KR101608993B1 - Processing solution tank - Google Patents
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Abstract
처리물 통과구(通過口)를 갖는 처리액 탱크에 있어서, 처리물 통과구의 개구 면적을 필요 최소한으로 저지하는 동시에, 단시간에, 또한, 확실하게 처리물 통과구의 전체를 개폐한다. 액(液) 공급 기구 및 액 배출 기구를 구비하는 것과 더불어, 처리물 통과구(88)를 갖는 게이트 장치(85)를 구비하고 있는 처리액 탱크이다. 처리물 통과구(88)는, 수직 자세의 판 형상 처리물이 통과 가능하게 상하 방향에 가늘고 긴 슬릿(slit) 형상 개구부(88b)와, 그 슬릿 형상 개구부(88b)의 상단(上端)에 형성된 확장 개구부(88a)를 갖추고, 상기 게이트 장치(85)는, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 부재와, 상기 게이트 부재와는 별도로, 상기 확장 개구부(88a)를 개폐하는 셔터(shutter) 판(50)을 구비하고 있다. 상기 셔터 판(150)에는, 처리액 탱크(15) 내에 배치된 부이(buoy)(51)를 연동 연결하고, 처리액 탱크(15) 내의 처리액의 증감에 따른 부이의 승강(昇降)에 의해, 셔터 판(50)을 개방 위치와 폐쇄 위치와의 사이에서 위치 변경한다.In the treatment liquid tank having the treatment water passage opening (passage opening), the opening area of the treatment water passage opening is blocked to the minimum necessary amount, and the entire treatment opening is reliably opened and closed in a short time. A liquid supply mechanism and a liquid discharge mechanism, and a gate device 85 having a treatment material passage opening 88. [ The treated water passage opening 88 has a slit opening 88b which is elongated in the vertical direction so as to allow the plate shaped article in the vertical posture to pass therethrough and a slit opening 88b formed in the upper end of the slit opening 88b The gate device 85 is provided with a gate member for opening and closing the slit-shaped opening 88b and a shutter plate for opening and closing the expansion opening 88a separately from the gate member. (50). A buoy 51 disposed in the treatment liquid tank 15 is linked to the shutter plate 150 and is connected to the shutter plate 150 by lift and elevation of the buoy in accordance with the increase and decrease of the treatment liquid in the treatment liquid tank 15 , The shutter plate 50 is moved between the open position and the closed position.
Description
본 발명은, 도금액 등의 각종 처리액을 공급 배출 가능한 처리액 탱크에 관한 것으로, 특히, 단시간에 처리액의 공급 배출을 실행하고, 또한, 수직 상태의 판 형상 처리물을 승강시키는 일 없이 통과시킬 수 있는 처리물 통과구를 갖춘 게이트 장치를 구비한 처리액 탱크에 관한 것이다.The present invention relates to a process liquid tank capable of supplying and discharging various process liquids such as a plating liquid, and more particularly to a process liquid tank which is capable of supplying and discharging a process liquid in a short period of time, The present invention relates to a process liquid tank having a processing device and a gate device having a through-hole.
도금 처리 장치 등의 처리액 탱크에 있어서, 처리물 통과구를 갖춘 게이트 장치를 구비하고 있을 경우, 그 게이트 장치는, 처리물이 통과하지 않을 때에는 처리물 통과구를 닫아, 처리액 탱크 내에의 처리액의 충전을 가능하게 하고, 처리물이 통과할 때에는 처리물 통과구를 열게 되어 있다. 상기 게이트 장치의 구조는, 예를 들면, 판 형상의 게이트 부재를 수평 방향으로 슬라이드 자유롭게 구비하거나, 1쌍의 판 형상 게이트 부재를 좌우 여닫이 문 형식으로 수직축 주위로 회전 이동이 자유롭게 구비하거나 하고 있으며, 모터 및 감속 기어 기구를 갖는 기계적인 구동 기구에 의해, 게이트 부재를 개폐 구동하도록 되어 있다(특허 문헌 1).In a case where a treatment apparatus such as a plating apparatus is provided with a gate apparatus having a through-water port, the gate apparatus closes the through-treatment port when the through- So that the liquid can be filled, and when the object to be treated passes through, the object to be processed is opened. The structure of the gate device may be such that, for example, a plate-shaped gate member is slidable in a horizontal direction, or a pair of plate-shaped gate members are provided so as to be rotatable about a vertical axis in a left- The gate member is opened and closed by a mechanical driving mechanism having a motor and a reduction gear mechanism (Patent Document 1).
또한, 다른 개폐 방식의 게이트 장치로서, 판 형상의 게이트 부재를 상하 방향으로 슬라이드 자유롭게 구비하는 것과 더불어, 상기 게이트 부재에 부이(플로 트(float))를 부착하고, 처리액 탱크 내의 처리액의 증가에 의해, 부이와 함께 게이트 부재를 상승시켜서, 처리물 통과구를 닫도록 구성된 것도 있다(특허 문헌 2).In addition, as another gate device of an opening and closing type, a plate-shaped gate member is slidably provided in the vertical direction, and a float is attached to the gate member to increase the amount of the process liquid in the process liquid tank , The gate member is raised together with the substrate to close the through-hole (Patent Document 2).
상기 각각의 게이트 장치는, 모두, 구(矩) 형상의 폭넓은 처리물 통과구를 갖추고, 그 처리물 통과구 전체를, 구동 기구에 의해, 1개 혹은 1쌍의 게이트 부재를 구동해서, 개폐하는 구조이므로, 처리물 통과구를 개폐하는 데 시간이 걸리고, 다수의 처리물을 연속적으로 처리할 경우에, 단시간에 처리액의 공급 배출을 실행할 수 없어, 작업 능률이 좋지 않았다.Each of the gate devices is provided with a wide processing through-hole having a rectangular shape. The entire processing through-hole is driven by a driving mechanism to drive one or a pair of gate members, It takes a long time to open and close the through-hole of the treatment object, and when a large number of treatments are continuously treated, the treatment liquid can not be supplied and discharged in a short period of time.
상기와 같은 처리물 통과구 및 게이트 장치를 갖춘 처리액 탱크에 대하여, 처리물 통과구의 형상을, 처리물 및 처리물을 유지하는 부재가 통과 가능한 대략 최소한의 면적을 갖는 형상으로 만든 처리액 탱크가, 특허 문헌 3에 기재되어 있다.The treatment liquid tank having the above-mentioned treated water passage opening and the gate device has the shape of the treated water passage formed into a shape having a substantially minimum area through which the treated water and the member for holding the treated water can pass, , And Patent Document 3.
