment such as pretreatment, plating treatment, and cleaning is performed. The processed product after completion of the plating process is conveyed to the unloading section 19 through the second aftertreatment tank 18 by a pusher device not shown and the treated product W after the plating process is transferred from the transfer hanger 28 It is removed.

처리물(W)을 떼어낸 후의 반송 행거(28)는, 이어서, 박리 공정의 공 스테이지(20)의 연속 반송 장치(38)의 체인 컨베이어(75)에 스프로킷(71)이 걸려지게 되어, 그 연속 반송 장치(38)로부터, 화살표 F 방향에 순서대로, 취입 반송 장 치(33), 연속 반송 장치(39), 취입 반송 장치(34) 및 연속 반송 장치(40)에 의해 이동되어, 부착물이 박리되고, 세정되어, 다시 로드부(10)에 복귀한다.The transport hanger 28 after the processed product W is removed is then hooked on the chain conveyor 75 of the continuous transport device 38 of the empty stage 20 of the peeling process, Is moved by the take-in conveying device 33, the continuous conveying device 39, the take-in conveying device 34 and the continuous conveying device 40 in order from the continuous conveying device 38 in the direction of the arrow F, Peeled, cleaned, and returned to the rod section 10 again.

상기 도금 처리에 있어서, 처리물(W)을, 예를 들면, 공 스테이지(12)로부터 박스 탱크(13)를 경유해서 도금 탱크(14)에 수평 이동할 때, 및, 도금 탱크(14)로부터 박스 탱크(15)를 경유해서 공 스테이지(16)에 수평 이동할 때에는, 각 게이트 장치(84, 85)를 각각 열고, 이것에 의해, 처리물(W)은, 상승하는 일 없이, 처리물 통과구(88) 등을 통과한다. 처리물(W)이 처리물 통과구(88) 등을 통과 종료하면, 각 게이트 장치(84, 85)의 처리물 통과구(88) 등을 닫는다.When the processed product W is horizontally moved from the co-stage 12 to the plating tank 14 via the box tank 13 and the plating tank 14 is moved from the plating tank 14 to the box 14, The gates 84 and 85 are respectively opened when the wafer W is horizontally moved to the hollow stage 16 via the tank 15 so that the processed wirings 88). When the treated water W passes through the treatment water passage 88 or the like, the treated water passage openings 88 and the like of the respective gate devices 84 and 85 are closed.

(게이트 장치(85)의 개폐 작동의 상세한 설명)(Detailed Explanation of Opening and Closing Operation of Gate Device 85)

(1) 도 5는, 전술한 바와 같이, 처리물(W)을 공 스테이지(12)로부터 박스 탱크(13)를 경유해서 도금 탱크(14)에 이동시키는 공정, 및, 도금 탱크(14)로부터 박스 탱크(15)를 경유해서 공 스테이지(16)에 이동시키는 공정을 간단히 나타내고 있다. 도금 탱크(14)에는, 도금액이 상시 대략 가득 찬 상태로 유지되고, 공 스테이지(12, 16)는, 상시, 도금액을 배출하고 있음으로써, 대략 빈 상태로 유지되고 있다. 박스 탱크(13, 15)는, 도금 탱크(14)와의 사이에서 처리물(W)이 이동할 때에는, 칼럼 탱크(47) 등으로부터 도금액을 단시간에 공급함으로써, 도금 탱크(14)와 대략 동일한 가득 찬 상태로 유지하고, 각 박스 탱크(13, 15)와 각 공 스테이지(12, 16)와의 사이에서 처리물(W)이 이동할 때에는, 배출구 마개(46)를 개방함으로써, 단시간에 대략 빈 상태까지 액이 배출된다.(1) As shown in Fig. 5, a process of moving the processed object W from the common stage 12 to the plating tank 14 via the box tank 13 and the process of moving the processed object W from the plating tank 14 And moves to the empty stage 16 via the box tank 15 is simply shown. The plating tank 14 is maintained at a substantially full state at all times, and the cooperating stages 12 and 16 are kept in a substantially empty state because the plating liquid is always drained. The box tanks 13 and 15 are arranged in such a manner that the plating liquid is supplied from the column tank 47 or the like in a short time when the processed product W moves between the plating tank 14 and the plating tank 14, And when the processed product W moves between the box tanks 13 and 15 and the respective empty stages 12 and 16, the discharge stopper 46 is opened, .

(2) 박스 탱크(13, 15)에 상기한 바와 같이 도금액을 가득 채울 경우에는, 도금 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 게이트 장치(84)는 열어, 처리물(W)의 통과가 가능한 상태로 하고, 한편, 박스 탱크(13, 15)와 공 스테이지(12, 16)와의 사이의 게이트 장치(85)는 닫는다. 반대로, 박스 탱크(13, 15)를 가득 찬 상태로부터 빈 상태로 할 경우에는, 도금 탱크(14)와 박스 탱크(13, 15)와의 사이의 게이트 장치(84)는 닫고, 한편, 박스 탱크(13, 15)는, 배출구 마개(46)를 여는 동시에, 공 스테이지(12, 16)와의 사이의 게이트 장치(85)도 열어, 도금액을 배출시킨다.(2) When the plating liquid is filled in the box tanks 13 and 15 as described above, the gate device 84 between the plating tank 14 and the box tank 15 is opened to form the While the gate device 85 between the box tanks 13 and 15 and the common stages 12 and 16 is closed. Conversely, when the box tanks 13 and 15 are left empty from the full state, the gate apparatus 84 between the plating tank 14 and the box tanks 13 and 15 is closed, 13 and 15 open the outlet cap 46 and also open the gate device 85 between itself and the common stages 12 and 16 to discharge the plating liquid.

(3) 후처리용의 박스 탱크(15)가 빈 상태로부터 가득 찬 상태로 되는 과정에서의 게이트 장치(95)의 작동을 자세하게 설명한다. 도 9에 있어서, 박스 탱크(15) 내가 빈 때에는, 가동 게이트 부재(93)가 개방 위치에 이동되어 있음으로써, 처리물 통과구(88)의 슬릿 형상 개구부(88b)는 열려 있고, 또한, 셔터 판(150)이, 개방 위치에 회전 이동되어 있음으로써, 확장 개구부(88a)도 열려 있다.(3) The operation of the gate apparatus 95 in a process in which the post-treatment box tank 15 is filled from the empty state to the full state will be described in detail. 9, when the box tank 15 is empty, the movable gate member 93 is moved to the open position, so that the slit-shaped opening 88b of the treated water passage opening 88 is opened, Since the plate 150 is rotationally moved to the open position, the expansion opening 88a is also open.

박스 탱크(15)에 도금액을 공급할 경우에는, 도 10과 같이, 우선, 가동 게이트 부재(93)를 폐쇄 위치로 이동시키고, 슬릿 형상 개구부(88b)를 닫아 둔다. 이 상태에서, 칼럼 탱크(47)(도 5)로부터 도금액을 박스 탱크(15)에 공급하면, 박스 탱크(15) 내에 공급되는 도금액의 증가에 따라, 부이(151)가 부력으로 상승하고, 셔터 판(150)은 부이(151)와 함께 폐쇄 방향 B1로 회전 이동하여, 확장 개구부(88a)의 하반부를 폐쇄한다. 이것에 의해, 박스 탱크(15) 내에, 레벨 L1까지의 도금액을 확실하게, 저류할 수 있다. 상기 레벨 L1은, 도 7에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(28)에 파지(把持)된 처리물(W)의 상단 가장자리가 대략 50mm 정도까지 침지할 수 있는 높이이다. 이것에 의해, 도금 탱크(14) 내에 있어서 처리물(W) 전 체를 도금 처리할 수 있다.When the plating liquid is supplied to the box tank 15, first, the movable gate member 93 is moved to the closed position and the slit-shaped opening portion 88b is closed as shown in Fig. In this state, when the plating liquid is supplied from the column tank 47 (FIG. 5) to the box tank 15, the buoy 151 rises with buoyancy as the plating liquid supplied into the box tank 15 increases, The plate 150 rotates together with the buoy 151 in the closing direction B1 to close the lower half of the expansion opening 88a. As a result, the plating liquid up to the level L1 can be surely stored in the box tank 15. 7, the level L1 is a height at which the upper edge of the processed product W grasped by the transfer device 28 can be immersed up to about 50 mm. As a result, the entire object W can be plated in the plating tank 14.

상기 설명은, 도금 탱크(14)로부터 박스 탱크(15)를 경유해서 공 스테이지(16)에 처리물(W)을 반송할 경우의 게이트 장치(85) 등의 개폐이지만, 도 5의 입구 측의 공 스테이지(12)로부터 박스 탱크(13)를 경유해서 도금 탱크(14)에 처리물을 반송할 경우에도, 입구 측 박스 탱크(13)와 입구 측 공 스테이지(12)와의 사이에 배치된 셔터 판 부착 게이트 장치(85)의 개폐는, 상기 게이트 장치(85)와 마찬가지로 실행된다.The above explanation is the opening and closing of the gate device 85 and the like in the case of transporting the processed product W from the plating tank 14 to the open stage 16 via the box tank 15, Side box tanks 13 and the inlet-side cavity stages 12, even when the processing products are transported from the air stage 12 via the box tanks 13 to the plating tank 14, The opening and closing of the attachment gate device 85 is performed in the same manner as the gate device 85 described above.

(실시형태의 효과)(Effect of Embodiment)

(1) 도 6에 나타내는 박스 탱크(15)와 공 스테이지(16)와의 사이의 게이트 장치(85)는, 도 7과 같이, 구동 기구(94)(튜브 부재(101, 102))에 의해 대략 수평 방향으로 이동해서 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 부재(93)와, 그 게이트 부재(93)와는 별도로, 수평 회전 이동 축(152) 주위로 회전 이동해서 확장 개구부(88a)를 개폐하는 셔터 판(150)을 구비하고 있으며, 셔터 판(150)에는, 박스 탱크(15) 내에 배치된 부이(151)를 연동 연결하여, 박스 탱크(15)의 도금액의 증가에 따르는 부이(151)의 상승에 의해, 상기 셔터 판(150)을 폐쇄 위치로 회전 이동시키도록 하고 있으므로, 처리물 통과구(88)의 개구 면적을, 처리물(W) 및 처리물 유지용의 클램프(67) 등이 통과 가능한 대략 최소의 면적으로 제한할 수 있어, 처리물 통과구(88)로부터의 도금액의 누출을 억제할 수 있다.(1) The gate apparatus 85 between the box tank 15 and the common stage 16 shown in Fig. 6 is roughly constituted by the drive mechanism 94 (the tube members 101, 102) A gate member 93 which moves in the horizontal direction and opens and closes the slit-shaped opening 88b and a gate member 93 which rotates about the horizontal rotary movement shaft 152 and opens and closes the extended opening 88a And a shutter plate 150. The shutter 151 is connected to the buoy 151 disposed in the box tank 15 so as to connect the buoy 151 with the plating liquid in the box tank 15 The opening area of the processing water passage opening 88 is set to be smaller than the opening area of the processing water W and the clamp 67 for holding the processing water or the like It is possible to restrict the plating liquid to a minimum area that can be passed through, so that the leakage of the plating liquid from the through-