특허 문헌 3의 처리액 탱크는, 도 22와 같이, 도금액 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(82)이나, 박스 탱크(15)와 공(空) 스테이지(16)와의 사이의 탱크 벽(83)에, 처리물 통과구(88)가 형성되어 있다. 각각의 처리물 통과구(88)는, 수직 자세의 처리물이 최소한 통과하는 좁은 폭의 슬릿 형상 개구부(88b)와, 처리물 상단부를 지지하는 유지 부재가 통과할 수 있는 확장 개구부(88a)로서 구성되어 있다. 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하기 위해서, 포대 형상 탄성 부재제의 게이트 부재를 신축 자유롭게 구비하고 있으며(도시하지 않음), 이것에 의해, 처리액의 공급 배출 시간을 짧게 하는 동시에, 게이트 장치 폐쇄 시의 밀봉 기능을 향상시키고 있다. 또한, 상기 확장 개구부(88a)를 형성하는 이유는, 처리물의 상단(上端)이 도금액 면(LI)으로부터 50mm 정도 가라앉도록, 처리물을 침지(浸漬)시킴으로써, 처리물의 상단부에의 전류 집중을 방지하여, 전류 집중에 의한 도금 막(膜) 두께의 불균일화를 방지하기 위해서이다.22, the treatment liquid tank of Patent Document 3 has a
(특허 문헌 1)(Patent Document 1)
일본국 특개2004-99957호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-99957
(특허 문헌 2)(Patent Document 2)
일본국 특개소55-141558호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-141558
(특허 문헌 3)(Patent Document 3)
일본국 특개2007-113066호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-113066
그러나, 도 22(특허 문헌 3)와 같이 , 처리물 통과구(88)를, 슬릿 형상 개구부(88b)와 확장 개구부(88a)로서 구성하고 있어도, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 부재만을 구비하고 있을 경우에는, 확장 개구부(88a)가 상시 열려 있게 되어, 처리액 탱크 내에 원하는 양의 처리액을 수납하려고 해도, 확장 개구부(88a)로부터 처리액이 누출되어, 소정량의 처리액을 장시간 유지하는 것이 곤란하였다.However, as in the case of FIG. 22 (Patent Document 3), even if the processing through-
예를 들면, 박스 탱크(15)와 공 스테이지(16)와의 사이의 탱크 벽(83)에 형성된 개구(88)의 확장 개구부(88a)가 상시 열려 있으면, 박스 탱크(15)가 가득할 때(실선으로 나타내는 액면 L1)에, 박스 탱크(15)로부터 확장 개구부(88a)를 통해서 도금액이 공 스테이지(16)에 누출되어, 공 스테이지(16)의 저면(底面)에 도금액이 기세 좋게 충돌해서, 기포가 발생한다. 또한, 박스 탱크(15)의 액 배출 시(2점 쇄선으로 나타내는 액면 L2)에는, 도금액 탱크(14)로부터 탱크 벽(82)의 확장 개구부(88a)를 통해서 도금액이 박스 탱크(15)에 누출되어, 박스 탱크(15)의 배출 액면(L2)에 도금액이 기세 좋게 충돌해서, 기포가 발생한다. 이렇게, 기포가 발생하면, 기포가 각각의 탱크(15, 16)로부터 넘쳐 나와, 장치의 주위를 오염시킨다. 또한, 처리물에 기포가 부착되기 때문에, 처리물이 다음의 공정으로 반송되면, 다음 공정의 장치를 기포로써 오염시킨다. 이것에 대하여, 처리물이나 장치를 세정하기 위한 공정 및 기구가 필요하게 된다.For example, when the expansion opening 88a of the opening 88 formed in the
본 발명의 목적은, 처리물 통과구로서, 슬릿 형상 개구부와 확장 개구부를 구비함으로써, 처리물 통과구의 개구 면적을 필요 최소한으로 저지하는 동시에, 상기 형상의 처리물 통과구를 갖춘 처리액 탱크이어도, 단시간에, 또한, 확실하게 처리물 통과구의 전체를 개폐할 수 있고, 또한, 처리물 통과구에 있어서의 밀봉성을 유지할 수 있는 처리액 탱크를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a process liquid container which has a slit-like opening and an enlarged opening as a through-hole for treating water to prevent the opening area of the through- A treatment liquid tank capable of reliably opening and closing the entire treatment object through-hole in a short time, and capable of maintaining the sealability in the treatment object passage.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 액 공급 기구 및 액 배출 기구를 구비하는 것과 더불어, 처리물 통과구를 갖춘 게이트 장치가 탱크 벽에 설치되어 있는 처리액 탱크에 있어서, 상기 처리물 통과구는, 수직 자세의 판 형상 처리물이 통과 가능하게 상하 방향으로 가늘고 긴 슬릿 형상 개구부와, 상기 슬릿 형상 개구부의 상단에 상기 슬릿 형상 개구부보다 폭이 넓게 형성된 확장 개구부를 갖추고, 상기 게이트 장치는, 구동 기구에 의해 대략 수평 방향으로 이동 또는 변형해서 상기 슬릿 형상 개구부를 개폐하는 게이트 부재와, 상기 게이트 부재와는 별도로, 상기 확장 개구부를 개폐하는 셔터 판을 구비하고, 상기 셔터 판은, 처리액 탱크 내에 배치된 부이를 구비하여, 처리액 탱크 내의 처리액의 증감에 따른 부이의 승강에 의해, 상기 셔터 판이 개방 위치와 폐쇄 위치와의 사이에서 위치 변경되도록 되어 있다.In order to solve the above problems, the present invention provides a process liquid tank having a liquid supply mechanism and a liquid discharge mechanism, and a gate device having a through-water port provided in a tank wall, A slit-shaped opening portion that is elongated in the up-and-down direction so as to allow passage of the plate-shaped processed object in the vertical posture, and an enlarged opening portion formed at the upper end of the slit-shaped opening portion so as to be wider than the slit- And a shutter plate that opens and closes the expansion opening separately from the gate member. The shutter plate is disposed in the process liquid tank And by lifting and lowering the buoy in accordance with the increase or decrease of the treatment liquid in the treatment liquid tank, The position is changed between the open position and the closed position.
(1) 상기 구성에 의하면, 처리물 통과구의 개구 면적을, 처리물 및 처리물 유지 부재가 통과 가능한 대략 최소의 면적으로 제한할 수 있으므로, 처리물 통과구로부터의 처리액의 누출을 억제할 수 있다.(1) According to the above configuration, since the opening area of the through-water through-hole can be limited to the substantially minimum area through which the to-be-treated object and the object to be processed can pass, have.
(2) 슬릿 형상 개구부를, 수평 방향으로 슬라이드 혹은 변형이 자유로운 게이트 부재에 의해 개폐하고, 확장 개구부를, 수평 회전 이동 축 주위로 회전 이동이 자유로운 셔터에 의해 개폐하도록 하고 있으므로, 단시간에 처리물 통과구 전체를 개폐할 수 있어, 연속적인 처리물 처리 작업의 능률을 향상시킬 수 있다. 즉, 각각의 개구부의 형상에 따라서 각각 슬라이드 혹은 변형식의 게이트 부재와 회전 이동식의 셔터 판을 구비하고 있으므로, 처리물 통과구 전체로서의 개폐 시간을, 크게 단축할 수 있다.(2) Since the slit-shaped opening portion is opened and closed by a gate member which is slidable or deformable in the horizontal direction and the enlarged opening portion is opened and closed by a shutter which is freely rotatable about the horizontal rotational movement axis, The entire sphere can be opened and closed, and the efficiency of the continuous process water treatment work can be improved. That is, since the slide member or the deformable gate member and the rotationally movable shutter plate are provided in accordance with the shape of each opening, the opening and closing time of the entire through hole can be greatly shortened.
(3) 처리액 탱크 내에 배치한 부이를 이용해서 셔터 판을 작동시키도록 하고 있으므로, 셔터 판 개폐용으로, 모터 등의 특별한 구동 기구를 구비할 필요가 없어, 게이트 장치를 간소화할 수 있다.(3) Since the shutter plate is operated by using the boss disposed in the treatment liquid tank, it is not necessary to provide a special driving mechanism such as a motor for opening and closing the shutter plate, and the gate device can be simplified.
본 발명은, 상기 구성에 있어서, 상기 확장 개구부를 V자형으로 형성할 수 있다.According to the present invention, in the above configuration, the expansion opening can be formed in a V-shape.
상기 구성에 의하면, 슬릿 형상 개구부 및 그 위쪽으로 연속하는 확장 개구부의 형성 작업이 용이하다.According to the above configuration, it is easy to form the slit-like opening portion and the extended opening portion continuing to the slit-like opening portion.
본 발명은, 상기 구성에 있어서, 상기 부이는, 셔터 판의 회전 이동 축에 고착되어, 셔터 판과 일체적으로 회전 이동 가능하게 할 수 있다.According to the present invention, in the above configuration, the part is fixed to the rotational movement shaft of the shutter plate, and can be rotatably moved integrally with the shutter plate.
상기 구성에 의하면, 부이를 셔터 판과 일체적으로 콤팩트하게 배치할 수 있다.According to the above-described configuration, it is possible to arrange the hooks integrally with the shutter plate in a compact manner.
본 발명은, 상기 구성에 있어서, 회전 이동식의 부이의 대신에, 줄 형상 부재를 통해서 셔터 판에 부이를 연결하고, 상기 줄 형상 부재를, 셔터 판으로부터 아래쪽으로 연장하는 동시에 턴 시브(turn sheave)를 통해서 위쪽으로 뒤집어 접고, 접은 상단부에 상기 부이를 연결하는 구조로 할 수 있다.According to the present invention, in the above-described configuration, in place of the rotatable buoy, the line member is connected to the shutter plate through the line-shaped member, and the line-shaped member extends downward from the shutter plate, So that the buoy is connected to the upper end of the folded portion.
상기 구성에 의하면, 처리액 탱크 내의 원하는 위치에, 부이를 배치할 수 있다. 즉, 부이의 레이아웃 자유도가 증가한다.According to the above configuration, the buoy can be disposed at a desired position in the treatment liquid tank. That is, the degree of freedom of layout of the buoy increases.
처리물 통과구로서, 슬릿 형상 개구부와 확장 개구부를 구비함으로써, 처리물 통과구의 개구 면적을 필요 최소한으로 저지하는 동시에, 상기 형상의 처리물 통과구를 갖춘 처리액 탱크이어도, 단시간에, 또한, 확실하게 처리물 통과구의 전체를 개폐할 수 있고, 또한, 처리물 통과구에 있어서의 밀봉성을 유지할 수 있는 처리액 탱크를 제공할 수 있다.By providing the slit-shaped opening portion and the enlarged opening portion as the through-hole for the treated water, the opening area of the through-hole of the treated through-hole can be minimally restricted, and even in the treatment liquid tank having the above- It is possible to provide a treatment liquid tank capable of opening and closing the entire treatment through-hole and capable of maintaining the sealability in the through-treatment port.
[제1실시형태][First Embodiment]
(도금 장치 전체의 개략)(Overview of the entire plating apparatus)
도 1∼도 10은, 본 발명에 관련한 처리액 탱크 및 이것을 구비한 전기 도금 장치를 나타내고 있다. 도 1은 전기 도금 장치 전체의 평면도이며, 대강 타원 형상으로 구성된 도금 처리 라인(line) 위에는, 처리 라인의 길이 방향의 일단부(一端部)(도 1의 오른쪽 단부)의 로드(load)부(10)로부터, 화살표 F 방향(시계 회전 방향)에, 전(前)처리 공정의 전처리 탱크(샤워(shower) 탱크)(11), 공 스테이지(12), 박스 탱크(13), 전기 도금 공정의 도금 탱크(14), 후처리 공정의 박스 탱크(15), 공 스테이지(16), 제1후처리 탱크(샤워 탱크)(17), 길이 방향의 타단부(他端部)의 제2후처리 탱크(회수 탱크)(18), 언로드(unload)부(19), 박리(剝離) 공정(행거(hanger) 복귀 공정)의 공 스테이지(20), 박스 탱크(21), 박리 탱크(22), 박스 탱크(23), 공 스테이지(24) 및 박리 후처리 탱크(샤워실)(25)를 순차적으로 구비하고 있다. 침지 처리 탱크인 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 처리물 반송 방향의 전후에는, 각각 박스 탱크(13, 15, 21, 23)가 인접하고 있으며, 박스 탱크(13, 21)의 출구는, 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 입구를 겸하고 있고, 박스 탱크(15, 23)의 입구는 도금 탱크(14) 및 박리 탱크(22)의 출구를 겸하고 있다.1 to 10 show a treatment liquid tank and an electroplating apparatus having the treatment liquid tank according to the present invention. Fig. 1 is a plan view of the entire electroplating apparatus. Fig. 1 is a plan view of an electroplating apparatus. Fig. 1 is a plan view of a plating process line composed of a generally elliptical shape, (Shower tank) 11, a
상기 도금 처리 라인의 내주(內周) 측에 타원 형상으로 가이드 레일(guide rail)(27)이 부설되고, 그 가이드 레일(27)에는, 다수의 반송 행거(28)가 레일 길이 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다.A
가이드 레일(27)의 내주 측에는, 반송 행거(28)를 수평 방향으로 이동시키기 위해서, 복수의 독립된 반송 장치(31, 32, …, 40)가 배치되어 있다. 그 반송 장치(31, 32, …, 40) 중, 각각의 박스 탱크(13, 15, 21, 23)에 대응하는 위치에는, 리니어 액추에이터형 왕복 이동식의 취입 반송 장치(31, 32, 33, 34)가 각각 배치되어 있다. 전(前)처리 공정의 전처리 탱크(11) 및 공 스테이지(12)에 대응하는 위치와, 도금 탱크(14)에 대응하는 위치와, 후처리 공정의 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)에 대응하는 위치와, 박리 공정의 공 스테이지(20)에 대응하는 위치와, 박리 탱크(22)에 대응하는 위치와, 공 스테이지(24) 및 박리 후처리 탱크(25)에 대응하는 위치에는, 각각 체인 컨베이어(chain conveyor)형의 연속 반송 장치(35, 36, 37, 38, 39, 40)가 배치되어 있다. 또한, 후처리 공정의 제1후처리 탱 크(17)로부터 제2후처리 탱크(18)를 경유해서 언로드부(19)에 이르는 사이와, 박리 후처리 탱크(25)로부터 로드부(10)를 경유해서 전처리 탱크(11)에 이르는 사이에는, 도시하지 않지만 반송 행거를 밀어 움직이는 푸셔(pusher) 장치가 배치되어 있다. 도 1에 있어서, 2중 선의 화살표로 나타내는 각각의 구간(A1∼A6)은, 체인 컨베이어형의 연속 반송 장치(35, 36, 37, 38, 39, 40)에 의한 반송 구간을 나타내고, 파선의 화살표로 나타내는 각각의 구간(B1∼B)은 리니어 액추에이터형의 취입 반송 장치(31, 32, 33, 34)에 의한 반송 구간을 나타내고, 실선으로 나타내는 구간(C1, C2, C3, C4)은, 푸셔 장치에 의한 반송 구간을 나타내고 있다.A plurality of
도 2는, 도 1의 도금 탱크(14), 후처리 공정의 박스 탱크(15), 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)의 종단면 확대 약도이며, 이것들 도금 탱크(14), 박스 탱크(15), 공 스테이지 및 제1후처리 탱크(17)는, 일정 높이의 가대(架臺)(42) 위에 탑재되어 있고, 가대(42) 내에는 예비 탱크(43)가 배치되어 있다. 박스 탱크(15)의 위쪽에는 도시하지 않는 가대를 통해서 소정 용적의 칼럼 탱크(액 공급 기구)(47)가 배치되어 있다.2 is a schematic enlarged view of a vertical section of the
박스 탱크(15)의 밑바닥 벽에는, 개폐 가능한 배출구 마개(액 배출 기구)(46)가 설치되어 있으며, 그 배출구 마개(46)에는, 그 배출구 마개(46)를 개폐 구동하기 위한 조작부(46a)가 설치되어 있다. 예비 탱크(43)와 칼럼 탱크(47)와의 사이에는 배관(48)이 배치되고, 그 배관(48)에는, 예비 탱크(43)로부터 칼럼 탱크(47)에 도금액(처리액)을 도입하기 위한 펌프(49) 및 필터(50)가 설치되어 있다. 칼럼 탱크(47)의 저부에는, 박스 탱크(15)에 위쪽으로부터 처리액을 공급 가능한 배출구 마개(51)가 개폐 가능하게 설치되어 있다.An openable / closable outlet cap (liquid discharging mechanism) 46 is provided in the bottom wall of the
예비 탱크(43)와 도금 탱크(14)의 사이에는 2개의 배관(55, 56)이 병설되어 있으며, 어느 쪽의 배관(55, 56)에도 예비 탱크(43)로부터 도금 탱크(14)에 도금액을 공급하기 위한 펌프(57, 59) 및 필터(58, 60)가 설치되어 있다. 한쪽의 배관(55)은 박스 탱크(15)의 게이트가 개폐되었을 때에, 도금 탱크(14)의 액면을 소정 높이로 유지하기 위한 것이고, 다른 쪽의 배관(56)은 도금액 순환용이다. 또한, 공 스테이지(16)의 저부에는 예비 탱크(43)에 도금액을 배출하기 위한 배출 관(44)이 설치되고, 또한 도금 탱크(14)에는, 오버플로(overflow)하는 도금액을 예비 탱크(43)에 배출하기 위한 오버플로 관(overflow tube)(61)도 설치되어 있다.Two
(반송 행거)(Return hanger)
도 3은 반송 행거(28)의 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면 확대도이며, 반송 행거(28)는, 상기 가이드 레일(27)에 가이드 레일 길이 방향 이동이 자유롭게 지지된 이동 기대(基臺)(63)와, 그 이동 기대(63)로부터 가이드 레일(27)과 대략 직각 방향에 수평으로 연장하는 암(arm)부(64)와, 그 암부(64)의 선단부(先端部)에서 아래쪽으로 연장하는 처리물 걸림 지지부(65)로서 구성되어 있으며, 처리물 걸림 지지부(65)의 하단부에는, 걸림 지지핀(66) 및 클램프(67)가 설치되어 있다. 상기 걸림 지지핀(66)에 처리물(예를 들면 회로용 기판)(W)의 상단부의 걸림 구멍을 걸어 맞추어, 클램프(67)에 의해 탈락 불능으로 유지하도록 되어 있다. 달려 지지된 처리물(W)은, 걸림 지지부(65) 및 도시하지 않지만 적당한 전도(電導) 기구를 통해서 가이드 레일(27)에 전기적으로 접속되어 있어, 가이드 레일(27)에 전기가 공급되도록 되어 있다. 이동 기대(63)의 상면에는, 암부(64)와 반대 방향에 수평으로 연장하는 지축(支軸)(70)이 고착되고, 그 지축(70)에는, 스프로킷(sprocket)(71)이 원웨이 클러치(one way clutch)(72)를 통해서 1방향에만 회전하도록 지지되어 있다. 구체적으로는, 도 2에 있어서, 상기 스프로킷(71)은, 화살표 R 방향에는 회전하지만, 화살표 R 반대 방향에는 회전하지 않도록 구성되어 있다.3 is an enlarged sectional view taken along the line III-III in Fig. 2 of the
(반송 장치)(Conveying device)
도 2에 있어서, 체인 컨베이어(chain conveyor)형의 연속 반송 장치(36, 37)는, 구동 스프로킷(73)과, 종동(從動) 스프로킷(74)과, 양쪽 스프로킷(73, 74) 사이에 감아 걸린 반송 체인(75)(도 3)으로서 구성되어 있으며, 반송 체인(75)의 위쪽 주행 부분에, 상기 반송 행거(28)의 스프로킷(71)이 걸리게 되어 있다. 반송 행거(28)는, 전술한 바와 같이, 원웨이 클러치(72)(도 3)를 구비하고 있음으로써, 반송 체인(75)에 걸린 상태에서, 도 2의 화살표 F 방향으로 반송 체인(75)의 위쪽 부분과 함께 이동하게 되어 있다.2, continuous conveying