(2) 슬릿 형상 개구부(88b)를, 수평 방향으로 슬라이드 자유로운 가동 게이트 부재(93)에 의해 개폐하고, 확장 개구부(88a)를, 수평 회전 이동 축(152) 주위 로 회전 이동이 자유로운 셔터(150)에 의해 개폐하도록 하고 있으므로, 단시간에 처리물 통과구(88) 전체를 개폐할 수 있어, 연속적인 처리물 처리 작업의 능률을 향상시킬 수 있다. 즉, 각 개구부(88b, 88a)의 형상에 따라서 각각 슬라이드식의 게이트 부재(93)와 회전 이동식의 셔터 판(150)을 구비하고 있으므로, 처리물 통과구(88) 전체로서의 개폐 시간을, 크게 단축할 수 있다.(2) The slit-shaped opening 88b is opened and closed by a movable gate member 93 which is slidable in the horizontal direction and the extended opening 88a is opened and closed by a shutter 150 So that the entire through-hole 88 can be opened and closed in a short period of time, and the efficiency of the continuous treatment of the treated water can be improved. In other words, since the slide type gate member 93 and the rotationally moving shutter plate 150 are provided in accordance with the shape of each of the openings 88b and 88a, the open / close time of the entire through- Can be shortened.

(3) 박스 탱크(15) 내에 배치한 부이(151)를 이용해서 셔터 판(150)을 상승시키도록 하고 있으므로, 모터 등의 셔터 개폐용 구동 기구를 특별히 구비할 필요가 없어, 게이트 장치(85)를 간소화할 수 있다.(3) Since the shutter plate 150 is raised by using the buoy 151 disposed in the box tank 15, it is not necessary to provide a shutter opening / closing drive mechanism such as a motor, ) Can be simplified.

(4) 확장 개구부(88a)를 V자형으로 형성하고 있으므로, 슬릿 형상 개구부(88b) 및 그 위쪽으로 연속하는 확장 개구부(88a)의 형성 작업이 용이하다.(4) Since the expansion opening 88a is formed in a V-shape, it is easy to form the slit-shaped opening 88b and the extended opening 88a continuing above the slit-shaped opening 88b.

(5) 부이(151)는, 셔터 판(150)의 회전 이동 축(152)에 고착되어, 셔터 판(150)과 일체적으로 회전 이동 가능하게 할 수 있으므로, 부이(151)를 셔터 판(150)과 일체적으로 콤팩트하게 배치할 수 있다.(5) Since the buoy 151 can be fixed to the rotational movement shaft 152 of the shutter plate 150 and can be integrally rotated with the shutter plate 150, the buoy 151 can be moved to the shutter plate 150 can be integrally and compactly arranged.

[제2실시형태][Second Embodiment]

도 11 및 도 12는 제2실시형태를 나타내고 있으며, 도 11에 있어서, 박스 탱크(15)(지면(紙面)의 앞쪽)와 공 스테이지(지면의 저쪽)(16)의 사이의 탱크 벽(83)에, 처리물 통과구(88)의 확장 개구부(88a)의 형상에 대응한 3각형 형상의 셔터 판(150)과, 그 셔터 판(150)의 암부(150a)에 끈(161)을 통해서 연결된 부이(151)를 구비하고 있다. 셔터 판(150)과 부이(151)는, 모두 박스 탱크(15) 내에 배치되어 있다. 또한, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 장치(85)를 구비하고 있지만, 도면에서는 생략하고, 셔터 판(150) 및 그 구동 기구만을 나타내고 있다.11 and 12 show a second embodiment. In Fig. 11, a tank wall 83 (between the box tank 15 (the front side of the paper surface) and the empty stage (the lower side of the paper) , A triangular shutter plate 150 corresponding to the shape of the enlarged opening 88a of the through hole 88 and the arm portion 150a of the shutter plate 150 are passed through the string 161 And a connected buoy 151. The shutter plate 150 and the buoy 151 are all disposed in the box tank 15. [ Although the gate device 85 for opening and closing the slit-shaped opening 88b is provided in the same manner as in the first embodiment, only the shutter plate 150 and its driving mechanism are shown in the figure.

셔터 판(150)의 암부(150a)는, 대략 수평인 회전 이동 축(152)을 통해서 탱크 벽(83)(또는 게이트 장치 본체)에 회전 이동이 자유롭게 지지되어 있으며, 암부(150a)의 타단부에는, 셔터 판(150)에 대하여 개방 방향 B2로 모멘트가 걸리도록 추(164)가 설치되어 있다. 회전 이동 축(152)에 대하여 추(164)의 배치 측과는 반대 측의 암부(150a)의 부위에, 상기 끈(161)이 연결되어 있으며, 그 끈(161)은 박스 탱크(15)를 아래쪽으로 연장해서, 박스 탱크(15)의 하단부 근방에 설치된 턴 시브(turn sheave)(162)에 감아 걸려서 위쪽으로 뒤집어 접혀, 끈(161)의 타단부에 부이(151)가 연결되어 있다.The arm portion 150a of the shutter plate 150 is rotatably supported by the tank wall 83 (or the gate apparatus main body) through a substantially horizontal rotary movement shaft 152, and the other end A weight 164 is provided so that a moment is applied to the shutter plate 150 in the opening direction B2. The string 161 is connected to a portion of the arm portion 150a on the side opposite to the arrangement side of the weight 164 with respect to the rotary movement shaft 152. The string 161 is connected to the box tank 15 A turn sheave 162 provided in the vicinity of the lower end of the box tank 15 is folded up and folded upward so that the buoy 151 is connected to the other end of the string 161.

도 11에 나타낸 바와 같이, 박스 탱크(15)가 대략 빈 상태일 때에는, 부이(151)는 박스 탱크(15)의 저면 가까이에 위치하고, 셔터 판(150)은, 추(164)에 의한 폐쇄 방향 B2의 모멘트에 의해, 개방 위치에 위치하고 있다.11, the buoy 151 is positioned near the bottom surface of the box tank 15 and the shutter plate 150 is positioned in the closing direction of the weight 164 by the weight 164, B2 is located at the open position.

도 12와 같이, 박스 탱크(15)에 도금액을 공급하면, 부이(151)가 부력으로 상승하고, 끈(161)을 끌어당겨, 셔터 판(150)을 폐쇄 방향 B1로 회전 이동시킨다. 폐쇄 방향 B1로 회전 이동한 셔터 판(150)은, 스토퍼(163)에서 걸려짐으로써, 폐쇄 위치에 유지되어, 확장 개구부(88a)의 하반부를 폐쇄한다.As shown in FIG. 12, when the plating liquid is supplied to the box tank 15, the buoy 151 rises by buoyancy and pulls the string 161 to rotate the shutter plate 150 in the closing direction B1. The shutter plate 150, which has been rotated in the closing direction B1, is held in the closed position by being caught by the stopper 163, and closes the lower half of the extended opening 88a.

상기 실시형태에 의하면, 부이(151) 배치의 자유도가 증가하여, 설계가 쉬워진다. 또한, 그 실시형태에 있어서, 부이(151)와 셔터 판(150)을 연결하는 연결 형상체는 끈으로 한정되지 않고, 연한 와이어(wire)나 체인(chain)을 이용하는 것도 가능하다.According to the above embodiment, the degree of freedom of the arrangement of the buoys 151 is increased, and the design is facilitated. Further, in this embodiment, the connecting body for connecting the buoy 151 and the shutter plate 150 is not limited to a string, and a soft wire or a chain may be used.

[제3실시형태][Third embodiment]

도 13 및 도 14는, 본 발명의 제3실시형태이며, 평면도를 나타내는 도 13에 있어서, 도금액 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(82)에, 셔터 판(350)을 설치하고 있으며, 셔터 판(350)은 도금액 탱크(14) 내에 배치되고, 부이(351)는 박스 탱크(15) 내에 배치되어 있다. 탱크 벽(82)(또는 게이트 장치 본체)에는, 이것을 관통하는 수평 회전 이동 축(352)이 회전 이동이 자유롭게 지지되고, 회전 이동 축(352)의 도금 탱크(14) 측의 단부에 셔터 판(350)의 암부(350a)의 기단부(基端部)가 고착되고, 회전 이동 축(352)의 박스 탱크(15) 측의 단부에, 암부(351a)를 통해서 부이(351)가 고착되어 있다. 또한, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 장치(84)를 구비하고 있지만, 도면에서는 생략하고, 셔터 판(350) 및 그 구동 기구만을 나타내고 있다.13 and 14 show a third embodiment of the present invention. In Fig. 13 showing a plan view, the shutter plate 350 is provided on the tank wall 82 between the plating liquid tank 14 and the box tank 15, And the shutter plate 350 is disposed in the plating liquid tank 14 and the buoy 351 is disposed in the box tank 15. A horizontal rotary movement shaft 352 penetrating the tank wall 82 (or the gate apparatus body) is rotatably supported and a shutter plate (not shown) is attached to an end of the rotary movement shaft 352 on the plating tank 14 side 350 of the rotary shaft 352 is fixed and the buoy 351 is fixed to the end of the rotary movement shaft 352 on the box tank 15 side through the arm portion 351a. Although the gate device 84 for opening and closing the slit-shaped opening 88b is provided in the same manner as in the first embodiment, only the shutter plate 350 and its driving mechanism are shown in the figure.

도 14는 도 13의 XIV-XIV 단면도이며, 셔터 판(350)이 닫힌 상태를 나타내고 있으며, 탱크 벽(82)의 확장 개구부(88a)의 근방에, 폐쇄 위치 걸림용의 스토퍼(354)가 설치되고, 도금액 탱크(14)의 측벽의 상단부에, 개방 위치 걸림용의 스스토퍼(353)가 설치되어 있다.Fig. 14 is a sectional view taken along the line XIV-XIV in Fig. 13 showing a state in which the shutter plate 350 is closed. A stopper 354 for closing the closed position is installed near the extended opening 88a of the tank wall 82 And a stopper 353 for holding the open position is provided at the upper end of the side wall of the plating liquid tank 14.

박스 탱크(15)가 빈 상태일 때에는, 도 14에 나타낸 바와 같이, 부이(351) 및 셔터 판(350)에 걸리는 중력에 의해, 셔터 판(350)은 폐쇄 방향 B1로 회전 이동하여, 스토퍼(354)에 걸려짐으로써, 폐쇄 위치에 유지되고 있다. 즉, 확장 개구부(88a)의 하반부를 폐쇄하고 있다. 이것에 의해, 도금액 탱크(14)로부터 박스 탱 크(15)에의 도금액의 누출을 방지하고 있다.14, the shutter plate 350 is rotated in the closing direction B1 by gravity acting on the buoy 351 and the shutter plate 350, and the stopper (not shown) 354, thereby being held in the closed position. That is, the lower half of the expansion opening 88a is closed. This prevents leakage of the plating liquid from the plating liquid tank 14 to the box tank 15.

박스 탱크(15)에 도금액이 공급되면, 부이(351)가 부력으로 상승함으로써, 부이(351) 및 셔터 판(350)은 개방 방향 B2로 회전 이동하여, 확장 개구부(88a)가 열린다. 셔터 판(350)은, 개방 위치 걸림용의 스토퍼(353)에 의해, 걸려서, 유지된다. 이것에 의해, 신속하게 박스 탱크(15)를 도금액 탱크(14) 내와 동일하게 가득 찬 상태로 할 수 있다.When the plating liquid is supplied to the box tank 15, the buoy 351 rises by buoyancy so that the buoy 351 and the shutter plate 350 are rotated in the opening direction B2 to open the expansion opening 88a. The shutter plate 350 is caught and held by the stopper 353 for latching the open position. As a result, the box tank 15 can be quickly filled with the same amount as in the plating liquid tank 14.