도 2에 있어서, 리니어 액추에이터형의 취입 반송 장치(32)는, 가이드 레일(27)과 병행으로 배치된 가이드부(76)에, 슬라이더(77)가, 가이드 레일(27)과 평행으로 이동 가능하게 지지되어 있으며, 그 슬라이더(77)는, 도시하지 않지만 가이드부(76)에 구비된 나사 이송 기구 및 서보 모터 등에 의해, 가이드부(76)를 왕복 이동시키게 되어 있다.2, in the take-in and carry-over
도 4는 도 2의 IV-IV 단면 확대도이며, 상기 슬라이더(77)에는, 반송 행거(28) 측에 대략 수평으로 연장하는 지축(78)이 고착되어 있으며, 그 지축(78)에 는 아래쪽으로 연장하는 취입 클로(79)가 지축(78) 주위로 회전 이동 가능하게 지지되어 있다. 상기 취입 클로(claw)(79)는, 도시하지 않는 스토퍼(stopper)에 의해, 도 2에 나타내는 상태로, 화살표 S 반대 방향 측에서 걸려져 있고, 반송 행거(28)의 지축(70)에 화살표 F 반대 방향 측에서 걸려, 슬라이더(77)의 화살표 F 방향에의 이동에 의해, 취입 클로(79)를 통해서 반송 행거(28)를 화살표 F 방향으로 이동시키게 되어 있다. 또한, 슬라이더(77)가 반송 행거(28)에 대하여 화살표 F 반대 방향 측에 이동할 때에는, 취입 클로(79)는, 화살표 S 방향으로 회전 이동해서 반송 행거(28)의 지축(78)을 타고 넘도록 되어 있다.Fig. 4 is an enlarged cross-sectional view taken along the line IV-IV of Fig. 2. The
(도금 탱크 및 그 전후의 박스 탱크(13, 15) 등의 구조)(Structure of the plating tank and the
도 5는, 도금 탱크(14)와 그 전후의 박스 탱크(13, 15) 및 공 스테이지(12, 16)의 종단면 약도, 도 6은, 후처리 공정의 박스 탱크(15)의 확대 평면도, 도 7은, 도 6의 VII-VII 단면 확대도, 도 8은 도 7의 평면도, 도 9는, 개방 상태의 게이트 장치를 나타내는 작용 설명도, 도 10은, 폐쇄 상태의 게이트 장치를 나타내는 작용 설명도이다. 또한, 설명의 형편상, 처리물 반송 방향 F와 직교하는 수평 방향으로서, 도 7과 같이 반송 방향 F 측으로부터 본 방향을 「좌우 방향」으로 해서, 이하에 설명한다.Fig. 5 is a longitudinal sectional view of the
도 6에 있어서, 후처리 공정의 박스 탱크(15)에는, 화살표 F 방향과 직교하는 방향에 소정의 간격을 두고, 좌우 1쌍의 박스부(15a)가 배치되어, 좌우의 박스부(15a) 사이를, 처리물(W)이 통과하도록 되어 있다. 박스부(15a)를 구비함으로써, 박스 탱크(15)에 공급되는 액량(液量)이 적어지고, 게이트 장치(84)를 개폐하였을 때의 도금액의 변동을 적게 할 수 있는 동시에, 박스 탱크(15)에 공급된 도금액의 배출 시간을 단축할 수 있다.6, a pair of right and left
도금 탱크(14)와 후처리용 박스 탱크(15)와의 사이의 세로 벽(82)에는, 슬라이드식의 게이트 부재(93)만을 갖는 게이트 장치(84)가 설치되고, 박스 탱크(115)와 공 스테이지(16)와의 사이의 세로 벽(83)에는, 본 발명에 따라, 슬라이드식의 게이트 부재(93)와 부이식 셔터 판(buoy type shutter plate)(150)을 갖는 게이트 장치(85)가 설치되어 있다. 또한, 도 5의 도금 탱크(14)의 반송 상류 측에 배치되어 있는 전처리용의 박스 탱크(13)와 도금 탱크(14)와의 사이 및 박스 탱크(13)와 공 스테이지(12)와의 사이에도, 후처리용과 마찬가지의 게이트 장치(84, 85)가 각각 설치되어 있다.A
(게이트 장치(85))(Gate device 85)
후처리용 박스 탱크(15)와 도금 탱크(14)와의 사이의 게이트 장치(85)의 구조를 설명한다. 도 7에 있어서, 세로 벽(83)의 좌우 폭의 중앙부에는, U자 형상의 게이트 장치 부착용 오목부(89)가 형성되어 있으며, 그 오목부(89)에, 고무 튜브제 패킹(90)을 통하여, 게이트 장치(85)가 장착되어 있다. 그 게이트 장치(85)는, 좌우 폭의 중앙부에 처리물 통과구(88)를 갖추고 있다. 그 처리물 통과구(88)는, 상하 방향으로 연장하는 슬릿 형상 개구부(88b)와, 그 슬릿 형상 개구부(88b)의 상단에 형성되어서 상향(上向)으로 확장되는 V자 형상의 확장 개구부(88a)로서 구성되어 있다. 슬릿 형상 개구부(88b)의 좌우 폭은, 판 형상 처리물(W)의 두께보다도 크고, V자 형상 개구부(88a)는, 반송 행거(28)의 걸림 지지부(65) 및 클램프(67)가 통과할 수 있는 크기로 되어 있다. 게이트 부재(92, 93)의 재료로서는, 예를 들면 내식성 및 내구성이 큰 수지(樹脂) 등을 선택하는 것이 바람직하다.The structure of the
상기 V자 형상의 확장 개구부(88a)를 형성하고 있는 이유는, 종래 기술의 난에서 이미 설명하고 있지만, 처리물(W)의 상단이 도금액 면 등으로부터 50mm 정도 가라앉도록, 처리물(W)을 침지시킴으로써, 처리물(W)의 상단부에의 전류 집중을 방지하여, 전류 집중에 의한 도금 막 두께의 불균일화를 방지하기 위해서이다. 이것 때문에, 처리물(W)의 상단부를 파지(把持)하는 클램프(67)의 하단 부분도 도금액에 담근 상태에서 반송할 필요가 있어, 클램프(67) 통과용으로 상기 확장 개구부(88a)를 형성하고 있는 것이다.The reason why the V-shaped
게이트 장치(85)는, 세로가 긴 U자 형상의 게이트 장치 본체(91)와, 그 U자 형상 게이트 장치 본체(91)의 좌측 기둥부(91a)에 고정된 스토퍼 부재(92)와, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하기 위해서 게이트 장치 본체(91)의 우측 기둥부(91b)에 좌우 방향 이동이 자유롭게 지지된 상기 가동 게이트 부재(93)와, 그 가동 게이트 부재(93)를 이동시키기 위한 제1 및 제2튜브 부재(101, 102)를 갖는 구동 기구(94)와, 확장 개구부(88a)를 개폐하기 위해서 수평 회전 이동 축(152) 주위로 회전 이동이 자유롭게 구비된 상기 부이식 셔터 판(150)과, 그 부이식 셔터(150)를 작동시키기 위해서 부이(151)를 구비하고 있다.The
도 8에 있어서, 스토퍼 부재(92)의 선단부에는, 상하 방향의 대략 전장(全長)에 걸쳐서 패킹(108)이 부착되어 있다. 게이트 장치 본체(91)의 우측 기둥부(91b)에는, 처리물 반송 방향 F 측의 면에, 상기 가동 게이트 부재(93)를 슬라이 드 자유롭게 안내하는 가이드 플레이트(110)가 고정되고, 가이드 플레이트(110)의 처리물 반송 방향 F 측과 반대 측의 면에는, 상기 제1 및 제2튜브 부재(101, 102)를 수납하기 위한 L자형의 가이드 케이스(111)가 배치되어 있다.8, a packing 108 is attached to the tip end portion of the
상기 가이드 플레이트(110)와, 가이드 케이스(111)와, 우측 기둥부(91b)의 좌면으로 둘러싸인 튜브 수납실 내에는, 수평 단면이 구(矩) 형상인 슬라이드부(93a)가, 좌우 방향 이동이 자유롭게 수납되어 있으며, 그 슬라이드부(93a)의 좌측의 공간부에 상기 제1튜브 부재(101)가 수납되고, 우측의 공간부에 상기 제2튜브 부재(102)가 수납되어 있다. 양쪽 튜브 부재(101, 102)는 탄성을 갖는 고무제 튜브이며, 내부에 공기를 압입함으로써 팽창하고, 내부의 공기를 뺌으로써, 수축하게 되어 있다.A
상기 슬라이드부(93a)는, 튜브 수납실로부터 왼쪽으로 돌출하는 상기 가동 게이트 부재(93)에 일체로 성형되어 있으며, 이것에 의해, 가동 게이트(93)와 슬라이드부(93a)가 일체로 좌우 방향에 이동할 수 있도록 되어 있다.The
도 7에 있어서, 양쪽 튜브 부재(101, 102)의 하단부는 상시 밀봉 상태로 폐쇄되어 있으며, 양쪽 튜브 부재(101, 102)의 상단부는, 금속제 또는 수지제의 이음새관(121, 122)에 각각 접속되어 있다. 양쪽 이음새관(121, 122)은, 공기 관을 통해서 공기 전환 밸브(130)에 접속되어 있으며, 그 공기 전환 밸브(130)에는, 콤프레서 등의 압축 공기 공급원(132)이 접속되는 동시에 공기 배출부(133)가 설치되어 있다. 이 공기 전환 밸브(131)는, 제1튜브 부재(101)에 압축 공기를 공급해서 제1튜브 부재(101)를 팽창시키는 동시에 제2튜브 부재(102) 내의 공기를 배출해서 제2 튜브 부재(102)를 수축시키는 상태와, 제2튜브 부재(102)에 압축 공기를 공급해서 제2튜브 부재(102)를 팽창시키는 동시에 제1튜브 부재(101) 내의 공기를 배출해서 제1튜브 부재(101)를 수축시키는 상태로 전환이 자유롭게 되어 있다.The lower end portions of the two
제1튜브 부재(101)에 공기를 압입해서 팽창시키고, 제2튜브 부재(102)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(93a) 및 가동 게이트 부재(93)를 일체로 개방 방향(우 방향)으로 이동시켜서, 처리물 통과구(88)를 열 수 있다. 한편, 제2튜브 부재(102)에 공기를 압입해서 팽창시키고, 제1튜브 부재(101)로부터 공기를 배출해서 수축시킴으로써, 슬라이드부(93a) 및 가동 게이트 부재(93)를 일체적으로 폐쇄 방향(좌 방향)으로 이동시켜서, 처리물 통과구(88)를 닫을 수 있다. 이 폐쇄 상태에서는, 가동 게이트 부재(93)의 끝 가장자리는, 스토퍼 부재(92)의 패킹(108)에 압접(壓接)하고 있다.The
(부이식 셔터 판(150)의 상세 구조)(Detailed structure of the subsidiary transfer shutter plate 150)
도 8에 있어서, 게이트 장치 본체(91)의 좌측 기둥부(91a)에, 처리물 반송 방향 F로 연장하는 회전 이동 축(152)이 회전 이동이 자유롭게 지지되어 있으며, 그 회전 이동 축(152)의 양단부는 각각 공 스테이지(16)와 박스 탱크(15)에 돌출하고 있다. 회전 이동 축(152)의 공 스테이지(16) 측의 돌출 단부에 셔터 판(150)이 일체적으로 고착되고, 회전 이동 축(152)의 박스 탱크(15) 측의 돌출 단부에, 중공(中空) 형상의 부이(151)가 일체적으로 고착되어, 이것에 의해, 셔터 판(150)과 부이(151)가, 회전 이동 축(152)의 축 중심 주위로 일체적으로 회전 이동하도록 되어 있다. 셔터 판(150)은, 예를 들면 염화 비닐 수지로 이루어져 있어, 문자 그대 로 판 형상의 부재이며, 한편, 부이(151)는, 예를 들면 폴리프로필렌으로 이루어져 있고, 중공 형상으로 형성됨으로써, 처리액 내에서 소정의 값 이상의 큰 부력이 발생하도록 되어 있다.8, a
도 10에 있어서, 셔터 판(150)은, 폐쇄 상태에 있어서, 좌우로 긴 대략 구 형상으로 형성되는 동시에, 좌우 폭의 대략 중앙부의 하단 근방이 상기 회전 이동 축(152)에 고착되어 있으며, 회전 이동 축(152)을 회전 이동 축 중심으로 해서, 도 10의 시계 회전 방향인 폐쇄 방향 B1의 모멘트(moment)와, 시계 회전 반대 방향인 폐쇄 방향 B1의 모멘트가, 대략 동등하게 되든가, 약간 개방 방향 B2의 모멘트가 커지도록 구성되어 있다. 셔터 판(150)의 좌단 가장자리는, 일직선상에 형성되어 있지만, 우단 가장자리는, 상단으로부터 대략 1/3의 상측 부분(150a)이, 폐쇄 위치에 있어서 가이드 플레이트(110)의 확장 개구부(88a)의 우측 경사면(110a)에 맞닿는 경사면으로 되어 있고, 중간 부분(150b)은, 가이드 플레이트(110)의 수직인 단면(110b)에 맞닿는 수직 면으로 되어 있으며, 그리고, 하단으로부터 대략 1/3의 하측 부분(150c)은, 상기 상측 부분(150a)과 동일 방향으로 경사지는 경사면으로 되어 있다. 즉, 셔터 판(150)은, 적어도 상측 부분(150a)이 확장 개구부(88a)의 우측 경사면(110a)에 맞닿음으로써, 폐쇄 위치에서 걸려지도록 되어 있다.10, the
부이(151)는, 회전 이동 축(152)에 대하여 좌측으로 연장하도록 고착되어 있어, 부이(151)의 자중에 의해, 셔터 판(150)에 대하여, 폐쇄 방향 B2의 모멘트를 부여하고 있다. 즉, 부이(151)에 부력이 걸리지 않고 있을 때는, 대강 부이(151)의 중량에 의해, 셔터 판(150)이 폐쇄 방향 B2로 회전 이동하도록 되어 있다. 셔터 판(150)은, 예를 들면, 게이트 장치 본체(91)에 설치된 스토퍼(155)에 의해, 도 9에 나타내는 개방 상태로 걸려진다.The
(작동)(work)
도금 처리 공정 및 그 후의 행거 박리 공정 등은, 종래 공지된 것이므로, 지극히 간단히 설명한다. 도 1에 있어서, 로드부(10)에서 도금 처리 전의 처리물(W)을 반송 행거(28)에 매달아 유지하고, 푸셔 장치에 의해 반송 행거(28) 및 처리물(W)을 전처리 탱크(11) 내까지 반송하여, 반송 행거(28)의 스프로킷(71)을 전처리 탱크(11)의 연속 반송 장치(35)의 반송 체인(75)의 시단부(始端部)에 걸어 맞춘다.The plating process and the subsequent hanger peeling process and the like are conventionally known and will be explained very briefly. 1, the processing object W before the plating processing is suspended from the
상기 연속 반송 장치(35)로부터, 화살표 F 방향에 순차적으로, 취입 반송 장치(31), 연속 반송 장치(36), 취입 반송 장치(32) 및 연속 반송 장치(37)에 의해 반송 행거(27)를 이동시킴으로써, 처리물(W)은, 전처리 탱크(11), 공 스테이지(12), 박스 탱크(13), 도금 탱크(14), 박스 탱크(15), 공 스테이지(16) 및 제1후처리 탱크(17)를 통과하고, 또는 소정의 처리 위치에서 소정 시간 정지하여, 전처리, 도금 처리 및 세정 등의 후처리가 실행된다. 도금 처리 완료 후의 처리물은, 도시하지 않는 푸셔 장치에 의해, 제2후처리 탱크(18)를 통해서 언로드부(19)까지 반송되어, 반송 행거(28)로부터 도금 처리 후의 처리물(W)이 떼어진다.The
처리물(W)을 떼어낸 후의 반송 행거(28)는, 이어서, 박리 공정의 공 스테이지(20)의 연속 반송 장치(38)의 체인 컨베이어(75)에 스프로킷(71)이 걸려지게 되어, 그 연속 반송 장치(38)로부터, 화살표 F 방향에 순서대로, 취입 반송 장 치(33), 연속 반송 장치(39), 취입 반송 장치(34) 및 연속 반송 장치(40)에 의해 이동되어, 부착물이 박리되고, 세정되어, 다시 로드부(10)에 복귀한다.The
상기 도금 처리에 있어서, 처리물(W)을, 예를 들면, 공 스테이지(12)로부터 박스 탱크(13)를 경유해서 도금 탱크(14)에 수평 이동할 때, 및, 도금 탱크(14)로부터 박스 탱크(15)를 경유해서 공 스테이지(16)에 수평 이동할 때에는, 각 게이트 장치(84, 85)를 각각 열고, 이것에 의해, 처리물(W)은, 상승하는 일 없이, 처리물 통과구(88) 등을 통과한다. 처리물(W)이 처리물 통과구(88) 등을 통과 종료하면, 각 게이트 장치(84, 85)의 처리물 통과구(88) 등을 닫는다.When the processed product W is horizontally moved from the co-stage 12 to the
(게이트 장치(85)의 개폐 작동의 상세한 설명)(Detailed Explanation of Opening and Closing Operation of Gate Device 85)
(1) 도 5는, 전술한 바와 같이, 처리물(W)을 공 스테이지(12)로부터 박스 탱크(13)를 경유해서 도금 탱크(14)에 이동시키는 공정, 및, 도금 탱크(14)로부터 박스 탱크(15)를 경유해서 공 스테이지(16)에 이동시키는 공정을 간단히 나타내고 있다. 도금 탱크(14)에는, 도금액이 상시 대략 가득 찬 상태로 유지되고, 공 스테이지(12, 16)는, 상시, 도금액을 배출하고 있음으로써, 대략 빈 상태로 유지되고 있다. 박스 탱크(13, 15)는, 도금 탱크(14)와의 사이에서 처리물(W)이 이동할 때에는, 칼럼 탱크(47) 등으로부터 도금액을 단시간에 공급함으로써, 도금 탱크(14)와 대략 동일한 가득 찬 상태로 유지하고, 각 박스 탱크(13, 15)와 각 공 스테이지(12, 16)와의 사이에서 처리물(W)이 이동할 때에는, 배출구 마개(46)를 개방함으로써, 단시간에 대략 빈 상태까지 액이 배출된다.(1) As shown in Fig. 5, a process of moving the processed object W from the
(2) 박스 탱크(13, 15)에 상기한 바와 같이 도금액을 가득 채울 경우에는, 도금 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 게이트 장치(84)는 열어, 처리물(W)의 통과가 가능한 상태로 하고, 한편, 박스 탱크(13, 15)와 공 스테이지(12, 16)와의 사이의 게이트 장치(85)는 닫는다. 반대로, 박스 탱크(13, 15)를 가득 찬 상태로부터 빈 상태로 할 경우에는, 도금 탱크(14)와 박스 탱크(13, 15)와의 사이의 게이트 장치(84)는 닫고, 한편, 박스 탱크(13, 15)는, 배출구 마개(46)를 여는 동시에, 공 스테이지(12, 16)와의 사이의 게이트 장치(85)도 열어, 도금액을 배출시킨다.(2) When the plating liquid is filled in the
(3) 후처리용의 박스 탱크(15)가 빈 상태로부터 가득 찬 상태로 되는 과정에서의 게이트 장치(95)의 작동을 자세하게 설명한다. 도 9에 있어서, 박스 탱크(15) 내가 빈 때에는, 가동 게이트 부재(93)가 개방 위치에 이동되어 있음으로써, 처리물 통과구(88)의 슬릿 형상 개구부(88b)는 열려 있고, 또한, 셔터 판(150)이, 개방 위치에 회전 이동되어 있음으로써, 확장 개구부(88a)도 열려 있다.(3) The operation of the gate apparatus 95 in a process in which the