[제4실시형태][Fourth Embodiment]

도 15는, 본 발명의 제4실시형태이며, 박스 탱크(15)와 공 스테이지(16)와의 사이의 탱크 벽(83)에, 셔터 판(450)을 설치하고 있다. 셔터 판(450)은, 상기 제3실시형태와 마찬가지로, 암부(450a)를 갖는 3각형 형상으로 형성되어, 박스 탱크(15) 내에 배치되어 있다. 셔터 판(450)의 암부(450a)의 기단부가, 대략 수평인 회전 이동 축(452)을 통해서 탱크 벽(83)에 회전 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 본 실시형태에서는, 셔터 판(450) 자체를, 중공 형상 또는 비중이 작은 재료로 제작함으로써, 도금액 중 또는 수중에서 뜨는 부이로서 이용하고 있다. 또한, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 장치(85)를 구비하고 있지만, 도면에서는 생략하고, 셔터 판(450) 및 그 구동 기구만을 나타내고 있다.15 is a fourth embodiment of the present invention in which a shutter plate 450 is provided on a tank wall 83 between a box tank 15 and a common stage 16. As shown in Fig. Similar to the third embodiment, the shutter plate 450 is formed in a triangular shape having an arm portion 450a and is disposed in the box tank 15. [ The proximal end of the arm portion 450a of the shutter plate 450 is rotatably supported on the tank wall 83 via a substantially horizontal rotational movement shaft 452. [ In this embodiment, the shutter plate 450 itself is made of a hollow material or a material having a small specific gravity, and is used as a part floating in the plating liquid or in the water. Although the gate device 85 for opening and closing the slit-shaped opening 88b is provided in the same manner as in the first embodiment, only the shutter plate 450 and its driving mechanism are shown in the figure.

박스 탱크(15)가 빈 때에는, 셔터 판(450)은 중력에 의해 파선으로 나타내는 바와 같이 수하(垂下) 상태로 되고 있어, 확장 개구부(88a)를 열고 있다.When the box tank 15 is empty, the shutter plate 450 is in a suspended state as indicated by a broken line by gravity, and opens the extended opening 88a.

박스 탱크(15) 내에 도금액을 공급하면, 셔터 판(부이)(450)은, 부력에 의해 폐쇄 방향 B1로 회전 이동하여, 위쪽의 스토퍼(454)에 맞닿음으로써, 폐쇄 위치에 걸려져, 확장 개구부(88a)를 닫는다.When the plating liquid is supplied into the box tank 15, the shutter plate (buoy) 450 rotates in the closing direction B1 by the buoyancy force and abuts on the upper stopper 454, The opening 88a is closed.

[제5실시형태][Fifth Embodiment]

도 16 및 도 17은, 본 발명의 제5실시형태이며, 공 스테이지(16)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(83)에, 셔터 판(550)을 설치하고 있다. 도 16은 평면도, 도 17은 도 16의 XVII-XVII 단면도이며, 도 17에 있어서, 탱크 벽(83)의 박스 탱크(15) 측의 면에, 단면이 대략 ㄷ자 형상의 슬라이드 레일(558)을 경사 자세로 고정하고, 그 슬라이드 레일(558) 내에, 평행 4변형 형상의 셔터 판(550)의 1측 단부(550a)를 슬라이드 자유롭게 지지하고 있다. 상기 슬라이드 레일(558)은, 아래쪽으로 감에 따라서 처리물 통과구(88)로부터 벗어나도록 경사지어 있으며, 따라서, 셔터 판(550)이 위쪽으로 이동하면, 처리물 통과구(88)로 이동해서 확장 개구부(88a)를 닫고, 아래쪽으로 이동하면, 처리물 통과구(88)로부터 벗어나서 확장 개구부(88b)를 열게 되어 있다. 또한, 셔터 판(550)의 궤도의 상하 끝에는, 폐쇄 위치 걸림용의 스토퍼(554)와, 개방 위치 걸림용의 스토퍼(553)가, 각각 설치되어 있다.16 and 17 show a fifth embodiment of the present invention in which a shutter plate 550 is provided on a tank wall 83 between the hollow stage 16 and the box tank 15. As shown in Figs. 17 is a sectional view taken along the line XVII-XVII in Fig. 16, in which a slide rail 558 having a substantially U-shaped cross section is formed on the surface of the tank wall 83 on the side of the box tank 15 And the one side end portion 550a of the parallel four-deformed shutter plate 550 is slidably supported in the slide rail 558. [ The slide rail 558 is inclined to deviate from the processing water passage opening 88 as it goes downward and therefore when the shutter plate 550 moves upwardly, it moves to the processing water passage opening 88 When the expansion opening 88a is closed and moved downward, the expansion opening 88b is opened off the processing water passage opening 88. [ A stopper 554 for engagement of the closed position and a stopper 553 for engagement of the open position are provided at the upper and lower ends of the trajectory of the shutter plate 550, respectively.

도 16에 있어서, 슬라이드 레일(558)에는, 레일 길이 방향을 따라 홈(558a)이 개구되어 있으며, 그 홈(558a)을 통해서 셔터 판(550)이 외부에 돌출하고 있다.16, the slide rail 558 is provided with a groove 558a along the rail longitudinal direction, and the shutter plate 550 protrudes through the groove 558a.

상기 실시형태도, 셔터 판(550) 자체가 부이로 되고 있어, 중공 형상으로 형성되든가, 혹은 도금액에 뜨는 비중이 가벼운 소재(예를 들면 폴리프로필렌 등)로 성형되어 있다.In the above-described embodiment, the shutter plate 550 itself is not formed, and is formed into a hollow shape, or is formed of a lightweight material (for example, polypropylene or the like) floating in the plating liquid.

박스 탱크(15) 내가 빈 때에는, 도 17에 가상 선으로 나타내는 바와 같이, 셔터 판(550)은 자중으로 개방 위치까지 하강하고, 개방 위치 걸림용의 스토퍼(553)에 걸려져 있다. 즉, 확장 개구부(88a)가 열려 있다. When the box tank 15 is empty, the shutter plate 550 descends to its open position by its own weight and is caught by the stopper 553 for latching the open position, as indicated by a virtual line in Fig. That is, the expansion opening 88a is open.