박스 탱크(15)에 도금액을 공급할 경우에는, 도 10과 같이, 우선, 가동 게이트 부재(93)를 폐쇄 위치로 이동시키고, 슬릿 형상 개구부(88b)를 닫아 둔다. 이 상태에서, 칼럼 탱크(47)(도 5)로부터 도금액을 박스 탱크(15)에 공급하면, 박스 탱크(15) 내에 공급되는 도금액의 증가에 따라, 부이(151)가 부력으로 상승하고, 셔터 판(150)은 부이(151)와 함께 폐쇄 방향 B1로 회전 이동하여, 확장 개구부(88a)의 하반부를 폐쇄한다. 이것에 의해, 박스 탱크(15) 내에, 레벨 L1까지의 도금액을 확실하게, 저류할 수 있다. 상기 레벨 L1은, 도 7에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(28)에 파지(把持)된 처리물(W)의 상단 가장자리가 대략 50mm 정도까지 침지할 수 있는 높이이다. 이것에 의해, 도금 탱크(14) 내에 있어서 처리물(W) 전 체를 도금 처리할 수 있다.When the plating liquid is supplied to the
상기 설명은, 도금 탱크(14)로부터 박스 탱크(15)를 경유해서 공 스테이지(16)에 처리물(W)을 반송할 경우의 게이트 장치(85) 등의 개폐이지만, 도 5의 입구 측의 공 스테이지(12)로부터 박스 탱크(13)를 경유해서 도금 탱크(14)에 처리물을 반송할 경우에도, 입구 측 박스 탱크(13)와 입구 측 공 스테이지(12)와의 사이에 배치된 셔터 판 부착 게이트 장치(85)의 개폐는, 상기 게이트 장치(85)와 마찬가지로 실행된다.The above explanation is the opening and closing of the
(실시형태의 효과)(Effect of Embodiment)
(1) 도 6에 나타내는 박스 탱크(15)와 공 스테이지(16)와의 사이의 게이트 장치(85)는, 도 7과 같이, 구동 기구(94)(튜브 부재(101, 102))에 의해 대략 수평 방향으로 이동해서 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 부재(93)와, 그 게이트 부재(93)와는 별도로, 수평 회전 이동 축(152) 주위로 회전 이동해서 확장 개구부(88a)를 개폐하는 셔터 판(150)을 구비하고 있으며, 셔터 판(150)에는, 박스 탱크(15) 내에 배치된 부이(151)를 연동 연결하여, 박스 탱크(15)의 도금액의 증가에 따르는 부이(151)의 상승에 의해, 상기 셔터 판(150)을 폐쇄 위치로 회전 이동시키도록 하고 있으므로, 처리물 통과구(88)의 개구 면적을, 처리물(W) 및 처리물 유지용의 클램프(67) 등이 통과 가능한 대략 최소의 면적으로 제한할 수 있어, 처리물 통과구(88)로부터의 도금액의 누출을 억제할 수 있다.(1) The
(2) 슬릿 형상 개구부(88b)를, 수평 방향으로 슬라이드 자유로운 가동 게이트 부재(93)에 의해 개폐하고, 확장 개구부(88a)를, 수평 회전 이동 축(152) 주위 로 회전 이동이 자유로운 셔터(150)에 의해 개폐하도록 하고 있으므로, 단시간에 처리물 통과구(88) 전체를 개폐할 수 있어, 연속적인 처리물 처리 작업의 능률을 향상시킬 수 있다. 즉, 각 개구부(88b, 88a)의 형상에 따라서 각각 슬라이드식의 게이트 부재(93)와 회전 이동식의 셔터 판(150)을 구비하고 있으므로, 처리물 통과구(88) 전체로서의 개폐 시간을, 크게 단축할 수 있다.(2) The slit-shaped
(3) 박스 탱크(15) 내에 배치한 부이(151)를 이용해서 셔터 판(150)을 상승시키도록 하고 있으므로, 모터 등의 셔터 개폐용 구동 기구를 특별히 구비할 필요가 없어, 게이트 장치(85)를 간소화할 수 있다.(3) Since the
(4) 확장 개구부(88a)를 V자형으로 형성하고 있으므로, 슬릿 형상 개구부(88b) 및 그 위쪽으로 연속하는 확장 개구부(88a)의 형성 작업이 용이하다.(4) Since the
(5) 부이(151)는, 셔터 판(150)의 회전 이동 축(152)에 고착되어, 셔터 판(150)과 일체적으로 회전 이동 가능하게 할 수 있으므로, 부이(151)를 셔터 판(150)과 일체적으로 콤팩트하게 배치할 수 있다.(5) Since the
[제2실시형태][Second Embodiment]
도 11 및 도 12는 제2실시형태를 나타내고 있으며, 도 11에 있어서, 박스 탱크(15)(지면(紙面)의 앞쪽)와 공 스테이지(지면의 저쪽)(16)의 사이의 탱크 벽(83)에, 처리물 통과구(88)의 확장 개구부(88a)의 형상에 대응한 3각형 형상의 셔터 판(150)과, 그 셔터 판(150)의 암부(150a)에 끈(161)을 통해서 연결된 부이(151)를 구비하고 있다. 셔터 판(150)과 부이(151)는, 모두 박스 탱크(15) 내에 배치되어 있다. 또한, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 장치(85)를 구비하고 있지만, 도면에서는 생략하고, 셔터 판(150) 및 그 구동 기구만을 나타내고 있다.11 and 12 show a second embodiment. In Fig. 11, a tank wall 83 (between the box tank 15 (the front side of the paper surface) and the empty stage (the lower side of the paper) , A
셔터 판(150)의 암부(150a)는, 대략 수평인 회전 이동 축(152)을 통해서 탱크 벽(83)(또는 게이트 장치 본체)에 회전 이동이 자유롭게 지지되어 있으며, 암부(150a)의 타단부에는, 셔터 판(150)에 대하여 개방 방향 B2로 모멘트가 걸리도록 추(164)가 설치되어 있다. 회전 이동 축(152)에 대하여 추(164)의 배치 측과는 반대 측의 암부(150a)의 부위에, 상기 끈(161)이 연결되어 있으며, 그 끈(161)은 박스 탱크(15)를 아래쪽으로 연장해서, 박스 탱크(15)의 하단부 근방에 설치된 턴 시브(turn sheave)(162)에 감아 걸려서 위쪽으로 뒤집어 접혀, 끈(161)의 타단부에 부이(151)가 연결되어 있다.The
도 11에 나타낸 바와 같이, 박스 탱크(15)가 대략 빈 상태일 때에는, 부이(151)는 박스 탱크(15)의 저면 가까이에 위치하고, 셔터 판(150)은, 추(164)에 의한 폐쇄 방향 B2의 모멘트에 의해, 개방 위치에 위치하고 있다.11, the
도 12와 같이, 박스 탱크(15)에 도금액을 공급하면, 부이(151)가 부력으로 상승하고, 끈(161)을 끌어당겨, 셔터 판(150)을 폐쇄 방향 B1로 회전 이동시킨다. 폐쇄 방향 B1로 회전 이동한 셔터 판(150)은, 스토퍼(163)에서 걸려짐으로써, 폐쇄 위치에 유지되어, 확장 개구부(88a)의 하반부를 폐쇄한다.As shown in FIG. 12, when the plating liquid is supplied to the
상기 실시형태에 의하면, 부이(151) 배치의 자유도가 증가하여, 설계가 쉬워진다. 또한, 그 실시형태에 있어서, 부이(151)와 셔터 판(150)을 연결하는 연결 형상체는 끈으로 한정되지 않고, 연한 와이어(wire)나 체인(chain)을 이용하는 것도 가능하다.According to the above embodiment, the degree of freedom of the arrangement of the
[제3실시형태][Third embodiment]
도 13 및 도 14는, 본 발명의 제3실시형태이며, 평면도를 나타내는 도 13에 있어서, 도금액 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(82)에, 셔터 판(350)을 설치하고 있으며, 셔터 판(350)은 도금액 탱크(14) 내에 배치되고, 부이(351)는 박스 탱크(15) 내에 배치되어 있다. 탱크 벽(82)(또는 게이트 장치 본체)에는, 이것을 관통하는 수평 회전 이동 축(352)이 회전 이동이 자유롭게 지지되고, 회전 이동 축(352)의 도금 탱크(14) 측의 단부에 셔터 판(350)의 암부(350a)의 기단부(基端部)가 고착되고, 회전 이동 축(352)의 박스 탱크(15) 측의 단부에, 암부(351a)를 통해서 부이(351)가 고착되어 있다. 또한, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 장치(84)를 구비하고 있지만, 도면에서는 생략하고, 셔터 판(350) 및 그 구동 기구만을 나타내고 있다.13 and 14 show a third embodiment of the present invention. In Fig. 13 showing a plan view, the
도 14는 도 13의 XIV-XIV 단면도이며, 셔터 판(350)이 닫힌 상태를 나타내고 있으며, 탱크 벽(82)의 확장 개구부(88a)의 근방에, 폐쇄 위치 걸림용의 스토퍼(354)가 설치되고, 도금액 탱크(14)의 측벽의 상단부에, 개방 위치 걸림용의 스스토퍼(353)가 설치되어 있다.Fig. 14 is a sectional view taken along the line XIV-XIV in Fig. 13 showing a state in which the
박스 탱크(15)가 빈 상태일 때에는, 도 14에 나타낸 바와 같이, 부이(351) 및 셔터 판(350)에 걸리는 중력에 의해, 셔터 판(350)은 폐쇄 방향 B1로 회전 이동하여, 스토퍼(354)에 걸려짐으로써, 폐쇄 위치에 유지되고 있다. 즉, 확장 개구부(88a)의 하반부를 폐쇄하고 있다. 이것에 의해, 도금액 탱크(14)로부터 박스 탱 크(15)에의 도금액의 누출을 방지하고 있다.14, the