박스 탱크(15) 내에 도금액을 공급하면, 셔터 판(550)은 자신의 부력에 의해 상승하고, 상단의 폐쇄 위치 걸림용의 스토퍼(554)에 맞닿음으로써, 확장 개구부(88a)를 폐쇄 상태로 유지한다.When the plating liquid is supplied into the box tank 15, the shutter plate 550 is raised by its own buoyancy and abuts on the stopper 554 for closing the upper end position to open the expansion opening 88a to the closed state .

[제6실시형태][Sixth Embodiment]

도 18 및 도 19는, 본 발명의 제6실시형태이며, 공 스테이지(16)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(83)에, 나선(螺旋) 이동형의 셔터 판(650)을 구비한 예이다.18 and 19 show a sixth embodiment of the present invention in which a helical transfer type shutter plate 650 is provided on a tank wall 83 between a hollow stage 16 and a box tank 15 It is an example.

평면도를 나타내는 도 18에 있어서, 탱크 벽(83)의 박스 탱크(15) 측의 면에, 안내 통(655)을 대략 수직 자세로 고착하고, 그 안내 통(655) 내에, 상하 방향 이동이 자유롭고 또한 회전 이동이 자유롭게 원통 형상의 부이(651)를 끼워 맞추고 있다.18 showing a plan view, the guide cylinder 655 is fixed in a substantially vertical posture on the surface of the tank wall 83 on the side of the box tank 15 so that the guide cylinder 655 is free to move up and down in the guide cylinder 655 Further, the cylindrical buoy 651 is fitted to be freely rotatable.

도 19는 도 18의 XIX-XIX 단면도이며, 안내 통(655)의 주벽(周壁)에는, 안내 통(655)의 내부와 외부를 연통하는 나선 슬릿(656)이 형성되어 있으며, 그 나선 슬릿(656)에 삽입된 암부(650a)를 통하여, 3각형 형상의 셔터 판(650)이 부이(651)에 연결되어 있다.19 is a cross-sectional view taken along the line XIX-XIX in Fig. 18, and a spiral slit 656 communicating the inside and the outside of the guide cylinder 655 is formed in a peripheral wall of the guide cylinder 655, The shutter plate 650 having a triangular shape is connected to the buoy 651 through the arm portion 650a inserted in the opening 656. [

박스 탱크(15) 내가 빈 때에는, 가상 선으로 나타내는 바와 같이, 셔터 판(650)은, 중력에 의해, 부이(651)와 함께 개방 위치까지 하강하여, 슬릿 형상의 개구부(88b)와 반대 측에 위치하고 있다. 즉, 확장 개구부(88a)를 열고 있다.When the box tank 15 is empty, the shutter plate 650 is lowered to the open position together with the buoy 651 by gravity, as shown by the imaginary line, and is moved to the opposite side of the slit-shaped opening portion 88b Is located. That is, the expansion opening 88a is opened.

박스 탱크(15) 내에 도금액을 공급하면, 부이(651)의 부력에 의해, 부이(651)와 셔터 판(650)은 일체적으로 상승하지만, 암부(650a)가 나선 슬릿(656)을 따라 이동함으로써, 셔터 판(650)은 나선 상으로 상승한다. 그리고, 상승한 폐쇄 위치에서는, 확장 개구부(88a) 측으로 회전 이동하여 있어, 확장 개구부(88a)를 닫고 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서도, 셔터 판(650) 자체를, 중공 형상 또는 비중이 작은 재료를 이용함으로써, 도금액 중에서 뜨는 부이로 할 수도 있다.When the plating liquid is supplied into the box tank 15, the buoy 651 and the shutter plate 650 integrally rise due to buoyancy of the buoy 651, but the arm portion 650a moves along the spiral slit 656 , The shutter plate 650 ascends in a spiral manner. Then, in the raised closed position, it rotates toward the enlarged opening 88a, closing the enlarged opening 88a. Also in the present embodiment, the shutter plate 650 itself may be made of a hollow material or a material having a small specific gravity so as to be floating in the plating liquid.

[제7실시형태][Seventh Embodiment]

도 20 및 도 21은, 본 발명의 제7실시형태이며, 도금 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(82)에 셔터 판(750)을 배치한 예로서, 부이(751)가 상승함으로써, 확장 개구부(88a)를 열게 되어 있다.20 and 21 illustrate a seventh embodiment of the present invention in which a shutter plate 750 is disposed on a tank wall 82 between a plating tank 14 and a box tank 15, ), So that the expansion opening 88a is opened.

폐쇄 상태를 나타내는 도 20에 있어서, 확장 개구부(88a)의 형상에 대응한 3각형 형상의 상기 셔터 판(750)과, 그 셔터 판(750)의 암부(750a)의 타단부에 끈(761)을 통해서 연결된 부이(751)를 구비하고 있다. 암부(750a)는, 대략 수평인 회전 이동 축(752)을 통해서 탱크 벽(82)에 회전 이동이 자유롭게 지지되어 있다.20 showing a closed state, the shutter plate 750 having a triangular shape corresponding to the shape of the enlarged opening 88a and the string 761 are attached to the other end of the arm portion 750a of the shutter plate 750, And a buoy 751 connected to the buoy 751. The arm portion 750a is rotatably supported by the tank wall 82 via a substantially horizontal rotary movement shaft 752. [

상기 끈(761)은, 암부(750a)로부터 아래쪽으로 연장하여, 박스 탱크(15)의 하단부 근방에 설치된 턴 시브(762)에 감아 걸려, 위쪽으로 뒤집어 접어져 있다.The string 761 is wound on a turn sheave 762 extending downward from the arm portion 750a and provided in the vicinity of the lower end of the box tank 15 and folded upside down.

도 20에 나타낸 바와 같이, 박스 탱크(15)가 대략 빈 상태인 때에는, 부이(751)는 박스 탱크(15)의 저면 가까이에 위치하고, 셔터 판(750)은, 자중에 의해 폐쇄 방향 B1로 회전 이동하여, 확장 개구부를 닫고 있다. 셔터 판(750)은, 스토 퍼(754)에 걸려짐으로써, 폐쇄 위치에 유지되어 있다.20, the buoy 751 is located near the bottom surface of the box tank 15 when the box tank 15 is substantially empty, and the shutter plate 750 is rotated by the self weight in the closing direction B1 And the expansion opening is closed. The shutter plate 750 is held in the closed position by being caught by the stopper 754.

박스 탱크(15) 내에 도금액을 공급하면, 부력에 의해 부이(751)는 상승하고, 끈(761)을 통해서 암부(750a)의 타단부를 끌어당겨, 도 21과 같이, 셔터 판(750)을 개방 방향 B2로 회전 이동시켜서, 확장 개구부(88a)를 연다.When the plating liquid is supplied into the box tank 15, the buoy 751 is raised by the buoyancy force and pulls the other end of the arm portion 750a through the string 761 to move the shutter plate 750 And is rotated in the opening direction B2 to open the expansion opening 88a.

[기타 실시형태][Other Embodiments]

(1) 상기 도 1 내지 도 21의 실시형태에서는, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하기 위해서, 수평 방향 이동이 자유로운 게이트 부재(93)를 구비하는 것과 더불어, 그 게이트 부재(93)를 구동하는 구동 기구(94)로서, 1쌍의 튜브 부재(101, 102)를 구비하고 있지만, 다른 구동 기구에 의해 수평 방향으로 이동하는 게이트 부재를 구비할 수도 있다. 또한, 튜브 부재의 팽창에 의해, 튜브 부재로 직접적으로 슬릿 형상 개구부를 닫는 구조로 하는 것도 가능하다.(1) In the embodiments of Figs. 1 to 21 described above, in order to open and close the slit-like opening portion 88b, the gate member 93 which is freely movable in the horizontal direction is provided, Although the driving mechanism 94 includes the pair of the tube members 101 and 102, it may be provided with a gate member moving in the horizontal direction by another driving mechanism. It is also possible to adopt a structure in which the slit-like opening is closed directly by the tube member by the expansion of the tube member.

(2) 본 발명에 관련한 게이트 장치는, 도금 장치에 한정되지 않고, 예를 들면, 처리액 탱크 내에 저류한 처리액에 의해 처리물을 세정하는 박리 탱크 등의 침지 처리 장치에도 적용하는 것은 가능하다.(2) The gate device according to the present invention is not limited to a plating apparatus, and can be applied to an immersion treatment apparatus such as a separation tank for cleaning a treated material with a treatment liquid stored in a treatment liquid tank .

본 발명은, 도금 장치 이외에, 크로메이트 처리 장치, 알루미늄의 양극(陽極) 산화 처리 장치, 전해 연마 장치 또는 전해 산세(酸洗) 장치 등의 처리 장치에도 적용 가능하다.The present invention is also applicable to processing apparatuses such as a chromate treatment apparatus, an anode oxidation treatment apparatus for aluminum, an electrolytic polishing apparatus or an electrolytic pickling apparatus, in addition to a plating apparatus.

도 1은 본 발명 제1실시형태이며, 도금 장치의 전체 평면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a first embodiment of the present invention, which is a whole plan view of a plating apparatus. Fig.

도 2는 도 1의 도금 탱크 및 박스 탱크 부근의 종단면 확대도.Fig. 2 is an enlarged view of a vertical section near the plating tank and the box tank of Fig. 1; Fig.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면 확대도.3 is an enlarged cross-sectional view taken along the line III-III in Fig.

도 4는 도 2의 IV-IV 단면 확대도.4 is an enlarged cross-sectional view taken along line IV-IV of Fig.

도 5는 도 1의 도금 탱크, 박스 탱크 및 공 스테이지의 종단면 약도.5 is a longitudinal sectional view of the plating tank, box tank and air stage of FIG. 1;

도 6은 도 5의 박스 탱크의 평면도.6 is a plan view of the box tank of FIG. 5;

도 7은 도 6의 VII-VII 단면도.7 is a sectional view taken along line VII-VII of FIG. 6;

도 8은 도 7의 게이트 장치의 평면 확대도.8 is a plan enlarged view of the gate device of Fig.

도 9는 처리물 통과구가 열린 상태의 게이트 장치를 나타내는 작용 설명도.Fig. 9 is an explanatory view showing an operation of a gate device in a state in which a through-hole is opened; Fig.

도 10은 처리물 통과구가 닫힌 상태의 게이트 장치를 나타내는 작용 설명도.10 is an explanatory view showing an operation of a gate device with a through-treatment port closed;

도 11은 본 발명의 제2실시형태이며, 셔터 판이 열린 상태의 처리액 탱크의 종단면 약도.11 is a longitudinal sectional view of a treatment liquid tank in a state in which a shutter plate is opened, according to a second embodiment of the present invention.

도 12는 도 11과 동일한 처리액 탱크이며, 셔터 판이 닫힌 상태를 나타내는 단면도.Fig. 12 is a cross-sectional view showing a treatment liquid tank similar to that of Fig. 11, with the shutter plate closed. Fig.

도 13은 본 발명의 제3실시형태이며, 셔터 판이 열린 상태의 처리액 탱크의 평면도.13 is a plan view of a treatment liquid tank in a state in which a shutter plate is opened, according to a third embodiment of the present invention.

도 14는 도 13의 XIV-XIV 단면도.14 is a sectional view taken along the line XIV-XIV in Fig.