박스 탱크(15)에 도금액이 공급되면, 부이(351)가 부력으로 상승함으로써, 부이(351) 및 셔터 판(350)은 개방 방향 B2로 회전 이동하여, 확장 개구부(88a)가 열린다. 셔터 판(350)은, 개방 위치 걸림용의 스토퍼(353)에 의해, 걸려서, 유지된다. 이것에 의해, 신속하게 박스 탱크(15)를 도금액 탱크(14) 내와 동일하게 가득 찬 상태로 할 수 있다.When the plating liquid is supplied to the
[제4실시형태][Fourth Embodiment]
도 15는, 본 발명의 제4실시형태이며, 박스 탱크(15)와 공 스테이지(16)와의 사이의 탱크 벽(83)에, 셔터 판(450)을 설치하고 있다. 셔터 판(450)은, 상기 제3실시형태와 마찬가지로, 암부(450a)를 갖는 3각형 형상으로 형성되어, 박스 탱크(15) 내에 배치되어 있다. 셔터 판(450)의 암부(450a)의 기단부가, 대략 수평인 회전 이동 축(452)을 통해서 탱크 벽(83)에 회전 이동이 자유롭게 지지되어 있다. 본 실시형태에서는, 셔터 판(450) 자체를, 중공 형상 또는 비중이 작은 재료로 제작함으로써, 도금액 중 또는 수중에서 뜨는 부이로서 이용하고 있다. 또한, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하는 게이트 장치(85)를 구비하고 있지만, 도면에서는 생략하고, 셔터 판(450) 및 그 구동 기구만을 나타내고 있다.15 is a fourth embodiment of the present invention in which a
박스 탱크(15)가 빈 때에는, 셔터 판(450)은 중력에 의해 파선으로 나타내는 바와 같이 수하(垂下) 상태로 되고 있어, 확장 개구부(88a)를 열고 있다.When the
박스 탱크(15) 내에 도금액을 공급하면, 셔터 판(부이)(450)은, 부력에 의해 폐쇄 방향 B1로 회전 이동하여, 위쪽의 스토퍼(454)에 맞닿음으로써, 폐쇄 위치에 걸려져, 확장 개구부(88a)를 닫는다.When the plating liquid is supplied into the
[제5실시형태][Fifth Embodiment]
도 16 및 도 17은, 본 발명의 제5실시형태이며, 공 스테이지(16)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(83)에, 셔터 판(550)을 설치하고 있다. 도 16은 평면도, 도 17은 도 16의 XVII-XVII 단면도이며, 도 17에 있어서, 탱크 벽(83)의 박스 탱크(15) 측의 면에, 단면이 대략 ㄷ자 형상의 슬라이드 레일(558)을 경사 자세로 고정하고, 그 슬라이드 레일(558) 내에, 평행 4변형 형상의 셔터 판(550)의 1측 단부(550a)를 슬라이드 자유롭게 지지하고 있다. 상기 슬라이드 레일(558)은, 아래쪽으로 감에 따라서 처리물 통과구(88)로부터 벗어나도록 경사지어 있으며, 따라서, 셔터 판(550)이 위쪽으로 이동하면, 처리물 통과구(88)로 이동해서 확장 개구부(88a)를 닫고, 아래쪽으로 이동하면, 처리물 통과구(88)로부터 벗어나서 확장 개구부(88b)를 열게 되어 있다. 또한, 셔터 판(550)의 궤도의 상하 끝에는, 폐쇄 위치 걸림용의 스토퍼(554)와, 개방 위치 걸림용의 스토퍼(553)가, 각각 설치되어 있다.16 and 17 show a fifth embodiment of the present invention in which a
도 16에 있어서, 슬라이드 레일(558)에는, 레일 길이 방향을 따라 홈(558a)이 개구되어 있으며, 그 홈(558a)을 통해서 셔터 판(550)이 외부에 돌출하고 있다.16, the
상기 실시형태도, 셔터 판(550) 자체가 부이로 되고 있어, 중공 형상으로 형성되든가, 혹은 도금액에 뜨는 비중이 가벼운 소재(예를 들면 폴리프로필렌 등)로 성형되어 있다.In the above-described embodiment, the
박스 탱크(15) 내가 빈 때에는, 도 17에 가상 선으로 나타내는 바와 같이, 셔터 판(550)은 자중으로 개방 위치까지 하강하고, 개방 위치 걸림용의 스토퍼(553)에 걸려져 있다. 즉, 확장 개구부(88a)가 열려 있다. When the
박스 탱크(15) 내에 도금액을 공급하면, 셔터 판(550)은 자신의 부력에 의해 상승하고, 상단의 폐쇄 위치 걸림용의 스토퍼(554)에 맞닿음으로써, 확장 개구부(88a)를 폐쇄 상태로 유지한다.When the plating liquid is supplied into the
[제6실시형태][Sixth Embodiment]
도 18 및 도 19는, 본 발명의 제6실시형태이며, 공 스테이지(16)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(83)에, 나선(螺旋) 이동형의 셔터 판(650)을 구비한 예이다.18 and 19 show a sixth embodiment of the present invention in which a helical transfer
평면도를 나타내는 도 18에 있어서, 탱크 벽(83)의 박스 탱크(15) 측의 면에, 안내 통(655)을 대략 수직 자세로 고착하고, 그 안내 통(655) 내에, 상하 방향 이동이 자유롭고 또한 회전 이동이 자유롭게 원통 형상의 부이(651)를 끼워 맞추고 있다.18 showing a plan view, the
도 19는 도 18의 XIX-XIX 단면도이며, 안내 통(655)의 주벽(周壁)에는, 안내 통(655)의 내부와 외부를 연통하는 나선 슬릿(656)이 형성되어 있으며, 그 나선 슬릿(656)에 삽입된 암부(650a)를 통하여, 3각형 형상의 셔터 판(650)이 부이(651)에 연결되어 있다.19 is a cross-sectional view taken along the line XIX-XIX in Fig. 18, and a
박스 탱크(15) 내가 빈 때에는, 가상 선으로 나타내는 바와 같이, 셔터 판(650)은, 중력에 의해, 부이(651)와 함께 개방 위치까지 하강하여, 슬릿 형상의 개구부(88b)와 반대 측에 위치하고 있다. 즉, 확장 개구부(88a)를 열고 있다.When the
박스 탱크(15) 내에 도금액을 공급하면, 부이(651)의 부력에 의해, 부이(651)와 셔터 판(650)은 일체적으로 상승하지만, 암부(650a)가 나선 슬릿(656)을 따라 이동함으로써, 셔터 판(650)은 나선 상으로 상승한다. 그리고, 상승한 폐쇄 위치에서는, 확장 개구부(88a) 측으로 회전 이동하여 있어, 확장 개구부(88a)를 닫고 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서도, 셔터 판(650) 자체를, 중공 형상 또는 비중이 작은 재료를 이용함으로써, 도금액 중에서 뜨는 부이로 할 수도 있다.When the plating liquid is supplied into the
[제7실시형태][Seventh Embodiment]
도 20 및 도 21은, 본 발명의 제7실시형태이며, 도금 탱크(14)와 박스 탱크(15)와의 사이의 탱크 벽(82)에 셔터 판(750)을 배치한 예로서, 부이(751)가 상승함으로써, 확장 개구부(88a)를 열게 되어 있다.20 and 21 illustrate a seventh embodiment of the present invention in which a
폐쇄 상태를 나타내는 도 20에 있어서, 확장 개구부(88a)의 형상에 대응한 3각형 형상의 상기 셔터 판(750)과, 그 셔터 판(750)의 암부(750a)의 타단부에 끈(761)을 통해서 연결된 부이(751)를 구비하고 있다. 암부(750a)는, 대략 수평인 회전 이동 축(752)을 통해서 탱크 벽(82)에 회전 이동이 자유롭게 지지되어 있다.20 showing a closed state, the
상기 끈(761)은, 암부(750a)로부터 아래쪽으로 연장하여, 박스 탱크(15)의 하단부 근방에 설치된 턴 시브(762)에 감아 걸려, 위쪽으로 뒤집어 접어져 있다.The
도 20에 나타낸 바와 같이, 박스 탱크(15)가 대략 빈 상태인 때에는, 부이(751)는 박스 탱크(15)의 저면 가까이에 위치하고, 셔터 판(750)은, 자중에 의해 폐쇄 방향 B1로 회전 이동하여, 확장 개구부를 닫고 있다. 셔터 판(750)은, 스토 퍼(754)에 걸려짐으로써, 폐쇄 위치에 유지되어 있다.20, the
박스 탱크(15) 내에 도금액을 공급하면, 부력에 의해 부이(751)는 상승하고, 끈(761)을 통해서 암부(750a)의 타단부를 끌어당겨, 도 21과 같이, 셔터 판(750)을 개방 방향 B2로 회전 이동시켜서, 확장 개구부(88a)를 연다.When the plating liquid is supplied into the
[기타 실시형태][Other Embodiments]
(1) 상기 도 1 내지 도 21의 실시형태에서는, 슬릿 형상 개구부(88b)를 개폐하기 위해서, 수평 방향 이동이 자유로운 게이트 부재(93)를 구비하는 것과 더불어, 그 게이트 부재(93)를 구동하는 구동 기구(94)로서, 1쌍의 튜브 부재(101, 102)를 구비하고 있지만, 다른 구동 기구에 의해 수평 방향으로 이동하는 게이트 부재를 구비할 수도 있다. 또한, 튜브 부재의 팽창에 의해, 튜브 부재로 직접적으로 슬릿 형상 개구부를 닫는 구조로 하는 것도 가능하다.(1) In the embodiments of Figs. 1 to 21 described above, in order to open and close the slit-