도 15는 본 발명의 제4실시형태이며, 셔터 판이 닫힌 상태의 처리액 탱크의 종단면 약도.15 is a longitudinal sectional view of a treatment liquid tank in a state in which a shutter plate is closed, according to a fourth embodiment of the present invention.

도 16은 본 발명의 제5실시형태이며, 처리액 탱크의 평면도.16 is a plan view of a treatment liquid tank according to a fifth embodiment of the present invention.

도 17은 도 16의 XVII-XVII 단면도.FIG. 17 is a cross-sectional view taken along line XVII-XVII of FIG. 16;

도 18은 본 발명의 제6실시형태이며, 처리액 탱크의 평면도.18 is a plan view of a treatment liquid tank according to a sixth embodiment of the present invention.

도 19는 도 18의 XIX-XIX 단면도.19 is a sectional view taken along the line XIX-XIX in Fig. 18;

도 20은 본 발명의 제7실시형태이며, 처리액 탱크의 종단면 약도.20 is a seventh embodiment of the present invention, which is a longitudinal sectional view of a treatment liquid tank.

도 21은 도 21의 XXI-XXI 단면도.21 is a cross-sectional view taken along line XXI-XXI of FIG.

도 22는 종래의 처리액 탱크에 있어서의 액 배출 및 액 공급 시의 작용을 나타내는 사시도.FIG. 22 is a perspective view showing the action of liquid discharge and liquid supply in a conventional treatment liquid tank; FIG.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

15: 박스 탱크(처리액 탱크의 일례)15: Box tank (example of treatment liquid tank)

46: 배출구 마개(액 배출 기구의 일례)46: Exhaust cap (example of liquid discharge mechanism)

47: 칼럼 탱크(액 공급 기구의 일례)47: Column tank (example of liquid supply mechanism)

85: 게이트 장치85: gate device

88: 처리물 통과구88: Through hole

88a: 슬릿 형상 개구부88a: Slit-shaped opening

88b: 확장 개구부88b: extended opening

93: 가동 게이트 부재93: movable gate member

94: 가동 게이트 부재의 구동 기구94: drive mechanism of the movable gate member

150: 셔터 판150: shutter plate

151: 부이(buoy)151: buoy

152: 셔터 판의 회전 이동 축152: rotation axis of the shutter plate

161: 끈(줄 형상체의 일례)161: string (an example of a strip-shaped body)

Claims (4)

액(液) 공급 기구 및 액 배출 기구를 구비하는 것과 더불어, 처리물 통과구를 갖춘 게이트 장치가 탱크 벽에 설치되어 있는 처리액 탱크에 있어서, In a treatment liquid tank having a liquid supply mechanism and a liquid discharge mechanism and a gate device provided with a through-water port on a tank wall, 상기 처리물 통과구는, 수직 자세의 판 형상 처리물이 통과 가능하게 상하 방향으로 연장하는 슬릿(slit) 형상 개구부와, 상기 슬릿 형상 개구부의 상단(上端)에 상기 슬릿 형상 개구부보다 폭이 넓게 형성된 확장 개구부를 갖추고, The treatment object passage includes a slit-shaped opening portion extending vertically so that a plate-like processed object in a vertical posture can pass therethrough, and an extension formed at an upper end of the slit-shaped opening portion so as to be wider than the slit- An opening, 상기 게이트 장치는, 구동 기구에 의해 수평 방향으로 이동 또는 변형해서 상기 슬릿 형상 개구부를 개폐하는 게이트 부재와, 상기 게이트 부재와는 별도로, 상기 확장 개구부를 개폐하는 셔터 판(shutter plate)을 구비하고, Wherein the gate device includes a gate member which is moved or deformed in a horizontal direction by a driving mechanism to open and close the slit-shaped opening portion, and a shutter plate which opens and closes the expansion opening separately from the gate member, 상기 셔터 판은, 처리액 탱크 내에 배치된 부이(buoy)를 구비하고, 처리액 탱크 내의 처리액의 증감에 따른 부이의 승강에 의해, 상기 셔터 판이 개방 위치와 폐쇄 위치와의 사이에서 위치 변경되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리액 탱크.The shutter plate is provided with a buoy disposed in the treatment liquid tank so that the shutter plate can be moved between the open position and the closed position by lifting and lowering the buoy according to the increase and decrease of the treatment liquid in the treatment liquid tank Wherein the treatment liquid tank is a liquid treatment tank. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 확장 개구부는 V자형으로 형성되어 있는 처리액 탱크.And the expansion opening is formed in a V-shape. 제1항 또는 제2항에 있어서,3. The method according to claim 1 or 2, 상기 셔터 판은, 수평인 회전 이동 축에 고착되어서, 상기 회전 이동 축 주위로 회전 이동함으로써, 폐쇄 위치와 개방 위치와의 사이에서 위치 변경 가능하게 되어 있으며,Wherein the shutter plate is fixed to a horizontal rotational movement shaft and rotates about the rotational movement axis to change the position between the closed position and the open position, 상기 부이는, 상기 셔터 판의 회전 이동 축에 고착되어, 셔터 판과 일체적으로 회전 이동 가능하게 되어 있는 처리액 탱크.Wherein said part is fixed to a rotational movement shaft of said shutter plate and is rotatably movable integrally with said shutter plate. 제1항 또는 제2항에 있어서,3. The method according to claim 1 or 2, 상기 부이는 줄 형상 부재를 통해서 셔터 판에 연결되고, The part being connected to the shutter plate through the strip-shaped member, 상기 줄 형상 부재는, 셔터 판으로부터 아래쪽으로 연장되는 것과 더불어 턴 시브(turn sheave)를 통해서 위쪽으로 뒤집어 접히고, 접혀진 상단부에 상기 부이가 연결되어 있는 처리액 탱크.Wherein the line-shaped member extends downward from the shutter plate and is folded upside down through a turn sheave, and the buoy is connected to the folded upper end portion.
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