(2) 본 발명에 관련한 게이트 장치는, 도금 장치에 한정되지 않고, 예를 들면, 처리액 탱크 내에 저류한 처리액에 의해 처리물을 세정하는 박리 탱크 등의 침지 처리 장치에도 적용하는 것은 가능하다.(2) The gate device according to the present invention is not limited to a plating apparatus, and can be applied to an immersion treatment apparatus such as a separation tank for cleaning a treated material with a treatment liquid stored in a treatment liquid tank .
본 발명은, 도금 장치 이외에, 크로메이트 처리 장치, 알루미늄의 양극(陽極) 산화 처리 장치, 전해 연마 장치 또는 전해 산세(酸洗) 장치 등의 처리 장치에도 적용 가능하다.The present invention is also applicable to processing apparatuses such as a chromate treatment apparatus, an anode oxidation treatment apparatus for aluminum, an electrolytic polishing apparatus or an electrolytic pickling apparatus, in addition to a plating apparatus.
도 1은 본 발명 제1실시형태이며, 도금 장치의 전체 평면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a first embodiment of the present invention, which is a whole plan view of a plating apparatus. Fig.
도 2는 도 1의 도금 탱크 및 박스 탱크 부근의 종단면 확대도.Fig. 2 is an enlarged view of a vertical section near the plating tank and the box tank of Fig. 1; Fig.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 단면 확대도.3 is an enlarged cross-sectional view taken along the line III-III in Fig.
도 4는 도 2의 IV-IV 단면 확대도.4 is an enlarged cross-sectional view taken along line IV-IV of Fig.
도 5는 도 1의 도금 탱크, 박스 탱크 및 공 스테이지의 종단면 약도.5 is a longitudinal sectional view of the plating tank, box tank and air stage of FIG. 1;
도 6은 도 5의 박스 탱크의 평면도.6 is a plan view of the box tank of FIG. 5;
도 7은 도 6의 VII-VII 단면도.7 is a sectional view taken along line VII-VII of FIG. 6;
도 8은 도 7의 게이트 장치의 평면 확대도.8 is a plan enlarged view of the gate device of Fig.
도 9는 처리물 통과구가 열린 상태의 게이트 장치를 나타내는 작용 설명도.Fig. 9 is an explanatory view showing an operation of a gate device in a state in which a through-hole is opened; Fig.
도 10은 처리물 통과구가 닫힌 상태의 게이트 장치를 나타내는 작용 설명도.10 is an explanatory view showing an operation of a gate device with a through-treatment port closed;
도 11은 본 발명의 제2실시형태이며, 셔터 판이 열린 상태의 처리액 탱크의 종단면 약도.11 is a longitudinal sectional view of a treatment liquid tank in a state in which a shutter plate is opened, according to a second embodiment of the present invention.
도 12는 도 11과 동일한 처리액 탱크이며, 셔터 판이 닫힌 상태를 나타내는 단면도.Fig. 12 is a cross-sectional view showing a treatment liquid tank similar to that of Fig. 11, with the shutter plate closed. Fig.
도 13은 본 발명의 제3실시형태이며, 셔터 판이 열린 상태의 처리액 탱크의 평면도.13 is a plan view of a treatment liquid tank in a state in which a shutter plate is opened, according to a third embodiment of the present invention.
도 14는 도 13의 XIV-XIV 단면도.14 is a sectional view taken along the line XIV-XIV in Fig.
도 15는 본 발명의 제4실시형태이며, 셔터 판이 닫힌 상태의 처리액 탱크의 종단면 약도.15 is a longitudinal sectional view of a treatment liquid tank in a state in which a shutter plate is closed, according to a fourth embodiment of the present invention.
도 16은 본 발명의 제5실시형태이며, 처리액 탱크의 평면도.16 is a plan view of a treatment liquid tank according to a fifth embodiment of the present invention.
도 17은 도 16의 XVII-XVII 단면도.FIG. 17 is a cross-sectional view taken along line XVII-XVII of FIG. 16;
도 18은 본 발명의 제6실시형태이며, 처리액 탱크의 평면도.18 is a plan view of a treatment liquid tank according to a sixth embodiment of the present invention.
도 19는 도 18의 XIX-XIX 단면도.19 is a sectional view taken along the line XIX-XIX in Fig. 18;
도 20은 본 발명의 제7실시형태이며, 처리액 탱크의 종단면 약도.20 is a seventh embodiment of the present invention, which is a longitudinal sectional view of a treatment liquid tank.
도 21은 도 21의 XXI-XXI 단면도.21 is a cross-sectional view taken along line XXI-XXI of FIG.
도 22는 종래의 처리액 탱크에 있어서의 액 배출 및 액 공급 시의 작용을 나타내는 사시도.FIG. 22 is a perspective view showing the action of liquid discharge and liquid supply in a conventional treatment liquid tank; FIG.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS
15: 박스 탱크(처리액 탱크의 일례)15: Box tank (example of treatment liquid tank)
46: 배출구 마개(액 배출 기구의 일례)46: Exhaust cap (example of liquid discharge mechanism)
47: 칼럼 탱크(액 공급 기구의 일례)47: Column tank (example of liquid supply mechanism)
85: 게이트 장치85: gate device
88: 처리물 통과구88: Through hole
88a: 슬릿 형상 개구부88a: Slit-shaped opening
88b: 확장 개구부88b: extended opening
93: 가동 게이트 부재93: movable gate member
94: 가동 게이트 부재의 구동 기구94: drive mechanism of the movable gate member
150: 셔터 판150: shutter plate
151: 부이(buoy)151: buoy
152: 셔터 판의 회전 이동 축152: rotation axis of the shutter plate
161: 끈(줄 형상체의 일례)161: string (an example of a strip-shaped body)
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